JPH1137662A - 被焼成板の焼成装置 - Google Patents
被焼成板の焼成装置Info
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- JPH1137662A JPH1137662A JP19218597A JP19218597A JPH1137662A JP H1137662 A JPH1137662 A JP H1137662A JP 19218597 A JP19218597 A JP 19218597A JP 19218597 A JP19218597 A JP 19218597A JP H1137662 A JPH1137662 A JP H1137662A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被焼成板の焼成炉又はルツボの内底面と接触抵
抗力を無くし、被焼成板に加わる力を均一化して被焼成
板を複数枚同時に均一な品質で焼成する。 【解決手段】焼成装置は、焼成炉又はルツボ11の内部
に立てて並べておかれる複数枚の被焼成板12の両側に
配置されその両端に密着可能に形成された鉛直面13a
と反対側に形成された上向き傾斜面13bとを有する保
持用ブロック13と、保持用ブロックの両側に配置され
下向き傾斜面14bとルツボ11の内壁に接触可能に形
成された端面14aとを有する一対の重し用ブロック1
4とを備える。ルツボ11の内底面11aと複数の被焼
成板12の下端面との間には被焼成板12と同一材質を
有する被焼成板の受け板16が設けられる。受け板16
と一対の保持用ブロック13は複数の小球17を介しル
ツボの内底面11aに置かれ、上向き傾斜面13bには
複数の凸条13cが形成されることが好ましい。
抗力を無くし、被焼成板に加わる力を均一化して被焼成
板を複数枚同時に均一な品質で焼成する。 【解決手段】焼成装置は、焼成炉又はルツボ11の内部
に立てて並べておかれる複数枚の被焼成板12の両側に
配置されその両端に密着可能に形成された鉛直面13a
と反対側に形成された上向き傾斜面13bとを有する保
持用ブロック13と、保持用ブロックの両側に配置され
下向き傾斜面14bとルツボ11の内壁に接触可能に形
成された端面14aとを有する一対の重し用ブロック1
4とを備える。ルツボ11の内底面11aと複数の被焼
成板12の下端面との間には被焼成板12と同一材質を
有する被焼成板の受け板16が設けられる。受け板16
と一対の保持用ブロック13は複数の小球17を介しル
ツボの内底面11aに置かれ、上向き傾斜面13bには
複数の凸条13cが形成されることが好ましい。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種のセラミック
スからなる板状の被焼成物を焼成、熱処理する被焼成板
の焼成装置に関するものである。
スからなる板状の被焼成物を焼成、熱処理する被焼成板
の焼成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の板状の被焼成物を平板用の焼成
治具を用いて焼成する場合、被焼成物が小さいときには
焼成炉又はルツボ内部に単品毎に上向きに並べて配置し
て焼成される。一方、被焼成板が大きいときには複数枚
重ねた状態で焼成される。この被焼成板を上下方向に複
数枚重ねた状態で一度に焼成した場合には、下方に位置
する被焼成板と上方に位置する被焼成板とでは焼成時に
かかる荷重が異なり、焼成後における焼成板の品質にば
らつきが生じる不具合がある。また、焼成時にかかる荷
重を均一化するために溝付きの焼成用台板を使用して被
焼成板をその溝に複数枚立てて焼成することも考えられ
るが、焼成時における被焼成板の変形を防止することが
できない問題点がある。
治具を用いて焼成する場合、被焼成物が小さいときには
焼成炉又はルツボ内部に単品毎に上向きに並べて配置し
て焼成される。一方、被焼成板が大きいときには複数枚
重ねた状態で焼成される。この被焼成板を上下方向に複
数枚重ねた状態で一度に焼成した場合には、下方に位置
する被焼成板と上方に位置する被焼成板とでは焼成時に
かかる荷重が異なり、焼成後における焼成板の品質にば
らつきが生じる不具合がある。また、焼成時にかかる荷
重を均一化するために溝付きの焼成用台板を使用して被
焼成板をその溝に複数枚立てて焼成することも考えられ
るが、焼成時における被焼成板の変形を防止することが
できない問題点がある。
【0003】これらの点を解消するために、従来図4に
示すように、複数枚の被焼成板2を立てて並べて、その
立てに並んだ複数枚の被焼成板2の両側に、両側の被焼
成板2の面と滑動できる縦面と反対側に斜面6を有する
重量部材5を置き、この斜面6に滑動できる斜面7を内
側にそれぞれ有する固定部材4を有する焼成用治具1が
提案されている(特開平5−296670)。この焼成
用治具1では、複数枚の被焼成板2を立てて並べて焼成
すると、被焼成板2が加熱されて収縮していくに従い、
その両側にある重量部材5が固定部材4の斜面7に沿っ
て自重により降下していくことにより、その力で立てて
並べられた複数枚の被焼成板2を両側から押すようにな
っている。このため、立てて並べられた複数枚の被焼成
板2は常に両側から支持される形になり、倒れることが
なく変形が抑制されて複数枚の被焼成板が同時に焼成さ
れることが期待されている。
示すように、複数枚の被焼成板2を立てて並べて、その
立てに並んだ複数枚の被焼成板2の両側に、両側の被焼
成板2の面と滑動できる縦面と反対側に斜面6を有する
重量部材5を置き、この斜面6に滑動できる斜面7を内
側にそれぞれ有する固定部材4を有する焼成用治具1が
提案されている(特開平5−296670)。この焼成
用治具1では、複数枚の被焼成板2を立てて並べて焼成
すると、被焼成板2が加熱されて収縮していくに従い、
その両側にある重量部材5が固定部材4の斜面7に沿っ
て自重により降下していくことにより、その力で立てて
並べられた複数枚の被焼成板2を両側から押すようにな
っている。このため、立てて並べられた複数枚の被焼成
板2は常に両側から支持される形になり、倒れることが
なく変形が抑制されて複数枚の被焼成板が同時に焼成さ
れることが期待されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した治具
1では被焼成板2の加熱収縮に従って、立てて並べた複
数枚の被焼成板2の両側の重量部材5が、固定部材4の
斜面7に沿って降下する必要から、必然的に重量部材5
の下部は被焼成板2に接触しておらず、複数枚の被焼成
板2を両側から押す力が被焼成板2に均一に加わらない
未だ解決すべき課題が残存していた。また、立てて並べ
られた複数枚の被焼成板2の下端面は焼成炉又はルツボ
の内底面3と接触するために被焼成板2の加熱収縮に伴
う移動がその内底面3との接触抵抗力により阻害される
恐れもある。本発明の目的は、被焼成板と焼成炉又はル
ツボの内底面と接触抵抗力をなくし、被焼成板に加わる
力を均一化して被焼成板を複数枚同時に均一な品質で焼
成し得る被焼成板の焼成装置を提供することにある。
1では被焼成板2の加熱収縮に従って、立てて並べた複
数枚の被焼成板2の両側の重量部材5が、固定部材4の
斜面7に沿って降下する必要から、必然的に重量部材5
の下部は被焼成板2に接触しておらず、複数枚の被焼成
板2を両側から押す力が被焼成板2に均一に加わらない
未だ解決すべき課題が残存していた。また、立てて並べ
られた複数枚の被焼成板2の下端面は焼成炉又はルツボ
の内底面3と接触するために被焼成板2の加熱収縮に伴
う移動がその内底面3との接触抵抗力により阻害される
恐れもある。本発明の目的は、被焼成板と焼成炉又はル
ツボの内底面と接触抵抗力をなくし、被焼成板に加わる
力を均一化して被焼成板を複数枚同時に均一な品質で焼
成し得る被焼成板の焼成装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
図1に示すように、焼成炉又はルツボ11の内部に立て
て並べておかれる複数枚の被焼成板12の両側に配置さ
れ被焼成板12の両端に密着可能に形成された鉛直面1
3aと鉛直面13aと反対側に形成された上向き傾斜面
13bとを有する一対の保持用ブロック13,13と、
一対の保持用ブロック13,13の両側に配置され上向
き傾斜面13bと同一傾斜角度で形成された下向き傾斜
面14bと下向き傾斜面14bと反対側に形成されルツ
ボ11の内壁に接触可能に形成された端面14aとを有
する一対の重し用ブロック14,14とを備え、ルツボ
11の内底面11aと複数の被焼成板12の下端面との
間に被焼成板12と同一材質を有する被焼成板の受け板
16が設けられた被焼成板の焼成装置である。
図1に示すように、焼成炉又はルツボ11の内部に立て
て並べておかれる複数枚の被焼成板12の両側に配置さ
れ被焼成板12の両端に密着可能に形成された鉛直面1
3aと鉛直面13aと反対側に形成された上向き傾斜面
13bとを有する一対の保持用ブロック13,13と、
一対の保持用ブロック13,13の両側に配置され上向
き傾斜面13bと同一傾斜角度で形成された下向き傾斜
面14bと下向き傾斜面14bと反対側に形成されルツ
ボ11の内壁に接触可能に形成された端面14aとを有
する一対の重し用ブロック14,14とを備え、ルツボ
11の内底面11aと複数の被焼成板12の下端面との
間に被焼成板12と同一材質を有する被焼成板の受け板
16が設けられた被焼成板の焼成装置である。
【0006】複数の被焼成板12を受け板16の上に複
数枚立てて並べて焼成することにより一度の焼成作業に
より複数の被焼成板を同時に焼成することを可能にす
る。保持用ブロック13,13の両側に配置された一対
の重し用ブロック14,14は自重により降下すること
により保持用ブロック13を移動させ、立てて並べられ
た複数の被焼成板12が加熱収縮する際に一対の保持用
ブロック13,13を介して両側から均一な力で押す。
受け板16は焼成時における被焼成板12の収縮と同一
の速度及び比率で収縮し、被焼成板12と焼成炉又はル
ツボ11の内底面11aとの間に生じる接触抵抗力を解
消する。
数枚立てて並べて焼成することにより一度の焼成作業に
より複数の被焼成板を同時に焼成することを可能にす
る。保持用ブロック13,13の両側に配置された一対
の重し用ブロック14,14は自重により降下すること
により保持用ブロック13を移動させ、立てて並べられ
た複数の被焼成板12が加熱収縮する際に一対の保持用
ブロック13,13を介して両側から均一な力で押す。
受け板16は焼成時における被焼成板12の収縮と同一
の速度及び比率で収縮し、被焼成板12と焼成炉又はル
ツボ11の内底面11aとの間に生じる接触抵抗力を解
消する。
【0007】請求項2に係る発明は、請求項1に係る発
明であって、受け板16と一対の保持用ブロック13,
13が複数の小球17を介し焼成炉又はルツボ11の内
底面11aに置かれた被焼成板の焼成装置である。小球
17は被焼成板12の焼成時における受け板16の収縮
及び保持用ブロック13の移動を回転することにより容
易にする。請求項3に係る発明は、請求項1又は2に係
る発明であって、図3に示すように、上向き傾斜面13
bに傾斜方向に沿って複数の凸条13cが形成された被
焼成板の焼成装置である。複数の凸条13cを保持用ブ
ロック13に形成することにより、凸条13cにおける
頂点のみが重し用ブロック14の下向き傾斜面14bに
接触し、上向き傾斜面13bと下向き傾斜面14bとの
接触面積を縮小させ、重し用ブロック14が自重により
降下する際に発生する摺動抵抗を低減させる。
明であって、受け板16と一対の保持用ブロック13,
13が複数の小球17を介し焼成炉又はルツボ11の内
底面11aに置かれた被焼成板の焼成装置である。小球
17は被焼成板12の焼成時における受け板16の収縮
及び保持用ブロック13の移動を回転することにより容
易にする。請求項3に係る発明は、請求項1又は2に係
る発明であって、図3に示すように、上向き傾斜面13
bに傾斜方向に沿って複数の凸条13cが形成された被
焼成板の焼成装置である。複数の凸条13cを保持用ブ
ロック13に形成することにより、凸条13cにおける
頂点のみが重し用ブロック14の下向き傾斜面14bに
接触し、上向き傾斜面13bと下向き傾斜面14bとの
接触面積を縮小させ、重し用ブロック14が自重により
降下する際に発生する摺動抵抗を低減させる。
【0008】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面に
基づいて詳しく説明する。図1及び図2に示すように、
本発明の焼成装置はルツボ11の内部に立てて並べてお
かれる複数枚の被焼成板12の両側に配置された一対の
保持用ブロック13,13と、その一対の保持用ブロッ
ク13,13の両側に配置された一対の重し用ブロック
14,14とを備える。保持用ブロック13は被焼成板
12の両端に密着可能に形成された鉛直面13aと、こ
の鉛直面13aと反対側に形成された上向き傾斜面13
bとを有し、図3に示すように、上向き傾斜面13bに
は傾斜方向に沿って複数の凸条13cが形成される。本
実施の形態における凸条13cは断面が三角形状を有し
ており、頂点が後述する重し用ブロック14の下向き傾
斜面14bと接触するように構成される。保持用ブロッ
ク13の材質は、被焼成板12との接触による反応が極
力少ないものが選定され、MgO、Al2O3、Zr
O2、人造黒鉛等が例示される。
基づいて詳しく説明する。図1及び図2に示すように、
本発明の焼成装置はルツボ11の内部に立てて並べてお
かれる複数枚の被焼成板12の両側に配置された一対の
保持用ブロック13,13と、その一対の保持用ブロッ
ク13,13の両側に配置された一対の重し用ブロック
14,14とを備える。保持用ブロック13は被焼成板
12の両端に密着可能に形成された鉛直面13aと、こ
の鉛直面13aと反対側に形成された上向き傾斜面13
bとを有し、図3に示すように、上向き傾斜面13bに
は傾斜方向に沿って複数の凸条13cが形成される。本
実施の形態における凸条13cは断面が三角形状を有し
ており、頂点が後述する重し用ブロック14の下向き傾
斜面14bと接触するように構成される。保持用ブロッ
ク13の材質は、被焼成板12との接触による反応が極
力少ないものが選定され、MgO、Al2O3、Zr
O2、人造黒鉛等が例示される。
【0009】図1及び図2に戻って、一対の保持用ブロ
ック13,13の両側に配置される一対の重し用ブロッ
ク14,14は、保持用ブロック13の上向き傾斜面1
3bと同一傾斜角度で形成された下向き傾斜面14b
と、この下向き傾斜面14bと反対側にはルツボ11の
内壁に接触可能に形成された端面14aが形成される。
重し用ブロック14は下向き傾斜面14bが保持用ブロ
ック13の上向き傾斜面13bに接触して、自重で降下
することにより保持用ブロック13を移動させるように
構成され、立てて並べられた複数枚の被焼成板12がな
ければ、ルツボ11の内底面下まで落ちてしまうもので
ある。従って、被焼成板12を、図のように、複数枚の
被焼成板12を立てて並べたときには、その被焼成板1
2により、図示のように、ある程度上昇した位置で留め
られることになる。
ック13,13の両側に配置される一対の重し用ブロッ
ク14,14は、保持用ブロック13の上向き傾斜面1
3bと同一傾斜角度で形成された下向き傾斜面14b
と、この下向き傾斜面14bと反対側にはルツボ11の
内壁に接触可能に形成された端面14aが形成される。
重し用ブロック14は下向き傾斜面14bが保持用ブロ
ック13の上向き傾斜面13bに接触して、自重で降下
することにより保持用ブロック13を移動させるように
構成され、立てて並べられた複数枚の被焼成板12がな
ければ、ルツボ11の内底面下まで落ちてしまうもので
ある。従って、被焼成板12を、図のように、複数枚の
被焼成板12を立てて並べたときには、その被焼成板1
2により、図示のように、ある程度上昇した位置で留め
られることになる。
【0010】ルツボ11の内底面と立てて並べられた複
数の被焼成板12の下端面との間には被焼成板12と同
一材質を有する被焼成板の受け板16が設けられる。受
け板16は立てて並べられた複数枚の被焼成板12の下
端面が形成する四角形状より僅かに小さい四角状の外形
寸法に形成され、複数枚の被焼成板12の両側に配置さ
れた一対の保持用ブロック13,13の間に位置するよ
うに構成される。この受け板16と一対の保持用ブロッ
ク13,13は複数の小球17を介してルツボ11の内
底面11aにおかれ、受け板16と一対の保持用ブロッ
ク13,13はルツボ11の内底面11aに対して移動
が容易に行われるようになっている。なお、小球17の
材質は、焼成時の温度に十分耐え得るものが選定され、
MgO、Al2O3、ZrO2、サイアロン等からなる直
径が4〜30mm程度のものが好ましい。
数の被焼成板12の下端面との間には被焼成板12と同
一材質を有する被焼成板の受け板16が設けられる。受
け板16は立てて並べられた複数枚の被焼成板12の下
端面が形成する四角形状より僅かに小さい四角状の外形
寸法に形成され、複数枚の被焼成板12の両側に配置さ
れた一対の保持用ブロック13,13の間に位置するよ
うに構成される。この受け板16と一対の保持用ブロッ
ク13,13は複数の小球17を介してルツボ11の内
底面11aにおかれ、受け板16と一対の保持用ブロッ
ク13,13はルツボ11の内底面11aに対して移動
が容易に行われるようになっている。なお、小球17の
材質は、焼成時の温度に十分耐え得るものが選定され、
MgO、Al2O3、ZrO2、サイアロン等からなる直
径が4〜30mm程度のものが好ましい。
【0011】このように構成された被焼成板の焼成装置
では、複数枚の被焼成板12を受け板16の上に複数枚
立てて並べて焼成すると、被焼成板12は加熱されて収
縮する。この場合、受け板16は被焼成板12の収縮と
同一の速度及び比率で収縮し、被焼成板12のルツボ1
1の内底面11aとの間に生じる接触抵抗力を解消す
る。また、保持用ブロック13,13の両側に配置され
た一対の重し用ブロック14,14は図1の実線矢印で
示すように、自重で降下することにより被焼成板12の
収縮に伴い、保持用ブロック13を図の破線で示すよう
に移動させる。即ち、一対の重し用ブロック14,14
には、自重により常に降下しようとする力があり、その
力で、並べられた複数枚の被焼成板12を、一対の保持
用ブロック13,13を介して両側から均一な力で押す
ようになっている。
では、複数枚の被焼成板12を受け板16の上に複数枚
立てて並べて焼成すると、被焼成板12は加熱されて収
縮する。この場合、受け板16は被焼成板12の収縮と
同一の速度及び比率で収縮し、被焼成板12のルツボ1
1の内底面11aとの間に生じる接触抵抗力を解消す
る。また、保持用ブロック13,13の両側に配置され
た一対の重し用ブロック14,14は図1の実線矢印で
示すように、自重で降下することにより被焼成板12の
収縮に伴い、保持用ブロック13を図の破線で示すよう
に移動させる。即ち、一対の重し用ブロック14,14
には、自重により常に降下しようとする力があり、その
力で、並べられた複数枚の被焼成板12を、一対の保持
用ブロック13,13を介して両側から均一な力で押す
ようになっている。
【0012】受け板16の収縮及び保持用ブロック13
の移動の際、小球17は受け板16の収縮及び保持用ブ
ロック13の移動を回転することにより容易にし、保持
用ブロック13に形成された複数の凸条13cは、凸条
13cにおける頂点のみが重し用ブロック14の下向き
傾斜面14bと接触することにより接触面積を縮小さ
せ、重し用ブロック14が自重により降下する際に発生
する摺動抵抗を低減させる。なお、上述した実施の形態
ではルツボ11を使用して説明したが、ルツボの代りに
焼成炉を使用しても良い。
の移動の際、小球17は受け板16の収縮及び保持用ブ
ロック13の移動を回転することにより容易にし、保持
用ブロック13に形成された複数の凸条13cは、凸条
13cにおける頂点のみが重し用ブロック14の下向き
傾斜面14bと接触することにより接触面積を縮小さ
せ、重し用ブロック14が自重により降下する際に発生
する摺動抵抗を低減させる。なお、上述した実施の形態
ではルツボ11を使用して説明したが、ルツボの代りに
焼成炉を使用しても良い。
【0013】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、焼
成炉又はルツボの内部に立てて並べておかれる複数枚の
被焼成板の両側に上向き傾斜面を有する一対の保持用ブ
ロックを配置し、その一対の保持用ブロックの両側に下
向き傾斜面を有する一対の重し用ブロックを配置したの
で、複数の被焼成板を複数枚立てて並べて焼成すること
が可能になり、一対の重し用ブロックは自重で降下する
ことにより立てて並べられた複数枚の被焼成板が加熱収
縮する際にその被焼成板を一対の保持用ブロックを介し
て両側から均一な力で押す。この結果、被焼成板の焼成
時における変形が抑制され、かつ被焼成板に加わる力を
均一化することができる。
成炉又はルツボの内部に立てて並べておかれる複数枚の
被焼成板の両側に上向き傾斜面を有する一対の保持用ブ
ロックを配置し、その一対の保持用ブロックの両側に下
向き傾斜面を有する一対の重し用ブロックを配置したの
で、複数の被焼成板を複数枚立てて並べて焼成すること
が可能になり、一対の重し用ブロックは自重で降下する
ことにより立てて並べられた複数枚の被焼成板が加熱収
縮する際にその被焼成板を一対の保持用ブロックを介し
て両側から均一な力で押す。この結果、被焼成板の焼成
時における変形が抑制され、かつ被焼成板に加わる力を
均一化することができる。
【0014】また、焼成炉又はルツボの内底面と複数の
被焼成板の下端面との間に被焼成板と同一材質を有する
受け板を設けるので、受け板は焼成時における被焼成板
と同一の速度及び比率で収縮する。この結果、被焼成板
と焼成炉又はルツボの内底面との間に生じる接触抵抗力
を解消して被焼成板を複数枚同時に均一な品質で焼成す
ることができる。また、受け板と一対の保持用ブロック
を複数の小球を介して焼成炉又はルツボの内底面に置け
ば、小球が被焼成板の焼成時における受け板の収縮及び
保持用ブロックの移動を回転することにより容易にす
る。更に、上向き傾斜面に傾斜方向に沿って複数の凸条
を形成すれば、凸条における頂点のみが重し用ブロック
の下向き傾斜面に接触し、上向き傾斜面と下向き傾斜面
との接触面積を縮小させ、重し用ブロックが自重で降下
する際に発生する摺動抵抗を低減させることができる。
被焼成板の下端面との間に被焼成板と同一材質を有する
受け板を設けるので、受け板は焼成時における被焼成板
と同一の速度及び比率で収縮する。この結果、被焼成板
と焼成炉又はルツボの内底面との間に生じる接触抵抗力
を解消して被焼成板を複数枚同時に均一な品質で焼成す
ることができる。また、受け板と一対の保持用ブロック
を複数の小球を介して焼成炉又はルツボの内底面に置け
ば、小球が被焼成板の焼成時における受け板の収縮及び
保持用ブロックの移動を回転することにより容易にす
る。更に、上向き傾斜面に傾斜方向に沿って複数の凸条
を形成すれば、凸条における頂点のみが重し用ブロック
の下向き傾斜面に接触し、上向き傾斜面と下向き傾斜面
との接触面積を縮小させ、重し用ブロックが自重で降下
する際に発生する摺動抵抗を低減させることができる。
【図1】本発明の焼成装置を示す図2のA−A線断面
図。
図。
【図2】その装置の斜視図。
【図3】その装置の保持用ブロックを示す斜視図。
【図4】従来例を示す図1に対応する図。
11 ルツボ 11a 内底面 12 被焼成板 13 保持用ブロック 13a 鉛直面 13b 上向き傾斜面 13c 凸条 14 重し用ブロック 14a 端面 14b 下向き傾斜面 16 受け板 17 小球
Claims (3)
- 【請求項1】 焼成炉又はルツボ(11)の内部に立てて並
べておかれる複数枚の被焼成板(12)の両側に配置され前
記被焼成板(12)の両端に密着可能に形成された鉛直面(1
3a)と前記鉛直面(13a)と反対側に形成された上向き傾斜
面(13b)とを有する一対の保持用ブロック(13,13)と、 前記一対の保持用ブロック(13,13)の両側に配置され前
記上向き傾斜面(13b)と同一傾斜角度で形成された下向
き傾斜面(14b)と前記下向き傾斜面(14b)と反対側に形成
され前記焼成炉又はルツボ(11)の内壁に接触可能に形成
された端面(14a)とを有する一対の重し用ブロック(14,1
4)とを備え、 前記焼成炉又はルツボ(11)の内底面(11a)と前記複数の
被焼成板(12)の下端面との間に前記被焼成板(12)と同一
材質を有する被焼成板の受け板(16)が設けられたことを
特徴とする被焼成板の焼成装置。 - 【請求項2】 受け板(16)と一対の保持用ブロック(13,
13)が複数の小球(17)を介して前記焼成炉又はルツボ(1
1)の内底面(11a)に置かれた請求項1記載の被焼成板の
焼成装置。 - 【請求項3】 上向き傾斜面(13b)に傾斜方向に沿って
複数の凸条(13c)が形成された請求項1又は2記載の被
焼成板の焼成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19218597A JP3440981B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 被焼成板の焼成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19218597A JP3440981B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 被焼成板の焼成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1137662A true JPH1137662A (ja) | 1999-02-12 |
JP3440981B2 JP3440981B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=16287102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19218597A Expired - Fee Related JP3440981B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 被焼成板の焼成装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3440981B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015198113A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 |
-
1997
- 1997-07-17 JP JP19218597A patent/JP3440981B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2015198113A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 |
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