JPH11307633A - 低誘電率膜を有する半導体装置、およびその製造方法 - Google Patents
低誘電率膜を有する半導体装置、およびその製造方法Info
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Abstract
たり、低誘電率有機膜を層間絶縁膜に用いる場合の、有
機膜が従来の無機膜に比して柔らかい、熱伝導性に劣る
などの問題点を解決する半導体装置、および該半導体装
置の製造方法を提供する。 【解決手段】半導体基板上に形成された絶縁膜と、該絶
縁膜の上に形成された比誘電率が3.0以下の誘電体有
機膜と、該誘電体有機膜中に絶縁膜に接する配線膜を有
し、前記配線膜の上面が前記誘電体有機膜の上面よりも
高く形成された半導体装置。
Description
絶縁膜として用いた半導体装置の形成方法および半導体
装置の構造に関し、特に、0.25μmルール以下のデ
バイスプロセスに用いられる多層配線形成技術に関す
る。
線の微細化、配線ピッチの縮小化が必要とされている。
また、同時に、低消費電力化および高速化などの要求に
伴い、層間絶縁膜の低誘電率化も要求されている。特に
ロジック系のデバイスでは、微細配線による抵抗上昇、
配線容量の増加がデバイスのスピード劣化につながるた
め、微細でかつ低誘電率膜を層間絶縁膜とした多層配線
が必要不可欠である。
縮小化は、配線自体の縦横比を大きくするだけでなく、
配線間のスペースのアスペクト比を大きくし、結果とし
て、縦に細長い微細配線を形成する技術、微細な配線間
を層間膜で埋め込む技術などに負担がかかり、プロセス
を複雑にすると同時にプロセス数の増大を招いている。
り、ビアと配線溝をAlリフロースパッタで同時に埋め
込み、CMP(Chemical Mechanica
lPolishing)法により表面のAlを研磨する
いわゆるダマシンプロセスが知られている。
のAl配線をエッチングで形成することも、配線間の狭
隙を層間膜で埋め込む必要もなく、大幅にプロセス数を
減らすことが可能である。このプロセスは、配線アスペ
クト比が高くなるほど、そして配線総数が増大するほ
ど、トータルコストの削減に大きく寄与するようにな
る。また、一方、層間絶縁膜の低誘電率化は、配線間の
容量を低減することが期待される。
なる膜は、従来のデバイスに用いられているシリコン酸
化膜と膜質が大きく異なり、そのプロセス技術は未だ開
発されていない。従って、その実用化が求められてい
る。
が期待できる材料として、キセロゲルの半導体装置への
応用が注目されている。
70005号公報には、図22に示すように、金属リー
ド線94の信頼性を高める方法として、低誘電率材料9
6中に、熱拡散用ダミーリード線93を設ける構造が開
示されている。この構造は、基板92上に、アルミニウ
ム合金等からなる金属リード線94と、少なくとも金属
リード線94間に空隙、シリカ・エーロゲル、有機SO
G、フッ素酸化シリコン等からなる低誘電率材料96
と、金属リード線94及び低誘電率材料96上にデポジ
ットされた、AlN,Si3 N4 とAlNとの積層体等
からなる伝熱性絶縁層97と、金属リード線94に近接
したアルミニウム合金等からなるダミーリード線93と
を有している。
は、熱を拡散することができるダミーリード線93、及
び低誘電率材料より熱伝導度が20%高い、好ましくは
Si3N4 より20%高い熱伝導度をもつAlN等の絶
縁材料からなる伝熱性絶縁層97に移動できるものであ
る。かかる構造とすることにより、線間(又はリード線
間)の配線容量を減少させ、かつ、低誘電率材料の熱伝
導度が低下に伴い、高アスペクト比の金属リード線を用
いる場合に問題となるジュール熱効果による金属リード
線破損等を防止して、信頼性の高い金属リード線を有す
る半導体装置を得ようとするものである。
は、配線パターンを予め層間絶縁膜に形成しておき、そ
こに金属を埋め込み、CMP法により金属を研磨し、配
線を形成するというものである。従来の層間絶縁膜で
は、酸化シリコン膜等の無機材料を用いてきたが、微細
化に伴う容量増大を抑制する目的から、低誘電率の材料
が採用されつつある。低誘電率の材料の多くは有機膜で
あり、有機膜の膜質は、従来の酸化シリコン膜等の無機
膜に比して、その硬さは1/10〜1/100であり、
例えば、ダマシンプロセスに必要な硬さが不十分であ
る。
以下の低誘電率膜の多くは有機膜である。有機膜は、従
来の層間絶縁膜に用いられてきたシリコン酸化膜に比べ
柔らかいものが特徴である。例えば、ヤング率で比較す
ると、シリコン酸化物が5〜10×1010に対して、有
機膜を構成する樹脂は、0.3〜0.8×1010と小さ
い。
合、有機膜に多くのスクラッチが発生することになる。
スクラッチは、歩留りの低下原因となる。そのために、
一般にはシリコン酸化膜あるいは窒化膜を有機膜上に形
成しているが、これらの膜は、誘電率が有機膜に比べて
高く、配線間の容量が増大してしまうという問題があっ
た。
リコン膜や窒化シリコン膜を併用するアイデアが提案さ
れている。しかし、それらの膜は、誘電率が高く、有機
膜による低誘電率化の効果を半減させてしまうという問
題がある。
用いられてきた層間絶縁膜(シリコン酸化膜)に比べ、
熱伝導率が1/10程度と非常に小さく、素子の熱拡散
に重大な影響を及ぼす。すなわち、デバイスの縮小化に
伴い単位面積あたりの熱発生量は低下するが、放熱のた
めの経路の熱伝導率が下がってきている。従って、放熱
経路を考慮したデバイス構造が所望されている。
名称で乾燥剤等に使用される等、一般に広く知られた材
料であるが、半導体装置への応用には、様々な信頼性に
対する要求があり、現状では半導体装置へ適用するのは
困難である。すなわち、キセロゲルは、その体積の50
〜90%が気泡であり、機械的強度、熱伝導性、耐熱
性、耐湿性、層間密着性等に問題がある。従って、かか
る問題を解決しつつ、低比誘電率のキセロゲルを応用し
たデバイス構造が所望されている。
膜として用いた半導体装置及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
点に鑑み、低誘電率膜として有機膜、または有機膜及び
キセロゲルを含有する膜を層間絶縁膜として用いた半導
体装置をダマシン法で形成する方法および半導体装置、
及び該半導体装置の製造方法を考案した。
膜を介して比誘電率が3.0以下の誘電体膜と、該誘電
体膜中に絶縁膜に接する配線層を有する構造の半導体装
置において、前記配線層の上面が前記誘電体膜の上面よ
りも高いことを特徴とする半導体装置である。
形成する工程と、該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下
の誘電体膜を形成する工程と、該誘電体膜の上に無機膜
を形成する工程と、前記誘電体膜に配線層を形成するた
めのパターンを形成する工程と、前記配線層を全面に形
成する工程と、前記配線層を研磨する工程と、前記無機
膜を除去する工程とを有する半導体装置の製造方法であ
る。
において、前記誘電体膜は、好ましくは、環状フッ素樹
脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピ
レン、四フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレ
ン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化
エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイ
ミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイ
ミド、アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキ
シシラン縮合物(有機SOG)、分子中に化41、
子、分子中に化42、
子、分子中に化43、
子、または分子中に化44、
上の高分子からなる有機膜である。
品名、アモルファステフロン、サイトップ、FLARE
等の商品名で市販されているものを用いることができ
る。
配線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配
線間隔の部分に、より好ましくは、全ての配線間隔が1
ミクロン以下になるようにダミーの配線を有する。
前記誘電体膜上に、キセロゲルを含有する層間絶縁膜を
有し、より好ましくは、前記キセロゲルを含有する層間
絶縁膜上に、シランカップリング剤を含有する層を有す
る。
前記ダミーの配線の下の絶縁膜中で、且つ、下層導電層
と接続していないダミーの接続孔をさらに有する。
けられた不純物拡散領域または下層配線層を挙げること
ができる。
て、前記無機膜は、好ましくは、酸化シリコン膜、フッ
化シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、
シラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シ
リコン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・
リンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種
または2種以上からなる膜である。
て、好ましくは、配線パターンに対して、少なくとも3
倍ピッチ以上の配線間隔の部分に、より好ましくは、全
ての配線間隔が1ミクロン以下になるように、ダミーの
配線を形成する工程を有する。
しくは、配線パターン及び配線パターンに対して、少な
くとも3倍ピッチ以上の配線間隔の部分に、より好まし
くは、全ての配線間隔が1ミクロン以下になるようにダ
ミーの配線パターンを同時に形成する工程である。
より研磨する工程であるのが好ましい。
い有機膜あるいはキセロゲルを用いた半導体装置をダマ
シン法で形成する方法及び半導体装置構造に関するもの
である。
縁膜に形成しておき、そこに金属を埋め込み、CMP
(化学的機械的研磨)法により、金属を研磨し、配線層
を形成するものである。
どの固い材料を用いていた。しかし、半導体装置の微細
化に伴う容量増大を抑制する目的から、有機膜が低誘電
率材料として採用されつつある。
等の無機膜などと大きく異なり、例えば、ダマシンプロ
セスに必要な固さが不十分である。その値は、1/10
〜1/100と言われている。そこで、本発明では、有
機膜上に無機膜を形成した後に、配線層を有機膜中にダ
マシン法により形成し、無機膜を除去する方法を考案し
た。
めに、デバイス動作時に発生する放熱が問題となってき
た。そこで、本発明では、配線形成プロセスにおいて、
放熱経路、すなわち、ダミーの配線層を有機膜中にダマ
シン法により形成する半導体装置の製造方法を考案し
た。
とを接続する接続孔(ビアホール)形成時に、ダミー配
線の下に、下層導電層と接続しないダミーの接続孔を形
成することによって、放熱効果をさらに高める構造を提
案している。
目されているキセロゲル膜の配線形成プロセスへの適用
を考案した。キセロゲル膜は、低誘電率膜であるが、機
械的強度、熱伝導性、密着性、耐水性等が、従来の層間
絶縁膜に比して劣る。そこで、本発明では、キセロゲル
の適用箇所をできるだけ絞り、低誘電率膜と無機絶縁膜
を組み合わせることにより、低誘電率膜の奏する効果を
損なうことなく、配線間の容量を低減する構造を考案し
た。すなわち、キセロゲルを最も配線容量が大きくなる
部分に用い、それ以外の場所には有機膜無機低誘電率膜
を用いるものである。
間密着性に劣ることに鑑み、キセロゲル膜の下及び/又
は上にシランカップリング剤から形成される膜を設ける
ことも提案している。
3.0以下の誘電体膜(以下、「低誘電率膜」ともい
う。)としたため、配線間容量の増大が大幅に抑制され
た微細な半導体装置を製造することができる。
線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配線
間隔の部分に設ける場合には、熱伝導率の小さい低誘電
率膜を使用することによる熱拡散効率の低下を効果的に
防止することができる。
を設ける場合には、さらに熱拡散効率を上げることがで
きる。
(配線層の左右)、好ましくは、配線間隔が標準ピッチ
の3倍以下の箇所には、比誘電率が極めて小さなキロセ
ゲルを含有する膜を用い、かつ、配線間の接続孔の周囲
(配線層の上下)には、低誘電率膜を使用することによ
って、キセロゲル膜の欠点を補いつつ、配線容量を大幅
に縮小することによって、信頼性の高い微細構造を有す
る半導体装置を歩留りよく製造することができる。
は、シランカップリング剤からなる層を設けることによ
って、層間密着性に優れた半導体装置を製造することが
できる。
本発明の半導体装置は、半導体基板として、トランジス
タ、配線パターン等が形成されたn型若しくはp型不純
物が注入されたシリコン半導体基板を用いることができ
る。
縁膜が設けられる。該絶縁膜としては、例えば、酸化シ
リコン膜を用いることができる。前記絶縁膜は、例え
ば、熱酸化による方法、CVD(Chemical V
apor Deposition)法、スパッタリング
法等により形成することができ、膜厚は300〜700
nm程度が好ましい。
る。該低誘電率膜は、比誘電率が3.0以下のものが好
ましい。前記低誘電率膜としては、前記列記した比誘電
率が3.0以下の誘電体膜、キセロゲルを含有する膜等
ものを使用することができる。
をスピンコーターで成膜し、300〜500℃で焼成す
ることにより形成することができる。また、アモルファ
スカーボン等の材料の場合は、アセチレン、必要に応じ
てフルオロカーボンガスを用いて、プラズマCVD装置
を用いて形成することができる。前記有機膜の膜厚は、
通常、300〜700nmが好ましい。また、 前記キ
セロゲルを含有する膜は、例えば、スピンコート法で製
膜することができる。
ロゲルを含有する膜を形成するのが好ましい。キセロゲ
ルとは、乾燥した状態にあるゲルをいい、例えば、シリ
カゲルを例示することができる。より具体的には、ナノ
グラス社が開発した、商品名Nonoporous Silica があ
り、ポーラスシリカの1種である。本発明は特にこれに
限定されることなく、芳香族等の比較的高分子のアルキ
ル基を有するシラノール樹脂を塗布し、それをゲル化さ
せ、シランカップリング剤あるいは水素化処理を用いて
疎水処理等を行って形成したものであれば、どんなキセ
ロゲルでもよい。キセロゲルは、比誘電率が2.0以下
となることが期待できる材料であり、配線間の容量を大
幅に低減することができる。
を、前記低誘電体膜上、好ましくは、該低誘電体膜上で
あって、少なくとも配線間隔が3倍ピッチ以下の領域に
形成する。そして、好ましくは、キセロゲルを含有する
膜を配線層の左右に埋め込むように形成するのが好まし
い。
装置においては、前記比誘電率が3.0以下の誘電体膜
中に、配線間を接続するための接続孔を有する構造とす
ることが好ましい。
よって、キセロゲルを含有する膜の適用箇所をできるだ
け絞り、低誘電率の有機膜とキセロゲルを含有する膜を
組み合わせることによって、キセロゲル膜の上記欠点を
補いつつ、かつ、低誘電率膜の効果を損なうことなく、
配線間の容量を低減することが可能となる。
有する膜は層間密着性に乏しい。従って、層間密着性を
高めるために、前記キセロゲルを含有する膜の上に、シ
ランカップリング剤を含有する膜を形成するのも好まし
い。該シランカップリング剤は、例えば、一般式RSi
X3 あるいはRR’SiX2 (R及びR’はアルキル
基、アルコキシアルキル基等を表し、Xはハロゲン原子
を表す。)で表される珪素化合物を例示することができ
る。該珪素化合物は、分子中に疎水性部分(RやR’)
と極性部分(X)とを有し、疎水性の有機膜と極性を有
するキセロゲルを含有する無機膜との層間密着性を高
め、剥がれを防止する役割を果たす。
ピンコート法で塗布し、製膜することができる。
る膜あるいはシランカップリング剤を含有する膜の上
に、無機膜を形成する。該無機膜としては、酸化シリコ
ン膜、フッ化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、シラノ
ール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリコン
膜、ボロンドープ酸化シリコン膜、ボロン・リンドープ
酸化シリコン膜等を例示することができる。
D法によるが、還元雰囲気で行う必要がある。酸化雰囲
気下でCVDを行うと、有機膜が酸化され、膜の剥がれ
などの現象を生じるため好ましくない。例えば、酸化シ
リコン膜の場合、プラズマCVD装置を用いて、シラン
ガスおよびN2 Oガスの雰囲気下で、温度300〜50
0℃で成膜することができる。
て配線をパターニングし、フォトエッチングにより、最
上層の無機膜、シランカップリング剤を含有する膜、キ
セロゲルを含有する膜および有機膜を、例えば、一般的
なマグネトロン方式のエッチング装置を用いてエッチン
グを行う。エッチングは、例えば、酸化シリコン等の無
機膜の場合は、エッチングガスとして、C2 F6 ,C
O、アルゴンおよび酸素ガスを使用して行うことができ
る。
として、例えば、CHF3 と酸素ガスを用いて、−10
℃程度の低温で行うことができる。この場合、上層の無
機膜は低誘電率膜をエッチングする際のマスクにもなっ
ている。また、有機膜をエッチングする条件では、レジ
スト膜もエッチングされる。
形成する。配線層材料としては、アルミニウム、銅、
金、タングステンおよびこれらの合金からなる群から選
ばれる一種以上を例示することができる。配線材料は、
例えば、スパッタリング法あるいはCVD法により形成
することができる。
研磨する。研磨に使用することのできる研磨剤として
は、例えば、アルミナ、二酸化マンガン、シリカ系スラ
リー、式Wx Oy で表される酸化タングテン、酸化セシ
ウム、酸化ジルコニウム、酸化シリコン等を挙げること
ができ、かかる研磨剤には、所望により過酸化水素、水
酸化カリウム、アンモニア等が混合される。
込んだスクラッチを除去するために、CMP法により5
0nm程度の無機膜を研磨する。
2 F6 ,COおよびアルゴンガスを使用して、無機膜、
シランカップリング剤を含有する膜及びキセロゲンルを
含有する膜のエッチングを行う。この条件では、有機膜
はほとんどエッチングされない。
含有する膜を用いない場合には、配線層の上面は前記誘
電体膜の上面よりも高くなる構造が得られる。配線層の
上面は前記誘電体膜の上面よりも高くなるのは、最後に
無機膜をエッチングにより除去するためである。
対して少なくとも3倍ピッチ以上の配線間隔の部分に、
より好ましくは、配線間隔が1ミクロン以下になるよう
に、ダミーの配線パターンが形成されるのが好ましい。
ッチ以上の間隔の部分がある場合には、熱伝導度の小さ
な有機膜、有機膜及びキセロゲルを含有する膜を使用す
るため、動作時に生じる熱の放出経路がないので、微細
構造を有する半導体装置に誤差動等を生じるので好まし
くないからである。
を設けることも可能であるが、配線構造が微細になり、
ダミー配線を設ける効果に乏しくなる。
けるある配線の中心ととなりの配線の中心との距離をい
う。半導体装置は、あるピッチで配線層を形成するが、
半導体装置の他の部分では、この配線間の距離が3倍ピ
ッチ以上あいている箇所がある。一般に、有機膜及びキ
セロゲルを含有する膜は、従来、層間絶縁膜として用い
られてきた酸化シリコン膜に比べて、熱伝導率が1/1
0程度と非常に小さい。本発明は、かかる熱拡散のため
に、配線パターンに対して少なくとも3倍ピッチ以上の
配線間隔の部分に、ダミーの配線パターンを形成するも
のである。
のパターニングの際に、ダミーのための配線のパターニ
ングを同時に行い、通常の配線の形成と同様にして形成
することが、製造工程上好ましい。
の場合には、第2の誘電膜を200〜400nmの膜厚
で形成する。この誘電膜としては、例えば、酸化シリコ
ン膜、窒化シリコン膜の他、前述した材料からなる有機
膜、キセロゲルを含有する膜等を挙げることができる
が、半導体の容量を小さくするために、有機膜及びキセ
ロゲルを含有する膜を使用するのが好ましい。
形成したのち、以上の操作を繰り返し、最後に上層をパ
ッシベーション膜で被覆することにより、配線加工が完
了する。
体装置の製造方法は、多層配線構造を有する半導体装置
の製造に特に好ましく適用することができる。
体装置の製造方法を、発明の実施形態の説明により、更
に詳細に説明する。
す。この半導体装置は、2層の配線構造を有するnチャ
ネルMOS型トランジスタである。
板1上に、トレンチ法により形成した酸化シリコン膜2
からなるアイソレーション領域に、図示しないn型不純
物がイオン注入されたソース領域とドレイン領域を有す
る。そして、該半導体基板の上にゲート酸化膜3を介し
て中央部にポリシリコンからなるゲート電極4が設けら
れ、ゲート電極は、図示しないゲートと接続している。
さらにその上には、比誘電率が3.0以下の低誘電率膜
からなる層間絶縁膜5が設けられている。
からなる配線層6が設けられる。該配線層は、便宜上、
図面で区別していない通常の配線層と放熱のためのダミ
ーの配線層とからなっている。このダミー配線層は、配
線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配線
間隔の部分に形成される。そして、前記配線層は、コン
タクトホール7を介して、ソース領域とドレイン領域と
に接続している。
さは、酸化膜を除去するため前記低誘電率膜5の上層の
高さよりわずかに高く形成されている。
層目の配線層8が設けられている。さらに、これらの上
部には窒化珪素からなる2層目の低誘電率膜9が設けら
れ、さらに、ビアコンタクトホール10を介して、第3
層目の配線層11が設けられている。そして、その上に
パッシベーション膜12が形成された構造を有してい
る。
比誘電率が3.0以下の誘電体膜を用いているため、配
線間容量の増大が抑制された微細な多層構造を有する半
導体装置となっている。
線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配線
間隔の部分に設けることによって、熱伝導率の小さい低
誘電率膜を使用することによる熱拡散効率の低下を効果
的に防止することができる。
MOS集積回路の製造方法である。
体基板13上に、熱酸化法により酸化シリコン膜14を
形成する。次いで、フォトレジスト15を使用して、酸
化シリコン膜14上にpウェル16の領域となるパター
ンを形成し、イオン注入法により、ホウ素をシリコン基
板内に打ち込みを行い(図2(a))、その後、図2
(b)に示すように、レジスト膜15を除去する。
CVD法により全面に窒化シリコン膜17を堆積し、フ
ォトレジストで、素子分離領域を形成した後、フォトレ
ジストの開孔部の窒化シリコン膜17をエッチングによ
り除去して開孔する。
酸化法(LOCOS法)により、厚い酸化膜19を選択
的に形成する。
として使用した窒化シリコン膜17とその下の酸化シリ
コン膜14をエッチングにより除去し、新たな酸化シリ
コン膜20を形成し、さらにその上に、例えば、CVD
法により、ポリシリコン膜を成長形成し、素子分離のパ
ターニングと同様な方法により、ゲート電極21を形成
する。
オン注入法により、pウェル領域16には砒素(n+)
を、pウェル領域以外にはホウ素(p+)をシリコン基
板中に打ち込み、熱拡散によりn+領域23とp+領域
22とを形成する。
ジスタ等の素子の形を形成した後、その上に膜厚500
nm程度の厚い比誘電率が3.0以下の誘電体膜24を
形成する。該誘電体膜の形成は、例えば、前駆体をスピ
ンコーターで基板上に成膜し、その後、300〜450
℃で焼成することにより行うことができる。また、誘電
体膜がアモルファスカーボン等の場合には、アセチレ
ン、必要に応じてフルオロカーボンガスを使用して、プ
ラズマCVD装置を用いて成膜し、300〜450℃で
焼成することにより行うことができる。
膜の上に、例えば、無機膜として酸化シリコン膜25を
形成したのち、レジスト膜26を成膜して、各々の素子
と金属配線とを接続するためのコンタクトホールを形成
するためのパターニングを行う。前記酸化シリコン膜2
5は、例えば、プラズマCVD装置により、シランガス
50sccm、N2 Oガス1000sccmの還元的雰
囲気下で、プラズマパワー500W、圧力10Tor
r、温度350℃で成膜することができる。
クトホール27を開孔する。コンタクトホールは、例え
ば、一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を用い
て、最上層の酸化シリコン膜25、その下層の有機膜2
4をそれぞれエッチングすることにより形成する。エッ
チングの条件は、例えば、低誘電率膜の場合は、CHF
3 (5sccm)、酸素(50sccm)、He(20
0sccm)ガスを用い、RFプラズマ500W、−1
0℃という低温であり、酸化シリコン膜の場合は、例え
ば、C2 F6 (14sccm)、CO(180scc
m)、Ar(240sccm)、O2 (6sccm)ガ
スを用いて、RFプラズマ1500Wである。この場
合、上層の酸化シリコン膜25は、低誘電率膜をエッチ
ングする際のマスクの役割も果たしている。
ン法により配線28を形成する。すなわち、配線材料と
して、例えば、銅をスパッタリング装置あるいはCVD
装置により全面に堆積させ、続いて、CMP法により、
余分な金属を、例えば、アルミナを用いて研磨する。こ
れは、完全に余分な金属を除去するためと、酸化シリコ
ン膜に入り込んだスクラッチを除去するためである。そ
の後、酸化シリコン膜を、一般的なマグネトロン方式の
エッチング装置を用いてエッチングした。このときの条
件は、例えば、C2 F6 (14sccm)、CO(18
0sccm)、Ar(240sccm)である。この条
件では、誘電体膜24はほとんどエッチングされない。
8の上面は、酸化膜25を除去するため、誘電体膜より
も高く形成されることになる。
を洗浄した後、パッシベーション膜として、酸化シリコ
ン膜29を300nm形成する。ウェーハプロセスの完
了後、マウンティング・ボンディングプロセスを施すこ
とにより、所望の半導体装置を製造することができる。
ば、低誘電率膜を使用する、配線間容量の増大が抑えら
れた微細構造の半導体装置を効率よく製造することがで
きる。
低誘電率膜を使用する半導体装置の製造方法である。
配線パターン等が形成されたシリコン半導体基板30上
に、膜厚500nmで酸化シリコン膜31を形成し、さ
らにその上に膜厚500nmで比誘電率が3.0以下の
低誘電率膜32、及び膜厚100nmで、無機膜として
酸化シリコン膜33を成膜した状態図である。
にして成膜することができる。酸化シリコン膜33は、
第2実施形態の場合と同様にして、プラズマCVD法に
より、還元雰囲気下で行う。例えば、シランガス50s
ccm、N2 Oガス1000sccm、プラズマパワー
500W、圧力10Torr、温度350℃の条件で行
うことができる。
ターンをレジスト34をマスクにパターニングし、図7
(c)に示すように、一般的なマグネトロン方式のエッ
チング装置を用いて、最上層の酸化シリコン膜33およ
びその下層の有機膜32をエッチングする。例えば、低
誘電率膜の場合は、CHF3 (5sccm)、酸素(5
0sccm)、He(200sccm)ガスを用い、R
Fプラズマ500W、−10℃という低温でエッチング
を行うことができる。また、酸化シリコン膜の場合は、
例えば、C2 F6 (14sccm)、CO(180sc
cm)、Ar(240sccm)、O2 (6sccm)
ガスを用いて、RFプラズマ1500Wでエッチングす
ることができる。この場合、上層の酸化シリコン膜33
は、低誘電率膜32をエッチングする際のマスクの役割
も果たしている。
ッタリング装置あるいはCVD装置により堆積させる
(図7(d))。続いて、CMP法により、余分な金属
を、例えば、アルミナを用いて研磨する。これは、完全
に余分な金属を除去するためと、酸化シリコン膜に入り
込んだスクラッチを除去するためである。
グネトロン方式のエッチング装置を用いてエッチングす
る。このときのエッチングの条件は、例えば、C2 F6
(14sccm)、CO(180sccm)、Ar(2
40sccm)である。この条件では、低誘電率膜32
はほとんどエッチングされない。
の上面は、図8(e)に示すように有機層32の上面よ
りも高く形成される。
を洗浄した後、パッシベーション膜として、第2の低誘
電率膜36を第1の低誘電率膜と同様にして膜厚300
nmで形成する。
ンティング・ボンディングプロセスを施すことにより、
所望の半導体装置を製造することができる。
ば、低誘電率膜を使用する微細構造の半導体装置を効率
よく製造することができる。また、本実施形態により製
造される半導体装置は、パッシベーション膜として、第
1の低誘電率膜と同様にして第2の低誘電率膜を用いる
ことにより、配線間の容量の小さい半導体装置を得るこ
とができる。
ー配線42を有する半導体装置の製造例である。
る以外は、第3実施形態の前掲図8(f)までの状態と
同様の工程を経ることにより得ることができる構造の断
面図を図9に示す。
タ、配線パターン等が形成されたシリコン半導体基板3
7上に、膜厚500nmで酸化シリコン膜38を形成
し、その上に、膜厚500nmで比誘電率が3.0以下
の低誘電率膜39、銅からなる配線40および第2の低
誘電率リコン膜41を成膜する。
線を形成したのち、ダミーパターンをレジストをマスク
にエッチングすることにより形成する。このとき、配線
ピッチが最小ピッチの3倍以上あるところに、ダミーパ
ターンを挿入し、配線間隔が少なくとも1ミクロン以上
の箇所をなくす。配線ダミーの挿入は、配線アスペクト
比と、最小配線ピッチ(絶対値)に依存する。例えば、
アスペクト比2、最小配線ピッチが0.5ミクロンの場
合、最小配線間隔はおよそ0.25ミクロンなので、
0.75ミクロン以上の配線間隔を少なくとも確保し、
1ミクロン以上の配線間隔を無くすようにダミー配線を
形成するのが好ましい。その後、第2の低誘電率膜41
を第1の低誘電率膜の形成と同様にして形成することに
より、図9(a)に示す状態を得る。
スト膜43を全面に堆積させた後、第1層目の配線と第
2層目の配線とを接続するコンタクトホール44形成の
ためのパターニングを行い、図10(c)に示す様に該
コンタクトホール44にタングステン等の金属を埋め込
む。
窒化シリコンからなる無機膜45を、例えば、CVD法
により膜厚100nmで成膜し、図11(e)に示すよ
うに、レジスト46により第2の配線のパターニングを
行う。次いで、図12(f)に示すように、配線パター
ンをフォトエッチングにより形成する。
に、配線材料としてアルミニウム47を真空蒸着法によ
り全面に堆積させ、図13(h)に示すように、CMP
法により前述したのと同様にして第2の配線層48を形
成する。
線48の上面は、第2の有機層40の上面よりも高く形
成される。
表面を洗浄した後、パッシベーション膜として酸化シリ
コン膜を、例えば、CVD法により膜厚500nmで形
成する。
ンティング・ボンディングプロセスを施すことにより、
所望の半導体装置を製造することができる。
ば、低誘電率膜を使用する微細構造の信頼性の極めて高
い半導体装置を効率よく製造することができる。
は、層間絶縁膜として低誘電率膜を使用しているので、
半導体装置の配線間の容量を大幅に減少させることがで
きる。
チの3倍以上あるところに、ダミーパターンを挿入し、
配線間隔が少なくとも1ミクロン以上の箇所をなくよう
にしているので、熱伝導率の低い有機膜を使用する場合
であっても、半導体装置の内部で発生する熱を外部に放
出することができるので、発熱による故障がない信頼性
の高い半導体装置である。
であって、配線層間(左右)の層間絶縁膜としてキセロ
ゲルを含有する膜を用い、配線層間(上下)に比誘電率
が3.0以下の誘電体膜を使用した半導体装置の製造例
である。本実施形態により製造される半導体装置の主要
工程断面図を図14及び図15に示す。なお、以下の図
においては、便宜上、素子分離膜、電極等は図示を省略
している。
ーン等が形成されたシリコン基板50上に、シリコン酸
化膜、シリコン窒化酸化膜、シリコン窒化膜等の絶縁膜
51を形成する。シリコン酸化膜は、例えば、スピンコ
ート法を用い、市販の無機SOG(シラノール又はシラ
ノールを含むポリマーを主成分とするもの)を、約50
nmの膜厚で形成する。この際、スピンコート後は、1
50〜200℃で1分程度のベークを行い、キュアを3
50〜450℃で30分から1時間行う。シリコン酸化
膜は、プラズマ装置を用いてプラズマCVD法により形
成することもできるが、銅配線を酸化させるのを極力防
止するために、酸化剤としてN2 Oガスを用い、シリコ
ン源として、モノシラン、ジシラン、トリシラン等のシ
ラン類を用いることが好ましい。プラズマCVD法によ
る場合は、基板温度300〜400℃、プラズマパワー
350W、圧力1kPa程度の条件で成膜することがで
きる。
有する市販の無機SOGをスピンコート法で成膜するこ
とができるが、好ましくは、プラズマCVD法を用いて
成膜する。使用するガスとして、例えば、シリコンソー
スとして、モノシラン、ジシラン、トリシラン等のシラ
ン類を用い、窒化剤として、例えば、アンモニア、ヒド
ラジン等を、酸化剤として、N2 Oガスを、キャリアガ
スとして、窒素、ヘリウム、アルゴン等をそれぞれ用
い、基板温度を300〜400℃、プラズマパワー35
0W、圧力1kPa程度の温度で成膜することができ
る。
を有する市販の無機SOGをスピンコート法で成膜する
ことができるが、好ましくは、プラズマCVD法を用い
て成膜する。使用するガスとしては、シリコンソースと
して、モノシラン、ジシラン、トリシラン等のシラン類
を用い、窒化剤として、アンモニア、ヒドラジン等を、
キャリアガスとして、窒素、ヘリウム、アルゴン等をそ
れぞれ用い、基板温度を300〜400℃、プラズマパ
ワー350W、圧力1kPa程度の温度で成膜すること
ができる。
膜後、所定のパターニングを行い、フォトエッチング法
にてコンタクトホールを開孔し、タングステン等の金属
を埋め込むことにより、コンタクトプラグ52を形成す
る。
00nm程度で成膜することにより、図14(a)に示
す状態図を得る。前記低誘電率膜53は、比誘電率が
3.0以下の絶縁膜であれば特に制限はない。例えば、
低誘電率膜やキセロゲルを含有する膜を挙げることがで
きる。その他低誘電率膜としては、前記列記したものを
用いることができる。
カップリング剤等からなる無機膜56を、例えば、CV
D法により膜厚100nmで全面に成膜し、図示しない
レジスト膜により第1の配線のパターニングを行い、配
線パターンをフォトエッチングにより形成する。この際
のエッチングは、例えば、市販のエッチング装置で、C
2 F6 (14sccm),CO(180sccm),A
r(240sccm)ガスを用いて、RFプラズマ15
00Wで行うことができる。
に、配線材料としてアルミニウム、銅、銅合金、タング
ステン等の金属を真空蒸着法等により堆積させ、CMP
法により第1の配線層54を形成する。この際、前記無
機膜56は、完全に除去されるのが好ましいが、実際の
製造上は、図14(b)に示すように基板上に残存して
いてもよい。
に低誘電率膜57を膜厚800nm程度で成膜する。成
膜は、例えば、前駆体をスピンコーターで成膜し、その
後、300〜450℃でキュア(焼成)することにより
行うことができる。前記低誘電率膜の材料としては、比
誘電率が3.0以下のものが好ましく、例えば、前記列
記したもの用いることができる。
いる場合は、アセチレン、必要に応じてフルオロカーボ
ンガスを用い、プラズマCVD装置を用いて形成するこ
とができる。この場合にも、300℃〜450℃でキュ
アを行う。
膜した後、所定のパターニングを行い、フォトエッチン
グにより第2の接続孔を第1配線層まで開口したのち、
タングステン等の金属を埋め込むことにより、ビアコン
タクトプラグ58を形成する(図15(d))。
に、キセロゲルを含有する膜59を、例えば、膜厚50
0nm程度で形成する。キセロゲルとしては、例えば、
ナノグラス社が開発したNonoporous Silica (商品名)
を用いることができる。Nonoporous Silica (商品名)
は、ポーラスシリカの一つであるが、本実施形態では、
これに限定されることなく、芳香族等の比較的高分子の
アルキル基を有するシラノール樹脂をウェーハ上に塗布
し、それをゲル化させ、シランカップリング剤または水
素化処理により疎水処理を行って形成されたものであっ
てもよい。
は、特に層間密着性に乏しいので、前記低誘電率膜上
に、前記列記したようなシランカップリング剤を、剥離
防止のために予め塗布しておくのが好ましい。シランカ
ップリオング剤としては、一般式:RSiX3 ,RR’
SiX2 (式中、R,R’は、アルキル基を表し、Xは
ハロゲン原子を表す。)で表されるアルキルシラン類を
例示することができる。
膜後、所定のパターニングを行い、フォトエッチング法
により、配線層のための溝を形成する。この際のエッチ
ングは、例えば、市販のエッチング装置で、C2 F
6 (14sccm),CO(180sccm),Ar
(240sccm)ガスを用いて、RFプラズマ150
0Wで行うことができる。続いて、図15(e)に示す
ように、全面に、配線材料としてアルミニウム、銅、銅
合金、タングステン等の金属を真空蒸着法等により堆積
させたのち、図示しない無機膜を堆積させ、例えば、シ
リカ系スラリーを用いたCMP法により第2の配線層6
0を形成する。この際、無機膜としては、第1の配線層
を形成する際に列記したのと同様のものを使用すること
ができる。なお、無機膜は、完全に除去されるのが好ま
しいが、実際の製造では基板上に残存していてもよい。
に酸化シリコン膜等の絶縁膜61をパッシベーション膜
として形成して、配線層の形成工程が終了する。
左右)、好ましくは、配線間隔が標準ピッチの3倍以下
の箇所には、比誘電率が極めて小さなキロセゲルを含有
する膜を用い、かつ、配線間の接続孔の周囲(配線層の
上下)には、比誘電率が3.0以下の誘電体膜を使用し
ている。従って、キセロゲル膜の機械的強度、熱伝導
性、耐熱性、耐湿性、層間密着性に乏しいという欠点を
補いつつ、配線容量を大幅に縮小することによって、信
頼性の高い微細構造を有する半導体装置を歩留りよく製
造することができる。
は、シランカップリング剤からなる層を設けることによ
って、層間密着性に優れた半導体装置を製造することが
できる。
ているので、半導体装置全体の発熱が少なく、温度上昇
による誤作動の少ない信頼性の高い半導体装置である。
い、放熱経路としてダミーの配線層およびダミーの接続
孔(ダミーのコンタクトホール)を形成する例である。
ないトランジスタ等の能動素子、素子分離膜63で構成
されたシリコン半導体基板62上に下層層間絶縁膜64
を形成する。
にレジスト膜65を成膜し、コンタクトプラグ(接続
孔)66およびダミーのコンタクトプラグ67の形成の
ためのパターニングを行う。ダミーのコンタクトホール
は、層間絶縁膜63上で上層に形成するダミーの配線の
下部に形成するのが製造上好ましい。また、コンタクト
ピッチは、最小ピッチになっていることが好ましい。最
小ピッチにすることにより、熱伝導性が向上し、熱拡散
効率を高めることができる。
間絶縁膜、コンタクトプラグ等の形成は、公知の技術を
利用することができる。下層層間絶縁膜としては、例え
ば、酸化シリコン膜、リン、あるいはリン及びホウ素が
不純物としてドーピングされた酸化シリコン膜を形成す
ることができる。また、コンタクトプラグ(66,6
7)の形成にはタングステン等の導電性物質を埋め込む
ことにより形成することがでできる。以上のようにし
て、図16(c)に示す状態を得る。
電率膜68を全面に形成した後、該低誘電率膜68上
に、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコ
ン膜あるいは窒化膜系の無機膜69を、例えば、膜厚1
00nm程度で成膜する。
(Chemical VapourDepositio
n)法が用いられるが、還元雰囲気下で行うのが好まし
い。酸化雰囲気でCVD法を用いる場合には、低誘電体
有機膜が酸化され、膜剥がれ等の好ましくない現象をひ
き起こすおそれがある。
を成膜する場合には、例えば、プラズマCVD装置を用
い、シランガス50sccm、N2 Oガス100scc
m、プラズマパワー500W、圧力10Torr、温度
350℃の条件で行うことができる。
レジスト膜70を成膜し、配線及びダミーの配線を形成
するためのパターニングを行う。ダミーの配線のパター
ニングは、好ましくは、少なくとも3倍ピッチ以上の配
線間隔の部分、より好ましくは、3倍ピッチ以上の配線
間隔の部分であって、全ての配線間隔が1ミクロン以下
になるように行う。
ミーの配線のパターニングを必ずしも同時に行う必要は
ない。
チング装置を用いて、最上層の酸化シリコン膜69及び
その下層の低誘電体膜68をエッチングする。エッチン
グは、例えば、酸化シリコン膜のエッチングの場合は、
例えば、C2 F6 (14sccm)、CO(180sc
cm)、Ar(240sccm)、O2 (6sccm)
ガスを用いて、RFプラズマ1500Wで行うことがで
きる。また、低誘電体膜のエッチングの場合は、CHF
3 (5sccm)、酸素(50sccm)、He(20
0sccm)ガスを用い、RFプラズマパワー500
W、−10℃の条件で行うことができる。
リコン膜69は、低誘電体膜68をエッチングする際の
マスクの役割も果たしている。すなわち、低誘電体膜を
エッチングする条件では、レジスト膜70も同時にエッ
チングされる。なお、本実施形態では、酸化シリコン膜
を用いるが、その他、TiN、TiON、TaN、Ta
O、TaON、WN、W、Ti等の金属系材料を使用す
ることもできる。
ン法により、配線層71及びダミーーの配線層72を形
成する。以上のようにして形成される配線層71及びダ
ミーの配線層72の上面は、低誘電率膜68の上面より
も高く形成されている。
グ装置あるいはCVD装置を用いて、配線材料(金属)
として、例えば、銅を全面に堆積させ、続いて、CMP
法により、余分な金属膜を研磨した後、再度のCMP法
により、50nm程度の無機膜(酸化シリコン膜)69
を研磨することにより行われる。この研磨は、完全に金
属を除去するためと、酸化シリコン膜に入ったスクラッ
チを除去するために行われるものである。
マグネトロン方式のエッチング装置を用いてエッチング
する。このときの条件としては、例えば、C2 F6 (1
4sccm)、CO(180sccm)、Ar(240
sccm)を用いることができる。こういった条件で
は、誘電体有機膜はほとんどエッチングされない。な
お、装置性能よりも、信頼性を重視する場合には、この
酸化シリコン膜の除去工程を省略することができる。
ミーの配線層の他に、ダミーの配線層に接続するダミー
のコンタクトプラグを有しているので、更に放熱効果が
高められている。従って、信頼性の極めて高い配線構造
を有する半導体装置である。
層及びダミーの接続孔(ダミーのビアコンタクトホール
及びダミーのビアコンタクトホール)を有する半導体装
置の製造例である。
掲図17(g)に示す状態を得る。次に、前記配線層7
1及びダミーの配線層72上に、膜厚100nm以下の
薄い窒化シリコン膜、酸化シリコン膜あるいは窒化酸化
シリコン膜等の図示しない無機膜を形成した。この膜
は、ビアコンタクトホール開口時にエッチングストッパ
ー層として用いるため、できるだけ薄い方が望ましい。
本実施形態では、例えば、窒化シリコン膜を膜厚10n
mで形成する。
の導電体膜73を全面に形成する。本実施形態では、こ
の低誘電体膜73として、前記列記したもののほか、比
較的誘電率の高い、有機SOG膜、シリコンフッ化酸化
膜等を使用することも可能である。この第2の低誘電体
膜73は、一般に市販されているCVD装置あるいはS
OGコーター装置を用い、公知の技術を用いて形成する
ことができる。
リコン酸化膜、窒化酸化シリコン膜あるいは窒化シリコ
ン膜等の無機膜74を成膜する。これらの膜は、一般的
には、CVD装置を用いて成膜することができるが、S
OGコーター、蒸着、スパッタ装置を用いることもでき
る。この無機膜74は、配線層をパターニング後のエッ
チングした際のストッパーとして作用する。
後、ビアコンタクト及びダミーのビアコンタクト形成の
ためのパターニングを行う。このとき、ダミーのビアコ
ンタクトホールの形成は、上下にダミーの配線が形成さ
れるところに、最小ピッチで行うのが好ましい。
3をエッチングすることにより、ビアコンタクトホール
及びダミーのビアコンタクトホールを形成することによ
り、図18(h)に示す状態図を得る。無機膜74及び
第2の低誘電率膜73のエッチングは、前述した無機膜
及び低誘電率膜のエッチング条件と同様にして行うこと
ができる。その際には、レジスト膜75も同時にエッチ
ング除去される。
ンタクホール及びダミーのビアコンタクトホールに埋め
込むことにより、ビアコンタクトプラグ74及びダミー
のビアコンタクトプラグ75を形成することにより、図
18(j)に示す状態図を得る。
成する。形成方法は、前記第2の低誘電体膜と同様であ
る。さらに、前記第3の低誘電体膜78上に、シリコン
酸化膜、窒化酸化シリコン膜あるいは窒化シリコン膜等
の無機膜79を成膜することにより、図19(k)に示
す状態図を得る。これらの膜は、一般的には、CVD装
置を用いて成膜することができるが、SOGコーター、
蒸着、スパッタ装置を用いることもできる。この無機膜
79は、配線層をCMP法により研磨するときのストッ
パーとして作用する。
レジスト膜80を成膜後、配線層及びダミーの配線層形
成のためのパターニングを行う。ダミーの配線層のパタ
ーニングは、配線間隔が最小ピッチ以上のところに形成
するのが望ましい。ダミーパターンを設計最小寸法で形
成した場合に、ダミーの配線層と配線層との間隔が最小
ピッチ以上にするためである。なお、性能を重視する場
合においては、その間隔を最小間隔よりも2倍以上にし
ておくのがより好ましい。配線間隔を2倍以上にするこ
とにより、配線間の容量をおよそ半分にすることができ
るからである。
チング装置を用いて、最上層の無機膜77、およびその
下層の第3の低誘電体膜78をエッチングする。このエ
ッチングは、例えば、低誘電体膜の場合は、CHF
3 (5sccm)、O2 (50sccm)、He(20
0sccm)ガスを用い、RFプラズマ500W、−1
0℃で行うことができる。また、無機膜(酸化シリコン
膜)の場合は、例えば、C2 F6 (14sccm)、C
O(180sccm)、Ar(240sccm)、O2
(6sccm)ガスを用いて、RFプラズマ1500W
でエッチングを行うことができる。
誘電体膜78をエッチングする際のマスクにもなってい
る。すなわち、第3の低誘電体膜をエッチングする条件
では、レジスト膜80も同時にエッチングされる。な
お、本実施形態では、酸化シリコン膜等の無機膜を用い
ているが、TiN、TiON、TaN、TaO、TaO
N、WN、W、Ti等の他の金属膜を用いることもでき
る。
ーニングを行わず、配線層を形成した後、ダミーのコン
タクトホール形成のためのパターニングを行って、そこ
に、熱伝導性の高い、酸化シリコン膜、窒化シリコン
膜、窒化酸化シリコン膜等を形成することもできる。
ミーの配線層82を形成する。すなわち、配線材料(金
属)として、例えば、銅をスパッタ装置あるいはCVD
装置で形成し、続いて、CMP法により余分な金属膜を
研磨する。最後に、再度のCMP法により、50nm程
度の無機膜79を研磨する。無機膜を再度研磨するの
は、完全に余分な金属を除去することと、無機膜(酸化
シリコン膜等)に入ったスクラッチを除去するためであ
る。
な2層の配線層、ダミーの配線層、接続孔及びダミーの
接続孔を有する多層配線構造を形成することができる。
このとき、配線層81及びダミーの配線層82の上面の
高さは、第3の低誘電率膜78の上面の高さよりも高く
形成されている。
3層以上の多層配線構造も同様にして形成することがで
きる。
ミーの配線層の他に、ダミーのコンタクトプラグを有し
ているので、更に放熱効果が高められている。従って、
信頼性の高い多層配線構造を有する半導体装置を得るこ
とができる。
接続孔(コンタクトホールまたはビアコンタクトホー
ル)形成のためのパターニングと同時にダミーの配線層
あるいはダミーの接続孔形成のためのパターニングを同
時に行う例を示した。本発明においては、配線層あるい
は接続孔を形成した後に、ダミーの配線層あるいはダミ
ーの接続孔を形成することを行うことも可能である。
線層を形成するには、次のように行うことができる。先
ず、図21(a)に示すように、接続プラグ85及び配
線層84を形成した構造を得たのち、図21(b)に示
すように、酸化シリコン膜等の無機膜89を全面に成膜
した後、レジスト膜89を成膜し、ダミーの配線層形成
のためのパターニングを行う。
チング装置を用いて、前記無機膜89を、例えば、C2
F6 (14sccm)、CO(180sccm)、Ar
(240sccm)、O2 (6sccm)ガスを用い
て、RFプラズマ1500wでエッチングする。また、
前記誘電体膜(誘電体有機膜)86を、CHF3 (5s
ccm)、O2 (50sccm)、He(200scc
m)ガスを用い、RFプラズマ500W、−10℃でエ
ッチングする。
SOGコーターを用い、酸化シリコン膜、窒化シリコン
膜あるいは窒化酸化シリコン膜を形成して埋め込む。酸
化シリコン膜、窒化シリコン膜あるいは窒化酸化シリコ
ン膜は、熱伝導性に優れている。次いで、絶縁膜研磨用
のCMP装置を用いて、シリカ系スラリーあるいは酸化
セリウムスラリーを用いて研磨し、図21(c)に示す
構造を得る。この場合も配線層84及びダミーの配線層
90の上面は、低誘電率膜86の上面よりも、無機膜8
8の高さ分だけ高く形成される。
誘電体有機膜を使用しているが、キセロゲルを使用する
場合にも、本発明の所期の効果を奏する構造を得ること
ができる。その際のエッチング条件としては、前記無機
膜のエッチング条件と同様である。
置は、層間絶縁膜を比誘電率が3.0以下の誘電体膜を
用いるため、配線間容量の増大が大幅に抑制された微細
な半導体装置である。
線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配線
間隔の部分に設けることによって、熱伝導率の小さい低
誘電率膜を使用することによる熱拡散効率の低下を効果
的に防止することができるものである。
ラグ及びビアコンタクトプラグ)をダミーの配線層の下
に設ける場合には、熱伝導率の小さい低誘電率膜を使用
することによる熱拡散効率の低下をより効果的に防止す
ることができる。
(配線層の左右)、好ましくは、配線間隔が標準ピッチ
の3倍以下の箇所には、比誘電率が極めて小さなキロセ
ゲルを含有する膜を用い、かつ、配線間の接続孔の周囲
(配線層の上下)には、低誘電率膜を使用することによ
って、キセロゲル膜の欠点を補いつつ、配線容量を大幅
に縮小することによって、信頼性の高い微細構造を有す
る半導体装置を歩留りよく製造することができる。
は、シランカップリング剤からなる層を設けることによ
って、層間密着性に優れた半導体装置を製造することが
できる。
である。
る。(a)は、シリコン半導体基板上に酸化シリコン膜
を形成した図であり、(b)は、pウェル領域を形成し
た図であり、(c)は、pウェル領域を形成した後、素
子分離領域形成のためのパターニングを行った図であ
る。
る。(d)は、素子分離領域形成のためのパターニング
を行った後、LOCOS法により、素子分離膜を形成し
た図であり、(e)は、酸化シリコン膜を形成した後、
ゲート電極を形成し、n+領域とp+領域を形成した図
であり、(f)は、n+領域とp+領域を形成した後、
全面に低誘電率膜を形成した図である。
る。(g)は、全面に低誘電率膜を形成した後、酸化シ
リコン膜を形成し、配線層形成のためのパターニングを
行った図であり、(h)は、配線層形成のためのパター
ニングを行った後、フォトエッチングにて配線溝とコン
タクトホールを形成した図である。
る。(i)は、配線層形成のためのパターニングを行っ
た後、フォトエッチングにて配線溝とコンタクトホール
を形成した後、アルミニウムを全面に堆積させ、CMP
法により配線を形成した図であり、(j)は、配線を形
成した後、全面にパッシベーション膜を形成した図であ
る。
る。(a)は、シリコン半導体基板上に、酸化シリコン
膜を形成し、その上に低誘電率膜を形成し、さらにその
上に酸化シリコン膜を形成した図であり、(b)は、酸
化シリコン膜を形成した後、レジストにて配線のための
パターニングを行った図である。
る。(c)は、配線のためのパターニングを行った後、
フォトエッチングにてコンタクトホールを形成した図で
あり、(d)は、コンタクトホールを形成した後、全面
に銅を堆積した図である。
る。(e)は、銅を堆積した後、CMP法により配線層
を形成した図であり、(f)は、パッシベーション膜と
して低誘電率膜を形成した図である。
る。(a)は、シリコン半導体基板上に酸化シリコン膜
を形成し、低誘電率膜を形成したのち、配線とダミー配
線を形成し、第2の低誘電率膜を形成した図である。
る。(b)は、第2の低誘電率膜を形成した後、レジス
トを用いて、フォトエッチング法によりコンタクトホー
ルを形成した図であり、(c)は、コンタクトホールを
形成した後、該コンタクトホールに金属(W)を埋め込
んだ図である。
る。(d)は、コンタクトホールに金属(W)を埋め込
んだ後、全面に窒化シリコン膜を形成した図であり、
(e)は、窒化シリコン膜を形成した後、レジストを用
いて、第2の配線層を形成するためのパターニングを行
った図である。
る。(f)は、第2の配線層を形成するためのパターニ
ングを行った後、フォトエッチングにより、第2の配線
層を形成した図であり、(g)は、第2の配線層を形成
した後、全面にアルミニウム膜を形成した図である。
る。(h)は、全面にアルミニウム膜を形成した後、C
MP法により、第2の金属配線を形成した図であり、
(i)は、第2の金属配線を形成した後、パッシベーシ
ョン膜を形成した図であ。
る。(a)は、半導体基板上にコンタクトプラグを形成
した後、低誘電率膜を形成した図であり、(b)は、さ
らに第1の配線層を形成し、その上に無機膜を形成した
図であり、(c)は、第2の低誘電率膜を形成したずで
ある。
ある。(d)は、第2の低誘電率膜(有機膜)中に第2
の接続孔を形成した図であり、(e)は、キセロゲルを
含有する膜を形成後、第2の配線層を形成した図であ
り、(f)は、パッシベーション膜を形成した図であ
る。
ある。(a)は、半導体基板上に、素子分離膜を形成
し、層間絶縁膜を形成した図であり、(b)は、全面に
レジスト膜を成膜し、コンタクトホール及びダミーのコ
ンタクトホールを形成するためのパターニングを行った
図であり、(c)は、金属材料を埋め込んで、コンタク
トプラグ及びダミーのコンタクトプラグを形成した図で
ある。
ある。(d)は、さらに低誘電率有機膜を形成し、その
上に無機膜を成膜した図であり、(e)は、全面にレジ
スト膜を成膜した後、第1の配線層及びダミーの配線層
を形成するためのパターニングを行った図であり、
(f)は、第1の配線層を形成した図である。
ある。(g)は、さらに第2の低誘電率膜を形成後、
(h)は、さらに無機膜を形成後、全面にレジスト膜を
成膜後、ビアコンタクトホール及びダミーのビアコンタ
クトホール形成のためのパターニングを行った図であ
り、(i)は、ビアコンタクトプラグ及びダミーのビア
コンタクトプラグを形成した図である。
ある。(k)は、さらに第3の低誘電率膜を形成し、そ
の上に無機膜を形成した図であり、(l)は、レジスト
膜を成膜した後、第2の配線層及びダミーの配線層を形
成するためのパターニングを行った図である。
ある。(m)は、第2の配線層及びダミーの配線層を形
成した図である。
ある。(a)は、第1の配線層を形成した図であり、
(b)は、さらに無機膜を形成した後、全面にレジスト
膜を成膜し、ダミーの配線層を形成するためのパターニ
ングを行った図であり、(c)は、ダミーの配線層を形
成した図である。
を有する半導体装置の断面図である。
体基板、2,19,63,82…素子分離膜、3…ゲー
ト絶縁膜、4,21…ゲート電極、5,9,24,2
9,32,36,39,41,53,57,68,7
3,78,94…低誘電率膜、6,8,11,28,3
5,40,48,54,60,71,81,85,91
…配線層、7,10,27,44,52,58,66,
76,84…コンタクトホール、12,49,61…パ
ッシベーション膜、14,20,25,31,33,3
8…酸化シリコン膜、15,18,26,34,43,
46,65,70,75,80,89…レジスト膜、1
6…pウェル、17,45…窒化シリコン膜、22…p
+領域、23…n+領域、42,72,82,90…ダ
ミーの配線層、47…アルミニウム膜、51…絶縁膜、
59…キセロゲルを含有する膜、3’,64,83…層
間絶縁膜、67,77,85…ダミーのコンタクトホー
ル、69,74,79…無機膜、92…基板、93…ダ
ミーリード線、94…金属リード線、95…伝熱層、9
6…低誘電率材料、97…伝熱性絶縁層
Claims (78)
- 【請求項1】半導体基板上に形成された絶縁膜と、 該絶縁膜の上に形成された比誘電率が3.0以下の誘電
体膜と、 該誘電体膜中に前記絶縁膜に接する配線層とを有し、 前記配線層の上面が前記誘電体膜の上面よりも高く形成
されている、 半導体装置。 - 【請求項2】前記誘電体膜は、環状フッ素樹脂、ポリ四
フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四フ
ッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合
体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレ
ン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイミド、
ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイミド、
アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキシシラ
ン縮合物(有機SOG)、分子中に化1、 【化1】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
2、 【化2】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化3、 【化3】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、または分
子中に化4、 【化4】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する膜
である、 請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】配線パターンに対して少なくとも3倍ピッ
チ以上の配線間隔部分の前記誘電体膜中に、ダミーの配
線を有する、 請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項4】前記ダミーの配線は、少なくとも3倍ピッ
チ以上の配線間隔の部分に、全ての配線間隔が1ミクロ
ン以下になるように形成されている、 請求項3記載の半導体装置。 - 【請求項5】前記ダミーの配線の下の絶縁膜中に、下層
導電層と接続していないダミーの接続孔を有する、 請求項3記載の半導体装置。 - 【請求項6】前記下層導電層は、半導体基板に設けられ
た不純物拡散領域である、 請求項5記載の半導体装置。 - 【請求項7】前記下層導電層は、下層配線層である、 請求項5記載の半導体装置。
- 【請求項8】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、タ
ングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれる
1種または2種以上からなる層である、 請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項9】半導体基板上に形成された絶縁膜と、 該絶縁膜の上にキセロゲルを含有する膜と、 該キセロゲルを含有する膜中に前記絶縁膜に接する配線
層とを有する、 半導体装置。 - 【請求項10】前記配線層の上面が前記誘電体膜の上面
よりも高く形成されている、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項11】配線パターンに対して、少なくとも3倍
ピッチ以上の配線間隔部分の前記キセロゲルを含有する
膜中に、ダミーの配線を有する、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項12】前記ダミーの配線は、少なくとも3倍ピ
ッチ以上の配線間隔の部分に、全ての配線間隔が1ミク
ロン以下になるように形成されている、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項13】前記ダミーの配線の下の絶縁膜中で、且
つ、下層導電層と接続していないダミーの接続孔を有す
る、 請求項11記載の半導体装置。 - 【請求項14】前記下層導電層は、半導体基板に設けら
れた不純物拡散領域である、 請求項13記載の半導体装置。 - 【請求項15】前記下層導電層は、下層配線層である、 請求項13記載の半導体装置。
- 【請求項16】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る一種以上からなる膜である、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項17】前記キセロゲルを含有する膜上又は下
に、シランカップリング剤を含有する膜を有する、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項18】前記キセロゲルを含有する膜は、配線パ
ターンに対して少なくとも3倍ピッチ以下の配線間隔部
分の前記絶縁膜の上に形成されている、 請求項9記載の半導体装置。 - 【請求項19】半導体基板上に形成された絶縁膜と、 該第1の絶縁膜上に、比誘電率が3.0以下の第1の誘
電体膜と、 該誘電体膜上に、キセロゲルを含有する膜と、 該キセロゲルを含有する膜上に、比誘電率が3.0以下
の第2の誘電体膜と、 前記キセロゲルを含有する膜中に前記絶縁膜に接する配
線層を有する、 半導体装置。 - 【請求項20】前記配線層の上面が前記誘電体膜の上面
よりも高く形成されている、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項21】前記比誘電率が3.0以下の第1の誘電
体膜は、 環状フッ素樹脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エ
チレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアル
コキシエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、
フッ化ポリイミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BC
B)、ポリイミド、アモルファスカーボン、モノメチル
トリヒドロキシシラン縮合物(有機SOG)、分子中に
化5、 【化5】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
6、 【化6】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化7、 【化7】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化8、 【化8】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子およびキセ
ロゲルからなる群から選ばれる1種または2種以上を含
有する膜である、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項22】前記比誘電率が3.0以下の第2の誘電
体膜は、 環状フッ素樹脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エ
チレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアル
コキシエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、
フッ化ポリイミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BC
B)、ポリイミド、アモルファスカーボン、モノメチル
トリヒドロキシシラン縮合物(有機SOG)、分子中に
化9、 【化9】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
10、 【化10】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化11、 【化11】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、及び分子
中に化12、 【化12】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する有
機膜である、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項23】前記比誘電率が3.0以下の第2の誘電
体膜中に、配線間を接続するための接続孔を有する、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項24】配線パターンに対して、少なくとも3倍
ピッチ以上の配線間隔部分の前記キセロゲルを含有する
膜中に、ダミーの配線を有する、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項25】前記ダミーの配線は、少なくとも3倍ピ
ッチ以上の配線間隔の部分に、全ての配線間隔が1ミク
ロン以下になるように形成されている、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項26】前記ダミーの配線の下の絶縁膜中で、且
つ、下層導電層と接続していないダミーの接続孔を有す
る、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項27】前記下層導電層は、半導体基板に設けら
れた不純物拡散領域である、 請求項26記載の半導体装置。 - 【請求項28】前記下層導電層は、下層配線層である、 請求項26記載の半導体装置。
- 【請求項29】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る一種以上からなる層である、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項30】前記キセロゲルを含有する膜上又は下
に、シランカップリング剤を含有する膜を有する、 請求項19記載の半導体装置。 - 【請求項31】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上に無機膜を形成する工程と、 前記無機膜上に配線層を形成するためのパターンを形成
する工程と、 前記配線層を全面に形成する工程と、 前記配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項32】前記誘電体膜は、環状フッ素樹脂、ポリ
四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四
フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合
体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレ
ン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイミド、
ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイミド、
アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキシシラ
ン縮合物(有機SOG)、分子中に化13、 【化13】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化14、 【化14】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化15、 【化15】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、または分
子中に化16、 【化16】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する有
機膜である、 請求項31記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項33】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項31記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項34】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項31記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項35】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項31記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項36】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上に無機膜を形成する工程と、 前記無機膜上に配線層を形成するためのパターンを形成
する工程と、 前記配線層を全面に形成する工程と、 前記配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程と、 配線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以上の配
線間隔部分の前記誘電体膜中に、ダミーの配線を形成す
る工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項37】前記誘電体膜は、環状フッ素樹脂、ポリ
四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四
フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合
体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレ
ン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイミド、
ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイミド、
アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキシシラ
ン縮合物(有機SOG)、分子中に化17、 【化17】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化18、 【化18】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化19、 【化19】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、または分
子中に化20、 【化20】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する有
機膜である、 請求項36記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項38】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項36記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項39】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項36記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項40】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項36記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項41】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上に無機膜を形成する工程と、 前記無機膜上に、配線層およびダミーの配線層を形成す
るためのパターンを形成する工程と、 前記配線層および前記ダミーの配線層を全面に形成する
工程と、 前記配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項42】前記誘電体膜は、環状フッ素樹脂、ポリ
四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四
フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合
体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレ
ン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイミド、
ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイミド、
アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキシシラ
ン縮合物(有機SOG)、分子中に化21、 【化21】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化22、 【化22】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化23、 【化23】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、または分
子中に化24、 【化24】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する有
機膜である、 請求項41記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項43】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項41記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項44】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項41記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項45】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項41記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項46】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上に無機膜を形成する工程と、 前記無機膜上に、配線層およびダミーの配線層を形成す
るためのパターンを形成する工程と、 前記配線層および前記ダミーの配線層を全面に形成する
工程と、 前記配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程とを有する、 前記絶縁膜中に上層配線と下層導電層を接続するための
接続孔、及び前記ダミーの配線の下の絶縁膜中に下層導
電層と接続していないダミーの接続孔を形成する工程を
有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項47】前記誘電体膜は、環状フッ素樹脂、ポリ
四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四
フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合
体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレ
ン、フッ化アリールエーテル樹脂、フッ化ポリイミド、
ベンゾシクロブテンポリマー(BCB)、ポリイミド、
アモルファスカーボン、モノメチルトリヒドロキシシラ
ン縮合物(有機SOG)、分子中に化25、 【化25】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化26、 【化26】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化27、 【化27】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、または分
子中に化28、 【化28】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子からなる群
から選ばれる1種または2種以上の高分子を含有する有
機膜である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項48】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項49】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項50】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項51】前記無機膜上に、配線層およびダミーの
配線層を形成するためのパターンを形成する工程は、配
線パターン、および配線パターンに対して、少なくとも
3倍ピッチ以上の配線間隔部分に前記ダミーの配線を形
成するためのパターンを同時に形成する工程である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項52】前記下層導電層は、半導体基板に設けら
れた不純物拡散領域である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項53】前記下層導電層は、下層配線層である、 請求項46記載の半導体装置の製造方法。
- 【請求項54】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上にキセロゲルを含有する膜を形成する工
程と、 前記キセロゲルを含有する膜上に無機膜を形成する工程
と、 前記無機膜上に、配線層を形成するためのパターンを形
成する工程と、 前記配線層を形成する工程と、 前記配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項55】前記比誘電率が3.0以下の誘電体膜
は、 環状フッ素樹脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エ
チレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアル
コキシエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、
フッ化ポリイミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BC
B)、ポリイミド、アモルファスカーボン、モノメチル
トリヒドロキシシラン縮合物(有機SOG)、分子中に
化29、 【化29】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
30、 【化30】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化31、 【化31】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化32、 【化32】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子およびキセ
ロゲルからなる群から選ばれる1種または2種以上を含
有する膜である、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項56】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項57】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項58】前記配線層を研磨して配線層を形成する
工程は、化学的機械的研磨法(CMP法)による研磨工
程である、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項59】前記誘電体膜上にキセロゲルを含有する
膜を形成する工程は、 前記誘電体膜上に、前記配線パターンに対して、少なく
とも3倍ピッチ以下の配線間隔部分に、前記キセロゲル
を含有する膜を形成する工程である、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項60】前記キセロゲルを含有する膜を形成する
工程の前あるいは後に、シランカップリング剤を含有す
る層を形成する工程をさらに有する、 請求項54記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項61】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上にキセロゲルを含有する膜を形成する工
程と、 前記キセロゲルを含有する膜上に無機膜を形成する工程
と、 前記無機膜上に、配線層およびダミーの配線を形成する
ためのパターンを形成する工程と、 前記配線層およびダミーの配線層を全面に形成する工程
と、 前記配線層およびダミーの配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項62】前記比誘電率が3.0以下の誘電体は、 環状フッ素樹脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エ
チレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアル
コキシエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、
フッ化ポリイミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BC
B)、ポリイミド、アモルファスカーボン、モノメチル
トリヒドロキシシラン縮合物(有機SOG)、分子中に
化33、 【化33】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
34、 【化34】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化35、 【化35】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化36、 【化36】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子およびキセ
ロゲルからなる群から選ばれる1種または2種以上を含
有する膜である、 請求項61記載の半導体装置。 - 【請求項63】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項64】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項65】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項66】前記無機膜上に、配線層およびダミーの
配線を形成するためのパターンを形成する工程は、前記
無機膜上に、配線パターン、および前記配線パターンに
対して、少なくとも3倍ピッチ以下の配線間隔部分の前
記キセロゲルを含有する膜中に、配線層およびダミーの
配線を形成するためのパターンを同時に形成する工程で
ある、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項67】前記誘電体膜上にキセロゲルを含有する
膜を形成する工程は、 前記配線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以下
の配線間隔部分に、前記キセロゲルを含有する膜を形成
する工程である、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項68】前記キセロゲルを含有する膜を形成する
工程の前あるいは後に、シランカップリング剤を含有す
る層を形成する工程をさらに有する、 請求項61記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項69】半導体基板上に絶縁膜を形成する工程
と、 該絶縁膜の上に比誘電率が3.0以下の誘電体膜を形成
する工程と、 該誘電体膜の上にキセロゲルを含有する膜を形成する工
程と、 前記キセロゲルを含有する膜上に無機膜を形成する工程
と、 前記無機膜上に、配線層およびダミーの配線を形成する
ためのパターンを形成する工程と、 前記配線層およびダミーの配線層を全面に形成する工程
と、 前記配線層およびダミーの配線層を研磨する工程と、 前記無機膜を除去する工程と、および、 前記絶縁膜中に上層配線と下層導電層を接続するための
ビアコンタクト、及び前記ダミーの配線の下の絶縁膜中
に下層導電層と接続していないダミーのビアコンタクト
を形成する工程とを有する、 半導体装置の製造方法。 - 【請求項70】前記比誘電率が3.0以下の誘電体膜
は、 環状フッ素樹脂、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エ
チレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアル
コキシエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、フッ化アリールエーテル樹脂、
フッ化ポリイミド、ベンゾシクロブテンポリマー(BC
B)、ポリイミド、アモルファスカーボン、モノメチル
トリヒドロキシシラン縮合物(有機SOG)、分子中に
化37、 【化37】 で表される繰り返し単位構造を有す高分子、分子中に化
38、 【化38】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化39、 【化39】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子、分子中に
化40、 【化40】 で表される繰り返し単位構造を有する高分子およびキセ
ロゲルからなる群から選ばれる1種または2種以上を含
有する膜である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項71】前記配線層は、アルミニウム、銅、金、
タングステンおよびこれらの合金からなる群から選ばれ
る1種または2種以上からなる層である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項72】前記無機膜は、酸化シリコン膜、フッ化
シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、シ
ラノール縮合物(無機SOG)膜、リンドープ酸化シリ
コン膜、ボロンドープ酸化シリコン膜およびボロン・リ
ンドープ酸化シリコン膜からなる群から選ばれる1種ま
たは2種以上からなる膜である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項73】前記配線層を研磨する工程は、化学的機
械的研磨法(CMP法)による研磨工程である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項74】前記無機膜上に、配線層およびダミーの
配線を形成するためのパターンを形成する工程は、前記
無機膜上に、配線パターン、および前記配線パターンに
対して、少なくとも3倍ピッチ以下の配線間隔部分の前
記キセロゲルを含有する膜中に、配線層およびダミーの
配線を形成するためのパターンを同時に形成する工程で
ある、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項75】前記誘電体膜上にキセロゲルを含有する
膜を形成する工程は、 前記配線パターンに対して、少なくとも3倍ピッチ以下
の配線間隔部分に、前記キセロゲルを含有する膜を形成
する工程である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項76】前記キセロゲルを含有する膜を形成する
工程の前あるいは後に、シランカップリング剤を含有す
る層を形成する工程をさらに有する、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項77】前記下層導電層は、半導体基板に設けら
れた不純物拡散領域である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。 - 【請求項78】前記下層導電層は、下層配線層である、 請求項69記載の半導体装置の製造方法。
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