JPH11352533A - 波長変換結晶及びその製造方法並びにこれを用いたレーザ装置 - Google Patents

波長変換結晶及びその製造方法並びにこれを用いたレーザ装置

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JPH11352533A
JPH11352533A JP15711998A JP15711998A JPH11352533A JP H11352533 A JPH11352533 A JP H11352533A JP 15711998 A JP15711998 A JP 15711998A JP 15711998 A JP15711998 A JP 15711998A JP H11352533 A JPH11352533 A JP H11352533A
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crystal
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JP15711998A
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Ryuichi Komatsu
▲隆▼一 小松
Tamotsu Sugawara
保 菅原
Noriko Watanabe
紀子 渡辺
Vincent Naahii
ビンセント ナーヒー
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 紫外域まで波長変換することができ、かつ耐
潮解性を有するRbLiB610で表される波長変換結
晶を得る。 【解決手段】 LiRbB610で表され、耐潮解性を
有することを特徴とする波長変換結晶である。リチウム
の炭酸塩又はホウ酸塩と、ルビジウムの炭酸塩と、ホウ
酸又は無水ホウ酸とを所定量秤量して融解し、この融液
からLiRbB610で表される波長変換結晶を育成す
る。育成後の波長変換結晶の温度が150℃まで低下し
たときに波長変換結晶を相対湿度が20%以下の室温の
雰囲気中に移して放置し室温まで冷却することを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザの入射光の
波長を半分にする波長変換結晶及びその製造方法並びに
この結晶を用いたレーザ発振装置に関する。更に詳しく
は、耐潮解性を有するLiRbB610で表される波長
変換結晶及びその製造方法並びにこの結晶を用いたレー
ザ発振装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】YAG等の赤外固体レーザとこの種の波
長変換結晶を用いて作られる紫外域又は可視域の短波長
固体レーザは、従来のArガスレーザやエキシマレーザ
と比較して、より安全でメインテナンスが容易である
上、低価格で小型化し得る特長がある。入射光の波長を
半分にして出射する上記波長変換結晶は、信頼性の高い
短波長固体レーザには必要不可欠な結晶である。しかし
ながら、この波長変換結晶として十分に満足できる結晶
はこれまで存在せず、多くの研究者が良好な特性を示す
波長変換結晶を見い出すべく、現在活発な研究を行って
いる。
【0003】従来、この種の波長変換結晶として、透過
波長領域が紫外域まで広がったホウ酸系のBBO(Ba
24)、LBO(LiB35)などの非線形光学結晶
が知られている。また近年LBO結晶のLiの一部をC
sで置換したCLBO(CsLiB318)の結晶が開
発されている。CLBO結晶は、LBO結晶とほぼ同じ
非線形光学定数の値を有する。しかし、このCLBO結
晶は吸湿性があり、この吸湿により結晶が自発的に砕け
る潮解性があり、良質な結晶ができない不具合がある。
この点を解消するために、CLBO結晶のCsの一部又
は全部をRb、K及びTlと置換した組成で表される結
晶が提案されている(特開平8−295507)。この
中で特にCsをRbで全部置換したLiRbB6
10(LRBO)の結晶は容易に製造でき、かつ安全性が
高い特長がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記BBO、
LBO及びCLBOの結晶は勿論のこと、上記RLBO
の結晶においても、得られた結晶は水分を吸収するとい
う吸湿性を有し、波長変換の効率が劣化する問題点があ
った。またこの水分は結晶を加工するときに大気中から
吸収されるばかりでなく、育成後の冷却中の結晶に大気
中から吸着して白濁化し、かつ結晶を取扱う際に形状が
崩れる潮解性を有する致命的な欠点があった。本発明の
目的は、紫外域まで波長変換することができ、かつ耐潮
解性を有するRbLiB610で表される波長変換結晶
及びその製造方法並びにこの結晶を用いたレーザ発振装
置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
LiRbB610で表され、耐潮解性を有することを特
徴とする波長変換結晶である。このLiRbB610
表される波長変換結晶は、B−O構造を有するため紫外
域まで波長変換することができ、ハイパワー領域での波
長変換ではBBOに勝る特性を有する。特に本発明の波
長変換結晶は耐潮解性を有するために、結晶を大気中に
放置しても結晶の形状が崩れることもない。
【0006】請求項2に係る発明は、リチウムの炭酸塩
又はホウ酸塩と、ルビジウムの炭酸塩と、ホウ酸又は無
水ホウ酸とを所定量秤量して融解し、この融液からLi
RbB610で表される波長変換結晶を育成した後、こ
の波長変換結晶を大気中で冷却することにより波長変換
結晶を製造する方法において、育成後の波長変換結晶の
温度が150℃まで低下したときに上記波長変換結晶を
相対湿度が20%以下の室温の雰囲気中に移して放置し
室温まで冷却することを特徴とする波長変換結晶の製造
方法である。育成後の結晶の降温過程で、結晶の温度が
150℃まで低下して時点で、相対湿度が20%以下の
室温の雰囲気中に移して放置し室温まで冷却することに
より、結晶化の全過程において水分の吸着が防止され、
得られた結晶は白濁化せず、また型くずれもなく、耐潮
解性を示す。
【0007】請求項3に係る発明は、図3に示すように
レーザ媒質11から発生したレーザ光の光路に耐潮解性
を有するLiRbB610で表される波長変換結晶12
が設けられたことを特徴とするレーザ発振装置である。
レーザ媒質11から発生したレーザ光を本発明の波長変
換結晶12に照射すると、この波長変換結晶12で波長
変換されたレーザ光が出射される。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の上記結晶を製造するとき
の出発原料は、リチウムの炭酸塩又はホウ酸塩と、ルビ
ジウムの炭酸塩と、ホウ酸又は無水ホウ酸である。これ
らを所定量秤量して加熱融解することにより融液を得た
後、この融液から結晶を育成させる。本発明のLRBO
の結晶化温度は720℃以下で、一致融解を示すので、
結晶の育成方法としては、チョクラルスキー(CZ)
法、ブリッジマン法、浮遊帯域融解(FZ)法などを採
用することができる。LRBOの結晶化速度はホウ酸系
の光学結晶の中でCLBO結晶に比べれば幾分遅いが、
BBO結晶やLBO結晶の結晶化速度より速く、これら
の結晶と比べて、LRBO結晶はより短時間で育成する
ことができる。育成後のLRBO結晶は、結晶の温度が
150℃に低下するまでは育成炉の大気中で育成炉のヒ
ータへの印加電圧を徐々に下げることにより冷却し、1
50℃に到達した時点でこの結晶を育成炉から取出し、
相対湿度が20%以下の室温の雰囲気中に移して放置し
室温まで冷却する。この相対湿度が20%以下の室温の
雰囲気としては、ドライボックス、デシケータ又は降温
プロファイルをプログラム制御された恒温恒湿槽の各内
部雰囲気が挙げられる。上記雰囲気でLRBO結晶は結
晶体が保有する熱を放散しながら徐々に室温まで冷却さ
れる。上記育成炉から相対湿度が低い雰囲気に移すとき
の結晶の温度は好ましくは120℃であり、また移され
る雰囲気の好ましい相対湿度は15%以下である。
【0009】本発明のLRBO結晶は単結晶の状態で非
線形光学材料として、図3に示すレーザ発振装置に用い
ることができる。このレーザ発振装置ではレーザ媒質1
1の基本波長のレーザ光をレーザ媒質11の光路に設け
られたこのLRBO単結晶12に照射すれば、照射され
たLRBO単結晶12の入射光はこの単結晶中で波長変
換されて高調波を出射する。これによりこのLRBO結
晶を短波長光源として利用できる。レーザ媒質として
は、dye(色素)レーザ、固体レーザ、半導体レーザ
等が挙げられる。また本発明のLRBO結晶を焼結して
多結晶のセラミック体の非線形光学材料として使用し、
可視領域よりも長い波長のレーザ光をこのセラミック体
に照射することにより可視化することができる。これは
例えば、YAGを用いた1.06μmのレーザ光をこの
セラミック体に照射すると0.53μmの可視光が出射
され、レーザ光のビーム形状や強度分布などのビーム形
状を見ることができる。
【0010】
【実施例】次の本発明の実施例を比較例とともに説明す
る。 <実施例1>LRBO結晶をチョクラルスキー法により
育成した。先ず炭酸リチウム(Li2CO3)と炭酸ルビ
ジウム(Rb2CO3)と酸化ホウ素(B23)をモル比
でLi2CO3:Rb2CO3:B23=1:1:6となる
ように秤量し均一に混合した。内径約60mm、高さ約
60mmの白金ルツボをたて型炉の中に配置し、ルツボ
の中に上記混合粉を3回に分けて入れ、850℃に保っ
て混合粉を融解した。最終的に融液はルツボの容積の8
0%を占めた。上記モル比と同一にして別に作製した種
結晶をシードホルダに取付けた後、この種結晶を750
℃の温度に調整された融液表面に接触させ、この温度で
2時間維持しながら、種結晶を引上げて直径約1cm、
長さ約5cmのLRBO結晶を育成した。育成後のLR
BO結晶は、結晶の温度が120℃に低下するまでは育
成炉の大気中で育成炉のヒータへの印加電圧を徐々に下
げることにより冷却し、120℃に到達した時点でこの
結晶を育成炉から取出し、素早く相対湿度20%、温度
30℃に調整されたドライボックスの中に入れた。LR
BO結晶の温度は結晶近傍に熱電対を設けて測定した。
このドライボックスの中で5時間放置した後、30℃の
温度を有するLRBO結晶をドライボックスから取出し
た。
【0011】<比較例1>実施例1と同一の条件で実施
例1と同一のLRBO結晶を育成した。この結晶を育成
した後、育成炉のヒータへの印加電圧を徐々に下げ、結
晶の温度が120℃になった時点で、ヒータの電源を切
った。大気中の育成炉中で結晶が30℃の室温になるま
で5時間放置した。
【0012】<比較評価>実施例1のドライボックスか
ら取出した室温のLRBO結晶と、比較例1の育成炉か
ら取出した室温のLRBO結晶のそれぞれの状態を写真
撮影した。その結果をそれぞれ図1(実施例1)及び図
2(比較例1)に示す。図1及び図2から明らかなよう
に、比較例1のLRBO結晶は大気中の水分を吸収して
白濁化し、潮解により結晶が割れたのに対して、実施例
1のLRBO結晶は割れずに透明であった。また得られ
た実施例1及び比較例1のLRBO結晶を手で強く握り
しめ、形状の崩れの有無を調べたところ、比較例1のL
RBO結晶は脆くて形が崩れた。これに対して実施例1
のLRBO結晶は緻密で固い結晶体であって形状の変化
は全くなかった。
【0013】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の波長変換結
晶は、LiRbB610で表される結晶であるため、B
−O構造を有することから紫外域まで波長変換すること
ができ、ハイパワー領域での波長変換ではBBOに勝る
特性を示す。特にこの結晶は耐潮解性を有すため、大気
中に放置しても結晶は容易に白濁化せず、加工の際など
の取扱い時に細かいクラックに起因して割れたり形状が
崩れたりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の室温まで冷却後のLRBO結晶の状
態を示す写真図。
【図2】比較例1の室温まで冷却後のLRBO結晶の状
態を示す写真図。
【図3】本発明のレーザ発振装置の構成図。
【符号の説明】
11 レーザ媒質 12 波長変換結晶
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年6月5日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】
【手続補正書】
【提出日】平成10年7月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 波長変換結晶及びその製造方法並びに
これを用いたレーザ装
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項3
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0001
【補正方法】変更
【補正内容】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザの入射光の
波長を半分にする波長変換結晶及びその製造方法並びに
この結晶を用いたレーザ発振装置に関する。更に詳しく
は、耐潮解性を有するLiRbB610で表される波長
変換結晶及びその製造方法並びにこの結晶を用いたレー
ザ装置に関するものである。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記BBO、
LBO及びCLBOの結晶は勿論のこと、上記LRBO
の結晶においても、得られた結晶は水分を吸収するとい
う吸湿性を有し、波長変換の効率が劣化する問題点があ
った。またこの水分は結晶を加工するときに大気中から
吸収されるばかりでなく、育成後の冷却中の結晶に大気
中から吸着して白濁化し、かつ結晶を取扱う際に形状が
崩れる潮解性を有する致命的な欠点があった。本発明の
目的は、紫外域まで波長変換することができ、かつ耐潮
解性を有するLiRb610で表される波長変換結晶
及びその製造方法並びにこの結晶を用いたレーザ装置を
提供することにある。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
LiRbB610で表され、耐潮解性を有することを特
徴とする波長変換結晶である。このLiRbB610
表される波長変換結晶は、B−O構造を有するため紫外
域まで波長変換することができ、またハイパワー領域で
の波長変換ではBBOに勝る特性を有する。特に本発明
の波長変換結晶は耐潮解性を有するために、結晶を大気
中に放置しても結晶の形状が崩れることもない。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】請求項3に係る発明は、図3に示すように
レーザ媒質11から発生したレーザ光の光路に耐潮解性
を有するLiRbB610で表される波長変換結晶12
が設けられたことを特徴とするレーザ装置である。レー
ザ媒質11から発生したレーザ光を本発明の波長変換結
晶12に照射すると、この波長変換結晶12で波長変換
されたレーザ光が出射される。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】本発明のLRBO結晶は単結晶の状態で非
線形光学材料として、図3に示すレーザ装置に用いるこ
とができる。このレーザ装置ではレーザ媒質11の基本
波長のレーザ光をレーザ媒質11の光路に設けられたこ
のLRBO単結晶12に照射すれば、照射されたLRB
O単結晶12の入射光はこの単結晶中で波長変換されて
高調波を出射する。これによりこのLRBO結晶を短波
長光源として利用できる。レーザ媒質としては、dye
(色素)レーザ、固体レーザ、半導体レーザ等が挙げら
れる。また本発明のLRBO結晶を焼結して多結晶のセ
ラミック体の非線形光学材料として使用し、可視領域よ
りも長い波長のレーザ光をこのセラミック体に照射する
ことにより可視化することができる。これは例えば、Y
AGを用いた1.06μmのレーザ光をこのセラミック
体に照射すると0.53μmの可視光が出射され、レー
ザ光のビーム形状や強度分布などのビーム形状を見るこ
とができる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の室温まで冷却後のLRBO結晶の状
態を示す写真図。
【図2】比較例1の室温まで冷却後のLRBO結晶の状
態を示す写真図。
【図3】本発明のレーザ装置の構成図。
【符号の説明】 11 レーザ媒質 12 波長変換結晶
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ナーヒー ビンセント 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 LiRbB610で表され、耐潮解性を
    有することを特徴とする波長変換結晶。
  2. 【請求項2】 リチウムの炭酸塩又はホウ酸塩と、ルビ
    ジウムの炭酸塩と、ホウ酸又は無水ホウ酸とを所定量秤
    量して融解し、この融液からLiRbB610で表され
    る波長変換結晶を育成した後、前記波長変換結晶を大気
    中で冷却することにより前記波長変換結晶を製造する方
    法において、 前記育成後の波長変換結晶の温度が150℃まで低下し
    たときに前記波長変換結晶を相対湿度が20%以下の室
    温の雰囲気中に移して放置し室温まで冷却することを特
    徴とする波長変換結晶の製造方法。
  3. 【請求項3】 レーザ媒質(11)から発生したレーザ光の
    光路に耐潮解性を有するLiRbB610で表される波
    長変換結晶(12)が設けられたことを特徴とするレーザ発
    振装置。
JP15711998A 1998-06-05 1998-06-05 波長変換結晶及びその製造方法並びにこれを用いたレーザ装置 Withdrawn JPH11352533A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101984151A (zh) * 2010-11-22 2011-03-09 中国科学院新疆理化技术研究所 硼酸锂铷非线性光学晶体及其制备方法和用途
CN102212882A (zh) * 2011-05-12 2011-10-12 中国科学院新疆理化技术研究所 化合物硼酸锂铷非线性光学晶体及其制备方法和用途

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