JPH1164382A - プローブヘッド - Google Patents
プローブヘッドInfo
- Publication number
- JPH1164382A JPH1164382A JP21787597A JP21787597A JPH1164382A JP H1164382 A JPH1164382 A JP H1164382A JP 21787597 A JP21787597 A JP 21787597A JP 21787597 A JP21787597 A JP 21787597A JP H1164382 A JPH1164382 A JP H1164382A
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- Japan
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- probe
- contact
- probe head
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンタクトプローブの交換時等に、測定対象
物との位置合わせ作業が容易なプローブヘッドを提供す
る。 【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム201
上に形成されこれらのパターン配線3の各先端部が前記
フィルム201から突出状態に配されてコンタクトピン
3aとされるコンタクトプローブ200を支持するとと
もに、プローブ装置本体81に取り付けられてプローブ
装置80を構成するプローブヘッド40であって、プロ
ーブヘッド本体50と、このプローブヘッド本体50に
設けられ、前記プローブ装置本体81に対して位置決め
された状態で該プローブヘッド本体50を取り付けるた
めの取付部60と、前記プローブヘッド本体50に設け
られ、前記コンタクトプローブ200を該プローブヘッ
ド本体50に対して位置決めしつつ支持するための位置
決め支持部70とを備えている。
物との位置合わせ作業が容易なプローブヘッドを提供す
る。 【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム201
上に形成されこれらのパターン配線3の各先端部が前記
フィルム201から突出状態に配されてコンタクトピン
3aとされるコンタクトプローブ200を支持するとと
もに、プローブ装置本体81に取り付けられてプローブ
装置80を構成するプローブヘッド40であって、プロ
ーブヘッド本体50と、このプローブヘッド本体50に
設けられ、前記プローブ装置本体81に対して位置決め
された状態で該プローブヘッド本体50を取り付けるた
めの取付部60と、前記プローブヘッド本体50に設け
られ、前記コンタクトプローブ200を該プローブヘッ
ド本体50に対して位置決めしつつ支持するための位置
決め支持部70とを備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブピンやソ
ケットピン等として用いられ、液晶デバイスや半導体I
Cチップ等の各端子に接触して電気的なテストを行うコ
ンタクトプローブを支持するとともに、プローブ装置本
体に取り付けられてプローブ装置を構成するプローブヘ
ッドに関し、特に、前記コンタクトプローブの破損等に
よる交換時に位置決めの行い易いプローブヘッドに関す
る。
ケットピン等として用いられ、液晶デバイスや半導体I
Cチップ等の各端子に接触して電気的なテストを行うコ
ンタクトプローブを支持するとともに、プローブ装置本
体に取り付けられてプローブ装置を構成するプローブヘ
ッドに関し、特に、前記コンタクトプローブの破損等に
よる交換時に位置決めの行い易いプローブヘッドに関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、LCD(液晶表示体)又はIC
チップ等の半導体チップにおける各端子に接触させて電
気的なテストを行うために、コンタクトピンが用いられ
ている。近年、LCD等の高集積化および微細化に伴っ
て電極であるコンタクトパッドが狭ピッチ化されるとと
もに、コンタクトピンの多ピン狭ピッチ化が要望されて
いる。しかしながら、従来、コンタクトピンとして用い
られていたタングステン針のコンタクトプローブでは、
タングステン針の径の限界から多ピン狭ピッチ化への対
応が困難になっていた。
チップ等の半導体チップにおける各端子に接触させて電
気的なテストを行うために、コンタクトピンが用いられ
ている。近年、LCD等の高集積化および微細化に伴っ
て電極であるコンタクトパッドが狭ピッチ化されるとと
もに、コンタクトピンの多ピン狭ピッチ化が要望されて
いる。しかしながら、従来、コンタクトピンとして用い
られていたタングステン針のコンタクトプローブでは、
タングステン針の径の限界から多ピン狭ピッチ化への対
応が困難になっていた。
【0003】これに対して、例えば、特公平7−820
27号には、複数のパターン配線が樹脂フィルム上に形
成されこれらのパターン配線の各先端が前記樹脂フィル
ムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコン
タクトプローブの技術が提案されている。この技術例で
は、写真製版技術を用いて精密に形成されたパターン配
線の先端をコンタクトピンとすることによって、多ピン
狭ピッチ化を図るものである。
27号には、複数のパターン配線が樹脂フィルム上に形
成されこれらのパターン配線の各先端が前記樹脂フィル
ムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコン
タクトプローブの技術が提案されている。この技術例で
は、写真製版技術を用いて精密に形成されたパターン配
線の先端をコンタクトピンとすることによって、多ピン
狭ピッチ化を図るものである。
【0004】上記公報記載のコンタクトプローブをLC
D用として用いる場合について図9および図10を用い
て説明する。これらの図に示すように、コンタクトプロ
ーブ200は、複数のパターン配線3が樹脂フィルム2
01上に形成されこれらのパターン配線3の各先端部が
樹脂フィルム201から突出状態に配されてコンタクト
ピン3aとされるものである。
D用として用いる場合について図9および図10を用い
て説明する。これらの図に示すように、コンタクトプロ
ーブ200は、複数のパターン配線3が樹脂フィルム2
01上に形成されこれらのパターン配線3の各先端部が
樹脂フィルム201から突出状態に配されてコンタクト
ピン3aとされるものである。
【0005】このコンタクトプローブ200は、例え
ば、図11に示すようなLCD用プローブ装置100に
用いられる。このLCD用プローブ装置100は、前記
コンタクトプローブ200を挟持するコンタクトプロー
ブ挟持体110と、このコンタクトプローブ挟持体11
0を額縁状フレーム120に固定してなる構造を有して
おり(実際には複数個のコンタクトプローブ挟持体11
0が取り付けられるがここでは1つのみを図示した)、
このコンタクトプローブ挟持体110から突出した前記
コンタクトピン3aの先端がLCD90のパッド(図示
せず)に接触するようになっている。
ば、図11に示すようなLCD用プローブ装置100に
用いられる。このLCD用プローブ装置100は、前記
コンタクトプローブ200を挟持するコンタクトプロー
ブ挟持体110と、このコンタクトプローブ挟持体11
0を額縁状フレーム120に固定してなる構造を有して
おり(実際には複数個のコンタクトプローブ挟持体11
0が取り付けられるがここでは1つのみを図示した)、
このコンタクトプローブ挟持体110から突出した前記
コンタクトピン3aの先端がLCD90のパッド(図示
せず)に接触するようになっている。
【0006】図12に示すように、前記コンタクトプロ
ーブ挟持体110は、トップクランプ111とボトムク
ランプ115とを備えている。トップクランプ111
は、コンタクトピン3aの先端を押さえる第一突起11
2、TABIC300側の端子301を押さえる第二突
起113およびリードを押さえる第三突起114を有し
ている。ボトムクランプ115は、傾斜板116、取付
板117および底板118から構成されている。
ーブ挟持体110は、トップクランプ111とボトムク
ランプ115とを備えている。トップクランプ111
は、コンタクトピン3aの先端を押さえる第一突起11
2、TABIC300側の端子301を押さえる第二突
起113およびリードを押さえる第三突起114を有し
ている。ボトムクランプ115は、傾斜板116、取付
板117および底板118から構成されている。
【0007】コンタクトプローブ200は、傾斜板11
6の上に載置され、さらにLCD用ドライバーICであ
るTABIC300を搭載したTABテープ301の端
子が、コンタクトプローブ200の樹脂フィルム20
1,201間に位置するように載置される。そして、ト
ップクランプ111を第一突起112が樹脂フィルム2
01の上でかつ第二突起113が端子301に接触する
ように乗せ、ボルトにより締め付けられて組み立てられ
る。
6の上に載置され、さらにLCD用ドライバーICであ
るTABIC300を搭載したTABテープ301の端
子が、コンタクトプローブ200の樹脂フィルム20
1,201間に位置するように載置される。そして、ト
ップクランプ111を第一突起112が樹脂フィルム2
01の上でかつ第二突起113が端子301に接触する
ように乗せ、ボルトにより締め付けられて組み立てられ
る。
【0008】図13に示すように、コンタクトプローブ
200を組み込み、ボルト130によりトップクランプ
111とボトムクランプ115を組み合わせることによ
り、コンタクトプローブ挟持体110が作製される。
200を組み込み、ボルト130によりトップクランプ
111とボトムクランプ115を組み合わせることによ
り、コンタクトプローブ挟持体110が作製される。
【0009】上記コンタクトプローブ挟持体110は、
図14に示すように、ボルト131により額縁状フレー
ム120に固定されて、LCD用プローブ装置100に
組み立てられる。LCD用プローブ装置100を用いて
LCD90の電気的テストを行うには、LCD用プロー
ブ装置100のコンタクトピン3aの先端をLCD90
の端子(図示せず)に接触させた状態で、TABIC3
00からコンタクトピン3aを通して信号を送り、LC
D90の作動を確認することにより行われる。
図14に示すように、ボルト131により額縁状フレー
ム120に固定されて、LCD用プローブ装置100に
組み立てられる。LCD用プローブ装置100を用いて
LCD90の電気的テストを行うには、LCD用プロー
ブ装置100のコンタクトピン3aの先端をLCD90
の端子(図示せず)に接触させた状態で、TABIC3
00からコンタクトピン3aを通して信号を送り、LC
D90の作動を確認することにより行われる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、繰り返しの
使用により、コンタクトプローブ200が摩耗したり破
損したりした場合には、前記コンタクトプローブ挟持体
110から摩耗等したコンタクトプローブ200を取り
外して、新品と交換する必要がある。
使用により、コンタクトプローブ200が摩耗したり破
損したりした場合には、前記コンタクトプローブ挟持体
110から摩耗等したコンタクトプローブ200を取り
外して、新品と交換する必要がある。
【0011】しかしながら、コンタクトプローブ200
は、前述したように、傾斜板116の上に載置された
後、その樹脂フィルム201上にトップクランプ111
の第一突起112を乗せた状態で、ボルト130により
締め付けられて組み込まれるに過ぎないため、組立後の
コンタクトプローブ200のコンタクトピン3aは、L
CD90のパッドに対して必ずしも位置合わせされてい
なかった。
は、前述したように、傾斜板116の上に載置された
後、その樹脂フィルム201上にトップクランプ111
の第一突起112を乗せた状態で、ボルト130により
締め付けられて組み込まれるに過ぎないため、組立後の
コンタクトプローブ200のコンタクトピン3aは、L
CD90のパッドに対して必ずしも位置合わせされてい
なかった。
【0012】そのため、上記組立作業後に、TABIC
300からテスト信号を送っても、コンタクトプローブ
200のコンタクトピン3aとLCD90のパッドとの
良好な導通がとれていないことがあり、その場合には、
導通が良好にとれるように両者3a,90が位置合わせ
されるまで、コンタクトプローブ200のコンタクトプ
ローブ挟持体110に対する組み込み作業を繰り返す必
要があった。
300からテスト信号を送っても、コンタクトプローブ
200のコンタクトピン3aとLCD90のパッドとの
良好な導通がとれていないことがあり、その場合には、
導通が良好にとれるように両者3a,90が位置合わせ
されるまで、コンタクトプローブ200のコンタクトプ
ローブ挟持体110に対する組み込み作業を繰り返す必
要があった。
【0013】特に、近時、LCD素子等の一層の微細化
により、LCD90のパッド間の距離が一層小さくなっ
ており、これに伴い、上記コンタクトピン3aのピッチ
も狭くなっていることから、LCD90のパッドとコン
タクトピン3aとの位置合わせは、一層困難なものとな
っていた。
により、LCD90のパッド間の距離が一層小さくなっ
ており、これに伴い、上記コンタクトピン3aのピッチ
も狭くなっていることから、LCD90のパッドとコン
タクトピン3aとの位置合わせは、一層困難なものとな
っていた。
【0014】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、コンタクトプローブの交換時等に、測定対象物
(例えば、LCDのパッド)との位置合わせ作業が容易
なプローブヘッドを提供することを目的としている。
ので、コンタクトプローブの交換時等に、測定対象物
(例えば、LCDのパッド)との位置合わせ作業が容易
なプローブヘッドを提供することを目的としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
1記載のプローブヘッドでは、複数のパターン配線がフ
ィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端部が
前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンと
されるコンタクトプローブを支持するとともに、プロー
ブ装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプ
ローブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプ
ローブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に
対して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取
り付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設
けられ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本
体に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持
部とを備えている技術が採用される。
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
1記載のプローブヘッドでは、複数のパターン配線がフ
ィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端部が
前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンと
されるコンタクトプローブを支持するとともに、プロー
ブ装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプ
ローブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプ
ローブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に
対して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取
り付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設
けられ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本
体に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持
部とを備えている技術が採用される。
【0016】このプローブヘッドでは、コンタクトプロ
ーブの交換の際に、プローブヘッド本体の位置決め支持
部に、新品のコンタクトプローブを取り付けることによ
り、そのコンタクトプローブは、プローブヘッド本体に
対して位置決めされる。そして、プローブヘッド本体の
取付部を、プローブ装置本体に対して取り付けることに
より、プローブヘッド本体は、プローブ装置本体に対し
て位置決めされる。したがって、前記プローブ装置本体
と測定対象物との相対位置関係さえ一定(位置合わせさ
れた状態)に保持されていれば、新品のコンタクトプロ
ーブは、本発明のプローブヘッドを介して、前記プロー
ブ装置本体に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、前記測定対象物に対する位置合わせが自動的に行わ
れる。
ーブの交換の際に、プローブヘッド本体の位置決め支持
部に、新品のコンタクトプローブを取り付けることによ
り、そのコンタクトプローブは、プローブヘッド本体に
対して位置決めされる。そして、プローブヘッド本体の
取付部を、プローブ装置本体に対して取り付けることに
より、プローブヘッド本体は、プローブ装置本体に対し
て位置決めされる。したがって、前記プローブ装置本体
と測定対象物との相対位置関係さえ一定(位置合わせさ
れた状態)に保持されていれば、新品のコンタクトプロ
ーブは、本発明のプローブヘッドを介して、前記プロー
ブ装置本体に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、前記測定対象物に対する位置合わせが自動的に行わ
れる。
【0017】請求項2記載のプローブヘッドでは、請求
項1記載のプローブヘッドにおいて、前記位置決め支持
部は、前記プローブヘッド本体に対して位置決めされて
固着され、その固着面の反対側が前記コンタクトプロー
ブの取付面とされた透明板と、この透明板上に形成さ
れ、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを配置す
べき位置を表示する位置決めマーク部とを備えてなる技
術が採用される。
項1記載のプローブヘッドにおいて、前記位置決め支持
部は、前記プローブヘッド本体に対して位置決めされて
固着され、その固着面の反対側が前記コンタクトプロー
ブの取付面とされた透明板と、この透明板上に形成さ
れ、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを配置す
べき位置を表示する位置決めマーク部とを備えてなる技
術が採用される。
【0018】このプローブヘッドでは、プローブヘッド
本体に対して位置決めされて固着される透明板に、測定
対象物との関係で前記コンタクトピンを配置すべき位置
を表示する位置決めマーク部が形成されており、その透
明板に対してコンタクトプローブを取り付ける構成とさ
れているため、コンタクトプローブのコンタクトピンが
位置決めマーク部に重なった状態で、コンタクトプロー
ブを透明板に取り付ければ、コンタクトピンと測定対象
物とは自ずと位置合わせされる。
本体に対して位置決めされて固着される透明板に、測定
対象物との関係で前記コンタクトピンを配置すべき位置
を表示する位置決めマーク部が形成されており、その透
明板に対してコンタクトプローブを取り付ける構成とさ
れているため、コンタクトプローブのコンタクトピンが
位置決めマーク部に重なった状態で、コンタクトプロー
ブを透明板に取り付ければ、コンタクトピンと測定対象
物とは自ずと位置合わせされる。
【0019】請求項3記載のプローブヘッドでは、請求
項2記載のプローブヘッドにおいて、前記透明板は、前
記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けられ、
少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前記測
定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直接ま
たは間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定対象
物に向けて押圧可能な弾性力を備えている技術が採用さ
れる。
項2記載のプローブヘッドにおいて、前記透明板は、前
記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けられ、
少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前記測
定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直接ま
たは間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定対象
物に向けて押圧可能な弾性力を備えている技術が採用さ
れる。
【0020】このプローブヘッドでは、前記透明板は、
前記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けら
れ、少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前
記測定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直
接または間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定
対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えているため、コ
ンタクトピンの先端が上方に湾曲したものが存在してい
ても、前記突出部でコンタクトピンを押圧し、コンタク
トピンを測定対象物に対して確実に接触させることがで
きることから、接触不良による測定ミスをなくすことが
できる。
前記プローブヘッド本体の先端部から突出して設けら
れ、少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前
記測定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直
接または間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定
対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えているため、コ
ンタクトピンの先端が上方に湾曲したものが存在してい
ても、前記突出部でコンタクトピンを押圧し、コンタク
トピンを測定対象物に対して確実に接触させることがで
きることから、接触不良による測定ミスをなくすことが
できる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプローブヘッ
ドの一実施形態について図1から図8を参照しながら説
明する。
ドの一実施形態について図1から図8を参照しながら説
明する。
【0022】本実施形態のプローブヘッドは、上記従来
例におけるコンタクトプローブ挟持体110に代わるも
のである。図1において、符号40はプローブヘッドを
示しており、このプローブヘッド40は、プローブ装置
本体81に取り付けられて、プローブ装置80を構成す
るものである。
例におけるコンタクトプローブ挟持体110に代わるも
のである。図1において、符号40はプローブヘッドを
示しており、このプローブヘッド40は、プローブ装置
本体81に取り付けられて、プローブ装置80を構成す
るものである。
【0023】図1乃至図3に示すように、プローブヘッ
ド40は、プローブヘッド本体50と、このプローブヘ
ッド本体50の上面51に設けられ前記プローブ装置本
体81に対する取付部60と、前記プローブヘッド本体
50の先端部52下側に設けられ前記コンタクトプロー
ブ200を取り付けるための位置決め支持部70とを備
えている。
ド40は、プローブヘッド本体50と、このプローブヘ
ッド本体50の上面51に設けられ前記プローブ装置本
体81に対する取付部60と、前記プローブヘッド本体
50の先端部52下側に設けられ前記コンタクトプロー
ブ200を取り付けるための位置決め支持部70とを備
えている。
【0024】前記取付部60は、前記プローブヘッド本
体50の上面中央部に設けられたボルト孔61とその側
部に設けられた2つのノックピン挿通孔62とを備えて
いる。これらボルト孔61およびノックピン挿通孔62
は、プローブ装置本体81に設けられたボルト孔82お
よびノックピン挿通孔83に、それぞれが対応する位置
に形成されている。
体50の上面中央部に設けられたボルト孔61とその側
部に設けられた2つのノックピン挿通孔62とを備えて
いる。これらボルト孔61およびノックピン挿通孔62
は、プローブ装置本体81に設けられたボルト孔82お
よびノックピン挿通孔83に、それぞれが対応する位置
に形成されている。
【0025】そして、各ノックピン挿通孔62,83に
ノックピンKが挿通されることで、プローブ装置本体8
1とプローブヘッド40との相対位置が規制され、その
状態で各ボルト孔61,82に固定ボルトBを挿通させ
ることにより、プローブヘッド40は、プローブ装置本
体81に対して位置決めされた状態で固定されるように
なっている。
ノックピンKが挿通されることで、プローブ装置本体8
1とプローブヘッド40との相対位置が規制され、その
状態で各ボルト孔61,82に固定ボルトBを挿通させ
ることにより、プローブヘッド40は、プローブ装置本
体81に対して位置決めされた状態で固定されるように
なっている。
【0026】前記プローブヘッド本体50の先端部52
下面は、LCDのパッド面(図示せず)に対する角度θ
が20゜に設定された傾斜面53とされている。この傾
斜面53の傾斜角度θは、該傾斜面53に沿って取り付
けられるコンタクトプローブ200のコンタクトピン3
aと前記パッド面との接触角を考慮して設定され、該コ
ンタクトピン3aによるパッドのスクラブ(scrub)が
良好に行えるようにされている。
下面は、LCDのパッド面(図示せず)に対する角度θ
が20゜に設定された傾斜面53とされている。この傾
斜面53の傾斜角度θは、該傾斜面53に沿って取り付
けられるコンタクトプローブ200のコンタクトピン3
aと前記パッド面との接触角を考慮して設定され、該コ
ンタクトピン3aによるパッドのスクラブ(scrub)が
良好に行えるようにされている。
【0027】図3において、符号301は、前述したT
ABテープであり、400は、コンタクトプローブ20
0とTABテープ301とを接続するフレキシブル基板
(FPC)であり、401は、TABテープ301とプ
ローブ装置本体81側の端子とを接続するフレキシブル
基板である。これら各基板400,401とTABテー
プ301との接続には、異方性導電テープ(ACF)が
用いられている。
ABテープであり、400は、コンタクトプローブ20
0とTABテープ301とを接続するフレキシブル基板
(FPC)であり、401は、TABテープ301とプ
ローブ装置本体81側の端子とを接続するフレキシブル
基板である。これら各基板400,401とTABテー
プ301との接続には、異方性導電テープ(ACF)が
用いられている。
【0028】図4に示すように、前記傾斜面53には、
前記位置決め支持部70を構成するマイラーフィルム
(透明板)71が固着されている。前記傾斜面53とマ
イラーフィルム71には、それぞれ、位置決め用十字
(プラス)マークMが設けられ、それらのマークを顕微
鏡で合わせて位置決めした状態で、マイラーフィルム7
1は傾斜面53に接着剤Lで固着されている。
前記位置決め支持部70を構成するマイラーフィルム
(透明板)71が固着されている。前記傾斜面53とマ
イラーフィルム71には、それぞれ、位置決め用十字
(プラス)マークMが設けられ、それらのマークを顕微
鏡で合わせて位置決めした状態で、マイラーフィルム7
1は傾斜面53に接着剤Lで固着されている。
【0029】前記マイラーフィルム71には、前記LC
Dのパッドとの関係でコンタクトピン3aを配置すべき
位置を表示する位置決めマーク部72が印刷されてい
る。すなわち、透明なマイラーフィルム71には、該マ
イラーフィルム71の前記傾斜面53に対する固着面と
反対側の面Fに重ねられた状態で接着剤等により取り付
けられるコンタクトプローブ200(図4には図示せ
ず)の、コンタクトピン3aの各軸線と合致すべき位置
に、該コンタクトピン3aと略同数で所定の長さを有す
る目盛りが形成されて、前記位置決めマーク部72を構
成している。
Dのパッドとの関係でコンタクトピン3aを配置すべき
位置を表示する位置決めマーク部72が印刷されてい
る。すなわち、透明なマイラーフィルム71には、該マ
イラーフィルム71の前記傾斜面53に対する固着面と
反対側の面Fに重ねられた状態で接着剤等により取り付
けられるコンタクトプローブ200(図4には図示せ
ず)の、コンタクトピン3aの各軸線と合致すべき位置
に、該コンタクトピン3aと略同数で所定の長さを有す
る目盛りが形成されて、前記位置決めマーク部72を構
成している。
【0030】前記マイラーフィルム71は、プローブヘ
ッド本体50の先端部から突出して設けられるととも
に、一定の弾性力を有するものが採用され、以下のよう
な作用を奏するものである。
ッド本体50の先端部から突出して設けられるととも
に、一定の弾性力を有するものが採用され、以下のよう
な作用を奏するものである。
【0031】すなわち、図5に示すように、前記コンタ
クトプローブ200のコンタクトピン3aは、その先端
が正常な先端Sの他に、上方に湾曲した先端S1や下方
に湾曲した先端S2が生じることがあった。
クトプローブ200のコンタクトピン3aは、その先端
が正常な先端Sの他に、上方に湾曲した先端S1や下方
に湾曲した先端S2が生じることがあった。
【0032】この場合、前記マイラーフィルム71が無
いとすると、図6に示すように、前記コンタクトプロー
ブ200をプローブヘッド40で支持してコンタクトピ
ン3aをLCD90のパッドに押しつけても、正常な先
端S1および下方に湾曲した先端S2は、LCD90の
パッドに接触するが、上方に湾曲した先端S1は、仮に
接触したとしても十分な接触圧が得られないことがあっ
た。このことから、コンタクトピン3aのLCD90に
対する接触不良が発生し正確な電気テストが行えないこ
とがあった。また、テスト時に所望の接触圧を得るため
にコンタクトピン3aの押し付け量を増減させるが、大
きな接触圧を得るためには大きな押し付け量が必要とな
るものの、針の形状からその量には限度があり、大きな
接触圧を得られないことがあった。
いとすると、図6に示すように、前記コンタクトプロー
ブ200をプローブヘッド40で支持してコンタクトピ
ン3aをLCD90のパッドに押しつけても、正常な先
端S1および下方に湾曲した先端S2は、LCD90の
パッドに接触するが、上方に湾曲した先端S1は、仮に
接触したとしても十分な接触圧が得られないことがあっ
た。このことから、コンタクトピン3aのLCD90に
対する接触不良が発生し正確な電気テストが行えないこ
とがあった。また、テスト時に所望の接触圧を得るため
にコンタクトピン3aの押し付け量を増減させるが、大
きな接触圧を得るためには大きな押し付け量が必要とな
るものの、針の形状からその量には限度があり、大きな
接触圧を得られないことがあった。
【0033】これに対して、本実施形態では、前述した
マイラーフィルム71が有り、図7に示すように、マイ
ラーフィルム71がコンタクトピン3aと接触してLC
D90に向けて押圧するため、コンタクトピン3aの上
方に湾曲した先端S1と下方に湾曲した先端S2とを正
常な先端Sと整列させ、前記上方に湾曲した先端S1で
あってもLCD90の端子に確実に接触させる。これに
より、各コンタクトピン3aに均一な接触圧が得られ、
接触不良による測定ミスをなくすことができる。
マイラーフィルム71が有り、図7に示すように、マイ
ラーフィルム71がコンタクトピン3aと接触してLC
D90に向けて押圧するため、コンタクトピン3aの上
方に湾曲した先端S1と下方に湾曲した先端S2とを正
常な先端Sと整列させ、前記上方に湾曲した先端S1で
あってもLCD90の端子に確実に接触させる。これに
より、各コンタクトピン3aに均一な接触圧が得られ、
接触不良による測定ミスをなくすことができる。
【0034】なお、本発明の透明板としては、所定の弾
性力を備えたものであれば、本実施形態のマイラーフィ
ルム71に限定されるものではなく、例えば、有機材料
であれば、ポリエチレンテレフタレートなどからなり、
無機材料であれば、セラミックス、特にアルミナ製フィ
ルムからなるものでもよい。
性力を備えたものであれば、本実施形態のマイラーフィ
ルム71に限定されるものではなく、例えば、有機材料
であれば、ポリエチレンテレフタレートなどからなり、
無機材料であれば、セラミックス、特にアルミナ製フィ
ルムからなるものでもよい。
【0035】さらに、マイラーフィルム71からのコン
タクトピン3aの突出量を変化させることにより、コン
タクトピン3aを押しつけたときにコンタクトピン3a
を上から押さえるタイミングを変えることが可能とな
り、所望の押しつけ量で所望の接触圧を得ることができ
る。
タクトピン3aの突出量を変化させることにより、コン
タクトピン3aを押しつけたときにコンタクトピン3a
を上から押さえるタイミングを変えることが可能とな
り、所望の押しつけ量で所望の接触圧を得ることができ
る。
【0036】本実施形態のプローブヘッド40では、コ
ンタクトプローブ200の交換の際に、プローブヘッド
本体50の位置決め支持部70に、新品のコンタクトプ
ローブ200を取り付けることにより、そのコンタクト
プローブ200は、プローブヘッド本体50に対して位
置決めされる。そして、プローブヘッド本体50の取付
部60を、プローブ装置本体81に対して取り付けるこ
とにより、プローブヘッド本体50は、プローブ装置本
体81に対して位置決めされる。
ンタクトプローブ200の交換の際に、プローブヘッド
本体50の位置決め支持部70に、新品のコンタクトプ
ローブ200を取り付けることにより、そのコンタクト
プローブ200は、プローブヘッド本体50に対して位
置決めされる。そして、プローブヘッド本体50の取付
部60を、プローブ装置本体81に対して取り付けるこ
とにより、プローブヘッド本体50は、プローブ装置本
体81に対して位置決めされる。
【0037】したがって、前記プローブ装置本体81と
LCDとの相対位置関係さえ一定(位置合わせされた状
態)に保持されていれば、新品のコンタクトプローブ2
00は、プローブヘッド40を介して、前記プローブ装
置本体81に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、LCDに対する位置合わせが自動的に行われる。
LCDとの相対位置関係さえ一定(位置合わせされた状
態)に保持されていれば、新品のコンタクトプローブ2
00は、プローブヘッド40を介して、前記プローブ装
置本体81に対して位置決めされた状態で取り付けら
れ、LCDに対する位置合わせが自動的に行われる。
【0038】すなわち、プローブヘッド40では、プロ
ーブヘッド本体50に対して十字マークMで位置決めさ
れて固着されるマイラーフィルム71に、LCDとの関
係で前記コンタクトピン3aを配置すべき位置を表示す
る位置決めマーク部72が形成されており、そのマイラ
ーフィルム71に対してコンタクトプローブ200を取
り付ける構成とされているため、コンタクトプローブ2
00のコンタクトピン3aが位置決めマーク部71に重
なった状態で、コンタクトプローブ200をマイラーフ
ィルム71に取り付ければ、コンタクトピン3aとLC
Dとは自ずと位置合わせされる。
ーブヘッド本体50に対して十字マークMで位置決めさ
れて固着されるマイラーフィルム71に、LCDとの関
係で前記コンタクトピン3aを配置すべき位置を表示す
る位置決めマーク部72が形成されており、そのマイラ
ーフィルム71に対してコンタクトプローブ200を取
り付ける構成とされているため、コンタクトプローブ2
00のコンタクトピン3aが位置決めマーク部71に重
なった状態で、コンタクトプローブ200をマイラーフ
ィルム71に取り付ければ、コンタクトピン3aとLC
Dとは自ずと位置合わせされる。
【0039】さらに、このプローブヘッド40では、マ
イラーフィルム71は、プローブヘッド本体50の先端
部から突出して設けられ、コンタクトピン3aがLCD
に接触するときに、コンタクトピン3aに接触してコン
タクトピン3aをLCDに向けて押圧可能な弾性力を備
えているため、コンタクトピン3aの先端S1が上方に
湾曲したものが存在していても、コンタクトピン3aを
押圧し、LCDに対して確実に接触させることができる
ことから、接触不良による測定ミスをなくすことができ
る。
イラーフィルム71は、プローブヘッド本体50の先端
部から突出して設けられ、コンタクトピン3aがLCD
に接触するときに、コンタクトピン3aに接触してコン
タクトピン3aをLCDに向けて押圧可能な弾性力を備
えているため、コンタクトピン3aの先端S1が上方に
湾曲したものが存在していても、コンタクトピン3aを
押圧し、LCDに対して確実に接触させることができる
ことから、接触不良による測定ミスをなくすことができ
る。
【0040】ところで、上記の図7に示した実施形態で
は、マイラーフィルム71がコンタクトピン3aに直
接、押圧接触しており、繰り返しの使用によりマイラー
フィルム71とコンタクトピン3aの摩擦が繰り返さ
れ、これによる歪みが蓄積されると、コンタクトピン3
aが左右に曲がり、接触点がずれることがあった。
は、マイラーフィルム71がコンタクトピン3aに直
接、押圧接触しており、繰り返しの使用によりマイラー
フィルム71とコンタクトピン3aの摩擦が繰り返さ
れ、これによる歪みが蓄積されると、コンタクトピン3
aが左右に曲がり、接触点がずれることがあった。
【0041】そこで、図8に示すように、前記樹脂フィ
ルム201を従来よりも幅広なフィルム201aとし
て、前記マイラーフィルム71を幅広樹脂フィルム20
1aよりも短く突出するように重ねて使用してもよい。
これにより、マイラーフィルム71は、柔らかい幅広樹
脂フィルム201aに接触し、コンタクトピン3aとは
直接接触しないため、コンタクトピン3aが左右に曲が
ることが防止できる。すなわち、前記幅広フィルム20
1aが緩衝材となるため、繰り返しオーバードライブを
かけても、マイラーフィルム71との摩擦によりコンタ
クトピン3aが歪んで湾曲すること等がなく、パッドに
対して安定した接触を保つことができる。なお、符号2
02は、樹脂フィルム201とマイラーフィルム71と
の間隔を確保するための金属フィルムである。
ルム201を従来よりも幅広なフィルム201aとし
て、前記マイラーフィルム71を幅広樹脂フィルム20
1aよりも短く突出するように重ねて使用してもよい。
これにより、マイラーフィルム71は、柔らかい幅広樹
脂フィルム201aに接触し、コンタクトピン3aとは
直接接触しないため、コンタクトピン3aが左右に曲が
ることが防止できる。すなわち、前記幅広フィルム20
1aが緩衝材となるため、繰り返しオーバードライブを
かけても、マイラーフィルム71との摩擦によりコンタ
クトピン3aが歪んで湾曲すること等がなく、パッドに
対して安定した接触を保つことができる。なお、符号2
02は、樹脂フィルム201とマイラーフィルム71と
の間隔を確保するための金属フィルムである。
【0042】なお、本実施形態においては、プローブヘ
ッド本体50の先端側にのみ位置決め支持部70を設け
たが、加えて、プローブヘッド本体50の後端側におい
てフレキシブル基板401を位置決めするための位置決
め支持部を同様に形成してもよい。
ッド本体50の先端側にのみ位置決め支持部70を設け
たが、加えて、プローブヘッド本体50の後端側におい
てフレキシブル基板401を位置決めするための位置決
め支持部を同様に形成してもよい。
【0043】
【発明の効果】請求項1記載のプローブヘッドによれ
ば、コンタクトプローブを支持するとともに、プローブ
装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプロ
ーブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプロ
ーブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に対
して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取り
付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設け
られ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本体
に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持部
とを備えているため、コンタクトプローブの交換の際
に、プローブヘッド本体の位置決め支持部に、新品のコ
ンタクトプローブを取り付けることにより、そのコンタ
クトプローブは、プローブヘッド本体に対して位置決め
され、プローブヘッド本体の取付部を、プローブ装置本
体に対して取り付けることにより、プローブヘッド本体
は、プローブ装置本体に対して位置決めされ、したがっ
て、前記プローブ装置本体と測定対象物との相対位置関
係さえ一定(位置合わせされた状態)に保持されていれ
ば、新品のコンタクトプローブは、本発明のプローブヘ
ッドを介して、前記プローブ装置本体に対して位置決め
された状態で取り付けられ、前記測定対象物に対する位
置合わせを自動的に行うことができる。すなわち、コン
タクトプローブの交換作業を簡便かつ正確に行うことが
できることから、工場で引き取らなくても、ユーザー側
での作業も可能となる。
ば、コンタクトプローブを支持するとともに、プローブ
装置本体に取り付けられてプローブ装置を構成するプロ
ーブヘッドであって、プローブヘッド本体と、このプロ
ーブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置本体に対
して位置決めされた状態で該プローブヘッド本体を取り
付けるための取付部と、前記プローブヘッド本体に設け
られ、前記コンタクトプローブを該プローブヘッド本体
に対して位置決めしつつ支持するための位置決め支持部
とを備えているため、コンタクトプローブの交換の際
に、プローブヘッド本体の位置決め支持部に、新品のコ
ンタクトプローブを取り付けることにより、そのコンタ
クトプローブは、プローブヘッド本体に対して位置決め
され、プローブヘッド本体の取付部を、プローブ装置本
体に対して取り付けることにより、プローブヘッド本体
は、プローブ装置本体に対して位置決めされ、したがっ
て、前記プローブ装置本体と測定対象物との相対位置関
係さえ一定(位置合わせされた状態)に保持されていれ
ば、新品のコンタクトプローブは、本発明のプローブヘ
ッドを介して、前記プローブ装置本体に対して位置決め
された状態で取り付けられ、前記測定対象物に対する位
置合わせを自動的に行うことができる。すなわち、コン
タクトプローブの交換作業を簡便かつ正確に行うことが
できることから、工場で引き取らなくても、ユーザー側
での作業も可能となる。
【0044】請求項2記載のプローブヘッドによれば、
プローブヘッド本体に対して位置決めされて固着される
透明板に、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを
配置すべき位置を表示する位置決めマーク部が形成され
ており、その透明板に対してコンタクトプローブを取り
付ける構成とされているため、コンタクトプローブのコ
ンタクトピンが位置決めマーク部に重なった状態で、コ
ンタクトプローブを透明板に取り付ければ、コンタクト
ピンと測定対象物とを自ずと位置合わせした状態にする
ことができる。
プローブヘッド本体に対して位置決めされて固着される
透明板に、測定対象物との関係で前記コンタクトピンを
配置すべき位置を表示する位置決めマーク部が形成され
ており、その透明板に対してコンタクトプローブを取り
付ける構成とされているため、コンタクトプローブのコ
ンタクトピンが位置決めマーク部に重なった状態で、コ
ンタクトプローブを透明板に取り付ければ、コンタクト
ピンと測定対象物とを自ずと位置合わせした状態にする
ことができる。
【0045】請求項3記載のプローブヘッドによれば、
前記透明板は、前記プローブヘッド本体の先端部から突
出して設けられ、少なくともその突出部は、前記コンタ
クトピンが前記測定対象物に接触するときに、該コンタ
クトピンに直接または間接的に接触して該コンタクトピ
ンを前記測定対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えて
いるため、コンタクトピンの先端が上方に湾曲したもの
が存在していても、前記突出部でコンタクトピンを押圧
し、コンタクトピンを測定対象物に対して確実に接触さ
せることができることから、接触不良による測定ミスを
なくすことができる。
前記透明板は、前記プローブヘッド本体の先端部から突
出して設けられ、少なくともその突出部は、前記コンタ
クトピンが前記測定対象物に接触するときに、該コンタ
クトピンに直接または間接的に接触して該コンタクトピ
ンを前記測定対象物に向けて押圧可能な弾性力を備えて
いるため、コンタクトピンの先端が上方に湾曲したもの
が存在していても、前記突出部でコンタクトピンを押圧
し、コンタクトピンを測定対象物に対して確実に接触さ
せることができることから、接触不良による測定ミスを
なくすことができる。
【図1】 本発明に係るプローブヘッドの一実施形態を
示し、プローブ装置本体との位置関係を主として示す側
面図である。
示し、プローブ装置本体との位置関係を主として示す側
面図である。
【図2】 プローブヘッドの一実施形態を示す平面図で
ある。
ある。
【図3】 同側面図である。
【図4】 同要部拡大斜視図である。
【図5】 コンタクトプローブの一問題点を示すコンタ
クトプローブの側断面図である。
クトプローブの側断面図である。
【図6】 同コンタクトプローブを従来のプローブヘッ
ドに組み込んだ際の問題点を示す側断面図である。
ドに組み込んだ際の問題点を示す側断面図である。
【図7】 図6に示した問題点を解決した様子を示す本
発明に係るプローブヘッドの一実施形態を示す側断面図
である。
発明に係るプローブヘッドの一実施形態を示す側断面図
である。
【図8】 図7の変形例を示す側断面図である。
【図9】 従来のコンタクトプローブを示す斜視図であ
る。
る。
【図10】 図9のA−A線断面図である。
【図11】 従来のプローブ装置の使用状態を示す斜視
図である。
図である。
【図12】 従来のプローブ装置を構成するコンタクト
プローブ挟持体を示す分解斜視図である。
プローブ挟持体を示す分解斜視図である。
【図13】 図12の組み立てられた状態を示す斜視図
である。
である。
【図14】 図13の側面図である。
3 パターン配線 3a コンタクトピン 40 プローブヘッド 50 プローブヘッド本体 60 取付部 70 位置決め支持部 71 透明板 72 位置決めマーク部 80 プローブ装置 81 プローブ装置本体 90 測定対象物(LCDのパッド) 200 コンタクトプローブ 201 フィルム(樹脂フィルム)
Claims (3)
- 【請求項1】 複数のパターン配線がフィルム上に形成
されこれらのパターン配線の各先端部が前記フィルムか
ら突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタク
トプローブを支持するとともに、プローブ装置本体に取
り付けられてプローブ装置を構成するプローブヘッドで
あって、 プローブヘッド本体と、 このプローブヘッド本体に設けられ、前記プローブ装置
本体に対して位置決めされた状態で該プローブヘッド本
体を取り付けるための取付部と、 前記プローブヘッド本体に設けられ、前記コンタクトプ
ローブを該プローブヘッド本体に対して位置決めしつつ
支持するための位置決め支持部とを備えていることを特
徴とするプローブヘッド。 - 【請求項2】 請求項1記載のプローブヘッドにおい
て、 前記位置決め支持部は、前記プローブヘッド本体に対し
て位置決めされて固着され、その固着面の反対側が前記
コンタクトプローブの取付面とされた透明板と、 この透明板上に形成され、測定対象物との関係で前記コ
ンタクトピンを配置すべき位置を表示する位置決めマー
ク部とを備えてなることを特徴とするプローブヘッド。 - 【請求項3】 請求項2記載のプローブヘッドにおい
て、 前記透明板は、前記プローブヘッド本体の先端部から突
出して設けられ、 少なくともその突出部は、前記コンタクトピンが前記測
定対象物に接触するときに、該コンタクトピンに直接ま
たは間接的に接触して該コンタクトピンを前記測定対象
物に向けて押圧可能な弾性力を備えていることを特徴と
するプローブヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21787597A JPH1164382A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21787597A JPH1164382A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | プローブヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1164382A true JPH1164382A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16711146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21787597A Pending JPH1164382A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | プローブヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1164382A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007322158A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及び検査装置 |
KR100967161B1 (ko) | 2010-03-23 | 2010-07-05 | (주)유비프리시젼 | 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비한 프로브 블록 |
WO2010104303A3 (en) * | 2009-03-10 | 2011-01-06 | Pro-2000 Co. Ltd. | Probe unit for testing panel |
KR101029322B1 (ko) * | 2010-02-03 | 2011-04-13 | 주식회사 프로이천 | 패널 테스트를 위한 프로브 유닛 |
KR101029245B1 (ko) * | 2010-02-03 | 2011-04-18 | 주식회사 프로이천 | 패널 테스트를 위한 프로브 유닛 |
KR200456800Y1 (ko) | 2010-09-13 | 2011-11-21 | 주식회사 프로이천 | 과전류차단용 서브피씨비를 가지는 프로브 장치 |
KR101436294B1 (ko) * | 2013-10-10 | 2014-09-03 | 로체 시스템즈(주) | 전극패턴 검사장치 및 이를 포함하는 전극패턴 검사장치 시스템 |
KR102127728B1 (ko) * | 2019-02-14 | 2020-06-29 | (주)티에스이 | 개선된 그립핑 구조를 가지는 프로브 핀 |
-
1997
- 1997-08-12 JP JP21787597A patent/JPH1164382A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102348991A (zh) * | 2009-03-10 | 2012-02-08 | 普罗-2000有限公司 | 用于测试面板的探测装置 |
CN102348990A (zh) * | 2009-03-10 | 2012-02-08 | 普罗-2000有限公司 | 用于测试面板的探测装置 |
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KR101029322B1 (ko) * | 2010-02-03 | 2011-04-13 | 주식회사 프로이천 | 패널 테스트를 위한 프로브 유닛 |
KR101029245B1 (ko) * | 2010-02-03 | 2011-04-18 | 주식회사 프로이천 | 패널 테스트를 위한 프로브 유닛 |
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KR200456800Y1 (ko) | 2010-09-13 | 2011-11-21 | 주식회사 프로이천 | 과전류차단용 서브피씨비를 가지는 프로브 장치 |
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KR102127728B1 (ko) * | 2019-02-14 | 2020-06-29 | (주)티에스이 | 개선된 그립핑 구조를 가지는 프로브 핀 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020716 |