JPH11351857A - 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 - Google Patents
薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置Info
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- JPH11351857A JPH11351857A JP10158892A JP15889298A JPH11351857A JP H11351857 A JPH11351857 A JP H11351857A JP 10158892 A JP10158892 A JP 10158892A JP 15889298 A JP15889298 A JP 15889298A JP H11351857 A JPH11351857 A JP H11351857A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、シリコンウェーハ等の薄板の表面
形状を精密に測定するための薄板の表面形状測定方法お
よび薄板の表面形状測定装置ならびに薄板の厚み測定方
法に関し、薄板の表面形状を高い精度で測定することを
目的とする。 【解決手段】 薄板を同一平面内において回動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする。
形状を精密に測定するための薄板の表面形状測定方法お
よび薄板の表面形状測定装置ならびに薄板の厚み測定方
法に関し、薄板の表面形状を高い精度で測定することを
目的とする。 【解決手段】 薄板を同一平面内において回動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等の薄板の表面形状を精密に測定するための薄板の表面
形状測定方法および薄板の表面形状測定装置ならびに薄
板の厚み測定方法に関する。
等の薄板の表面形状を精密に測定するための薄板の表面
形状測定方法および薄板の表面形状測定装置ならびに薄
板の厚み測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンウェーハ等の薄板の表面
形状を測定するための装置として、例えば、特公平５−
７７１７９号公報，特開平１０−４７９４９号公報等に
開示されるものが知られている。図１５は、特公平５−
７７１７９号公報に開示される装置を示すもので、この
装置では、回転可能な真空チャック１にシリコンウェー
ハ等の薄板２が吸着支持されている。
形状を測定するための装置として、例えば、特公平５−
７７１７９号公報，特開平１０−４７９４９号公報等に
開示されるものが知られている。図１５は、特公平５−
７７１７９号公報に開示される装置を示すもので、この
装置では、回転可能な真空チャック１にシリコンウェー
ハ等の薄板２が吸着支持されている。
【０００３】薄板２の両側には、変位計３が配置され、
これ等の変位計３がアーム４および支持部材５により支
持されている。そして、この装置では、薄板２の形状評
価においては、薄板２の用途が、例えば、平面等の基準
面に密着されることを前提としていることから、必要と
される領域内において測定された厚さのデータ群のバラ
ツキが薄板２の平坦度とされている。
これ等の変位計３がアーム４および支持部材５により支
持されている。そして、この装置では、薄板２の形状評
価においては、薄板２の用途が、例えば、平面等の基準
面に密着されることを前提としていることから、必要と
される領域内において測定された厚さのデータ群のバラ
ツキが薄板２の平坦度とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の評価方法では、薄板２の基準平面に密着され
る面に局所的な凹凸があり、あるいは、厚みが一定でも
小さな周期のうねりを有しており、この面が基準平面に
充分に密着されなかった場合にも、あたかも、その凹凸
あるいはうねりが、その反対面に存在する形状として表
現されてしまい、例えば、その表面に微細なパターンの
描画あるいは転写を行うシリコンウェーハ等の形状評価
において過大もしくは過小評価が生じるおそれがあると
いう問題があった。
うな従来の評価方法では、薄板２の基準平面に密着され
る面に局所的な凹凸があり、あるいは、厚みが一定でも
小さな周期のうねりを有しており、この面が基準平面に
充分に密着されなかった場合にも、あたかも、その凹凸
あるいはうねりが、その反対面に存在する形状として表
現されてしまい、例えば、その表面に微細なパターンの
描画あるいは転写を行うシリコンウェーハ等の形状評価
において過大もしくは過小評価が生じるおそれがあると
いう問題があった。
【０００５】すなわち、例えば、図１６の（ａ）に示す
ように、シリコンウェーハからなる薄板２の裏面２ａ側
に、数ｍｍから数十ｍｍの長さの局所的な凹部２ｂが存
在している場合には、パターン転写時に、真空吸着盤の
吸引力では、薄板２を基準面Ｋに確実に密着することが
できず、厚さデータを基にした平坦度の評価結果は、図
の（ａ’）に示すように薄板２の表面２ｃ側に凹部２ｂ
が存在することになり、本来、パターンを良好に転写可
能な形状でありながら不良と判断されることになる。
ように、シリコンウェーハからなる薄板２の裏面２ａ側
に、数ｍｍから数十ｍｍの長さの局所的な凹部２ｂが存
在している場合には、パターン転写時に、真空吸着盤の
吸引力では、薄板２を基準面Ｋに確実に密着することが
できず、厚さデータを基にした平坦度の評価結果は、図
の（ａ’）に示すように薄板２の表面２ｃ側に凹部２ｂ
が存在することになり、本来、パターンを良好に転写可
能な形状でありながら不良と判断されることになる。
【０００６】また、例えば、図１６の（ｂ）に示すよう
に、薄板２の裏面２ａ側に、数ｍｍから数十ｍｍの長さ
の局所的な凸部２ｄが存在している場合には、凸部２ｄ
の周辺部を基準面Ｋに確実に密着することができず、厚
さデータを基にした平坦度の評価結果は、図の（ｂ’）
に示すように薄板２の表面２ｃ側に実際より小さい凸部
２ｄが存在することになり、評価よりも広い範囲におい
てパターンの転写不良が生じることになる。
に、薄板２の裏面２ａ側に、数ｍｍから数十ｍｍの長さ
の局所的な凸部２ｄが存在している場合には、凸部２ｄ
の周辺部を基準面Ｋに確実に密着することができず、厚
さデータを基にした平坦度の評価結果は、図の（ｂ’）
に示すように薄板２の表面２ｃ側に実際より小さい凸部
２ｄが存在することになり、評価よりも広い範囲におい
てパターンの転写不良が生じることになる。
【０００７】さらに、例えば、図１６の（ｃ）に示すよ
うに、薄板２の厚さが均一で短い周期のうねりが存在し
ている場合には、凸部２ｅの裏面２ａ側を基準面Ｋに確
実に密着することができず、厚さデータを基にした平坦
度の評価結果は、図の（ｃ’）に示すように平坦状態に
なり、評価では想像できないパターンの転写不良が生じ
ることになる。
うに、薄板２の厚さが均一で短い周期のうねりが存在し
ている場合には、凸部２ｅの裏面２ａ側を基準面Ｋに確
実に密着することができず、厚さデータを基にした平坦
度の評価結果は、図の（ｃ’）に示すように平坦状態に
なり、評価では想像できないパターンの転写不良が生じ
ることになる。
【０００８】また、従来の装置では、薄板２の厚さを測
定することを目的としているため、薄板２の両面を測定
する一対の変位計３の相対的な距離を一定に保つように
しておけば良いことから、図１７に示すように、薄板２
を挟みこむようにして二股状の保持部６を位置させ、こ
の保持部６の先端に変位計３を配置し、保持部６の根元
部７を支持して保持部６を移動するように構成している
ため、以下に述べるような問題があった。
定することを目的としているため、薄板２の両面を測定
する一対の変位計３の相対的な距離を一定に保つように
しておけば良いことから、図１７に示すように、薄板２
を挟みこむようにして二股状の保持部６を位置させ、こ
の保持部６の先端に変位計３を配置し、保持部６の根元
部７を支持して保持部６を移動するように構成している
ため、以下に述べるような問題があった。
【０００９】すなわち、このような構造では、例えば、
薄板２の直径が３００ｍｍの大きさになると、薄板２の
全面を測定するためには、二股状の保持部６の長さが少
なくとも１５０ｍｍ以上必要になり、しかも、その根元
部７も変位計３から１５０ｍｍ以上離れてしまうため、
根元部７の移動精度が拡大され、変位計３の直進性に起
因する誤差が発生し、また、一対の変位計３の測定点が
ずれてしまうことによるアッベ誤差が発生するという問
題が生じる。
薄板２の直径が３００ｍｍの大きさになると、薄板２の
全面を測定するためには、二股状の保持部６の長さが少
なくとも１５０ｍｍ以上必要になり、しかも、その根元
部７も変位計３から１５０ｍｍ以上離れてしまうため、
根元部７の移動精度が拡大され、変位計３の直進性に起
因する誤差が発生し、また、一対の変位計３の測定点が
ずれてしまうことによるアッベ誤差が発生するという問
題が生じる。
【００１０】また、二股状の保持部６が、音叉のように
振動した場合には、一対の変位計３の相対的な距離が変
動し、誤差が発生するという問題が生じる。本発明は、
かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、
薄板の表面形状を高い精度で測定することができる薄板
の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置なら
びに薄板の厚み測定方法を提供することを目的とする。
振動した場合には、一対の変位計３の相対的な距離が変
動し、誤差が発生するという問題が生じる。本発明は、
かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、
薄板の表面形状を高い精度で測定することができる薄板
の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置なら
びに薄板の厚み測定方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の薄板の表面形
状測定方法は、薄板を同一平面内において回動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする。
状測定方法は、薄板を同一平面内において回動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする。
【００１２】請求項２の薄板の表面形状測定方法は、薄
板を同一平面内において移動自在に支持するとともに、
前記平面の一側および他側に前記平面に平行に第１およ
び第２の案内軸を、第１および第２の案内軸が平行にな
るように配置し、前記第１および第２の案内軸に沿って
独立に移動する第１および第２の計測手段により前記薄
板の一面および他面までの距離を独立して測定し、前記
薄板の一面および他面の表面形状を測定することを特徴
とする。
板を同一平面内において移動自在に支持するとともに、
前記平面の一側および他側に前記平面に平行に第１およ
び第２の案内軸を、第１および第２の案内軸が平行にな
るように配置し、前記第１および第２の案内軸に沿って
独立に移動する第１および第２の計測手段により前記薄
板の一面および他面までの距離を独立して測定し、前記
薄板の一面および他面の表面形状を測定することを特徴
とする。
【００１３】請求項３の薄板の表面形状測定装置は、薄
板を同一平面内において回動自在に支持する支持手段
と、前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、か
つ相互に平行になるように配置される第１および第２の
案内軸と、前記第１および第２の案内軸に沿って独立に
移動する第１および第２のスライダと、前記第１および
第２のスライダに固定され前記薄板の一面および他面ま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
とを有することを特徴とする。
板を同一平面内において回動自在に支持する支持手段
と、前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、か
つ相互に平行になるように配置される第１および第２の
案内軸と、前記第１および第２の案内軸に沿って独立に
移動する第１および第２のスライダと、前記第１および
第２のスライダに固定され前記薄板の一面および他面ま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
とを有することを特徴とする。
【００１４】請求項４の薄板の表面形状測定装置は、薄
板を同一平面内において移動自在に支持する支持手段
と、前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、か
つ相互に平行になるように配置される第１および第２の
案内軸と、前記第１および第２の案内軸に沿って独立に
移動する第１および第２のスライダと、前記第１および
第２のスライダに固定され前記薄板の一面および他面ま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
とを有することを特徴とする。
板を同一平面内において移動自在に支持する支持手段
と、前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、か
つ相互に平行になるように配置される第１および第２の
案内軸と、前記第１および第２の案内軸に沿って独立に
移動する第１および第２のスライダと、前記第１および
第２のスライダに固定され前記薄板の一面および他面ま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
とを有することを特徴とする。
【００１５】請求項５の薄板の表面形状測定装置は、請
求項３または請求項４記載の薄板の表面形状測定装置に
おいて、前記第１および第２の計測手段を、前記平面に
垂直な同一軸線上に位置させるための位置合わせ手段を
有することを特徴とする。請求項６の薄板の厚み測定方
法は、請求項１または請求項２記載の薄板の表面形状測
定方法により測定された前記薄板の一面および他面の表
面形状と、前記第１および第２の計測手段の間隔とに基
づいて前記薄板の各部の厚みを測定することを特徴とす
る。
求項３または請求項４記載の薄板の表面形状測定装置に
おいて、前記第１および第２の計測手段を、前記平面に
垂直な同一軸線上に位置させるための位置合わせ手段を
有することを特徴とする。請求項６の薄板の厚み測定方
法は、請求項１または請求項２記載の薄板の表面形状測
定方法により測定された前記薄板の一面および他面の表
面形状と、前記第１および第２の計測手段の間隔とに基
づいて前記薄板の各部の厚みを測定することを特徴とす
る。
【００１６】（作用）請求項１の薄板の表面形状測定方
法では、薄板を同一平面内において回動しながら、第１
および第２の案内軸に沿って第１および第２の計測手段
を独立して移動し薄板の一面および他面までの距離を独
立して測定することにより、薄板の一面および他面の表
面形状が測定される。
法では、薄板を同一平面内において回動しながら、第１
および第２の案内軸に沿って第１および第２の計測手段
を独立して移動し薄板の一面および他面までの距離を独
立して測定することにより、薄板の一面および他面の表
面形状が測定される。
【００１７】請求項２の薄板の表面形状測定方法では、
薄板を同一平面内において移動しながら、第１および第
２の案内軸に沿って第１および第２の計測手段を独立し
て移動し薄板の一面および他面までの距離を独立して測
定することにより、薄板の一面および他面の表面形状が
測定される。請求項３の薄板の表面形状測定装置では、
支持手段により支持される薄板を同一平面内において回
動しながら、第１および第２の案内軸に沿って第１およ
び第２のスライダを独立して移動しながら、第１および
第２の計測手段により薄板の一面および他面までの距離
を独立して計測することすることにより、薄板の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
薄板を同一平面内において移動しながら、第１および第
２の案内軸に沿って第１および第２の計測手段を独立し
て移動し薄板の一面および他面までの距離を独立して測
定することにより、薄板の一面および他面の表面形状が
測定される。請求項３の薄板の表面形状測定装置では、
支持手段により支持される薄板を同一平面内において回
動しながら、第１および第２の案内軸に沿って第１およ
び第２のスライダを独立して移動しながら、第１および
第２の計測手段により薄板の一面および他面までの距離
を独立して計測することすることにより、薄板の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
【００１８】請求項４の薄板の表面形状測定装置では、
支持手段により支持される薄板を同一平面内において移
動しながら、第１および第２の案内軸に沿って第１およ
び第２のスライダを独立して移動しながら、第１および
第２の計測手段により薄板の一面および他面までの距離
を独立して計測することすることにより、薄板の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
支持手段により支持される薄板を同一平面内において移
動しながら、第１および第２の案内軸に沿って第１およ
び第２のスライダを独立して移動しながら、第１および
第２の計測手段により薄板の一面および他面までの距離
を独立して計測することすることにより、薄板の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
【００１９】請求項５の薄板の表面形状測定装置では、
位置合わせ手段を用いて、薄板を含む平面に垂直な同一
軸線上に、第１および第２の計測手段が位置される。請
求項６の薄板の厚み測定方法では、請求項１または請求
項２記載の薄板の表面形状測定方法により測定された薄
板の一面および他面の表面形状と、第１および第２の計
測手段の間隔とに基づいて薄板の各部の厚みが測定され
る。
位置合わせ手段を用いて、薄板を含む平面に垂直な同一
軸線上に、第１および第２の計測手段が位置される。請
求項６の薄板の厚み測定方法では、請求項１または請求
項２記載の薄板の表面形状測定方法により測定された薄
板の一面および他面の表面形状と、第１および第２の計
測手段の間隔とに基づいて薄板の各部の厚みが測定され
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。図１は、本発明の薄板の表面形
状測定装置の一実施形態を示している。図において、符
号１１は、上面を水平に配置される矩形状のベース部材
を示している。
用いて詳細に説明する。図１は、本発明の薄板の表面形
状測定装置の一実施形態を示している。図において、符
号１１は、上面を水平に配置される矩形状のベース部材
を示している。
【００２１】このベース部材１１は、グラナイトからな
る。また、ベース部材１１は、空気バネ１３を介して支
柱１５により支持されており、外乱振動の影響が抑制さ
れている。ベース部材１１の上面の上方には、シリコン
ウェーハからなる円形状の薄板１７が配置されている。
る。また、ベース部材１１は、空気バネ１３を介して支
柱１５により支持されており、外乱振動の影響が抑制さ
れている。ベース部材１１の上面の上方には、シリコン
ウェーハからなる円形状の薄板１７が配置されている。
【００２２】この薄板１７は、支持手段１９により、一
の垂直面内において回動自在に支持されている。支持手
段１９は、円環状の固定部材２１と回転部材２３とを有
している。固定部材２１には、図示しないブラシレスＤ
Ｃモータ用のコイルが内蔵され、回転部材２３には、ブ
ラシレスＤＣモータ用のマグネット２５が内蔵され、こ
れによりブラシレスＤＣモータが構成されている。
の垂直面内において回動自在に支持されている。支持手
段１９は、円環状の固定部材２１と回転部材２３とを有
している。固定部材２１には、図示しないブラシレスＤ
Ｃモータ用のコイルが内蔵され、回転部材２３には、ブ
ラシレスＤＣモータ用のマグネット２５が内蔵され、こ
れによりブラシレスＤＣモータが構成されている。
【００２３】回転部材２３の内側には、所定角度を置い
て薄板１７を支持する支持部材２７が複数配置されてい
る。薄板１７が含まれる垂直面の一側および他側には、
第１の案内軸２９および第２の案内軸３１が水平に配置
されている。第１の案内軸２９および第２の案内軸３１
は、垂直面に平行に、かつ相互に平行になるように配置
されている。
て薄板１７を支持する支持部材２７が複数配置されてい
る。薄板１７が含まれる垂直面の一側および他側には、
第１の案内軸２９および第２の案内軸３１が水平に配置
されている。第１の案内軸２９および第２の案内軸３１
は、垂直面に平行に、かつ相互に平行になるように配置
されている。
【００２４】また、第１の案内軸２９および第２の案内
軸３１は、ブラケット３３を介してベース部材１１の上
面に固定されている。第１の案内軸２９および第２の案
内軸３１は、後述するように非常に高い真直度を有して
いる。
軸３１は、ブラケット３３を介してベース部材１１の上
面に固定されている。第１の案内軸２９および第２の案
内軸３１は、後述するように非常に高い真直度を有して
いる。
【００２５】第１の案内軸２９には、第１の案内軸２９
に沿って移動する第１のスライダ３５が配置されてい
る。この第１のスライダ３５には、薄板１７の一面まで
の距離を測定する第１の計測手段３７が配置されてい
る。また、第２の案内軸３１には、第２の案内軸３１に
沿って移動する第２のスライダ３９が配置されている。
に沿って移動する第１のスライダ３５が配置されてい
る。この第１のスライダ３５には、薄板１７の一面まで
の距離を測定する第１の計測手段３７が配置されてい
る。また、第２の案内軸３１には、第２の案内軸３１に
沿って移動する第２のスライダ３９が配置されている。
【００２６】この第２のスライダ３９には、薄板１７の
他面までの距離を測定する第２の計測手段４１が配置さ
れている。この実施形態では、第１の計測手段３７およ
び第２の計測手段４１には、非接触レーザ変位計が使用
される。また、第１のスライダ３５および第２のスライ
ダ３９には、後述するようにリニアモータを内蔵したエ
アスライドが使用されている。
他面までの距離を測定する第２の計測手段４１が配置さ
れている。この実施形態では、第１の計測手段３７およ
び第２の計測手段４１には、非接触レーザ変位計が使用
される。また、第１のスライダ３５および第２のスライ
ダ３９には、後述するようにリニアモータを内蔵したエ
アスライドが使用されている。
【００２７】なお、この実施形態では、第１の案内軸２
９と第２の案内軸３１，第１のスライダ３５と第２のス
ライダ３９，第１の計測手段３７と第２の計測手段４１
には、それぞれ同一の部品が使用されている。この実施
形態では、薄板１７の径方向の両側には、薄板１７を上
下方向に移動する垂直移動手段４３が配置されている。
９と第２の案内軸３１，第１のスライダ３５と第２のス
ライダ３９，第１の計測手段３７と第２の計測手段４１
には、それぞれ同一の部品が使用されている。この実施
形態では、薄板１７の径方向の両側には、薄板１７を上
下方向に移動する垂直移動手段４３が配置されている。
【００２８】この垂直移動手段４３は、ベース部材１１
の上面に垂直に固定される第３の案内軸４５を有してい
る。第３の案内軸４５には、第３のスライダ４７が移動
自在に配置され、この第３のスライダ４７に、薄板１７
を支持する支持手段１９の固定部材２１が連結されてい
る。
の上面に垂直に固定される第３の案内軸４５を有してい
る。第３の案内軸４５には、第３のスライダ４７が移動
自在に配置され、この第３のスライダ４７に、薄板１７
を支持する支持手段１９の固定部材２１が連結されてい
る。
【００２９】第３のスライダ４７には、ブラケット４７
ａが形成され、このブラケット４７ａが、ボール螺子４
９に螺合されている。ボール螺子４９は、ベース部材１
１の上面に対して垂直に配置されており、ベース部材１
１の上面に固定されるモータ５１により回転駆動され
る。なお、この実施形態では、第３の案内軸４５および
ボール螺子４９の上端が補強部材５３により支持されて
いる。
ａが形成され、このブラケット４７ａが、ボール螺子４
９に螺合されている。ボール螺子４９は、ベース部材１
１の上面に対して垂直に配置されており、ベース部材１
１の上面に固定されるモータ５１により回転駆動され
る。なお、この実施形態では、第３の案内軸４５および
ボール螺子４９の上端が補強部材５３により支持されて
いる。
【００３０】また、この実施形態では、第１の計測手段
３７と第２の計測手段４１とを、薄板１７が含まれる垂
直面に垂直な同一軸線上に位置させるための位置合わせ
手段であるブロック部材５５が配置されている。このブ
ロック部材５５は、回転部材２３の内周に固定されてい
る。図２は、上述した第１の案内軸２９および第２の案
内軸３１の詳細を示している。
３７と第２の計測手段４１とを、薄板１７が含まれる垂
直面に垂直な同一軸線上に位置させるための位置合わせ
手段であるブロック部材５５が配置されている。このブ
ロック部材５５は、回転部材２３の内周に固定されてい
る。図２は、上述した第１の案内軸２９および第２の案
内軸３１の詳細を示している。
【００３１】この案内軸２９，３１では、ガイド軸５７
の静圧空気軸受としての機能に不要な側面中央部の窪み
部５９にそれぞれリニアモータ用コイル６１とリニアス
ケール６３が収容されている。そして、窪み部５９と対
向するスライダ３５，３９側の凹部６５と凹部６７にそ
れぞれリニアモータ用マグネット６９とスケール読取用
センサ７１を収容し、１本のガイド軸５７上に駆動系と
静圧空気軸受とを一体化して構成されている。
の静圧空気軸受としての機能に不要な側面中央部の窪み
部５９にそれぞれリニアモータ用コイル６１とリニアス
ケール６３が収容されている。そして、窪み部５９と対
向するスライダ３５，３９側の凹部６５と凹部６７にそ
れぞれリニアモータ用マグネット６９とスケール読取用
センサ７１を収容し、１本のガイド軸５７上に駆動系と
静圧空気軸受とを一体化して構成されている。
【００３２】なお、この案内軸２９，３１は、例えば、
特開平５−１４１４２６号公報に開示されている。図３
は、上述した第１の案内軸２９および第２の案内軸３１
の真直度測定結果を示している。この測定は、真直度λ
／１０のストレートマスタを測定することにより行わ
れ、０．１０μｍ，０．１３μｍの真直精度を確認する
ことができた。
特開平５−１４１４２６号公報に開示されている。図３
は、上述した第１の案内軸２９および第２の案内軸３１
の真直度測定結果を示している。この測定は、真直度λ
／１０のストレートマスタを測定することにより行わ
れ、０．１０μｍ，０．１３μｍの真直精度を確認する
ことができた。
【００３３】また、同様の測定を１０回繰り返して行
い、その真直度のバラツキ（標準偏差）がそれぞれ、
０．０３μｍ以下になることが確認された。従って、後
述するパーソナルコンピュータに、第１の案内軸２９お
よび第２の案内軸３１の真直度の補正データを持たせる
ことにより、０．２μｍの測定精度を達成することが可
能になる。
い、その真直度のバラツキ（標準偏差）がそれぞれ、
０．０３μｍ以下になることが確認された。従って、後
述するパーソナルコンピュータに、第１の案内軸２９お
よび第２の案内軸３１の真直度の補正データを持たせる
ことにより、０．２μｍの測定精度を達成することが可
能になる。
【００３４】以上のように構成された薄板の表面形状測
定装置では、薄板１７の表面形状の測定が以下述べるよ
うにして行われる。先ず、図４に示すように、第１の計
測手段３７の基準点Ｐ１と第２の計測手段４１の基準点
Ｐ２との間隔Ｌが、例えば、二点鎖線で示すブロックゲ
ージ７３を用いて正確に測定される。
定装置では、薄板１７の表面形状の測定が以下述べるよ
うにして行われる。先ず、図４に示すように、第１の計
測手段３７の基準点Ｐ１と第２の計測手段４１の基準点
Ｐ２との間隔Ｌが、例えば、二点鎖線で示すブロックゲ
ージ７３を用いて正確に測定される。
【００３５】次に、位置合わせ手段であるブロック部材
５５を用いて、薄板１７を含む垂直面に垂直な同一軸線
上に、第１の計測手段３７および第２の計測手段４１が
位置される。そして、この位置が、第１の計測手段３７
および第２の計測手段４１の測定原点位置とされる。
５５を用いて、薄板１７を含む垂直面に垂直な同一軸線
上に、第１の計測手段３７および第２の計測手段４１が
位置される。そして、この位置が、第１の計測手段３７
および第２の計測手段４１の測定原点位置とされる。
【００３６】なお、この実施形態では、図５に示すよう
に、ブロック部材５５には、水平方向基準面５５ａと垂
直方向基準面５５ｂとが直角に高い精度で形成されてい
る。次に、支持手段１９の支持部材２７により支持され
るシリコンウェーハからなる薄板１７を垂直面内におい
て回動しながら、第１の案内軸２９および第２の案内軸
３１に沿って、第１のスライダ３５および第２のスライ
ダ３９を独立して移動しながら、第１の計測手段３７お
よび第２の計測手段４１により、薄板１７の一面および
他面までの距離が独立して計測され、薄板１７の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
に、ブロック部材５５には、水平方向基準面５５ａと垂
直方向基準面５５ｂとが直角に高い精度で形成されてい
る。次に、支持手段１９の支持部材２７により支持され
るシリコンウェーハからなる薄板１７を垂直面内におい
て回動しながら、第１の案内軸２９および第２の案内軸
３１に沿って、第１のスライダ３５および第２のスライ
ダ３９を独立して移動しながら、第１の計測手段３７お
よび第２の計測手段４１により、薄板１７の一面および
他面までの距離が独立して計測され、薄板１７の一面お
よび他面の表面形状が測定される。
【００３７】そして、必要に応じて、支持手段１９によ
り支持される薄板１７が、垂直移動手段４３のモータ５
１を駆動することにより、垂直面内において上下方向に
移動され、薄板１７の一面および他面の表面形状が測定
される。
り支持される薄板１７が、垂直移動手段４３のモータ５
１を駆動することにより、垂直面内において上下方向に
移動され、薄板１７の一面および他面の表面形状が測定
される。
【００３８】図６ないし図８は、このようにして測定さ
れた、薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形
状を示している。図６の例では、（ａ）に示すように、
シリコンウェーハからなる薄板１７の他面１７ｂ側に、
数ｍｍから数十ｍｍの長さの局所的な凹部１７ｃが存在
している。そして、第１の計測手段３７により、第１の
計測手段３７の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１７ａま
での距離が、第１のスライダ３５を第１の案内軸２９に
沿って移動することにより連続的に測定され、（ｂ）に
示すように、薄板１７の一面１７ａ側の形状が測定され
る。
れた、薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形
状を示している。図６の例では、（ａ）に示すように、
シリコンウェーハからなる薄板１７の他面１７ｂ側に、
数ｍｍから数十ｍｍの長さの局所的な凹部１７ｃが存在
している。そして、第１の計測手段３７により、第１の
計測手段３７の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１７ａま
での距離が、第１のスライダ３５を第１の案内軸２９に
沿って移動することにより連続的に測定され、（ｂ）に
示すように、薄板１７の一面１７ａ側の形状が測定され
る。
【００３９】また、第２の計測手段４１により、第２の
計測手段４１の基準点Ｐ２から薄板１７の他面１７ｂま
での距離が、第２のスライダ３９を第２の案内軸３１に
沿って移動することにより連続的に測定され、（ｃ）に
示すように、薄板１７の他面１７ｂ側の形状が測定され
る。そして、この例では、さらに、（ｂ）および（ｃ）
に示した測定データを基にして、（ｄ）に示すように薄
板１７の厚みが求められる。
計測手段４１の基準点Ｐ２から薄板１７の他面１７ｂま
での距離が、第２のスライダ３９を第２の案内軸３１に
沿って移動することにより連続的に測定され、（ｃ）に
示すように、薄板１７の他面１７ｂ側の形状が測定され
る。そして、この例では、さらに、（ｂ）および（ｃ）
に示した測定データを基にして、（ｄ）に示すように薄
板１７の厚みが求められる。
【００４０】すなわち、上述したように、第１の計測手
段３７の基準点Ｐ１と第２の計測手段４１の基準点Ｐ２
との間隔Ｌは、予め、例えば、ブロックゲージ７３を用
いて正確に測定されており、従って、この間隔Ｌから、
第１の計測手段３７の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１
７ａまでの距離および第２の計測手段４１の基準点Ｐ２
から薄板１７の他面１７ｂまでの距離を減算することに
より薄板１７の厚みが容易に求められる。
段３７の基準点Ｐ１と第２の計測手段４１の基準点Ｐ２
との間隔Ｌは、予め、例えば、ブロックゲージ７３を用
いて正確に測定されており、従って、この間隔Ｌから、
第１の計測手段３７の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１
７ａまでの距離および第２の計測手段４１の基準点Ｐ２
から薄板１７の他面１７ｂまでの距離を減算することに
より薄板１７の厚みが容易に求められる。
【００４１】図７の例では、（ａ）に示すように、シリ
コンウェーハからなる薄板１７の他面１７ｂ側に、数ｍ
ｍから数十ｍｍの長さの局所的な凸部１７ｄが存在して
いる。そして、図６と同様にして、薄板１７の一面１７
ａ側の形状が、（ｂ）に示すように、測定され、薄板１
７の他面１７ｂ側の形状が、（ｃ）に示すように測定さ
れる。
コンウェーハからなる薄板１７の他面１７ｂ側に、数ｍ
ｍから数十ｍｍの長さの局所的な凸部１７ｄが存在して
いる。そして、図６と同様にして、薄板１７の一面１７
ａ側の形状が、（ｂ）に示すように、測定され、薄板１
７の他面１７ｂ側の形状が、（ｃ）に示すように測定さ
れる。
【００４２】また、（ｂ）および（ｃ）に示した測定デ
ータを基にして、（ｄ）に示すように薄板１７の厚みが
求められる。図８の例では、（ａ）に示すように、シリ
コンウェーハからなる薄板１７の厚さが均一で短い周期
のうねりが存在している。そして、図６と同様にして、
薄板１７の一面１７ａ側の形状が、（ｂ）に示すよう
に、測定され、薄板１７の他面１７ｂ側の形状が、
（ｃ）に示すように測定される。
ータを基にして、（ｄ）に示すように薄板１７の厚みが
求められる。図８の例では、（ａ）に示すように、シリ
コンウェーハからなる薄板１７の厚さが均一で短い周期
のうねりが存在している。そして、図６と同様にして、
薄板１７の一面１７ａ側の形状が、（ｂ）に示すよう
に、測定され、薄板１７の他面１７ｂ側の形状が、
（ｃ）に示すように測定される。
【００４３】また、（ｂ）および（ｃ）に示した測定デ
ータを基にして、（ｄ）に示すように薄板１７の厚みが
求められる。図９は、上述した薄板の表面形状測定装置
のブロック図を示している。第１の計測手段３７および
第２の計測手段４１で測定された、第１の計測手段３７
の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１７ａまでの距離、お
よび、第２の計測手段４１の基準点Ｐ２から薄板１７の
一面１７ａまでの距離が、ドライバ７５およびコントロ
ーラ７７を介してパーソナルコンピュータ７９に入力さ
れる。
ータを基にして、（ｄ）に示すように薄板１７の厚みが
求められる。図９は、上述した薄板の表面形状測定装置
のブロック図を示している。第１の計測手段３７および
第２の計測手段４１で測定された、第１の計測手段３７
の基準点Ｐ１から薄板１７の一面１７ａまでの距離、お
よび、第２の計測手段４１の基準点Ｐ２から薄板１７の
一面１７ａまでの距離が、ドライバ７５およびコントロ
ーラ７７を介してパーソナルコンピュータ７９に入力さ
れる。
【００４４】また、同時に、第１の計測手段３７および
第２の計測手段４１の位置、すなわち、測定原点を中心
にした水平方向の位置がパーソナルコンピュータ７９に
入力される。そして、パーソナルコンピュータ７９は、
入力されたデータに基づいて、薄板１７の表面形状およ
び厚さのデータを画面に表示する。
第２の計測手段４１の位置、すなわち、測定原点を中心
にした水平方向の位置がパーソナルコンピュータ７９に
入力される。そして、パーソナルコンピュータ７９は、
入力されたデータに基づいて、薄板１７の表面形状およ
び厚さのデータを画面に表示する。
【００４５】図１０は、３００ｍｍの直径を有するシリ
コンウェーハをスライス後に測定し、パーソナルコンピ
ュータ７９の画面に表示した例を示している。表面およ
び裏面のそれぞれの形状には、段差が見えるが、厚み偏
差には、この段差が顕著に見られないことがわかる。こ
れにより、本発明を、例えば、シリコンウェーハのスラ
イス工程の機械の状態の推定に使用することができる。
コンウェーハをスライス後に測定し、パーソナルコンピ
ュータ７９の画面に表示した例を示している。表面およ
び裏面のそれぞれの形状には、段差が見えるが、厚み偏
差には、この段差が顕著に見られないことがわかる。こ
れにより、本発明を、例えば、シリコンウェーハのスラ
イス工程の機械の状態の推定に使用することができる。
【００４６】図１１は、図１０のシリコンウェーハをポ
リシュした後に測定し、パーソナルコンピュータ７９の
画面に表示した例を示している。断面形状は、大きくう
ねっているが、厚み偏差は、約７μｍ程度であることが
わかる。しかして、上述した薄板の表面形状測定方法で
は、薄板１７を同一垂直面内において回動および移動自
在に支持するとともに、垂直面の両側に第１および第２
の案内軸２９，３１を、第１および第２の案内軸２９，
３１が平行になるように水平に配置し、第１および第２
の案内軸２９，３１に沿って独立に移動する第１および
第２の計測手段３７，４１により薄板１７の一面１７ａ
および他面１７ｂまでの距離を独立して測定し、薄板１
７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形状を測定する
ようにしたので、薄板１７の表面形状を高い精度で測定
することができる。
リシュした後に測定し、パーソナルコンピュータ７９の
画面に表示した例を示している。断面形状は、大きくう
ねっているが、厚み偏差は、約７μｍ程度であることが
わかる。しかして、上述した薄板の表面形状測定方法で
は、薄板１７を同一垂直面内において回動および移動自
在に支持するとともに、垂直面の両側に第１および第２
の案内軸２９，３１を、第１および第２の案内軸２９，
３１が平行になるように水平に配置し、第１および第２
の案内軸２９，３１に沿って独立に移動する第１および
第２の計測手段３７，４１により薄板１７の一面１７ａ
および他面１７ｂまでの距離を独立して測定し、薄板１
７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形状を測定する
ようにしたので、薄板１７の表面形状を高い精度で測定
することができる。
【００４７】そして、薄板１７の一面１７ａおよび他面
１７ｂの表面形状がそれぞれ独立して測定されるため、
シリコンウェーハ等の形状評価において過大もしくは過
小評価が生じるおそれをなくすことができる。また、上
述した薄板の表面形状測定装置では、薄板１７を同一垂
直面内において回動および移動自在に支持する支持手段
１９と、垂直面の一側および他側に垂直面に平行に、か
つ相互に平行になるように水平に配置される第１および
第２の案内軸２９，３１と、第１および第２の案内軸２
９，３１に沿って独立に移動する第１および第２のスラ
イダ３５，３９と、第１および第２のスライダ３５，３
９に固定され薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
３７，４１とにより装置を構成したので、簡易な構成に
より、薄板１７の表面形状を高い精度で測定することが
できる。
１７ｂの表面形状がそれぞれ独立して測定されるため、
シリコンウェーハ等の形状評価において過大もしくは過
小評価が生じるおそれをなくすことができる。また、上
述した薄板の表面形状測定装置では、薄板１７を同一垂
直面内において回動および移動自在に支持する支持手段
１９と、垂直面の一側および他側に垂直面に平行に、か
つ相互に平行になるように水平に配置される第１および
第２の案内軸２９，３１と、第１および第２の案内軸２
９，３１に沿って独立に移動する第１および第２のスラ
イダ３５，３９と、第１および第２のスライダ３５，３
９に固定され薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂま
での距離を独立して測定する第１および第２の計測手段
３７，４１とにより装置を構成したので、簡易な構成に
より、薄板１７の表面形状を高い精度で測定することが
できる。
【００４８】そして、第１の計測手段３７と第２の計測
手段４１とが独立に構成されているため、従来のよう
に、第１の計測手段３７と第２の計測手段４１とを二股
状の保持部に配置する必要がなくなり、保持部を二股状
にすることに起因する移動精度の拡大、アッベ誤差の発
生等の問題を解消することができる。
手段４１とが独立に構成されているため、従来のよう
に、第１の計測手段３７と第２の計測手段４１とを二股
状の保持部に配置する必要がなくなり、保持部を二股状
にすることに起因する移動精度の拡大、アッベ誤差の発
生等の問題を解消することができる。
【００４９】すなわち、上述した装置では、第１の計測
手段３７および第２の計測手段４１が、第１の案内軸２
９および第２の案内軸３１を移動する第１のスライダ３
５および第２のスライダ３９に固定されているため、運
動精度に起因する誤差の拡大はなく、第１の案内軸２９
および第２の案内軸３１に対してデータを取り込む座標
を管理することでアッベ誤差を排除することができる。
手段３７および第２の計測手段４１が、第１の案内軸２
９および第２の案内軸３１を移動する第１のスライダ３
５および第２のスライダ３９に固定されているため、運
動精度に起因する誤差の拡大はなく、第１の案内軸２９
および第２の案内軸３１に対してデータを取り込む座標
を管理することでアッベ誤差を排除することができる。
【００５０】さらに、上述した薄板の表面形状測定装置
では、薄板１７を含む垂直面に垂直な同一軸線上に、第
１および第２の計測手段４１を位置させるための位置合
わせ手段であるブロック部材５５を配置したので、第１
および第２の計測手段３７，４１の測定原点を容易，確
実に設定することができる。また、上述した薄板の厚み
測定方法では、薄板の表面形状測定方法により測定され
た薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形状
と、第１および第２の計測手段３７，４１の間隔とに基
づいて薄板１７の各部の厚みを測定するようにしたの
で、必要により薄板１７の厚みを高い精度で測定するこ
とができる。
では、薄板１７を含む垂直面に垂直な同一軸線上に、第
１および第２の計測手段４１を位置させるための位置合
わせ手段であるブロック部材５５を配置したので、第１
および第２の計測手段３７，４１の測定原点を容易，確
実に設定することができる。また、上述した薄板の厚み
測定方法では、薄板の表面形状測定方法により測定され
た薄板１７の一面１７ａおよび他面１７ｂの表面形状
と、第１および第２の計測手段３７，４１の間隔とに基
づいて薄板１７の各部の厚みを測定するようにしたの
で、必要により薄板１７の厚みを高い精度で測定するこ
とができる。
【００５１】そして、上述した薄板の表面形状測定装置
では、薄板１７を同一垂直面内において回動および移動
自在に支持するようにしたので、薄板１７の自重による
撓みを含む変形を排除することができる。図１２は、位
置合わせ手段に使用される位置合わせ部材の他の例を示
すもので、この位置合わせ部材８１は、透明ガラス８３
の一面に反射膜８３ａを形成し、この反射膜８３ａに、
例えば、右向きに４５度の傾きで、平行に２本のスリッ
トＳ１，Ｓ２を形成し、さらに、これ等のスリットＳ
１，Ｓ２と傾きを逆にして、平行に２本のスリットＳ
３，Ｓ４を形成して構成されている。
では、薄板１７を同一垂直面内において回動および移動
自在に支持するようにしたので、薄板１７の自重による
撓みを含む変形を排除することができる。図１２は、位
置合わせ手段に使用される位置合わせ部材の他の例を示
すもので、この位置合わせ部材８１は、透明ガラス８３
の一面に反射膜８３ａを形成し、この反射膜８３ａに、
例えば、右向きに４５度の傾きで、平行に２本のスリッ
トＳ１，Ｓ２を形成し、さらに、これ等のスリットＳ
１，Ｓ２と傾きを逆にして、平行に２本のスリットＳ
３，Ｓ４を形成して構成されている。
【００５２】なお、反射膜８３ａの形成は、例えば、ア
ルミニウムの蒸着により行われる。この位置合わせ部材
８１では、図１３に示すように、第１の計測手段３７お
よび第２の計測手段４１を、位置合わせ部材８１の両側
から同一方向に移動すると、例えば、図１４に示すよう
に、パーソナルコンピュータ７９の画面に各スリットＳ
１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４に対する検出信号が入力される。
ルミニウムの蒸着により行われる。この位置合わせ部材
８１では、図１３に示すように、第１の計測手段３７お
よび第２の計測手段４１を、位置合わせ部材８１の両側
から同一方向に移動すると、例えば、図１４に示すよう
に、パーソナルコンピュータ７９の画面に各スリットＳ
１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４に対する検出信号が入力される。
【００５３】そして、第１の計測手段３７および第２の
計測手段４１からの検出信号の相対的なズレにより、左
右方向および上下方向の位置ずれを同時に測定すること
ができる。なお、図１４の状態では、図１２に示すよう
に、第２の計測手段４１は、第１の計測手段３７に対し
て上方にずれていることがわかる。
計測手段４１からの検出信号の相対的なズレにより、左
右方向および上下方向の位置ずれを同時に測定すること
ができる。なお、図１４の状態では、図１２に示すよう
に、第２の計測手段４１は、第１の計測手段３７に対し
て上方にずれていることがわかる。
【００５４】なお、上述した実施形態では、本発明をシ
リコンウェーハからなる薄板１７の測定に適用した例に
ついて説明したが、本発明はかかる実施形態に限定され
るものではなく、例えば、液晶用ガラス，マスク部材等
の表面形状の測定に広く用いることができる。また、上
述した実施形態では、薄板１７を垂直面内に支持した例
について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、薄板１７を水平面内に支持
し、この上側および下側に第１の計測手段３７および第
２の計測手段４１を配置するようにしても良い。
リコンウェーハからなる薄板１７の測定に適用した例に
ついて説明したが、本発明はかかる実施形態に限定され
るものではなく、例えば、液晶用ガラス，マスク部材等
の表面形状の測定に広く用いることができる。また、上
述した実施形態では、薄板１７を垂直面内に支持した例
について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、薄板１７を水平面内に支持
し、この上側および下側に第１の計測手段３７および第
２の計測手段４１を配置するようにしても良い。
【００５５】なお、この場合には、薄板１７の自重によ
る撓みを予め求めて補正を行う必要があるが、薄板１７
を水平面内に配置することにより、薄板１７の自重によ
り薄板１７を確実に支持することが可能になる。さら
に、上述した実施形態では、第１の計測手段３７および
第２の計測手段４１に非接触レーザ変位計を使用した例
について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、静電容量型変位計等の変位
計を使用することができる。
る撓みを予め求めて補正を行う必要があるが、薄板１７
を水平面内に配置することにより、薄板１７の自重によ
り薄板１７を確実に支持することが可能になる。さら
に、上述した実施形態では、第１の計測手段３７および
第２の計測手段４１に非接触レーザ変位計を使用した例
について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、静電容量型変位計等の変位
計を使用することができる。
【００５６】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１の薄板の表
面形状測定方法では、薄板を同一平面内において回動自
在に支持するとともに、平面の一側および他側に平面に
平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の案
内軸が平行になるように配置し、第１および第２の案内
軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測手段に
より薄板の一面および他面までの距離を独立して測定
し、薄板の一面および他面の表面形状を測定するように
したので、薄板の表面形状を高い精度で測定することが
できる。
面形状測定方法では、薄板を同一平面内において回動自
在に支持するとともに、平面の一側および他側に平面に
平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の案
内軸が平行になるように配置し、第１および第２の案内
軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測手段に
より薄板の一面および他面までの距離を独立して測定
し、薄板の一面および他面の表面形状を測定するように
したので、薄板の表面形状を高い精度で測定することが
できる。
【００５７】請求項２の薄板の表面形状測定方法では、
薄板を同一平面内において移動自在に支持するととも
に、平面の一側および他側に平面に平行に第１および第
２の案内軸を、第１および第２の案内軸が平行になるよ
うに配置し、第１および第２の案内軸に沿って独立に移
動する第１および第２の計測手段により薄板の一面およ
び他面までの距離を独立して測定し、薄板の一面および
他面の表面形状を測定するようにしたので、薄板の表面
形状を高い精度で測定することができる。
薄板を同一平面内において移動自在に支持するととも
に、平面の一側および他側に平面に平行に第１および第
２の案内軸を、第１および第２の案内軸が平行になるよ
うに配置し、第１および第２の案内軸に沿って独立に移
動する第１および第２の計測手段により薄板の一面およ
び他面までの距離を独立して測定し、薄板の一面および
他面の表面形状を測定するようにしたので、薄板の表面
形状を高い精度で測定することができる。
【００５８】請求項３の薄板の表面形状測定装置では、
薄板を同一平面内において回動自在に支持する支持手段
と、平面の一側および他側に平面に平行に、かつ相互に
平行になるように配置される第１および第２の案内軸
と、第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、第１および第２のスライダ
に固定され薄板の一面および他面までの距離を独立して
測定する第１および第２の計測手段とにより装置を構成
したので、簡易な構成により、薄板の表面形状を高い精
度で測定することができる。
薄板を同一平面内において回動自在に支持する支持手段
と、平面の一側および他側に平面に平行に、かつ相互に
平行になるように配置される第１および第２の案内軸
と、第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、第１および第２のスライダ
に固定され薄板の一面および他面までの距離を独立して
測定する第１および第２の計測手段とにより装置を構成
したので、簡易な構成により、薄板の表面形状を高い精
度で測定することができる。
【００５９】請求項４の薄板の表面形状測定装置では、
薄板を同一平面内において移動自在に支持する支持手段
と、平面の一側および他側に平面に平行に、かつ相互に
平行になるように配置される第１および第２の案内軸
と、第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、第１および第２のスライダ
に固定され薄板の一面および他面までの距離を独立して
測定する第１および第２の計測手段とにより装置を構成
したので、簡易な構成により、薄板の表面形状を高い精
度で測定することができる。
薄板を同一平面内において移動自在に支持する支持手段
と、平面の一側および他側に平面に平行に、かつ相互に
平行になるように配置される第１および第２の案内軸
と、第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、第１および第２のスライダ
に固定され薄板の一面および他面までの距離を独立して
測定する第１および第２の計測手段とにより装置を構成
したので、簡易な構成により、薄板の表面形状を高い精
度で測定することができる。
【００６０】請求項５の薄板の表面形状測定装置では、
薄板を含む平面に垂直な同一軸線上に、第１および第２
の計測手段を位置させるための位置合わせ手段を配置し
たので、第１および第２の計測手段の測定原点を容易，
確実に設定することができる。請求項６の薄板の厚み測
定方法では、請求項１または請求項２記載の薄板の表面
形状測定方法により測定された薄板の一面および他面の
表面形状と、第１および第２の計測手段の間隔とに基づ
いて薄板の各部の厚みを測定するようにしたので、必要
により薄板の厚みを高い精度で測定することができる。
薄板を含む平面に垂直な同一軸線上に、第１および第２
の計測手段を位置させるための位置合わせ手段を配置し
たので、第１および第２の計測手段の測定原点を容易，
確実に設定することができる。請求項６の薄板の厚み測
定方法では、請求項１または請求項２記載の薄板の表面
形状測定方法により測定された薄板の一面および他面の
表面形状と、第１および第２の計測手段の間隔とに基づ
いて薄板の各部の厚みを測定するようにしたので、必要
により薄板の厚みを高い精度で測定することができる。
【図１】本発明の薄板の表面形状測定装置の一実施形態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】図１の案内軸の詳細を示す断面図である。
【図３】図１の第１の案内軸および第２の案内軸の真直
度を示す説明図である。
度を示す説明図である。
【図４】図１のブロック部材の使用方法を示す説明図で
ある。
ある。
【図５】図４のブロック部材を示す斜視図である。
【図６】図１の薄板の表面形状測定装置による薄板の測
定例を示す説明図である。
定例を示す説明図である。
【図７】図１の薄板の表面形状測定装置による薄板の測
定例を示す説明図である。
定例を示す説明図である。
【図８】図１の薄板の表面形状測定装置による薄板の測
定例を示す説明図である。
定例を示す説明図である。
【図９】図１の薄板の表面形状測定装置のブロック図で
ある。
ある。
【図１０】図１の薄板の表面形状測定装置による薄板の
測定例を示す説明図である。
測定例を示す説明図である。
【図１１】図１の薄板の表面形状測定装置による薄板の
測定例を示す説明図である。
測定例を示す説明図である。
【図１２】位置合わせ部材の他の例を示す説明図であ
る。
る。
【図１３】図１０の位置合わせ部材の使用方法を示す説
明図である。
明図である。
【図１４】図１０の位置合わせ部材を用いた時の出力信
号を示す説明図である。
号を示す説明図である。
【図１５】従来の薄板の表面形状測定装置を示す説明図
である。
である。
【図１６】従来の薄板の表面形状測定装置による測定例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１７】従来の薄板の表面形状測定装置の二股状の保
持部材を示す説明図である。
持部材を示す説明図である。
１７ 薄板 １７ａ 一面 １７ｂ 他面 １９ 支持手段 ２９ 第１の案内軸 ３１ 第２の案内軸 ３５ 第１のスライダ ３７ 第１の計測手段 ３９ 第２のスライダ ４１ 第２の計測手段 ４３ 垂直移動手段 ５５ ブロック部材
Claims (6)
- 【請求項１】 薄板を同一平面内において回動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする薄板の表面形状測定方法。 - 【請求項２】 薄板を同一平面内において移動自在に支
持するとともに、前記平面の一側および他側に前記平面
に平行に第１および第２の案内軸を、第１および第２の
案内軸が平行になるように配置し、前記第１および第２
の案内軸に沿って独立に移動する第１および第２の計測
手段により前記薄板の一面および他面までの距離を独立
して測定し、前記薄板の一面および他面の表面形状を測
定することを特徴とする薄板の表面形状測定方法。 - 【請求項３】 薄板を同一平面内において回動自在に支
持する支持手段と、 前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、かつ相
互に平行になるように配置される第１および第２の案内
軸と、 前記第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、 前記第１および第２のスライダに固定され前記薄板の一
面および他面までの距離を独立して測定する第１および
第２の計測手段と、 を有することを特徴とする薄板の表面形状測定装置。 - 【請求項４】 薄板を同一平面内において移動自在に支
持する支持手段と、 前記平面の一側および他側に前記平面に平行に、かつ相
互に平行になるように配置される第１および第２の案内
軸と、 前記第１および第２の案内軸に沿って独立に移動する第
１および第２のスライダと、 前記第１および第２のスライダに固定され前記薄板の一
面および他面までの距離を独立して測定する第１および
第２の計測手段と、 を有することを特徴とする薄板の表面形状測定装置。 - 【請求項５】 請求項３または請求項４記載の薄板の表
面形状測定装置において、 前記第１および第２の計測手段を、前記平面に垂直な同
一軸線上に位置させるための位置合わせ手段を有するこ
とを特徴とする薄板の表面形状測定装置。 - 【請求項６】 請求項１または請求項２記載の薄板の表
面形状測定方法により測定された前記薄板の一面および
他面の表面形状と、前記第１および第２の計測手段の間
隔とに基づいて前記薄板の各部の厚みを測定することを
特徴とする薄板の厚み測定方法。
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|---|---|---|---|
| JP10158892A JPH11351857A (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
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|---|---|---|---|
| JP10158892A JPH11351857A (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
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|---|---|
| JPH11351857A true JPH11351857A (ja) | 1999-12-24 |
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|---|---|---|---|
| JP10158892A Pending JPH11351857A (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
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