JPH1199940A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH1199940A JPH1199940A JP9266417A JP26641797A JPH1199940A JP H1199940 A JPH1199940 A JP H1199940A JP 9266417 A JP9266417 A JP 9266417A JP 26641797 A JP26641797 A JP 26641797A JP H1199940 A JPH1199940 A JP H1199940A
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Abstract
と共に停止時の搬送台車の位置決めを高精度で行い得る
ようにする。 【解決手段】 搬送台車を走行させるラインに搬送台車
を停止させ得る複数のステーションST1〜ST4を設
け、搬送台車を走行させるラインには、地上側に所要の
間隔で給電を行う第一の一次導体44,45を設け、搬
送台車側に一次導体44,45と対応する第一の二次導
体を設け、第一の一次導体44,45と二次導体により
誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを構成し得
るようにし、各ステーションST1〜ST4には、地上
側に第二の一次導体を設け、搬送台車側には、ステーシ
ョンST1〜ST4の一次導体と対応するよう第二の二
次導体を設け、第二の一次導体と二次導体により同期モ
ータをリニア化したサーボ制御可能なリニア同期モータ
を構成し得るようにする。
Description
びリニア同期モータを用いた搬送装置に関し、特に搬送
台車の位置決めを行う必要のない単なる搬送区間では、
誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを使用し、
停止時に搬送台車の高精度の位置決めが必要な区間で
は、同期モータをサーボ化したリニア同期モータを使用
するようにした搬送装置に関するものである。
板、プラズマディスプレイ等の搬送装置には、誘導モー
タをリニア化したリニア誘導モータを使用したものがあ
る。
た従来の搬送装置の一例には、図17に示すごときもの
がある。
にした搬送台車、cは軌道bに沿って所要の間隔で配置
され且つ搬送台車a走行用の交流電流を給電し得るよう
にしたコイル、dは軌道bに沿って搬送台車aの停止位
置近傍に配置され且つ搬送台車a停止のための逆相の交
流電流を給電し得るようにしたコイル、eはコイルdに
近接して配置され且つ搬送台車a停止のための低周波の
交流電流を給電し得るようにしたコイルであり、各コイ
ルc,d,eにより一次導体が構成されている。
ミ板を積層した構造の二次導体であり、搬送台車aが所
定のコイルc或いはd若しくはe上に位置することによ
り、コイルc,d,eと二次導体fとで誘導モータをリ
ニア化したリニア誘導モータ(LIM)を構成し得るよ
うになっている。
流側に配置され、アクチュエータにより昇降及び軌道b
に沿った方向への水平往復動を行い得るようにした位置
決めストッパ、hはアクチュエータにより上昇して搬送
台車aを停止させるようにしたストッパである。
ているコイルcに給電することにより、搬送台車aへは
走行方向D1へ向けて推力が付与され、このため搬送台
車aは軌道b上を走行方向D1へ走行する。
後は、慣性により次のコイルcまで走行(惰走)する
が、次のコイルcに到達するまでに走行抵抗により若干
減速され、従って、次のコイルcにおいて再び加速され
ることになる。
イルdには、逆相の給電が行われて搬送台車aには走行
方向D1とは逆方向の推力が作用し、その結果搬送台車
aは急激に減速される。
コイルd上の所定位置に到達すると位置決めストッパg
及びストッパhが上昇し、位置決めストッパgが搬送台
車aをストッパh側へ押し、搬送台車aはコイルeに低
周波の交流電流を給電することにより生じる走行方向D
1とは逆方向の小さな推力により更に減速され、ストッ
パhに当接して停止する(図17の仮想線参照)。な
お、このような機械式位置決め装置や図示してない電磁
気式位置決め装置を使用するのは、リニア誘導モータへ
の給電量や給電方向によって搬送台車aを停止させて
も、停止位置にばら付きが生じるためである。
搬送装置には、以下述べるごとき問題点がある。
ア化したものであるため、搬送台車aの高速搬送には適
しているが、搬送台車aを所定位置に停止させる際に高
精度で位置決めすることが難しく、従って高精度位置決
めを行うためには、機械式の位置決め装置や電磁気式の
位置決め装置が必要となる。
決め装置を使用する場合には、位置決め装置の占める空
間が広いため、空間の有効利用を図れず、装置が複雑で
大型化するためコストアップを招来し、接触作動部分が
あるため発塵が生じて搬送装置をクリーンルームに適用
することは難しく、作動部分が多いため装置の信頼性に
欠け、停止−発進のサイクル時間が長くなるため搬送能
率の低下を招来する。
走行を高速で行い得るようにすると共に、搬送台車を停
止させる際に機械式位置決め装置や電磁気式位置決め装
置を使用することもなく、高精度で搬送台車の位置決め
を行い得るようにすることを目的としてなしたものであ
る。
送台車を走行させるラインに搬送台車を停止させ得る少
くともひとつのステーションを設け、搬送台車を走行さ
せるラインには、地上側に所要の間隔で給電を行う第一
の一次導体を設け、前記搬送台車には、前記第一の一次
導体に対応する第一の二次導体を設け、前記第一の一次
導体と第一の二次導体とにより誘導モータをリニア化し
たリニア誘導モータを構成するようにし、前記各ステー
ションには、地上側に給電を行う第二の一次導体を設
け、前記搬送台車には、前記第二の一次導体に対応する
よう、搬送台車の走行方向と平行な方向へ向ってN極と
S極とが対向するよう配置された複数の永久磁石を備え
た第二の二次導体を設け、前記第二の一次導体と第二の
二次導体とにより同期モータをリニア化したサーボ制御
可能なリニア同期モータを構成し得るようにしたもので
ある。
では搬送台車は高速走行が可能となり、ステーション部
分では搬送台車停止時の位置決め精度が向上する。従っ
て本発明では作業能率が向上すると共に装置の信頼性が
向上する。
ム内での物品の搬送に適用することができる。
図面を参照しつつ説明する。
を示す。
して左右両側に配置した無端状の軌道であり、該軌道1
の走行方向D1中途部には、図2に示すごとき傾斜上昇
部1a及び図3に示すごとき傾斜下降部1bを備えてお
り、且つ前後両端水平部には、図1に示すごとく平面的
に見て円弧状のコーナ部1cを備えている。
のステーションST1,ST2,ST3,ST4が設け
られている。
部は、地上側に立設した支持枠3及び支持枠3上に設置
したブラケット4を介して、ブラケット4上に設置した
ブラケット5の高さ方向中途部外側面に固定され、支持
されている(図2、3、4参照)。
地上側に立設した支持枠3を介して、支持枠3上に立設
したブラケット6の頂部外側面に固定され、支持されて
いる(図2、3、5参照)。
上側に立設した構造物8及び構造物8上に設置した支持
枠3並に支持枠3上に設置したブラケット4を介して、
ブラケット4上に設置したブラケット5の高さ方向中途
部外側面に固定され、支持されている(図2、3、4参
照)。
地上側に立設した構造物8及び構造物8上に設置した支
持枠3を介して、支持枠3上に立設したブラケット6の
頂部外側面に固設され、支持されている(図2、3、5
参照)。
bは、地上側から立設されて上端水平部を構造物8に固
定された構造物9及び構造物9に取付けたI型鋼状の水
平部材10並に該水平部材10に取付けたブラケット4
を介して、ブラケット4上に取付けたブラケット5の高
さ方向中途部外側面に固定され、支持されている(図
2、3、6参照)。
1へ向けて走行し得るよう搭載されている。而して、搬
送台車11の詳細は図7〜図9に示されており、該搬送
台車11は、走行方向へ所要の間隔で配置された2個の
台車本体12を備えている。
天板12a及び天板12aの両側に固設された側板12
bを備えて正面形状は略門型フレーム状に形成されてお
り、側板12bの高さ方向中途部及び下端には、側板1
2bから軌道1と平行な前後方向へ突出するローラ支持
部材12c,12dが設けられている。
後端部には、水平ピン13を介して回転自在に案内ロー
ラ14が枢支されており、又ローラ支持部材12dの軌
道1長手方向略中央部には、水平ピン15を介して回転
自在に案内ローラ16が枢支されており、更にローラ支
持部材12dの軌道1長手方向先後端部には、縦ピン1
7を介して回転自在に案内ローラ18が枢支されてい
る。
16は図7に示すごとく、軌道1を上下方向から挾むと
共に、案内ローラ14は軌道1上面を転動し得るように
なっており、案内ローラ16は傾斜上昇部1a、傾斜下
降部1bにおいて、荷重の重心位置のいかんにより、軌
道1下面に接触して軌道1を転動し得るようになってい
る。又、案内ローラ18は軌道1の側面を転動し得るよ
うになっている。
り搬送台車11は軌道1に支持され、走行時に軌道1か
ら脱線しないようになっている。
向略中心位置には、上下端部が天板12aの上下方へ突
出する縦ピン19が枢着され、該縦ピン19の下端突出
部には、厚さ方向が軌道1の左右方向へ向くと共に前後
方向及び上下方向へ延在する、側面形状が矩形状のアル
ミ板製の二次導体20が、前後の台車本体12を一体的
に連結するがごとくに垂直な状態で固設されている。
の略中央位置の下端には、二次導体20の厚さ方向両側
に設けた縦ピン21を介して案内ローラ22が回転自在
に枢支され、案内ローラ22は、軌道1と平行に支持枠
3等の上面に取付けたガイド部材23の縦部材両側面に
沿い転動し得るようになっている。
化したリニア誘導モータ(LIM)の二次導体であり、
搬送台車11が軌道1の傾斜上昇部1aを上昇走行する
際には、搬送台車11に軌道1に沿って搬送台車11を
上昇させるための推力を与え、又搬送台車11が軌道1
の傾斜下降部1bを下降走行する際には、搬送台車11
が軌道1に沿って暴走しないよう、走行方向D1とは逆
方向の推力を与え、搬送台車11に制動力を与えるため
のものである。
略I型の水平板状の台車フレーム24が固設されてい
る。而して、搬送台車11がコーナ部1cを走行する際
には、台車本体12は軌道1により案内されつつ縦ピン
19に対し若干水平方向へ回動し、その結果、搬送台車
11はスムーズにコーナ部1cを走行し得るようになっ
ている。
平ピン25を介して案内ローラ26が枢支されており、
案内ローラ26は前記台車フレーム24の下面を支持し
ている。
走行方向D1に向って左側下面(図7では右側下面)に
は、軌道1の長手方向へ一方の台車本体12側から他方
の台車本体12まで水平に延在するよう、二次導体27
が設置されている。
にアルミ板27bを水平に貼着したもので、誘導モータ
をリニア化したリニア誘導モータ(LIM)の二次導体
であり、搬送台車11が軌道1のコーナ部1cを走行す
る際に搬送台車11に推力を与えるためのものである。
走行方向D1に向って右側下面(図7では左側)には、
L形状のブラケット28が取付けられており、ブラケッ
ト28には、軌道1の長手方向へ一方の台車本体12側
から他方の台車本体12まで垂直に延在するよう、二次
導体29が設置されている(図7、9、10、13参
照)。
1左右方向外側側面に、搬送台車11の走行方向D1と
平行な方向へ向けて交互にN極とS極とが対向するよ
う、磁石保護板29cにより保護された永久磁石29b
を貼着したもので、同期モータをリニア化してサーボ制
御し得るようにしたリニア同期モータ(LSM)の二次
導体である。而して、二次導体29は図1の各ステーシ
ョンST1,ST2,ST3,ST4において、搬送台
車11に走行方向D1と同一方向若しくは逆方向へ向け
た推力を与え搬送台車11を加速若しくは減速し、或い
は走行方向D1に対し逆方向へ向けた推力を与えて搬送
台車11を所定の位置に正確に高精度で停止させるよう
にするためのものである。
板状の別のブラケット30が固設されており、ブラケッ
ト30には、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向
へ台車フレーム24よりも若干長い範囲に亘り延在する
検出片設定部材31が取付けられている(図13参
照)。
示すごとく、光遮蔽部32aとスリット状の光透過部3
2bとが幅T1=T2=48mmで搬送台車11の走行
方向D1と平行な方向へ交互に設けられた検出片32が
形成されており、該検出片32は後述の光センサ39,
40,41に対する永久磁石29bの位置を検出する際
に使用し得るようになっている。
示すごとく、光遮蔽部33aとスリット状の光透過部3
3bとが、T4=2.3mm、T3=1.7mmで搬送
台車11の走行方向D1と平行な方向へ交互に設けられ
た検出片33が形成されており、該検出片33は、後述
の光センサ42,43により、各ステーションST1,
ST2,ST3,ST4における搬送台車11の速度及
び位置を検出するためのものである。
台車11の走行方向D1右側に位置するよう、支持枠3
上に垂直パネル状の枠体34が立設され、枠体34の二
次導体29と対向し得る面には、搬送台車11の走行方
向D1と平行に延在するコイルが一次導体35として取
付けられており(図7、10参照)、搬送台車11がス
テーションST1〜ST4内にある場合には、一次導体
35と二次導体29との間には2〜3mmの隙間が形成
されるようになっている(図7参照)。
する一次導体35のコイルピッチ及び二次導体29の永
久磁石29bの取付け間隔並に検出片32の光遮蔽部3
2aの幅T1、光透過部の幅T2は何れも等しく、本実
施の形態例の場合は48mmである。
より同期モータをリニア化してサーボ制御し得るように
したリニア同期モータ(LSM)が構成されるようにな
っている。
方内側面には、軌道1の左右方向へ位置調整可能なブラ
ケット36が取付けられており、該ブラケット36に設
けた縦ピン37には、搬送台車11がステーションST
1〜ST4を走行する際にブラケット28を案内して一
次導体35と二次導体29との間の隙間を適正に保持し
得るようにした案内ローラ38が枢支されている(図
7、10参照)。
下方内側面には、各ステーションST1〜ST4におい
て、搬送台車11の速度制御や位置制御を行う際に、搬
送台車11のブラケット28に取付けた二次導体29の
永久磁石29bの位置を検出し得るよう、1組あたり3
個の透過形光電スイッチ等の光センサ39,40,41
が、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ所要の
間隔を隔てて2組設けられている(図7、10参照)。
1〜ST4を走行する際には、搬送台車11側に設けた
検出片32が断面U字状の光センサ39,40,41の
内部空間を通過し得るようになっている(図7、10、
14参照)。
は、各ステーションST1〜ST4内の搬送台車11の
制御可能範囲を長くするためである。
位置よりも下方内側面には、各ステーションST1〜S
T4において、搬送台車11の速度制御や位置制御を行
う際に搬送台車11の位置や速度を検出し得るよう1組
あたり2個の透過形光電スイッチ等の光センサ42,4
3が、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ所要
の間隔を隔てて2組設けられている(図7、10、15
参照)。
ス信号A,Bは、光センサ39,40,41により検出
されるオン信号U,V,Wよりも先に検出されるよう、
光センサ42,43,39,40,41は各ステーショ
ンST1〜ST4に配置されている。
1〜ST4を走行する際には、搬送台車11側に設けた
検出片33が断面U字状の光センサ42,43の内部空
間を通過し得るようになっている。
ステーションST1〜ST4内の搬送台車11の制御可
能範囲を長くするためである。
設けるのは、以下のごとき理由による。すなわち、光セ
ンサ42,43の中心間距離L1(図10参照)をn
(T3+T4)+(T3+T4)×(1/4)(n=
1,2,3…)とすることにより、(T3+T4)×
(1/4)mm間隔でパルス信号を得ることができ、精
度の高い制御が可能となるためである。すなわちT3+
T4=1.7+2.3=4mmの場合、1mm間隔でパ
ルス信号を得ることができる。なお、T3=1.7m
m、T4=2.3mmとしたのは光センサ42,43の
回折応答時間などから正確な等間隔のパルス信号を得る
ためのものである。
外れた直線部には、図1に示すごとく、コイルである一
次導体44が、軌道1の長手方向へ所要の間隔で配設さ
れている。而して、一次導体44は図4に示すごとく、
支持枠3に支持されたブラケット5の内側面に固設さ
れ、搬送台車11が当該一次導体44の部分に来た場合
には、一次導体44と二次導体20とにより、誘導モー
タをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)が構成さ
れるようになっている。
bには、図1に示すように、コイルである一次導体44
が、軌道1の長手方向へ隣り合う一次導体44に対し近
接するよう、配設されている。而して、一次導体44は
図6に示すごとく、水平部材10に支持されたブラケッ
ト5の内側面に固設され、搬送台車11が当該一次導体
44の部分に来た場合には、一次導体44と二次導体2
0とにより、誘導モータをリニア化したリニア誘導モー
タ(LIM)が構成されるようになっている。
は、水平方向へ2〜3mmの隙間が形成されるようにな
っており、一次導体44は二次導体20を挾んで左右両
側に位置させているが、片側であってもよい。ただし、
片側の場合は、二次導体20は鉄板にアルミ板を貼着し
た構成とする必要がある。
部には、図1に示すように左右の軌道1のうち曲率半径
の小さい軌道1よりも円弧の内側に位置するよう、円周
方向へ所要の間隔でコイルである一次導体45が配設さ
れており、該一次導体45は、図5に示すごとく、支持
枠3上に立設した支柱46の上端に固設されて、搬送台
車11が当該一次導体45の部分に来た場合には、一次
導体45と二次導体27との間には、上下方向へ向けて
2〜3mmの隙間が形成されるようになっている。
4上に立設されたブラケット48に水平ピン49を介し
上端を枢支されたケージである。
説明する。
している搬送台車11をステーションST4まで走行さ
せる場合には、二次導体29とでリニア同期モータを構
成しているステーションST1の一次導体35に順送の
交流電流の給電が行われる。このため、搬送台車11に
は、走行方向D1に対する推力が作用し、搬送台車11
は走行を開始する。
増加するに従い、搬送台車11は加速され、ステーショ
ンST1から送出された搬送台車11はステーションS
T2に至るまでは軌道1上を慣性力により走行(惰走)
する。
けるため減速して、その走行速度は下降する。このた
め、搬送台車11がステーションST2の所定位置に到
達するとステーションST2の一次導体35にステーシ
ョンST1の場合と同様にして給電が行われ、搬送台車
11は推力を受け加速されて走行方向D1へ走行する。
車11は、軌道1上を惰走し、減速して軌道1の水平部
に配置された一次導体44の部分に到達する。このた
め、二次導体20とでリニア誘導モータが構成されてい
る一次導体44に順送の交流電流の給電が行われ、搬送
台車11は推力を受けて加速される。
すことにより、搬送台車11が傾斜上昇部1aに到達す
ると、傾斜上昇部1aに配置された一次導体44に順次
給電を行うことにより搬送台車11は軌道1に沿った推
力を受け、略等速で軌道1に沿って傾斜上昇部1aを上
昇する。
の水平直線部に到達すると、搬送台車11は前述と同様
にして加速及び惰走による減速を行い構造物8上のコー
ナ部1cに到達する。
部1cに配設された一次導体45の部分に到達すると、
二次導体27とでリニア誘導モータが構成されている一
次導体45に順送の交流電流の給電が行われ、搬送台車
11は推力を受けて加速される。このため、搬送台車1
1は、一次導体45に順次給電を行うことにより、コー
ナ部1cを加速−減速を繰り返しつつ走行し、傾斜下降
部1bに到達する。
の交流電流が給電されるため、搬送台車11には下降方
向と逆方向の推力が作用し、このため、搬送台車11は
傾斜下降部1bの軌道1を制動されつつ略等速で下降す
る。
地上低所側2の水平直線部に到達すると、一次導体44
への給電により加速され、その後走行抵抗により減速し
てステーションST3へ入り、ステーションST3で
は、一次導体35に逆相の交流電流が給電されて搬送台
車11には搬送台車11の走行方向D1とは逆方向の推
力が作用し、これにより搬送台車11は制動されて減速
し、ステーションST3から送出される。
車11は、更に走行抵抗により減速されてステーション
ST4へ送込まれ、ステーションST4でステーション
ST3の場合と同様にして制動され、減速して所定の位
置へ正確に高精度で停止する。
いは停止を行う場合のステーションST1〜ST4にお
ける制御の仕方を図16をも参照しつつ具体的に説明す
る。
11の加速若しくは減速を行う場合 搬送台車11が例えばステーションST2の走行方向D
1上流側で軌道1上を図1のD1方向へ前進走行してい
る場合には、搬送台車11は惰走しており、このためス
テーションST2の一次導体35には、図示してない制
御部からの給電は行われず、制御部は待機の状態にあ
る。
ョンST2の一次導体35へ接近すると、検出片33の
光遮蔽部33aにより光センサ42,43の光を遮蔽す
ることにより、光センサ42,43からは図16のニに
示すごとく、パルス信号A,Bの出力が開始され、出力
されたパルス信号A,Bは図示しない制御部へ入力され
る。このときのパルス信号A,Bは、走行体1が(1/
4)×(T3+T4)mm距離(本実施の形態例の場合
は1mm間隔)だけ移動するごとに発生する。
と、制御部では、単位時間当りのパルス信号A,Bの数
をもととして、搬送台車11の惰走速度の演算が開始さ
れると共に搬送台車11の位置の演算が開始される。
検出片32の走行方向先端の光遮蔽部32aが光センサ
39の光を遮蔽することにより光センサ39からは、図
16のイに示すごときオン信号Uが出力されて制御部へ
与えられる。これにより、搬送台車11の永久磁石29
bの軌道1上における位置が確認される。
て検出片32の走行方向先端の光遮蔽部32aが光セン
サ40の光を遮蔽することにより、光センサ40から
は、図16のロに示すごときオン信号Vが出力されて制
御部へ与えられる。このオン信号Vの立上りにより、搬
送台車11の永久磁石29bが軌道1上において制御を
開始すべき位置X1に到達したことが確認される。
御部からは、位置X1における搬送台車11の惰走速度
に相当する交流電流が搬送台車11の永久磁石29bと
対応している一次導体35に対し給電され、その結果、
搬送台車11には、走行方向D1へ向けて所定の推力が
作用し、搬送台車11は、惰走から動力による同調走行
へ衝撃を受けることなく円滑に切換えられる。
走行へ切換わると、光センサ42,43により検出され
た単位時間当りパルス信号A,Bの数から求めたそのと
きの搬送台車11の走行速度及び搬送台車11の位置並
にステーションST2における搬送台車11の設定走行
速度更には予め設定された加速カーブ或いは減速カーブ
から、搬送台車11の軌道1上の加速開始位置或いは減
速開始位置が演算される。
行して検出片32の搬送台車11走行方向D1先端部に
おける光遮蔽部32aが光センサ39を通過すると、オ
ン信号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りによ
り、搬送台車11の加速開始位置或いは減速開始位置ま
での距離のカウントを開始すべき位置X2に搬送台車1
1が到達したことが確認される。
への走行に伴い、光センサ42,43により検出された
パルス信号A,Bの数から搬送台車11が加速開始位置
或いは減速開始位置に来たか否かが判定され、搬送台車
11が加速開始位置或いは減速開始位置に到達すると、
制御部からステーションST2の一次導体35に給電さ
れる交流電流が設定された加速カーブ或いは減速カーブ
にもとづいて制御され、その結果、搬送台車11の走行
方向と平行に働く推力の大きさ及び方向が調整されて搬
送台車11が所定の位置で所定の走行速度に到達するよ
う加速或いは減速が行われ、搬送台車11の速度制御が
行われる。
に示すごとく、光センサ39,40,41により検出さ
れるオン信号U,V,Wのうちの少くとも何れか1個が
常時発生しており、オン信号が消えることがないため、
制御が可能なことを確認できる。
U,V,Wの全てが切れたら、制御部から一次導体35
への給電は停止され、制御部は待機状態になると共に搬
送台車11は次の目的場所へ向けて軌道1上を惰走す
る。
車11の停止を行う場合 搬送台車11が惰走から、衝撃を受けることなく動力に
よる同調走行へ切換わるまでの作動は、ステーションS
T2で搬送台車11が加速或いは減速される場合と同一
である(図16の位置X1まで)。
へ切換わると、光センサ42,43により検出された単
位時間当りのパルス信号A,Bの数から求めたそのとき
の搬送台車11の走行速度、及び位置X1からの搬送台
車11の停止すべき位置までの距離、並に予め設定され
た減速カーブから、搬送台車11の軌道1上の減速開始
位置が演算される。
て検出片32の搬送台車11走行方向D1先端部におけ
る光遮蔽部32aが光センサ39を通過すると、オン信
号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りにより、搬
送台車11は搬送台車11の減速開始位置までの距離の
カウントを開始すべき位置X2に到達したことが確認さ
れる。
1への走行に伴い、光センサ42,43により検出され
たパルス信号A,Bの数から搬送台車11が減速開始位
置に来たか否かが判定され、搬送台車11が減速開始位
置に到達すると、制御部からステーションST4の一次
導体35に給電される交流電流が設定された減速カーブ
にもとづいて制御され、その結果搬送台車11の走行方
向と逆の方向に推力が付与されて搬送台車11は走行速
度が零になるまで徐々に減速され、搬送台車11は所定
の位置に正確に停止する。
給されており、停止している搬送台車11が前後どちら
かへずれたときは、ずれた方向に対応して電流の流れ方
向を調整すると共に給電量を増加し、搬送台車11をも
との位置へ戻す(サーボロック)。
方向に移動する場合には、永久磁石29bの最初の位置
の確認は、光センサ41によるオン信号W(図16のハ
参照)により行われる。
ステーションST1〜ST4以外の部分では高速搬送が
可能となるため作業能率が向上する。
ンST1〜ST4において、同期モータをリニア化した
リニア同期モータを使用しているため、サーボ制御が可
能となり、従って機械式の位置決め装置や電磁気式の位
置決め装置がなくても搬送台車11の停止精度が向上す
る。
め装置が不要であるため、空間の位置決め装置が占める
部分がなくなり、従って、空間の有効利用が可能となる
と共に装置が大型化せず、コストダウンを図ることがで
きる。
め装置のような接触作動部がないため、接触作動により
生じる発塵の虞れもなく、クリーンルームでのウエハ、
液晶板、プラズマディスプレイパネル等の物品の搬送に
適用することができる。
クルが短縮されるため搬送能率が向上し、装置の信頼性
が向上する。
てあり、従って永久磁石29bの数量は少くてすみ、こ
の点からも設備のコストダウンを図ることができる。
検出したオン信号U,V,Wを永久磁石29bの位置の
検出の他に、制御開始/終了の信号や位置決めを開始す
るための位置を検出する信号としても使用するようにし
たので、センサの削減や制御部の外部制御の簡略化が可
能となった。
センサとして光センサを使用する場合について説明した
が、非接触式のセンサなら光センサに限らず渦電流セン
サ等種々のセンサを使用することが可能なこと、搬送台
車の走行速度等を求めるために使用するセンサは、一次
導体1箇所に対して2個用いる場合について説明した
が、1個であっても実施可能なこと、その他、本発明の
要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ること、等
は勿論である。
き種々の優れた効果を奏し得る。
可能となり、又ステーションの部分では搬送台車の停止
精度が向上するため、全体としては装置の作動能率が向
上すると共に装置の信頼性が向上する。
電も必要な個所のみ行えば良いため、コストダウンを図
ることができる。
に使用することができる。
分に位置する状態を示す縦断面図である。
る。
である。
である。
出片設定部材との関係を示す側面図である。
行う際の信号の状態を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 搬送台車を走行させるラインに搬送台車
を停止させ得る少くともひとつのステーションを設け、 搬送台車を走行させるラインには、地上側に所要の間隔
で給電を行う第一の一次導体を設け、 前記搬送台車には、前記第一の一次導体に対応する第一
の二次導体を設け、 前記第一の一次導体と第一の二次導体とにより誘導モー
タをリニア化したリニア誘導モータを構成するように
し、 前記各ステーションには、地上側に給電を行う第二の一
次導体を設け、 前記搬送台車には、前記第二の一次導体に対応するよ
う、搬送台車の走行方向と平行な方向へ向ってN極とS
極とが対向するよう配置された複数の永久磁石を備えた
第二の二次導体を設け、 前記第二の一次導体と第二の二次導体とにより同期モー
タをリニア化したサーボ制御可能なリニア同期モータを
構成し得るようにしたことを特徴とする搬送装置。
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---|---|---|---|
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Family Applications (1)
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103180092A (zh) * | 2010-10-26 | 2013-06-26 | 村田机械株式会社 | 搬送*** |
EP3299317A1 (en) * | 2016-09-23 | 2018-03-28 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Multi-rail/roller compliance system for independent mover products |
JP2019059570A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
CN113423628A (zh) * | 2019-02-14 | 2021-09-21 | 三菱重工机械***株式会社 | 行驶装置及试验装置 |
US11929655B2 (en) | 2017-09-25 | 2024-03-12 | Canon Kabushiki Kaishi | Transport system and processing system |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26641797A patent/JP4131753B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
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CN103180092A (zh) * | 2010-10-26 | 2013-06-26 | 村田机械株式会社 | 搬送*** |
EP3299317A1 (en) * | 2016-09-23 | 2018-03-28 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Multi-rail/roller compliance system for independent mover products |
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JP2019059570A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
US11929655B2 (en) | 2017-09-25 | 2024-03-12 | Canon Kabushiki Kaishi | Transport system and processing system |
CN113423628A (zh) * | 2019-02-14 | 2021-09-21 | 三菱重工机械***株式会社 | 行驶装置及试验装置 |
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