JPH1184181A - 光結合器 - Google Patents

光結合器

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Publication number
JPH1184181A
JPH1184181A JP9243692A JP24369297A JPH1184181A JP H1184181 A JPH1184181 A JP H1184181A JP 9243692 A JP9243692 A JP 9243692A JP 24369297 A JP24369297 A JP 24369297A JP H1184181 A JPH1184181 A JP H1184181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ridge
optical fiber
optical
ridges
anisotropic etching
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9243692A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Nakamura
努 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 光ファイバの固定を容易にするとともに、光
素子と光ファイバの結合を的確に行うことができる光結
合器を提供する。 【解決手段】 第1のリッジ2及び第2のリッジ3と、
この第1のリッジ2と第2のリッジ3間にシリコンの面
を用いた異方性エッチングにより形成される光素子搭載
用の第3のリッジ4と、光ファイバ用実装基板11のシ
リコンの面を用いた異方性エッチングにより製作した第
4のリッジ12及び第5のリッジ13と、この第4のリ
ッジ12と第5のリッジ13間にシリコンの面を用いた
異方性エッチングにより形成される光ファイバ搭載用の
第6のリッジ14と、この第6のリッジ14にシリコン
の面を用いた異方性エッチングにより形成される光ファ
イバ整列用V溝15と、この光ファイバ整列用V溝15
内に光ファイバを固定する光ファイバ押さえ板17とを
備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光結合器に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の先行技術としては、例え
ば、『文献名:1995年電子情報通信学会総合大会講
演論文集エレクトロニクス1 第185頁』に開示され
るものがあった。図5はかかる従来の光素子モジュール
の構成図である。
【0003】この図に示すように、光ファイバ整列用V
溝102を形成した実装基板101に、LD(半導体レ
ーザ)103、光ファイバ104を搭載し、光結合部を
覆う凹部106及びV溝107を有する押さえ基板10
5で光ファイバ104を挟んで保持するものであった。
なお、108は固定溝、109は接着剤固定部である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の光素子モジュールの構造では、LD103の活
性層と光ファイバ104のコアの高さを一致させるため
には、光ファイバ104を実装基板101と押さえ基板
105両方のV溝102,107で4点支持する必要が
あり、両方のV溝102,107を精度良く作製しなけ
ればならないという問題があった。
【0005】本発明は、上記問題点を除去し、光ファイ
バの固定を容易にするとともに、光素子と光ファイバの
結合を的確に行うことができる光結合器を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕光結合器において、光素子用実装基板のシリコン
の(111)面を用いた異方性エッチングにより製作し
た複数のリッジと、光ファイバ用実装基板のシリコンの
(111)面を用いた異方性エッチングにより製作した
複数のリッジとを備え、前記複数のリッジを互いに嵌合
し、光素子と光ファイバの位置決めを行うようにしたも
のである。
【0007】〔2〕光結合器において、光素子用実装基
板のシリコンの(111)面を用いた異方性エッチング
により製作した第1のリッジ及び第2のリッジと、この
第1のリッジと第2のリッジ間にシリコンの(111)
面を用いた異方性エッチングにより形成される光素子搭
載用の第3のリッジと、光ファイバ用実装基板のシリコ
ンの(111)面を用いた異方性エッチングにより製作
した第4のリッジ及び第5のリッジと、この第4のリッ
ジと第5のリッジ間にシリコンの(111)面を用いた
異方性エッチングにより形成される光素子搭載用の第6
のリッジと、この第6のリッジにシリコンの(111)
面を用いた異方性エッチングにより形成される光ファイ
バ整列用V溝と、この光ファイバ整列用V溝内に光ファ
イバを固定する光ファイバ押さえ板とを備え、前記第1
のリッジを第4のリッジと前記第6のリッジ間に、前記
第2のリッジを前記第5のリッジと第6のリッジ間にそ
れぞれ嵌合し、光素子と光ファイバとの位置決めを行う
ようにしたものである。
【0008】〔3〕上記〔2〕記載の光結合器におい
て、前記光素子搭載用の第3のリッジは、台形形状体を
なし、この台形形状体上面に端面型光素子を搭載し、こ
の端面型光素子の活性層に対応した位置に前記光ファイ
バ整列用V溝に固定された光ファイバの先端が固定され
るようにしたものである。〔4〕上記〔1〕、〔2〕又
は〔3〕記載の光結合器において、前記光素子は発光素
子である。
【0009】〔5〕上記〔1〕、〔2〕又は〔3〕記載
の光結合器において、前記光素子は受光素子である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
実施例を示す光結合器の分解斜視図、図2はその光結合
器の断面図、図3は図2のA−A線断面図、図4はその
光結合器の平面図である。これらの図に示すように、
(100)面で切り出したLD用実装基板1にSiの
(111)面の異方性エッチングにより、X方向に配列
された整列用リッジである第1のリッジ2、第2のリッ
ジ3と、LD搭載用リッジである第3のリッジ4が形成
されている。
【0011】また、LD搭載用リッジ(第3のリッジ)
4上には電極5が形成され、その上にLD6がボンディ
ングされ、かつワイヤボンディングされている。ここ
で、LD搭載用リッジ(第3のリッジ)4は台形形状を
なし、後述する第6のリッジとは組立時にY方向にずれ
た位置になるように形成されている。また、LD6は、
端面発光型のLDであり、後述する光ファイバの先端と
位置決めされる。
【0012】一方、(100)面で切り出した光ファイ
バ用実装基板11にSiの(111)面の異方性エッチ
ングにより、整列用リッジである第4のリッジ12と第
5のリッジ13と光ファイバ搭載用リッジである第6の
リッジ14と光ファイバ用V溝15が形成されている。
ここで、光ファイバ搭載用リッジ(第6のリッジ)14
はLD搭載用リッジ(第3のリッジ)4とは組立時にY
方向にずれた位置となるように形成される(図3及び図
4参照)。
【0013】光ファイバ16は光ファイバ用V溝15に
挿入され、光ファイバ押さえ板17により固定されてい
る。整列用リッジ(第4のリッジ)12と光ファイバ搭
載用リッジ(第6のリッジ)14の間に整列用リッジ
(第1のリッジ)2が、整列用リッジ(第5のリッジ)
13と光ファイバ搭載用リッジ(第6のリッジ)14の
間に整列用リッジ(第2のリッジ)3が、それぞれ嵌合
するように固定されている。
【0014】LD用実装基板1と光ファイバ用実装基板
11を、整列用リッジ2,3,12,13と光ファイバ
搭載用リッジ14を嵌合することにより、LD6の活性
層と光ファイバ16のコアの位置合わせを行うことがで
きる(図3参照)。このように、この実施例によれば、
整列用リッジ2,3,12,13と光ファイバ搭載用リ
ッジ14の嵌合により、位置合わせを行う構造としたこ
とにより、LD6と光ファイバ16を別の基板に搭載す
ることが可能になり、従来できなかった光ファイバ16
の光ファイバ用V溝15と光ファイバ押さえ板17によ
る3点支持が可能になり、光ファイバ用V溝15のみに
高い精度が要求される。
【0015】整列用リッジ2,3,12,13と光ファ
イバ搭載用リッジ14に関しては、嵌合は各リッジの斜
面で行われるため、幅の精度はある程度必要であるが、
高さはある程度以上であれば精度は問わない。また、S
iの(111)面の異方性エッチング幅のずれに対し、
従来は幅のずれに伴うエッチング深さのずれが、LD6
の活性層と光ファイバ16のコアの位置ずれになるが、
この実施例では、高さ方向のずれが生じる整列用リッジ
2,12と光ファイバ搭載用リッジ14の嵌合部と整列
用リッジ3,13と光ファイバ搭載用リッジ14の嵌合
部の中心に近いところに、LD6と光ファイバ16の結
合部があるため、片方がずれた場合には、従来の1/2
のずれ量になり、両方が逆方向にずれた場合には相殺さ
れ、両方が同方向にずれて従来と同じずれ量になるとい
った、製作上の精度も緩和される。
【0016】この実施例では、LD6と光ファイバ16
の結合のための位置合わせに、シリコンの(111)面
を用いた異方性エッチングにより製作したリッジ同士の
嵌合を用いたが、その他の高精度が要求される位置合わ
せに用いることも可能である。なお、上記実施例とし
て、発光素子としてのLDについて説明したが、これに
代わる受光素子の場合にも同様に本発明を適用すること
ができる。
【0017】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0018】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (A)請求項1又は2記載の発明によれば、光ファイバ
の固定を容易にするとともに、光素子と光ファイバの結
合を的確に行うことができる。
【0019】(B)請求項3記載の発明によれば、光素
子と光ファイバとの位置合わせを、光素子用実装基板と
光ファイバ用実装基板の複数のリッジの互いの嵌合によ
り、的確に行うことができる。 (C)請求項4記載の発明によれば、発光素子と光ファ
イバとの位置合わせを的確に行うことができる。
【0020】(D)請求項5記載の発明によれば、受光
素子と光ファイバとの位置合わせを的確に行うことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す光結合器の分解斜視図で
ある。
【図2】本発明の実施例を示す光結合器の断面図であ
る。
【図3】図3は図2のA−A線断面図である。
【図4】本発明の実施例を示す光結合器の平面図であ
る。
【図5】従来の光素子モジュールの構成図である。
【符号の説明】
1 (100)面で切り出したLD用実装基板 2 整列用リッジ(第1のリッジ) 3 整列用リッジ(第2のリッジ) 4 LD搭載用リッジ(第3のリッジ) 5 電極 6 LD 11 (100)面で切り出した光ファイバ用実装基
板 12 整列用リッジ(第4のリッジ) 13 整列用リッジ(第5のリッジ) 14 光ファイバ搭載用リッジ(第6のリッジ) 15 光ファイバ用V溝 16 光ファイバ 17 光ファイバ押さえ板

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a)光素子用実装基板のシリコンの(1
    11)面を用いた異方性エッチングにより製作した複数
    のリッジと、(b)光ファイバ用実装基板のシリコンの
    (111)面を用いた異方性エッチングにより製作した
    複数のリッジとを備え、(c)前記複数のリッジを互い
    に嵌合し、光素子と光ファイバの位置決めを行うことを
    特徴とする光結合器。
  2. 【請求項2】(a)光素子用実装基板のシリコンの(1
    11)面を用いた異方性エッチングにより製作した第1
    のリッジ及び第2のリッジと、(b)該第1のリッジと
    第2のリッジ間にシリコンの(111)面を用いた異方
    性エッチングにより形成される光素子搭載用の第3のリ
    ッジと、(c)光ファイバ用実装基板のシリコンの(1
    11)面を用いた異方性エッチングにより製作した第4
    のリッジ及び第5のリッジと、(d)該第4のリッジと
    第5のリッジ間にシリコンの(111)面を用いた異方
    性エッチングにより形成される光ファイバ搭載用の第6
    のリッジと、(e)該第6のリッジにシリコンの(11
    1)面を用いた異方性エッチングにより形成される光フ
    ァイバ整列用V溝と、(f)該光ファイバ整列用V溝内
    に光ファイバを固定する光ファイバ押さえ板とを備え、
    (g)前記第1のリッジを前記第4のリッジと第6のリ
    ッジ間に、前記第2のリッジを前記第5のリッジと第6
    のリッジ間にそれぞれ嵌合し、光素子と光ファイバとの
    位置決めを行うことを特徴とする光結合器。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の光結合器において、前記
    光素子搭載用の第3のリッジは、台形形状体をなし、該
    台形形状体上面に端面型光素子を搭載し、該端面型光素
    子の活性層に対応した位置に前記光ファイバ整列用V溝
    に固定された光ファイバの先端が固定されることを特徴
    とする光結合器。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の光素子結合器
    において、前記光素子は発光素子であることを特徴とす
    る光結合器。
  5. 【請求項5】 請求項1、2又は3記載の光結合器にお
    いて、前記光素子は受光素子であることを特徴とする光
    結合器。
JP9243692A 1997-09-09 1997-09-09 光結合器 Withdrawn JPH1184181A (ja)

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JP9243692A JPH1184181A (ja) 1997-09-09 1997-09-09 光結合器

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JP9243692A JPH1184181A (ja) 1997-09-09 1997-09-09 光結合器

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JP9243692A Withdrawn JPH1184181A (ja) 1997-09-09 1997-09-09 光結合器

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JP (1) JPH1184181A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004019098A1 (en) * 2002-08-21 2004-03-04 Hymite A/S Encapsulated optical fiber end-coupled device
CN102890317A (zh) * 2011-07-21 2013-01-23 西铁城控股株式会社 光模块
US10048455B2 (en) * 2016-01-18 2018-08-14 Cisco Technology, Inc. Passive fiber array connector alignment to photonic chip
KR20220064777A (ko) 2020-11-12 2022-05-19 한국표준과학연구원 광 검출 소자 및 그 제조 방법

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20041207