JP2008026049A - フランジ焦点距離測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を高精度かつ定量的に測定できるフランジ焦点距離測定装置を提供する。
【解決手段】被検レンズ20およびこの被検レンズ20を保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準距離Lからのずれ量Δを測定するフランジ焦点距離測定装置1を、光源5およびレチクルチャート8を有する点光源と、この点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズ9と、このコリメータレンズ9から出射した平行光束を集光する集光レンズ12と、この集光レンズ12の焦点位置近傍に後側焦点が位置するように配置された被検レンズ20と、集光レンズ12により集光され、被検レンズ20で平行光束に変換された光線を反射する反射鏡11と、反射鏡11で反射された光線を、被検レンズ20および集光レンズ12を透過させて、再び平行光束に変換して検出し、ずれ量を算出するマイクロレンズアレイ13、撮像素子14、および、解析装置15とから構成する。
【選択図】図1
【解決手段】被検レンズ20およびこの被検レンズ20を保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準距離Lからのずれ量Δを測定するフランジ焦点距離測定装置1を、光源5およびレチクルチャート8を有する点光源と、この点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズ9と、このコリメータレンズ9から出射した平行光束を集光する集光レンズ12と、この集光レンズ12の焦点位置近傍に後側焦点が位置するように配置された被検レンズ20と、集光レンズ12により集光され、被検レンズ20で平行光束に変換された光線を反射する反射鏡11と、反射鏡11で反射された光線を、被検レンズ20および集光レンズ12を透過させて、再び平行光束に変換して検出し、ずれ量を算出するマイクロレンズアレイ13、撮像素子14、および、解析装置15とから構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、カメラレンズのフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定するためのフランジ焦点距離測定装置に関する。
カメラレンズの製造工程において、カメラレンズマウントのフランジ面から後側焦点までの距離(これを「フランジ焦点距離」と呼ぶ)を調整する工程がある。従来は、コリメータと反射鏡を用い、コリメータから出射された平行光束を被検レンズに照射してこの被検レンズにより結像させ、結像位置近傍であって、その反射光が再び同じ光路を辿る位置に反射鏡を移動させ、マウント基準面と反射鏡の反射面との距離をフランジ焦点距離として測定するオートコリメーション法が一般的に用いられていた。このオートコリメーション法においては、目視によりコリメータで観測されるスリット像が最良になるように反射鏡の位置を調整し、そのずれ量をフランジ焦点距離のずれ量として測定している。また、最近では、反射鏡をCCD等の撮像素子に置き換えてフランジ焦点位置のずれ量を電気的に検出するように構成された装置も知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、目視による測定は、手動で反射鏡を移動させて、スリット像の色目を判定することによりピント位置を判断するように構成されているため、個人差が大きく、作業の標準化も困難であった。また、CCD等による撮像素子を用いる測定方法においても、像のコントラストやMTFのピーク位置をコンピュータによって算出させるが、F値の大きなレンズはデフォーカスに対するコントラスト(MTF)の変化量が小さいためピーク位置の測定誤差が大きくなるという課題もある。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を高精度かつ定量的に測定できるフランジ焦点距離測定装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、第1の本発明に係るフランジ焦点距離測定装置は、被検レンズおよびこの被検レンズを保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準値(例えば、実施形態における基準距離L)からのずれ量を測定するものであり、点光源(例えば、実施形態におけるレチクルチャート8)から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズと、このコリメータレンズから出射した平行光束を集光する集光レンズと、この集光レンズの焦点近傍に後側焦点が位置するように配置された被検レンズと、集光レンズにより集光され、被検レンズで平行光束に変換された光線を反射する反射鏡と、反射鏡で反射された光線を、被検レンズおよび集光レンズを透過させて、再び平行光束に変換して検出し、ずれ量を算出する検出装置とから構成される。
また、第2の本発明に係るフランジ焦点距離測定装置は、被検レンズおよびこの被検レンズを保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定するものであり、点光源と、この点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズと、この平行光束を集光する被検レンズと、反射面および光軸の交点が被検レンズの後側焦点の近傍に配置された反射鏡と、反射鏡で反射された光線を、被検レンズを透過させて、再び平行光束に変換して検出し、ずれ量を算出する検出装置とから構成される。
なお、このような第1および第2の本発明に係る焦点距離測定装置において、検出装置が、二次元的に配列された複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイと、複数のマイクロレンズの各々で結像された点像を検出する撮像素子と、撮像素子で検出された点像の位置から、被検レンズの波面収差を算出し、この波面収差のデフォーカス成分からズレ量を算出する解析装置とから構成されることが好ましい。
第1および第2の本発明に係るフランジ焦点距離測定装置を以上のように構成すると、フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を、高精度かつ定量的に測定することができる。なお、これらのフランジ焦点距離測定装置の検出装置にマイクロレンズアレイ撮像素子、および、解析装置を用いて、シャック−ハルトマンの原理より被検レンズの波面収差を求めるように構成することにより、被検レンズの波面収差およびずれ量を高精度に、かつ、容易に求めることができる。
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係るフランジ焦点距離測定装置(以下、「焦点距離測定装置」と称する)は、被検レンズを透過した波面(透過波面)の波面収差を測定し、そのデフォーカス成分を算出することにより、被検レンズのフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定するものである。
まず、図1を用いて焦点距離測定装置の第1実施例の構成を説明する。この焦点距離測定装置1は、図1において上下方向に延びる照明光学系2と、被検レンズ20を挟んで左右方向に延びる測定光学系3とから構成される。
照明光学系2は、光軸上に並んで配置された反射鏡4、光源5、拡散板6、コンデンサレンズ7、レチクルチャート8、および、コリメータレンズ9から構成される。また、測定光学系3は、光軸上に並んで配置された反射鏡(平面鏡)11、被検レンズ20、集光レンズ12、ハーフミラー(若しくは、ハーフプリズム)10、マイクロレンズアレイ13、および、撮像素子14から構成される。なお、照明光学系3の光軸上には測定光学系のハーフミラー10が配置されており、それぞれの光軸はこのハーフミラー10上で直交するように配置されている。また、被検レンズ20は、後側(像側)が集光レンズ12に正対し、集光レンズ12の焦点と被検レンズ20の後側焦点とがほぼ一致するように配置されている。また、反射鏡11は、その反射面と光軸とが直交するように配置されている。
光源5から放射された光線は直接、または、反射鏡4で反射されて拡散板6に照射され、この拡散板6を透過して均一な照度の光線となる。そして、コンデンサレンズ7で集光されてレチクルチャート8に照射される。このレチクルチャート8には光軸を含むようにピンホールが形成されており、このピンホールから出射した光線がコリメータレンズ9で平行光束に変換されてハーフミラー10に入射し、被検レンズ20に向かって反射される。そして、集光レンズ12で一端結像されて、被検レンズ20に後側から入射する。上述のように、集光レンズ12の焦点と被検レンズ20の後側焦点とはほぼ一致しているため、被検レンズ20の前側(対物側)から出射した光線は略平行光束になって反射鏡11に入射する。そして、この反射鏡11で反射して、再び被検レンズ20で集光され、集光レンズ12で平行光束に変換されてハーフミラー10に入射する。
ハーフミラー10に入射した光線はこのハーフミラー10を透過して平行光束の状態でマイクロレンズアレイ13に入射する。マイクロレンズアレイ13は、微細な複数のレンズ(マイクロレンズ)を二次元的に配列したレンズ集合体であり、各々のマイクロレンズを透過した光線は各々のマイクロレンズの焦点面に配置された撮像素子14に各点像として結像する。この撮像素子14から出力される画像信号は解析装置(PC)15で解析される。
この焦点距離測定装置1において、集光レンズ12には、被検レンズ20の開口数と同じか、若しくは、被検レンズ20の開口数よりやや大きな開口数を有するレンズが用いられる。集光レンズ12の開口数が被検レンズ20の開口数より小さいと、被検レンズ20の全ての瞳径を入射させることができず、この被検レンズ20全体の波面収差を測定できないからである。なお、集光レンズ12の開口数が被検レンズ20の開口数より大き過ぎると、瞳径が縮小されてしまい、有効なマイクロレンズの数が少なくなるため、測定精度が低くなる。そのため、集光レンズ12と被検レンズ20の開口数は一致していることが望ましい。
ここで、簡単に、この焦点距離測定装置1における被検レンズ20の波面収差の測定方法について説明する。照明光学系2および測定光学系3は、シャック−ハルトマンの原理による透過波面の測定光学系の一例である。レチクルチャート8のピンホールより出射した点光源からの光をコリメータレンズ9で平行光束に変換して照射し、集光レンズ12で一旦集光させた後、被検レンズ20を透過させ、さらに、被検レンズ20を透過させて集光レンズ12で再度変換された平行光束をマイクロレンズアレイ13によりマイクロレンズの焦点面にある撮像素子14上に結像させて各点像の位置を検出し、この各点像の位置より被検レンズ20の波面収差を解析装置15で算出できるように構成されている。
この解析装置15は、求められた波面収差からデフォーカス成分を算出し、このデフォーカス成分から被検レンズ20のフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定する。上述のように、この焦点距離測定装置1において、被検レンズ20の後側焦点は、集光レンズ12の焦点位置Oの近傍に位置するように配置されている。ここで集光レンズ12の焦点位置Oは既知であり、被検レンズ20のフランジ面から集光レンズ12の焦点位置Oまでの距離(これを「基準距離L」と呼ぶ)が基準となるフランジ焦点距離(基準値)になるように被検レンズ20を焦点距離測定装置1に固定することができる。そのため、解析装置15によりデフォーカス成分からずれ量Δを算出し、このずれ量Δに応じてこの被検レンズ20を保持するカメラマウントのフランジにマウントワッシャ等を着脱して厚みを調整することで、カメラレンズのフランジ焦点距離を所望の値(基準値)に調整することができる。
なお、この焦点距離測定装置1に被検レンズ20を取り付けてその波面収差を測定する前に、図2に示すように、集光レンズ12の焦点位置Oと焦点が一致する球面鏡16を配置し、上述のように撮像素子14でマイクロレンズアレイ13の点像を検出し、解析装置15でその点像の位置から照明光学系2および測定光学系3の波面収差(これを「装置の波面収差」と呼ぶ)を算出して記憶させておく。これにより、解析装置15において、被検レンズ20の測定された波面収差から装置の波面収差を除去することができ、被検レンズ20の真のデフォーカス成分を算出できるため、フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を高精度に測定することができる。
このように、この第1実施例に係る焦点距離測定装置1は、可動部分がないため、被検レンズ20のフランジ焦点距離の基準値からのずれ量Δを、高精度かつ定量的に測定することができ、また、計測が簡単であるため、短時間で行うことができる。
上述の第1実施例においては、照明光を被検レンズ20の後側から入射させて波面収差を測定するように構成した場合について説明したが、この第2実施例では、被検レンズ20の前側から照明光を入射させて波面収差を測定するように構成した場合について説明する。なお、この第2実施例においては、第1実施例と同一の構成要素は同一の符号を付している。まず、図3を用いて焦点距離測定装置の第2実施例の構成を説明する。この焦点距離測定装置1′は、左右方向に延びる照明光学系2′と、L字型に配置された測定光学系3′とから構成される。
照明光学系2′は、光軸上に並んで配置された反射鏡4、光源5、拡散板6、コンデンサレンズ7、レチクルチャート8、および、コリメータレンズ9から構成される。また、測定光学系3′は、その反射面が光軸と直交するように配置された反射鏡(平面鏡)11、被検レンズ20、ハーフミラー(若しくは、ハーフプリズム)10、ビームコンプレッサ17、マイクロレンズアレイ13、および、撮像素子14とから構成される。なお、照明光学系2′の光軸上に、測定光学系3′のハーフミラー10、被検レンズ20、および、反射鏡11が配置され、ハーフミラー10から上方に、照明光学系2′の光軸と直交するように、測定光学系3′のビームコンプレッサ17、マイクロレンズアレイ13、および、撮像素子14が配置されている。また、被検レンズ20は、前側がハーフミラー10に正対するとともに、その後側焦点が反射鏡11の反射面および光軸の交点O′とほぼ一致するように配置されている。
光源5から放射された光線は直接、または、反射鏡4で反射されて拡散板6に照射され、この拡散板6を透過して均一な照度の光線となる。そして、コンデンサレンズ7で集光されてレチクルチャート8に照射される。このレチクルチャート8にも光軸を含むようにピンホールが形成されており、このピンホールから出射した光線がコリメータレンズ9で平行光束に変換されてハーフミラー10に入射し、ハーフミラー10を透過する。そして、平行光束の状態で被検レンズ20に前側から入射する。上述のように、被検レンズ20の後側焦点の位置は、反射鏡11の反射面および光軸の交点O′とほぼ一致しているため、被検レンズ20の後側から出射した光線は集光されて反射鏡11に入射する。そして、この反射鏡11で反射して、再び被検レンズ20で平行光束に変換されてハーフミラー10に入射する。
ハーフミラー10に入射した光線はこのハーフミラー10により上方に反射され、平行光束の状態でビームコンプレッサ17に入射する。ビームコンプレッサ17は、例えば、図3に示すように2枚の凸レンズ17a,17bで構成されており、第1のレンズ17aで一旦結像させて、第2のレンズ17bで平行光束に戻すことにより、平行光束の径を縮小するものである。上述のように、本第2実施例においては、被検レンズ20の瞳径が撮像素子14のサイズより大きいため、ビームコンプレッサ17により入射する平行光束の径を縮小する。ビームコンプレッサ17を出射した平行光束はマイクロレンズアレイ13に入射し、各々のマイクロレンズを透過して撮像素子14に各点像として結像する。この撮像素子14から出力される画像信号は解析装置(PC)15′で解析される。なお、マイクロレンズアレイ13の点像から被検レンズ20の波面収差を求める方法は、上述の第1実施例と同様であるので詳細な説明は省略する。
この第2実施例に係る焦点距離測定装置1′において、解析装置15′は、求められた波面収差からデフォーカス成分を算出することにより、被検レンズ20のフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定する。上述のように、この焦点距離測定装置1′において、被検レンズ20の後側焦点は、反射鏡11の反射面および光軸の交点O′の近傍に位置するように配置されている。交点O′の位置は既知であり、被検レンズ20のフランジ面から交点O′の位置までの距離(これを「基準距離L′」と呼ぶ)が基準となるフランジ焦点距離になるように被検レンズ20を焦点距離測定装置1′に固定することができる。そのため、解析装置15′によりデフォーカス成分からずれ量Δ′を算出し、第1実施例と同様にカメラレンズのフランジ焦点距離を消耗の値(基準値)に調整することができる。
なお、この焦点距離測定装置1′に被検レンズ20を取り付けてその波面収差を測定する前に、図4に示すように、被検レンズ20を取り外した状態で、ハーフミラー10から出射した照明光を直接反射鏡11で反射させて、上述のように撮像素子14でマイクロレンズアレイ13の点像を検出し、解析装置15′でその点像の位置から照明光学系2′および測定光学系3′の波面収差(これを「装置の波面収差」と呼ぶ)を算出して記憶させておく。これにより、解析装置15′において、被検レンズ20の測定された波面収差から装置の波面収差を除去することができ、被検レンズ20の真のデフォーカス成分を算出できるため、高精度な測定を行うことができる。
このように、この第2実施例に係る焦点距離測定装置1′も、可動部分がないため、被検レンズ20のフランジ焦点距離の基準値からのずれ量Δ′を、高精度かつ定量的に測定することができ、また、計測が簡単であるため、短時間で行うことができる。また、この焦点距離測定装置1′は、オートコリメーション法の装置構成を利用できるため、コスト面でのメリットも高い。
以上に説明した第1および第2実施例に係る焦点距離測定装置1,1′は、シャック−ハルトマンの原理による透過波面の照明光学系2,2′および測定光学系3,3′を用いることにより、レーザ光等の特殊な光源を用いる必要がなく、ハロゲンランプやタングステンランプ等の白色光源(光源5)により測定することができるため、被検レンズ20(カメラレンズ)の使用状態と同一の波長(白色光)の照明光を用いた検査を可能にするとともに、高精度で安価な焦点距離測定装置1,1′を提供することができる。さらに、シャック−ハルトマンの原理を用いることにより、この焦点距離測定装置1,1′には可動部分が無いことや、光線のゆらぎ等の影響を受けないため、耐環境性能を向上させることができる。
1,1′ 焦点距離測定装置 8 レチクルチャート(点光源)
9 コリメータレンズ 11 反射鏡 12 集光レンズ
13 マイクロレンズアレイ 14 撮像素子 15 解析装置
20 被検レンズ L,L′ 基準距離(基準値) Δ,Δ′ ずれ量
9 コリメータレンズ 11 反射鏡 12 集光レンズ
13 マイクロレンズアレイ 14 撮像素子 15 解析装置
20 被検レンズ L,L′ 基準距離(基準値) Δ,Δ′ ずれ量
Claims (3)
- 被検レンズおよび前記被検レンズを保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定するフランジ焦点距離測定装置であって、
点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズと、
前記コリメータレンズから出射した平行光束を集光する集光レンズと、
前記集光レンズの焦点近傍に後側焦点が位置するように配置された前記被検レンズと、
前記集光レンズにより集光され、前記被検レンズで平行光束に変換された光線を反射する反射鏡と、
前記反射鏡で反射された光線を、前記被検レンズおよび前記集光レンズを透過させて、再び平行光束に変換して検出し、前記ずれ量を算出する検出装置とから構成されるフランジ焦点距離測定装置。 - 被検レンズおよび前記被検レンズを保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準値からのずれ量を測定するフランジ焦点距離測定装置であって、
点光源と、
前記点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズと、
前記平行光束を集光する前記被検レンズと、
反射面および光軸の交点が前記被検レンズの後側焦点の近傍に配置された反射鏡と、
前記反射鏡で反射された光線を、前記被検レンズを透過させて、再び平行光束に変換して検出し、前記ずれ量を算出する検出装置とから構成されるフランジ焦点距離測定装置。 - 前記検出装置が、
二次元的に配列された複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイと、
前記複数のマイクロレンズの各々で結像された点像を検出する撮像素子と、
前記撮像素子で検出された前記点像の位置から、前記被検レンズの波面収差を算出し、前記波面収差のデフォーカス成分から前記ずれ量を算出する解析装置とから構成された請求項1または2に記載のフランジ焦点距離測定装置。
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Cited By (5)
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CN102589853A (zh) * | 2012-01-16 | 2012-07-18 | 北京理工大学 | 自准直式差动共焦透镜焦距测量方法 |
KR101258601B1 (ko) * | 2010-12-21 | 2013-05-03 | 한국표준과학연구원 | 초점 인디케이터 |
CN108663197A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-10-16 | 北京全欧光学检测仪器有限公司 | 一种小型镜头检测装置及其检测方法 |
DE102009017084B4 (de) * | 2009-04-15 | 2019-04-04 | Peter Denz | Auflagemessgerät für Videokameras |
CN113137924A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学测试***及其方法 |
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2006
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DE102009017084B4 (de) * | 2009-04-15 | 2019-04-04 | Peter Denz | Auflagemessgerät für Videokameras |
KR101258601B1 (ko) * | 2010-12-21 | 2013-05-03 | 한국표준과학연구원 | 초점 인디케이터 |
CN102589853A (zh) * | 2012-01-16 | 2012-07-18 | 北京理工大学 | 自准直式差动共焦透镜焦距测量方法 |
CN102589853B (zh) * | 2012-01-16 | 2014-01-08 | 北京理工大学 | 自准直式差动共焦透镜焦距测量方法 |
CN108663197A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-10-16 | 北京全欧光学检测仪器有限公司 | 一种小型镜头检测装置及其检测方法 |
CN113137924A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学测试***及其方法 |
CN113137924B (zh) * | 2020-01-17 | 2023-09-05 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学测试***及其方法 |
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