JPH1142548A

JPH1142548A - 固定砥粒ワイヤソー

Info

Publication number: JPH1142548A
Application number: JP20192597A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Tsukada; 修一塚田; Kazuhiro Tago; 一弘田子
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1997-07-28
Filing date: 1997-07-28
Publication date: 1999-02-16

Abstract

(57)【要約】【課題】被加工物を精度よく切断することができる固定
砥粒ワイヤソーの提供。【解決手段】周面にグルーブローラ１８と同一ピッチで
多数の溝が形成された溝付テンションローラ３２Ａ、３
２Ｂをワイヤ列２０の下部に押圧当接する。これによ
り、ワイヤ列２０に高張力が付与され、振動が抑制され
る。また、ワイヤ列２０を形成する固定砥粒付ワイヤ１
２は、溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂに形成され
た溝内を走行するため、水平方向に振動することもな
い。したがって、インゴット３０を高精度に切断するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は固定砥粒ワイヤソー
に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆性
材料を切断する固定砥粒ワイヤソーに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、走行するワイヤを複数個
のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その
ワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工物
を多数のウェーハに切断する装置である。このワイヤソ
ーにおいて被加工物を精度よく切断するためには、グル
ーブローラ間に形成されるワイヤ列を終止一定ピッチに
保ちながら被加工物を切断する必要がある。このために
は、ワイヤ列を高張力で張り上げて、被加工物を切断す
る必要がある。

【０００３】グルーブローラ間に形成されるワイヤ列の
張力は、グルーブローラ間の距離に相関し、その距離が
広がる程、一般に張力は低下する。したがって、グルー
ブローラ間の距離は、被加工物を切断できる最小の距離
に設定するのが好ましい。しかし、一台のワイヤソーで
様々な径の被加工物を切断することができるようにする
ためには、グルーブローラ間の距離はある程度の距離を
確保する必要がある。この場合、小径の被加工物を切断
するときに、ワイヤに振動が生じ、切断精度が低下する
という問題がある。

【０００４】また、シリコンインゴットのように円柱状
の被加工物を切断するような場合には、切断が進行する
につれて切断長（被加工物とワイヤの接触している長
さ）が変化するため、切断部位によってワイヤの撓み具
合が変化し、切断精度が低下するという問題もある。こ
のような問題点の解決を図るために、特公平６−８３９
５３には、ワイヤ列を形成するグルーブローラの間にワ
イヤ列を支持する一対のガイドローラを設け、このガイ
ドローラの間隔を被加工物の径に応じて可変することに
よって、常に一定の張力で被加工物を切断することがで
きるワイヤソーが提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
６−８３９５３に開示されているワイヤソーは、表面が
平坦なガイドローラでワイヤ列を支持しているため、固
定砥粒ワイヤソーに適用した場合、次のような問題点が
ある。すなわち、固定砥粒ワイヤソーは、表面に砥粒が
直接固着されたワイヤ（固定砥粒付ワイヤ）で被加工物
を切断しているため、切断が進行するにつれて、その固
定砥粒付ワイヤに目詰まりが生じる。そして、この固定
砥粒付ワイヤに目詰まりが生じると、固定砥粒付ワイヤ
が振動する（暴れ出す）という現象が生じる。

【０００６】このような固定砥粒付ワイヤで形成したワ
イヤ列を前記ガイドローラで支持しても、ガイドローラ
上で固定砥粒付ワイヤが水平方向に振動し、被加工物を
精度よく切断することはできない。本発明は、このよう
な事情に鑑みてなされたもので、被加工物を精度よく切
断することができる固定砥粒ワイヤソーを提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当て
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記グルーブローラ間の
ワイヤ列に押圧当接されるとともに、前記ワイヤ列に沿
ってスライド自在に支持され、周面に前記ワイヤ列と同
一ピッチの溝が形成された一対の溝付テンションローラ
と、前記一対の溝付テンションローラを移動させて、そ
の間隔を前記被加工物の切断長に応じて可変させる間隔
調整手段と、を備え、前記一対の溝付テンションローラ
間のワイヤ列に前記被加工物を押し当てて、該被加工物
を切断することを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、グルーブローラ間に配設
された一対の溝付テンションローラによってワイヤ列が
支持される。この一対の溝付テンションローラはワイヤ
列に押圧当接されているので、その間に形成されるワイ
ヤ列には高張力が付与される。また、ワイヤ列は、溝付
テンションローラに形成された溝内を走行するので、固
定砥粒付ワイヤに目詰まりが生じても、その固定砥粒付
ワイヤが水平方向に振動することはない。したがって、
被加工物を高精度に切断することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態について詳説する。
固定砥粒ワイヤソーは、表面に砥粒が固着された固定砥
粒付ワイヤを用いてワイヤ列を形成し、このワイヤ列を
高速走行させることにより、インゴットを多数枚のウェ
ーハに切断する。具体的には、次のように構成される。

【００１０】図１に示すように、固定砥粒付ワイヤ１２
は、一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに巻回されてお
り、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を複数の
ガイドローラ１６、１６、…にガイドされながら往復走
行する。そして、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４
Ｂ間に配置された三本のグルーブローラ１８、１８、１
８に巻き掛けられることにより、水平なワイヤ列２０が
形成される。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２Ａ、２２
Ｂ、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが配設されている。ト
ラバース装置２２Ａ、２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂから固定砥粒付ワイヤ１２を一定ピッチでガイド
し、また、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは走行する固定
砥粒付ワイヤ１２に一定の張力を付与する。

【００１２】前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに
は、それぞれモータ２６Ａ、２６Ｂが連結されており、
このモータを駆動することにより、前記固定砥粒付ワイ
ヤ１２が一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行す
る。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列２０に対し
て垂直に昇降移動するワークフィードテーブル２８が設
置されている。被加工物であるインゴット３０は、この
ワークフィードテーブル２８の下部にスライスベースＳ
を介して保持される。

【００１３】前記ワイヤ列２０の下方には、一対の溝付
テンションローラ３２Ａ、３２Ｂが配置されている。こ
の溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂは、前記ワイヤ
列２０の下部に押圧当接されており、グルーブローラ１
８間に形成されるワイヤ列２０に所定の張力を付与して
いる。また、この溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂ
は、図２及び図３に示すように、その外周面に前記グル
ーブローラ１８（ワイヤ列２０）と同一ピッチで多数の
溝が形成されており、この溝内を前記ワイヤ列２０を構
成する固定砥粒付ワイヤ１２が走行することにより、固
定砥粒付ワイヤ１２の横方向の振動が防止される。

【００１４】前記一対の溝付テンションローラ３２Ａ、
３２Ｂは、それぞれその両端部を一対の軸受３４Ａ、３
４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂに回動自在に支持されている。各
軸受３４Ａ、３４Ｂは、スライダ３６Ａ、３６Ｂ上に固
定されており、該スライダ３６Ａ、３６Ｂはワイヤ列２
０の両側部に設置された一対のガイドレール３８、３８
上をスライド自在に支持されている。前記一対のガイド
レール３８、３８は、前記ワイヤ列２０に沿って配設さ
れた一対のベース４０、４０上に敷設されており、該ベ
ース４０、４０は、図示しないワイヤソーの本体フレー
ムに支持されている。

【００１５】以上のように支持された一対の溝付テンシ
ョンローラ３２Ａ、３２Ｂは、前記スライダ３６Ａ、３
６Ｂがガイドレール３８、３８上を移動することによ
り、その間隔を可変する。前記一対のガイドレール３
８、３８には、それぞれその中央部に支柱４２、４２が
垂直に立設されている。この支柱４２の両側部にはスプ
リング４４Ａ、４４Ｂが固定されており、該スプリング
４４Ａ、４４Ｂの他方端は、それぞれ前記軸受３４Ａ、
３４Ｂに固定されている。

【００１６】前記一対の溝付テンションローラ３２Ａ、
３２Ｂは、このスプリング４４Ａ、４４Ｂによって互い
に近づく方向に付勢され、その付勢力に抗して互いに離
れる方向に押圧することによって、その間隔が広がる。
そして、その押圧力を解除することにより、その間隔が
狭まる。以上のように、前記一対の溝付テンションロー
ラ３２Ａ、３２Ｂは、自由にその間隔を可変することが
でき、その間隔調整は次の機構により行われる。

【００１７】図２及び図４に示すように、前記ワイヤ列
２０の上方には、円盤状をした一対のガイドプレート４
６、４６が配置されている。この一対のガイドプレート
４６、４６は、それぞれ前記ワークフィードテーブル２
８の両側部に一定の間隔をもって着脱自在に取り付けら
れており、前記ワークフィードテーブル２８の移動に伴
って昇降移動する。

【００１８】前記インゴット３０は、このガイドプレー
ト４６、４６の間に取り付けられ、取り付けられると、
インゴット３０とガイドプレート４６、４６は互いに同
軸上に位置する。なお、図４に示すように、ガイドプレ
ート４６は、前記インゴット３０よりもやや大径に形成
されている。前記一対の溝付テンションローラ３２Ａ、
３２Ｂには、図２及び図３に示すように、その両端部に
一対のガイドローラ４８Ａ、４８Ａ、４８Ｂ、４８Ｂが
回動自在に支持されている。この一対のガイドローラ４
８Ａ、４８Ａ（４８Ｂ、４８Ｂ）は、前記ガイドプレー
ト４６、４６と同一の間隔で配置されており、前記ガイ
ドプレート４６、４６が下降すると、その下降してくる
ガイドプレート４６、４６に当接する。そして、前記ガ
イドプレート４６、４６は、このガイドローラ４８Ａ、
４８Ｂの間を上下動する。

【００１９】ここで、前記一対の溝付テンションローラ
３２Ａ、３２Ｂは、それぞれスプリング４４Ａ、４４Ｂ
によって、互いに近づく方向に付勢されているので、前
記ガイドプレート４６は、常にガイドローラ４８Ａ、４
８Ｂに挟持された状態で、その間を上下動する。そし
て、このガイドプレート４６が、前記ガイドローラ４８
Ａ、４８Ｂに挟持されながら上下動することにより、前
記溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂは、次のように
間隔調整される。

【００２０】すなわち、前記ガイドプレート４６は、円
盤状に形成されているので、接触当初はガイドプレート
４６に押し広げられて、その間隔が広がり、ガイドプレ
ート４６の中央部を越えると、逆にスプリング４４Ａ、
４４Ｂの付勢力によって、その間隔が狭まる。この溝付
テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの間隔の拡縮は、イン
ゴット３０とワイヤ列２０との切断長に対応しており、
切断長が長くなるとその間隔が広がり、短くなるとその
間隔が狭まる。したがって、溝付テンションローラ３２
Ａ、３２Ｂは、常にインゴット３０の近傍に位置する。

【００２１】以上のように構成された本発明に係る固定
砥粒ワイヤソーの実施の形態の作用は次の通りである。
まず、切断対象であるインゴット３０をスライスベース
Ｓを介してワークフィードテーブル２８に取り付ける。
次に、ガイドプレート４６、４６をワークフィードテー
ブル２８に取り付ける。この際、ガイドプレート４６に
は、切断対象であるインゴット３０の径よりもやや大き
めの径のものを取り付ける。

【００２２】次に、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに連結
されたモータ２６Ａ、２６Ｂを駆動して、固定砥粒付ワ
イヤ１２を走行させる。そして、その走行が安定したと
ころで、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２０に
向けて下降させ、インゴット３０を走行するワイヤ列２
０に押し当てる。ワイヤ列２０に押し当てられたインゴ
ット３０は、そのワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワ
イヤ１２によって接触部を研削され、これにより、ウェ
ーハに切断される。

【００２３】ここで、前記ワイヤ列２０には一対の溝付
テンションローラ３２Ａ、３２Ｂが設けられており、前
記インゴット３０は、この一対の溝付テンションローラ
３２Ａ、３２Ｂ間に形成されるワイヤ列２０に押し当て
られる。この一対の溝付テンションローラ３２Ａ、３２
Ｂは、ワイヤ列２０に押圧当接されているので、その間
のワイヤ列２０には高張力が付与される。したがって、
そのワイヤ列２０を形成する固定砥粒付ワイヤ１２に
は、振動等が発生せず終止安定した高精度な切断が可能
になる。

【００２４】また、この一対の溝付テンションローラ３
２Ａ、３２Ｂは、インゴット３０の近傍でワイヤ列２０
を支持するほど、高い張力をワイヤ列２０に付与するこ
とができるが、この溝付テンションローラ３２Ａ、３２
Ｂは、次のようにガイドプレート４６に間隔調整され
て、常にインゴット３０の近傍に位置してワイヤ列２０
を支持する。

【００２５】すなわち、切断開始前は、図５（ａ）に示
すように、スプリング４４Ａ、４４Ｂの付勢力によって
互いに近づく方向に付勢され、一定の間隔に保持されて
おり、ワークフィードテーブル２８が下降してくると、
図５（ｂ）〜（ｄ）に示すように、そのワークフィード
テーブル２８に設けられたガイドプレート４６によっ
て、その間を押し広げられて間隔が拡縮される。

【００２６】ここで、同図に示すように、前記ガイドプ
レート４６は、インゴット３０の切断面と同じ円形状に
形成されているため、一対の溝付テンションローラ３２
Ａ、３２Ｂは、常にインゴット３０の切断長に応じてそ
の間隔が拡縮される。したがって、前記一対の溝付テン
ションローラ３２Ａ、３２Ｂは、ワイヤ列２０を支持す
るのに最も効果的な位置、すなわち、インゴット３０の
側部近傍に常に位置してワイヤ列２０を支持することが
できる。

【００２７】このように、本実施の形態の溝付テンショ
ンローラ固定砥粒ワイヤソーによれば、溝付テンション
ローラ３２Ａ、３２Ｂでワイヤ列２０を支持しながらイ
ンゴット３０を切断するため、常にワイヤ列２０に高い
張力を与えながらインゴット３０を切断することができ
る。また、溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂは、常
にインゴット３０の側部近傍に位置しながらワイヤ列２
０を支持するため、効果的にワイヤ列２０に張力を付与
することができる。

【００２８】さらに、ワイヤ列２０を構成する固定砥粒
付ワイヤ１２は、溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂ
に形成された溝内を走行するため、縦方向の振動だけで
なく、横方向の振動も防止することができる。したがっ
て、たとえ固定砥粒付ワイヤ１２に目詰まりが生じて
も、固定砥粒付ワイヤ１２が暴れることはなく、精度よ
くインゴット３０を切断することができる。

【００２９】次に、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの
第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態
の固定砥粒ワイヤソーは、溝付テンションローラ３２
Ａ、３２Ｂの間隔調整機構が、上述した第１の実施の形
態と異なる。すなわち、第２の実施の形態では、送りネ
ジによって一対の溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂ
の間隔を調整する。具体的には、以下のような構成であ
る。

【００３０】なお、間隔調整機構以外の点については、
上述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーと同一
なので、同一部材には、同一符号を付して、その説明は
省略する。図６及び図７に示すように、ワイヤ列２０の
両側部に配設されたガイドレール３８、３８のうち一方
のガイドレール３８の側部には、そのガイドレール３８
に沿ってベース５０が配置されている。このベース５０
は、図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレームに支
持されており、その両端及び中央に軸受部５０Ａ、５０
Ｂ、５０Ｃが形成されている。

【００３１】前記ベース５０に形成された軸受部５０
Ａ、５０Ｂ、５０Ｃには、前記ガイドレール３８に沿っ
て配設されたボールネジ５２Ａ、５２Ｂが回動自在に支
持されている。このボールネジ５２Ａ、５２Ｂは、それ
ぞれ前記ベース５０の両端部に配設されたモータ５４
Ａ、５４Ｂの回転軸に連結されており、このモータ５４
Ａ、５４Ｂを駆動することにより回動する。

【００３２】前記ボールネジ５２Ａ、５２Ｂには、それ
ぞれナット部材５６Ａ、５６Ｂが螺合されており、該ナ
ット部材５６Ａ、５６Ｂは、溝付テンションローラ３２
Ａ、３２Ｂをスライド自在に支持するスライダ３６Ａ、
３６Ｂに連結部材５８Ａ、５８Ｂを介して連結されてい
る。前記溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの間隔調
整機構は、前記のごとく構成され、ボールネジ５２Ａ、
５２Ｂに連結されたモータ５４Ａ、５４Ｂを駆動するこ
とにより、スライダ３６Ａ、３６Ｂが移動して一対の溝
付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの間隔が可変する。

【００３３】なお、前記モータ５４Ａ、５４Ｂは、制御
装置６０から出力される駆動信号に基づいて駆動され
る。そして、この制御装置６０には、溝付テンションロ
ーラ３２Ａ、３２Ｂがインゴット３０の切断長に応じて
拡縮するように、あらかじめプログラムが入力されてい
る。前記のごとく構成された本発明に係る固定砥粒ワイ
ヤソーの第２の実施の形態の作用は次の通りである。

【００３４】第２の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーも
上述した第１の実施の形態と同様に、走行するワイヤ列
２０にインゴット３０を押し当てることによりインゴッ
ト３０を切断する。そして、インゴット３０は、一対の
溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂ間に形成されるワ
イヤ列２０に押し当てられることにより、ウェーハに切
断される。

【００３５】ここで、前記一対の溝付テンションローラ
３２Ａ、３２Ｂは、制御装置６０にあらかじめ入力され
たプログラムに従って、その間隔が調整され、上述した
第１の実施の形態と同様に、常にインゴット３０の側部
近傍に位置するように移動する（図５（ａ）〜（ｄ）参
照）。溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの移動は、
モータ５４Ａ、５４Ｂを駆動してボールネジ５２Ａ、５
２Ｂを回転させることにより行い、このボールネジ５２
Ａ、５２Ｂが回転することにより、ナット部材５６Ａ、
５６Ｂが移動し、この結果、ナット部材５６Ａ、５６Ｂ
に連結された溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂが移
動する。

【００３６】このように、第２の実施の形態の固定砥粒
ワイヤソーにおいても、前記第１の実施の形態と同様
に、常にインゴット３０の近傍に溝付テンションローラ
３２Ａ、３２Ｂを位置させてワイヤ列２０を支持するこ
とにより、振動のない安定したインゴット３０の切断が
可能になる。なお、上述した第２の実施の形態では、溝
付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂを送りネジにより移
動させるようにしたが、この他シリンダを用いて溝付テ
ンションローラ３２Ａ、３２Ｂを移動させるようにして
もよい。

【００３７】すなわち、ガイドレール３８に沿って一対
のシリンダを配設し、そのロッドの先端にスライダ３６
Ａ、３６Ｂを連結する。そして、そのロッドを伸縮させ
ることにより、溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂを
ガイドレール３８に沿って移動させる。これによっても
同様の効果を得ることができる。次に、本発明に係る固
定砥粒ワイヤソーの第３の実施の形態について説明す
る。なお、上述した第１及び第２の実施の形態と同一部
材については、同一符号を付してその説明は省略する。

【００３８】上述した第１及び第２の実施の形態のよう
に、グルーブローラ１８間に形成されるワイヤ列２０を
一対の溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂで支持して
張力を付与することは、固定砥粒付ワイヤ１２の振動を
抑制する点においてきわめて有効である。しかし、固定
砥粒ワイヤソーでは、ガイドするワイヤに直接砥粒が固
着されているため、溝付テンションローラ３２Ａ、３２
Ｂの磨耗が問題となる。

【００３９】この点を考慮して、第３の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソーでは、図８及び図９に示すように、溝
付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂにモータ７０Ａ、７
０Ｂを連結し、このモータ７０Ａ、７０Ｂでグルーブロ
ーラ１８の回転に同期させて溝付テンションローラ３２
Ａ、３２Ｂを回転させている。このモータ７０Ａ、７０
Ｂは、それぞれ溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの
一方端に連結されており、スライダ３６Ａ、３６Ｂ上に
設置されている。

【００４０】このように、ワイヤ列２０を支持する溝付
テンションローラ３２Ａ、３２Ｂをグルーブローラ１８
の回転に同期させて回転させることにより、溝付テンシ
ョンローラ３２Ａ、３２Ｂの磨耗を防止することがで
き、長寿命化を図ることができる。特に、周囲の砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤ１２をガイドする場合には
有効である。

【００４１】なお、グルーブローラ１８の回転に同期さ
せる他、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂの回転に同期させ
て溝付テンションローラ３２Ａ、３２Ｂを回転させても
同様の効果を得ることができる。また、溝付テンション
ローラ３２Ａ、３２Ｂの磨耗を防止するためには、溝付
テンションローラ３２Ａ、３２Ｂの周面を、固定砥粒付
ワイヤ１２の表面に固着した砥粒と同質、同硬度な物質
でコーティングすることも有効である。例えば、固定砥
粒付ワイヤ１２の周面に固着する砥粒にダイヤモンドを
用いた場合は、ダイヤモンドで溝付テンションローラ３
２Ａ、３２Ｂの表面をコーティングし、ＧＣ砥粒（炭化
ケイ素質研削剤）を用いた場合は、ＳｉＣで溝付テンシ
ョンローラ３２Ａ、３２Ｂの表面をコーティングする。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
グルーブローラ間に配設された一対の溝付テンションロ
ーラによってワイヤ列を支持することにより、ワイヤ列
に高張力を付与することができる。また、ワイヤ列を形
成する固定砥粒付ワイヤは、溝付テンションローラに形
成された溝内を走行するため、目詰まりが生じても水平
方向に振動することはない。したがって、被加工物を高
精度に切断することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態
の全体構成図

【図２】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第１の実施
の形態の要部を示す斜視図

【図３】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第１の実施
の形態の要部を示す平面図

【図４】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第１の実施
の形態の要部を示す側面図

【図５】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態
の作用を説明する説明図

【図６】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第２の実施
の形態の要部を示す斜視図

【図７】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第２の実施
の形態の要部を示す平面図

【図８】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施
の形態の要部を示す斜視図

【図９】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施
の形態の要部を示す平面図

【符号の説明】

１０…固定砥粒ワイヤソー１２…固定砥粒付ワイヤ１８…グルーブローラ２０…ワイヤ列３０…インゴット３２Ａ、３２Ｂ…溝付テンションローラ４４Ａ、４４Ｂ…スプリング４６…ガイドプレート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当て
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記グルーブローラ間のワイヤ列に押圧当接されるとと
もに、前記ワイヤ列に沿ってスライド自在に支持され、
周面に前記ワイヤ列と同一ピッチの溝が形成された一対
の溝付テンションローラと、前記一対の溝付テンションローラを移動させて、その間
隔を前記被加工物の切断長に応じて可変させる間隔調整
手段と、を備え、前記一対の溝付テンションローラ間の
ワイヤ列に前記被加工物を押し当てて、該被加工物を切
断することを特徴とする固定砥粒ワイヤソー。
【請求項２】前記間隔調整手段は、前記一対の溝付テンションローラを互いに近づく方向に
付勢する付勢手段と、前記一対の溝付テンションローラの間を該一対の溝付テ
ンションローラに挟持されながら移動するガイドプレー
トと、からなり、前記ガイドプレートの周縁で前記一対
の溝付テンションローラの間を押し拡げることにより、
前記一対の溝付テンションローラの間隔を可変させるこ
とを特徴とする請求項１記載の固定砥粒ワイヤソー。
【請求項３】前記一対の溝付テンションローラにそれ
ぞれモータを連結し、該溝付テンションローラを前記グ
ルーブローラの回転に同期させて回転させることを特徴
とする請求項１記載の固定砥粒ワイヤソー。
【請求項４】前記溝付テンションローラの表面を、前
記固定砥粒付ワイヤの表面に固着した砥粒と同質、同硬
度な物質でコーティングしたことを特徴とする請求項
１、２又は３記載の固定砥粒ワイヤソー。