JP2004311553A

JP2004311553A - Semiconductor manufacturing device

Info

Publication number: JP2004311553A
Application number: JP2003100037A
Authority: JP
Inventors: Toru Yonebayashi; 亨米林; Ichiro Nunomura; 一朗布村
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 2003-04-03
Filing date: 2003-04-03
Publication date: 2004-11-04

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the files stored in a database to be displayed as a list on a display screen and to enable a search for the files of desired items to be carried out after process recipes or control tables are compiled into the files and stored in the database. <P>SOLUTION: The data inputted through the data inputting module 2a of a control unit 2 are displayed on a data display module 2b and compiled into files through a data setting module 2c, and the files are stored in a database 2d. Or, items, such as a file name, a compiling time, a compiler's name and the like, specified by SEMI standards can be displayed in a list on a display screen. When a user selects a search item from the file list displayed on the display screen, a file searching module 2e searches the database 2d for the corresponding item and displays it on the display screen. Therefore, a desired file can be searched without scrolling a file list on the display screen. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種データを用いて反応炉を制御するコントローラを備えた半導体製造装置に関するものであり、特に、レシピファイルやパラメータファイルのファイル項目を効率的に検索して反応炉の雰囲気を制御するコントローラを備えた半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、縦型拡散ＣＶＤ装置などの半導体製造装置によって半導体ウェーハ（以下、単にウェーハという）に熱処理を施しながら薄膜形成、不純物ドーピング、および表面処理などの成膜処理を行う場合は、コントローラによって炉内温度やガス流量などの炉内雰囲気を精密に制御してウェーハの製品歩留りの向上を図っている。図８は、従来の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。コントローラ１１は、データの入力操作を行う操作部１２と、半導体製造装置の制御を行う制御部１３と、操作部１２と制御部１３との間でデータの受け渡しを行うメモリ１４とを備えた構成となっている。操作部１２のデータ入力モジュール１２ａから各種のデータを入力すると、これらのデータはデータ表示モジュール１２ｂに表示される。さらに、入力されたデータは、データ設定モジュール１２ｃによってファイルに編集されてファイル保存部１２ｄへ保存されると共にメモリ１４へも格納される。また、データ表示モジュール１２ｂはファイル保存部１２ｄに保存されているファイルの一覧画面を表示することもできる。
【０００３】
上記のようにして操作部１２から入力されたデータは、メモリ１４の各種設定パラメータエリア１４ａ、共用設定パラメータ格納エリア１４ｂ、及びレシピデータ格納エリア１４ｃに格納される。従って、制御部１３の制御パラメータ展開モジュール１３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール１３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール１３ｃは、メモリ１４の対応するエリアに格納されているデータを参照しながら、ウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８の制御を行うことができる。これによって、半導体製造装置は製品歩留りの高いウェーハを生産することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の縦型拡散ＣＶＤ装置などの半導体製造装置に搭載されたコントローラ１１は、操作部１２によってプロセスレシピや各種制御テーブルなどを編集してファイル保存部１２ｄにファイルとして保存した後、データ表示モジュール１２ｂのファイル一覧画面に編集者が編集しやすいようにファイルをソートすることはできるが、データ表示モジュール１２ｂのファイル一覧画面に表示されている項目（例えば、ファイル名や編集日時など）に基づいてファイルを検索することはできない。つまり、コントローラ１１の操作部１２にはファイル検索機能がないため、データ表示モジュール１２ｂでファイルを一度開いて各項目を確認してからデータ設定モジュール１２ｃによって所望の編集を行う必要がある。そのため、編集者は、ファイル生成日時、編集者名、コメントなどをキーとして所望のファイルを目視で探した後に編集を行わなければならないので、ファイルの編集を行う操作に手間がかり編集作業にかなり長い時間を要する。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集してデータベースに保存した後は、データベースのファイルを所望の項目に基づいて検索ができるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の半導体製造装置は、レシピファイルおよび各種設定パラメータファイルが格納されたデータベースと選択された検索項目により前記データベースから対応する前記ファイルを検索する検索手段を具備した半導体製造装置において、
前記ファイル検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する所定の項目のファイルを前記データベースから検索する機能を有することを特徴とするものである。
なお、実施の形態においては、各種データが記載されたファイルを画面に表示して反応炉を制御するコントローラを備えた半導体製造装置において、各種データに基づいて編集されたレシピファイル及び各種設定パラメータファイルを保存するデータベースと、ファイル一覧画面に表示されたファイルより選択された項目に基づいてデータベースから対応するファイルを検索するファイル検索手段とを備え、ファイル検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する項目のファイルをデータベースから検索してファイル一覧画面に表示させることを特徴とする。
【０００７】
本発明の半導体製造装置によれば、検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する項目、例えば、ファイル名、編集日時、ファイル生成日時、編集者名、及びコメントなどの項目をデータベースから検索してファイル一覧画面に表示させている。これにより、ファイル一覧画面に表示されている多数のファイルをスクロールしながら所望のファイルを検索することなく、直ちに、ファイル検索画面に切り替わってワンタッチで所望のファイルの検索を行うことができる。したがって、オペレータによるファイル編集の作業量が軽減されると共にデータの設定ミスなどが少なくなるので、半導体デバイスの生産性がさらに向上する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は、半導体製造装置の製造工程で使用するレシピファイルやパラメータファイルの検索を行う際に、ＳＥＭＩ（ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＥｑｕｉｐｍｅｎｔａｎｄＭａｔｅｒｉａｌＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格（つまり、ＳＥＭＩＨｕｍａｎＩｎｔｅｒｆａｃｅＳｔａｎｄａｒｄｆｏｒＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＥｑｕｉｐｍｅｎｔＤｒａｆｔＤｏｃ．＃２７８３Ｂ）に規定されたファイルの項目（属性）を選択してファイル一覧画面に表示し、さらに、選択した項目を指定して所望のファイルの検索ができるようにしたことを特徴としている。
【０００９】
すなわち、本発明の半導体製造装置は、プロセスレシピや制御テーブルを編集したファイルをＨＤＤなどのデータベースに保存した後、ＳＥＭＩ規格で規定しているファイル名、編集日時、ファイル生成日時、編集者名、及びコメントなどの項目をファイル一覧画面に表示させると共に、表示させた項目に関してはファイルの検索ができるような機能を備えたコントローラを搭載したことを特徴とする。
【００１０】
以下、図面を用いて、本発明における半導体製造装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。コントローラ１は、半導体製造装置の炉内雰囲気を制御するためのデータを入力して所定の操作を行う操作部２と、入力されたデータに基づいて半導体製造装置の炉内の制御を行う制御部３とが１０ＢａｓｅＴ４によってＬＡＮ接続された構成となっている。また、制御部３から、図示しない半導体製造装置のウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８へ制御用の信号線が接続されている。
【００１１】
操作部２は、データを入力するデータ入力モジュール２ａと、入力されたデータを表示したりファイルの一覧画面を表示するデータ表示モジュール２ｂと、入力されたデータをファイルに編集するデータ設定モジュール２ｃと、データ設定モジュール２ｃによって編集されたファイルを保存するデータベース２ｄと、データ表示モジュール２ｂの一覧画面に表示されたファイルの選択項目に従って該当するファイルをデータベース２ｄから検索するファイル検索モジュール２ｅと、データ設定モジュール２ｃを介して入力されたデータを格納するメモリ２ｆと、制御部３との間でメモリ２ｆに格納されたデータの受け渡しを行うデータ送受信モジュール２ｊとによって構成されている。また、メモリ２ｆは、各種設定パラメータエリア２ｇと共用設定パラメータ格納エリア２ｈとレシピデータ格納エリア２ｉの各エリアを備えている。
【００１２】
制御部３は、操作部２のデータ送受信モジュール２ｊとの間でデータの受け渡しを行うデータ送受信モジュール３ｊと、操作部２のメモリ２ｆと同一のデータを格納する各種設定パラメータエリア３ｇと共用設定パラメータ格納エリア３ｈとレシピデータ格納エリア３ｉの各エリアを備えたメモリ３ｆと、メモリ３ｆの対応するエリアに格納されたデータを参照して半導体製造装置の制御を行う制御パラメータ展開モジュール３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール３ｃとを備えた構成となっている。
【００１３】
すなわち、図１に示す本発明による半導体製造装置のコントローラ１は、図８に示す従来のコントローラ１１に対して、データ設定モジュール２ｃによって編集されたレシピファイルや各種設定パラメータファイルを保存するデータベース２ｄと、データ表示モジュール２ｂの一覧画面に表示されたファイルより選択された項目によってデータベース２ｄから所望のファイルを検索するファイル検索モジュール（ファイル検索手段）２ｅとが追加された構成となっている。
【００１４】
次に、図１に示すコントローラ１の動作を説明するが、一般的なウェーハの製造プロセスの動作は公知であるので簡単に説明し、本発明で実現したファイル検索モジュール２ｅによるファイル検索の手法について詳細に説明する。操作部２のデータ入力モジュール１２ａからデータを入力すると、これらのデータはデータ表示モジュール２ｂに表示される。さらに、入力されたデータは、データ設定モジュール２ｃによってファイルに編集されてデータベース２ｄへ保存されると共に、メモリ２ｆの各種設定パラメータエリア２ｇと共用設定パラメータ格納エリア２ｈとレシピデータ格納エリア２ｉの各エリアへも格納される。
【００１５】
また、データ表示モジュール２ｂはデータベース２ｄに保存されているファイルの一覧画面を表示することができるので、ファイル検索モジュール２ｅは、一覧画面に表示されたファイルより選択された項目によってデータベース２ｄから所望のファイルを検索することができる。これによって、ユーザが編集したいファイルをデータ表示モジュール２ｂの一覧画面から選択すると、データベース２ｄへ検索情報が送信されるので、ファイル検索モジュール２ｅは、データベース２ｄの中から所望のファイルを検索してデータ表示モジュール２ｂの画面に表示させることができる。
【００１６】
一方、メモリ２ｆの各種設定パラメータエリア２ｇ、共用設定パラメータ格納エリア２ｈ、及びレシピデータ格納エリア２ｉに格納されたデータは、操作部２のデータ送受信モジュール２ｊから、制御部３のデータ送受信モジュール３ｊを介して、メモリ３ｆの各種設定パラメータエリア３ｇ、共用設定パラメータ格納エリア３ｈ、及びレシピデータ格納エリア３ｉへ送信される。従って、制御部３の制御パラメータ展開モジュール３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール３ｃは、メモリ３ｆの対応するエリアに格納されているデータを参照しながら、図示しない半導体製造装置のウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８の制御を行うことができる。これによって、半導体製造装置は製品歩留りの高いウェーハを生産することができる。
【００１７】
次に、操作部２のデータ表示モジュール２ｂがファイルを一覧画面を表示したり、ファイル検索モジュール２ｅがデータベース２ｄから所望のファイルを検索してデータ表示モジュールに表示させる具体的な実施例を説明する。図２は、図１のデータ表示モジュール２ｂが表示するプロセスレシピ、制御テーブルファイルの一覧画面であり、図３は、図２のファイル一覧画面で表示項目のボタンをタッチしたときに切り替わるファイル一覧表示項目選択画面である。また、図４は、図３のファイル一覧表示項目選択画面で選択した項目のファイル一覧検索設定画面であり、図５は、図４のファイル一覧検索設定画面で検索項目を指定して検索ボタンをタッチしたときの検索前のファイル一覧画面であり、図６は、図５の検索前のファイル一覧画面に続く検索終了時のファイル一覧画面である。また、図７は、画面が図２から図６へ推移してファイル検索処理を行うときのフローチャートである。以下、図２から図７を用いてファイル検索処理の流れを説明する。
【００１８】
まず、図２に示すように、プロセスレシピと制御テーブルファイルの一覧画面として、編集日時が“２００２／Ｎｏｖ／１２１５：５１”におけるファイル名“ａ”の画面を表示させる。そして、『ステップＳ１』において、図２のファイル一覧画面で「表示項目」のボタンをタッチすると、ファイル一覧画面に表示させたい全ての選択項目を表示することができる。すなわち、『ステップＳ２』において、図３に示すようなファイル一覧表示項目選択画面が表示されるので、この画面を用いてファイル一覧画面に表示させたい項目を選択する。尚、この画面では複数の項目を選択することもできる。また、図３の画面で表示される項目は、固定項目である「ファイル名」と、選択可能な項目である「編集日時」、「更新カウンタ」、「承認属性」、「実行属性」、「保護属性」、「編集者」、「属性変更日時」、「生成日時」、「トータル時間（レシピのみ）」、「バージョン」、及び「コメント」である。
【００１９】
次に、『ステップＳ３』において、図３の選択項目の中から表示させたい項目を選択することによって選択項目がファイル一覧画面に表示されるので、『ステップＳ４』において、このファイル一覧画面の「検索」ボタンをタッチすると、図４のファイル一覧検索設定画面が表示される。そして、『ステップＳ５』において、図４のファイル一覧検索設定画面で検索したい項目として、例えば「編集者」にチェックを設定し、その下の空欄に検索内容を入力してファイル一覧検索設定画面の「検索」ボタンをタッチすると、検索が開始されて検索項目に対応したファイル一覧画面が表示される。尚、検索可能な項目は、前述の表示可能な項目と同じ項目の「編集日時」、「更新カウンタ」、「承認属性」、「実行属性」、「保護属性」、「編集者」、「属性変更日時」、「生成日時」、「トータル時間（レシピのみ）」、「バージョン」、及び「コメント」である。
【００２０】
図４のファイル一覧検索設定画面で編集者“ａｂｃ”、“ｄｅｆ”のうち、編集者“ｄｅｆ”を検索するために編集者をチェックして“ｄｅｆ”を入力し、「検索」ボタンをタッチすると、『ステップＳ６』において、あらかじめデータベースに登録されているファイル一覧項目の中の検索項目として、例えば、図５に示すような検索開始前のファイル一覧画面が表示される。すなわち、全ての「編集者」として“ａｂｃ”、“ｄｅｆ”が表示されて検索が開始される。そして、『ステップＳ７』において、検索終了時の内容として図６に示すようなファイル一覧画面が表示される。すなわち、図４のファイル一覧検索設定画面で編集者“ｄｅｆ”のみを絞り込んで検索するように入力したので、図６の検索終了時のファイル一覧画面では編集者“ｄｅｆ”が編集を行ったファイルのみが表示される。
【００２１】
以上説明したように、従来の半導体製造装置におけるコントローラは、プロセスレシピや各種制御テーブルをファイルに編集してファイル保存部へ保存した後は、ファイル一覧画面に表示している項目（例えば、ファイル名称、編集日時など）でファイルの検索を行うことができないため、ファイルを一度開いて項目を確認してから編集を行う必要がある。その結果、編集者がファイル生成日時、編集者、コメントなどをキーとして編集する際には操作に手間がかかり、編集作業にかなりの時間を要していた。例えば、５００ファイル分のプロセスレシピファイルをＨＤＤなどのファイル保存部に保存することができるが、ファイル一覧画面の１ページ当には１２ファイルしか表示できないため、編集したいファイルが見つかるまでスクロールバーを用いてスクロールを継続する必要があるので、目視で検索するのには相当の時間が必要である。
【００２２】
しかし、本発明の半導体製造装置によれば、コントローラにファイル項目の選択表示と検索機能を付加したことにより、ファイル一覧画面に表示した全ての項目について検索することができ、しかも、ファイル一覧画面の表示内容を検索結果の内容に変更することができる。例えば、図３のファイル一覧表示項目選択画面で項目の選択を行ってファイル一覧画面に表示させれば、直ちに、図４のファイル一覧検索設定画面に切り替わって図６に示すように所望のファイルの検索を行うことができる。これによって、検索項目をスクロールすることもなく、ワンタッチで所望のファイルの編集を行うことができる。このような検索機能によって、オペレータによるファイル編集の作業量が軽減されると共に、データの設定ミスによる事故発生を抑制することができるので、半導体デバイスの生産性向上に大いに貢献することができる。
【００２３】
以上述べた実施の形態は本発明を説明するための一例であり、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲で種々の変形が可能である。上記の実施の形態では検索項目が編集者である場合について説明したが、ＳＥＭＩ規格で規定されているファイルであれば何れの項目でも上記の実施の形態と同様に検索を行うことができるのは云うまでもない。また、上記の実施の形態では、半導体製造装置におけるコントローラの制御に用いられるプロセスレシピと制御テーブルファイルの検索項目について説明したが、半導体製造装置に限らず、あらゆる分野におけるファイル項目の選択と検索に応用することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集して保存したデータベースから所望の項目に基づいて所望のファイルの自動検索を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。
【図２】図１のデータ表示モジュール２ｂが表示するプロセスレシピ、制御テーブルファイルの一覧画面である。
【図３】図２のファイル一覧画面で表示項目のボタンをタッチしたときに切り替わるファイル一覧表示項目選択画面である。
【図４】図３のファイル一覧表示項目選択画面で選択した項目のファイル一覧検索設定画面である。
【図５】図４のファイル一覧検索設定画面で検索項目を指定して検索ボタンをタッチしたときの検索前のファイル一覧画面である。
【図６】図５の検索前のファイル一覧画面に続く検索終了時のファイル一覧画面である。
【図７】画面が図２から図６へ推移してファイル検索処理を行うときのフローチャートである。
【図８】従来の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。
【符号の説明】
１，１１コントローラ、２，１２操作部、２ａ，１２ａデータ入力モジュール、２ｂ，１２ｂデータ表示モジュール、２ｃ，１２ｃデータ設定モジュール、２ｄデータベース、２ｅファイル検索モジュール（ファイル検索手段）、２ｆ，３ｆ，１４メモリ、２ｇ，３ｇ，１４ａ各種設定パラメータエリア、２ｈ，３ｈ，１４ｂ共用設定パラメータ格納エリア、２ｉ，３ｉ，１４ｃレシピデータ格納エリア、２ｊ，３ｊデータ送受信モジュール、３，１３制御部、３ａ，１３ａ制御パラメータ展開モジュール、３ｂ，１３ｂ共用設定パラメータ展開モジュール、３ｃ，１３ｃレシピシーケンス制御モジュール、４１０ＢａｓｅＴ、５ウェーハ移載機、６ヒータ（反応炉）、７ポンプ・圧力バルブ、８ガス配管・ＭＦＣ、１２ｄファイル保存部。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus provided with a controller for controlling a reactor using various data, and in particular, controls a reactor atmosphere by efficiently searching for a file item of a recipe file or a parameter file. The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus including a controller.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, when a semiconductor wafer (hereinafter, simply referred to as a wafer) is subjected to heat treatment by a semiconductor manufacturing apparatus such as a vertical diffusion CVD apparatus while performing a thin film formation, an impurity doping, and a surface treatment, a controller uses a furnace. Precisely controlling the furnace atmosphere, such as the internal temperature and gas flow rate, improves the product yield of wafers. FIG. 8 is a configuration diagram of a controller mounted on a conventional semiconductor manufacturing apparatus. The controller 11 includes an operation unit 12 for inputting data, a control unit 13 for controlling the semiconductor manufacturing apparatus, and a memory 14 for transferring data between the operation unit 12 and the control unit 13. It has become. When various data are input from the data input module 12a of the operation unit 12, these data are displayed on the data display module 12b. Further, the input data is edited into a file by the data setting module 12c, is stored in the file storage unit 12d, and is also stored in the memory 14. The data display module 12b can also display a list screen of the files stored in the file storage unit 12d.
[0003]
The data input from the operation unit 12 as described above is stored in the various setting parameter areas 14a, the common setting parameter storage area 14b, and the recipe data storage area 14c of the memory 14. Therefore, the control parameter developing module 13a, the common setting parameter developing module 13b, and the recipe sequence control module 13c of the control unit 13 refer to the data stored in the corresponding area of the memory 14 and The heater (reactor) 6, the pump / pressure valve 7, and the gas piping / MFC 8 can be controlled. As a result, the semiconductor manufacturing apparatus can produce a wafer with a high product yield.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the controller 11 mounted on a semiconductor manufacturing apparatus such as a conventional vertical diffusion CVD apparatus edits a process recipe, various control tables, and the like by using the operation unit 12 and saves the data as a file in the file storage unit 12d, and then displays the data. Although the files can be sorted on the file list screen of the module 12b so that the editor can easily edit them, the files are sorted based on the items (for example, the file name and the edit date and time) displayed on the file list screen of the data display module 12b. Cannot search for files. That is, since the operation unit 12 of the controller 11 does not have a file search function, it is necessary to open the file once by the data display module 12b and check each item, and then perform desired editing by the data setting module 12c. Therefore, since the editor must visually search for the desired file using the file creation date, editor name, comment, etc. as a key, and then edit the file, the operation of editing the file is troublesome, and the editing work is considerably long. Takes time.
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and after a process recipe or a control table is edited into a file and stored in a database, the database file can be searched based on desired items. The purpose is to do.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention includes a database in which a recipe file and various setting parameter files are stored, and a search unit that searches the database for a corresponding file based on a selected search item. In semiconductor manufacturing equipment,
The file search means has a function of searching a file of a predetermined item having an attribute related to a manufacturing process of a semiconductor device from the database.
In the embodiment, in a semiconductor manufacturing apparatus having a controller for controlling a reaction furnace by displaying a file on which various data are described on a screen, a recipe file and various setting parameter files edited based on various data are provided. And a file search unit for searching a corresponding file from the database based on an item selected from the file displayed on the file list screen, wherein the file search unit has an attribute related to a semiconductor device manufacturing process. Is retrieved from the database and displayed on the file list screen.
[0007]
According to the semiconductor manufacturing apparatus of the present invention, the search unit searches the database for items having attributes related to the manufacturing process of the semiconductor device, such as file names, edit dates and times, file creation dates and times, editor names, and comments from the database. Searched and displayed on the file list screen. As a result, the user can immediately switch to the file search screen and search for the desired file with one touch without searching for the desired file while scrolling through a large number of files displayed on the file list screen. Therefore, the amount of file editing work by the operator is reduced, and data setting errors and the like are reduced, so that the productivity of semiconductor devices is further improved.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
According to the present invention, when a recipe file or a parameter file used in a manufacturing process of a semiconductor manufacturing apparatus is searched, a SEMI (Semiconductor Equipment and Material International) standard (that is, a SEMI Human Interface Standard ForemanDanceDanceDuct. ) Is selected and displayed on the file list screen, and further, a desired file can be searched by specifying the selected item.
[0009]
That is, the semiconductor manufacturing apparatus of the present invention stores a file in which a process recipe or a control table is edited in a database such as an HDD, and then stores a file name, an editing date and time, a file generation date and time, an editor name, and the like defined by the SEMI standard. In addition, items such as comments and the like are displayed on the file list screen, and a controller having a function of searching for a file with respect to the displayed items is mounted.
[0010]
Hereinafter, embodiments of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a controller mounted on a semiconductor manufacturing apparatus of the present invention. The controller 1 includes an operation unit 2 for inputting data for controlling the atmosphere in the furnace of the semiconductor manufacturing apparatus and performing a predetermined operation, and a control unit for controlling the inside of the furnace of the semiconductor manufacturing apparatus based on the input data. 3 is connected to the LAN by 10BaseT4. Further, a control signal line is connected from the control unit 3 to a wafer transfer machine 5, a heater (reactor) 6, a pump / pressure valve 7, and a gas pipe / MFC 8 of a semiconductor manufacturing apparatus (not shown).
[0011]
The operation unit 2 includes a data input module 2a for inputting data, a data display module 2b for displaying input data and displaying a file list screen, and a data setting module 2c for editing input data into a file. A database 2d for storing a file edited by the data setting module 2c, a file search module 2e for searching a corresponding file from the database 2d according to a file selection item displayed on the list screen of the data display module 2b, It comprises a memory 2f for storing data input via the module 2c, and a data transmitting / receiving module 2j for transferring data stored in the memory 2f with the control unit 3. The memory 2f has various setting parameter areas 2g, a common setting parameter storage area 2h, and a recipe data storage area 2i.
[0012]
The control unit 3 includes a data transmission / reception module 3j that exchanges data with the data transmission / reception module 2j of the operation unit 2, various setting parameter areas 3g storing the same data as the memory 2f of the operation unit 2, and a common setting parameter. A memory 3f including a storage area 3h and a recipe data storage area 3i, a control parameter expansion module 3a for controlling a semiconductor manufacturing apparatus with reference to data stored in a corresponding area of the memory 3f, a common setting parameter The configuration includes an expansion module 3b and a recipe sequence control module 3c.
[0013]
That is, the controller 1 of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention shown in FIG. 1 is different from the conventional controller 11 shown in FIG. 8 in that a database 2d for storing a recipe file edited by the data setting module 2c and various setting parameter files. And a file search module (file search means) 2e for searching a desired file from the database 2d according to an item selected from the files displayed on the list screen of the data display module 2b.
[0014]
Next, the operation of the controller 1 shown in FIG. 1 will be described. Since the operation of a general wafer manufacturing process is well known, the operation will be briefly described, and a method of file search by the file search module 2e realized by the present invention will be described. This will be described in detail. When data is input from the data input module 12a of the operation unit 2, these data are displayed on the data display module 2b. Further, the input data is edited into a file by the data setting module 2c and stored in the database 2d, and various setting parameter areas 2g, a common setting parameter storage area 2h, and a recipe data storage area 2i of the memory 2f are stored. Is also stored.
[0015]
Further, since the data display module 2b can display a list screen of the files stored in the database 2d, the file search module 2e can display a desired file from the database 2d based on the item selected from the file displayed on the list screen. You can search for files. As a result, when the user selects a file to be edited from the list screen of the data display module 2b, the search information is transmitted to the database 2d. Therefore, the file search module 2e searches for the desired file from the database 2d and retrieves the data. It can be displayed on the screen of the display module 2b.
[0016]
On the other hand, data stored in the various setting parameter area 2g, the common setting parameter storage area 2h, and the recipe data storage area 2i of the memory 2f are transmitted from the data transmission / reception module 2j of the operation unit 2 to the data transmission / reception module 3j of the control unit 3. Through this, it is transmitted to the various setting parameter area 3g, the common setting parameter storage area 3h, and the recipe data storage area 3i of the memory 3f. Therefore, the control parameter expansion module 3a, the common setting parameter expansion module 3b, and the recipe sequence control module 3c of the control unit 3 refer to the data stored in the corresponding area of the memory 3f and operate the semiconductor manufacturing apparatus (not shown). The wafer transfer machine 5, the heater (reactor) 6, the pump / pressure valve 7, and the gas pipe / MFC 8 can be controlled. As a result, the semiconductor manufacturing apparatus can produce a wafer with a high product yield.
[0017]
Next, a specific embodiment will be described in which the data display module 2b of the operation unit 2 displays a file list screen, or the file search module 2e searches for a desired file from the database 2d and displays it on the data display module. . FIG. 2 is a list screen of a process recipe and a control table file displayed by the data display module 2b of FIG. 1, and FIG. It is an item selection screen. FIG. 4 is a file list search setting screen of an item selected on the file list display item selection screen of FIG. 3, and FIG. 5 is a file list search setting screen of FIG. FIG. 6 shows a file list screen at the end of the search following the file list screen before the search in FIG. 5 when touched. FIG. 7 is a flowchart when the screen changes from FIG. 2 to FIG. 6 to perform the file search process. Hereinafter, the flow of the file search process will be described with reference to FIGS.
[0018]
First, as shown in FIG. 2, as a list screen of the process recipe and the control table file, a screen with the file name “a” with the editing date and time “2002 / Nov / 12 15:51” is displayed. Then, in "Step S1", when the "display item" button is touched on the file list screen of FIG. 2, all the selection items to be displayed on the file list screen can be displayed. That is, in "Step S2", a file list display item selection screen as shown in FIG. 3 is displayed, and an item to be displayed on the file list screen is selected using this screen. In this screen, a plurality of items can be selected. The items displayed on the screen of FIG. 3 include a fixed item “file name” and selectable items “edit date / time”, “update counter”, “approval attribute”, “execution attribute”, “ “Protection attribute”, “editor”, “attribute change date and time”, “generation date and time”, “total time (only recipe)”, “version”, and “comment”.
[0019]
Next, in "Step S3", the selected item is displayed on the file list screen by selecting an item to be displayed from the selection items in FIG. 3, so that in "Step S4", " When the "Search" button is touched, a file list search setting screen shown in FIG. 4 is displayed. Then, in “Step S5”, for example, a check is set to “Editor” as an item to be searched on the file list search setting screen in FIG. When the “search” button is touched, the search is started and a file list screen corresponding to the search item is displayed. Note that the searchable items are the same as the above-mentioned displayable items, such as “edit date and time”, “update counter”, “approval attribute”, “execution attribute”, “protection attribute”, “editor”, “attribute”. “Change date and time”, “generation date and time”, “total time (only recipe)”, “version”, and “comment”.
[0020]
In the file list search setting screen of FIG. 4, among the editors "abc" and "def", check the editor to search for the editor "def", enter "def", and touch the "Search" button Then, in “Step S6”, for example, a file list screen before the start of search as shown in FIG. 5 is displayed as a search item in the file list items registered in the database in advance. That is, “abc” and “def” are displayed as all “editors”, and the search is started. Then, in "Step S7", a file list screen as shown in FIG. 6 is displayed as the content at the end of the search. That is, in the file list search setting screen of FIG. 4, only the editor “def” is input to narrow down the search, and the file edited by the editor “def” is displayed on the file list screen at the end of the search in FIG. Only is displayed.
[0021]
As described above, the controller in the conventional semiconductor manufacturing apparatus edits the process recipe and various control tables into a file, saves the file in the file storage unit, and then displays the items displayed on the file list screen (for example, the file name). , Edit date, etc.), it is necessary to open the file once, check the items, and then edit. As a result, when the editor edits using the file generation date and time, the editor, the comment, and the like as keys, the operation is troublesome, and the editing operation requires a considerable amount of time. For example, a process recipe file for 500 files can be stored in a file storage unit such as an HDD. However, since only 12 files can be displayed per page of the file list screen, a scroll bar is used until a file to be edited is found. Since it is necessary to continue scrolling, it takes a considerable amount of time to visually search.
[0022]
However, according to the semiconductor manufacturing apparatus of the present invention, all the items displayed on the file list screen can be searched by adding the selection display and search function of the file item to the controller. The display content can be changed to the content of the search result. For example, if an item is selected on the file list display item selection screen of FIG. 3 and displayed on the file list screen, the screen is immediately switched to the file list search setting screen of FIG. Search can be performed. Thus, a desired file can be edited with one touch without scrolling the search items. Such a search function can reduce the amount of file editing work performed by the operator and can suppress the occurrence of accidents due to data setting errors, thereby greatly contributing to the improvement in the productivity of semiconductor devices.
[0023]
The embodiment described above is an example for describing the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible within the scope of the invention. In the above embodiment, the case where the search item is the editor has been described. However, as long as the file is specified by the SEMI standard, any item can be searched in the same manner as in the above embodiment. Needless to say. Further, in the above-described embodiment, the search items of the process recipe and the control table file used for controlling the controller in the semiconductor manufacturing apparatus have been described. Can be applied.
[0024]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the present invention, it is possible to perform an automatic search for a desired file based on a desired item from a database in which a process recipe and a control table are edited and stored in a file. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a controller mounted on a semiconductor manufacturing apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a list screen of a process recipe and a control table file displayed by a data display module 2b of FIG. 1;
FIG. 3 is a file list display item selection screen that is switched when a display item button is touched on the file list screen of FIG. 2;
FIG. 4 is a file list search setting screen of an item selected on the file list display item selection screen of FIG. 3;
FIG. 5 is a file list screen before searching when a search item is specified and a search button is touched on the file list search setting screen in FIG. 4;
FIG. 6 is a file list screen at the end of the search following the file list screen before the search in FIG. 5;
FIG. 7 is a flowchart when the screen changes from FIG. 2 to FIG. 6 to perform a file search process.
FIG. 8 is a configuration diagram of a controller mounted on a conventional semiconductor manufacturing apparatus.
[Explanation of symbols]
1, 11 controller, 2, 12 operation unit, 2a, 12a data input module, 2b, 12b data display module, 2c, 12c data setting module, 2d database, 2e file search module (file search means), 2f, 3f, 14 Memory, 2g, 3g, 14a Various setting parameter areas, 2h, 3h, 14b Shared setting parameter storage area, 2i, 3i, 14c Recipe data storage area, 2j, 3j Data transmission / reception module, 3, 13 control unit, 3a, 13a control Parameter expansion module, 3b, 13b Shared setting parameter expansion module, 3c, 13c Recipe sequence control module, 4 10BaseT, 5 wafer transfer machine, 6 heater (reactor), 7 pump / pressure valve, 8 gas piping / MFC, 12d H Yl storage unit.

Claims

レシピファイルおよび各種設定パラメータファイルが格納されたデータベースと選択された検索項目により前記データベースから対応する前記ファイルを検索する検索手段を具備した半導体製造装置において、
前記ファイル検索手段が、前記ファイルの変更履歴に関わる属性を有する所定の項目を検査項目とし表示するとともに、前記ファイルを前記データベースから検索する機能を有することを特徴とする半導体製造装置。A semiconductor manufacturing apparatus comprising: a database in which a recipe file and various setting parameter files are stored; and a search unit configured to search the database for a corresponding file based on a selected search item.
A semiconductor manufacturing apparatus, wherein the file search means displays a predetermined item having an attribute related to a change history of the file as an inspection item, and has a function of searching for the file from the database.