JPH1164382A - プローブヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンタクトプローブの交換時等に、測定対象
物との位置合わせ作業が容易なプローブヘッドを提供す
る。 【解決手段】 複数のパターン配線３がフィルム２０１
上に形成されこれらのパターン配線３の各先端部が前記
フィルム２０１から突出状態に配されてコンタクトピン
３ａとされるコンタクトプローブ２００を支持するとと
もに、プローブ装置本体８１に取り付けられてプローブ
装置８０を構成するプローブヘッド４０であって、プロ
ーブヘッド本体５０と、このプローブヘッド本体５０に
設けられ、前記プローブ装置本体８１に対して位置決め
された状態で該プローブヘッド本体５０を取り付けるた
めの取付部６０と、前記プローブヘッド本体５０に設け
られ、前記コンタクトプローブ２００を該プローブヘッ
ド本体５０に対して位置決めしつつ支持するための位置
決め支持部７０とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブピンやソ
ケットピン等として用いられ、液晶デバイスや半導体Ｉ
Ｃチップ等の各端子に接触して電気的なテストを行うコ
ンタクトプローブを支持するとともに、プローブ装置本
体に取り付けられてプローブ装置を構成するプローブヘ
ッドに関し、特に、前記コンタクトプローブの破損等に
よる交換時に位置決めの行い易いプローブヘッドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＬＣＤ（液晶表示体）又はＩＣ
チップ等の半導体チップにおける各端子に接触させて電
気的なテストを行うために、コンタクトピンが用いられ
ている。近年、ＬＣＤ等の高集積化および微細化に伴っ
て電極であるコンタクトパッドが狭ピッチ化されるとと
もに、コンタクトピンの多ピン狭ピッチ化が要望されて
いる。しかしながら、従来、コンタクトピンとして用い
られていたタングステン針のコンタクトプローブでは、
タングステン針の径の限界から多ピン狭ピッチ化への対
応が困難になっていた。

【０００３】これに対して、例えば、特公平７−８２０
２７号には、複数のパターン配線が樹脂フィルム上に形
成されこれらのパターン配線の各先端が前記樹脂フィル
ムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコン
タクトプローブの技術が提案されている。この技術例で
は、写真製版技術を用いて精密に形成されたパターン配
線の先端をコンタクトピンとすることによって、多ピン
狭ピッチ化を図るものである。

【０００４】上記公報記載のコンタクトプローブをＬＣ
Ｄ用として用いる場合について図９および図１０を用い
て説明する。これらの図に示すように、コンタクトプロ
ーブ２００は、複数のパターン配線３が樹脂フィルム２
０１上に形成されこれらのパターン配線３の各先端部が
樹脂フィルム２０１から突出状態に配されてコンタクト
ピン３ａとされるものである。

【０００５】このコンタクトプローブ２００は、例え
ば、図１１に示すようなＬＣＤ用プローブ装置１００に
用いられる。このＬＣＤ用プローブ装置１００は、前記
コンタクトプローブ２００を挟持するコンタクトプロー
ブ挟持体１１０と、このコンタクトプローブ挟持体１１
０を額縁状フレーム１２０に固定してなる構造を有して
おり（実際には複数個のコンタクトプローブ挟持体１１
０が取り付けられるがここでは１つのみを図示した）、
このコンタクトプローブ挟持体１１０から突出した前記
コンタクトピン３ａの先端がＬＣＤ９０のパッド（図示
せず）に接触するようになっている。

【０００６】図１２に示すように、前記コンタクトプロ
ーブ挟持体１１０は、トップクランプ１１１とボトムク
ランプ１１５とを備えている。トップクランプ１１１
は、コンタクトピン３ａの先端を押さえる第一突起１１
２、ＴＡＢＩＣ３００側の端子３０１を押さえる第二突
起１１３およびリードを押さえる第三突起１１４を有し
ている。ボトムクランプ１１５は、傾斜板１１６、取付
板１１７および底板１１８から構成されている。

【０００７】コンタクトプローブ２００は、傾斜板１１
６の上に載置され、さらにＬＣＤ用ドライバーＩＣであ
るＴＡＢＩＣ３００を搭載したＴＡＢテープ３０１の端
子が、コンタクトプローブ２００の樹脂フィルム２０
１，２０１間に位置するように載置される。そして、ト
ップクランプ１１１を第一突起１１２が樹脂フィルム２
０１の上でかつ第二突起１１３が端子３０１に接触する
ように乗せ、ボルトにより締め付けられて組み立てられ
る。

【０００８】図１３に示すように、コンタクトプローブ
２００を組み込み、ボルト１３０によりトップクランプ
１１１とボトムクランプ１１５を組み合わせることによ
り、コンタクトプローブ挟持体１１０が作製される。

【０００９】上記コンタクトプローブ挟持体１１０は、
図１４に示すように、ボルト１３１により額縁状フレー
ム１２０に固定されて、ＬＣＤ用プローブ装置１００に
組み立てられる。ＬＣＤ用プローブ装置１００を用いて
ＬＣＤ９０の電気的テストを行うには、ＬＣＤ用プロー
ブ装置１００のコンタクトピン３ａの先端をＬＣＤ９０
の端子（図示せず）に接触させた状態で、ＴＡＢＩＣ３
００からコンタクトピン３ａを通して信号を送り、ＬＣ
Ｄ９０の作動を確認することにより行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、繰り返しの
使用により、コンタクトプローブ２００が摩耗したり破
損したりした場合には、前記コンタクトプローブ挟持体
１１０から摩耗等したコンタクトプローブ２００を取り
外して、新品と交換する必要がある。

【００１１】しかしながら、コンタクトプローブ２００
は、前述したように、傾斜板１１６の上に載置された
後、その樹脂フィルム２０１上にトップクランプ１１１
の第一突起１１２を乗せた状態で、ボルト１３０により
締め付けられて組み込まれるに過ぎないため、組立後の
コンタクトプローブ２００のコンタクトピン３ａは、Ｌ
ＣＤ９０のパッドに対して必ずしも位置合わせされてい
なかった。

【００１２】そのため、上記組立作業後に、ＴＡＢＩＣ
３００からテスト信号を送っても、コンタクトプローブ
２００のコンタクトピン３ａとＬＣＤ９０のパッドとの
良好な導通がとれていないことがあり、その場合には、
導通が良好にとれるように両者３ａ，９０が位置合わせ
されるまで、コンタクトプローブ２００のコンタクトプ
ローブ挟持体１１０に対する組み込み作業を繰り返す必
要があった。

【００１３】特に、近時、ＬＣＤ素子等の一層の微細化
により、ＬＣＤ９０のパッド間の距離が一層小さくなっ
ており、これに伴い、上記コンタクトピン３ａのピッチ
も狭くなっていることから、ＬＣＤ９０のパッドとコン
タクトピン３ａとの位置合わせは、一層困難なものとな
っていた。

【００１４】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、コンタクトプローブの交換時等に、測定対象物
（例えば、ＬＣＤのパッド）との位置合わせ作業が容易
なプローブヘッドを提供することを目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のプローブヘッドでは、複数のパターン配線がフ
ィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端部が
前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンと
されるコンタクトプローブを支持するとともに、プロー
ブ装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプ
ローブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプ
ローブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に
対して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取
り付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設
けられ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本
体に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持
部とを備えている技術が採用される。

【００１６】このプローブヘッドでは、コンタクトプロ
ーブの交換の際に、プローブヘッド本体の位置決め支持
部に、新品のコンタクトプローブを取り付けることによ
り、そのコンタクトプローブは、プローブヘッド本体に
対して位置決めされる。そして、プローブヘッド本体の
取付部を、プローブ装置本体に対して取り付けることに
より、プローブヘッド本体は、プローブ装置本体に対し
て位置決めされる。したがって、前記プローブ装置本体
と測定対象物との相対位置関係さえ一定（位置合わせさ
れた状態）に保持されていれば、新品のコンタクトプロ
ーブは、本発明のプローブヘッドを介して、前記プロー
ブ装置本体に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、前記測定対象物に対する位置合わせが自動的に行わ
れる。

【００１７】請求項２記載のプローブヘッドでは、請求
項１記載のプローブヘッドにおいて、前記位置決め支持
部は、前記プローブヘッド本体に対して位置決めされて
固着され、その固着面の反対側が前記コンタクトプロー
ブの取付面とされた透明板と、この透明板上に形成さ
れ、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを配置す
べき位置を表示する位置決めマーク部とを備えてなる技
術が採用される。

【００１８】このプローブヘッドでは、プローブヘッド
本体に対して位置決めされて固着される透明板に、測定
対象物との関係で前記コンタクトピンを配置すべき位置
を表示する位置決めマーク部が形成されており、その透
明板に対してコンタクトプローブを取り付ける構成とさ
れているため、コンタクトプローブのコンタクトピンが
位置決めマーク部に重なった状態で、コンタクトプロー
ブを透明板に取り付ければ、コンタクトピンと測定対象
物とは自ずと位置合わせされる。

【００１９】請求項３記載のプローブヘッドでは、請求
項２記載のプローブヘッドにおいて、前記透明板は、前
記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けられ、
少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前記測
定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直接ま
たは間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定対象
物に向けて押圧可能な弾性力を備えている技術が採用さ
れる。

【００２０】このプローブヘッドでは、前記透明板は、
前記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けら
れ、少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前
記測定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直
接または間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定
対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えているため、コ
ンタクトピンの先端が上方に湾曲したものが存在してい
ても、前記突出部でコンタクトピンを押圧し、コンタク
トピンを測定対象物に対して確実に接触させることがで
きることから、接触不良による測定ミスをなくすことが
できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプローブヘッ
ドの一実施形態について図１から図８を参照しながら説
明する。

【００２２】本実施形態のプローブヘッドは、上記従来
例におけるコンタクトプローブ挟持体１１０に代わるも
のである。図１において、符号４０はプローブヘッドを
示しており、このプローブヘッド４０は、プローブ装置
本体８１に取り付けられて、プローブ装置８０を構成す
るものである。

【００２３】図１乃至図３に示すように、プローブヘッ
ド４０は、プローブヘッド本体５０と、このプローブヘ
ッド本体５０の上面５１に設けられ前記プローブ装置本
体８１に対する取付部６０と、前記プローブヘッド本体
５０の先端部５２下側に設けられ前記コンタクトプロー
ブ２００を取り付けるための位置決め支持部７０とを備
えている。

【００２４】前記取付部６０は、前記プローブヘッド本
体５０の上面中央部に設けられたボルト孔６１とその側
部に設けられた２つのノックピン挿通孔６２とを備えて
いる。これらボルト孔６１およびノックピン挿通孔６２
は、プローブ装置本体８１に設けられたボルト孔８２お
よびノックピン挿通孔８３に、それぞれが対応する位置
に形成されている。

【００２５】そして、各ノックピン挿通孔６２，８３に
ノックピンＫが挿通されることで、プローブ装置本体８
１とプローブヘッド４０との相対位置が規制され、その
状態で各ボルト孔６１，８２に固定ボルトＢを挿通させ
ることにより、プローブヘッド４０は、プローブ装置本
体８１に対して位置決めされた状態で固定されるように
なっている。

【００２６】前記プローブヘッド本体５０の先端部５２
下面は、ＬＣＤのパッド面（図示せず）に対する角度θ
が２０゜に設定された傾斜面５３とされている。この傾
斜面５３の傾斜角度θは、該傾斜面５３に沿って取り付
けられるコンタクトプローブ２００のコンタクトピン３
ａと前記パッド面との接触角を考慮して設定され、該コ
ンタクトピン３ａによるパッドのスクラブ（scrub）が
良好に行えるようにされている。

【００２７】図３において、符号３０１は、前述したＴ
ＡＢテープであり、４００は、コンタクトプローブ２０
０とＴＡＢテープ３０１とを接続するフレキシブル基板
（ＦＰＣ）であり、４０１は、ＴＡＢテープ３０１とプ
ローブ装置本体８１側の端子とを接続するフレキシブル
基板である。これら各基板４００，４０１とＴＡＢテー
プ３０１との接続には、異方性導電テープ（ＡＣＦ）が
用いられている。

【００２８】図４に示すように、前記傾斜面５３には、
前記位置決め支持部７０を構成するマイラーフィルム
（透明板）７１が固着されている。前記傾斜面５３とマ
イラーフィルム７１には、それぞれ、位置決め用十字
（プラス）マークＭが設けられ、それらのマークを顕微
鏡で合わせて位置決めした状態で、マイラーフィルム７
１は傾斜面５３に接着剤Ｌで固着されている。

【００２９】前記マイラーフィルム７１には、前記ＬＣ
Ｄのパッドとの関係でコンタクトピン３ａを配置すべき
位置を表示する位置決めマーク部７２が印刷されてい
る。すなわち、透明なマイラーフィルム７１には、該マ
イラーフィルム７１の前記傾斜面５３に対する固着面と
反対側の面Ｆに重ねられた状態で接着剤等により取り付
けられるコンタクトプローブ２００（図４には図示せ
ず）の、コンタクトピン３ａの各軸線と合致すべき位置
に、該コンタクトピン３ａと略同数で所定の長さを有す
る目盛りが形成されて、前記位置決めマーク部７２を構
成している。

【００３０】前記マイラーフィルム７１は、プローブヘ
ッド本体５０の先端部から突出して設けられるととも
に、一定の弾性力を有するものが採用され、以下のよう
な作用を奏するものである。

【００３１】すなわち、図５に示すように、前記コンタ
クトプローブ２００のコンタクトピン３ａは、その先端
が正常な先端Ｓの他に、上方に湾曲した先端Ｓ１や下方
に湾曲した先端Ｓ２が生じることがあった。

【００３２】この場合、前記マイラーフィルム７１が無
いとすると、図６に示すように、前記コンタクトプロー
ブ２００をプローブヘッド４０で支持してコンタクトピ
ン３ａをＬＣＤ９０のパッドに押しつけても、正常な先
端Ｓ１および下方に湾曲した先端Ｓ２は、ＬＣＤ９０の
パッドに接触するが、上方に湾曲した先端Ｓ１は、仮に
接触したとしても十分な接触圧が得られないことがあっ
た。このことから、コンタクトピン３ａのＬＣＤ９０に
対する接触不良が発生し正確な電気テストが行えないこ
とがあった。また、テスト時に所望の接触圧を得るため
にコンタクトピン３ａの押し付け量を増減させるが、大
きな接触圧を得るためには大きな押し付け量が必要とな
るものの、針の形状からその量には限度があり、大きな
接触圧を得られないことがあった。

【００３３】これに対して、本実施形態では、前述した
マイラーフィルム７１が有り、図７に示すように、マイ
ラーフィルム７１がコンタクトピン３ａと接触してＬＣ
Ｄ９０に向けて押圧するため、コンタクトピン３ａの上
方に湾曲した先端Ｓ１と下方に湾曲した先端Ｓ２とを正
常な先端Ｓと整列させ、前記上方に湾曲した先端Ｓ１で
あってもＬＣＤ９０の端子に確実に接触させる。これに
より、各コンタクトピン３ａに均一な接触圧が得られ、
接触不良による測定ミスをなくすことができる。

【００３４】なお、本発明の透明板としては、所定の弾
性力を備えたものであれば、本実施形態のマイラーフィ
ルム７１に限定されるものではなく、例えば、有機材料
であれば、ポリエチレンテレフタレートなどからなり、
無機材料であれば、セラミックス、特にアルミナ製フィ
ルムからなるものでもよい。

【００３５】さらに、マイラーフィルム７１からのコン
タクトピン３ａの突出量を変化させることにより、コン
タクトピン３ａを押しつけたときにコンタクトピン３ａ
を上から押さえるタイミングを変えることが可能とな
り、所望の押しつけ量で所望の接触圧を得ることができ
る。

【００３６】本実施形態のプローブヘッド４０では、コ
ンタクトプローブ２００の交換の際に、プローブヘッド
本体５０の位置決め支持部７０に、新品のコンタクトプ
ローブ２００を取り付けることにより、そのコンタクト
プローブ２００は、プローブヘッド本体５０に対して位
置決めされる。そして、プローブヘッド本体５０の取付
部６０を、プローブ装置本体８１に対して取り付けるこ
とにより、プローブヘッド本体５０は、プローブ装置本
体８１に対して位置決めされる。

【００３７】したがって、前記プローブ装置本体８１と
ＬＣＤとの相対位置関係さえ一定（位置合わせされた状
態）に保持されていれば、新品のコンタクトプローブ２
００は、プローブヘッド４０を介して、前記プローブ装
置本体８１に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、ＬＣＤに対する位置合わせが自動的に行われる。

【００３８】すなわち、プローブヘッド４０では、プロ
ーブヘッド本体５０に対して十字マークＭで位置決めさ
れて固着されるマイラーフィルム７１に、ＬＣＤとの関
係で前記コンタクトピン３ａを配置すべき位置を表示す
る位置決めマーク部７２が形成されており、そのマイラ
ーフィルム７１に対してコンタクトプローブ２００を取
り付ける構成とされているため、コンタクトプローブ２
００のコンタクトピン３ａが位置決めマーク部７１に重
なった状態で、コンタクトプローブ２００をマイラーフ
ィルム７１に取り付ければ、コンタクトピン３ａとＬＣ
Ｄとは自ずと位置合わせされる。

【００３９】さらに、このプローブヘッド４０では、マ
イラーフィルム７１は、プローブヘッド本体５０の先端
部から突出して設けられ、コンタクトピン３ａがＬＣＤ
に接触するときに、コンタクトピン３ａに接触してコン
タクトピン３ａをＬＣＤに向けて押圧可能な弾性力を備
えているため、コンタクトピン３ａの先端Ｓ１が上方に
湾曲したものが存在していても、コンタクトピン３ａを
押圧し、ＬＣＤに対して確実に接触させることができる
ことから、接触不良による測定ミスをなくすことができ
る。

【００４０】ところで、上記の図７に示した実施形態で
は、マイラーフィルム７１がコンタクトピン３ａに直
接、押圧接触しており、繰り返しの使用によりマイラー
フィルム７１とコンタクトピン３ａの摩擦が繰り返さ
れ、これによる歪みが蓄積されると、コンタクトピン３
ａが左右に曲がり、接触点がずれることがあった。

【００４１】そこで、図８に示すように、前記樹脂フィ
ルム２０１を従来よりも幅広なフィルム２０１ａとし
て、前記マイラーフィルム７１を幅広樹脂フィルム２０
１ａよりも短く突出するように重ねて使用してもよい。
これにより、マイラーフィルム７１は、柔らかい幅広樹
脂フィルム２０１ａに接触し、コンタクトピン３ａとは
直接接触しないため、コンタクトピン３ａが左右に曲が
ることが防止できる。すなわち、前記幅広フィルム２０
１ａが緩衝材となるため、繰り返しオーバードライブを
かけても、マイラーフィルム７１との摩擦によりコンタ
クトピン３ａが歪んで湾曲すること等がなく、パッドに
対して安定した接触を保つことができる。なお、符号２
０２は、樹脂フィルム２０１とマイラーフィルム７１と
の間隔を確保するための金属フィルムである。

【００４２】なお、本実施形態においては、プローブヘ
ッド本体５０の先端側にのみ位置決め支持部７０を設け
たが、加えて、プローブヘッド本体５０の後端側におい
てフレキシブル基板４０１を位置決めするための位置決
め支持部を同様に形成してもよい。

【００４３】

【発明の効果】請求項１記載のプローブヘッドによれ
ば、コンタクトプローブを支持するとともに、プローブ
装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプロ
ーブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプロ
ーブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に対
して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取り
付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設け
られ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本体
に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持部
とを備えているため、コンタクトプローブの交換の際
に、プローブヘッド本体の位置決め支持部に、新品のコ
ンタクトプローブを取り付けることにより、そのコンタ
クトプローブは、プローブヘッド本体に対して位置決め
され、プローブヘッド本体の取付部を、プローブ装置本
体に対して取り付けることにより、プローブヘッド本体
は、プローブ装置本体に対して位置決めされ、したがっ
て、前記プローブ装置本体と測定対象物との相対位置関
係さえ一定（位置合わせされた状態）に保持されていれ
ば、新品のコンタクトプローブは、本発明のプローブヘ
ッドを介して、前記プローブ装置本体に対して位置決め
された状態で取り付けられ、前記測定対象物に対する位
置合わせを自動的に行うことができる。すなわち、コン
タクトプローブの交換作業を簡便かつ正確に行うことが
できることから、工場で引き取らなくても、ユーザー側
での作業も可能となる。

【００４４】請求項２記載のプローブヘッドによれば、
プローブヘッド本体に対して位置決めされて固着される
透明板に、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを
配置すべき位置を表示する位置決めマーク部が形成され
ており、その透明板に対してコンタクトプローブを取り
付ける構成とされているため、コンタクトプローブのコ
ンタクトピンが位置決めマーク部に重なった状態で、コ
ンタクトプローブを透明板に取り付ければ、コンタクト
ピンと測定対象物とを自ずと位置合わせした状態にする
ことができる。

【００４５】請求項３記載のプローブヘッドによれば、
前記透明板は、前記プローブヘッド本体の先端部から突
出して設けられ、少なくともその突出部は、前記コンタ
クトピンが前記測定対象物に接触するときに、該コンタ
クトピンに直接または間接的に接触して該コンタクトピ
ンを前記測定対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えて
いるため、コンタクトピンの先端が上方に湾曲したもの
が存在していても、前記突出部でコンタクトピンを押圧
し、コンタクトピンを測定対象物に対して確実に接触さ
せることができることから、接触不良による測定ミスを
なくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るプローブヘッドの一実施形態を
示し、プローブ装置本体との位置関係を主として示す側
面図である。

【図２】 プローブヘッドの一実施形態を示す平面図で
ある。

【図３】 同側面図である。

【図４】 同要部拡大斜視図である。

【図５】 コンタクトプローブの一問題点を示すコンタ
クトプローブの側断面図である。

【図６】 同コンタクトプローブを従来のプローブヘッ
ドに組み込んだ際の問題点を示す側断面図である。

【図７】 図６に示した問題点を解決した様子を示す本
発明に係るプローブヘッドの一実施形態を示す側断面図
である。

【図８】 図７の変形例を示す側断面図である。

【図９】 従来のコンタクトプローブを示す斜視図であ
る。

【図１０】 図９のＡ−Ａ線断面図である。

【図１１】 従来のプローブ装置の使用状態を示す斜視
図である。

【図１２】 従来のプローブ装置を構成するコンタクト
プローブ挟持体を示す分解斜視図である。

【図１３】 図１２の組み立てられた状態を示す斜視図
である。

【図１４】 図１３の側面図である。

【符号の説明】

３ パターン配線 ３ａ コンタクトピン ４０ プローブヘッド ５０ プローブヘッド本体 ６０ 取付部 ７０ 位置決め支持部 ７１ 透明板 ７２ 位置決めマーク部 ８０ プローブ装置 ８１ プローブ装置本体 ９０ 測定対象物（ＬＣＤのパッド） ２００ コンタクトプローブ ２０１ フィルム（樹脂フィルム）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のパターン配線がフィルム上に形成
   されこれらのパターン配線の各先端部が前記フィルムか
   ら突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタク
   トプローブを支持するとともに、プローブ装置本体に取
   り付けられてプローブ装置を構成するプローブヘッドで
   あって、 プローブヘッド本体と、 このプローブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置
   本体に対して位置決めされた状態で該プローブヘッド本
   体を取り付けるための取付部と、 前記プローブヘッド本体に設けられ、前記コンタクトプ
   ローブを該プローブヘッド本体に対して位置決めしつつ
   支持するための位置決め支持部とを備えていることを特
   徴とするプローブヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１記載のプローブヘッドにおい
   て、 前記位置決め支持部は、前記プローブヘッド本体に対し
   て位置決めされて固着され、その固着面の反対側が前記
   コンタクトプローブの取付面とされた透明板と、 この透明板上に形成され、測定対象物との関係で前記コ
   ンタクトピンを配置すべき位置を表示する位置決めマー
   ク部とを備えてなることを特徴とするプローブヘッド。
3. 【請求項３】 請求項２記載のプローブヘッドにおい
   て、 前記透明板は、前記プローブヘッド本体の先端部から突
   出して設けられ、 少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前記測
   定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直接ま
   たは間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定対象
   物に向けて押圧可能な弾性力を備えていることを特徴と
   するプローブヘッド。