JP2006170834A - 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一対の反射型センサ75及び76を備えて一対の反射型センサの間に配置された薄板Wの表面形状を測定する際、一対の反射型センサを所定の間隔をおいて配置するとともに、所定の間隔方向と直交する面において一対の反射型センサを互いに所定のずれ量だけずらして配置して、薄板及び一対の反射型センサを直交する面に沿って相対的に移動させて薄板表面を走査して薄板の表面形状を得る。
【選択図】 図6
Description
10a 基板垂直保持機構
10b 測定機構
21 下部保持部
22 上部保持部
21a,21b 保持部材
22a 柱部
22b 上下ねじ送り機構
22c,32,42 取付部材
30,40 上下スライド装置
50,60 ねじ送り機構
31,41 スライド部材
70 測定部移動機構
80 駆動部
51,61 ナット部
71,72 スライドレール部
73,74 スライド部材
75,76 測定部(変位センサ(反射型センサ))
Claims (4)
- 一対の反射型センサを備え該一対の反射型センサの間に配置された薄板の表面形状を測定するための測定方法であって、
前記一対の反射型センサを所定の間隔をおいて配置する第1のステップと、
該所定の間隔方向と直交する面において前記一対の反射型センサを互いに所定のずれ量だけずらして配置する第2のステップと、
前記薄板及び前記一対の反射型センサを前記直交する面に沿って相対的に移動させて前記薄板表面を走査して前記薄板の表面形状を得る第3のステップとを有することを特徴とする表面形状測定方法。 - 一対の反射型センサを備え該一対の反射型センサの間に配置された薄板の表面形状を測定するための測定装置であって、
前記反射型センサは所定の間隔をおいて配置されるとともに該所定の間隔方向と直交する面において互いに所定のずれ量だけずらされて配置されており、
前記薄板及び前記一対の反射型センサを前記直交する面に沿って相対的に移動させて前記薄板表面を走査して前記薄板の表面形状を得る走査手段を有することを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記走査手段は前記一対の反射型センサを前記薄板表面に沿って同時に走査するようにしたことを特徴とする請求項2記載の表面形状測定装置。
- 前記薄板はガラス基板であることを特徴とする請求項2又は3記載の表面形状測定装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03197001A (ja) * | 1989-09-27 | 1991-08-28 | Desowag Materialschutz Gmbh | 木材防腐剤 |
JPH0649958U (ja) * | 1992-10-01 | 1994-07-08 | 京セラ株式会社 | 半導体ウェハ厚さ測定機 |
JPH09273912A (ja) * | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 厚み計測装置 |
JPH11351857A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03197001A (ja) * | 1989-09-27 | 1991-08-28 | Desowag Materialschutz Gmbh | 木材防腐剤 |
JPH0649958U (ja) * | 1992-10-01 | 1994-07-08 | 京セラ株式会社 | 半導体ウェハ厚さ測定機 |
JPH09273912A (ja) * | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 厚み計測装置 |
JPH11351857A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021144004A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | トヨタ車体株式会社 | ワーク計測用治具及び当該治具を用いたワーク板厚計測方法 |
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