JP7411004B2 - ロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置及びそれを備えた半導体工程装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置とそれを備えた半導体工程装置を示す構成図、図2は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置の設置状態を示す状態図、図3は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置を示す構成図、図4は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置を示す正断面図、図5は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置の第1本体を示す構成図、図6は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置を示す側断面図、図7は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置の送風部を示す側断面図、図8は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置の噴射部の一例を示す構成図、図9は本発明の一実施例によるロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置の噴射部の他の例を示す構成図である。
20 注入部
30 送風部
40 隔壁部
50 フィルタ部
60 噴射部
70 排出部
Claims (7)
- ロードポートモジュールにおいて、ウエハ容器の前面に設けられ、ウエハ容器の湿度を低減するように、ウエハが出入りする出入口に遮断膜を形成するロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置であって、
ウエハ容器の前面上部に設けられる本体部と、
前記本体部の一方に設けられ、ガスを注入する注入部と、
前記本体部の内部にガスを供給するように送風する送風部と、
前記送風部の内部に離隔して設けられ、前記送風部の送風区域を複数個に区画する隔壁部と、
前記本体部の下部に設けられ、前記本体部の内部に供給されたガスを下方直進性で均等に分散させ、ガス膜を形成するように排出する噴射部と、を含み、
前記本体部は、
上下方向の筒状に形成された第1本体と、
前記第1本体の下部に拡張形成され、上下方向の筒状に形成された第2本体と、
前記第1本体の内部に離隔して設けられ、前記第1本体の内部空間を複数個に区画する離隔片と、を含み、
前記注入部は、前記第1本体の離隔片によって区画された複数の内部空間にそれぞれガスを注入するように複数の注入口が設けられていることを特徴とするロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。 - 前記送風部は、前記本体部の内部に、前記隔壁部により複数個に区画された送風区域にそれぞれ設けられた送風手段からなっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。
- 前記送風手段は、
前記本体部の一方の側面部位に区画された各送風区域に設けられた第1送風ファンと、
前記本体部の中央部位に区画された各送風区域に設けられた第2送風ファンと、
前記本体部の他方の側面部位に区画された各送風区域に設けられた第3送風ファンと
を含むことを特徴とする請求項2に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。 - 前記送風手段は、それぞれ個別に風速が制御される送風ファンからなっていることを特徴とする請求項2に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。
- 前記噴射部は、前記出入口の上部にガスを直進性で均等に分配して投入するように、複数個の貫通孔の端面がハニカム状又は円状に形成された分配管からなっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。
- 前記送風部と前記噴射部との間に設けられ、前記送風部により供給されるガスをフィルタリングするフィルタ部とをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置。
- 請求項1に記載のロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置を備えることを特徴とする半導体工程装置。
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