JPS58101732A - 薬液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液状の薬品を必要量、安全・確実に取り出せる
薬液供給装置に関するものである。

従来より、液状の薬品を２台のタンクに貯蔵し薬液と反
応しないガスで加圧し、タンクより薬液を取り出す薬液
供給装置は公知である。この装置の使用により薬品ビン
が不用となり、薬品ビンの転倒、破損等による人身事故
が防止でき、また、薬液の必要な箇所に直接パイプ配管
により供給で−き、また、１台目のタンクが空になって
も、２台目を使用し、それか空になる迄に、先に空にな
ったタンクを充填したタンクと取り替える等により円滑
な薬液供給が実現されるようになった。

しかし、従来の装置ではタンクが空になった事を検知す
る空検知機によりタンクか空になった事を検知するため
、検知機か作動するまではどの程度薬液が残っているか
不明である。この為、２台のタンクを識別し、片方のタ
ンクを使い切ってから、もう一方のタンクを使用し、そ
の間に、空になったタンクを充填したタンクに取り替え
ると云ったルールに従って使用する必要があり、現在ど
ちらのタンクから液を取り出すかを作業者に周知徹底さ
せる必要が褐った。更に、空検知機は成る量まで薬液か
使用されると作動するように設定されているが、その設
定値近くでは作動が不確実となりミ空表示ランプがつ°
いたり消えたりする。このような場合、空タンクより薬
液取り出しを行うと、薬液が出ないで、加圧ガスか薬液
取り出し口より噴出し、薬液の飛沫による事故の原因に
もなった。このため、安全・確実で操作の簡便な薬液供
給装置の出現が強く要望される所であった。特に半導体
装置の製造においては、クリーン・ルーム内作業であり
、危険な薬液を多量に使用するため、また、高純度薬品
の安定供給の面から、特に強く要望されていた。

本発明は上記の欠点を除去するため、使用中のタンクを
記憶する記憶装置により、使用中のタンクの切り替え操
作を含め、薬液取り出し操作を全自動化し、安全・確実
で操作の簡便な薬液供給装置を提供せんとするものであ
り、以下図面について詳細に説明する。

第１図は本発明の実施例に於ける薬液取り出し動作原理
の説明図である。図において、１，１′は薬液貯蔵タン
ク、２．２’は薬液パイプ、３，３′は空検知器、４は
薬液取り出し配管（取り出し口）、５．５′は薬液弁、
６−１ｍ６’−１は加圧弁、６−２ｙ　６／−２は放出
弁、７はガス放出口、７′は加圧ガス配管（導入口）で
ある。

薬液貯蔵タンク１から薬液を取り出すには、放−出弁６
−２を閉じ、加圧弁６−１を開けると、加圧ガス導入ロ
ア′より入ってきたガスによりタンク１が加圧され、薬
液弁５を開けると、薬液が薬液パイプ２を通って薬液取
り出し口４より出て来る。薬液貯蔵タンク１か空になる
と、空検知器３が作動する。薬液貯蔵タンク１′につい
ても同様にして薬液取り出しを行なう。

第２図は本発明の実施例に於ける使用中（薬液取り出し
を行なっている）タンクの記憶を行なう記憶装置の回路
図であり、８は保持リレー、８−１゜５−２ｔ　ｓ−ａ
はその端子、８−４はセットコイル、８−５はリセット
コイル、９，９／は手動加圧スイッチ、１０゜１０′は
手動リセット及びセットスイッチ、１１．１１’はそれ
ぞれ空検知器３及び３′からの検知信号で動作する制御
スイッチ、１１−１〜１１−９及び１１’Ｌ、〜ｌ　１
’　−９は端子、１２はドアスイッチ、１２−１〜１２
−３は端子、１３は電源、１４．１４’は空表示ランプ
、１５は取り出しスイッチ、１６．１６’は加圧弁６−
１ｓ　６’　１及び放出弁６−２６／−２の制御線、１
７．１７’は薬液弁５，５′の制御線である。手動加圧
スイッチ９，９′は薬液貯蔵タンク１又は１′を交替し
た時、接合部にリーク等がないか確認のため、タンク１
，１′を加圧するスイッチであり、通常の操作では使用
しない。同様に、手動リセット及びセットスイッチ１０
．１０’も装置保守・点検用である。ドアスイッチ１２
はタンクエ又は１′を交換する時に開けるドアに取り付
けられたスイッチであり、ドアか閉められ使用状態では
端子１２−３と１２−１が接続され、ドアが開くとその
接続が断になる。制御スイッチ１１．１１’は独立した
３回路が連動して動作するスイッチであり、タンク１が
空でない時は端子１１−２とＩＬ３．１１−５と１１−
６及び１１−８と１１−９が接続（図の実線）し、空に
なると、端子１１−１と１ｔ−２，１１４と１１−５及
び１１−７と１１−８が接続（図の点線）する。タンク
１′につかでも１１を１１′に置き換えれば同様である
。保持リレー８は磁石又はラッチ機構によりセット状態
とリセット状態の２状態を有するリレーであり、本発明
実施例ではタンク１をセット状態に、タンク１′をリセ
ット状態に対応させて、それぞれのタンクの使用状態を
記憶させる。

まず、タンク１，１′の両方が充の状態にあり、保持リ
レー８がセット状態にあり、ドアスイッチ１２゛がドア
が閉められた状態になっている時について動作を説明す
る。この場合は電源１３は端子１２−３と１２−１．　
ＩＬ２と１１−３及び８−１と８−２が各々接続されて
いるため、制御線１６に接続される。従って、加圧弁６
−１ｅ６’−１か常時閉電磁弁、放出弁６−２＊６’−
２か常時開の電磁弁で構成され、制御線１６及び１６′
に各々か並列接続されていると、加圧弁り、が開き、放
出弁６−２か閉じタンク１が加圧される。一方、タンク
１′については電源１３が端子Ｌｌと８−３間で断とな
っているため制御線１６′に接続されないため、加圧弁
６′−１が閉、放出弁６−２が開となり加圧されない。

ここで、取出しスイッチ１５を押すと、制御線１７にも
電源１３か接続し、常時閉電磁弁である薬液弁５が開け
られ、タンク１の薬液か薬液取り出し口４より取り出せ
る。次に、タンク１の薬液を使い切ると、空検知器３か
作動し、制御スイッチ１１の端子は端子１１−１とＩＬ
２．１１−４とｎ−５，１１−７と１１−８が各々接続
される。このため、タンク１′か充であると、電源１３
は端子１２−ａｔ　１２−１．１１−７１１ｌ−ｓｔｉ
ｒ−ａｔ・ｒ　Ｐ−５を通ってリセットコイル８−５に
接続され、保持リレー８はリセット状態になり、制御線
１６と電源１３間の回路は断となり、制御線１６′に電
源１３が接続される。この為、加圧弁６−１が閉じ、放
出弁６−２か開くためタンク１″”Ｉｔ常圧になり、一
方、加圧弁６′−１か開き、放出弁６′−２が閉じるた
めタンク１′が加圧される。従って、取出しスイッチ１
５を揮すと、電源１３か制御線１７′に接続するため薬
液弁５′が開き、タンク１′より薬液が薬液取出し口４
に取出される。以上の切替え動作に於て、タンク１の薬
液か車検知器３の空検知設定値近くまで減少して、不確
実な検知動作を行っても、一度保持リレー８がセット状
態からリセット状態になると、タンク１１が空になって
、制御スイッチ１１′が空状態になるまではリセット状
態が保持される。従って、車検知器３，３′の設定値近
傍での不確実動作。

によるタンク切替えの誤動作゛は本発明により防止。

できる。

以上の説明から判るように、本発明では、２台９−の薬
液貯蔵タンク１，１／が両方とも空になるまでに、先に
空になった方のタンクを充填したタンクに取り替えるよ
うにする事により、薬液取り出しスイッチ１５を押すだ
けで、安全・確実に薬液を取・り出せる。また、どちら
のタンクが空になったかは、表示ランプ１４又は１４′
の点灯により表示される。タンクの両方が空になった場
合は、両方のタンクを充填したタンクと取り替えると、
その直前まで使用していたタンクの方から使用され、片
方のタンクのみ充填したタンクと取り替えると、そのタ
ンクが１か１′かにより保持リレー８は自動的にセット
状態かりセット状態になり、取り替えたタンクから薬液
取り出しが行える。以上の説明では簡単のため、加圧弁
６−１＋　６’−１、放出弁６−２゜６′−２及び薬液
弁５，５′か全て電磁弁で構成されているものとして説
明したか、薬液弁５，５′及び加圧弁６−１ｓ　６’−
１を各々常時閉エアー弁とし、放出弁。

６−２　＊　６’−２を常時開エアー弁とし、これら答
弁を各。

各制御線１６．１６’、　１７．１７’で制御される常
時閉型エアー弁駆動用電磁弁で駆動する方式も可能であ
る１第３図は本発明実施例における車検知器の一構成例
の説明図であり、１８は底板、１９は押えリング、・２
０　、２０’　、　２０’　、　２０′はネジ、２１は
ゴム板、２２は押え板、２３は可動板、２４．２４’は
ネジ、２５は本体、２６゜２６’はスイッチ、２７はバ
ネ、２８は座金、２９は調節ネジである。タンク１に薬
液が充填されている時は、その重さにより、可動板２３
は本体２５に押しつけられ、スイッチ２６．２６’はＯ
Ｎ状態となる。しか。

し、タンク１が空になると、バネ２７の作用により可動
板２３が押し上げられる。この時、スイ・ソチ２６゜２
６′を可動板の周囲に複数個設置し、それらを直列。

に接続すれば、タンク１か傾いて上っても、どれか一つ
のスイッチがＯＦＦ状態になればタンク１の空を検知で
きる。

なお、車検知器３としては、静電容量の変化により検知
する方式のものもあるが、この方式では。

センサをタンクの横に設置する必要があり、タンクの交
換に不便となると共に、薬液の種類によって静電容量が
異なるため、検知が不安定となる等の不都合があり、好
ましいものではなかった。

以上説明したように、本発明の薬液供給装置では、作業
者は薬液取り出しスイッチを押すだけで薬液が取り出せ
、貯蔵タンクが空になると別なタンクに自動的に切り替
えられるので、複数の作業者が共用して装置の使用が可
能であり、操作が簡・便で、作業性に優れている。また
、車検知器の設定値近（での不確実動作により、空タン
クを加圧する如き誤操作が未然に防止でき、薬液取り出
し口から、加圧ガスと共に薬液の飛沫の噴出にともなう
事故を回避でき、安全で確実な薬液取り出しか可能にな
る等率（の利点を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における薬液取出し動作の原理
を説明する図、第２１ｉｆｔ本発明実施例における記憶
装置の回路図、第３図は本発明実施例における車検知器
の一構成例の説明図である。 １．１′・・・薬液貯蔵タンク ２．２′・・・薬液パイプ　　３．３′・・・車検知器
４・・・薬液取り出し配管（取り出し口）５．５′・・
・薬液弁　　　　６−１ｓ　６’−１・・・加圧弁６−
２　＋　６’−２・・・放出弁　　７・・・ガス放出ロ
ア′・・・加圧ガス配管（導入口） ８・・・保持リレー　　　　８−１＋　８−２ｓ　８−
３・・・端子８−４・・・セットコイル　　８−５・・
・リセットコイル９．９′・・・手動加圧スイッチ １０．１０’・・・手動リセット及びセットスイッチ１
１．１１’・・・制御スイッチ １１−１〜１１−９及びｎ’−ｉ〜１１’−９・・・端
子１２・・・ドアスイッチ　　　１３・・・電源１４．
１４’・・・空表示ランプ１５・・・取り出しスイッチ
１６．１６’・・・加圧弁及び放出弁の制御線１７．１
７’・・・薬液弁の制御線 ２３・・・可動板　　　　　　２６．２６’・・・スイ
ッチ特許出願人　日本電信電話公社 代理人弁理士　中村純之助 才２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 薬液を貯蔵する複数のタンクと、該タンクを加圧するガ
   ス配管と、該タンクより薬液を取り出す薬液取り出し配
   管と、該タンクか空になった事を検知する空検知器と、
   該複数のタンクのうち薬液取り出しを行っているタンク
   を記憶する記憶装置とを有して構成したことを特徴とす
   る薬液供給装置。