JPH1160002A - セラミックグリーンシート供給装置 - Google Patents
セラミックグリーンシート供給装置Info
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- JPH1160002A JPH1160002A JP24943297A JP24943297A JPH1160002A JP H1160002 A JPH1160002 A JP H1160002A JP 24943297 A JP24943297 A JP 24943297A JP 24943297 A JP24943297 A JP 24943297A JP H1160002 A JPH1160002 A JP H1160002A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリアフィ
ルムに形成されているセラミックグリーンシート（以
下、Ｇ／Ｓと称す）の幅方向軌道修正、及び位置確認を
追従性よく行い、正確に加工ステージへＧ／Ｓを供給す
るセラミックグリーンシート供給装置を提供すること。 【解決手段】 Ｇ／Ｓ２幅方向の位置ずれの認識、つま
り、加工ステージ手前での、印刷パターンと同時に形成
した位置確認マーク５の検出をＧ／Ｓ２がキャリアフィ
ルム１上にある状態で、キャリアフィルム１を吸着プレ
ートにて真空吸着固定し行う構成と、Ｇ／Ｓ２幅方向の
供給軌道修正を、キャリアフィルム１及びロールごと行
う構成と、ピックアンドプレス部の吸着プレートにて真
空吸着固定した後、剥離ブレードを介して、Ｇ／Ｓ２の
剥離を行い、加工ステージへ供給する構成とするセラミ
ックグリーンシート供給装置。
ルムに形成されているセラミックグリーンシート（以
下、Ｇ／Ｓと称す）の幅方向軌道修正、及び位置確認を
追従性よく行い、正確に加工ステージへＧ／Ｓを供給す
るセラミックグリーンシート供給装置を提供すること。 【解決手段】 Ｇ／Ｓ２幅方向の位置ずれの認識、つま
り、加工ステージ手前での、印刷パターンと同時に形成
した位置確認マーク５の検出をＧ／Ｓ２がキャリアフィ
ルム１上にある状態で、キャリアフィルム１を吸着プレ
ートにて真空吸着固定し行う構成と、Ｇ／Ｓ２幅方向の
供給軌道修正を、キャリアフィルム１及びロールごと行
う構成と、ピックアンドプレス部の吸着プレートにて真
空吸着固定した後、剥離ブレードを介して、Ｇ／Ｓ２の
剥離を行い、加工ステージへ供給する構成とするセラミ
ックグリーンシート供給装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロール状に巻き取
られた長尺なキャリアフィルムに形成されているセラミ
ックグリーンシートの上の、一定間隔で印刷されている
印刷パターンやマークを所定の加工ステージへ供給する
セラミックグリーンシート供給装置に関するものであ
る。
られた長尺なキャリアフィルムに形成されているセラミ
ックグリーンシートの上の、一定間隔で印刷されている
印刷パターンやマークを所定の加工ステージへ供給する
セラミックグリーンシート供給装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のセラミックグリーンシート供給装
置においては、ロール状に巻き取られたキャリアフィル
ムに形成されているセラミックグリーンシート上の印刷
パターンやマークを加工ステージへ供給する場合、以下
のような欠点があった。
置においては、ロール状に巻き取られたキャリアフィル
ムに形成されているセラミックグリーンシート上の印刷
パターンやマークを加工ステージへ供給する場合、以下
のような欠点があった。
【０００３】ロール状に巻き取られているため、巻き取
り時に発生する巻きむらが蓄積し、その結果、セラミッ
クグリーンシート上の印刷パターンを加工ステージへ供
給する際、セラミックグリーンシートの幅方向に位置ず
れが発生する。
り時に発生する巻きむらが蓄積し、その結果、セラミッ
クグリーンシート上の印刷パターンを加工ステージへ供
給する際、セラミックグリーンシートの幅方向に位置ず
れが発生する。
【０００４】又、その幅方向の位置ずれを修正するた
め、従来は、図１９（ａ）、図１９（ｂ）に示すよう
に、アクチュエータ３０でセラミックグリーンシート幅
方向に移動可能な供給ロール部１０から送り出されたキ
ャリアフィルム１上のセラミックグリーンシート２は、
ローラ１１を経由し、剥離ローラ３１にてキャリアフィ
ルム１から剥離され、メッシュコンベア３２に供給され
る。このメッシュコンベア３２の搬送経路上には、加工
ステージ１９が設置されており、その加工ステージ１９
の前のセラミックグリーンシート供給位置認識部３３に
供給されてきたセラミックグリーンシート２の印刷パタ
ーンである内部電極パターン３や、位置決めマーク４、
あるいは位置確認マーク５の位置を認識し、セラミック
グリーンシート２の供給軌道修正を行うようになってい
る。即ち、前記供給ロール部１０自体をアクチュエータ
３０で移動して、そのセラミックグリーンシートの幅方
向の位置ずれを修正していた。
め、従来は、図１９（ａ）、図１９（ｂ）に示すよう
に、アクチュエータ３０でセラミックグリーンシート幅
方向に移動可能な供給ロール部１０から送り出されたキ
ャリアフィルム１上のセラミックグリーンシート２は、
ローラ１１を経由し、剥離ローラ３１にてキャリアフィ
ルム１から剥離され、メッシュコンベア３２に供給され
る。このメッシュコンベア３２の搬送経路上には、加工
ステージ１９が設置されており、その加工ステージ１９
の前のセラミックグリーンシート供給位置認識部３３に
供給されてきたセラミックグリーンシート２の印刷パタ
ーンである内部電極パターン３や、位置決めマーク４、
あるいは位置確認マーク５の位置を認識し、セラミック
グリーンシート２の供給軌道修正を行うようになってい
る。即ち、前記供給ロール部１０自体をアクチュエータ
３０で移動して、そのセラミックグリーンシートの幅方
向の位置ずれを修正していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、セラミッ
クグリーンシート幅方向の供給軌道修正をキャリアフィ
ルムから剥離したセラミックグリーンシートに対し行っ
ていたため、剥離ローラ３１やメッシュコンベア３２へ
のセラミックグリーンシート受け渡し時にしわが発生し
たり、破れたりした。
クグリーンシート幅方向の供給軌道修正をキャリアフィ
ルムから剥離したセラミックグリーンシートに対し行っ
ていたため、剥離ローラ３１やメッシュコンベア３２へ
のセラミックグリーンシート受け渡し時にしわが発生し
たり、破れたりした。
【０００６】更に、その状態のセラミックグリーンシー
トをセラミックグリーンシート供給位置認識部３３にて
位置認識するため、正確に位置認識ができない場合が発
生する。
トをセラミックグリーンシート供給位置認識部３３にて
位置認識するため、正確に位置認識ができない場合が発
生する。
【０００７】又、前記セラミックグリーンシート供給位
置認識部３３にてセラミックグリーンシートを位置認識
し、セラミックグリーンシートの供給軌道修正を行って
も、前記認識部と軌道修正部間の経路が長いため、追従
性が悪く、加工ステージ１９への確実なセラミックグリ
ーンシート供給が困難であった。
置認識部３３にてセラミックグリーンシートを位置認識
し、セラミックグリーンシートの供給軌道修正を行って
も、前記認識部と軌道修正部間の経路が長いため、追従
性が悪く、加工ステージ１９への確実なセラミックグリ
ーンシート供給が困難であった。
【０００８】従って、本発明は、ロール状に巻き取られ
た長尺なキャリアフィルムに形成されているセラミック
グリーンシートの幅方向、つまり、セラミックグリーン
シートの供給軌道修正及び位置確認マーク等の確実な検
出を追従性よく行うことを可能とし、正確に加工ステー
ジへセラミックグリーンシートを供給するセラミックグ
リーンシート供給装置を提供することを目的とする。
た長尺なキャリアフィルムに形成されているセラミック
グリーンシートの幅方向、つまり、セラミックグリーン
シートの供給軌道修正及び位置確認マーク等の確実な検
出を追従性よく行うことを可能とし、正確に加工ステー
ジへセラミックグリーンシートを供給するセラミックグ
リーンシート供給装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロール状に巻
き取られた長尺なキャリアフィルムに形成されているセ
ラミックグリーンシート上に印刷された印刷パターン及
びマークを加工ステージへ供給するセラミックグリーン
シート供給装置において、セラミックグリーンシート上
への印刷パターン形成時に、その印刷パターン以外の任
意の部分に形成されているセラミックグリーンシート供
給方向と直交する方向に設けられた位置確認用のマーク
を検出する光センサを前記幅方向に１対設置し、かつ、
セラミックグリーンシートの幅方向へ移動可能な位置調
整機構を設けたセラミックグリーンシート供給装置であ
る。
き取られた長尺なキャリアフィルムに形成されているセ
ラミックグリーンシート上に印刷された印刷パターン及
びマークを加工ステージへ供給するセラミックグリーン
シート供給装置において、セラミックグリーンシート上
への印刷パターン形成時に、その印刷パターン以外の任
意の部分に形成されているセラミックグリーンシート供
給方向と直交する方向に設けられた位置確認用のマーク
を検出する光センサを前記幅方向に１対設置し、かつ、
セラミックグリーンシートの幅方向へ移動可能な位置調
整機構を設けたセラミックグリーンシート供給装置であ
る。
【００１０】本発明は、ロール状に巻き取られた長尺な
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシー
トをキャリアフィルムごと真空吸着してセラミックグリ
ーンシートを固定する吸着プレートと、その吸着プレー
トを移送する機構、及びセラミックグリーンシートをキ
ャリアフィルムから剥離するための剥離ブレードを設け
たセラミックグリーンシート供給装置である。
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシー
トをキャリアフィルムごと真空吸着してセラミックグリ
ーンシートを固定する吸着プレートと、その吸着プレー
トを移送する機構、及びセラミックグリーンシートをキ
ャリアフィルムから剥離するための剥離ブレードを設け
たセラミックグリーンシート供給装置である。
【００１１】本発明は、ロール状に巻き取られた長尺な
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、吸着プレートに真空吸着し固定したキャリアフ
ィルム上のセラミックグリーンシートの位置確認用のマ
ークを光センサーにて検出し、セラミックグリーンシー
ト幅方向の供給軌道修正を行った後、ピックアンドプレ
ス部にて、供給軌道修正を完了したキャリアフィルム上
のセラミックグリーンシートのみを真空吸着にて固定
し、剥離ブレードを介して吸着プレートを後退すること
でセラミックグリーンシートの剥離を行うセラミックグ
リーンシート供給装置である。
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、吸着プレートに真空吸着し固定したキャリアフ
ィルム上のセラミックグリーンシートの位置確認用のマ
ークを光センサーにて検出し、セラミックグリーンシー
ト幅方向の供給軌道修正を行った後、ピックアンドプレ
ス部にて、供給軌道修正を完了したキャリアフィルム上
のセラミックグリーンシートのみを真空吸着にて固定
し、剥離ブレードを介して吸着プレートを後退すること
でセラミックグリーンシートの剥離を行うセラミックグ
リーンシート供給装置である。
【００１２】本発明は、ロール状に巻き取られた長尺な
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、剥離を完了したセラミックグリーンシートのみ
を切断するカッターを設けたセラミックグリーンシート
供給装置である。
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、剥離を完了したセラミックグリーンシートのみ
を切断するカッターを設けたセラミックグリーンシート
供給装置である。
【００１３】本発明は、ロール状に巻き取られた長尺な
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、剥離・切断を完了したセラミックグリーンシー
トを真空吸着し固定して加工ステージへ移送するピック
アンドプレス部を設けたセラミックグリーンシート供給
装置である。
キャリアフィルムに形成されているセラミックグリーン
シート上に印刷された印刷パターン及びマークを加工ス
テージへ供給するセラミックグリーンシート供給装置に
おいて、剥離・切断を完了したセラミックグリーンシー
トを真空吸着し固定して加工ステージへ移送するピック
アンドプレス部を設けたセラミックグリーンシート供給
装置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明のセラミックグリ
ーンシート供給装置について説明する。
ーンシート供給装置について説明する。
【００１５】本発明は、ロールの巻きむら等により発生
したセラミックグリーンシート幅方向の位置ずれの認
識、つまり、加工ステージ手前での、印刷パターンと同
時に形成した位置確認マークの検出をセラミックグリー
ンシートがキャリアフィルム上にある状態で、キャリア
フィルムを吸着プレートで真空吸着固定する構成と、セ
ラミックグリーンシート幅方向の供給軌道修正を、前記
キャリアフィルム吸着固定状態でキャリアフィルム及び
ロールごと行う構成と、セラミックグリーンシート幅方
向の供給軌道修正を完了したセラミックグリーンシート
をピックアンドプレス部の吸着プレートにて真空吸着固
定した後、剥離ブレードを介して、キャリアフィルムを
巻き取り、セラミックグリーンシートの剥離を行い、加
工ステージへ供給する構成としたセラミックグリーンシ
ート供給装置である。
したセラミックグリーンシート幅方向の位置ずれの認
識、つまり、加工ステージ手前での、印刷パターンと同
時に形成した位置確認マークの検出をセラミックグリー
ンシートがキャリアフィルム上にある状態で、キャリア
フィルムを吸着プレートで真空吸着固定する構成と、セ
ラミックグリーンシート幅方向の供給軌道修正を、前記
キャリアフィルム吸着固定状態でキャリアフィルム及び
ロールごと行う構成と、セラミックグリーンシート幅方
向の供給軌道修正を完了したセラミックグリーンシート
をピックアンドプレス部の吸着プレートにて真空吸着固
定した後、剥離ブレードを介して、キャリアフィルムを
巻き取り、セラミックグリーンシートの剥離を行い、加
工ステージへ供給する構成としたセラミックグリーンシ
ート供給装置である。
【００１６】加工ステージ前のセラミックグリーンシー
トを、キャリアフィルム上にある状態で、セラミックグ
リーンシート幅方向の位置認識及び供給軌道の修正を行
うため、正確に、かつ追従性よく行うことが可能とな
る。又、供給軌道の修正を完了したセラミックグリーン
シートをキャリアフィルムから剥離するため、供給軌道
修正時に発生していたしわや破れが無くなる。又、本発
明は、セラミックグリーンシートの移送・位置修正をキ
ャリアフィルム上にて行うため、膜厚の薄いセラミック
グリーンシートに対しても大変有効である。
トを、キャリアフィルム上にある状態で、セラミックグ
リーンシート幅方向の位置認識及び供給軌道の修正を行
うため、正確に、かつ追従性よく行うことが可能とな
る。又、供給軌道の修正を完了したセラミックグリーン
シートをキャリアフィルムから剥離するため、供給軌道
修正時に発生していたしわや破れが無くなる。又、本発
明は、セラミックグリーンシートの移送・位置修正をキ
ャリアフィルム上にて行うため、膜厚の薄いセラミック
グリーンシートに対しても大変有効である。
【００１７】
【実施例】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
の実施例について図面を参照して下記に説明する。
の実施例について図面を参照して下記に説明する。
【００１８】図１、図２は、本発明に用いられるワーク
の概略図である。図３〜図５は、本発明の実施例の全体
図であり、図６〜図１８は、本発明のセラミックグリー
ンシート供給装置を用いて、セラミックグリーンシート
を加工ステージへ供給するまでの動作を説明する図であ
る。
の概略図である。図３〜図５は、本発明の実施例の全体
図であり、図６〜図１８は、本発明のセラミックグリー
ンシート供給装置を用いて、セラミックグリーンシート
を加工ステージへ供給するまでの動作を説明する図であ
る。
【００１９】図１において、本発明のセラミックグリー
ンシート供給装置は、ベースフィルムとなるキャリアフ
ィルム１上にセラミックグリーンシート２が形成されて
おり、更に、セラミックグリーンシート２上に内部電極
パターン３及び位置決めマーク４、位置確認マーク５
が、スクリーン印刷法により、一定間隔にて印刷され、
図２に示すように、キャリアフィルム１上の内部電極パ
ターン３を印刷したセラミックグリーンシート２が、ロ
ール状に巻き取られる。
ンシート供給装置は、ベースフィルムとなるキャリアフ
ィルム１上にセラミックグリーンシート２が形成されて
おり、更に、セラミックグリーンシート２上に内部電極
パターン３及び位置決めマーク４、位置確認マーク５
が、スクリーン印刷法により、一定間隔にて印刷され、
図２に示すように、キャリアフィルム１上の内部電極パ
ターン３を印刷したセラミックグリーンシート２が、ロ
ール状に巻き取られる。
【００２０】以下、図３〜図５、及び図６〜図１８にお
いて、供給ロール部１０にセットされたロール状に巻き
取られたキャリアフィルム１は、ローラ１１、吸着プレ
ート１２、剥離ブレード１３、アイドラ１４を経由し、
巻き取りロール部１５へ通される。
いて、供給ロール部１０にセットされたロール状に巻き
取られたキャリアフィルム１は、ローラ１１、吸着プレ
ート１２、剥離ブレード１３、アイドラ１４を経由し、
巻き取りロール部１５へ通される。
【００２１】この状態にて、各ロール部には、モータ１
６により、張力が図４の矢印Ａの方向に加えられ、図６
及び図７の状態となる。
６により、張力が図４の矢印Ａの方向に加えられ、図６
及び図７の状態となる。
【００２２】この状態から吸着プレート１２によりキャ
リアフィルム１を真空吸着により固定する。その後、図
８に示すように、位置確認マーク検出センサ１７（図７
参照）をエアシリンダ１８により前進させる。
リアフィルム１を真空吸着により固定する。その後、図
８に示すように、位置確認マーク検出センサ１７（図７
参照）をエアシリンダ１８により前進させる。
【００２３】この位置確認マーク検出センサ１７の移動
端の位置は、加工ステージ１９で必要とされるセラミッ
クグリーンシート供給位置と相対的に同じ位置関係とな
るように配置しておく。
端の位置は、加工ステージ１９で必要とされるセラミッ
クグリーンシート供給位置と相対的に同じ位置関係とな
るように配置しておく。
【００２４】図９に示すように、キャリアフィルム１を
真空吸着し固定していた吸着プレート１２が、モータ２
０（図３参照）により長手方向へ移動することにより、
キャリアフィルムの移送を開始する。
真空吸着し固定していた吸着プレート１２が、モータ２
０（図３参照）により長手方向へ移動することにより、
キャリアフィルムの移送を開始する。
【００２５】従って、図１０に示すように、上下どちら
かの位置確認マーク検出センサ１７が、位置確認マーク
５を検出する位置まで移動する。
かの位置確認マーク検出センサ１７が、位置確認マーク
５を検出する位置まで移動する。
【００２６】図１１（ａ）〜図１１（ｃ）に示すよう
に、検出状態によって、モータ２１（図５参照）を駆動
し、転造ボールねじ２２（図５参照）を介してセラミッ
クグリーンシート２の矢印Ｂ1，Ｂ2の方向、つまり、幅
方向への位置修正を行う。
に、検出状態によって、モータ２１（図５参照）を駆動
し、転造ボールねじ２２（図５参照）を介してセラミッ
クグリーンシート２の矢印Ｂ1，Ｂ2の方向、つまり、幅
方向への位置修正を行う。
【００２７】この時、キャリアフィルム上のセラミック
グリーンシートをキャリアフィルム及び供給・巻き取り
ロール部も含めユニット全体を位置修正することから、
修正時にはセラミックグリーンシートにしわの発生や破
損は発生しない。
グリーンシートをキャリアフィルム及び供給・巻き取り
ロール部も含めユニット全体を位置修正することから、
修正時にはセラミックグリーンシートにしわの発生や破
損は発生しない。
【００２８】又、図１２に示すように、幅方向の位置修
正を完了したなら、供給ロール部１０（図４参照）に配
置されているブレーキユニット２３（図３参照）によ
り、供給ロール部１０の回り止めを行い、かつ、エアシ
リンダ１８により位置確認マーク検出センサ１７を後退
させ、ピックアンドプレス部２４（図４参照）が、エア
シリンダ２５（図３参照）により幅方向の位置修正を完
了したセラミックグリーンシート２上へ移動する。
正を完了したなら、供給ロール部１０（図４参照）に配
置されているブレーキユニット２３（図３参照）によ
り、供給ロール部１０の回り止めを行い、かつ、エアシ
リンダ１８により位置確認マーク検出センサ１７を後退
させ、ピックアンドプレス部２４（図４参照）が、エア
シリンダ２５（図３参照）により幅方向の位置修正を完
了したセラミックグリーンシート２上へ移動する。
【００２９】図１３に示すように、移動を完了したな
ら、ピックアンドプレス部２４（図４参照）にあるセラ
ミックグリーンシート吸着パット２６（図４参照）を下
降させ、セラミックグリーンシート２を真空吸着し固定
する。
ら、ピックアンドプレス部２４（図４参照）にあるセラ
ミックグリーンシート吸着パット２６（図４参照）を下
降させ、セラミックグリーンシート２を真空吸着し固定
する。
【００３０】その後、キャリアフィルムを真空吸着し固
定していた吸着プレート１２の真空吸着を解放し、前記
モータ２０により吸着プレートを後退させ、キャリアフ
ィルム１からのセラミックグリーンシート２の剥離を行
う。
定していた吸着プレート１２の真空吸着を解放し、前記
モータ２０により吸着プレートを後退させ、キャリアフ
ィルム１からのセラミックグリーンシート２の剥離を行
う。
【００３１】図１４に示すように、この時、セラミック
グリーンシート２を剥離されたキャリアフィルム１は、
モータ１６（図３参照）の張力により巻き取りロール部
に巻き取られる。
グリーンシート２を剥離されたキャリアフィルム１は、
モータ１６（図３参照）の張力により巻き取りロール部
に巻き取られる。
【００３２】吸着プレートが後退を完了したなら、セラ
ミックグリーンシートカッター２７を上下することでセ
ラミックグリーンシート２の切断を行い、セラミックグ
リーンシート２の剥離を完了する。
ミックグリーンシートカッター２７を上下することでセ
ラミックグリーンシート２の切断を行い、セラミックグ
リーンシート２の剥離を完了する。
【００３３】図１５〜図１８に示すように、セラミック
グリーンシート吸着パット２６を上昇後、エアシリンダ
２５によりピックアンドプレス部２４（図４参照）を加
工ステージ１９側へ移動し、加工ステージへ剥離したセ
ラミックグリーンシート２を供給する。
グリーンシート吸着パット２６を上昇後、エアシリンダ
２５によりピックアンドプレス部２４（図４参照）を加
工ステージ１９側へ移動し、加工ステージへ剥離したセ
ラミックグリーンシート２を供給する。
【００３４】以下、順次この動作を繰り返すことによ
り、加工ステージ１９へのセラミックグリーンシートの
供給を行う。
り、加工ステージ１９へのセラミックグリーンシートの
供給を行う。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、 （１）セラミックグリーンシートの幅方向の位置認識及
び供給軌道の修正をセラミックグリーンシートがキャリ
アフィルム上にある状態にて行うため、正確に追従性よ
く位置認識及び供給軌道修正が可能となる。 （２）キャリアフィルム上にて供給軌道修正を完了した
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離
するため、セラミックグリーンシートにしわや破れの発
生が無く確実に加工ステージへの供給が可能となる。
び供給軌道の修正をセラミックグリーンシートがキャリ
アフィルム上にある状態にて行うため、正確に追従性よ
く位置認識及び供給軌道修正が可能となる。 （２）キャリアフィルム上にて供給軌道修正を完了した
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離
するため、セラミックグリーンシートにしわや破れの発
生が無く確実に加工ステージへの供給が可能となる。
【図１】本発明のセラミックグリーンシート供給装置に
用いられるキャリアフィルム上のセラミックグリーンシ
ートを示す説明図。
用いられるキャリアフィルム上のセラミックグリーンシ
ートを示す説明図。
【図２】ロール状に巻かれたセラミックグリーンシート
を示す説明図。
を示す説明図。
【図３】本発明のセラミックグリーンシート供給装置を
示す平面図。
示す平面図。
【図４】本発明のセラミックグリーンシート供給装置を
示す正面図。
示す正面図。
【図５】本発明のセラミックグリーンシート供給装置を
示す側面図。
示す側面図。
【図６】本発明のセラミックグリーンシート供給装置の
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図。
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図。
【図７】本発明のセラミックグリーンシート供給装置の
セラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
セラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
【図８】本発明のセラミックグリーンシート供給装置の
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図。
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図。
【図９】本発明のセラミックグリーンシート供給装置の
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正面
図。図９（ａ）は平面図。図９（ｂ）は正面図。
セラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正面
図。図９（ａ）は平面図。図９（ｂ）は正面図。
【図１０】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１０（ａ）は平面図。図１０（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１０（ａ）は平面図。図１０（ｂ）は正面図。
【図１１】本発明の供給装置で上下どちらかの位置確認
マーク検出センサが位置確認マークを検出する状態を示
す説明図。図１１（ａ）は、セラミックグリーンシート
が正常位置を示す説明図。図１１（ｂ）は、幅左側方向
へシートがずれ、矢印方向へ位置修正する説明図。図１
１（ｃ）は、幅方向右側へシートがずれ、矢印方向へ位
置修正する説明図。
マーク検出センサが位置確認マークを検出する状態を示
す説明図。図１１（ａ）は、セラミックグリーンシート
が正常位置を示す説明図。図１１（ｂ）は、幅左側方向
へシートがずれ、矢印方向へ位置修正する説明図。図１
１（ｃ）は、幅方向右側へシートがずれ、矢印方向へ位
置修正する説明図。
【図１２】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１２（ａ）は平面図。図１２（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１２（ａ）は平面図。図１２（ｂ）は正面図。
【図１３】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１３（ａ）は平面図。図１３（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１３（ａ）は平面図。図１３（ｂ）は正面図。
【図１４】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１４（ａ）は平面図。図１４（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１４（ａ）は平面図。図１４（ｂ）は正面図。
【図１５】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
【図１６】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す正面図。
【図１７】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１７（ａ）は平面図。図１７（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１７（ａ）は平面図。図１７（ｂ）は正面図。
【図１８】本発明のセラミックグリーンシート供給装置
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１８（ａ）は平面図。図１８（ｂ）は正面図。
のセラミックグリーンシートの動作を示す平面図及び正
面図。図１８（ａ）は平面図。図１８（ｂ）は正面図。
【図１９】従来のセラミックグリーンシート供給装置を
示す説明図。図１９（ａ）は平面図。図１９（ｂ）は正
面図。
示す説明図。図１９（ａ）は平面図。図１９（ｂ）は正
面図。
１ キャリアフィルム ２ セラミックグリーンシート ３ 内部電極パターン ４ 位置決めマーク ５ 位置確認マーク １０ 供給ロール部 １１ ローラ １２ 吸着プレート １３ 剥離ブレード １４ アイドラ １５ 巻き取りロール部 １６，２０，２１ モータ １７ 位置確認マーク検出センサ １８ エアシリンダ １９ 加工ステージ ２２ 転造ボールねじ ２３ ブレーキユニット ２４ ピックアンドプレス部 ２５ エアシリンダ ２６ セラミックグリーンシート吸着パッド ２７ セラミックグリーンシートカッター ３０ アクチュエータ ３１ 剥離ローラ ３２ メッシュコンベア ３３ セラミックグリーンシート供給位置認識部 Ａ，Ｂ1，Ｂ2 矢印
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０ Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０Ｍ
Claims (5)
- 【請求項１】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリア
フィルムに形成されているセラミックグリーンシート上
に印刷された印刷パターン及びマークを加工ステージへ
供給するセラミックグリーンシート供給装置において、
セラミックグリーンシート上への印刷パターン形成時
に、その印刷パターン以外の任意の部分に形成されてい
るセラミックグリーンシート供給方向と直交する方向に
設けられた位置確認用のマークを検出する光センサを前
記幅方向に１対設置し、かつ、セラミックグリーンシー
トの幅方向へ移動可能な位置調整機構を設けたことを特
徴とするセラミックグリーンシート供給装置。 - 【請求項２】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリア
フィルムに形成されているセラミックグリーンシート上
に印刷された印刷パターン及びマークを加工ステージへ
供給するセラミックグリーンシート供給装置において、
キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートをキャ
リアフィルムごと真空吸着してセラミックグリーンシー
トを固定する吸着プレートと、その吸着プレートを移送
する機構、及びセラミックグリーンシートをキャリアフ
ィルムから剥離するための剥離ブレードを設けたことを
特徴とするセラミックグリーンシート供給装置。 - 【請求項３】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリア
フィルムに形成されているセラミックグリーンシート上
に印刷された印刷パターン及びマークを加工ステージへ
供給するセラミックグリーンシート供給装置において、
吸着プレートに真空吸着し固定したキャリアフィルム上
のセラミックグリーンシートの位置確認用のマークを光
センサーにて検出し、セラミックグリーンシート幅方向
の供給軌道修正を行った後、ピックアンドプレス部に
て、供給軌道修正を完了したキャリアフィルム上のセラ
ミックグリーンシートのみを真空吸着にて固定し、剥離
ブレードを介して吸着プレートを後退することでセラミ
ックグリーンシートの剥離を行うことを特徴とするセラ
ミックグリーンシート供給装置。 - 【請求項４】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリア
フィルムに形成されているセラミックグリーンシート上
に印刷された印刷パターン及びマークを加工ステージへ
供給するセラミックグリーンシート供給装置において、
剥離を完了したセラミックグリーンシートのみを切断す
るカッターを設けたことを特徴するセラミックグリーン
シート供給装置。 - 【請求項５】 ロール状に巻き取られた長尺なキャリア
フィルムに形成されているセラミックグリーンシート上
に印刷された印刷パターン及びマークを加工ステージへ
供給するセラミックグリーンシート供給装置において、
剥離・切断を完了したセラミックグリーンシートを真空
吸着し固定して加工ステージへ移送するピックアンドプ
レス部を設けたことを特徴とするセラミックグリーンシ
ート供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24943297A JPH1160002A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | セラミックグリーンシート供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24943297A JPH1160002A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | セラミックグリーンシート供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1160002A true JPH1160002A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=17192888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24943297A Pending JPH1160002A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | セラミックグリーンシート供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1160002A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000272089A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Tdk Corp | 印刷位置ズレ補正方法 |
| JP2002067274A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-05 | New Create Kk | 巻出し式スクリーン印刷方法および印刷装置 |
| KR100999120B1 (ko) | 2008-04-24 | 2010-12-07 | 한국기계연구원 | 인쇄위치 보정장치를 갖는 전자소자 인쇄시스템 |
-
1997
- 1997-08-28 JP JP24943297A patent/JPH1160002A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000272089A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Tdk Corp | 印刷位置ズレ補正方法 |
| JP2002067274A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-05 | New Create Kk | 巻出し式スクリーン印刷方法および印刷装置 |
| KR100999120B1 (ko) | 2008-04-24 | 2010-12-07 | 한국기계연구원 | 인쇄위치 보정장치를 갖는 전자소자 인쇄시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041028 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041109 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050426 |