JPH11300257A

JPH11300257A - 凹凸基材への塗液の塗布装置およびプラズマディスプレイの製造装置

Info

Publication number: JPH11300257A
Application number: JP10115161A
Authority: JP
Inventors: Hideki Ikeuchi; 秀樹池内; Yuichiro Iguchi; 雄一朗井口; Masahiro Matsumoto; 正廣松本
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-04-24
Filing date: 1998-04-24
Publication date: 1999-11-02

Abstract

(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイのように一定の凹凸状パ
ターンで形成された基材の凹部に所定の塗液を塗布する
に際し、各吐出孔から均一に塗液を吐出して、各凹部に
確実に塗布し、それによって、高生産性と高品質を可能
にする凹凸基材への塗液の塗布装置およびプラズマディ
スプレイの製造装置を提供する。【解決手段】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の
吐出孔を有するノズルと、該ノズルに塗液を供給する供
給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルの吐出孔の、前記凹凸基材のスト
ライプ方向と略直交する開口長さ（Ｂ）が、前記凹凸基
材の凸部ピッチ（Ｓ）に対して下記の条件を満たすこと
を特徴とする凹凸基材への塗液の塗布装置。１０μｍ≦Ｂ≦Ｓ≦５００μｍ

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の凸状
の隔壁を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネ
ルや、ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受
像管のパネル内面等における一定パターンの塗布に適用
できる、凹凸基材への塗液の塗布装置、およびこの装置
を使用したプラズマディスプレイの製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、前面板と背
面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、こ
の放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心と
する紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起するこ
とによって表示が可能となる。Ｒ（赤）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回
路によって発光させることにより、フルカラー表示に対
応できる。

【０００３】また、最近活発に開発が進められているＡ
Ｃ型プラズマディスプレイは、表示電極／誘電体層／保
護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極／誘電体
層／隔壁層／蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り
合わせ、ストライプ状の隔壁で仕切られた放電空間内に
Ｈｅ−Ｘｅ、または、Ｎｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した
構造を有している。

【０００４】Ｒ、Ｇ、Ｂの蛍光体層は、一方向に延びる
隔壁により形成された凹凸部の凹部にストライプ状に充
填される。

【０００５】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００６】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。

【０００７】通常は、隔壁パターンを形成後、特開平５
−１４４３７５号公報に示されるように一色の蛍光体を
全面スクリーン印刷し、必要な部分のみフォトリソグラ
フィー法で残すようにして、高精度のパターンが得られ
るようにしている。しかし、この方法では、Ｒ、Ｇ、Ｂ
の各蛍光体パターンを形成するために、各色の塗布、露
光、現像、乾燥等の工程を３回繰り返す必要があり、コ
ストがかかる上、生産性に著しく劣るという欠点を有す
る。

【０００８】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平５−１１１０５号公報や特開平５−１４２４０７号
公報に記載されている方法があるが、表面が平坦な基板
を対象に先端が平坦なノズルで３色同時に塗布するもの
であるために、表面に凹凸が形成されているものに対し
てはこの技術をそのまま用いることはできない。

【０００９】また、特開昭５２−１３４３６８号公報、
特開昭５４−１３２５０号公報、特開昭５４−１３２５
１号公報等には、ストライプ形ブラックマトリックス式
のカラー受像管のパネル内面の、凸状となっているブラ
ックマトリックス間の凹部に所定の蛍光体を塗布する方
法として、蛇行防止等の制御装置を有する改良されたノ
ズル装置を用いることが示されている。しかし、一本の
ノズルを用いているために、表面の複数の凹凸部に対し
て同時に塗布する方法には適用できず、塗布のために時
間がかかるという問題がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、プラ
ズマディスプレイの隔壁のように一定の凹凸状パターン
が形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出孔を有す
るノズルから所定の塗液を塗布するに際し、各吐出孔か
ら均一に塗液を吐出して、各凹部に確実に塗布すること
にあり、この均一で安定な塗布を常に実現することによ
って、高生産性と高品質を可能とする凹凸基材への塗液
の塗布装置およびプラズマディスプレイの製造装置を提
供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の凹凸基材への塗液の塗布装置は、表面に一方
向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る凹凸基材を固定するテーブルと、前記凹凸基材の凹凸
部に対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズル
と、該ノズルに塗液を供給する供給手段と、前記テーブ
ルとノズルを３次元的に相対移動させる移動手段とを備
えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、前記ノズル
の吐出孔の、前記凹凸基材のストライプ方向と略直交す
る開口長さ（Ｂ）が、前記凹凸基材の凸部ピッチ（Ｓ）
に対して下記の条件を満たすことを特徴とするものであ
る。

【００１２】１０μｍ≦Ｂ≦Ｓ≦５００μｍ上記の装置
において、前記ノズルの吐出孔の形状は、円形であるの
が好ましい。

【００１３】また、前記ノズルの吐出孔は、平板を貫通
することにより形成されていることが好ましい。

【００１４】さらに、前記ノズルは、同一形状のパイプ
を配して吐出孔が構成されていることも好ましい。

【００１５】また、前記ノズルの吐出孔数が、２０〜２
０００個であることが好ましい。

【００１６】また、前記ノズルの吐出孔のピッチが、
０．１２〜３ｍｍであることが好ましい。

【００１７】さらに、前記ノズルの吐出孔のピッチが、
前記凹凸基材の凸部ピッチの３ｍ倍（ｍは１〜１０の整
数）であることも好ましい。

【００１８】また、前記ノズルの吐出孔面および／また
は吐出孔内壁に、フッ素系樹脂皮膜がコーティングされ
ているのが好ましい。

【００１９】さらに、前記ノズルの吐出孔面および／ま
たは吐出孔内壁に、非晶質の炭素皮膜がコーティングさ
れているものが好ましい。

【００２０】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで
凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面する複数の吐出孔を有する
ノズルと、ノズルに塗液を供給する供給手段と、テーブ
ルとノズルを３次元的に相対移動させる移動手段とを備
えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、前記凹凸基
材の所定の塗布位置以外に存在する塗液を除去する手段
を設けたことを特徴とするものである。

【００２１】そして、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、前述
のいずれかの塗液の塗布装置を用いたことを特徴とする
ものからなる。

【００２２】さらに、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造装置は、赤色、緑色、青色のいずれかの色に発
光する蛍光体粉末を含む３種類のペーストに対応して、
前述のいずれかの塗液の塗布装置を３台直列に配置した
ことを特徴とするものからなる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて説明する。

【００２４】図１は本発明の一実施態様に係る塗布装置
の全体構成を示す斜視図、図２は図１のテーブル６とノ
ズル２０周りの模式図、図３から図５は、本発明の一実
施態様に係るノズルの構造図、図６から図１０は、本発
明の一実施態様に係る塗液除去装置の構成を示してい
る。

【００２５】図１は、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造に適用される塗布装置の一例を示している。こ
の装置は基台２を備えている。基台２上には、一対のガ
イド溝レール８が設けられており、このガイド溝レール
８上にはテーブル６が配置されている。このテーブル６
の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一方向にストラ
イプ状に形成された基材４が、真空吸引によってテーブ
ル面に固定可能となるように、複数の吸引孔７が設けら
れている。また、基材４は図示しないリフトピンによっ
てテーブル６上を昇降する。さらに、テーブル６はスラ
イド脚９を介してガイド溝レール８上をＸ軸方向に往復
動自在となっている。

【００２６】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
はＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００２７】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液を吐出するノズル２０がホルダー２２を介して
昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結している。昇
降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備えてお
り、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイドロッ
ドに昇降自在に取り付けられている。また、このケーシ
ング内には、ガイドロッド間に位置してボールねじから
なるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転自在
に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇降ブ
ラケット２８と連結されている。さらにフィードスクリ
ューの上端には、図示しないＡＣサーボモータが接続さ
れており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降ブ
ラケット２８を任意に昇降動作させることができるよう
になっている。

【００２８】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズルの幅方向、すなわちＹ軸方向に往復
動自在に移動させるものである。動作のために必要なガ
イドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００２９】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００３０】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダ２２は昇降ブラケ
ット２８内で回転自在に支持されており、垂直面内で自
在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００３１】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッド２９を
有し、これら伸縮ロッド２９がホルダ２２の両端に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００３２】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の凹凸部の位置を
検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられている。
図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７４に電
気的に接続されており、凹凸部位置の変化を定量的に求
めることができる。

【００３３】さらに、テーブル６の一端には、センサブ
ラケット６４を介して、ノズル２０の吐出孔のある下端
面（吐出孔面）のテーブル６に対する垂直方向の位置を
検知するセンサ６６が取り付けられている。

【００３４】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、吐出孔４
４がノズル先端面４５上で長手方向に一直線状にならん
でいる（図３、図４参照）。そしてこの吐出孔４４より
塗液４２が吐出される。ノズル２０には供給ホース４６
が接続されており、さらに吐出用電磁切換え弁４８、供
給ユニット５０、吸引ホース５２、吸引用電磁切換え弁
５４、塗液タンク５６へと連なっている。塗液タンク５
６には塗液４２が蓄えられている。塗液４２は、赤色、
緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末を含む
ペーストからなる。

【００３５】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行わせ、塗液
タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗液
４２を供給することができる。塗液タンク５６から定容
量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６を密閉容器にして、空気、不活性ガ
スである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。空気、
窒素等で常に一定の圧力を付加するには、塗液タンク５
６を空気、窒素等の供給装置に接続して圧力制御すれば
よい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に０．０
２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００３６】供給装置コントローラ５８はさらに、全体
コントローラ６０に電気的に接続されている。この全体
コントローラ６０には、モータコントローラ６２、高さ
センサ４０の電気入力等、カメラ７２の画像処理装置７
４からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続され
ており、全体のシーケンス制御を司どれるようになって
いる。全体コントローラ６０は、コンピュータでも、シ
ーケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなも
のでもよい。

【００３７】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６，７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。

【００３８】なお、本実施態様では、基材４はＸ軸方向
に移動し、ノズル２０がＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル２０と基材４が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなるもので
もよい。

【００３９】また、前述の実施態様では、塗布はテーブ
ルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの移動
によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、凹凸
のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行ってもよ
い。

【００４０】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００４１】上記のような塗液の塗布装置において、本
発明では、たとえば、図３および図４に示すタイプのノ
ズル８０が用いられる。図３および図４に示すタイプの
ノズル８０においては、ブロックから内部に塗液を一定
量蓄積するためのマニホールド部８１をくりぬくもの
と、先端の平板８２の部分に貫通孔である吐出孔８３を
加工してから、マニホールド部８１に接合するものがあ
り、いずれの方法を採用してもよい。８４は、ノズル８
０内への塗液の導入口を示している。

【００４２】また、図５のように、ノズルの吐出孔は同
一形状のパイプ８５を配して構成してもよい。この場
合、ノズルが汚れにくくなるので好ましい。

【００４３】ノズルの吐出孔８３は、図１１および図１
２に示すように、凹凸基材１００のストライプ方向と略
直交する開口長さ（Ｂ）が、１０μｍ以上５００μｍ以
下で、かつ、隣り合う凸部１０１の間隔（ピッチ）
（Ｓ）以下に設定されている。

【００４４】このときの吐出孔の形状としては、円形、
長円形、楕円形、双子円形や、三角形、長方形等の多角
形等によるものがある。開口長さが１０μｍより小さい
と、塗液がすぐにつまって使用できなくなり、５００μ
ｍよりも大きいと、塗液の吐出を停止しているときに吐
出孔から塗液がこぼれ落ちる。開口長さを隣り合う凸部
の間隔以下にすることで、凹凸基材の凸部頂部へ塗液が
付着することを抑制することができる。

【００４５】ノズルの吐出孔数は、２０〜２０００個に
設定されている。吐出孔数が少ないと、塗布するための
時間がかかりすぎる。孔数が２０００個を越える場合
は、吐出孔の加工精度を確保することが難しくなり、精
度の良い塗布が困難になる。

【００４６】ノズルの吐出孔のピッチは、０．１２〜３
ｍｍに設定されている。吐出孔のピッチが０．１２ｍｍ
未満では、隣り合う吐出孔の間隔が小さいために、ノズ
ル製作が難しい。吐出孔のピッチが３ｍｍを越えると、
３００μｍ以下のピッチで凹凸部が形成された凹凸基材
に塗布する場合は、塗布制御が困難になる。

【００４７】また、ノズルの吐出孔のピッチは、凸部ピ
ッチの３ｍ倍（ｍは１〜１０の整数）でもよい。この場
合、効率的に塗布することができる。

【００４８】ノズルの吐出孔面および／または吐出孔内
壁に、フッ素系樹脂皮膜（たとえば、米国デュポン
（株）社製の”テフロン”）をコーティングすることに
より、吐出孔面および吐出孔内壁の塗液の離型性が向上
し、吐出孔面の汚れを抑制することができる。

【００４９】また、ノズルの吐出孔面および／または吐
出孔内壁に、非晶質の炭素皮膜（たとえば、ダイヤモン
ドライクカーボン）をコーティングすることにより、吐
出孔面および吐出孔内壁の表面硬度が向上し、耐摩耗性
が向上する。

【００５０】ノズルの材質としては、ステンレス、ニッ
ケル等の金属や、セラミックス等の非金属によるものが
ある。

【００５１】ノズルの吐出孔の加工方法としては、ドリ
ル加工、放電加工、フォトエッチング、電鋳等の精密微
細加工によるものがある。

【００５２】また、凹凸基材への塗液の塗布装置におい
て、凹凸基材の凸部頂上部に塗液が付着した場合など、
基材の所定の塗布位置以外に存在する塗液を除去する手
段を設けることが好ましい。

【００５３】プラズマディスプレイの製造において、隔
壁頂上部に蛍光体が付着した場合には、前面板を合わせ
て封着するする場合に隔壁で各セルが十分仕切られない
ことによる放電漏れが生じるため、その頂上部に付着し
た蛍光体を粘着体に付着させることにより、除去するの
が好ましい。

【００５４】図６〜１０は、その塗液を除去する装置の
概略を示すものである。図６は、ヘラ８８によって掻き
取るものである。図７は、粘着体で構成したベルト８９
を２つの回転ロール９０の間で回転させながら基材４の
凸部頂上部に接触させて除去するものである。図８は、
粘着体で構成したベルト８９を、送り出しロール９１と
巻き取りロール８２の間で回転させながら、凸部頂上部
に接触させて除去するものである。図９は、粘着体で構
成したローラー９３を基材４の凸部頂上部に接触させて
除去するものである。図１０は、空気ノズル９４により
圧空を吹き付けて、吸引装置９５で除去したものを吸引
するものである。

【００５５】粘着体の材質としては、上述した特性を有
するものであれば特に限定されるものではないが、例え
ば、ポリウレタンゴム、ポリエチレンゴム、シリコンゴ
ムおよびこれらのゲル体を挙げることができる。

【００５６】また、凹凸基材に、赤色、緑色、青色の３
色の蛍光体を塗布する場合、前述の塗液の塗布装置を、
赤色、緑色、青色に対応して３台直列に配置して、３色
の蛍光体層を順次塗布することが好ましい。これによ
り、１色塗布するごとにノズル、塗液タンクや配管等を
洗浄する必要がなく、３色の蛍光体層を凹凸基材に効率
的に形成することができる。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の凹凸基材
への塗液の塗布装置によれば、塗液を凹部に精度良く安
定して塗布することができる。これにより、被塗布物の
品質が向上するとともに、生産性が向上する。

【００５８】また、凹凸基材の所定の塗布位置以外に存
在する塗液を除去する手段を設けたので、品質が向上す
るとともに、歩留まりも高くなるので生産性が向上す
る。

【００５９】本発明のプラズマディスプレイの製造装置
によれば、上記凹凸基材への塗液の塗布装置を使用して
いるので、品質の高いプラズマディスプレイを、高い生
産性で安価に製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体構成を示す斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】本発明の一実施態様に係るノズルの縦断面図で
ある。

【図４】図３のノズルの、図３とは直角の方向における
縦断面図である。

【図５】本発明の他の実施態様に係るノズルの縦断面図
である。

【図６】本発明の一実施態様に係る塗液除去装置の部分
概略構成図である。

【図７】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。

【図８】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。

【図９】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。

【図１０】本発明のさらに他の実施態様に係る塗液除去
装置の部分概略構成図である。

【図１１】本発明の一実施態様に係るノズルと凹凸基材
の要部の縦断面図である。

【図１２】図１１の凹凸基材とノズル孔を上から見た概
略図である。

【符号の説明】２：基台４：基材６：テーブル７：吸引孔８：ガイド溝レール９：スライド脚１０：フィードスクリュー１１：コネクタ１２：軸受１６：ＡＣサーボモータ２０：ノズル２２：ホルダー２４：水平バー２６：リニアアクチュエータ２８：昇降ブラケット２９：伸縮ロッド３０：昇降機構３２：Ｙ軸移動ブラケット３４：支柱３６：軸方向移動機構３８：センサ支柱４０：高さセンサ４１：マニホールド４２：塗液４４：吐出孔４６：供給ホース４８：吐出用電磁切換え弁５０：供給ユニット５２：吸引ホース５４：吸引用電磁切換え弁５６：塗液タンク５８：供給装置コントローラ６０：全体コントローラ６２：モータコントローラ６４：センサブラケット６６：位置センサ６８：位置センサ７０：カメラ支柱７２：カメラ７４：画像処理装置７６：昇降機構用アクチュエータ７８：幅方向移動機構用アクチュエータ８０：ノズル８１：マニホールド部８２：平板８３：吐出孔８４：塗液導入口８５：パイプ８８：ヘラ８９：ベルト９０：回転ロール９１：送り出しロール９２：巻き取りロール９３：ローラー９４：空気ノズル９５：吸引装置１００：凹凸基材１０１：凸部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の
吐出孔を有するノズルと、該ノズルに塗液を供給する供
給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルの吐出孔の、前記凹凸基材のスト
ライプ方向と略直交する開口長さ（Ｂ）が、前記凹凸基
材の凸部ピッチ（Ｓ）に対して下記の条件を満たすこと
を特徴とする凹凸基材への塗液の塗布装置。１０μｍ≦Ｂ≦Ｓ≦５００μｍ
【請求項２】前記ノズルの吐出孔の形状が円形であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の凹凸基材への塗液の塗
布装置。
【請求項３】前記ノズルの吐出孔は、平板を貫通するこ
とにより形成されたことを特徴とする請求項１または２
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項４】前記ノズルの吐出孔は、同一形状のパイプ
を配して構成されたことを特徴とする請求項１または２
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項５】前記ノズルの吐出孔数が、２０〜２０００
個であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項６】前記ノズルの吐出孔のピッチが、０．１２
〜３ｍｍであることを特徴とする請求項１ないし５のい
ずれかに記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項７】前記ノズルの吐出孔のピッチが、前記凹凸
基材の凸部ピッチの３ｍ倍（ｍは１〜１０の整数）であ
ることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載
の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項８】前記ノズルの吐出孔面および／または吐出
孔内壁に、フッ素系樹脂皮膜がコーティングされている
ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の
凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項９】前記ノズルの吐出孔面および／または吐出
孔内壁に、非晶質の炭素皮膜がコーティングされている
ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の
凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項１０】表面に一方向にストライプ状に一定ピッ
チで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブ
ルと、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数
の吐出孔を有するノズルと、該ノズルに塗液を供給する
供給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相対移
動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装
置において、前記凹凸基材の所定の塗布位置以外に存在
する塗液を除去する手段を設けたことを特徴とする凹凸
基材への塗液の塗布装置。
【請求項１１】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
１ないし１０のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用い
たことを特徴とするプラズマディスプレイの製造装置。
【請求項１２】赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光
する蛍光体粉末を含む３種類のペーストに対応して、請
求項１ないし１１のいずれかに記載の塗液の塗布装置を
３台直列に配置したことを特徴とするプラズマディスプ
レイの製造装置。