JPH1183722A - 粒度分布測定装置のオートアライメント機構 - Google Patents
粒度分布測定装置のオートアライメント機構Info
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- JPH1183722A JPH1183722A JP9249870A JP24987097A JPH1183722A JP H1183722 A JPH1183722 A JP H1183722A JP 9249870 A JP9249870 A JP 9249870A JP 24987097 A JP24987097 A JP 24987097A JP H1183722 A JPH1183722 A JP H1183722A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 10
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】光検出器を移動させることなく光軸の自動調整
をおこなうことのできる構成が簡易でコンパクトな粒度
分布測定装置のオートアライメント機構を提供する。 【解決手段】 散乱式の粒度分布測定装置のオートアラ
イメント機構12にあって、光検出器9の受光面に光軸
調整用のチェックパターンを設けると共に、光源1と光
検出器9との間に光透過板3,5を設け、その光透過板
3,5を光軸11と直交する軸まわりに回動させるため
のアクチュエータ4,6を設ける一方、予め設定・記憶
させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパター
ンからの検出信号に基づいて、光軸11を調整するため
に光透過板3,5を回動させるための制御信号をアクチ
ュエータ4,6に送出する光軸調整処理部12を設けて
いる。
をおこなうことのできる構成が簡易でコンパクトな粒度
分布測定装置のオートアライメント機構を提供する。 【解決手段】 散乱式の粒度分布測定装置のオートアラ
イメント機構12にあって、光検出器9の受光面に光軸
調整用のチェックパターンを設けると共に、光源1と光
検出器9との間に光透過板3,5を設け、その光透過板
3,5を光軸11と直交する軸まわりに回動させるため
のアクチュエータ4,6を設ける一方、予め設定・記憶
させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパター
ンからの検出信号に基づいて、光軸11を調整するため
に光透過板3,5を回動させるための制御信号をアクチ
ュエータ4,6に送出する光軸調整処理部12を設けて
いる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光源からの光を試料
に照射することによって得られる散乱光を光検出器で検
出し、その散乱光強度パターンに基づいて試料中の粒度
分布を測定するようにした粒度分布測定装置におけるオ
ートアライメント機構に関する。
に照射することによって得られる散乱光を光検出器で検
出し、その散乱光強度パターンに基づいて試料中の粒度
分布を測定するようにした粒度分布測定装置におけるオ
ートアライメント機構に関する。
【0002】
【従来の技術】散乱式の粒度分布測定装置の構成は、例
えば図14に示され、同図において、符号aはレーザ光
bを発生させるレーザ管、cはレーザ光を拡大して平行
光束とするビーム拡大器、dは試料eを収容するセル、
fはセルdの後方に配置される集光レンズ、gは集光レ
ンズfから出射される散乱光を検出するためのフォトダ
イオードよりなる光検出器、hは光検出器gからの信号
を取り込むマルチプレクサ、iはマルチプレクサhから
の信号が入力され、散乱光強度パターンに基づいて演算
をおこない粒度分布を求めるCPUである。
えば図14に示され、同図において、符号aはレーザ光
bを発生させるレーザ管、cはレーザ光を拡大して平行
光束とするビーム拡大器、dは試料eを収容するセル、
fはセルdの後方に配置される集光レンズ、gは集光レ
ンズfから出射される散乱光を検出するためのフォトダ
イオードよりなる光検出器、hは光検出器gからの信号
を取り込むマルチプレクサ、iはマルチプレクサhから
の信号が入力され、散乱光強度パターンに基づいて演算
をおこない粒度分布を求めるCPUである。
【0003】このような粒度分布測定装置では、レーザ
管aと光検出器gの光軸が精度よく一致していなければ
ならないが、レーザ管aが熱歪みを起こしたり、セル
d,集光レンズf,光検出器g等を設けたベンチ(図示
省略)が熱で歪んだり、また、セルdを交換したりする
場合、その取付位置が変化するなどにより、光軸にずれ
が生じることがあり、測定の度毎に光軸の調整がおこな
われる。
管aと光検出器gの光軸が精度よく一致していなければ
ならないが、レーザ管aが熱歪みを起こしたり、セル
d,集光レンズf,光検出器g等を設けたベンチ(図示
省略)が熱で歪んだり、また、セルdを交換したりする
場合、その取付位置が変化するなどにより、光軸にずれ
が生じることがあり、測定の度毎に光軸の調整がおこな
われる。
【0004】そのために、光検出器gの光軸中心部に、
図示は省略するが、例えばフォトダイオードよりなる4
分割の光軸調整用受光部を設け、その光軸調整用受光部
を構成する4つの受光素子からそれぞれ出力される強度
信号の大きさが等しくなるように、光検出器gをXY軸
方向に移動させることにより、測定に先立って光軸合わ
せがおこなわれていた。
図示は省略するが、例えばフォトダイオードよりなる4
分割の光軸調整用受光部を設け、その光軸調整用受光部
を構成する4つの受光素子からそれぞれ出力される強度
信号の大きさが等しくなるように、光検出器gをXY軸
方向に移動させることにより、測定に先立って光軸合わ
せがおこなわれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述の光検出器gをX
Y軸方向に移動させるために、通常、圧電素子やステッ
ピングモータ等の2つのアクチュエータm,nが用いら
れ、かつ、その光検出器gはリングディテクタとも称さ
れるように円弧状に形成した複数個のフォトダイオード
よりなる受光素子を板面に扇形状に配列して大きな板状
体に形成されていた。従って、光軸調整のために必要と
される移動量(またはステップ数)を確保するためには
装置内に比較的大きなスペースを要し、また、構成も複
雑になるという難点があった。
Y軸方向に移動させるために、通常、圧電素子やステッ
ピングモータ等の2つのアクチュエータm,nが用いら
れ、かつ、その光検出器gはリングディテクタとも称さ
れるように円弧状に形成した複数個のフォトダイオード
よりなる受光素子を板面に扇形状に配列して大きな板状
体に形成されていた。従って、光軸調整のために必要と
される移動量(またはステップ数)を確保するためには
装置内に比較的大きなスペースを要し、また、構成も複
雑になるという難点があった。
【0006】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
光検出器を移動させることなく光軸の自動調整をおこな
うことのできる構成が簡易でコンパクトなオートアライ
メント機構を提供することを目的としている。
光検出器を移動させることなく光軸の自動調整をおこな
うことのできる構成が簡易でコンパクトなオートアライ
メント機構を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項1に記載の発明では、光源と、平行光束を発
生させるための第1レンズ系と、平行光束を集光させる
ための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、試料に光
を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で検出する
ことにより得られる散乱光強度パターンに基づいて試料
の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度分布測定
装置のオートアライメント機構にあって、前記光検出器
の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共
に、前記光源と光検出器との間に光透過板を設け、その
光透過板を光軸と直交する軸まわりに回動させるための
アクチュエータを設ける一方、予め設定・記憶させた光
軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの
検出信号に基づいて、前記光軸を調整するために前記光
透過板を回動させるための制御信号を前記アクチュエー
タに送出する光軸調整処理部を設けてなることを特徴と
している。
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項1に記載の発明では、光源と、平行光束を発
生させるための第1レンズ系と、平行光束を集光させる
ための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、試料に光
を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で検出する
ことにより得られる散乱光強度パターンに基づいて試料
の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度分布測定
装置のオートアライメント機構にあって、前記光検出器
の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共
に、前記光源と光検出器との間に光透過板を設け、その
光透過板を光軸と直交する軸まわりに回動させるための
アクチュエータを設ける一方、予め設定・記憶させた光
軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの
検出信号に基づいて、前記光軸を調整するために前記光
透過板を回動させるための制御信号を前記アクチュエー
タに送出する光軸調整処理部を設けてなることを特徴と
している。
【0008】請求項2に記載の発明では、光源と、平行
光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集
光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、
試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で
検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づ
いて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度
分布測定装置のオートアライメント機構にあって、前記
光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設
けると共に、前記第2レンズ系と光検出器との間にプリ
ズムを配置し、そのプリズムを光軸と直交する方向また
は光軸と平行な方向に移動させるためのアクチュエータ
を設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラ
ムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づ
いて、前記光軸を調整するために前記プリズムを移動さ
せるための制御信号を前記アクチュエータに送出する光
軸調整処理部を設けてなることを特徴としている。
光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集
光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、
試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で
検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づ
いて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度
分布測定装置のオートアライメント機構にあって、前記
光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設
けると共に、前記第2レンズ系と光検出器との間にプリ
ズムを配置し、そのプリズムを光軸と直交する方向また
は光軸と平行な方向に移動させるためのアクチュエータ
を設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラ
ムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づ
いて、前記光軸を調整するために前記プリズムを移動さ
せるための制御信号を前記アクチュエータに送出する光
軸調整処理部を設けてなることを特徴としている。
【0009】請求項3に記載の発明では、光源と、平行
光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集
光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、
試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で
検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づ
いて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度
分布測定装置のオートアライメント機構にあって、前記
光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設
けると共に、前記第2レンズ系と光検出器との間に、液
体の充填量を調整することによりプリズム状となるプリ
ズム形成体と、そのプリズム形成体に対する液体の充填
量を調整するための調整手段を設ける一方、予め設定・
記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパ
ターンからの検出信号に基づいて、前記光軸を調整する
ために前記プリズム形成体をプリズム状とするための制
御信号を前記調整手段に送出する光軸調整処理部を設け
てなることを特徴としている。
光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集
光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、
試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で
検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づ
いて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度
分布測定装置のオートアライメント機構にあって、前記
光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設
けると共に、前記第2レンズ系と光検出器との間に、液
体の充填量を調整することによりプリズム状となるプリ
ズム形成体と、そのプリズム形成体に対する液体の充填
量を調整するための調整手段を設ける一方、予め設定・
記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパ
ターンからの検出信号に基づいて、前記光軸を調整する
ために前記プリズム形成体をプリズム状とするための制
御信号を前記調整手段に送出する光軸調整処理部を設け
てなることを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に本発明の散乱式の粒度分布
装置のオートアライメント機構の実施例を図面に基づい
て詳細に説明する。図1は装置の構成を示し、符号1は
レーザ光を発生する光源(レーザ管)、2はレーザ光を
適宜に拡大して平行光束とするビーム拡大器(本発明で
いう第1レンズ系)で、例えば2つの凸レンズ21,2
2(図4(A)参照)よりなる。3は光軸11と直交す
る方向の軸を中心に回動する平行平板状のガラス体より
なる光透過板、4はその光透過板3を回動させるステッ
プモータよりなるアクチュエータ、5は光透過板3の軸
と直交し、かつ光軸11と直交する軸を中心に回動する
平行平板状のガラス体よりなる光透過板、6は光透過板
5を回動させるためのステップモータよりなるアクチュ
エータである。7は凸レンズよりなる集光レンズ(本発
明でいう第2レンズ系)、8はフローセルである。
装置のオートアライメント機構の実施例を図面に基づい
て詳細に説明する。図1は装置の構成を示し、符号1は
レーザ光を発生する光源(レーザ管)、2はレーザ光を
適宜に拡大して平行光束とするビーム拡大器(本発明で
いう第1レンズ系)で、例えば2つの凸レンズ21,2
2(図4(A)参照)よりなる。3は光軸11と直交す
る方向の軸を中心に回動する平行平板状のガラス体より
なる光透過板、4はその光透過板3を回動させるステッ
プモータよりなるアクチュエータ、5は光透過板3の軸
と直交し、かつ光軸11と直交する軸を中心に回動する
平行平板状のガラス体よりなる光透過板、6は光透過板
5を回動させるためのステップモータよりなるアクチュ
エータである。7は凸レンズよりなる集光レンズ(本発
明でいう第2レンズ系)、8はフローセルである。
【0011】9はフォトダイオードよりなる受光素子を
配列した光検出器(図3参照)で、4つの受光素子より
なる光軸調整用の透過光検出用測定部(チェックパター
ン)91と、その透過光検出用測定部91を含む一つの
検出平面(受光面)に設けられる散乱光検出用測定部9
2,93よりなる。10は光検出器9からの検出信号を
取り込むマルチプレクサ、12はCPUであり、マルチ
プレクサ10からの信号が入力され、予め設定・記憶さ
れている所定の制御プログラムに従い、散乱光強度パタ
ーンに基づいて粒度分布の測定をおこなうと共に、その
測定に先立ち、光軸11を調整するためにアクチュエー
タ4,6に制御信号を送出する光軸調整処理部を含むも
のである。
配列した光検出器(図3参照)で、4つの受光素子より
なる光軸調整用の透過光検出用測定部(チェックパター
ン)91と、その透過光検出用測定部91を含む一つの
検出平面(受光面)に設けられる散乱光検出用測定部9
2,93よりなる。10は光検出器9からの検出信号を
取り込むマルチプレクサ、12はCPUであり、マルチ
プレクサ10からの信号が入力され、予め設定・記憶さ
れている所定の制御プログラムに従い、散乱光強度パタ
ーンに基づいて粒度分布の測定をおこなうと共に、その
測定に先立ち、光軸11を調整するためにアクチュエー
タ4,6に制御信号を送出する光軸調整処理部を含むも
のである。
【0012】このような構成により、フローセル8内の
試料にレーザ光を照射すると、レーザ光の一部が試料中
の粒子を照射して散乱光となり、残りの光りは粒子と粒
子との間を通過して透過光となり、共に光検出器9に至
る。
試料にレーザ光を照射すると、レーザ光の一部が試料中
の粒子を照射して散乱光となり、残りの光りは粒子と粒
子との間を通過して透過光となり、共に光検出器9に至
る。
【0013】このような構成の粒度分布測定装置では、
測定に先立ち、測定対象となる試料をフローセル8内に
注入した状態にて、まず、光軸調整処理部からの指令に
よってオートアライメント(光軸自動調整)がおこなわ
れる。すなわち、透過光検出用測定部91の4つの受光
素子911〜914における各受光強度が全て等しくな
るように両アクチュエータ4,6に対して制御信号が送
出され、両光透過板3,5の回動により、光軸11が自
動調整される(図2参照)。なお、光透過光板3,5の
厚さや屈折率を変えることにより、アクチュエータ4,
6の駆動量と光軸11の移動量を調整することができ
る。
測定に先立ち、測定対象となる試料をフローセル8内に
注入した状態にて、まず、光軸調整処理部からの指令に
よってオートアライメント(光軸自動調整)がおこなわ
れる。すなわち、透過光検出用測定部91の4つの受光
素子911〜914における各受光強度が全て等しくな
るように両アクチュエータ4,6に対して制御信号が送
出され、両光透過板3,5の回動により、光軸11が自
動調整される(図2参照)。なお、光透過光板3,5の
厚さや屈折率を変えることにより、アクチュエータ4,
6の駆動量と光軸11の移動量を調整することができ
る。
【0014】この場合、嵩高い光検出器9は固定状態と
して、寸法形状の比較的小さな光透過板3,5を回動さ
せるのみでよく、移動のためのスペースを別途要するこ
となく、また、その光透過板3,5のわずかな回動によ
って光軸11の調整量を大きくとれるので、従来よりも
迅速にオートアライメントが可能となり、また、装置を
よりコンパクトに形成することも可能となる。
して、寸法形状の比較的小さな光透過板3,5を回動さ
せるのみでよく、移動のためのスペースを別途要するこ
となく、また、その光透過板3,5のわずかな回動によ
って光軸11の調整量を大きくとれるので、従来よりも
迅速にオートアライメントが可能となり、また、装置を
よりコンパクトに形成することも可能となる。
【0015】上述のオートアライメントが完了した後
に、散乱光検出用測定部92により粒度分布の測定がお
こなわれる。その散乱光検出用測定部92は、図3に示
されるように、円弧状に形成した複数個の受光素子列9
2(921〜925)を扇形状に配列したものである。
に、散乱光検出用測定部92により粒度分布の測定がお
こなわれる。その散乱光検出用測定部92は、図3に示
されるように、円弧状に形成した複数個の受光素子列9
2(921〜925)を扇形状に配列したものである。
【0016】なお、本発明は光検出器9における受光素
子の配列を図3に示すものに限定するものではなく、少
なくとも受光面にチェックパターンと散乱光検出用測定
部とが適宜な受光素子の配列で形成されていればよい。
子の配列を図3に示すものに限定するものではなく、少
なくとも受光面にチェックパターンと散乱光検出用測定
部とが適宜な受光素子の配列で形成されていればよい。
【0017】一方、上述のフローセル8の位置は図1に
示す位置に限られることなく、ビーム拡大器2と光透過
板3との間に配置してもよく、光透過板5と集光レンズ
7との間に配置してもよい。また、ビーム拡大器を構成
する第1レンズ系2のレンズの組み合わせは、例えば図
4(A)〜(C)および図5(A)〜(C)に示される
中から適宜に選択されてよい。なお、図4(A)は凸レ
ンズ21,22の組み合わせであり、図4(B)は凹レ
ンズ23と凸レンズ24、図4(C)は凹レンズ23と
合わせレンズ(凹レンズ24と凸レンズ25)、図5
(A)は凸レンズ26と27、図5(B)は合わせレン
ズ(凸レンズ26と凹レンズ23)、(凹レンズ24と
凸レンズ25)同士、図5(C)は合わせレンズ(凸レ
ンズ26と凹レンズ23)、(凹レンズ24と凸レンズ
25)同士の組み合わせである。
示す位置に限られることなく、ビーム拡大器2と光透過
板3との間に配置してもよく、光透過板5と集光レンズ
7との間に配置してもよい。また、ビーム拡大器を構成
する第1レンズ系2のレンズの組み合わせは、例えば図
4(A)〜(C)および図5(A)〜(C)に示される
中から適宜に選択されてよい。なお、図4(A)は凸レ
ンズ21,22の組み合わせであり、図4(B)は凹レ
ンズ23と凸レンズ24、図4(C)は凹レンズ23と
合わせレンズ(凹レンズ24と凸レンズ25)、図5
(A)は凸レンズ26と27、図5(B)は合わせレン
ズ(凸レンズ26と凹レンズ23)、(凹レンズ24と
凸レンズ25)同士、図5(C)は合わせレンズ(凸レ
ンズ26と凹レンズ23)、(凹レンズ24と凸レンズ
25)同士の組み合わせである。
【0018】図6,図7は異なる実施例を示し、この場
合、両光透過板3,5を集光レンズ7と光検出器9の間
に配置し、その集光レンズ7とビーム拡大器2との間に
フローセル8を配置している。この場合においても、フ
ローセル8は集光レンズ7と光透過板3の間、または光
透過板5と光検出器9との間に配置してもよい。
合、両光透過板3,5を集光レンズ7と光検出器9の間
に配置し、その集光レンズ7とビーム拡大器2との間に
フローセル8を配置している。この場合においても、フ
ローセル8は集光レンズ7と光透過板3の間、または光
透過板5と光検出器9との間に配置してもよい。
【0019】図8は別の実施例を示し、この場合、平行
平板状のガラス体よるなる光透過板3,5に代えて、図
示のようなテーパ状断面を有するプリズム13,15を
集光レンズ7と光検出器9との間に配置し、かつ、その
プリズム13,15を光軸11と直交する方向であり、
かつ互いに直交する方向に移動させるためのアクチュエ
ータ14,16を設けている。
平板状のガラス体よるなる光透過板3,5に代えて、図
示のようなテーパ状断面を有するプリズム13,15を
集光レンズ7と光検出器9との間に配置し、かつ、その
プリズム13,15を光軸11と直交する方向であり、
かつ互いに直交する方向に移動させるためのアクチュエ
ータ14,16を設けている。
【0020】上述のアクチュエータ14,16はモータ
(例えばステップモータ等)の回転によりその回転軸と
連係させた作動軸が進退動作するものであり、基本的に
は、その作動軸と戻しばね141,161との間にプリ
ズム13を挟持させることによってそのプリズム13を
移動させるようにし、このようなプリズム13,15を
互いに直交する方向に配置することによって、光軸11
のXY軸方向への調整が可能となる。なお、ステップモ
ータに代えて圧電抵抗素子(PZT)を用いてもよい。
また、プリズム13,15はフローセル8と集光レンズ
7との間に配置してもよく、あるいは第2レンズ系2と
フローセル8との間に配置してもよい。さらに、フロー
セル8は集光レンズ7とプリズム13との間またはプリ
ズム15と光検出器9との間に配置してもよい。
(例えばステップモータ等)の回転によりその回転軸と
連係させた作動軸が進退動作するものであり、基本的に
は、その作動軸と戻しばね141,161との間にプリ
ズム13を挟持させることによってそのプリズム13を
移動させるようにし、このようなプリズム13,15を
互いに直交する方向に配置することによって、光軸11
のXY軸方向への調整が可能となる。なお、ステップモ
ータに代えて圧電抵抗素子(PZT)を用いてもよい。
また、プリズム13,15はフローセル8と集光レンズ
7との間に配置してもよく、あるいは第2レンズ系2と
フローセル8との間に配置してもよい。さらに、フロー
セル8は集光レンズ7とプリズム13との間またはプリ
ズム15と光検出器9との間に配置してもよい。
【0021】図9,図10はさらに異なる実施例を示
し、この場合、集光レンズ7と光検出器9との間に、光
軸11と平行な方向に移動するプリズム23と光透過板
3とを配置している。なお、24はアクチュエータ、2
41は戻しばねであり、そのアクチュエータ24は図8
に示すアクチュエータ14等と同様のものである。この
ような構成により、プリズム23の光軸11に沿う方向
への移動によって光軸11を上下に移動調整することが
でき、また、光透過板3を光軸11と直交する軸まわり
に回動させることにより光軸11を左右に移動調整する
ことができる。なお、このプリズム23と光透過板3は
位置を入れ替えてもよく、また、フローセル8は集光レ
ンズ7とプリズム23の間、または光透過板3と光検出
器9の間に配置してもよい。なお、光透過板3に替え
て、プリズム23と同様のプリズムを光軸を回転軸とし
てプリズム23に対して90°回転させた位置に配置し
てもよい。
し、この場合、集光レンズ7と光検出器9との間に、光
軸11と平行な方向に移動するプリズム23と光透過板
3とを配置している。なお、24はアクチュエータ、2
41は戻しばねであり、そのアクチュエータ24は図8
に示すアクチュエータ14等と同様のものである。この
ような構成により、プリズム23の光軸11に沿う方向
への移動によって光軸11を上下に移動調整することが
でき、また、光透過板3を光軸11と直交する軸まわり
に回動させることにより光軸11を左右に移動調整する
ことができる。なお、このプリズム23と光透過板3は
位置を入れ替えてもよく、また、フローセル8は集光レ
ンズ7とプリズム23の間、または光透過板3と光検出
器9の間に配置してもよい。なお、光透過板3に替え
て、プリズム23と同様のプリズムを光軸を回転軸とし
てプリズム23に対して90°回転させた位置に配置し
てもよい。
【0022】図11ないし図12はさらに別の実施例を
示し、この場合、集光レンズ7と光検出器9との間に、
液体(例えば水)の充填量を調整することによってプリ
ズム状となるプリズム形成体33と光透過板3とを配置
している。そのプリズム形成体33(図13参照)は、
弾力性のある耐水性合成ゴム332と蛇腹状の耐水性合
成ゴム333の両側にガラス板等の光透過板331,3
31を貼着し、その蛇腹状の耐水性合成ゴム333に設
けた接続管334を給排水チューブ335と接続し、そ
の給排水チューブ335を三方電磁弁34を介して給排
水シリンダ(調整手段)35と接続している。
示し、この場合、集光レンズ7と光検出器9との間に、
液体(例えば水)の充填量を調整することによってプリ
ズム状となるプリズム形成体33と光透過板3とを配置
している。そのプリズム形成体33(図13参照)は、
弾力性のある耐水性合成ゴム332と蛇腹状の耐水性合
成ゴム333の両側にガラス板等の光透過板331,3
31を貼着し、その蛇腹状の耐水性合成ゴム333に設
けた接続管334を給排水チューブ335と接続し、そ
の給排水チューブ335を三方電磁弁34を介して給排
水シリンダ(調整手段)35と接続している。
【0023】その給排水シリンダ35は水の充填された
シリンダ本体36と、ピストン37と、そのピストンロ
ッドに形成されたラック38と、そのラック38と噛み
合うピニオン39と、そのピニオン39を回転させるス
テップモータ40とよりなり、上述の光透過板3を光軸
11と直交する軸まわりに回動させるアクチュエータ4
と、三方電磁弁34と、ステップモータ40とがCPU
12からの制御信号によって作動し、光軸11の調整が
おこなわれる。
シリンダ本体36と、ピストン37と、そのピストンロ
ッドに形成されたラック38と、そのラック38と噛み
合うピニオン39と、そのピニオン39を回転させるス
テップモータ40とよりなり、上述の光透過板3を光軸
11と直交する軸まわりに回動させるアクチュエータ4
と、三方電磁弁34と、ステップモータ40とがCPU
12からの制御信号によって作動し、光軸11の調整が
おこなわれる。
【0024】すなわち、図11の状態にてピストン37
を左に作動させるとプリズム形成体33内に水が充填さ
れ、蛇腹状の耐水性合成ゴム333が伸びプリズム形成
体33が下拡がりのプリズム状に拡開する(図12参
照)。その開き角度は、ピストン37の移動量(ステッ
プモータ40の歩進数)によって決定され、これによ
り、光軸11を上下に調整できる。一方、アクチュエー
タ4により光透過板3を回動させることによって光軸1
1を左右に調整することができる。他方、三方電磁弁3
4をオン操作することにより、プリズム形成体33内の
水をドレン受け41に排水させ、水抜きをおこなうこと
ができる。なお、この場合においても、プリズム形成体
33と光透過板3の位置は入れ替えてもよく、また、フ
ローセル8は集光レンズ7とプリズム形成体33の間、
または、光透過板3と光検出器9の間に配置してもよ
い。
を左に作動させるとプリズム形成体33内に水が充填さ
れ、蛇腹状の耐水性合成ゴム333が伸びプリズム形成
体33が下拡がりのプリズム状に拡開する(図12参
照)。その開き角度は、ピストン37の移動量(ステッ
プモータ40の歩進数)によって決定され、これによ
り、光軸11を上下に調整できる。一方、アクチュエー
タ4により光透過板3を回動させることによって光軸1
1を左右に調整することができる。他方、三方電磁弁3
4をオン操作することにより、プリズム形成体33内の
水をドレン受け41に排水させ、水抜きをおこなうこと
ができる。なお、この場合においても、プリズム形成体
33と光透過板3の位置は入れ替えてもよく、また、フ
ローセル8は集光レンズ7とプリズム形成体33の間、
または、光透過板3と光検出器9の間に配置してもよ
い。
【0025】上述のプリズム形成体33およびその調整
手段35の構成は上述のものに限定されることなく、適
宜に選択・設計されてよく、少なくとも、液体の充填量
を調整することによりプリズム状となるものであれば、
構成の如何を問わず採用できる。
手段35の構成は上述のものに限定されることなく、適
宜に選択・設計されてよく、少なくとも、液体の充填量
を調整することによりプリズム状となるものであれば、
構成の如何を問わず採用できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の粒度分布
測定装置のオートアライメント機構によれば、光検出器
の受光面に光軸調整用のパターンを設けると共に、光源
と光検出器との間に光透過板を設け、アクチュエータに
よりその光透過板を光軸と直交する軸まわりに回動させ
るようにする一方、予め設定・記憶させた光軸調整プロ
グラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に
基づいて、前記アクチュエータを作動させることによ
り、光軸を自動調整するようにしたので、アクチュエー
タの駆動量を少なくしてより迅速な光軸の調整が可能と
なる。
測定装置のオートアライメント機構によれば、光検出器
の受光面に光軸調整用のパターンを設けると共に、光源
と光検出器との間に光透過板を設け、アクチュエータに
よりその光透過板を光軸と直交する軸まわりに回動させ
るようにする一方、予め設定・記憶させた光軸調整プロ
グラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に
基づいて、前記アクチュエータを作動させることによ
り、光軸を自動調整するようにしたので、アクチュエー
タの駆動量を少なくしてより迅速な光軸の調整が可能と
なる。
【0027】また、上述の光透過板に代えて、プリズム
を設け、アクチュエータによりそのプリズムを光軸と直
交する方向または光軸と平行な方向に移動させるように
してもよく、あるいは、液体の充填量を調整することに
よりプリズム状となるプリズム形成体を用いても、同様
の効果を得ることができる。
を設け、アクチュエータによりそのプリズムを光軸と直
交する方向または光軸と平行な方向に移動させるように
してもよく、あるいは、液体の充填量を調整することに
よりプリズム状となるプリズム形成体を用いても、同様
の効果を得ることができる。
【図1】本発明の粒度分布測定装置のオートアライメン
ト機構の一実施例を示す構成図である。
ト機構の一実施例を示す構成図である。
【図2】同光軸調整時の説明図である。
【図3】同光検出器の受光素子の配列の一例を示す正面
図である。
図である。
【図4】(A)〜(C)は同第1レンズ系のレンズの組
み合わせの例を示す図面である。
み合わせの例を示す図面である。
【図5】(A)〜(C)は同第2レンズ系のレンズの組
み合わせの例を示す図面である。
み合わせの例を示す図面である。
【図6】同異なる実施例を示す構成図である。
【図7】同光軸調整時の説明図である。
【図8】同別の実施例を示す構成図である。
【図9】同さらに異なる実施例を示す構成図である。
【図10】同光軸調整時の説明図である。
【図11】同さらに別の実施例を示す構成図である。
【図12】同光軸調整時の説明図である。
【図13】同プリズム構成体の断面構成図である。
【図14】従来の粒度分布測定装置の一例を示す構成図
である。
である。
1…光源、2…第1レンズ系、3,5…光透過板、4,
6…アクチュエータ、7…第2レンズ系、9…光検出
器、91…チェックパターン、11…光軸、12…光軸
調整処理部(CPU)、13,15,23…プリズム,
14,16,24…アクチュエータ、33…プリズム形
成体、35…調整手段。
6…アクチュエータ、7…第2レンズ系、9…光検出
器、91…チェックパターン、11…光軸、12…光軸
調整処理部(CPU)、13,15,23…プリズム,
14,16,24…アクチュエータ、33…プリズム形
成体、35…調整手段。
Claims (3)
- 【請求項1】 光源と、平行光束を発生させるための第
1レンズ系と、平行光束を集光させるための第2レンズ
系と、光検出器とを具備し、試料に光を照射させて発生
した散乱光を前記光検出器で検出することにより得られ
る散乱光強度パターンに基づいて試料の粒度分布を測定
するようにした散乱式の粒度分布測定装置のオートアラ
イメント機構であって、前記光検出器の受光面に光軸調
整用のチェックパターンを設けると共に、前記光源と光
検出器との間に光透過板を設け、その光透過板を光軸と
直交する軸まわりに回動させるためのアクチュエータを
設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラム
に従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づい
て、前記光軸を調整するために前記光透過板を回動させ
るための制御信号を前記アクチュエータに送出する光軸
調整処理部を設けてなることを特徴とする粒度分布測定
装置のオートアライメント機構。 - 【請求項2】 光源と、平行光束を発生させるための第
1レンズ系と、平行光束を集光させるための第2レンズ
系と、光検出器とを具備し、試料に光を照射させて発生
した散乱光を前記光検出器で検出することにより得られ
る散乱光強度パターンに基づいて試料の粒度分布を測定
するようにした散乱式の粒度分布測定装置のオートアラ
イメント機構であって、前記光検出器の受光面に光軸調
整用のチェックパターンを設けると共に、前記第2レン
ズ系と光検出器との間にプリズムを配置し、そのプリズ
ムを光軸と直交する方向または光軸と平行な方向に移動
させるためのアクチュエータを設ける一方、予め設定・
記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパ
ターンからの検出信号に基づいて、前記光軸を調整する
ために前記プリズムを移動させるための制御信号を前記
アクチュエータに送出する光軸調整処理部を設けてなる
ことを特徴とする粒度分布測定装置のオートアライメン
ト機構。 - 【請求項3】 光源と、平行光束を発生させるための第
1レンズ系と、平行光束を集光させるための第2レンズ
系と、光検出器とを具備し、試料に光を照射させて発生
した散乱光を前記光検出器で検出することにより得られ
る散乱光強度パターンに基づいて試料の粒度分布を測定
するようにした散乱式の粒度分布測定装置のオートアラ
イメント機構であって、前記光検出器の受光面に光軸調
整用のチェックパターンを設けると共に、前記第2レン
ズ系と光検出器との間に、液体の充填量を調整すること
によりプリズム状となるプリズム形成体と、そのプリズ
ム形成体に対する液体の充填量を調整するための調整手
段を設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログ
ラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基
づいて、前記光軸を調整するために前記プリズム形成体
をプリズム状とするための制御信号を前記調整手段に送
出する光軸調整処理部を設けてなることを特徴とする粒
度分布測定装置のオートアライメント機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9249870A JPH1183722A (ja) | 1997-08-30 | 1997-08-30 | 粒度分布測定装置のオートアライメント機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9249870A JPH1183722A (ja) | 1997-08-30 | 1997-08-30 | 粒度分布測定装置のオートアライメント機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1183722A true JPH1183722A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17199425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9249870A Pending JPH1183722A (ja) | 1997-08-30 | 1997-08-30 | 粒度分布測定装置のオートアライメント機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1183722A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002098624A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Horiba Ltd | 散乱式粒子径分布測定装置 |
US6407812B1 (en) * | 1999-04-16 | 2002-06-18 | Horiba, Ltd. | Laser beam optical axis adjusting mechanism in particle size distribution measuring apparatus |
JP2014032075A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
US9429505B2 (en) | 2014-12-17 | 2016-08-30 | Shimadzu Corporation | Particle size distribution measuring apparatus |
-
1997
- 1997-08-30 JP JP9249870A patent/JPH1183722A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6407812B1 (en) * | 1999-04-16 | 2002-06-18 | Horiba, Ltd. | Laser beam optical axis adjusting mechanism in particle size distribution measuring apparatus |
JP2002098624A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Horiba Ltd | 散乱式粒子径分布測定装置 |
JP2014032075A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
US9429505B2 (en) | 2014-12-17 | 2016-08-30 | Shimadzu Corporation | Particle size distribution measuring apparatus |
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