JPH11322068A - 無人搬送車の気流制御装置 - Google Patents
無人搬送車の気流制御装置Info
- Publication number
- JPH11322068A JPH11322068A JP12738298A JP12738298A JPH11322068A JP H11322068 A JPH11322068 A JP H11322068A JP 12738298 A JP12738298 A JP 12738298A JP 12738298 A JP12738298 A JP 12738298A JP H11322068 A JPH11322068 A JP H11322068A
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- Japan
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- fan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 車体の収容空間に導入される気流の向きを制
御することによって、カセットボックスに保持されて搬
送される板状体のクリーン度を向上させることができる
無人搬送車の気流制御装置を提供する。 【解決手段】 板状体８を間隔をおいて上下に積層状に
保持するカセットボックス５を挿脱可能に収容する収容
空間３を備えた車体１と、収容空間３に濾過された空気
を導入するフィルター付きファン２とを有する無人搬送
車において、フィルター付きファン２を車体の上面周辺
の適所に前記収容空間３内に斜下に向け空気が導入され
るように配置し、空気の排出口１０を車体１の下面の前
記フィルター付きファン６の斜下対角線位置に配置し、
前記収容空間３と前記排出口１０の間を漸次断面積が減
少する通路１１で結ぶ。
御することによって、カセットボックスに保持されて搬
送される板状体のクリーン度を向上させることができる
無人搬送車の気流制御装置を提供する。 【解決手段】 板状体８を間隔をおいて上下に積層状に
保持するカセットボックス５を挿脱可能に収容する収容
空間３を備えた車体１と、収容空間３に濾過された空気
を導入するフィルター付きファン２とを有する無人搬送
車において、フィルター付きファン２を車体の上面周辺
の適所に前記収容空間３内に斜下に向け空気が導入され
るように配置し、空気の排出口１０を車体１の下面の前
記フィルター付きファン６の斜下対角線位置に配置し、
前記収容空間３と前記排出口１０の間を漸次断面積が減
少する通路１１で結ぶ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、本体の収容空間に
空気を導入するフィルター付きファンを備えた無人搬送
車に関し、特に空気の気流を制御する無人搬送車の気流
制御装置に関するものである。
空気を導入するフィルター付きファンを備えた無人搬送
車に関し、特に空気の気流を制御する無人搬送車の気流
制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、工場や物流現場において、自動化
や省力化を目的とした無人搬送システムに無人搬送車が
用いられているが、液晶用ガラス基板や半導体ディスク
等を扱うクリーンルーム内でも、無人搬送車が用いられ
ている。
や省力化を目的とした無人搬送システムに無人搬送車が
用いられているが、液晶用ガラス基板や半導体ディスク
等を扱うクリーンルーム内でも、無人搬送車が用いられ
ている。
【０００３】この無人搬送車は図２に示すように、本体
である車体２１とフィルター付きファン２２と、走行車
輪２７とから主構成される。車体２１は収容空間２３を
備え、その収容空間２３には基台２４上にカセットボッ
クス２５が挿脱可能に収容される。
である車体２１とフィルター付きファン２２と、走行車
輪２７とから主構成される。車体２１は収容空間２３を
備え、その収容空間２３には基台２４上にカセットボッ
クス２５が挿脱可能に収容される。
【０００４】カセットボックス２５は、上枠２５ａと下
枠２５ｂとそれらの各４隅を縦方向に支える４本の支柱
２５ｃと多数段の左右の桟（図示せず）とからなる全周
面が開放された箱型をなし、各左右の桟により液晶用ガ
ラス基板等の板状体２８を間隔をおいて上下に積層状に
保持している。
枠２５ｂとそれらの各４隅を縦方向に支える４本の支柱
２５ｃと多数段の左右の桟（図示せず）とからなる全周
面が開放された箱型をなし、各左右の桟により液晶用ガ
ラス基板等の板状体２８を間隔をおいて上下に積層状に
保持している。
【０００５】車体２１の上面中央に設けられるフィルタ
ー付きファン２２は、収容空間２３内のダスト等を吹き
飛ばして除去するためにクリーンルーム内の空気を導入
するためのものである。導入された空気が排出されるま
での収容空間２３内の気流によって、ダスト等が排出さ
れ、カセットボックス２５に保持された板状体２８の一
層のクリーン化を図ろうとしている。
ー付きファン２２は、収容空間２３内のダスト等を吹き
飛ばして除去するためにクリーンルーム内の空気を導入
するためのものである。導入された空気が排出されるま
での収容空間２３内の気流によって、ダスト等が排出さ
れ、カセットボックス２５に保持された板状体２８の一
層のクリーン化を図ろうとしている。
【０００６】車体２１は駆動車輪や従動車輪等の走行車
輪２７によってクリーンルーム内の所定の搬送路上を走
行し、駆動モータによって回転するファン２２ａによっ
て矢印で示すように、フィルター２２ｂでダスト等を濾
過した上で収容空間２３内に空気が導入され、車体２１
内面と基台２４外面周囲との間に形成される通路を通過
して車体２１の下方へ排出される。
輪２７によってクリーンルーム内の所定の搬送路上を走
行し、駆動モータによって回転するファン２２ａによっ
て矢印で示すように、フィルター２２ｂでダスト等を濾
過した上で収容空間２３内に空気が導入され、車体２１
内面と基台２４外面周囲との間に形成される通路を通過
して車体２１の下方へ排出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の無人搬送車
は、車体２１の上面中央にフィルター付きファン２２を
備えているので、空気の気流Ａは図２で矢印で示すよう
に、収容空間２３内を上方から下方へと流れる。従っ
て、カセットボックス２５内に間隔をおいて上下に積み
重ねられている板状体２８間の扁平な隙間に空気が流通
しにくく、板状体２８に付着するダスト等を十分に除去
できないという問題がある。
は、車体２１の上面中央にフィルター付きファン２２を
備えているので、空気の気流Ａは図２で矢印で示すよう
に、収容空間２３内を上方から下方へと流れる。従っ
て、カセットボックス２５内に間隔をおいて上下に積み
重ねられている板状体２８間の扁平な隙間に空気が流通
しにくく、板状体２８に付着するダスト等を十分に除去
できないという問題がある。
【０００８】また車体２１内面と基台２４外面周囲との
間に形成される空気の通路から車体２１の下方に排出さ
れる上から下への気流で床面２６のダスト等が浮上する
ので、車体２１の周囲環境のクリーン度も低下し、ひい
てはダスト等が前記収容空間２３内に導入されやすいと
いう問題もある。
間に形成される空気の通路から車体２１の下方に排出さ
れる上から下への気流で床面２６のダスト等が浮上する
ので、車体２１の周囲環境のクリーン度も低下し、ひい
てはダスト等が前記収容空間２３内に導入されやすいと
いう問題もある。
【０００９】そこで本発明は上記問題点に鑑み、車体の
収容空間に導入される空気の気流の向きを制御すること
によって、カセットボックスに保持されて搬送される板
状体クリーン度の一層の向上を図ることのできる無人搬
送車の気流制御装置を提供することを目的とするもので
ある。
収容空間に導入される空気の気流の向きを制御すること
によって、カセットボックスに保持されて搬送される板
状体クリーン度の一層の向上を図ることのできる無人搬
送車の気流制御装置を提供することを目的とするもので
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、板状体を間隔をおいて上下に積層状に保持
するカセットボックスを挿脱可能に収容する収容空間を
備えた車体と、収容空間に濾過された空気を導入するフ
ィルター付きファンとを有する無人搬送車において、フ
ィルター付きファンを車体の上面周辺の適所に前記収容
空間内に斜下に向け空気が導入されるように配置し、空
気の排出口を車体の下面の前記フィルター付きファンの
斜下対角線位置に配置し、前記収容空間と前記排出口の
間を漸次断面積が減少する通路で結んだことを特徴とす
る。
するために、板状体を間隔をおいて上下に積層状に保持
するカセットボックスを挿脱可能に収容する収容空間を
備えた車体と、収容空間に濾過された空気を導入するフ
ィルター付きファンとを有する無人搬送車において、フ
ィルター付きファンを車体の上面周辺の適所に前記収容
空間内に斜下に向け空気が導入されるように配置し、空
気の排出口を車体の下面の前記フィルター付きファンの
斜下対角線位置に配置し、前記収容空間と前記排出口の
間を漸次断面積が減少する通路で結んだことを特徴とす
る。
【００１１】本発明によれば、フィルター付きファンが
車体の上面周辺の適所に前記収容空間内に斜下に向け空
気が導入されるように配置されているので、カセットボ
ックスに間隔をおいて保持される板状体間の扁平な隙間
に水平方向に空気が流通し、板状体にダスト等が付着し
ていれば、その空気の気流により吹き飛ばして除去さ
れ、板状体の一層のクリーン化を図ることができる。
車体の上面周辺の適所に前記収容空間内に斜下に向け空
気が導入されるように配置されているので、カセットボ
ックスに間隔をおいて保持される板状体間の扁平な隙間
に水平方向に空気が流通し、板状体にダスト等が付着し
ていれば、その空気の気流により吹き飛ばして除去さ
れ、板状体の一層のクリーン化を図ることができる。
【００１２】また、空気の排出口がフィルター付きファ
ンの斜下対角線位置に配置され、排出口と収容空間との
間を結ぶ通路は漸次断面積が減少しているので、板状体
間の隙間に水平方向に流通した気流が、スムースに排出
口に導かれる。また排出口から床面に排出された空気に
より床面のダスト等が浮上しても、前記フィルター付き
ファンが排出口の斜上対角線位置にあるため、前記ダス
ト等は車体によって邪魔され、再び収容空間内に導入さ
れることが少なくなり、板状体のクリーン度を保つこと
ができる。
ンの斜下対角線位置に配置され、排出口と収容空間との
間を結ぶ通路は漸次断面積が減少しているので、板状体
間の隙間に水平方向に流通した気流が、スムースに排出
口に導かれる。また排出口から床面に排出された空気に
より床面のダスト等が浮上しても、前記フィルター付き
ファンが排出口の斜上対角線位置にあるため、前記ダス
ト等は車体によって邪魔され、再び収容空間内に導入さ
れることが少なくなり、板状体のクリーン度を保つこと
ができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の無人搬送車の気流
制御装置の一実施形態について図１を参照しながら説明
する。
制御装置の一実施形態について図１を参照しながら説明
する。
【００１４】この無人搬送車は図１に示すように、本体
である車体１とフィルター付きファン２と、走行車輪７
とから主構成される。車体１は開閉扉（図示せず）によ
り開閉されるほぼ密閉空間の収容空間３を備え、その収
容空間３には基台４上にカセットボックス５が挿脱可能
に収容されている。基台４は車体１の進行方向（図面右
方向）に対しその後面と両側面を車体１の内面に密着さ
せ、その前面は図１に示すような断面曲線状に形成さ
れ、車体１の前方内面と間隔を開けて配置されている。
この空間が後記通路１１を形成し、その下面開放部が後
記排出口１０を形成する。
である車体１とフィルター付きファン２と、走行車輪７
とから主構成される。車体１は開閉扉（図示せず）によ
り開閉されるほぼ密閉空間の収容空間３を備え、その収
容空間３には基台４上にカセットボックス５が挿脱可能
に収容されている。基台４は車体１の進行方向（図面右
方向）に対しその後面と両側面を車体１の内面に密着さ
せ、その前面は図１に示すような断面曲線状に形成さ
れ、車体１の前方内面と間隔を開けて配置されている。
この空間が後記通路１１を形成し、その下面開放部が後
記排出口１０を形成する。
【００１５】カセットボックス５は、上枠５ａと下枠５
ｂとそれらの各４隅を縦方向に支える４本の支柱５ｃと
多数段の左右の桟（図示せず）とからなる全周面が開放
された箱型をなし、各左右の桟により液晶用ガラス基板
等の板状体８を間隔をおいて上下に積層状に保持してい
る。
ｂとそれらの各４隅を縦方向に支える４本の支柱５ｃと
多数段の左右の桟（図示せず）とからなる全周面が開放
された箱型をなし、各左右の桟により液晶用ガラス基板
等の板状体８を間隔をおいて上下に積層状に保持してい
る。
【００１６】車体１には、その上面の後辺を利用して約
４５°程傾斜させて収容空間３に斜下に向け前記収容空
間３内に空気が導入されるようにフィルター付きファン
２を配置している。本実施形態では上面が矩形のもので
示しているが、上面が円形の無人搬送車の場合には、そ
の上面の周辺の適所に斜下に向け空気が導入されるよう
に適宜配置するとよい。
４５°程傾斜させて収容空間３に斜下に向け前記収容空
間３内に空気が導入されるようにフィルター付きファン
２を配置している。本実施形態では上面が矩形のもので
示しているが、上面が円形の無人搬送車の場合には、そ
の上面の周辺の適所に斜下に向け空気が導入されるよう
に適宜配置するとよい。
【００１７】フィルター付きファン２は、駆動モータに
より回転する羽根を備えたファン２ａと、ファン２ａの
回転による圧送空気を収容空間３内に送り込む際にダス
トを濾過するフィルター２ｂとからなる。フィルター付
きファン２により導入された空気の気流Ａによって、後
述のようにカセットボックス５に保持された板状体８の
クリーン化を図っている。
より回転する羽根を備えたファン２ａと、ファン２ａの
回転による圧送空気を収容空間３内に送り込む際にダス
トを濾過するフィルター２ｂとからなる。フィルター付
きファン２により導入された空気の気流Ａによって、後
述のようにカセットボックス５に保持された板状体８の
クリーン化を図っている。
【００１８】車体１は前方の駆動車輪７ａや後方に設け
られた従動車輪７ｂによってクリーンルーム内の所定の
搬送路上を走行する際に、フィルター付きファン２も駆
動されて収容空間３に空気が導入される。本実施形態で
は図２で示した従来のものと異なり、フィルター付きフ
ァン２を車体１の上面の後辺に設けることによって収容
空間３内に斜下に向け空気が導入されるように配置され
ているので、ファン２ａから圧送される空気の大半は、
基台４の上面に収容されているカセットボックス５の側
方より水平方向に入る。よって、カセットボックス５に
積層状に保持されている板状体８間の扁平な隙間に空気
が流通し、板状体８にダスト等が付着していれば、その
気流Ａが吹き飛ばして除去し、板状体８および桟等のク
リーン化を図ることができる。
られた従動車輪７ｂによってクリーンルーム内の所定の
搬送路上を走行する際に、フィルター付きファン２も駆
動されて収容空間３に空気が導入される。本実施形態で
は図２で示した従来のものと異なり、フィルター付きフ
ァン２を車体１の上面の後辺に設けることによって収容
空間３内に斜下に向け空気が導入されるように配置され
ているので、ファン２ａから圧送される空気の大半は、
基台４の上面に収容されているカセットボックス５の側
方より水平方向に入る。よって、カセットボックス５に
積層状に保持されている板状体８間の扁平な隙間に空気
が流通し、板状体８にダスト等が付着していれば、その
気流Ａが吹き飛ばして除去し、板状体８および桟等のク
リーン化を図ることができる。
【００１９】前記のように斜め方向から水平方向に流れ
た空気は車体１の前方内面に突き当たって下方に流れ、
車体１の下面のフィルター付きファン６の斜下対角線位
置に形成される排出口１０から外部へ排出される。本実
施形態では、気流Ａの向きと流速を制御するために、車
体１の上方内側に気流制御板９を設けており、また下方
では基台４の前面が丁度下方内側の気流制御板９の役割
を果たす。このことで、収容空間３と前記排出口１０と
の間に、漸次断面積が減少する通路１１が形成される。
尚、通路１１は収容空間３と排出口１０の間を漸次断面
積が減少するように形成されていれば、気流制御板９は
任意のものを採用することができる。
た空気は車体１の前方内面に突き当たって下方に流れ、
車体１の下面のフィルター付きファン６の斜下対角線位
置に形成される排出口１０から外部へ排出される。本実
施形態では、気流Ａの向きと流速を制御するために、車
体１の上方内側に気流制御板９を設けており、また下方
では基台４の前面が丁度下方内側の気流制御板９の役割
を果たす。このことで、収容空間３と前記排出口１０と
の間に、漸次断面積が減少する通路１１が形成される。
尚、通路１１は収容空間３と排出口１０の間を漸次断面
積が減少するように形成されていれば、気流制御板９は
任意のものを採用することができる。
【００２０】通路１１が排出口１０に向かうにつれて狭
小となることでその部分を通る気流Ａの流速が大きくな
り、車体１が前方（図１の右方向）に走行する際はその
気流Ａが床面６上を相対的に後方（図１の左方向）へと
水平に流れて、車体１によりダスト等の浮上が阻げられ
るので、従来のように、上方から下方へ排出される気流
で床面６のダスト等が浮上して再び収容空間３内に導入
されるということを防止することができる。
小となることでその部分を通る気流Ａの流速が大きくな
り、車体１が前方（図１の右方向）に走行する際はその
気流Ａが床面６上を相対的に後方（図１の左方向）へと
水平に流れて、車体１によりダスト等の浮上が阻げられ
るので、従来のように、上方から下方へ排出される気流
で床面６のダスト等が浮上して再び収容空間３内に導入
されるということを防止することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ィルター付きファンの配置を工夫して収容空間内に導入
される気流の向きを制御することによって、カセットボ
ックスに保持されて搬送される板状体に付着するダスト
等を前記気流により除去し、板状体の一層のクリーン化
を図れ、又空気の通路を漸次断面積が減少するように形
成することによって前記気流をスムースに形成でき、更
に空気の排出口をフィルター付きファンの斜下対角線位
置に配することにより、排出空気により浮上した床面の
ダスト等が収容空間内に導入されることを防止すること
ができる。
ィルター付きファンの配置を工夫して収容空間内に導入
される気流の向きを制御することによって、カセットボ
ックスに保持されて搬送される板状体に付着するダスト
等を前記気流により除去し、板状体の一層のクリーン化
を図れ、又空気の通路を漸次断面積が減少するように形
成することによって前記気流をスムースに形成でき、更
に空気の排出口をフィルター付きファンの斜下対角線位
置に配することにより、排出空気により浮上した床面の
ダスト等が収容空間内に導入されることを防止すること
ができる。
【図１】本発明の実施形態における無人搬送車の気流制
御装置の概略構成を示す縦断側面図。
御装置の概略構成を示す縦断側面図。
【図２】従来例の概略構成を示す縦断側面図。
１ 車体 ２ フィルター付きファン ３ 収容空間 ４ 基台 ５ カセットボックス ８ 板状体 ９ 気流制御板 １０ 排出口 １１ 通路
Claims (1)
- 【請求項１】 板状体を間隔をおいて上下に積層状に保
持するカセットボックスを挿脱可能に収容する収容空間
を備えた車体と、収容空間に濾過された空気を導入する
フィルター付きファンとを有する無人搬送車において、
フィルター付きファンを車体の上面周辺の適所に前記収
容空間内に斜下に向け空気が導入されるように配置し、
空気の排出口を車体の下面の前記フィルター付きファン
の斜下対角線位置に配置し、前記収容空間と前記排出口
の間を漸次断面積が減少する通路で結んだことを特徴と
する無人搬送車の気流制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12738298A JPH11322068A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 無人搬送車の気流制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12738298A JPH11322068A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 無人搬送車の気流制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11322068A true JPH11322068A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=14958616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12738298A Withdrawn JPH11322068A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 無人搬送車の気流制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11322068A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058706A1 (fr) * | 2001-12-27 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Systeme de transport de pieces, systeme de vehicule de transport sans pilote, vehicule de transport sans pilote, et procede de transport de pieces |
| KR100505027B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-07-29 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 운반장치 |
| US7058468B2 (en) | 2002-11-11 | 2006-06-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Automatic material handling system, production system for semiconductor device, and production management method for semiconductor device |
| JP2007015799A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Taisei Corp | 無人搬送車 |
| JP2007045606A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Murata Mach Ltd | 搬送台車 |
-
1998
- 1998-05-11 JP JP12738298A patent/JPH11322068A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058706A1 (fr) * | 2001-12-27 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Systeme de transport de pieces, systeme de vehicule de transport sans pilote, vehicule de transport sans pilote, et procede de transport de pieces |
| KR100742410B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2007-07-24 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 피처리체의 반송 시스템, 무인 반송차 시스템, 무인반송차 및 피처리체의 반송 방법 |
| US7283890B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-10-16 | Tokyo Electron Limited | Work convey system, unmanned convey vehicle system, unmanned convey vehicle, and work convey method |
| US7058468B2 (en) | 2002-11-11 | 2006-06-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Automatic material handling system, production system for semiconductor device, and production management method for semiconductor device |
| US7574280B2 (en) | 2002-11-11 | 2009-08-11 | Semiconductor Energy Laboroatory Co., Ltd. | Automatic material handling system, production system for semiconductor device, and production management method for semiconductor device |
| KR100505027B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-07-29 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 운반장치 |
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| JP2007045606A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Murata Mach Ltd | 搬送台車 |
| JP4715383B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2011-07-06 | 村田機械株式会社 | 搬送台車 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050325 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080430 |
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| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080908 |