JPH11324294A - 二重床室の防振装置 - Google Patents
二重床室の防振装置Info
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- JPH11324294A JPH11324294A JP13697398A JP13697398A JPH11324294A JP H11324294 A JPH11324294 A JP H11324294A JP 13697398 A JP13697398 A JP 13697398A JP 13697398 A JP13697398 A JP 13697398A JP H11324294 A JPH11324294 A JP H11324294A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業員の通行等による雑振動を実用上充分な
程度に吸収除去することができる簡易な構造の二重床室
の防振装置を提供することにある。 【解決手段】 床スラブ2に立設される柱7間に架設さ
れた大梁9と、その間に架設された小梁11とで構成さ
れる格子上に根太13及び束14を介して床パネル15
bを載置したフリーアクセス式床構造において、根太1
3又は梁11の上に制振シート21を載置し、その制振
シート21上に周囲の床パネル15から切り離して、嫌
振機器設置用の制振架台としてプレキャストコンクリー
ト床版23または鋼製枠床版を載せた構成とする。
程度に吸収除去することができる簡易な構造の二重床室
の防振装置を提供することにある。 【解決手段】 床スラブ2に立設される柱7間に架設さ
れた大梁9と、その間に架設された小梁11とで構成さ
れる格子上に根太13及び束14を介して床パネル15
bを載置したフリーアクセス式床構造において、根太1
3又は梁11の上に制振シート21を載置し、その制振
シート21上に周囲の床パネル15から切り離して、嫌
振機器設置用の制振架台としてプレキャストコンクリー
ト床版23または鋼製枠床版を載せた構成とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密機械やIC等
の生産工場に採用されるクリーンルーム等の二重床室
に、振動を嫌う精密機器類を設置するための防振装置に
関するものである。
の生産工場に採用されるクリーンルーム等の二重床室
に、振動を嫌う精密機器類を設置するための防振装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、精密機械やIC等の生産工場、
あるいは先端研究施設などのクリーンルームには、フリ
ーアクセス式の二重床構造が採用されている。
あるいは先端研究施設などのクリーンルームには、フリ
ーアクセス式の二重床構造が採用されている。
【0003】このクリーンルームにおいては、LSIの
縮小露光装置や電子顕微鏡といった振動を嫌う精密機器
(嫌振機器)を扱う必要があることから、フリーアクセ
ス式の二重床構造においても、嫌振機器が微振動を受け
ないような対策が必要になる。
縮小露光装置や電子顕微鏡といった振動を嫌う精密機器
(嫌振機器)を扱う必要があることから、フリーアクセ
ス式の二重床構造においても、嫌振機器が微振動を受け
ないような対策が必要になる。
【0004】図8に、従来のフリーアクセス式の二重床
構造と嫌振機器の配設方法を示す。二重床構造体とし
て、RC床スラブ2上に主柱7,7が所定スパンで立設
されると共に、この主柱7,7間に大梁9,9が平行に
架設され、かつ大梁9,9間に小梁11,11が大梁
9,9と直交する方向に適宜ピッチで平行に架設されて
いる。さらに、この大梁9,9及び小梁11,11で構
成される格子上には、複数本の根太13,13が所定ピ
ッチで平行に架設され、それら根太13,13上にはそ
れぞれ高さ調整可能な束14,14が立設されている。
そして、これらの束14,14の上に、多数枚の床パネ
ル(フリーアクセスパネル)15a,15bが載置され
てクリーンルーム1のフリーアクセス式床16が構成さ
れている。各床パネル15a,15bの四隅の下に束1
4が配置され、1本の支柱に4枚の床パネル1の四隅が
載置される。
構造と嫌振機器の配設方法を示す。二重床構造体とし
て、RC床スラブ2上に主柱7,7が所定スパンで立設
されると共に、この主柱7,7間に大梁9,9が平行に
架設され、かつ大梁9,9間に小梁11,11が大梁
9,9と直交する方向に適宜ピッチで平行に架設されて
いる。さらに、この大梁9,9及び小梁11,11で構
成される格子上には、複数本の根太13,13が所定ピ
ッチで平行に架設され、それら根太13,13上にはそ
れぞれ高さ調整可能な束14,14が立設されている。
そして、これらの束14,14の上に、多数枚の床パネ
ル(フリーアクセスパネル)15a,15bが載置され
てクリーンルーム1のフリーアクセス式床16が構成さ
れている。各床パネル15a,15bの四隅の下に束1
4が配置され、1本の支柱に4枚の床パネル1の四隅が
載置される。
【0005】このように構成された二重床の隙間、即ち
鉄骨梁9,11とフリーアクセス式床16間の空間に
は、ケーブルや配管などが配設される。嫌振機器40
は、図8に点線で示唆するように、フリーアクセス式床
16の上に、そのうちの複数枚分の床パネル15aから
成る面規模を占める形で載置される。なお図8では計9
枚分の床パネル15aのエリアを嫌振機器40が占拠す
るように描いてある。
鉄骨梁9,11とフリーアクセス式床16間の空間に
は、ケーブルや配管などが配設される。嫌振機器40
は、図8に点線で示唆するように、フリーアクセス式床
16の上に、そのうちの複数枚分の床パネル15aから
成る面規模を占める形で載置される。なお図8では計9
枚分の床パネル15aのエリアを嫌振機器40が占拠す
るように描いてある。
【0006】しかし、上記のフリーアクセス式床構造で
は、嫌振機器40の載置部分とその周囲の床部分を絶縁
することができず、このため嫌振機器40に雑振動が入
力されてしまうことを避け難かった。即ち、図8のよう
に床パネル15a上に嫌振機器40を設置した場合、そ
の周囲の床パネル15b上を人が歩いたりすると、その
微振動が、床パネル15bから床パネル15aに、ある
いは床パネル15b→束14の台座14a→床パネル1
5aへと伝わり、嫌振機器40にも振動が伝わる結果、
嫌振機器40の動作や機能に支障を来す虞がある。
は、嫌振機器40の載置部分とその周囲の床部分を絶縁
することができず、このため嫌振機器40に雑振動が入
力されてしまうことを避け難かった。即ち、図8のよう
に床パネル15a上に嫌振機器40を設置した場合、そ
の周囲の床パネル15b上を人が歩いたりすると、その
微振動が、床パネル15bから床パネル15aに、ある
いは床パネル15b→束14の台座14a→床パネル1
5aへと伝わり、嫌振機器40にも振動が伝わる結果、
嫌振機器40の動作や機能に支障を来す虞がある。
【0007】この点に関しては、大規模な二重床の除振
を行って、電子顕微鏡等の極端に振動を嫌う嫌振機器等
に対し充分な免振作用が得られるようにした床構造が、
本出願人より提案され、既に公知となっている(特開平
9−195556号公報)。当該提案の免振床構造は、
床面の一部に根太,床パネルまたは小梁を除去して開口
を形成する一方、RC床スラブの床面上に免振装置を介
してワッフルスラブを設置し、該ワッフルスラブ上に載
置されて前記開口を通してフリーアクセス床の床レベル
とほぼ同じレベルに設定される嫌振機器設置用の免振架
台を設け、前記大梁,小梁,根太及び床パネルからなる
第1の振動系と、前記スラブ及び嫌振機器設置用免振架
台からなる第2の振動系とを絶縁するようにしたもので
ある。
を行って、電子顕微鏡等の極端に振動を嫌う嫌振機器等
に対し充分な免振作用が得られるようにした床構造が、
本出願人より提案され、既に公知となっている(特開平
9−195556号公報)。当該提案の免振床構造は、
床面の一部に根太,床パネルまたは小梁を除去して開口
を形成する一方、RC床スラブの床面上に免振装置を介
してワッフルスラブを設置し、該ワッフルスラブ上に載
置されて前記開口を通してフリーアクセス床の床レベル
とほぼ同じレベルに設定される嫌振機器設置用の免振架
台を設け、前記大梁,小梁,根太及び床パネルからなる
第1の振動系と、前記スラブ及び嫌振機器設置用免振架
台からなる第2の振動系とを絶縁するようにしたもので
ある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
免振床構造は、電子顕微鏡等で極端に振動を嫌う機器等
の設置に対しても有効に作用させることが目的であるた
め、大がかりで本格的かつ複雑な構造となっており、工
事期間が長くかかるという問題がある。
免振床構造は、電子顕微鏡等で極端に振動を嫌う機器等
の設置に対しても有効に作用させることが目的であるた
め、大がかりで本格的かつ複雑な構造となっており、工
事期間が長くかかるという問題がある。
【0009】一方、簡易な防振構造として、従来、根太
との大型サイズのH型鋼やI型鋼を採用し、フリーアク
セス床の束をブレースで補強したりしているが、重量が
増加して二重構造体の補強も必要となる。また束のブレ
ース材が二方向に必要なためパネル下が乱雑となって配
線、配管が難しくなる。更に、精密嫌振機器の載置部分
とその周囲の床部分とを絶縁(切り離し)しない方法で
あるため、雑振動を十分に除去することができない。ま
た、束や根太の補強対策は、工事中の埃汚染や溶接等に
より化学物質汚染が有るため、稼働中のクリーンルーム
で行うことは避けなければならない、といった課題があ
った。
との大型サイズのH型鋼やI型鋼を採用し、フリーアク
セス床の束をブレースで補強したりしているが、重量が
増加して二重構造体の補強も必要となる。また束のブレ
ース材が二方向に必要なためパネル下が乱雑となって配
線、配管が難しくなる。更に、精密嫌振機器の載置部分
とその周囲の床部分とを絶縁(切り離し)しない方法で
あるため、雑振動を十分に除去することができない。ま
た、束や根太の補強対策は、工事中の埃汚染や溶接等に
より化学物質汚染が有るため、稼働中のクリーンルーム
で行うことは避けなければならない、といった課題があ
った。
【0010】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、より簡易に構築することができ、かつ、作業員の通
行時における微振動を実用上充分な程度に吸収除去する
ことができる二重床室の防振装置を提供することにあ
る。
し、より簡易に構築することができ、かつ、作業員の通
行時における微振動を実用上充分な程度に吸収除去する
ことができる二重床室の防振装置を提供することにあ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、床スラブに立設される柱間に架設された梁
上に根太及び束を介して床パネルが載置される二重床室
に設置する防振装置において、床面の下部の根太又は梁
上に制振シートを載置し、該制振シート上に周囲の床パ
ネルと切り離して嫌振機器設置用のプレキャストコンク
リート床版または鋼製枠床版を載せる構成とする(請求
項1)。
本発明では、床スラブに立設される柱間に架設された梁
上に根太及び束を介して床パネルが載置される二重床室
に設置する防振装置において、床面の下部の根太又は梁
上に制振シートを載置し、該制振シート上に周囲の床パ
ネルと切り離して嫌振機器設置用のプレキャストコンク
リート床版または鋼製枠床版を載せる構成とする(請求
項1)。
【0012】制振架台としてのプレキャストコンクリー
ト床版または鋼製枠床版は、周囲の床パネルからは切り
放されて絶縁されているため、周辺の床パネルで発生す
る雑振動が直接制振架台(プレキャスト床版または鋼製
枠床版)に伝わることがなく、その雑振動は束や根太を
介して伝達されることになるが、当該制振架台は制振シ
ートを介して梁上に支持され、かつ重量があるから、そ
の振動は極めて小さくなり、実用上充分な防振効果を発
揮し得る。
ト床版または鋼製枠床版は、周囲の床パネルからは切り
放されて絶縁されているため、周辺の床パネルで発生す
る雑振動が直接制振架台(プレキャスト床版または鋼製
枠床版)に伝わることがなく、その雑振動は束や根太を
介して伝達されることになるが、当該制振架台は制振シ
ートを介して梁上に支持され、かつ重量があるから、そ
の振動は極めて小さくなり、実用上充分な防振効果を発
揮し得る。
【0013】また、プレキャストコンクリート床版また
は鋼製枠床版で制振架台を構成しているため、制振架台
それ自体の構造が簡単である。プレキャストコンクリー
ト床版や鋼製枠床版は、小ブロックに分割して搬入する
ことにより、稼働中のクリーンルームでも施工すること
ができ、工期・工費の節約ができる。また、防振機構
は、プレキャストコンクリート床版を制振シートで支持
する形式であるため、その防振構造も簡単である。
は鋼製枠床版で制振架台を構成しているため、制振架台
それ自体の構造が簡単である。プレキャストコンクリー
ト床版や鋼製枠床版は、小ブロックに分割して搬入する
ことにより、稼働中のクリーンルームでも施工すること
ができ、工期・工費の節約ができる。また、防振機構
は、プレキャストコンクリート床版を制振シートで支持
する形式であるため、その防振構造も簡単である。
【0014】上記制振シートとしては、微振動の吸収が
できるように、高減衰ゴムパッドを用いるとよい(請求
項2)。
できるように、高減衰ゴムパッドを用いるとよい(請求
項2)。
【0015】また、上記請求項1記載のプレキャストコ
ンクリート床版または鋼製枠床版の上にさらに免震装置
を取り付け、またその上にさらに除振装置を取り付ける
3段構成とすると(請求項3)、地震などの外から伝わ
る大きな水平加速度振動を遮断することができる。
ンクリート床版または鋼製枠床版の上にさらに免震装置
を取り付け、またその上にさらに除振装置を取り付ける
3段構成とすると(請求項3)、地震などの外から伝わ
る大きな水平加速度振動を遮断することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態に
基づいて説明する。図1は、本発明にかかる二重床室の
防振装置をクリーンルームのフリーアクセス式床構造に
適用した場合の好適な実施形態を示している。
基づいて説明する。図1は、本発明にかかる二重床室の
防振装置をクリーンルームのフリーアクセス式床構造に
適用した場合の好適な実施形態を示している。
【0017】1は床パネル15bを束14で支持して構
成したフリーアクセス式床16を持つクリーンルーム
で、ルーム1内の空気は、フリーアクセス式床16の床
面を通して床下のリタンチャンバ5に流通される。
成したフリーアクセス式床16を持つクリーンルーム
で、ルーム1内の空気は、フリーアクセス式床16の床
面を通して床下のリタンチャンバ5に流通される。
【0018】前述した従来のフリーアクセス式の床構造
(図8)と同様に、二重床構造体として、RC床スラブ
2上に主柱7,7が所定スパンで立設されると共に、こ
の主柱7,7間に大梁9,9が平行に架設され、かつ大
梁9,9間に小梁11,11が大梁9,9と直交する方
向に適宜ピッチで平行に架設されている。さらに、この
大梁9,9及び小梁11,11で構成される格子上に
は、複数本の根太13,13が所定ピッチで平行に架設
され、それら根太13,13上にはそれぞれ高さ調整可
能な束14,14が立設されている。そして、これらの
束14,14の上に、多数枚の床パネル15bが載置さ
れてクリーンルーム1のフリーアクセス式床16が構成
されている。各床パネル15bの四隅の下に束14が配
置され、1本の支柱に4枚の床パネル1の四隅が載置さ
れる。このように構成された二重床の隙間、即ち梁9,
11とフリーアクセス式床16間の空間には、ケーブル
や配管などが配設される。
(図8)と同様に、二重床構造体として、RC床スラブ
2上に主柱7,7が所定スパンで立設されると共に、こ
の主柱7,7間に大梁9,9が平行に架設され、かつ大
梁9,9間に小梁11,11が大梁9,9と直交する方
向に適宜ピッチで平行に架設されている。さらに、この
大梁9,9及び小梁11,11で構成される格子上に
は、複数本の根太13,13が所定ピッチで平行に架設
され、それら根太13,13上にはそれぞれ高さ調整可
能な束14,14が立設されている。そして、これらの
束14,14の上に、多数枚の床パネル15bが載置さ
れてクリーンルーム1のフリーアクセス式床16が構成
されている。各床パネル15bの四隅の下に束14が配
置され、1本の支柱に4枚の床パネル1の四隅が載置さ
れる。このように構成された二重床の隙間、即ち梁9,
11とフリーアクセス式床16間の空間には、ケーブル
や配管などが配設される。
【0019】フリーアクセス式床16の床面の一部に
は、床パネル、根太及び小梁が除去されて開口17が形
成されている。この開口17の大きさは、図示の例では
計9枚分の床パネルを除去した正方形のエリアとして描
いてあるが、これに限られるものではなく、所要の大き
さの開口とすることができる。
は、床パネル、根太及び小梁が除去されて開口17が形
成されている。この開口17の大きさは、図示の例では
計9枚分の床パネルを除去した正方形のエリアとして描
いてあるが、これに限られるものではなく、所要の大き
さの開口とすることができる。
【0020】この開口17内において、鉄骨梁11の上
に周囲の床パネル15bと切り離して、適数個の制振シ
ート21が載置され、更に、開口17内において、この
制振シート21上に、周囲の床パネル15bと切り離し
て、嫌振機器設置用のプレキャストコンクリート床版2
3が載置されている。このプレキャストコンクリート床
版23と、これを支える制振シート21と、開口17に
おける隙間とによって、制振架台20が構成される。
に周囲の床パネル15bと切り離して、適数個の制振シ
ート21が載置され、更に、開口17内において、この
制振シート21上に、周囲の床パネル15bと切り離し
て、嫌振機器設置用のプレキャストコンクリート床版2
3が載置されている。このプレキャストコンクリート床
版23と、これを支える制振シート21と、開口17に
おける隙間とによって、制振架台20が構成される。
【0021】プレキャストコンクリート床版23は、そ
の上に載置する嫌振機器40の制振架台として機能する
もので、フリーアクセス式床16と束14の高さのスペ
ースを利用して、周囲の床パネル15と切り離され絶縁
された状態で開口17内に配設される。その際、プレキ
ャストコンクリート床版23の厚味は、その上面が、周
囲の床パネル15bの床面レベルとほぼ一致するように
設定される。
の上に載置する嫌振機器40の制振架台として機能する
もので、フリーアクセス式床16と束14の高さのスペ
ースを利用して、周囲の床パネル15と切り離され絶縁
された状態で開口17内に配設される。その際、プレキ
ャストコンクリート床版23の厚味は、その上面が、周
囲の床パネル15bの床面レベルとほぼ一致するように
設定される。
【0022】また、制振シート21は、このコンクリー
ト床版23への微振動を吸収するようにするためのもの
であり、この例では高周波振動を伝えない高減衰ゴムパ
ッドが用いられている。このプレキャストコンクリート
床版23からなる制振架台20の上には、図1に点線で
示唆するように、振動を嫌う精密機器等の嫌振機器40
が設置される。
ト床版23への微振動を吸収するようにするためのもの
であり、この例では高周波振動を伝えない高減衰ゴムパ
ッドが用いられている。このプレキャストコンクリート
床版23からなる制振架台20の上には、図1に点線で
示唆するように、振動を嫌う精密機器等の嫌振機器40
が設置される。
【0023】上記構造によれば、制振架台20としての
プレキャストコンクリート床版23は、周囲の床パネル
15bから切り放され、かつ、制振シート21により下
から支持された状態となるため、周囲の床パネル15b
で発生する雑振動が取り除かれる。即ち、プレキャスト
コンクリート床版23は、周囲の床パネル15bからは
切り放されて絶縁されているため、その周囲の床パネル
15bで発生する雑振動が直接プレキャスト床版23に
伝わることがなく、その雑振動は束14や根太13を介
して伝達されることになるが、当該プレキャスト床版2
3は制振シート21を介して梁9,11上に支持され、
かつ重量があるから、その振動は極めて小さくなる。従
って、精密機器等の嫌振機器40を設置するための振動
環境が改善され、実用上充分な防振効果を発揮させるこ
とができる。
プレキャストコンクリート床版23は、周囲の床パネル
15bから切り放され、かつ、制振シート21により下
から支持された状態となるため、周囲の床パネル15b
で発生する雑振動が取り除かれる。即ち、プレキャスト
コンクリート床版23は、周囲の床パネル15bからは
切り放されて絶縁されているため、その周囲の床パネル
15bで発生する雑振動が直接プレキャスト床版23に
伝わることがなく、その雑振動は束14や根太13を介
して伝達されることになるが、当該プレキャスト床版2
3は制振シート21を介して梁9,11上に支持され、
かつ重量があるから、その振動は極めて小さくなる。従
って、精密機器等の嫌振機器40を設置するための振動
環境が改善され、実用上充分な防振効果を発揮させるこ
とができる。
【0024】図5〜図7に、上記の防振効果について、
嫌振機器40の振動をX,Y,Z方向の成分について解
析したフーリエスペクトルを示す。図中、太線がプレキ
ャストコンクリート床版23を設置した本実施形態の場
合であり、細線はこれを設置する前の従来の形態のもの
である。両者の比較から判るように、この防振効果は実
用上充分なものであり、束や根太の補強対策よりも大き
く、除振性能は良くなる。
嫌振機器40の振動をX,Y,Z方向の成分について解
析したフーリエスペクトルを示す。図中、太線がプレキ
ャストコンクリート床版23を設置した本実施形態の場
合であり、細線はこれを設置する前の従来の形態のもの
である。両者の比較から判るように、この防振効果は実
用上充分なものであり、束や根太の補強対策よりも大き
く、除振性能は良くなる。
【0025】上記プレキャストコンクリート床版23
は、例えば1m×2m等のより面積の小さな床板ブロッ
クに分割して搬入し、その後繋ぎ合わせて大きな面積の
ものにすることにより、稼働中のクリーンルームでも容
易に施工することができ、工期・工費の節約ができる。
は、例えば1m×2m等のより面積の小さな床板ブロッ
クに分割して搬入し、その後繋ぎ合わせて大きな面積の
ものにすることにより、稼働中のクリーンルームでも容
易に施工することができ、工期・工費の節約ができる。
【0026】図2に、このコンクリート床板23を1m
×2mの床板ブロック24に分割して搬入する形態を示
す。この場合には、図示するように、床板ブロック24
の四周に接合金物25を埋め込んでその一部を露出させ
ておき、現場でステンレスボルト26等の固定手段によ
り床板ブロック24,24間を固定する。その後、無収
縮モルタル27を両床板ブロック24,24間の隙間に
充填して埋め、一体化されたコンクリート床板23にす
る。
×2mの床板ブロック24に分割して搬入する形態を示
す。この場合には、図示するように、床板ブロック24
の四周に接合金物25を埋め込んでその一部を露出させ
ておき、現場でステンレスボルト26等の固定手段によ
り床板ブロック24,24間を固定する。その後、無収
縮モルタル27を両床板ブロック24,24間の隙間に
充填して埋め、一体化されたコンクリート床板23にす
る。
【0027】また、コンクリート材料の化学汚染、例え
ば薬品がこぼれる可能性が問題となる場合には、図2に
示すように、コンクリート床板23の上面側と下面側の
両面にそれぞれステンレス板28を張り付けて、コンク
リートを密閉する。
ば薬品がこぼれる可能性が問題となる場合には、図2に
示すように、コンクリート床板23の上面側と下面側の
両面にそれぞれステンレス板28を張り付けて、コンク
リートを密閉する。
【0028】上記実施形態では、床面の一部に床パネ
ル、束及び根太を除去して開口17を形成し、該開口1
7内で鉄骨梁11の上に制振シート21を載置したが、
該開口17内に根太は残してその上に、周囲の床パネル
15bと切り離して制振シート21を載置し、その制振
シート21上に周囲の床パネル15bと切り離して嫌振
機器設置用のプレキャストコンクリート床版23を載
せ、そのプレキャストコンクリート床版23の上面を周
囲の床パネル15bの床面レベルとほぼ一致させた構成
とすることもできる。
ル、束及び根太を除去して開口17を形成し、該開口1
7内で鉄骨梁11の上に制振シート21を載置したが、
該開口17内に根太は残してその上に、周囲の床パネル
15bと切り離して制振シート21を載置し、その制振
シート21上に周囲の床パネル15bと切り離して嫌振
機器設置用のプレキャストコンクリート床版23を載
せ、そのプレキャストコンクリート床版23の上面を周
囲の床パネル15bの床面レベルとほぼ一致させた構成
とすることもできる。
【0029】また図3に示すように、根太13のみを有
して束14のない二重床の場合にも、床パネル15から
根太13までの空間を利用して、上記と同様に制振架台
20を構成するプレキャストコンクリート床版23を設
けることができる。
して束14のない二重床の場合にも、床パネル15から
根太13までの空間を利用して、上記と同様に制振架台
20を構成するプレキャストコンクリート床版23を設
けることができる。
【0030】更に、図4に示すように、制振架台20を
構成するプレキャストコンクリート床版23の上にさら
に免震装置29を取り付け、その上にさらに除振装置3
0を取り付けた3段構成とし、この除振装置30上に嫌
振機器40を載せてもよい。この場合、フリーアクセス
式床16の床パネル15bは除振装置30の周囲にでき
るだけ近づけて配設し、また、除振装置30の載置面の
高さと、床パネル15bの床面レベルとはできるだけ一
致させるようにする。なお、床面レベルは必ずしも一致
させる必要はなく、プレキャストコンクリート床版23
は周囲の床パネル15bの床面レベルより高くなって
も、あるいは低くなっても特に何らの支障はない。
構成するプレキャストコンクリート床版23の上にさら
に免震装置29を取り付け、その上にさらに除振装置3
0を取り付けた3段構成とし、この除振装置30上に嫌
振機器40を載せてもよい。この場合、フリーアクセス
式床16の床パネル15bは除振装置30の周囲にでき
るだけ近づけて配設し、また、除振装置30の載置面の
高さと、床パネル15bの床面レベルとはできるだけ一
致させるようにする。なお、床面レベルは必ずしも一致
させる必要はなく、プレキャストコンクリート床版23
は周囲の床パネル15bの床面レベルより高くなって
も、あるいは低くなっても特に何らの支障はない。
【0031】また、以上にはプレキャストコンクリート
床版を制振架台として用いる例を示したが、本願発明に
あっては当該プレキャストコンクリート床版は鋼製枠床
版に代えても良い。ここで、この鋼製枠床版としては、
例えば覆工板等を用いることが出来、その内部にはコン
クリートを充填するなどして重量をかせぎ、微振動がよ
り伝わり難くするようにしても良い。
床版を制振架台として用いる例を示したが、本願発明に
あっては当該プレキャストコンクリート床版は鋼製枠床
版に代えても良い。ここで、この鋼製枠床版としては、
例えば覆工板等を用いることが出来、その内部にはコン
クリートを充填するなどして重量をかせぎ、微振動がよ
り伝わり難くするようにしても良い。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような優れた効果が得られる。
のような優れた効果が得られる。
【0033】(1)請求項1の発明によれば、二重床構
造における床面下部の根太又は梁の上に制振シートを載
置し、その制振シート上に周囲の床パネルから切り離し
て嫌振機器設置用のプレキャストコンクリート床版また
は鋼製枠床版を載せた構成としたので、簡単な構造であ
りながら、周辺のパネルで発生する雑振動を有効に吸収
し、嫌振機器を実用上充分な程度に防振することができ
る。また、プレキャストコンクリート床版または鋼製枠
床版で制振架台を構成しているため、小ブロックに分割
して搬入することにより、稼働中のクリーンルームでも
施工することができ、工期・工費の節約ができる。
造における床面下部の根太又は梁の上に制振シートを載
置し、その制振シート上に周囲の床パネルから切り離し
て嫌振機器設置用のプレキャストコンクリート床版また
は鋼製枠床版を載せた構成としたので、簡単な構造であ
りながら、周辺のパネルで発生する雑振動を有効に吸収
し、嫌振機器を実用上充分な程度に防振することができ
る。また、プレキャストコンクリート床版または鋼製枠
床版で制振架台を構成しているため、小ブロックに分割
して搬入することにより、稼働中のクリーンルームでも
施工することができ、工期・工費の節約ができる。
【0034】(2)請求項2に記載の発明によれば、上
記制振シートとして高減衰ゴムパッドを用いるので、有
効に微振動の吸収ができる。
記制振シートとして高減衰ゴムパッドを用いるので、有
効に微振動の吸収ができる。
【0035】(3)請求項3に記載の発明によれば、上
記請求項1記載のプレキャストコンクリート床版または
鋼製枠床版の上に免震装置を取り付け、その上に除振装
置を取り付けた構成としたので、雑振動だけでなく、地
震などの外から伝わる大きな水平加速度振動をも遮断す
ることができる。
記請求項1記載のプレキャストコンクリート床版または
鋼製枠床版の上に免震装置を取り付け、その上に除振装
置を取り付けた構成としたので、雑振動だけでなく、地
震などの外から伝わる大きな水平加速度振動をも遮断す
ることができる。
【図1】本発明の二重床室の防振装置を示す図である。
【図2】制振架台となるプレキャストコンクリート床版
を分割して搬入した際の一体化の仕方を示した断面図で
ある。
を分割して搬入した際の一体化の仕方を示した断面図で
ある。
【図3】本発明の二重床室の防振装置の変形例を示す図
である。
である。
【図4】本発明の二重床室の防振装置の他の変形例を示
す図である。
す図である。
【図5】本発明の二重床室の防振装置のX方向の防振効
果を示したフーリエスペクトル図である。
果を示したフーリエスペクトル図である。
【図6】本発明の二重床室の防振装置のY方向の防振効
果を示したフーリエスペクトル図である。
果を示したフーリエスペクトル図である。
【図7】本発明の二重床室の防振装置のZ方向の防振効
果を示したフーリエスペクトル図である。
果を示したフーリエスペクトル図である。
【図8】従来の防振機構を持たないフリーアクセス式床
構造を示す図である。
構造を示す図である。
1 クリーンルーム 2 床
スラブ 5 リタンチャンバ 7 主
柱 9 大梁 11 小
梁 13 根太 14
束 14a 台座 15b 周囲の床パネル(フリーアクセスパネル) 16 フリーアクセス式床 17
開口 20 制振架台 21
制振シート 23 プレキャストコンクリート床版(制振架台) 24 床板ブロック 25
接合金物 26 ステンレスボルト 27
モルタル 28 ステンレス板 29
免震装置 30 除振装置 40
嫌振機器
スラブ 5 リタンチャンバ 7 主
柱 9 大梁 11 小
梁 13 根太 14
束 14a 台座 15b 周囲の床パネル(フリーアクセスパネル) 16 フリーアクセス式床 17
開口 20 制振架台 21
制振シート 23 プレキャストコンクリート床版(制振架台) 24 床板ブロック 25
接合金物 26 ステンレスボルト 27
モルタル 28 ステンレス板 29
免震装置 30 除振装置 40
嫌振機器
Claims (3)
- 【請求項1】 床スラブに立設される柱間に架設された
梁上に根太及び束を介して床パネルが載置される二重床
室に設置する防振装置において、 床面の下部の根太又は鉄骨梁の上に制振シートを載置
し、該制振シート上に周囲の床パネルと切り離して嫌振
機器設置用のプレキャストコンクリート床版または鋼製
枠床版を載せてなることを特徴とする二重床室の防振装
置。 - 【請求項2】 上記制振シートが高減衰ゴムパッドであ
ることを特徴とする請求項1記載の二重床室の防振装
置。 - 【請求項3】 上記プレキャストコンクリート床版また
は鋼製枠床版の上に免震装置を取り付け、その上に除振
装置を取り付けたことを特徴とする請求項1又は2記載
の二重床室の防振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13697398A JPH11324294A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 二重床室の防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13697398A JPH11324294A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 二重床室の防振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11324294A true JPH11324294A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15187809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13697398A Pending JPH11324294A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 二重床室の防振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11324294A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006016910A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Shimizu Corp | クリーンルームにおける機器の設置構造 |
JP2008106583A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 床免震システム |
JP2009108629A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Takenaka Komuten Co Ltd | 床の架構構造 |
JP2016211339A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | 鹿島建設株式会社 | シールドトンネルの内部構造 |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13697398A patent/JPH11324294A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006016910A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Shimizu Corp | クリーンルームにおける機器の設置構造 |
JP2008106583A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 床免震システム |
JP2009108629A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Takenaka Komuten Co Ltd | 床の架構構造 |
JP2016211339A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | 鹿島建設株式会社 | シールドトンネルの内部構造 |
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