JPH11352510A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置およびその製造方法Info
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- JPH11352510A JPH11352510A JP16495998A JP16495998A JPH11352510A JP H11352510 A JPH11352510 A JP H11352510A JP 16495998 A JP16495998 A JP 16495998A JP 16495998 A JP16495998 A JP 16495998A JP H11352510 A JPH11352510 A JP H11352510A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 経時変化による特性の変化を改善して特性の
モニター精度を向上させ、駆動回路テスト素子群を保護
してハンドリング時に破壊したり、傷付けないようにす
る。 【解決手段】 画素電極や薄膜駆動回路を形成したアレ
イ基板と対向基板間に液晶を挟む液晶表示装置におい
て、アレイ基板に延在部１１ａを形成してここに駆動回
路と同じ動作機能をもつ駆動回路テスト素子群２１を形
成する。対向基板にも延在部３４ａを形成して、駆動回
路テスト素子群２１上を覆うようにしてシール材で両延
在部を接着し、装置から切り離してテスト用とする。
モニター精度を向上させ、駆動回路テスト素子群を保護
してハンドリング時に破壊したり、傷付けないようにす
る。 【解決手段】 画素電極や薄膜駆動回路を形成したアレ
イ基板と対向基板間に液晶を挟む液晶表示装置におい
て、アレイ基板に延在部１１ａを形成してここに駆動回
路と同じ動作機能をもつ駆動回路テスト素子群２１を形
成する。対向基板にも延在部３４ａを形成して、駆動回
路テスト素子群２１上を覆うようにしてシール材で両延
在部を接着し、装置から切り離してテスト用とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示画素電極とと
もに基板上に駆動回路などの薄膜回路を有する液晶表示
液晶表示装置の製造方法に係る。
もに基板上に駆動回路などの薄膜回路を有する液晶表示
液晶表示装置の製造方法に係る。
【０００２】
【従来の技術】文字や図形などを表示する液晶表示装置
としては、アドレス配線とデータ配線を交差させ、この
交差した各区画を画素とするマトリクス型がある。アク
ティブマトリクス型液晶表示装置はこれらの各画素に対
応して駆動用のスイッチング素子を備える。このスイッ
チング素子としては、薄膜トランジスタや金属一絶縁体
一金属の非線形抵抗素子が代表的であり、中でも薄膜ト
ランジスタは高速応答性に優れ、フルカラー表示に適し
ている。このような液晶表示装置は比較的に薄くつくれ
るため、ノートＰＣなどの携帯型パソコンに多く搭載さ
れてきている。携帯型ではより簿く、小さく、のほか
に、より安いことが求められる。
としては、アドレス配線とデータ配線を交差させ、この
交差した各区画を画素とするマトリクス型がある。アク
ティブマトリクス型液晶表示装置はこれらの各画素に対
応して駆動用のスイッチング素子を備える。このスイッ
チング素子としては、薄膜トランジスタや金属一絶縁体
一金属の非線形抵抗素子が代表的であり、中でも薄膜ト
ランジスタは高速応答性に優れ、フルカラー表示に適し
ている。このような液晶表示装置は比較的に薄くつくれ
るため、ノートＰＣなどの携帯型パソコンに多く搭載さ
れてきている。携帯型ではより簿く、小さく、のほか
に、より安いことが求められる。
【０００３】このような要求に対応するため、従来、液
晶を駆動するための回路を、アレイ基板に可撓性回路基
板ＴＣＰ（Tape Carrier Package）として外付けしてい
たものを、アレイ基板上にアドレス配線、データ配線や
画素電極を形成するのと同時に薄膜回路を作り込むこと
で、部材点数を削滅し、コストを下げる方法がある。
晶を駆動するための回路を、アレイ基板に可撓性回路基
板ＴＣＰ（Tape Carrier Package）として外付けしてい
たものを、アレイ基板上にアドレス配線、データ配線や
画素電極を形成するのと同時に薄膜回路を作り込むこと
で、部材点数を削滅し、コストを下げる方法がある。
【０００４】液晶駆動回路を作り込んだアレイ基板で
は、薄膜トランジスタなどの製造法が複雑であり実用上
の条件が厳しいことから、その回路の動作の寿命を確認
する必要がある。アレイ基板上の駆動回路の動作寿命を
確認するためには、液晶表示装置そのものを用いて信頼
性試験を行う場合があるが、サンプル作製に時間がかか
ること、部品点数が多くなるのでコストがかかることか
ら大量にサンプルを作製することが難しい。
は、薄膜トランジスタなどの製造法が複雑であり実用上
の条件が厳しいことから、その回路の動作の寿命を確認
する必要がある。アレイ基板上の駆動回路の動作寿命を
確認するためには、液晶表示装置そのものを用いて信頼
性試験を行う場合があるが、サンプル作製に時間がかか
ること、部品点数が多くなるのでコストがかかることか
ら大量にサンプルを作製することが難しい。
【０００５】図４にアレイ基板上に液晶表示装置ととも
に作り込んだ駆動回路テスト素子群ＴＥＧ（Test Eleme
nt Group）の一例を示す。絶縁基板１上にテスト用駆動
回路２と、この駆動回路２に電源とロジック信号を供給
するためのパッド３と、駆動回路２を構成するユニット
の回路毎に電気的に動作状態を検査するための検査パッ
ド４が形成されている。このとき、検査パッド４は駆動
回路２の周辺または駆動回路２を構成するユニットの回
路内の少なくともいずれかに配置される。
に作り込んだ駆動回路テスト素子群ＴＥＧ（Test Eleme
nt Group）の一例を示す。絶縁基板１上にテスト用駆動
回路２と、この駆動回路２に電源とロジック信号を供給
するためのパッド３と、駆動回路２を構成するユニット
の回路毎に電気的に動作状態を検査するための検査パッ
ド４が形成されている。このとき、検査パッド４は駆動
回路２の周辺または駆動回路２を構成するユニットの回
路内の少なくともいずれかに配置される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テスト
用駆動回路２は露出状態にあるため次のような問題が発
生する。図４のように対向基板がない状態で駆動回路２
の信頼性試験を行う場合、液晶表示装置部の駆動回路に
は対向基板が存在するために、液晶表示装置を駆動する
場合と同じ現象を再現するとは限らない。すなわち、駆
動回路２をせっかく液晶表示装置部と同規模、同構造と
しても、経時変化による特性の変化を液晶表示装置と異
なった状態でモニターしてしまうことがあった。
用駆動回路２は露出状態にあるため次のような問題が発
生する。図４のように対向基板がない状態で駆動回路２
の信頼性試験を行う場合、液晶表示装置部の駆動回路に
は対向基板が存在するために、液晶表示装置を駆動する
場合と同じ現象を再現するとは限らない。すなわち、駆
動回路２をせっかく液晶表示装置部と同規模、同構造と
しても、経時変化による特性の変化を液晶表示装置と異
なった状態でモニターしてしまうことがあった。
【０００７】さらに、駆動回路２上に特に保護するため
の基板、保護膜等がないためハンドリング時に駆動回路
２を触ることで破壊したり、傷付けて動作しないように
なってしまうといった問題があった。
の基板、保護膜等がないためハンドリング時に駆動回路
２を触ることで破壊したり、傷付けて動作しないように
なってしまうといった問題があった。
【０００８】本発明は、このような課題に鑑みなされた
もので、駆動回路の経時変化による特性の変化を液晶表
示装置で評価する代わりに、駆動回路テスト素子群を用
いて大量に、簡便に液晶表示装置と同じ状態で評価でき
るようにするための液晶表示装置の製造方法を提供する
ことを目的とする。
もので、駆動回路の経時変化による特性の変化を液晶表
示装置で評価する代わりに、駆動回路テスト素子群を用
いて大量に、簡便に液晶表示装置と同じ状態で評価でき
るようにするための液晶表示装置の製造方法を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、表示領域の一
表面に画素電極をマトリクス配列し、その周辺の非表示
領域に前記画素電極を駆動する駆動回路を配置した第１
の基板と、前記第１の基板に液晶を挟持する間隙をあけ
て対向した第２の基板と、これらの基板を前記液晶を封
入するように基板周辺で接着するシール材と、前記シー
ル材外側に前記第１の基板から延在する第１の基板延在
部と、前記第１の基板延在部の前記第１の基板の一表面
と同一の面上に形成した駆動回路テスト素子群およびこ
の素子群のパッドと、前記駆動回路テスト素子群上に対
向して位置し前記第２の基板から延在した第２の基板延
在部とからなる液晶表示装置を得るものである。
表面に画素電極をマトリクス配列し、その周辺の非表示
領域に前記画素電極を駆動する駆動回路を配置した第１
の基板と、前記第１の基板に液晶を挟持する間隙をあけ
て対向した第２の基板と、これらの基板を前記液晶を封
入するように基板周辺で接着するシール材と、前記シー
ル材外側に前記第１の基板から延在する第１の基板延在
部と、前記第１の基板延在部の前記第１の基板の一表面
と同一の面上に形成した駆動回路テスト素子群およびこ
の素子群のパッドと、前記駆動回路テスト素子群上に対
向して位置し前記第２の基板から延在した第２の基板延
在部とからなる液晶表示装置を得るものである。
【００１０】さらに、本発明は、第１の基板の表示領域
の一表面に画素電極をマトリクス配列し、その周辺の非
表示領域に前記画素電極を駆動する駆動回路を配置し、
前記第１の基板から延在する第１の基板延在部に駆動回
路テスト素子群を配置する工程と、前記第１の基板に第
２の基板を液晶を挟持する間隙をあけて対向させ、前記
第２の基板から延在する第２の基板延在部を前記駆動回
路テスト素子群に対向させる工程と、前記第１と第２の
基板を前記液晶を封入するようにこれらの基板周辺をシ
ール材で接着する工程と、前記第１の基板延在部と前記
第２の基板延在部とを一体のまま前記第１の基板と前記
第２の基板から切り離す工程とからなる液晶表示装置の
製造方法を得るものである。
の一表面に画素電極をマトリクス配列し、その周辺の非
表示領域に前記画素電極を駆動する駆動回路を配置し、
前記第１の基板から延在する第１の基板延在部に駆動回
路テスト素子群を配置する工程と、前記第１の基板に第
２の基板を液晶を挟持する間隙をあけて対向させ、前記
第２の基板から延在する第２の基板延在部を前記駆動回
路テスト素子群に対向させる工程と、前記第１と第２の
基板を前記液晶を封入するようにこれらの基板周辺をシ
ール材で接着する工程と、前記第１の基板延在部と前記
第２の基板延在部とを一体のまま前記第１の基板と前記
第２の基板から切り離す工程とからなる液晶表示装置の
製造方法を得るものである。
【００１１】また、前記第１の基板が薄膜トランジスタ
を有するアレイ基板であり、前記第２の基板が対向電極
を有する対向基板であるアクティブマトリクス型の液晶
表示装置の製造方法を得るものである。
を有するアレイ基板であり、前記第２の基板が対向電極
を有する対向基板であるアクティブマトリクス型の液晶
表示装置の製造方法を得るものである。
【００１２】さらに、前記駆動回路テスト素子群は、前
記駆動回路と同等の機能を有することを特徴とする液晶
表示装置の製造方法を得るものである。
記駆動回路と同等の機能を有することを特徴とする液晶
表示装置の製造方法を得るものである。
【００１３】さらに、前記駆動回路テスト素子群は、前
記駆動回路の近傍に配置されることを特徴とする液晶表
示装置の製造方法を得るものである。
記駆動回路の近傍に配置されることを特徴とする液晶表
示装置の製造方法を得るものである。
【００１４】さらに、前記駆動回路テスト素子群には、
回路を構成するユニットの回路ごとに電気的に動作状態
を検査するための検査パッドを有することを特徴とする
液晶表示装置の製造方法を得るものである。
回路を構成するユニットの回路ごとに電気的に動作状態
を検査するための検査パッドを有することを特徴とする
液晶表示装置の製造方法を得るものである。
【００１５】駆動回路テスト素子群上に対向基板を配置
することで、駆動回路テスト素子群が液晶表示装置の駆
動回路の環境条件に近付くので、液晶表示装置の駆動回
路の信頼性試験の代わりとして、大量にかつ簡便に実施
できる。したがって、コストがかからずに経時変化によ
る特性の変化を液晶表示装置と同じ状態としてモニター
することができる。
することで、駆動回路テスト素子群が液晶表示装置の駆
動回路の環境条件に近付くので、液晶表示装置の駆動回
路の信頼性試験の代わりとして、大量にかつ簡便に実施
できる。したがって、コストがかからずに経時変化によ
る特性の変化を液晶表示装置と同じ状態としてモニター
することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる液晶表示装
置の実施の形態について詳細に説明する。図１乃至図３
は本発明の一実施の形態のポリシリコン型の液晶表示装
置および製造方法を示すものである。
置の実施の形態について詳細に説明する。図１乃至図３
は本発明の一実施の形態のポリシリコン型の液晶表示装
置および製造方法を示すものである。
【００１７】図において、サイズ３００ｍｍ×４００ｍ
ｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板１１の一方の表面に成
膜とパターニングを繰り返して表示領域（Ａ）にマトリ
クス状にスイッチング用ポリシリコン薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）１２、パッド１３を含むアドレス・データ配
線１４、画素電極１５を形成し、表示領域の周辺の非表
示領域（Ｂ）に画素電極に駆動電圧を印加するポリシリ
コンＴＦＴを含む駆動回路１６と、この駆動回路のさら
に周辺にこの駆動回路と同一回路構成の駆動回路テスト
素子群（ＴＥＧ）２１を形成した駆動回路組込みアレイ
基板２０を形成する。
ｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板１１の一方の表面に成
膜とパターニングを繰り返して表示領域（Ａ）にマトリ
クス状にスイッチング用ポリシリコン薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）１２、パッド１３を含むアドレス・データ配
線１４、画素電極１５を形成し、表示領域の周辺の非表
示領域（Ｂ）に画素電極に駆動電圧を印加するポリシリ
コンＴＦＴを含む駆動回路１６と、この駆動回路のさら
に周辺にこの駆動回路と同一回路構成の駆動回路テスト
素子群（ＴＥＧ）２１を形成した駆動回路組込みアレイ
基板２０を形成する。
【００１８】図２に示すように、ポリシリコン薄膜トラ
ンジスタ１２は、ガラス基板１１上に、窒化シリコン膜
２２、二酸化シリコン膜２３、アモルファスシリコン膜
（２４）を連続して成膜した後、レーザ照射によりアモ
ルファスシリコン膜をポリシリコン膜２４に変化させ
る。このポリシリコン膜２４を所定形状にパターニング
してその上にゲート絶縁膜２５を成膜する。
ンジスタ１２は、ガラス基板１１上に、窒化シリコン膜
２２、二酸化シリコン膜２３、アモルファスシリコン膜
（２４）を連続して成膜した後、レーザ照射によりアモ
ルファスシリコン膜をポリシリコン膜２４に変化させ
る。このポリシリコン膜２４を所定形状にパターニング
してその上にゲート絶縁膜２５を成膜する。
【００１９】この後、モリブデンなどの金属によりゲー
ト電極２６をゲート絶縁膜２５に接して形成し、つづい
てイオンドーピングによりゲート電極をマスクとしてチ
ャンネル領域２８を挟んでソース・ドレイン領域２９を
形成する。
ト電極２６をゲート絶縁膜２５に接して形成し、つづい
てイオンドーピングによりゲート電極をマスクとしてチ
ャンネル領域２８を挟んでソース・ドレイン領域２９を
形成する。
【００２０】さらに酸化シリコン膜の層間絶縁膜３０を
成膜し、その上にＩＴＯの透明導電膜を成膜してエッチ
ングにより所定のパターンとして、画素電極１５を得
る。次に信号線電極１４を形成してスイッチング用のポ
リシリコン薄膜トランジスタ１２を形成する。
成膜し、その上にＩＴＯの透明導電膜を成膜してエッチ
ングにより所定のパターンとして、画素電極１５を得
る。次に信号線電極１４を形成してスイッチング用のポ
リシリコン薄膜トランジスタ１２を形成する。
【００２１】駆動回路１６中の薄膜トランジスタと、駆
動回路テスト素子群２１中の薄膜トランジスタについて
も同一工程で同一成膜、同一パターニングにより形成さ
れる。
動回路テスト素子群２１中の薄膜トランジスタについて
も同一工程で同一成膜、同一パターニングにより形成さ
れる。
【００２２】アレイ基板２０の辺には、駆動回路１６に
電源とロジック信号を供給するための電極パッド１３お
よび駆動回路１６を構成するユニットの回路ごとに電気
的に動作状態を検査するための検査パッド１３ａを有し
ている。
電源とロジック信号を供給するための電極パッド１３お
よび駆動回路１６を構成するユニットの回路ごとに電気
的に動作状態を検査するための検査パッド１３ａを有し
ている。
【００２３】次に０．７ｍｍガラス基板３４上にカラー
フィルタ３５、対向電極３６を形成した対向基板３３
を、アレイ基板２０と対向させて液晶を挟持する間隙を
あけて液晶３７を封止するように両基板をシール材４０
で接着する。
フィルタ３５、対向電極３６を形成した対向基板３３
を、アレイ基板２０と対向させて液晶を挟持する間隙を
あけて液晶３７を封止するように両基板をシール材４０
で接着する。
【００２４】液晶を封入するシール材は、駆動回路テス
ト素子群２１の内側を通過し、製造工程の最終段階で、
駆動回路テスト素子群２１が形成されたガラス基板部分
１１ａ、３４ａが基板の延在部４１として切断線ａ−ａ
にそって切り離される。切り離された後も、アレイ基板
２０の延在部１１ａと対向基板３３の延在部３４ａが一
体であるように、上記シール材とは別にシール材４２で
駆動回路テスト素子群２１の周囲を囲むようにする。液
晶が封入できるような間隙を形成することが望ましい。
ト素子群２１の内側を通過し、製造工程の最終段階で、
駆動回路テスト素子群２１が形成されたガラス基板部分
１１ａ、３４ａが基板の延在部４１として切断線ａ−ａ
にそって切り離される。切り離された後も、アレイ基板
２０の延在部１１ａと対向基板３３の延在部３４ａが一
体であるように、上記シール材とは別にシール材４２で
駆動回路テスト素子群２１の周囲を囲むようにする。液
晶が封入できるような間隙を形成することが望ましい。
【００２５】図３に示すように、駆動回路テスト素子群
２１は延在部１１ａ上に駆動回路２１に電源とロジック
信号を供給するための電極パッド４３および駆動回路２
１を構成するユニットの回路ごとに電気的に動作状態を
検査するための検査パッド４４を有しており、アレイ基
板の延在部１１ａの端縁に引き出される。これらのパッ
ド４３、４４上を対向基板の延在部３４ａが覆わないよ
うに対向基板のガラス基板寸法をアレイ基板のガラス基
板寸法よりも小さく形成する。
２１は延在部１１ａ上に駆動回路２１に電源とロジック
信号を供給するための電極パッド４３および駆動回路２
１を構成するユニットの回路ごとに電気的に動作状態を
検査するための検査パッド４４を有しており、アレイ基
板の延在部１１ａの端縁に引き出される。これらのパッ
ド４３、４４上を対向基板の延在部３４ａが覆わないよ
うに対向基板のガラス基板寸法をアレイ基板のガラス基
板寸法よりも小さく形成する。
【００２６】駆動回路テスト素子群２１は同じアレイ基
板上に形成される液晶表示装置の駆動回路１６と同規
模、同構造、同駆動の回路であり、液晶表示装置の近傍
に形成されるので、液晶表示装置の動作を再現できる。
また、駆動回路テスト素子群に電源を供給するためのパ
ッド４３、４４は、液晶表示装置の駆動回路のパッドと
同構造、同形状であるためモジュールで使用する可撓性
基板（ＦＰＣ）を流用してパッドに接続し、テスト素子
群を駆動させることができる。
板上に形成される液晶表示装置の駆動回路１６と同規
模、同構造、同駆動の回路であり、液晶表示装置の近傍
に形成されるので、液晶表示装置の動作を再現できる。
また、駆動回路テスト素子群に電源を供給するためのパ
ッド４３、４４は、液晶表示装置の駆動回路のパッドと
同構造、同形状であるためモジュールで使用する可撓性
基板（ＦＰＣ）を流用してパッドに接続し、テスト素子
群を駆動させることができる。
【００２７】また、該駆動回路テスト素子群２１と対向
基板３３との間に液晶を狭持させることで、真に液晶表
示装置の駆動回路と同じ状態を再現して、信頼性試験を
行うことができる。
基板３３との間に液晶を狭持させることで、真に液晶表
示装置の駆動回路と同じ状態を再現して、信頼性試験を
行うことができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、アレイ基板上に作り込
んだ駆動回路テスト素子群に対向基板を配置し、該駆動
回路テスト素子群を液晶表示装置と同規模、同構造、同
形状とすることで、駆動回路の経時変化を液晶表示装置
で評価する代わりに、駆動回路テスト素子群で大量に、
簡便に、コストがかからずに液晶表示装置と同じ状態で
評価できる。
んだ駆動回路テスト素子群に対向基板を配置し、該駆動
回路テスト素子群を液晶表示装置と同規模、同構造、同
形状とすることで、駆動回路の経時変化を液晶表示装置
で評価する代わりに、駆動回路テスト素子群で大量に、
簡便に、コストがかからずに液晶表示装置と同じ状態で
評価できる。
【図１】本発明の一実施の形態を示す液晶表示装置の略
平面図、
平面図、
【図２】本発明の一実施の形態のポリシリコン薄膜トラ
ンジスタの構造を示す一部断面図、
ンジスタの構造を示す一部断面図、
【図３】駆動回路テスト素子群を形成した基板の延在部
を示す平面図および断面図、
を示す平面図および断面図、
【図４】従来の駆動回路テスト素子群を形成した基板の
延在部を示す平面図および断面図。
延在部を示す平面図および断面図。
１１：ガラス基板 １１ａ：延在部 １２：ポリシリコン薄膜トランジスタ １３： １４：、アドレス・データ配線 １５：画素電極 １６：駆動回路 ２０：アレイ基板 ２１：駆動回路テスト素子群 ３３：対向基板 ３４：ガラス基板 ３４ａ：延在部 ３７：液晶 ４０：シール材 ４３：電極パッド ４４：検査パッド
Claims (6)
- 【請求項１】 表示領域の一表面に画素電極をマトリク
ス配列し、その周辺の非表示領域に前記画素電極を駆動
する駆動回路を配置した第１の基板と、前記第１の基板
に液晶を挟持する間隙をあけて対向した第２の基板と、
これらの基板を前記液晶を封入するように基板周辺で接
着するシール材と、前記シール材外側に前記第１の基板
から延在する第１の基板延在部と、前記第１の基板延在
部の前記第１の基板の一表面と同一の面上に形成した駆
動回路テスト素子群およびこの素子群のパッドと、前記
駆動回路テスト素子群上に対向して位置し前記第２の基
板から延在した第２の基板延在部とからなる液晶表示装
置。 - 【請求項２】 第１の基板の表示領域の一表面に画素電
極をマトリクス配列し、その周辺の非表示領域に前記画
素電極を駆動する駆動回路を配置し、前記第１の基板か
ら延在する第１の基板延在部に駆動回路テスト素子群を
配置する工程と、前記第１の基板に第２の基板を液晶を
挟持する間隙をあけて対向させ、前記第２の基板から延
在する第２の基板延在部を前記駆動回路テスト素子群に
対向させる工程と、前記第１と第２の基板を前記液晶を
封入するようにこれらの基板周辺をシール材で接着する
工程と、前記第１の基板延在部と前記第２の基板延在部
とを一体のまま前記第１の基板と前記第２の基板から切
り離す工程とからなる液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 前記第１の基板が薄膜トランジスタを有
するアレイ基板であり、前記第２の基板が対向電極を有
する対向基板であるアクティブマトリクス型の請求項２
記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項４】 前記駆動回路テスト素子群は、前記駆動
回路と同等の機能を有することを特徴とする請求項２記
載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項５】 前記駆動回路テスト素子群は、前記駆動
回路の近傍に配置されることを特徴とする請求項２記載
の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 前記駆動回路テスト素子群には、回路を
構成するユニットの回路ごとに電気的に動作状態を検査
するための検査パッドを有することを特徴とする請求項
２、３、４のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495998A JPH11352510A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495998A JPH11352510A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352510A true JPH11352510A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15803126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16495998A Pending JPH11352510A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11352510A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002296620A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置 |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP16495998A patent/JPH11352510A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002296620A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置 |
| JP4562938B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-10-13 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
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