JPH11347772A

JPH11347772A - レーザ加工機用レーザビームトリミング装置及びレーザビームトリミング方法

Info

Publication number: JPH11347772A
Application number: JP10160642A
Authority: JP
Inventors: Masabumi Matsushita; 正文松下; Toshiharu Fujiwara; 敏治藤原; Takashi Kawade; 高司川出; Nobuaki Tanaka; 伸明田中
Original assignee: Shin Nippon Koki KK
Current assignee: Shin Nippon Koki KK
Priority date: 1998-06-09
Filing date: 1998-06-09
Publication date: 1999-12-21

Abstract

(57)【要約】【課題】レーザ加工機用レーザビームトリミング装置
において、球面収差の影響が大きい集光レンズの周辺部
を通過した収束性の悪いレーザビームをカットするため
の絞り調節機構の構成及び調節を簡単にする。【解決手段】集光レンズ１とノズル２０の開口２２と
の間に、集光レンズ１の光軸と平行な方向に移動可能な
絞り部材３１を設け、集光レンズ１と絞り部材３１との
距離（絞り部材３１の位置）を調節することにより、絞
り部材３１によりカットしうるレーザビームの範囲を調
節する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工機用レ
ーザビームトリミング装置及びレーザビームトリミング
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ加工機用レーザビームトリミング
装置では、平行ビーム化されたレーザビームをワーク上
に収束させるために集光レンズが用いられている。一
方、周知のようにレンズには球面収差があるため、レン
ズの光軸から離れた部分（レンズ周辺部）を通過したビ
ームほど球面収差による影響を受け、ワーク上の一点
（加工点）には収束されず、周辺部に拡がる。加工点の
周辺部に拡がったレーザビームはワークに余分な熱エネ
ルギーを与えるので、ワーク表面の面荒れの原因や加工
部分のエッジの溶融により鋭利さがなくなる原因とな
る。そのため、従来よりレンズ周辺部を通過したビーム
をカットするため、絞りが用いられている。

【０００３】従来のレーザ加工機用レーザビームトリミ
ング装置に絞りを設けるために、第１の構成は集光レン
ズ部に隣接するように絞り板を設ける。また、第２の構
成は、レーザ発振器から集光レンズまでのレーザビーム
の伝送路内で一旦レーザビームを収束させ、収束部に絞
り板を設け、絞りを通過したビームをコリメートレンズ
により再度平行ビーム化している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の第１構成の場合、絞りいたが集光レンズ近傍に固定
されているので、レーザ加工機の性能、例えばビーム径
等に応じて、その都度最適な絞り径を有するものに交換
しなければならない。ここで、レーザ加工機の性能は、
レーザビームの集光レンズ部における発振モードやレー
ザビーム径等で決定され、個々のレーザ発振器の性能
（誤差）やレーザ発振器から集光レンズまでの距離等に
より微妙に変化する。さらに、レーザ発振器やレーザ加
工機の光学部品等の汚れ等によっても変化する。従っ
て、絞り径の調整方法としては、最適な径の絞り板を選
択して取り付けなければならず、非常に複雑かつ困難で
あるという問題点を有していた。

【０００５】また、従来の第２の構成の場合、少なくと
も一旦収束したレーザビームを再度平行ビーム化するた
めのコリメートレンズ及び平行光束を再収束させるため
の集光レンズを必要とする。そのため、各レンズや絞り
板の光軸の芯出しが非常に困難であり、また複数のレン
ズを用いるのでパワーロスが大きく、かつコストアップ
につながるという問題点を有していた。

【０００６】本発明は、上記従来例の問題点を解決する
ためになされたものであり、構成が簡単で、かつ調整が
容易なレーザ加工機用レーザビームトリミング装置及び
レーザビームトリミング方法を提供することを目的とし
ている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のレーザ加工機用レーザビームトリミング装
置は、レーザ発振器から出力されたレーザビームを収束
させるための集光レンズと、収束されたレーザビームが
通過するための開口を有するノズルと、集光レンズとノ
ズルとの間に設けられ、集光レンズとの距離が調節可能
な絞り部材とを具備する。

【０００８】集光レンズに入射したレーザビームは、集
光レンズによりワークの被加工点に収束するように屈折
され、集光レンズからノズルの開口に向かって徐々にそ
の断面径が小さくなる。一方、絞り部材の絞り径は集光
レンズの最大有効径よりも小さな径を有しているので、
集光レンズにより屈折されたレーザビームが絞り径より
も大きな断面径を有している範囲では絞りとして機能
し、集光レンズの周辺部を通過したレーザビームをカッ
トすることが可能である。また、絞り部材の絞り径を一
定として、絞り部材が集光レンズに近いほど絞り部材に
よりカットされるレーザビームの範囲が広くなる。逆
に、絞り部材が集光レンズから遠いほど絞り部材により
カットされるレーザビームの範囲が狭くなる。すなわ
ち、集光レンズと絞り部材との距離を調節することによ
り、絞り部材の絞り径を調節するのと同じ効果が得ら
れ、レーザ加工機の性能に応じた最適な条件でワークの
加工を行うことが可能となる。また、集光レンズを１枚
しか用いないので、光学系の光軸の芯出し等も比較的容
易であり、パワーロスも少なく、コスト低減も可能であ
る。

【０００９】上記構成において、集光レンズを保持する
レンズ保持部材と、集光レンズに対してノズルを相対的
に移動可能に保持するノズル保持部材と、少なくともレ
ンズ保持部材とノズル保持部材の一部を構成要素に含む
筐体の内部に設けられ、集光レンズに対して相対的に移
動可能に絞り部材を保持する絞り保持部材とをさらに具
備するように構成しても良い。この構成によれば、集光
レンズと絞り部材との距離の調節に際し、ノズル保持部
材をレンズ保持部材から取り外し、絞り保持部材をレン
ズ保持部材に取り付けた状態で絞り部材の位置を調節す
ることができ、レーザビームトリミング装置をレーザ加
工機に取り付けた状態で絞り調節が可能となる。

【００１０】また、上記構成において、筐体は、その内
部にアシストガスを注入するためのガス注入口を有し、
アシストガスにより集光レンズ及び絞り部材を冷却する
ように構成しても良い。集光レンズで吸収されたレーザ
ビームや絞り部材によりカットされたレーザビームのエ
ネルギーが熱エネルギーに変換され集光レンズや絞り部
材の温度を上昇させる。温度が上昇すると熱膨張により
集光レンズの焦点距離や絞り部材の絞り径が変化し、レ
ーザビームトリミング装置の光学的性能が変化する。し
かしながら、アシストガスを筐体内部に注入し、レーザ
ビームと共に、ノズルの開口からワークの被加工点に噴
出させることにより、アシストガスが集光レンズや絞り
部材の熱を吸収し、集光レンズや絞り部材の温度がほぼ
一定に保たれる。その結果、レーザビームトリミング装
置の光学的性能が安定し、レーザ加工機を長時間連続し
て運転しても、一定の加工性能が維持される。

【００１１】また、上記構成において、筐体内部にアシ
ストガスの流路を形成するための補助内筒をさらに設け
ても良い。この構成によれば、筐体内部に注入されたア
シストガスを、一旦ノズル開口から集光レンズにまで吹
き上げ、集光レンズ、絞り部材、ノズル開口の順にアシ
ストガスの流路を形成することができ、効率良く集光レ
ンズ及び絞り部材を冷却することが可能となる。

【００１２】また、上記構成において、レンズ保持部材
とノズル保持部材はそれぞれ筒状体であって一方の内周
部と他方の外周部とが気密的に嵌合し、絞り保持部材は
筒状体であってレンズ保持部材の内側に固定され、絞り
部材は環状体であって絞り保持部材の内周部に嵌装して
も良い。この構成によれば、それぞれ筒状のレンズ保持
部材とノズル保持部材をそれらの軸方向に相対的に移動
させることにより、光軸の芯ずれを生ずることなく集光
レンズとノズル開口の距離を容易に調節することができ
る。同様に、絞り保持部材と絞り部材をそれらの軸方向
に相対的に移動させることにより、光軸の芯ずれを生ず
ることなく集光レンズと絞り部材の距離を容易に調節す
ることができる。

【００１３】また、上記構成において、絞り保持部材の
内周部に雌ねじを形成し、絞り部材の外周部に前記雌ね
じと螺合する雄ねじを形成しても良い。この構成によれ
ば、絞り部材を回転させることにより、容易に絞り保持
部材の軸方向の位置を移動させることが可能となる。ま
た、ねじのピッチを適宜選択することにより、絞り部材
の位置の微調整が可能となる。

【００１４】また、本発明のレーザ加工機のレーザビー
ムトリミング方法は、レーザ加工機のレーザ発振器から
出力されたレーザビームを収束させるための集光レンズ
と収束されたレーザビームを通過させるための開口を有
するノズルとの間に絞り部材を設け、絞り部材と集光レ
ンズとの距離を調節することにより、集光レンズの周辺
部を通過したビームをカットする。この方法によれば、
既存のレーザ加工機を改造することにより、上記本発明
のレーザビームトリミング装置と同じ効果を得ることが
可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明のレーザ加工機用レーザビ
ームトリミング装置及びレーザビームトリミング方法の
一実施形態について、図１を参照しつつ説明する。

【００１６】集光レンズ１は略円筒状のレンズ鏡筒２の
内周部に嵌合され、レンズ鏡筒２の内周部に形成された
雌ねじと螺合するロック環３によりレンズ鏡筒２に固定
されている。また、レンズ鏡筒２は、略円筒状の内筒４
に固定されている。レンズ鏡筒２、ロック環３及び内筒
４等は、集光レンズ１を保持するためのレンズ保持部材
を構成する。

【００１７】内筒４の外周部で、かつ集光レンズ１を保
持している側とは反対側の先端部近傍には、Ｏ−リング
６等を介して略円筒状の外筒５が気密的に嵌合してい
る。外筒５の内筒４と嵌合している側とは反対側の端部
には、フランジ部材７が固定されている。フランジ部材
７には、Ｏ−リング８、ロック環９、飾り環１０等を介
してノズル２０が固定されている。図から明らかなよう
に、ノズル２０は複数の部品を組み合わせて構成され、
開口２２を有する先端の略円錐状部材２１は交換可能で
ある。外筒５、フランジ部材７、ロック環９等はノズル
２０を保持するためのノズル保持部材を構成する。

【００１８】内筒４の外周部でかつ外筒５と嵌合してい
る部分には、例えば雌ねじ又はカム溝が形成されてい
る。また、外筒５の内周部でかつ内筒４と嵌合している
部分には、上記雌ねじに螺合する雄ねじ又は上記カム溝
を摺動する突起が設けられている。雌ねじ及び雄ねじで
構成されるねじ送り機構又はカム溝及び突起で構成され
るカム送り機構により、内筒４又は外筒５を他方に対し
て回転又は移動させることにより、集光レンズ１とノズ
ル２０の開口２２との距離を調節することが可能とな
る。

【００１９】内筒４、外筒５及びフランジ部材７等はレ
ーザビームトリミング装置の筐体の主要部をなす。筐体
内部において、レンズ鏡筒２の集光レンズ１を保持する
側とは反対側には、略円筒状の絞り保持筒３０が固定さ
れている。絞り保持筒３０の内周部には、例えば雌ねじ
が形成されている。絞り部材３１は、略環状又は円筒状
であり、その外周部には雄ねじが形成されている。絞り
部材３１の雄ねじ部は、絞り保持筒３０の雌ねじ部に螺
合しており、絞り部材３１を回転させることにより絞り
部材３１を集光レンズ１の光軸Ｌと平行な方向に移動可
能である。また、絞り保持筒３０の雌ねじ部には、その
外周部に雄ねじが形成されたロック環３２の当該雄ねじ
部が螺合している。ロック環３２は、絞り部材３１の位
置を調節した後、絞り部材３１に密着させることによ
り、振動により絞り部材３１の位置がずれるのを防止す
るためのものである。なお、絞り部材３１及びロック環
３２には、それぞれ回螺器と係合するための穴又は溝３
１ｂ，３２ｂが設けられている。

【００２０】周知のように、集光レンズ１等のレンズで
は、球面収差によりレンズの光軸Ｌから離れた領域を通
過した光束ほど一点に収束せず、加工点の周辺にレーザ
ビームが拡がる。周辺に拡がったレーザビームのエネル
ギーは熱に変換されワークＷに吸収される。そのため、
ワークＷの加工（切断）点の周辺の表面が荒れたり、加
工部のエッジが溶融し、鋭利さがなくなる原因となる。
従って、絞り部材３１により、球面収差の影響の大きな
集光レンズ１の周辺部を通過したレーザビームをカット
する必要がある。

【００２１】絞り部材３１の絞り３１ａの径（直径又は
半径）は、集光レンズ１の有効径よりも小さく、かつノ
ズル２０の開口２２の径よりも大きい。そのため、集光
レンズ１により屈折されたレーザビームの径が絞り部材
３１の絞り径よりも大きな範囲では、絞り部材３１は絞
りとして機能し、集光レンズ１の周辺部を通過した光束
（例えば図中２点差線で示す）をカットすることが可能
である。また、集光レンズ１により屈折されたレーザビ
ームの径は、集光レンズ１に近いほど大きく、集光レン
ズ１から離れるほど小さくなる。従って、絞り部材３１
の絞り３１ａの径を固定しても、集光レンズ１の光軸Ｌ
に平行な方向における絞り部材３１の位置を変化させる
ことにより、絞り部材３１によりカットされるレーザビ
ームの範囲を変化させることができる。すなわち、絞り
部材３１を光軸Ｌと平行な方向に移動させることによ
り、絞り部材３１の絞り３１ａの径を変化させた場合と
同様の絞り調節効果が得られる。

【００２２】なお、上記のように絞り部材３１によりレ
ーザビームをカットする際、絞り部材３１の集光レンズ
１に対向する面がレーザビームのエネルギーにより溶融
される場合もあり得る。従って、レーザ加工機に装着し
て一定の使用可能期間を確保するためには、絞り部材３
１を光軸Ｌ方向に厚くすることが好ましい。

【００２３】筐体内部において、フランジ部材７には、
略円筒状の補助内筒１１が固定されている。集光レンズ
１の光軸Ｌに直交する断面において、レンズ鏡筒２、内
筒４、外筒５、補助内筒１１、絞り保持筒３０の各端面
は、光軸Ｌを中心とする同心円上に配置され、外側から
外筒５、内筒４、補助内筒１１、レンズ鏡筒２、絞り保
持筒３０の順に配置される。内筒４の内周面と補助内筒
１１の外周面との間及び補助内筒１１の内周面とレンズ
鏡筒２及び絞り保持筒３０の各外周面との間には隙間が
設けられており、後述するアシストガスの流路を形成す
る。

【００２４】外筒５の側面で、かつフランジ部材７が固
定されている側の端部近傍には、補助内筒１１の外周面
に対向するように、１又は２以上のアシストガス注入口
５ａが設けられている。また、レンズ鏡筒２の側面にも
アシストガスの流路を形成する１又は２以上の開口２ａ
が設けられている。

【００２５】次に、本実施形態のレーザビームトリミン
グ装置動作について説明する。レーザビームトリミング
装置をレーザ加工機に装着する場合、内筒４の集光レン
ズ１側の開口をレーザ加工機のレーザ発振器又はその鏡
筒（図示せず）に固定する。また、外筒５のアシストガ
ス注入口５ａにアシストガス供給用のパイプ等を接続す
る。

【００２６】レーザ発振器から出力されたレーザビーム
はコリメートレンズ（図示せず）等によりビーム径を拡
大されかつ平行化された後、集光レンズ１に入射する。
集光レンズ１に入射したレーザビームは、ワークＷ上の
一点に収束するように集光レンズ１により屈折される。
なお、レーザ加工中、集光レンズ１とワークＷとの距離
（集光レンズの焦点距離にほぼ等しい）が一定となるよ
うに、集光レンズ１のワークＷに対する高さが調節され
ることは言うまでもない。

【００２７】絞り部材３１の絞り３１ａを通過したレー
ザビームはノズル２０の開口２１を通ってワークＷ上に
収束され、ワークＷ上の一点を集中的に加熱し、ワーク
Ｗを溶融する。レーザ加工機では、例えばレーザビーム
トリミング装置とワークＷとを相対的に移動させること
により、ワークＷを所定形状に切断する。

【００２８】一方、アシストガス注入口５ａからアシス
トガスを筐体内部に注入すると、アシストガスは補助内
筒１１の外周面に衝突し、外筒５の内周面と補助内筒１
１の外周面との間の空間Ｓ１を流れる。さらに、内筒４
と外筒５の嵌合部分で、内筒４の内周面と補助内筒１１
の外周面との間の空間Ｓ２を通って、内筒４の内周面と
レンズ鏡筒２の外周面及び絞り保持筒３０の外周面との
間の空間Ｓ３に流れ込む。空間Ｓ３に流れ込んだアシス
トガスは、内筒４のレンズ鏡筒２を保持するためのフラ
ンジ部４ａに衝突し、一部はレンズ鏡筒２の開口２ａを
通ってレンズ鏡筒２の内部空間Ｓ４に流れ込む。残りの
アシストガスは、補助内筒１１の内周面と絞り保持筒３
０の外周面との間の空間Ｓ５を流れる。空間Ｓ４及びＳ
５を流れたアシストガスは、最終的にノズル２０の開口
２２からレーザビームと共にワークＷに向けて噴出す
る。アシストガスは、レーザビームにより溶融されたワ
ークＷの材料を吹き飛ばしたり、あるいは酸化反応を促
進するためのものであり、ワークＷの材料が鉄等の金属
の場合、通常は酸素が用いられる。なお、ワークＷの材
料がステンレス鋼の場合や非金属材料の場合はアシスト
ガスとして窒素を用いることもある。また、ワークＷの
材料がアルミニウムの場合はアシストガスとして空気を
用いることもある。

【００２９】一般的に、絞り部材３１は反射光を少なく
するように、黒色等に塗装又はメッキされている。その
ため、図中２点差線で示すような絞り部材３１に入射し
たレーザビームの大部分は絞り部材３１に吸収される。
同様に、集光レンズ１に入射したレーザビームの内一部
は集光レンズ１の材料であるガラスに吸収される。集光
レンズ１や絞り部材３１に吸収されたレーザビームのエ
ネルギーは熱エネルギーに変換されるので、そのままで
は集光レンズ１や絞り部材３１の温度は上昇する。しか
しながら、本実施形態では、上記のように筐体内部にお
いてアシストガスの流路を形成し、集光レンズ１及び絞
り部材３１の表面にアシストガスが触れるように構成し
ているので、アシストガスが冷却剤として機能し、集光
レンズ１、レンズ鏡筒２、内筒４、外筒５，補助内筒１
１、絞り保持筒３０、絞り部材３１等の温度はほとんど
上昇せず、熱膨張による寸法の変化もほとんどない。そ
の結果、長時間レーザ加工機を連続使用しても、集光レ
ンズ１や絞り部材３１の光学的性能が変化せず、レーザ
加工機の性能が安定し、ワークＷを均一に加工すること
が可能となる。

【００３０】なお、絞り部材３１の位置は、レーザビー
ムトリミング装置をレーザ加工機に取り付けた状態であ
っても調節可能である。例えば、ロック環９及び飾り環
１０を取り外すことにより、ノズル２０をフランジ部材
７から取り外す。この状態で、フランジ部材７の開口か
ら回螺器を絞り保持環３０の内部に挿入し、ロック環３
２を緩め、絞り部材３１を回転させて集光レンズ１に対
する絞り部材３１の位置を調節する。このとき、レーザ
加工機のレーザ発振器を起動し、ワークＷ上に収束され
るレーザビームの径を見ながら、最適な絞り径（絞り部
材３１の位置）を設定することができる。絞り部材３１
の位置が設定されると、ロック環３２を絞り部材３１に
密着させ、絞り部材３１が振動により回転（移動）しな
いようにロックする。そして、再度ロック環９等により
ノズル２０をフランジ部材７に固定する。また、ノズル
２０、絞り部材３１及びロック環３２等を容易に取り外
すことができるので、容易に集光レンズ１を清掃するこ
とが可能となる。

【００３１】なお、本発明は、上記実施形態の構成に限
定されるものではなく、絞り部材３１が集光レンズ１と
ノズル２０の開口２２との間に設けられており、集光レ
ンズ１に対して絞り部材３１を集光レンズ１の光軸Ｌ方
向に移動可能であればよい。例えば、絞り保持筒３０に
溝を設け、絞り部材３１に溝と係合する突起を設けて、
絞り部材３１の突起を溝に沿って摺動させ、絞り部材３
１を集光レンズ１の光軸Ｌと平行な方向に移動させるよ
うに構成しても良い。あるいは、絞り保持筒３０を省略
し、レンズ鏡筒２の内周部又は外周部に雌ねじ又は雄ね
じを形成し、絞り部材３１の外周部又は内周部に形成し
た雄ねじ又は雌ねじを螺合させるように構成しても良
い。さらに、絞り部材３１が振動によっても容易に移動
しない場合には、ロック環３２を省略しても良い。ま
た、本発明の構成によれば、絞り部材３１の交換も比較
的容易であるので、絞り部材３１は図示したような環状
体又は筒状体に限定されず、寿命の短い板状体やその他
の形状であっても良い。さらに、絞り３１ａの径の異な
る複数の絞り部材３１を用意しておき、レーザ加工機の
性能にあわせて適宜絞り部材３１を交換するようにして
もよい。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザ加
工機用レーザビームトリミング装置及びレーザビームト
リミング方法によれば、レーザ発振器から出力されたレ
ーザビームを収束させるための集光レンズと収束された
レーザビームが通過するための開口を有するノズルとの
間に絞り部材を設け、絞り部材と集光レンズとの距離を
調節可能とするので、集光レンズに入射したレーザビー
ムのうち球面収差の大きな周辺部を通過した収束性の悪
いレーザビームは、絞り部材によりカットされ、ワーク
上には到達しない。その結果、ワーク上の一点にレーザ
ビームが収束されるので、ワークの加工（切断）部近傍
の面荒れや切断部のエッジの溶融はほとんど生じない。
また、余分な集光レンズを用いないので、光学系の光軸
の芯出し等も比較的容易であり、パワーロスも少なく、
コスト低減も可能である。

【００３３】また、アシストガスにより集光レンズ及び
絞り部材を冷却することにより、レーザビームが集光レ
ンズや絞り部材により吸収されたとしても、アシストガ
スが集光レンズや絞り部材の熱を吸収し、集光レンズや
絞り部材の温度をほぼ一定に保つことが可能となる。そ
の結果、レーザビームトリミング装置の光学的性能が安
定し、レーザ加工機を長時間連続して運転しても、一定
の加工性能が維持される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のレーザ加工機用レーザビームトリミ
ング装置の一実施形態の構成を示す図である。

【符号の説明】

１：集光レンズ２：レンズ鏡筒２ａ：開口３：ロック環４：内筒５：外筒５ａ：アシストガス注入口６：Ｏ−リング７：フランジ部材８：Ｏ−リング９：ロック環１０：飾り環１１：補助内筒２０：ノズル２１：円錐状部材２２：開口３０：絞り保持筒３１：絞り部材３１ａ：絞り３２：ロック環

フロントページの続き (72)発明者川出高司大阪市中央区北久宝寺町二丁目４番１号新日本工機株式会社内 (72)発明者田中伸明大阪市中央区北久宝寺町二丁目４番１号新日本工機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ発振器から出力されたレーザビー
ムを収束させるための集光レンズと、収束されたレーザ
ビームが通過するための開口を有するノズルと、集光レ
ンズとノズルとの間に設けられ、集光レンズとの距離が
調節可能な絞り部材とを具備するレーザ加工機用レーザ
ビームトリミング装置。
【請求項２】集光レンズを保持するレンズ保持部材
と、集光レンズに対してノズルを相対的に移動可能に保
持するノズル保持部材と、少なくともレンズ保持部材と
ノズル保持部材の一部を構成要素に含む筐体の内部に設
けられ、集光レンズに対して相対的に移動可能に絞り部
材を保持する絞り保持部材とをさらに具備することを特
徴とする請求項１記載のレーザ加工機用レーザビームト
リミング装置。
【請求項３】筐体は、その内部にアシストガスを注入
するためのガス注入口を有し、アシストガスにより集光
レンズ及び絞り部材を冷却することを特徴とする請求項
２記載のレーザ加工機用レーザビームトリミング装置。
【請求項４】筐体内部にアシストガスの流路を形成す
るための補助内筒をさらに設けたことを特徴とする請求
項３記載のレーザ加工機用レーザビームトリミング装
置。
【請求項５】レンズ保持部材とノズル保持部材はそれ
ぞれ筒状体であって一方の内周部と他方の外周部とが気
密的に嵌合し、絞り保持部材は筒状体であってレンズ保
持部材の内側に固定され、絞り部材は環状体であって絞
り保持部材の内周部に嵌装されていることを特徴とする
請求項４記載のレーザ加工機用レーザビームトリミング
装置。
【請求項６】絞り保持部材の内周部に雌ねじを形成
し、絞り部材の外周部に前記雌ねじと螺合する雄ねじを
形成したことを特徴とする請求項５記載のレーザ加工機
用レーザビームトリミング装置。
【請求項７】レーザ加工機のレーザ発振器から出力さ
れたレーザビームを収束させるための集光レンズと収束
されたレーザビームを通過させるための開口を有するノ
ズルとの間に絞り部材を設け、絞り部材と集光レンズと
の距離を調節することにより、集光レンズの周辺部を通
過したビームをカットするレーザ加工機のレーザビーム
トリミング方法。