JPS5811838A - 円板状検査物の表面欠陥検出装置 - Google Patents
円板状検査物の表面欠陥検出装置Info
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- JPS5811838A JPS5811838A JP11157781A JP11157781A JPS5811838A JP S5811838 A JPS5811838 A JP S5811838A JP 11157781 A JP11157781 A JP 11157781A JP 11157781 A JP11157781 A JP 11157781A JP S5811838 A JPS5811838 A JP S5811838A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はビデオディスクやレコード盤等の円板状検査
物の表面欠陥検出装置に関するものである。
物の表面欠陥検出装置に関するものである。
従来、フライングスポット方式を用いて板状物体の表面
欠陥検出を行う場合、第１図に示すように、レーザー光
を同一直線上に往復走査させながらその走査ライン１の
直角方向（矢符Ａ方向）へ検査物２を移送するラインス
キャン方式と、第２図に示すように、検査物３を静置し
た状態で、レーザー光を幅方向へ走査しつつその走査ラ
イン４を長手方向へ少しずつずらせていくエリアスキャ
ン方式とがある。
欠陥検出を行う場合、第１図に示すように、レーザー光
を同一直線上に往復走査させながらその走査ライン１の
直角方向（矢符Ａ方向）へ検査物２を移送するラインス
キャン方式と、第２図に示すように、検査物３を静置し
た状態で、レーザー光を幅方向へ走査しつつその走査ラ
イン４を長手方向へ少しずつずらせていくエリアスキャ
ン方式とがある。
ところが、いずれの場合も、検査領域が矩形であるため
、ビデオディスクやレコード盤のように円板状のものを
この方式で行うと、余分なスキャンが多くなって時間の
無駄にもなるし、また工・ンジ処理も複雑になるという
問題を有していた。
、ビデオディスクやレコード盤のように円板状のものを
この方式で行うと、余分なスキャンが多くなって時間の
無駄にもなるし、また工・ンジ処理も複雑になるという
問題を有していた。
したがって、この発明の目的は、円板状検査物の表面欠
陥検出を迅速かつ容易に行なえる表面欠陥検出装置を提
供することである。
陥検出を迅速かつ容易に行なえる表面欠陥検出装置を提
供することである。
この発明の一実施例を第３図ないし第７図を用いて説明
する。すなわち、この円板状検査物の表面欠陥検出装置
は、第３図に示すように、レーザー光線投光器５と、偏
向ビームスグリツタ６と、四分の一波長板７と、円錐台
形筒状反射形ミラー８と、レコード盤９の中央孔に貫装
置７た＠鐘１０と、光電素子１１と、増幅１０］路１２
．微分回路１３゜閾値回路１４．判定１山路１５からな
る欠陥検出回路１６とを備える。
する。すなわち、この円板状検査物の表面欠陥検出装置
は、第３図に示すように、レーザー光線投光器５と、偏
向ビームスグリツタ６と、四分の一波長板７と、円錐台
形筒状反射形ミラー８と、レコード盤９の中央孔に貫装
置７た＠鐘１０と、光電素子１１と、増幅１０］路１２
．微分回路１３゜閾値回路１４．判定１山路１５からな
る欠陥検出回路１６とを備える。
斜鏡１０は、第４図に示すように一１転軸１０ａに対し
て傾斜した反射面１０ｂをもち、レコード盤９の中央孔
に直交貫通して軸回りに回転自在でかつ軸方向へ進退自
在である。
て傾斜した反射面１０ｂをもち、レコード盤９の中央孔
に直交貫通して軸回りに回転自在でかつ軸方向へ進退自
在である。
円錐台形反射形ミラー８は、内側反射面８ａの傾斜角度
αが斜！ａ、１０の反射面１０ｂの傾斜角度βと同一で
、自己の中心軸を斜鏡１０の回転軸１０ａの延長線上に
揃えて、レコード盤９の上方に固定配置する。
αが斜！ａ、１０の反射面１０ｂの傾斜角度βと同一で
、自己の中心軸を斜鏡１０の回転軸１０ａの延長線上に
揃えて、レコード盤９の上方に固定配置する。
この装置によるレコード盤９の表面欠陥検出はつぎのよ
うにして行なう。すなわち、投光器５によシ直線偏光型
のレーザー光１７を斜鏡１０の回転軸線上に沿って下向
きに投射する。すると、このレーザー光１７は、偏光ビ
ームスプリッタ６および四分の一波長板７を透過し、斜
鏡１０の反射面１０ｂと反射形ミラー８の内側反射面８
ａとで反射さ扛てレコード盤９の盤面に投射さ扛る。こ
の場合、斜鏡１０の反射面１０ｂの傾斜角度βと反射形
ミラー８の内側反射面８ａの＃４ｆｆ＋角度ａが同一に
設定されているため、レーザー光１７はレコード盤９の
盤面に垂直に投射さｎる。その結果、盤面で反射さｎた
レーザー光１７は、盤面上の音溝によりある程度の散乱
を受けるが、大部分は同一経路を逆進し、四分の一波長
板７を透過して偏光ビームスプリ・ツタ６に至る。この
レーザー光１７は、四分の一波長板７を往復することに
より偏光面が最初の投射光に比べて９０度回転している
ため、第５図に示すように、偏光ビームスプリッタ６の
内部境界面６ａで光量を損失することなく全反射されて
光電素子１１へ向かう。
うにして行なう。すなわち、投光器５によシ直線偏光型
のレーザー光１７を斜鏡１０の回転軸線上に沿って下向
きに投射する。すると、このレーザー光１７は、偏光ビ
ームスプリッタ６および四分の一波長板７を透過し、斜
鏡１０の反射面１０ｂと反射形ミラー８の内側反射面８
ａとで反射さ扛てレコード盤９の盤面に投射さ扛る。こ
の場合、斜鏡１０の反射面１０ｂの傾斜角度βと反射形
ミラー８の内側反射面８ａの＃４ｆｆ＋角度ａが同一に
設定されているため、レーザー光１７はレコード盤９の
盤面に垂直に投射さｎる。その結果、盤面で反射さｎた
レーザー光１７は、盤面上の音溝によりある程度の散乱
を受けるが、大部分は同一経路を逆進し、四分の一波長
板７を透過して偏光ビームスプリ・ツタ６に至る。この
レーザー光１７は、四分の一波長板７を往復することに
より偏光面が最初の投射光に比べて９０度回転している
ため、第５図に示すように、偏光ビームスプリッタ６の
内部境界面６ａで光量を損失することなく全反射されて
光電素子１１へ向かう。
つぎに、ｆＩ＋鏡１０を１！１１転軸１０ａの回りに回
転すればレーザー光１７をレコード盤９の円周方向へ走
査でき、また斜鏡１０を回転軸１０ａ方向へ進退駆動す
ればレコード盤９の径方向へ走査できる。
転すればレーザー光１７をレコード盤９の円周方向へ走
査でき、また斜鏡１０を回転軸１０ａ方向へ進退駆動す
ればレコード盤９の径方向へ走査できる。
すなわち、第４図に示すように、店ａ １０が同図実線
の位置にあるときは、レコード盤９の音溝の最も外側に
レーザー光１ ’７が照射さｎ１斜鏡ｌＯを１回転させ
ることにより最外周の走査を行なうことができる。ま几
、斜鏡ｌＯが同図想ｇｊ！線の位置にあるときは、斜鏡
１０を１回転させることにより最内周の走査を行なうこ
とができる。し友がって、ｆｌ＋鏡１０を回転させなが
ら少しずつ軸方向へ移動させれば、レーザー光１７を音
溝に沿って（５） 盤面全体に走査させることができる。
の位置にあるときは、レコード盤９の音溝の最も外側に
レーザー光１ ’７が照射さｎ１斜鏡ｌＯを１回転させ
ることにより最外周の走査を行なうことができる。ま几
、斜鏡ｌＯが同図想ｇｊ！線の位置にあるときは、斜鏡
１０を１回転させることにより最内周の走査を行なうこ
とができる。し友がって、ｆｌ＋鏡１０を回転させなが
ら少しずつ軸方向へ移動させれば、レーザー光１７を音
溝に沿って（５） 盤面全体に走査させることができる。
そこで、第３図に示すように、盤面にひっかき傷１８を
もつレコード盤９の音溝に沿ってレーザー光１７を走査
させると、良品部での反射光の光電素子１１への入射量
はほぼ一定しているため、増幅回路１２からの出力信号
は第６図の良品波形１９に示すように時間的にゆるやか
な波形となり、しだがって微分１ｍ路１３による出力波
形も第７図の良品波形２０に示すようにほぼ一定となる
。ところが、ひっかき傷１８（レコード盤に反りがある
場合も同様）等の欠陥部での反射光は、欠陥部で程々の
方向に散乱され、すなわち入射光路とは異なった経路を
とって光電素子１１に入射する光量が大きく減少するた
め、増幅回路１２からの出力中に第６図に示す欠陥波形
２１が現われ、したがって微分回路１３の出力中にも第
７図の欠陥波形２２が生じる。そこで、微分回路１３の
出力信号をコンパレータを含む閾値回路１４に入力し、
微分回路１３からの出力信号が第７図に示す閾値２３以
下になったときにコンパレータにょシネ良（６） 信号を良否判定回路１５へ出力するようにすれば、良否
判定回路１５への入力信号の有無により欠陥部の有無を
検出できる。
もつレコード盤９の音溝に沿ってレーザー光１７を走査
させると、良品部での反射光の光電素子１１への入射量
はほぼ一定しているため、増幅回路１２からの出力信号
は第６図の良品波形１９に示すように時間的にゆるやか
な波形となり、しだがって微分１ｍ路１３による出力波
形も第７図の良品波形２０に示すようにほぼ一定となる
。ところが、ひっかき傷１８（レコード盤に反りがある
場合も同様）等の欠陥部での反射光は、欠陥部で程々の
方向に散乱され、すなわち入射光路とは異なった経路を
とって光電素子１１に入射する光量が大きく減少するた
め、増幅回路１２からの出力中に第６図に示す欠陥波形
２１が現われ、したがって微分回路１３の出力中にも第
７図の欠陥波形２２が生じる。そこで、微分回路１３の
出力信号をコンパレータを含む閾値回路１４に入力し、
微分回路１３からの出力信号が第７図に示す閾値２３以
下になったときにコンパレータにょシネ良（６） 信号を良否判定回路１５へ出力するようにすれば、良否
判定回路１５への入力信号の有無により欠陥部の有無を
検出できる。
このように、ｆＰＦ鈍１０を１１ｊ転さ−ｗながら少し
ずつ軸方向へ移動させることにより、レーザー光１７を
レコード盤９の音ｉｆｆに沿って盤面全体に走査でき、
言い換えれば検査すべき面上しかレーザー光１７を走査
させないので検査に無駄な時間がなくなり、また、エツ
ジ部や検査不扱部（中心部のラベル〕に対してマスクを
かける等の複雑な処理が不要となって検査が容易となる
。また、この装置は光学処理系と電気処理系とで構成さ
ｎるが、光学処理系は、投光器５．偏光ビームスグリツ
タ６゜四分の一波長板７１反射形ミラー８および斜鏡１
゜を用いて簡単に構成でき、また、電気処理系も、光電
素子１１．演算増幅器、抵抗、コンデンサ。
ずつ軸方向へ移動させることにより、レーザー光１７を
レコード盤９の音ｉｆｆに沿って盤面全体に走査でき、
言い換えれば検査すべき面上しかレーザー光１７を走査
させないので検査に無駄な時間がなくなり、また、エツ
ジ部や検査不扱部（中心部のラベル〕に対してマスクを
かける等の複雑な処理が不要となって検査が容易となる
。また、この装置は光学処理系と電気処理系とで構成さ
ｎるが、光学処理系は、投光器５．偏光ビームスグリツ
タ６゜四分の一波長板７１反射形ミラー８および斜鏡１
゜を用いて簡単に構成でき、また、電気処理系も、光電
素子１１．演算増幅器、抵抗、コンデンサ。
コンパレータを用いて容易に構成できる。
なお、上記実施例においては、レコード盤９の径方向へ
の走査ｉ／１整を、斜ｆｉｌＯを軸方向へ進退させるこ
とにより行なったが、反射形ミラー８を斜鏡１０の回転
軸に沿って進退駆動することにより行なうようにしても
よい。′！！、た、上記実施例の（Ｎｕビームスブレツ
タ６および四分の一波長板７に代えてハーフミラ−を用
いてもよい。ただし、その場合は、光電素子１１に入射
する光量が減少する。
の走査ｉ／１整を、斜ｆｉｌＯを軸方向へ進退させるこ
とにより行なったが、反射形ミラー８を斜鏡１０の回転
軸に沿って進退駆動することにより行なうようにしても
よい。′！！、た、上記実施例の（Ｎｕビームスブレツ
タ６および四分の一波長板７に代えてハーフミラ−を用
いてもよい。ただし、その場合は、光電素子１１に入射
する光量が減少する。
以上のように、この発明の円板状検査物の表面欠陥検出
装置は、回転軸に対してｆ１３１糾した反射面をもちそ
の回転軸を円板状検査物のセンタを通りかつ検査物表面
に直交するライン上に配置した斜鏡と、内側反射面の傾
斜角度が前記斜鏡の反射面の＃ｉ斜角度と同一で自己の
中心軸を前記斜鏡の回転軸延長線上に揃えて前記被検査
物の上方に配した円錐台形筒状反射形ミラーと、この反
射形ミラーの上方に配しレーザー光を前記斜鏡の回転軸
線上に沿って斜鏡の反射面へ照射する投光器と、この投
光器と前記反射形ミラー間に配して投光器からの投射光
を透過するとともに前記斜鏡と反射形ミラーを介し前記
被検査物表面で反射さｎて同一経路を逆進する反射光を
側方へ反射する選択透過反射部材と、この選択透過反射
部材の側方に位置して選択透過反射部材からの反射光を
光゛直変換する光電素子と、この光＠素子からの出力信
号の低下により被検査物の欠陥の有無を検出する欠陥検
出回路とを備え、前記斜鏡を回転することによりレーザ
ー光を被検査物の円周方向に走査可能とするとともに、
前記斜鏡および前記反射形ミラーを斜鏡の回転軸に沿っ
て相対的に接近・賠隔駆動することによりレーザー光を
被検査物の径方向に走査可能としたため、検査物の表面
欠陥検出を迅速かつ容易に行なえるという効果がある。
装置は、回転軸に対してｆ１３１糾した反射面をもちそ
の回転軸を円板状検査物のセンタを通りかつ検査物表面
に直交するライン上に配置した斜鏡と、内側反射面の傾
斜角度が前記斜鏡の反射面の＃ｉ斜角度と同一で自己の
中心軸を前記斜鏡の回転軸延長線上に揃えて前記被検査
物の上方に配した円錐台形筒状反射形ミラーと、この反
射形ミラーの上方に配しレーザー光を前記斜鏡の回転軸
線上に沿って斜鏡の反射面へ照射する投光器と、この投
光器と前記反射形ミラー間に配して投光器からの投射光
を透過するとともに前記斜鏡と反射形ミラーを介し前記
被検査物表面で反射さｎて同一経路を逆進する反射光を
側方へ反射する選択透過反射部材と、この選択透過反射
部材の側方に位置して選択透過反射部材からの反射光を
光゛直変換する光電素子と、この光＠素子からの出力信
号の低下により被検査物の欠陥の有無を検出する欠陥検
出回路とを備え、前記斜鏡を回転することによりレーザ
ー光を被検査物の円周方向に走査可能とするとともに、
前記斜鏡および前記反射形ミラーを斜鏡の回転軸に沿っ
て相対的に接近・賠隔駆動することによりレーザー光を
被検査物の径方向に走査可能としたため、検査物の表面
欠陥検出を迅速かつ容易に行なえるという効果がある。
第１図は従来例のラインスキャン方式を示す斜視図、第
２図は同じくエリアスキャン方式を示す斜視図、第３
＋ａはこの発明の一実施例の構成図、第４図は斜鏡と反
射形ミラーの動作説明図、第５図は偏光ビームスプリッ
タと四分の一波長板の動作説明図、第６図は増幅回路の
出力波形特性図、第７図は微分回路の出力波形特性図で
ある。 ５・・・投光器、６・・・偏光ビームス１リツタ（選択
（９） 透過反射部材）、７・・・四分の一波長板（選択透過反
射部材）、８・・・反射形ミラー、９・・・レコード盤
（円板状検査物）、１０・・・斜鏡、ｌ】・・・光電素
子、１６・・・欠陥検出回路、１７・・・レーザー光代
理人 弁理士官井暎夫 （１０）
２図は同じくエリアスキャン方式を示す斜視図、第３
＋ａはこの発明の一実施例の構成図、第４図は斜鏡と反
射形ミラーの動作説明図、第５図は偏光ビームスプリッ
タと四分の一波長板の動作説明図、第６図は増幅回路の
出力波形特性図、第７図は微分回路の出力波形特性図で
ある。 ５・・・投光器、６・・・偏光ビームス１リツタ（選択
（９） 透過反射部材）、７・・・四分の一波長板（選択透過反
射部材）、８・・・反射形ミラー、９・・・レコード盤
（円板状検査物）、１０・・・斜鏡、ｌ】・・・光電素
子、１６・・・欠陥検出回路、１７・・・レーザー光代
理人 弁理士官井暎夫 （１０）
Claims (1)
- 回転軸に対して傾斜した反射面をもちその回転軸を円板
状検査物のセンタを通りかつ検査物表面に直交するライ
ン上に配置した斜鏡と、内側反射面の傾斜角度が前記斜
鏡の反射面の傾斜角度と同一で自己の中心軸を前記斜鏡
の回転軸延長線上に揃えて前記被検査物の上方に配した
円錐台形筒状反射形ミラーと、この反射形ミラーの上方
に配しレーザー光を前記斜鏡の回転軸線上に沿って斜鏡
の反射面へ照射する投光器と、この投光器と前記反射形
ミラー間に配して投光器からの投射光を透過するととも
に前記斜鏡と反射形ミラーを介し前記被検査物表面で反
射されて同一経路を逆進する反射光を側方へ反射・する
選択透過反射部材と、この選択透過反射部材の側方に位
置して選択透過反射部材からの反射光を光電変換する充
電素子と、この充電素子からの出力信号の低下により被
検査物の欠陥の有無を検出する欠陥検出回路とを備え、
前記Ｒ鐘を回転することによりレーザー光を被検査物の
円周方向に走査可能とするとともに、前記斜鏡および前
記反射形ミラーを斜鏡の回転軸に沿って相対的に接近・
離隔駆動することによりレーザー光を被検査物の径方向
に走査可能とした円板状検査物の表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11157781A JPS5811838A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 円板状検査物の表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11157781A JPS5811838A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 円板状検査物の表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5811838A true JPS5811838A (ja) | 1983-01-22 |
Family
ID=14564894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11157781A Pending JPS5811838A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 円板状検査物の表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811838A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1637873A2 (en) | 2004-09-16 | 2006-03-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical system for analyzing multi-channel samples and multi-channel sample analyzer employing same |
| JP2014077794A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Seagate Technology Llc | 均等に照射された物品を撮像するための装置 |
| JP2015048356A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-16 | 積水化成品工業株式会社 | 発泡性スチレン系樹脂粒子、発泡粒子、発泡成形体及び発泡粒子の製造方法 |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP11157781A patent/JPS5811838A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1637873A2 (en) | 2004-09-16 | 2006-03-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical system for analyzing multi-channel samples and multi-channel sample analyzer employing same |
| US7209237B2 (en) | 2004-09-16 | 2007-04-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical system for analyzing multi-channel samples and multi-channel sample analyzer employing the same |
| EP1637873A3 (en) * | 2004-09-16 | 2007-08-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical system for analyzing multi-channel samples and multi-channel sample analyzer employing same |
| JP2014077794A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Seagate Technology Llc | 均等に照射された物品を撮像するための装置 |
| US9784688B2 (en) | 2012-10-10 | 2017-10-10 | Seagate Technology Llc | Apparatus for uniformly irradiating and imaging an article |
| JP2015048356A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-16 | 積水化成品工業株式会社 | 発泡性スチレン系樹脂粒子、発泡粒子、発泡成形体及び発泡粒子の製造方法 |
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