JPH11337499A - 製品検査方法ならびに装置 - Google Patents
製品検査方法ならびに装置Info
- Publication number
- JPH11337499A JPH11337499A JP10142657A JP14265798A JPH11337499A JP H11337499 A JPH11337499 A JP H11337499A JP 10142657 A JP10142657 A JP 10142657A JP 14265798 A JP14265798 A JP 14265798A JP H11337499 A JPH11337499 A JP H11337499A
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- JP
- Japan
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- turntable
- work
- inspection
- workpiece
- positioning
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、部品等の連続自動検査を行なうた
めに、ガラスターンテーブルを用いて検査ステージを構
成することにより、画像処理による連続自動検査を実現
し、かつ、低いコストで高い精度の検査を実現すること
を課題とする。 【解決手段】 本発明は、ワーク６を、少なくとも一部
が光透過材料で構成されるターンテーブル５に所定間隔
にて載置し、あらかじめ規定される検査タイミングに従
ってターンテーブルに載置されたワークの半径ならびに
進行方向の位置決めを行ない、ターンテーブルを挟んで
配置される光源１２と画像検査装置４によりワークの輪
郭検査を行ない不良ワークを抽出する
めに、ガラスターンテーブルを用いて検査ステージを構
成することにより、画像処理による連続自動検査を実現
し、かつ、低いコストで高い精度の検査を実現すること
を課題とする。 【解決手段】 本発明は、ワーク６を、少なくとも一部
が光透過材料で構成されるターンテーブル５に所定間隔
にて載置し、あらかじめ規定される検査タイミングに従
ってターンテーブルに載置されたワークの半径ならびに
進行方向の位置決めを行ない、ターンテーブルを挟んで
配置される光源１２と画像検査装置４によりワークの輪
郭検査を行ない不良ワークを抽出する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に、部品等の品
質検査工程を自動化する際に用いて好適な、製品検査方
法ならびに装置に関する。
質検査工程を自動化する際に用いて好適な、製品検査方
法ならびに装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ベアリング部品に使われるゴム
シール等大量の小型で薄い部品を連続的に画像処理やレ
ーザ技術の応用で検査する場合、その部品を一つずつ位
置決めしていたのでは処理タクトを上げることができな
い。
シール等大量の小型で薄い部品を連続的に画像処理やレ
ーザ技術の応用で検査する場合、その部品を一つずつ位
置決めしていたのでは処理タクトを上げることができな
い。
【０００３】従来は、一つ一つチャッキングして個別に
ハンドリングしていたため、処理タクトがネックとな
り、また、不良品の混入があった場合、トラブルの原因
となって結果的に高コストを強いられるといった欠点を
持っていた。また、コンベアによる搬送を要していたた
め、画像処理による透過光検査が困難であり、ワーク振
れのため、位置決めが困難で結果的に正確な検査ができ
ないといった欠点も合せ持っていた。
ハンドリングしていたため、処理タクトがネックとな
り、また、不良品の混入があった場合、トラブルの原因
となって結果的に高コストを強いられるといった欠点を
持っていた。また、コンベアによる搬送を要していたた
め、画像処理による透過光検査が困難であり、ワーク振
れのため、位置決めが困難で結果的に正確な検査ができ
ないといった欠点も合せ持っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ワー
クがゴムシールのように、小型で薄い部品を連続的に大
量に検査する場合、一つずつチャッキングして個別にハ
ンドリングを行なう必要があったため検査効率が悪く、
また、信頼性も低いため、上述したゴムシールに限って
は、画像処理やレーザ技術により自動検査はあきらめ、
人手による目視検査を行なっていたのが現状である。
クがゴムシールのように、小型で薄い部品を連続的に大
量に検査する場合、一つずつチャッキングして個別にハ
ンドリングを行なう必要があったため検査効率が悪く、
また、信頼性も低いため、上述したゴムシールに限って
は、画像処理やレーザ技術により自動検査はあきらめ、
人手による目視検査を行なっていたのが現状である。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、部品等の連続自動検査を行なうために、ガラスタ
ーンテーブルを用いて検査ステージを構成することによ
り、画像処理による連続自動検査を実現し、かつ、低い
コストで高い精度の検査を実現しうる製品の検査方法な
らびに装置を提供することを目的とする。
あり、部品等の連続自動検査を行なうために、ガラスタ
ーンテーブルを用いて検査ステージを構成することによ
り、画像処理による連続自動検査を実現し、かつ、低い
コストで高い精度の検査を実現しうる製品の検査方法な
らびに装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の製品検査方法
は、ワークを、少なくとも一部が光透過材料で構成され
るターンテーブルに所定間隔にて載置し、あらかじめ規
定される検査タイミングに従ってターンテーブルに載置
されたワークの半径ならびに進行方向の位置決めを行な
い、ターンテーブルを挟んで配置される光源と画像検査
装置によりワークの輪郭検査を行ない不良ワークを抽出
することを特徴とする。
は、ワークを、少なくとも一部が光透過材料で構成され
るターンテーブルに所定間隔にて載置し、あらかじめ規
定される検査タイミングに従ってターンテーブルに載置
されたワークの半径ならびに進行方向の位置決めを行な
い、ターンテーブルを挟んで配置される光源と画像検査
装置によりワークの輪郭検査を行ない不良ワークを抽出
することを特徴とする。
【０００７】本発明の製品検査装置は、整列されたワー
クを逐次ターンテーブルに供給するワーク供給部と、供
給されるワークをその速度差により所定の間隔をもって
載置される、少なくとも一部が光透過材料で構成される
ターンテーブル部と、ターンテーブルに載置された全て
のワークのターンテーブルの半径方向の位置決めを行な
う第１の位置決め部と、ワークの検査タイミングを生成
しその検査タイミングに従いターンテーブルの進行方向
の位置決めを行なう第２の位置決め部と、光源を有し、
上記ターンテーブル部を挟んで対向する位置に配置され
るワーク画像を検査する素子で透過光によるワークの輪
郭検査を行ない不良ワークを抽出して排出するワーク排
出部とを具備することを特徴とし、上記検査タイミング
の生成は、ターンテーブル近傍に配置されるセンサによ
ってワークの通過を検知した時点をトリガとしてエンコ
ーダのパルスをカウントすることによってワークのトラ
ッキングを制御し、ワークを挟んでターンテーブルの半
径方向に配置されるレーザマイクロメータにて、トラッ
キングにより得られる測定区間内での測定値の変化幅に
よりワークの厚みを求めることにより行なわれることを
特徴とする。
クを逐次ターンテーブルに供給するワーク供給部と、供
給されるワークをその速度差により所定の間隔をもって
載置される、少なくとも一部が光透過材料で構成される
ターンテーブル部と、ターンテーブルに載置された全て
のワークのターンテーブルの半径方向の位置決めを行な
う第１の位置決め部と、ワークの検査タイミングを生成
しその検査タイミングに従いターンテーブルの進行方向
の位置決めを行なう第２の位置決め部と、光源を有し、
上記ターンテーブル部を挟んで対向する位置に配置され
るワーク画像を検査する素子で透過光によるワークの輪
郭検査を行ない不良ワークを抽出して排出するワーク排
出部とを具備することを特徴とし、上記検査タイミング
の生成は、ターンテーブル近傍に配置されるセンサによ
ってワークの通過を検知した時点をトリガとしてエンコ
ーダのパルスをカウントすることによってワークのトラ
ッキングを制御し、ワークを挟んでターンテーブルの半
径方向に配置されるレーザマイクロメータにて、トラッ
キングにより得られる測定区間内での測定値の変化幅に
よりワークの厚みを求めることにより行なわれることを
特徴とする。
【０００８】このことにより、ゴムシール等小型で薄型
の部品であっても画像処理による連続自動検査が実現で
き、低いコストで高い精度の製品検査が可能となる。
の部品であっても画像処理による連続自動検査が実現で
き、低いコストで高い精度の製品検査が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の製品検査装置の
一実施形態を示す図である。図において、１は部品供給
シュータである。部品供給シュータ１には、例えばベア
リングの部品であるゴムシート等薄型のワーク６が一列
に整列され、ターンテーブル５に一個ずつ逐次供給され
る。ターンテーブル５は、少なくとも一部がガラス等の
光透過材料で構成され、この部分にワーク６が載置され
る。図中、斜線部分がガラスで構成されている。以降、
ワーク６が載置される部分をガラスターンテーブルと称
し説明を継続する。２はタイミングセンサである。タイ
ミングセンサ２は、ターンテーブル５の上方に配置さ
れ、ここでワーク６の通過を検出してワークのトラッキ
ングを制御するためのトリガとなる。
一実施形態を示す図である。図において、１は部品供給
シュータである。部品供給シュータ１には、例えばベア
リングの部品であるゴムシート等薄型のワーク６が一列
に整列され、ターンテーブル５に一個ずつ逐次供給され
る。ターンテーブル５は、少なくとも一部がガラス等の
光透過材料で構成され、この部分にワーク６が載置され
る。図中、斜線部分がガラスで構成されている。以降、
ワーク６が載置される部分をガラスターンテーブルと称
し説明を継続する。２はタイミングセンサである。タイ
ミングセンサ２は、ターンテーブル５の上方に配置さ
れ、ここでワーク６の通過を検出してワークのトラッキ
ングを制御するためのトリガとなる。
【００１０】３は、レーザマイクロメータである。レー
ザマイクロメータ３はターンテーブル５のガラス材料の
上に載置されたワークを挟んだ半径方向に配置され、こ
こでワークの厚みが検出される。４は、画像検査用ＣＣ
Ｄカメラである。画像検査用ＣＣＤカメラ４は、ガラス
ターンテーブルを挟んで対向する位置に配置されるスト
ロボ照明１２との組みにより、ワーク６の輪郭を検査す
る。７は不良品排出部である。不良品排出部７は、上記
輪郭検査の結果、正規のものとの寸法等が異なっていた
場合等に不良品と判断され、排出される部分である。
８，９はエンコーダであり、図示せぬ処理装置との連係
により、ワーク６の進行方向の位置決め、不良品の排出
制御、検査タイミングの生成等を行なう。詳細について
は後述する。１０は、ターンテーブル５を駆動するモー
タ、１１はガラスターンテーブル５に載置されたワーク
６の半径方向位置決め部である。
ザマイクロメータ３はターンテーブル５のガラス材料の
上に載置されたワークを挟んだ半径方向に配置され、こ
こでワークの厚みが検出される。４は、画像検査用ＣＣ
Ｄカメラである。画像検査用ＣＣＤカメラ４は、ガラス
ターンテーブルを挟んで対向する位置に配置されるスト
ロボ照明１２との組みにより、ワーク６の輪郭を検査す
る。７は不良品排出部である。不良品排出部７は、上記
輪郭検査の結果、正規のものとの寸法等が異なっていた
場合等に不良品と判断され、排出される部分である。
８，９はエンコーダであり、図示せぬ処理装置との連係
により、ワーク６の進行方向の位置決め、不良品の排出
制御、検査タイミングの生成等を行なう。詳細について
は後述する。１０は、ターンテーブル５を駆動するモー
タ、１１はガラスターンテーブル５に載置されたワーク
６の半径方向位置決め部である。
【００１１】図２、図３は、それぞれ、図１に示すター
ンテーブル６、半径方向位置決め部１１と不良品排出部
７の実機図面である。図１の補足の意味で添付してあ
る。
ンテーブル６、半径方向位置決め部１１と不良品排出部
７の実機図面である。図１の補足の意味で添付してあ
る。
【００１２】以下、図１乃至図３を参照しながら本発明
の製品検査方法ならびに装置の具体的な動作について説
明する。まず、部品供給シュータ１でワークの表裏を揃
え、一列に整列させた状態のワークをガラスターンテー
ブル５へ供給する。部品供給シュータ１とガラスターン
テーブル５の速度差によりワークが所定の間隔をもって
分離されガラスターンテーブル5 に載置される。次に、
半径方向位置決め部１１によりワーク６の半径方向への
位置決めがなされる。
の製品検査方法ならびに装置の具体的な動作について説
明する。まず、部品供給シュータ１でワークの表裏を揃
え、一列に整列させた状態のワークをガラスターンテー
ブル５へ供給する。部品供給シュータ１とガラスターン
テーブル５の速度差によりワークが所定の間隔をもって
分離されガラスターンテーブル5 に載置される。次に、
半径方向位置決め部１１によりワーク６の半径方向への
位置決めがなされる。
【００１３】タイミングセンサ２の下をワーク６が通過
したタイミングからワーク６のトラッキングがエンコー
ダ８，９のパルスをカウントすることで行なわれる。ト
ラッキングは、その処理内容により以下の２系統のエン
コーダ及びシーケンサにより処理される。一つは、例え
ば５００Ｐ／Ｒの低分解能エンコーダ８及び三菱製Ａ２
Ａ等のメインシーケンサの組みから成る処理系統であっ
て、ここで各判定の結果を読み取り、不良品の排出制御
が行なわれる。他の一つは、例えば、７２００Ｐ／Ｒの
高分解能エンコーダ９及びキーエンス製ＫＺ３００等サ
ブシーケンサの組みから成る処理系統であつて、ここで
後述するレーザ測定区間の作成、画像入力タイミングの
作成が行なわれる。後者の系統が深厚方向位置決め部を
構成し、進行方向に対して±０．２ｍｍ以内の高精度で
検査タイミングを作ることができる。シーケンサのソフ
トウェアにより、カウント回路を複数持たせればその数
の分だけ同時トラッキングが可能である。
したタイミングからワーク６のトラッキングがエンコー
ダ８，９のパルスをカウントすることで行なわれる。ト
ラッキングは、その処理内容により以下の２系統のエン
コーダ及びシーケンサにより処理される。一つは、例え
ば５００Ｐ／Ｒの低分解能エンコーダ８及び三菱製Ａ２
Ａ等のメインシーケンサの組みから成る処理系統であっ
て、ここで各判定の結果を読み取り、不良品の排出制御
が行なわれる。他の一つは、例えば、７２００Ｐ／Ｒの
高分解能エンコーダ９及びキーエンス製ＫＺ３００等サ
ブシーケンサの組みから成る処理系統であつて、ここで
後述するレーザ測定区間の作成、画像入力タイミングの
作成が行なわれる。後者の系統が深厚方向位置決め部を
構成し、進行方向に対して±０．２ｍｍ以内の高精度で
検査タイミングを作ることができる。シーケンサのソフ
トウェアにより、カウント回路を複数持たせればその数
の分だけ同時トラッキングが可能である。
【００１４】レーザマイクロメータ３にワーク６がさし
かかると、高分解能エンコーダ９の系統により制御され
るトラッキングにより作られた測定区間の間レーザマイ
クロメータ３によるワーク６の厚み測定が継続される。
一般の市販板ガラスであるＦＬ５Ａを使ってターンテー
ブル５をつくつた場合でも外径Φ５００ｍｍ程度であれ
ばターンテーブル５の上下振れ幅は±３０μｍ以内に納
められるうえに測定区間内での測定値の変化幅（ｐｅａ
ｋ ｔｏ ｐｅａｋ）によりワーク６の厚みを求めれば
ターンテーブル５の振れはほとんど影響しない。
かかると、高分解能エンコーダ９の系統により制御され
るトラッキングにより作られた測定区間の間レーザマイ
クロメータ３によるワーク６の厚み測定が継続される。
一般の市販板ガラスであるＦＬ５Ａを使ってターンテー
ブル５をつくつた場合でも外径Φ５００ｍｍ程度であれ
ばターンテーブル５の上下振れ幅は±３０μｍ以内に納
められるうえに測定区間内での測定値の変化幅（ｐｅａ
ｋ ｔｏ ｐｅａｋ）によりワーク６の厚みを求めれば
ターンテーブル５の振れはほとんど影響しない。
【００１５】画像検査用ＣＣＤカメラ４の下にワーク６
が到来し、視野の中心位置に入ったとき、図示せぬ画像
処理装置に対して画像入力のためのトリガを発する。こ
のとき、ターンテーブル５を挟んで上記画像検査用ＣＣ
Ｄカメラ４と対向する位置に配置されたストロボ照明１
２により発光した光によりガラスターンテーブル６を透
過光による輪郭検査が行なわれる。ここで正規のワーク
６との寸法比較等が行なわれ、不良品は移出部７を制御
して不良品を排出し、残った良品は図示せぬ良品シュー
トへ掃き出される。
が到来し、視野の中心位置に入ったとき、図示せぬ画像
処理装置に対して画像入力のためのトリガを発する。こ
のとき、ターンテーブル５を挟んで上記画像検査用ＣＣ
Ｄカメラ４と対向する位置に配置されたストロボ照明１
２により発光した光によりガラスターンテーブル６を透
過光による輪郭検査が行なわれる。ここで正規のワーク
６との寸法比較等が行なわれ、不良品は移出部７を制御
して不良品を排出し、残った良品は図示せぬ良品シュー
トへ掃き出される。
【００１６】
【発明の効果】以上説明のように本発明は、ワークを、
少なくとも一部が光透過材料で構成されるターンテーブ
ルに所定間隔にて載置し、あらかじめ規定される検査タ
イミングに従ってターンテーブルに載置されたワークの
半径ならびに進行方向の位置決めを行ない、ターンテー
ブルを挟んで配置される光源と画像検査装置によりワー
クの輪郭検査を行ない不良ワークを抽出することを特徴
とするものであり、このことにより、ゴムシール等小型
で薄型の部品であっても画像処理による連続自動検査が
実現でき、低いコストで高い精度の製品検査が可能とな
る。他、以下に列挙する効果も得られる。
少なくとも一部が光透過材料で構成されるターンテーブ
ルに所定間隔にて載置し、あらかじめ規定される検査タ
イミングに従ってターンテーブルに載置されたワークの
半径ならびに進行方向の位置決めを行ない、ターンテー
ブルを挟んで配置される光源と画像検査装置によりワー
クの輪郭検査を行ない不良ワークを抽出することを特徴
とするものであり、このことにより、ゴムシール等小型
で薄型の部品であっても画像処理による連続自動検査が
実現でき、低いコストで高い精度の製品検査が可能とな
る。他、以下に列挙する効果も得られる。
【００１７】( １) ワークを保持する必要がなくなるた
め、安定して搬送でき搬送中のトラブルが減少する。
め、安定して搬送でき搬送中のトラブルが減少する。
【００１８】( ２) 支持物のない完全にフリーな状態で
の透過光検査を連続的に行なうことができる。
の透過光検査を連続的に行なうことができる。
【００１９】( ３) ワークとガラスターンテーブルの摩
擦にもよるが、搬送速度を上げやすい。
擦にもよるが、搬送速度を上げやすい。
【００２０】( ４) トラッキング回路により高精度のタ
イミング制御を実現できる。
イミング制御を実現できる。
【００２１】( ５) 多少の傷が入っても同軸照明であれ
ば画像処理に支障なく使用できる。
ば画像処理に支障なく使用できる。
【図１】本発明の一実施形態を示す図、
【図２】図１おけるガラスターンテーブル近傍の詳細を
示す設計図、
示す設計図、
【図３】図１における半径方向位置決め部と不良品排出
部の詳細を示す設計図、
部の詳細を示す設計図、
１…供給シート、２…タイミングセンサ、３…レーザマ
イクロメータ、４…画像検査用ＣＣＤカメラ、５…ター
ンテーブル、６…ワーク、７…不良品排出部、８…低分
解能エンコーダ（進行方向位置決め部）、９…高分解能
エンコーダ、１０…モータ、１１…半径方向位置決め
部、１２…ストロボ照明、
イクロメータ、４…画像検査用ＣＣＤカメラ、５…ター
ンテーブル、６…ワーク、７…不良品排出部、８…低分
解能エンコーダ（進行方向位置決め部）、９…高分解能
エンコーダ、１０…モータ、１１…半径方向位置決め
部、１２…ストロボ照明、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｇ０５Ｂ 19/19 Ｇ０５Ｄ 3/10 Ａ Ｇ０５Ｄ 3/10 Ｇ０６Ｆ 15/62 ４００
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを、少なくとも一部が光透過材料
で構成されるターンテーブルに所定間隔にて載置し、あ
らかじめ規定される検査タイミングに従ってターンテー
ブルに載置されたワークの半径ならびに進行方向の位置
決めを行ない、ターンテーブルを挟んで配置される光源
と画像検査装置によりワークの輪郭検査を行ない不良ワ
ークを抽出することを特徴とする製品検査方法。 - 【請求項２】 整列されたワークを逐次ターンテーブル
に供給するワーク供給部と、供給されるワークをその速
度差により所定の間隔をもって載置される、少なくとも
一部が光透過材料で構成されるターンテーブル部と、タ
ーンテーブルに載置された全てのワークのターンテーブ
ルの半径方向の位置決めを行なう第１の位置決め部と、
ワークの検査タイミングを生成しその検査タイミングに
従いターンテーブルの進行方向の位置決めを行なう第２
の位置決め部と、光源を有し、上記ターンテーブル部を
挟んで対向する位置に配置されるワーク画像を検査する
素子で透過光によるワークの輪郭検査を行ない不良ワー
クを抽出して排出するワーク排出部とを具備することを
特徴とする製品検査装置。 - 【請求項３】 上記検査タイミングの生成は、ターンテ
ーブル近傍に配置されるセンサによってワークの通過を
検知した時点をトリガとしてエンコーダのパルスをカウ
ントすることによってワークのトラッキングを制御し、
ワークを挟んでターンテーブルの半径方向に配置される
レーザマイクロメータにて、トラッキングにより得られ
る測定区間内での測定値の変化幅によりワークの厚みを
求めることにより行なわれることを特徴とする請求項２
記載の製品検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10142657A JPH11337499A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 製品検査方法ならびに装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10142657A JPH11337499A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 製品検査方法ならびに装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11337499A true JPH11337499A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15320470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10142657A Withdrawn JPH11337499A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 製品検査方法ならびに装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11337499A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101915763A (zh) * | 2010-07-23 | 2010-12-15 | 浙江晨丰灯头有限公司 | 一种灯头自动检测装置 |
| CN103949406A (zh) * | 2014-05-16 | 2014-07-30 | 歌尔声学股份有限公司 | 高精度精密工件检测分选机 |
| CN104897073A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-09 | 浙江工业大学 | 一种双摄像头万向节保持架兜孔检测装置及方法 |
| CN106679726A (zh) * | 2017-01-12 | 2017-05-17 | 苏州美克美斯自动化科技有限公司 | 全方位视觉检测取像装置 |
| CN108169758A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-06-15 | 苏州意锐聚自动化设备有限公司 | 一种工件段差检测装置 |
| CN108398095A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-08-14 | 苏州意锐聚自动化设备有限公司 | 一种工件段差检测机 |
| CN111921890A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-11-13 | 东莞市正邦自动化科技有限公司 | 一种新型影像筛选机构及其使用方法 |
| CN112691934A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-04-23 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 检测设备及检测方法 |
| KR102278473B1 (ko) * | 2020-12-16 | 2021-07-15 | 전지훈 | 접점 검사 장치 |
-
1998
- 1998-05-25 JP JP10142657A patent/JPH11337499A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN112691934B (zh) * | 2020-11-12 | 2022-08-19 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 检测设备及检测方法 |
| KR102278473B1 (ko) * | 2020-12-16 | 2021-07-15 | 전지훈 | 접점 검사 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050802 |