JPH11322434A - 結晶性乱層構造窒化硼素含有複合セラミックス焼結体 - Google Patents

結晶性乱層構造窒化硼素含有複合セラミックス焼結体

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JPH11322434A
JPH11322434A JP10152021A JP15202198A JPH11322434A JP H11322434 A JPH11322434 A JP H11322434A JP 10152021 A JP10152021 A JP 10152021A JP 15202198 A JP15202198 A JP 15202198A JP H11322434 A JPH11322434 A JP H11322434A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】産業上有用で新規な多孔質複合セラミックス焼
結体を提供する。 【解決手段】結晶性t−BN微粉末をセラミックス原料
によく混合して成形体とし、結晶性t−BN粒子を相変
化させない条件で焼結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は結晶性乱層構造窒化
硼素粒子を含む新規な複合セラミックス焼結体に関す
る。
【0002】
【従来の技術】窒化硼素(BN)は硼素と窒素からなる
化合物であるが、炭素とほぼ同じ結晶構造を有する多形
が存在する。すなわち、窒化硼素には無定形窒化硼素
(以下、a−BNという)、六角形の網目層が二層周期
で積層した構造を持つ六方晶系の窒化硼素(以下、h−
BNという)、六角形の網目が三層周期で積層した構造
を持つ菱面体晶の窒化硼素(以下、r−BNという)、
六角形の網目層がランダムに積層した構造を持つ乱層構
造の窒化硼素(以下、t−BNという)、高圧下の安定
相であるジンクブレンド型の窒化硼素(以下、c−BN
という)及びウルツアイト型の窒化硼素(以下、w−B
Nという)が知られている。
【0003】上記の窒化硼素の多形の内、実用に供され
ているのはh−BNとc−BNのみである。h−BNは
黒鉛より耐酸化性に優れている安定相であり、合成され
た結晶性h−BN粉末の粒子は通常六角板状の自形を有
しており、黒鉛と同様に良好な耐熱性、機械加工性(切
削加工性)及び固体潤滑性を有しているが、黒鉛と異な
り優れた絶縁性を有する。他方a−BNは不安定で吸湿
性があるため、a−BNの状態では使用できない。典型
的なh−BNとa−BNのCuKα線による粉末X線回
折図を図1と図2に示す。
【0004】図1から分かるように、h−BNの粉末X
線回折図では[002][100][101][10
2]及び[004]の回折線が顕著である。これに対し
て図2のa−BNの粉末X線回折図ではh−BNの粉末
X線回折図の[100]回折線及び[101]回折線の
位置にある[100]及び[101]回折線が合体した
ブロードな(半価幅の大きい)回折線と、h−BNの粉
末X線回折図の[002]回折線の位置にあるブロード
な(半価幅の大きい)回折線とがあるのみで、他の回折
線が見当らないか、存在したとしてもブロードで存在が
不明確な低い回折線しか存在しない。このa−BNの構
造は硼素と窒素からなる六角網目層が発達しておらず、
発達していない六角網目層の積層構造にも規則性のない
状態のものである。
【0005】h−BNの結晶では硼素と窒素からなる六
角網目層が・・aa’aa’aa’aa’a・・のパタ
ーンで積層した結晶構造を有しており、六角網目層が3
層周期で積層したものがr−BNである。他方、六角網
目層は発達しているが六角網目層の積層構造に規則性の
ないものがt−BNである。t−BNの粉末X線回折図
の一例を図3に示す。図3から分かるように、この粉末
X線回折図ではh−BNの粉末X線回折図の[002]
及び[004]回折線に対応する回折線がシャープな回
折線となっているが、[100]回折線が高角度側に広
がった形をしていて[101]の回折線が弱くて目立た
ず、[102]の回折線が存在しないか、存在しても非
常に弱い。この[102]回折線は六角網目層が規則的
に積層していることによって始めて現れる回折線であ
る。
【0006】広義に解釈するとa−BNも乱層構造の窒
化硼素であるので、たとえば資源・素材学会誌Vol.
105(1989)No.2,P201〜204では粉
末X線回折図がブロードな回折線しか示さない窒化硼素
をt−BNと記載しているが、こに窒化硼素はa−BN
であるとするのが妥当である。
【0007】従来の窒化硼素を含む複合セラミックス焼
結体としては次のような例が知られている。特開昭60
−195059号、特開平2−252662号にはh−
BN粉末を窒化アルミニウムと複合したマシナブル(切
削加工性)で熱伝導率の大きい複合セラミックス焼結体
が開示されている。また、特公平5−65467号及び
特開平1−305861号には、a−BN粉末を原料に
用いて窒化硼素を窒化アルミニウム、窒化けい素又は炭
化けい素と複合した、h−BNを含む高強度で機械加工
性が良好な複合セラミックス焼結体が開示されている。
また、特開平7−330421号には酸化物、窒化物及
び炭化物等からなる多孔質のセラミックスに硼酸水溶液
を含浸して乾燥し、これをアンモニア雰囲気中で加熱し
て還元かつ窒化し、多孔質焼結体中に窒化硼素(加熱温
度からこの段階ではa−BNになっていると推定され
る)を生成させる。この方法の場合、多量の窒化硼素を
複合させた複合セラミックス焼結体を得るには、含浸、
乾燥及び窒化の工程を繰り返す必要がある。次いでこれ
焼結温度で焼成して相変化したh−BN粒子を含む強度
が大きく潤滑性のある各種の複合セラミックス焼結体を
得る。
【0008】しかし、上述の各種窒化硼素から高圧下で
安定な結晶相であるc−BNとw−BNを除いた窒化硼
素の内、結晶性のt−BNやr−BNについては実験室
でごく少量合成された報告があるのみで(たとえばJo
urnal of Solid State Chem
istry Vol.109,No.2,p384−3
90(1994)参照)、本発明者らの関知する限りに
おいて、結晶性t−BN粉末を原料に使用した焼結体、
さらには結晶性t−BNを含有する焼結体は未だ知られ
ていない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、先に出
願した特願平9−21052号に結晶性t−BN微粉末
と生産性に優れた結晶性t−BN微粉末の製造方法を提
案した。本発明は、特願平9−21052号に記載した
結晶性t−BN微粉末の有する特徴である、湿気に対し
て安定であり、結晶粒子径(一次粒子径)が細かく、揃
っていて、焼結性についても良好な結晶性t−BNの微
粉末を利用した、新規かつ有用な複合セラミックス焼結
体を提案するものである。本発明はまた、従来のh−B
Nを主体とする窒化硼素を含有する複合セラミックス焼
結体とは、異なった新規かつ優れた特性を有する複合セ
ラミックス焼結体を提供することを一課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の複合セラミック
ス焼結体は、焼結体中に有効量(好ましくは5重量%以
上)の結晶性t−BN粒子を含むことを特徴とする。結
晶性t−BNの有効量は、所要目的に応じて定められる
が、およそ0.1重量%以上から、0.5、1、2、
3、4の各重量%以上等に設定できる。また焼結は結晶
性t−BNが実質的(例えば10%以上)に或いは所定
量以上(70%、50%、30%、20%以上等これら
の中間を含む任意の量)相転移を生じない条件下におい
て行うことができる。これにより、結晶性t−BN含有
複合セラミックス結晶体が得られる。
【0011】結晶性t−BNを含む複合セラミックス焼
結体を得る好ましい方法は、前述の特願平9−2105
2号に記載された方法で合成された結晶性t−BN粉末
を原料に用いることである。複合セラミックス焼結体は
多くの場合多孔質の焼結体になるが、結晶性t−BN微
粉末はサブミクロン(好ましくは0.4μm以下、特に
0.1〜0.3μm)の微結晶の一次粒子からなってい
るので、気孔率の大きさの割りに強度が大きい焼結体が
得られる。また、微細な結晶性t−BN粒子を有効量
(好ましくは5重量%以上)含んでいることによって、
微細な結晶性t−BN粒子が気孔を細かく区画してお
り、焼結体中の気孔は、たとえばサブミクロンオーダー
の微細な平均気孔径を有するものとなる。特に結晶性t
−BN微粉末を用いると、焼結性がよく、高性能かつ高
機能の複合セラミックス焼結体が得られる。
【0012】特願平9−21052号に記載されている
結晶性t−BN粉末の合成方法は、たとえば次の通りで
ある。出発原料に尿素と硼酸の窒素成分が過剰な混合物
を用い、硼酸ナトリウムの共存下で加熱して950℃以
下で反応させ、a−BNの他に硼酸及びナトリウムイオ
ンを含むカルメ焼き状の中間生成物を得る。次いでこの
中間生成物を1mm以下に粉砕して窒素雰囲気中で約1
300℃に加熱し、結晶化させると結晶性t−BNが生
成する。この結晶化させた反応物を純水で洗浄して精製
すると純度が高く、円板状又は球状の形状を有する微細
な一次粒子からなる結晶性t−BN微粉末が得られる。
この微細な一次粒子は集合してミクロンオーダーの二次
粒子を形成しているが、アトリションミルなどで湿式粉
砕すれば、微細な一次粒子にまで容易に微粉砕すること
できる。微粉砕された結晶性t−BN粉末の一次粒子
は、微細な円板状又は球状であることによって微粉砕さ
れた混合粉末を成形するときに粒子が6角板状のh−B
N粒子とは異って配向しにくく、焼結体としても熱膨張
率等の性質の方向による差異が殆どない焼結体が得られ
るという利点がある。
【0013】本発明では、h−BNの[004]回折線
に対応する回折線の2θの半価幅が0.6°以下と小さ
くシャープな回折線を示す結晶性の窒化硼素であって、
h−BNの[100]、[101]及び[102]回折
線に対応する各回折線の占める面積(回折線の強度を意
味する)S100、S101及びS102の間にS102/(S100
+S101 )≦0.02の関係を充たす窒化硼素を結晶性
t−BNという。結晶性 t−BN は前述の製造方法に
よって高純度の粉末を入手できる(但し、後述のとお
り、必ずしも高純度のものを出発材料として用いる必要
はない)。本発明の複合セラミックス焼結体の製造に用
いる結晶性t−BN微粉末としては、h−BNの[00
4]回折線に対応する回折線の2θの半価幅が0.5°
以下の結晶性t−BN微粉末を使用するのが好ましい。
したがって、複合セラミックス焼結体中に含まれる結晶
性t−BNの含有量は、焼結体を構成するセラミックス
粉末を別途混合して複数の標準試料を作成し、標準試料
の粉末X線回折図中の結晶性t−BNの回折線の強度
を、粉砕した複合セラミックス焼結体の粉末X線回折図
中の結晶性t−BN強度とを比較すれば求めることがで
きる。
【0014】結晶性t−BN粉末を複合セラミックス焼
結体の原料に用いる利点は、通常入手しうるh−BN粉
末と比べて焼結しやすく、多孔質な焼結体となっても強
度が比較的大きく、結晶性t−BNの状態で残留するか
ぎりにおいて微細で揃った大きさの気孔を有する複合セ
ラミックス焼結体が得られる点である。その理由として
は、結晶性t−BNの性質に負うところが大であり、特
に一次粒子が微細であることも寄与していると考えられ
る。また、原料にa−BN粉末を使用方法と比較する
と、結晶性t−BN微粉末はa−BN粉末と比べて湿気
などの水分に対して安定であるので原料として使いやす
く、a−BN粉末を用いた複合セラミックス焼結体と比
べて密度の大きい成形体が得られ、焼結体の密度も大き
くなる点である。従来のh−BNを含む複合セラミック
ス焼結体の場合と同じく、本発明の結晶性t−BN含有
複合セラミックス焼結体においても、結晶性t−BNの
微粒子を含有していることによってヤング率が小さいの
で耐熱衝撃性に優れ、固体潤滑性があり、溶融金属に対
する優れた耐食性を有し、電気絶縁性が良好である等の
利点がある。
【0015】
【発明の実施形態】結晶性t−BN粉末の粉砕や他のセ
ラミックス粉末との混合は分散性のよいアルコールなど
を媒体とする湿式のボールミルやアトリションミルで行
なって均一な混合物とするのが好ましい。複合セラミッ
クス焼結体の焼結方法としては、無加圧焼結又は加圧焼
結のいずれを採用してもよい。無加圧焼結を採用すれ
ば、製造できる焼結体の形状に自由度があり、各種の形
状と寸法の複合セラミックス焼結体を製造できる点で好
ましい。ただし、原料に用いる結晶性t−BN微粉末は
通常1450℃以上において高温で安定なh−BN結晶
に相変化するので、1450℃で焼結するときは焼結体
中に有効量(好ましくは5重量%以上)の結晶性t−B
Nが残留するように短時間の焼結を行なう。焼結温度と
しては、1400℃以下で焼結できる組み合わせの複合
セラミックス焼結体原料を選択すれば、出発原料の混合
粉末中に配合したのとほぼ同量の結晶性t−BNを含む
複合セラミックス焼結体が得られる。成形体の焼成温度
を約1450℃或いはこれ以上(特に1500℃未満の
範囲)とするときには、焼結時間とともに結晶性t−B
Nがh−BNに相変化するので、焼結時間によって結晶
性t−BNの含有量が変化することになる。さらに焼結
温度を高くすると(約1500℃以上では特に)焼結は
速やかに進行するが、結晶性t−BNは速やかにh−B
Nに相変化し、同時にh−BN結晶粒子の成長が起き
る。いずれにしても、最終焼結体におけるBNの所望焼
結状態(乱層t−BNのみが実質的に乱層でもt−BN
とするか、所定比以下の乱層t−BNとするか)に従っ
て、最高焼結温度は、時間との関係で定めることができ
る。
【0016】複合する他のセラミックス粉末としては、
上述の理由により比較的低温で焼結が可能なセラミック
ス粉末、特に比較的焼結温度の低い酸化物系のセラミッ
クス粉末を主成分とするのが好ましい。しかし、これ以
外に補助的成分として少量の改質剤ないし高耐火性物質
を含むことは差し支えない複合する窒化硼素以外のセラ
ミック原料の配合量としては、強度の大きい複合セラミ
ックス焼結体が得られるように、窒化硼素以外のセラミ
ックス粉末を主成分とすることが好ましく、特に窒化硼
素以外のセラミクッス粉末を60〜95重量%(さらに
は、70〜90重量%、80重量%以上等)混合したセ
ラミックス混合粉末を原料に用いるのが好ましい。この
場合、残部(5〜40重量%等)が結晶性t−BN微粉
末である。結晶性t−BN微粉末と混合する窒化硼素以
外のセラミック原料としては、一般に1450℃程度以
下(ないし1430℃、1400℃程度以下)の温度で
焼結可能なセラミック原料を用いることができ、粉末に
限らず沈澱法、ゾルゲル法、或いはこれらの混合形式、
天然又は合成物質いずれも任意に選択して用いることが
できる。さらにこれらのセラミック原料としては、14
50℃以上で焼結されるものを用いることもできる。こ
れらのセラミック原料としては、酸化物、ホウ化物、窒
化物、炭化物、けい化物、これらの複合化合物もしくは
これらと酸化物との複合化合物などの一種以上を用いる
ことができる。これらのセラミック原料を例示すると、
コージライト、ムライト、ジルコン、ジルコニア、アル
ミナ、スピネル、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪
素、硼化ジルコニウム、硼化チタン、サイアロン等を使
用できる。これらの内、特に強度の大きい焼結体が得ら
れ、多くの用途を期待できるアルミナ、ジルコニア、窒
化けい素又は窒化アルミニウムを組み合わせたセラミッ
ク混合原料を用いて複合セラミックス焼結体を得るのが
好ましい。難焼結性の非酸化物系セラミックスとの複合
セラミックス焼結体を製造する場合は、焼結温度を低く
して緻密に焼結できるように所定の(好ましくは非酸化
物系セラミックス用の)焼結助剤(各セラミック材料で
公知のものを選択できる)を添加して焼結するのが好ま
しい。なお、密度について言うと、本発明の焼結性t−
BNを用いる場合、約10重量%以下の配合では、実質
的に極めて高密度(低気孔率)の焼結体を製造できるこ
とが判った。実際に対理論密度比で95%以上、98%
以上から99%以上のものも焼結できる。
【0017】また、機械加工性(切削加工性に同じ)を
備えた複合セラミックス焼結体とする場合には、超硬チ
ップ等による切削加工が容易となるように、結晶性t−
BNを10重量%以上含む焼結体とするのが好ましい。
他方、目的とする焼結体の密度にもよるが、結晶性t−
BNを35重量%を超えて含む複合セラミックス焼結体
は強度が小さいので、結晶性t−BNの含有量は35重
量%以下とするのが好ましい。複合セラミックス焼結体
中の結晶性t−BN粒子の平均結晶粒径が小さければ、
焼結体中の気孔の平均気孔径が小さくなって、焼結体の
強度が大きくなるので、焼結体中の結晶性t−BNの平
均結晶粒径は0.5μm以下であるのが好ましい。
【0018】水銀ポロシメータで測定される焼結体の平
均気孔径はより大きい強度を確保できるように1μm以
下であるのが好ましい。結晶性t−BN粒子を複合して
平均気孔径が1μmより小さくなった複合セラミックス
焼結体では、微細で揃った気孔径分布を有する焼結体が
得られることから、アルミニウム等の鋳造鋳型内から残
留空気を逃がす目詰まりしない通気性鋳型部材や微細な
粒子を分離するフィルタ材料等として有用である。ま
た、複合セラミックス焼結体を強度を必要とする部材に
使用したり、複合セラミックス焼結体に良好な機械加工
性を付与したい場合には、強度が5kg/mm2以上あ
る 複合セラミックス焼結体が好ましい。
【0019】
【実施例】以下、本発明を実施例によって具体的に説明
するが、以下の実施例は本発明の一実施例であって本発
明を限定するものではない。
【0020】結晶性t−BN微粉末を次のようにして合
成した。無水硼酸(B23)3.5kg、尿素((NH
22CO)5.3kg、硼砂(Na247・10H
2O)0.63kgからなる混合物を出発原料とし、こ
の混合物を直径530mmの蓋付きステンレス鋼製容器
に入れ、この反応容器を炉内に入れて250〜500
℃、500〜600℃、600〜700℃、700〜8
00℃、800〜900℃の各段階にそれぞれ10分か
けて昇温し、最後は900±1℃に10分間保持して反
応させた(合計1時間)。この間100℃を超えたとこ
ろで水蒸気が噴出し始め、200℃で成分が溶融し始
め、ぶくぶくと泡が出てガスの放出を伴って反応が進ん
だ。350〜400℃まで主に水蒸気を放出し、900
℃に10分間保持したところガスの放出が減少した。
【0021】この後放冷して冷却後反応容器の蓋を開け
たところ、反応容器中の混合物はB23が反応を完了し
てカルメ焼き状の反応物となっていた。このカルメ焼き
状の反応物を反応容器中で解砕し、真空吸引して反応容
器中から取り出し、粉砕機で粉砕して1mm目の篩を通
した。この粉砕した反応物をアルミナ製の蓋付き匣鉢に
入れて蓋を閉じ、窒素雰囲気とした電気炉中で1300
℃まで10時間かけて昇温し、この温度で2時間保持
し、その後放冷した。匣鉢から取り出した粉末を80〜
85℃に暖めたイオン交換水で洗浄してアルカリ成分を
除き、次いで希塩酸で中和し、さらに暖めたイオン交換
水で洗浄して乾燥し、結晶性t−BN微粉末を得た。こ
の一連の工程による結晶性t−BN微粉末の収量は出発
原料10kgに対して約2.8kgであり、出発原料中
の仕込み硼素量に基づく製造歩留は70%以上であっ
た。
【0022】得られた結晶性t−BN粉末をエタノール
を媒体として2時間直径1.2mmのジルコニアビーズ
を用いるアトリションミル(芦沢鉄工所製パールミル)
によって2時間微粉砕した。微粉砕後の結晶性t−BN
微粉末について粒度分布を測定した(堀場製粒度分布ア
ナライザLA−700使用)結果、約95%が1μm以
下の微粒子となっており、平均粒径は約0.30μmで
あった。また、窒素吸着法で測定した粉末の比表面積は
12m2/gであった。 この結晶性t−BN微粉末のC
uKα線による粉末X線回折図を図3に、13300倍
に拡大した同微粉末の顕微鏡写真を図4に、同結晶性t
−BN微粉末をアトリションミルで粉砕後の粒度分布グ
ラフを図5にそれぞれ示す。図3の粉末X線回折図か
ら、h−BNの[004]回折線に対応する回折線は5
5°にあり、その2θの半価幅は0.47°であり、S
102/(S100+S101)の値はほぼゼロであった。ま
た、図4の顕微鏡写真から分か るように、この粉末の
一次粒子の平均結晶粒径は約0.2μmであり、結晶性
t−BN微粉末の一次粒子は円板状又は球状の粒子から
なる。
【0023】なお、このようにして得られる結晶性t−
BN微粉末の純度は90%(重量比)以上となり、洗浄
の程度によって97%以上に達する(残部は主としてB
23)。焼結体の出発原料とする場合、残留分B23
焼結助剤として作用するので、それほど高純度にする必
要はない。 [焼結の実施例] [例1〜5]結晶性t−BN微粉末と混合するセラミッ
クス粉末にアルミナ粉末(純度92%、他にSiO2
MgOなど8重量%を含む平均粒径3.5μmのマルス
ゆう薬製)を選び複合セラミックス燒結体を試作した。
すなわち、このアルミナ粉末に水分重量25%とポリア
クリル酸アンモニューム塩の解こう剤を固形分0.3重
量%添加してボールミルで12時間分散混合して調製し
た。また上記結晶性t−BN微粉末に水分重量45%重
量%とポリカルボン酸アンモニューム塩の解こう剤を固
形分2重量%添加してボールミルで12時間分散混合し
て調製した。その後、両者のスラリーを混合して結晶性
t−BN微粉末の配合量がゼロ重量%、10重量%、1
5重量%、20重量%、25重量%の混合スラリーと
し、各混合スラリーに成形助剤としてワックスバインダ
ー及びポリビニールアルコール樹脂バインダーを固形分
3重量%添加して、その後スプレードライヤーを用いて
造粒粉を作製した。この造粒粉末を金型プレス成形機
で、1000kg/cm2の成形圧力で加圧して成形体
を得た。この成形体を還元雰囲気中で1480℃で2時
間燒結して寸法が大凡15cm×15cm×2cmの複
合セラミックス燒結体を得た。得られた各複合燒結体に
ついて測定した特性を表1に示した。各燒結体を粉砕し
て粉末X線回折で調べた結果、複合した窒化ホウ素粉末
はすべて元の結晶性t−BNの状態で燒結体中に残存し
ていた。なお、表1に示した燒結体のかさ密度、気孔
率、吸水率はアルキメデス法で測定し、曲げ強度はJI
S1601に規定する方法で測定した。また、硬度はビ
ッカース硬度計を用いて測定した。
【0024】[例6、7]比較のため、同じアルミナ粉
末に前記結晶性t−BN微粉末を窒素雰囲気中で、4時
間1750℃で加熱して得たh−BN粉末(平均粒径
4.8μm、平均一次粒子径1.5μm、比表面積12
2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)及びh−
BN粉 末(平均粒径0.5μm、比表面積25m2/g
の六角板状の結晶粒子からなる粉末)をそれぞれ15重
量%混合した混合スラリーを例1と同様にして複合セラ
ミックス焼結体を作り、その特性を表1に併せて示し
た。なお、超硬バイトで切削加工を試みたところ、例2
〜7のいずれの複合セラミックス焼結体についても良好
な機械加工性があることを認められた。
【0025】
【表1】
【0026】[例8〜12]結晶性t−BN微粉末と組
み合わせて複合するセラミックス粉末にアルミナ粉末
(純度99.99%、平均粒径0.4μmの大明化学
製)を選び複合セラミックス焼結体を試作した。すなわ
ち、このアルミナ粉末に水分重量25%とポリカルボン
酸アンモニューム塩の解こう剤を固形分0.6重量%添
加してボールミルで12時間分散混合して調製した。ま
た、上記結晶性t−BN微粉末に水分重量45重量%と
ポリカルボン酸アンモニューム塩の解こう剤を固形分2
重量%添加してボールミルで12時間分散混合して調製
した。その後、両者のスラリーを混合して結晶性t−B
N微粉末の配合量がゼロ重量%、10重量%、15重量
%、20重量%、25重量%の混合スラリーとし、各混
合スラリーに成形助剤としてワックスバインダー及びポ
リビニールアルコール樹脂バインダーを固形分3重量%
添加して、その後スプレードライヤーを用いて造粒粉を
作製した。この造粒粉末を金型プレス成形機で、100
0kg/cm2の成形圧力で加圧して成形体を得た。こ
の成形体を還元雰囲気中で1350℃で2時間燒結して
寸法が大凡15cm×15cm×2cmの複合セラミッ
クス燒結体を得た。得られた各複合燒結体について測定
した特性を表2にまとめて示した。各燒結体を粉砕して
粉末X線回折で調べた結果、複合した窒化ホウ素粉末は
すべて元の結晶性t−BNの状態で燒結体中に残存して
いた。
【0027】[例13、14]比較のため、同じアルミ
ナ粉末に前記結晶性t−BN微粉末を窒素雰囲気中で、
4時間1750℃で加熱して得たh−BN粉末(平均粒
径4.8μm、平均一次粒子径1.5μm、比表面積1
2m2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)及びh
−BN粉末(平均粒径約0.5μm、比表面積25m2
/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)をそれぞれ1
5重量%配合した混合スラリーを例1と同様にして複合
セラミックス燒結体を作り、その特性を表2に併せて示
した。なお、超硬バイトで切削加工を試みたところ、例
9〜14のいずれの複合セラミックス焼結体についても
良好な機械加工性があることを認められた。
【0028】
【表2】
【0029】[例15〜19]結晶性t−BN微粉末と
組み合わせて複合するセラミックス粉末にα窒化けい素
粉末(平均粒径0.6μm、比表面積22m2/gのY2
3を6重量%とAl23を4重量%を含む秩父小野田
製の窒化けい素粉末)を選び複合セラミックス焼結体を
試作した。すなわち、この窒化けい素粉末に水分重量2
5%とポリカルボン酸アンモニューム塩の解こう剤を固
形分0.5重量%添加してボールミルで12時間分散混
合して調製した。また、上記結晶性t−BN微粉末に水
分重量45重量%とポリカルボン酸アンモニューム塩の
解こう剤を固形分2重量%添加してボールミルで12時
間分散混合して調製した。その後、両者のスラリーを混
合して結晶性t−BN微粉末の配合量がゼロ重量%、1
0重量%、15重量%、20重量%、25重量%の混合
スラリーとし、各混合スラリーに成形助剤としてワック
スバインダー及びポリビニールアルコール樹脂バインダ
ーを固形分3重量%添加して、その後スプレードライヤ
ーを用いて造粒粉を作製した。この造粒粉末を金型プレ
ス成形機で、1000kg/cm2の成形圧力で加圧し
て成形体を得た。この成形体を窒素雰囲気中で1800
℃で5時間燒結して寸法が大凡15cm×15cm×2
cmの複合セラミックス燒結体を得た。得られた各複合
燒結体について測定した特性を表3に併せて示した。ま
た例16〜19の各燒結体を粉砕して粉末X線回折で調
べた結果、複合した窒化ホウ素粉末はすべてh−BN結
晶に相転移していることが分かった。
【0030】[例20、21]比較のため、同じ窒化け
い素粉末に前記結晶性t−BN微粉末を窒素雰囲気中
で、4時間1750℃で加熱して得たh−BN粉末(平
均粒径約4.8μm、平均一次粒子径1.5μm、比表
面積12m2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)
及びh−BN粉末(平均粒径0.5μm、比表面積25
2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)をそれぞ
れ15重量%配合した混合スラリーを例1と同様にして
複合セラミックス焼結体を作り、その特性を表3に併せ
て示した。なお、超硬バイトで切削加工を試みたとこ
ろ、例16〜21のいずれの複合セラミックス焼結体に
ついても良好な機械加工性があることを認められた。
【0031】
【表3】
【0032】[例22〜26]結晶性t−BN微粉末と
組み合わせて複合するセラミックス粉末に窒化アルミニ
ウム粉末(平均粒径1.4μm、比表面積2.7m2
gのY23を5重量%含むダウケミカル製のアルミニウ
ム粉末)を選び、複合セラミックス焼結体を試作した。
すなわち、この窒化アルミニウム粉末にエチルアルコー
ル重量45%添加してボールミルで12時間分散混合し
て調製した。また、上記結晶性t−BN微粉末にエチル
アルコール重量45重量%添加してボールミルで12時
間分散混合して調製した。その後、両者のスラリーを混
合して結晶性t−BN微粉末の配合量がゼロ重量%、1
0重量%、15重量%、20重量%、25重量%の混合
スラリーとし、各混合スラリーに成形助剤としてポリビ
ニールブチラール樹脂バインダーを固形分3重量%添加
して、その後スプレードライヤーを用いて造粒粉を作製
した。この造粒粉末を金型プレス成形機で、1000k
g/cm2の成形圧力で加圧して成形体を得た。この成
形体を窒素雰囲気中で1800℃で5時間燒結して寸法
が大凡15cm×15cm×2cmの複合セラミックス
燒結体を得た。得られた各複合燒結体について測定した
特性を表4に示した。また例23〜26の各燒結体を粉
砕して粉末X線回折で調べた結果、複合した窒化ホウ素
粉末はすべてh−BN結晶に相転移していることが分か
った。
【0033】[例27、28]比較のため、同じ窒化ア
ルミニウム粉末に前記結晶性t−BN微粉末を窒素雰囲
気中で、4時間1750℃で加熱して得たh−BN粉末
(平均粒径4.8μm、平均一次粒子径1.5μm、比
表面積12m2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉
末)及びh−BN粉末(平均粒径0.5μm、比表面積
25m2/gの六角板状の結晶粒子からなる粉末)をそ
れぞれ15重量%配合した混合スラリーを例1と同様に
して複合セラミックス焼結体を作り、その特性を表4に
併せて示した。なお、超硬バイトで切削加工を試みたと
ころ、例23〜28のいずれの複合セラミックス焼結体
についても良好な機械加工性があることを認めた。
【0034】
【表4】
【0035】上記の例1〜28の内、例2〜5、例8〜
12、例15〜19及び例22〜26は本発明の実施例
であり、例1、例6、例7、例13、例14、例20、
例21、例27及び例28は本発明の比較例である。上
記の結果から、本発明による結晶性t−BN微粉末を混
合して焼結した複合セラミックス焼結体は、h−BN粉
末を混合して焼結した複合セラミックス焼結体と比較し
て焼結性がよく、曲げ強度が大きいことが分かる。ま
た、表に示していないが、窒化硼素を20重量%複合し
た焼結体について熱膨張率を測定したところ、結晶性t
−BN微粉末を混合して焼結した複合セラミックス焼結
体の厚さ方向と厚さに直角な方向の熱膨張率の比はほぼ
1であり、成形時の加圧方向による方向性の差異が殆ど
ないことが分かった。
【0036】なお、結晶性t−BN微粉末は非常に細か
い結晶であり、一般に凝集していることが多い。したが
って、成形の原料調製過程で、いかに凝集紛体を分散し
てマトリクスとなる原料と均一に混合するかが最終的な
焼結体特性に大きく影響してくる。本発明の製造工程に
おいて、混合する粉体を個々に均一分散する処理をする
ことにより特性が大きく変わることを留意しておく必要
がある。
【0037】
【発明の効果】上記の結果から分かるように、本発明の
t−BNを含む複合セラミックス焼結体は多孔質であ
り、気孔は微細であると同時に殆ど連通した開気孔とな
っている。また、本発明の結晶性t−BNを含む複合セ
ラミックス焼結体では、結晶性t−BN微粉末の一次粒
子が微細な結晶粒子であることによって焼結性がh−B
Nを含む複合セラミックス焼結体より良好である。さら
に、焼結体中に結晶性t−BNが相変化しないでとどま
っている限りにおいて結晶性t−BNは微細な結晶粒子
の状態を保持しており、これによって焼結体中の気孔も
微細である。また、焼結体の組織が微細であることによ
って、同程度の気孔率を有するh−BNを含む複合セラ
ミックス焼結体と比較して本発明による微細な結晶性t
−BNの結晶粒子を含む複合セラミックス焼結体の方が
強度が大きくその他の面でも優れている。即ち、同じ配
合割合のBN(実施例では15%で比較)でも、従来の
h−BN含有複合セラミックス焼結体に比べて、易焼結
性に優れ、焼結体の各種特性が向上する。詳しくは、気
孔率が小さく緻密化が可能であり、曲げ強度、ヤング
率、硬度等の増大が達成される。さらに、本発明のt−
BNを含む複合セラミックス焼結体はh−BNを複合し
た複合セラミックス焼結体が保有する好ましい特性、た
とえば優れた機械加工性(切削加工性)、熱伝導性、電
気絶縁性、耐熱衝撃性等の他、溶融金属に対する濡れに
くさと耐食性を兼ね備えている。
【0038】このような特性を有する本発明の複合セラ
ミックス焼結体は、多くの場合1400℃以下の無加圧
焼結によって焼結できるので、前述の製造技術が確立さ
れたことによって従来より格段に安価に高純度の結晶性
t−BN微粉末を調達できるようになった。したがっ
て、各種の形状を有する高強度の焼結体を容易に安く提
供でき、さらに機械加工性が良好であることによって複
雑な形状の高精度な焼結部材を提供できる。したがっ
て、分離用の膜材料、ミクロフィルタ材料、強度が大き
い構造材料、耐久性のある通気性の多孔質溶融金属用鋳
型材料、などとしての用途を期待できるので、本発明の
複合セラミックス焼結体は産業上の利用価値が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の典型的なh−BN粉末の粉末X線回折
図。
【図2】従来のa−BN粉末の粉末X線回折図。
【図3】本発明の例1の複合セラミックス焼結体の原料
に使用された結晶性t−BN粉末の一例の粉末X線回折
図。
【図4】図3の結晶性t−BN微粉末の13300倍の
顕微鏡写真。
【図5】本発明の例1の複合セラミックス焼結体の原料
に使用された、アトリションミルによる粉砕後の結晶性
t−BN微粉末の粒度分布を示すグラフ。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】焼結体中に有効量の結晶性乱層構造窒化硼
    素粒子を含むことを特徴とする複合セラミックス焼結
    体。
  2. 【請求項2】焼結体中に5重量%以上の結晶性乱層構造
    窒化硼素粒子を含むことを特徴とする複合セラミックス
    焼結体。
  3. 【請求項3】焼結体が1450℃以下で焼結されたもの
    である請求項1又は2に記載の複合セラミックス焼結
    体。
  4. 【請求項4】焼結体が40重量%以下の結晶性乱層構造
    窒化硼素粒子と60〜95重量%の酸化物粒子を主成分
    とするものである請求項1〜3のいずれかに記載の複合
    セラミックス焼結体。
  5. 【請求項5】酸化物粒子が実質的にアルミナ及び/又は
    ジルコニアである請求項4に記載の複合セラミックス焼
    結体。
  6. 【請求項6】焼結体が10〜35重量%の結晶性乱層構
    造窒化硼素粒子を含み、機械加工性を有するものである
    請求項1〜5のいずれかに記載の複合セラミックス焼結
    体。
  7. 【請求項7】焼結体中の結晶性乱層構造窒化硼素粒子の
    平均結晶粒径が0.5μm以下である請求項1〜6のい
    ずれかに記載の複合セラミックス焼結体。
  8. 【請求項8】焼結体の水銀ポロシメータで測定された平
    均気孔径が1.0μm以下である請求項1〜7のいずれ
    かに記載の複合セラミックス焼結体。
  9. 【請求項9】焼結体が5kg/mm2以上の曲げ強度を
    有するものである請求項1〜8のいずれかに 記載の複
    合セラミックス焼結体。
  10. 【請求項10】結晶性乱層構造窒化硼素粒子の出発材料
    として純度90%以上、残部は主としてB23のものを
    用いて焼結されたことを特徴とする請求項1〜9のいず
    れかに記載の複合セラミックス焼結体。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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