JPH11297808A - ディスク形ワーク用キャリヤ - Google Patents
ディスク形ワーク用キャリヤInfo
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- JPH11297808A JPH11297808A JP11017798A JP11017798A JPH11297808A JP H11297808 A JPH11297808 A JP H11297808A JP 11017798 A JP11017798 A JP 11017798A JP 11017798 A JP11017798 A JP 11017798A JP H11297808 A JPH11297808 A JP H11297808A
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- carrier
- suction port
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークとの接触部分に液滴が残留することの
ないキャリヤを得る。 【解決手段】 縦向きに置かれたディスク形ワークＷの
外周を支持する、該ワークＷの直径より狭い間隔で位置
する複数の支持部材２を有し、該支持部材２が、ワーク
Ｗの外周が嵌合状態で当接する複数のＶ字形の凹部と、
各凹部に臨むように開口する液滴用吸引口１４と、吸引
手段に接続するための接続口と、該接続口と上記吸引口
とを連通する連通孔とを有し、ワークＷとの接触部分に
付着した液滴を上記吸引口１４を通じて吸引手段により
強制的に吸引する。
ないキャリヤを得る。 【解決手段】 縦向きに置かれたディスク形ワークＷの
外周を支持する、該ワークＷの直径より狭い間隔で位置
する複数の支持部材２を有し、該支持部材２が、ワーク
Ｗの外周が嵌合状態で当接する複数のＶ字形の凹部と、
各凹部に臨むように開口する液滴用吸引口１４と、吸引
手段に接続するための接続口と、該接続口と上記吸引口
とを連通する連通孔とを有し、ワークＷとの接触部分に
付着した液滴を上記吸引口１４を通じて吸引手段により
強制的に吸引する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、磁
気ディスク用のアルミ基板又はガラス基板あるいはその
他のセラミック基板、各種の電子部品や光学部品又は機
械部品のような、ディスク形をしたワークを収容するた
めのキャリヤに関するものである。
気ディスク用のアルミ基板又はガラス基板あるいはその
他のセラミック基板、各種の電子部品や光学部品又は機
械部品のような、ディスク形をしたワークを収容するた
めのキャリヤに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のディスク形ワークを収容するた
めのキャリヤとして従来、図７及び図８に示すようなも
のが知られている。このキャリヤは、Ｖ字形の円周溝４
１を外周に備えた３本の棒状の支持部材４０を、左右の
側板４２，４２間に掛け渡し、これらの支持部材４０の
円周溝４１内にワークＷを縦向きに支持するもので、保
持したワークＷを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、温純水中に浸漬したあと引き上げることにより余熱
で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。
めのキャリヤとして従来、図７及び図８に示すようなも
のが知られている。このキャリヤは、Ｖ字形の円周溝４
１を外周に備えた３本の棒状の支持部材４０を、左右の
側板４２，４２間に掛け渡し、これらの支持部材４０の
円周溝４１内にワークＷを縦向きに支持するもので、保
持したワークＷを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、温純水中に浸漬したあと引き上げることにより余熱
で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。
【０００３】ところが一般に、上述したような従来より
公知のキャリヤは、ワークＷと支持部材４０との接触部
分に液滴が残留し易く、この部分の乾燥が遅れてワーク
Ｗの外周部にウオーターマークが付着し易いという問題
ある。このようなウオーターマークの付着は、さほど高
い洗浄精度を要求されないワークの場合には問題になら
ないが、磁気ディスク基板のように高度の洗浄精度を要
求されるワークの場合には、品質低下の原因になるため
できるだけ避ける必要がある。そしてそのためには、ワ
ークとの接触部分に液滴が残留しないキャリヤを使用す
ることが必要である。
公知のキャリヤは、ワークＷと支持部材４０との接触部
分に液滴が残留し易く、この部分の乾燥が遅れてワーク
Ｗの外周部にウオーターマークが付着し易いという問題
ある。このようなウオーターマークの付着は、さほど高
い洗浄精度を要求されないワークの場合には問題になら
ないが、磁気ディスク基板のように高度の洗浄精度を要
求されるワークの場合には、品質低下の原因になるため
できるだけ避ける必要がある。そしてそのためには、ワ
ークとの接触部分に液滴が残留しないキャリヤを使用す
ることが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ワークとの接触部分に液滴が残留することのないキ
ャリヤを提供することにある。
は、ワークとの接触部分に液滴が残留することのないキ
ャリヤを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、縦向きに置かれたディスク形ワー
クの外周を支持する、該ワークの直径より狭い間隔で位
置する複数の支持部材を有し、上記支持部材が、ワーク
の外周が嵌合状態で当接する複数の凹部と、各凹部に臨
むように開口する液滴用吸引口と、吸引手段に接続する
ための接続口と、該接続口と上記吸引口とを連通する連
通孔とを有することを特徴とするディスク形ワーク用キ
ャリヤが提供される。
め、本発明によれば、縦向きに置かれたディスク形ワー
クの外周を支持する、該ワークの直径より狭い間隔で位
置する複数の支持部材を有し、上記支持部材が、ワーク
の外周が嵌合状態で当接する複数の凹部と、各凹部に臨
むように開口する液滴用吸引口と、吸引手段に接続する
ための接続口と、該接続口と上記吸引口とを連通する連
通孔とを有することを特徴とするディスク形ワーク用キ
ャリヤが提供される。
【０００６】上記構成を有するキャリヤは、支持部材に
形成された各凹部上に複数のワークの外周を縦向きに載
置し、該ワークを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、該ワークを温純水中に浸漬したあと引き上げて余熱
で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。このと
き、洗浄液や温純水等から引き上げられたキャリヤは、
各支持部材の接続口が適宜の手段により真空ポンプ等の
吸引手段に接続され、ワークと凹部との接触部分に付着
した液滴が吸引口から強制的に吸引される。これによ
り、上記ワークと凹部との接触部分に付着した液滴は残
留することなく完全に除去され、この液滴の残留による
乾燥遅れやウオーターマークの付着等が防止される。
形成された各凹部上に複数のワークの外周を縦向きに載
置し、該ワークを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、該ワークを温純水中に浸漬したあと引き上げて余熱
で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。このと
き、洗浄液や温純水等から引き上げられたキャリヤは、
各支持部材の接続口が適宜の手段により真空ポンプ等の
吸引手段に接続され、ワークと凹部との接触部分に付着
した液滴が吸引口から強制的に吸引される。これによ
り、上記ワークと凹部との接触部分に付着した液滴は残
留することなく完全に除去され、この液滴の残留による
乾燥遅れやウオーターマークの付着等が防止される。
【０００７】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
支持部材が、波形に連なる凹部を備えた第１部材と、該
第１部材に重合する第２部材とからなっていて、これら
の第１部材と第２部材との間に、各凹部の底部に臨む上
記吸引口と連通孔とが形成されている。
支持部材が、波形に連なる凹部を備えた第１部材と、該
第１部材に重合する第２部材とからなっていて、これら
の第１部材と第２部材との間に、各凹部の底部に臨む上
記吸引口と連通孔とが形成されている。
【０００８】かくして支持部材を２つの部材を重合して
形成することにより、これらの両部材の間に上記吸引口
と連通孔とを簡単に形成することができる。
形成することにより、これらの両部材の間に上記吸引口
と連通孔とを簡単に形成することができる。
【０００９】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
上記吸引口が第１部材と第２部材との間の隙間からなっ
ていて、該隙間が、上記各凹部の底部に沿って一続きに
連なった状態に開口している。
上記吸引口が第１部材と第２部材との間の隙間からなっ
ていて、該隙間が、上記各凹部の底部に沿って一続きに
連なった状態に開口している。
【００１０】本発明の好ましい実施形態によれば、第１
部材の上端部に上記凹部が形成されると共に、第２部材
の上端面が該凹部よりも低位置に形成され、該上端面
が、上記凹部から離れるに従って次第に低くなるように
傾斜している。
部材の上端部に上記凹部が形成されると共に、第２部材
の上端面が該凹部よりも低位置に形成され、該上端面
が、上記凹部から離れるに従って次第に低くなるように
傾斜している。
【００１１】本発明の他の好ましい実施形態によれば、
上記各支持部材がプレート状をしていて、スタンド部材
に縦向きに取り付けられている。この場合、上記支持部
材のスタンド部材への取付点が、該支持部材で支持され
たワークの最下端より低位置にあるように形成すること
が望ましい。
上記各支持部材がプレート状をしていて、スタンド部材
に縦向きに取り付けられている。この場合、上記支持部
材のスタンド部材への取付点が、該支持部材で支持され
たワークの最下端より低位置にあるように形成すること
が望ましい。
【００１２】このように構成することにより、例えばキ
ャリヤを温純水乾燥に使用する場合に、ワークが温純水
から完全に引き上げられたあとに上記取付点が液面から
露出することになるため、この取付点の露出に伴う液面
の波立ちの影響を受けないようにすることができる。
ャリヤを温純水乾燥に使用する場合に、ワークが温純水
から完全に引き上げられたあとに上記取付点が液面から
露出することになるため、この取付点の露出に伴う液面
の波立ちの影響を受けないようにすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るキャリヤの幾
つかの実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１及び図２は、第１実施例のキャリヤ１Ａに円板
形をした複数のワークＷを縦向きに収容した状態を示す
もので、該キャリヤ１Ａは、上記ワークＷの外周を支持
する複数の支持部材２と、これらの支持部材２を取り付
けるためのスタンド部材３とで構成されている。
つかの実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１及び図２は、第１実施例のキャリヤ１Ａに円板
形をした複数のワークＷを縦向きに収容した状態を示す
もので、該キャリヤ１Ａは、上記ワークＷの外周を支持
する複数の支持部材２と、これらの支持部材２を取り付
けるためのスタンド部材３とで構成されている。
【００１４】上記スタンド部材３は、左右の側板５，５
間に３本の取付棒６を、中央の取付棒６が最も低くなる
ように高さを違えて横向きに取り付けたもので、各取付
棒６に上記支持部材２の下端部が螺子７で固定されてい
る。図中８は左右の側板５，５を相互に結合するための
連結棒である。
間に３本の取付棒６を、中央の取付棒６が最も低くなる
ように高さを違えて横向きに取り付けたもので、各取付
棒６に上記支持部材２の下端部が螺子７で固定されてい
る。図中８は左右の側板５，５を相互に結合するための
連結棒である。
【００１５】また、上記各支持部材２は、矩形のプレー
ト状をしていて、その上端部に波形に連なる複数の凹部
１０を備え、各凹部１０の底部にワークＷの外周を接触
させて支持するもので、３つの支持部材２がワークＷの
直径より狭い間隔をおいて配設され、これらの支持部材
２によってワークＷの外周が３点で支持されるようにな
っている。
ト状をしていて、その上端部に波形に連なる複数の凹部
１０を備え、各凹部１０の底部にワークＷの外周を接触
させて支持するもので、３つの支持部材２がワークＷの
直径より狭い間隔をおいて配設され、これらの支持部材
２によってワークＷの外周が３点で支持されるようにな
っている。
【００１６】上記各支持部材２は、図３及び図４から明
らかなように、合成樹脂又は金属あるいはその他のセラ
ミックによりプレート状に形成された第１及び第２の２
つの部材１１，１２からなっていて、重合状態に結合さ
れたこれらの部材の間に、上記各凹部１０の底部に臨む
ように開口する液滴用吸引口１４と、真空ポンプ等の吸
引手段に接続するための接続口１５と、該接続口１５と
上記吸引口１４とを連通する連通孔１６とが形成されて
いる。
らかなように、合成樹脂又は金属あるいはその他のセラ
ミックによりプレート状に形成された第１及び第２の２
つの部材１１，１２からなっていて、重合状態に結合さ
れたこれらの部材の間に、上記各凹部１０の底部に臨む
ように開口する液滴用吸引口１４と、真空ポンプ等の吸
引手段に接続するための接続口１５と、該接続口１５と
上記吸引口１４とを連通する連通孔１６とが形成されて
いる。
【００１７】この点の構成について更に詳細に説明する
と、上記第１部材１１は、該第１部材１１の大部分を占
める厚肉の本体部１１ａと、該本体部１１ａの上端から
上方に延びる薄肉の支持部１１ｂとからなっている。該
支持部１１ｂの上端部には上記波形の凹部１０が形成さ
れており、厚肉の本体部１１ａには、その上端に各凹部
１０に跨がる長さの凹段部１８が形成されると共に、該
凹段部１８の中央部から下方に延びる凹溝１９が形成さ
れ、これらの凹段部１８の下部と凹溝１９の回りとを取
り囲むように、ガスケット２１を収容するためのシール
溝２０が形成されている。
と、上記第１部材１１は、該第１部材１１の大部分を占
める厚肉の本体部１１ａと、該本体部１１ａの上端から
上方に延びる薄肉の支持部１１ｂとからなっている。該
支持部１１ｂの上端部には上記波形の凹部１０が形成さ
れており、厚肉の本体部１１ａには、その上端に各凹部
１０に跨がる長さの凹段部１８が形成されると共に、該
凹段部１８の中央部から下方に延びる凹溝１９が形成さ
れ、これらの凹段部１８の下部と凹溝１９の回りとを取
り囲むように、ガスケット２１を収容するためのシール
溝２０が形成されている。
【００１８】これに対して第２部材１２は、上記第１部
材１１の本体部１１ａに対応する形状及び大きさを持つ
主体部１２ａと、該主体部１２ａの上端から第１部材１
１側に向けて鈎形に突出する頭部１２ｂとからなってい
て、該頭部１２ｂは、主体部１２ａからの突出長ａが、
第１部材１１の本体部１１ａにおける支持部１１ｂから
の突出長ｂより僅かに小さく形成されると共に、その高
さｈが、上記本体部１１ａの上端から凹部１０の底部ま
での高さとほぼ同じに形成され、且つ該頭部１２ｂの上
端面が、上記凹部１０から遠ざかるにつれて次第に低く
なるように傾斜している。また、該第２部材１２の中央
部には、上記第１部材１１における凹溝１９との対応位
置に上記接続口１５が形成されている。
材１１の本体部１１ａに対応する形状及び大きさを持つ
主体部１２ａと、該主体部１２ａの上端から第１部材１
１側に向けて鈎形に突出する頭部１２ｂとからなってい
て、該頭部１２ｂは、主体部１２ａからの突出長ａが、
第１部材１１の本体部１１ａにおける支持部１１ｂから
の突出長ｂより僅かに小さく形成されると共に、その高
さｈが、上記本体部１１ａの上端から凹部１０の底部ま
での高さとほぼ同じに形成され、且つ該頭部１２ｂの上
端面が、上記凹部１０から遠ざかるにつれて次第に低く
なるように傾斜している。また、該第２部材１２の中央
部には、上記第１部材１１における凹溝１９との対応位
置に上記接続口１５が形成されている。
【００１９】そして、上記第１部材１１と第２部材１２
とを重合させたとき、上記支持部１１ｂと頭部１２ｂと
の間に形成される隙間により、各凹部１０に沿って一続
きに連なる上記液滴用吸引口１４が形成されると共に、
凹段部１８及び凹溝１９によって上記連通溝１６が形成
されるようになっている。
とを重合させたとき、上記支持部１１ｂと頭部１２ｂと
の間に形成される隙間により、各凹部１０に沿って一続
きに連なる上記液滴用吸引口１４が形成されると共に、
凹段部１８及び凹溝１９によって上記連通溝１６が形成
されるようになっている。
【００２０】このように、支持部材２を２つの部材１
１，１２で形成して、これらの部材に凹段部１８や凹溝
１９を形成しておくことにより、該支持部材２の内部に
上記吸引口１４及び連通孔１６を簡単に形成することが
できる。
１，１２で形成して、これらの部材に凹段部１８や凹溝
１９を形成しておくことにより、該支持部材２の内部に
上記吸引口１４及び連通孔１６を簡単に形成することが
できる。
【００２１】なお、図中２３ａ，２３ｂは、２つの部材
１１，１２を結合する螺子部材を取り付けるための取付
孔、２４は支持部材２を取付棒６に螺子７で固定するた
めの固定孔である。
１１，１２を結合する螺子部材を取り付けるための取付
孔、２４は支持部材２を取付棒６に螺子７で固定するた
めの固定孔である。
【００２２】上記構成を有するキャリヤ１Ａは、上記各
支持部材２の凹部１０内にワークＷの外周を縦向きに載
置し、該ワークＷを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、該ワークＷを温純水中に浸漬したあと引き上げて余
熱で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。このと
き、上記洗浄液や温純水等から引き上げられたキャリヤ
１Ａは、各支持部材２の接続口１５が真空ポンプ等の吸
引手段に接続され、ワークＷと凹部１０との接触部分に
付着した液滴が吸引口１４から強制的に吸引される。こ
れにより、上記ワークＷと凹部１０との接触部分に付着
した液滴は残留することなく完全に除去され、この液滴
の残留による乾燥遅れやウオーターマークの付着等が防
止される。
支持部材２の凹部１０内にワークＷの外周を縦向きに載
置し、該ワークＷを洗浄液中でブラシ洗浄する洗浄工程
や、該ワークＷを温純水中に浸漬したあと引き上げて余
熱で乾燥させる温純水乾燥工程等に使用される。このと
き、上記洗浄液や温純水等から引き上げられたキャリヤ
１Ａは、各支持部材２の接続口１５が真空ポンプ等の吸
引手段に接続され、ワークＷと凹部１０との接触部分に
付着した液滴が吸引口１４から強制的に吸引される。こ
れにより、上記ワークＷと凹部１０との接触部分に付着
した液滴は残留することなく完全に除去され、この液滴
の残留による乾燥遅れやウオーターマークの付着等が防
止される。
【００２３】上記各支持部材２を吸引手段に接続する場
合、各支持部材２の接続口１５を管継手と配管とを介し
て吸引手段に個別に接続しても良いが、スタンド部材３
における何れかの側板５に共通の外部接続口を設けて、
この外部接続口に各支持部材２の接続口１５を配管によ
りそれぞれ接続しておき、この外部接続口に吸引手段を
接続するようにするのが簡単である。この場合、各取付
棒６の内部に通孔を形成すると共に、何れか一つの取付
棒６又は側板５に共通の外部接続口を形成し、各取付棒
６に支持部材２を取り付けたとき該支持部材２の接続口
１５と取付棒６内部の通孔とが連通するように構成する
こともできる。
合、各支持部材２の接続口１５を管継手と配管とを介し
て吸引手段に個別に接続しても良いが、スタンド部材３
における何れかの側板５に共通の外部接続口を設けて、
この外部接続口に各支持部材２の接続口１５を配管によ
りそれぞれ接続しておき、この外部接続口に吸引手段を
接続するようにするのが簡単である。この場合、各取付
棒６の内部に通孔を形成すると共に、何れか一つの取付
棒６又は側板５に共通の外部接続口を形成し、各取付棒
６に支持部材２を取り付けたとき該支持部材２の接続口
１５と取付棒６内部の通孔とが連通するように構成する
こともできる。
【００２４】また、上記キャリヤ１Ａは、図１及び図２
に示すように、各支持部材２と取付棒６との取付点を、
該支持部材２で支持されたワークＷの最下端より低位置
に設けることが望ましく、これにより、該キャリヤ１Ａ
を温純水乾燥工程に使用する場合、ワークＷが温純水か
ら完全に引き上げられたあとに上記取付点が液面から露
出することになるため、この取付点の露出に伴う液面の
波立ちの影響を受けないようにすることができる。
に示すように、各支持部材２と取付棒６との取付点を、
該支持部材２で支持されたワークＷの最下端より低位置
に設けることが望ましく、これにより、該キャリヤ１Ａ
を温純水乾燥工程に使用する場合、ワークＷが温純水か
ら完全に引き上げられたあとに上記取付点が液面から露
出することになるため、この取付点の露出に伴う液面の
波立ちの影響を受けないようにすることができる。
【００２５】なお、図示した実施例では、液滴用吸引口
１４を各凹部１０に沿って一続きに連なるように形成し
ているが、この吸引口１４は、各凹部１０毎に独立に形
成されていても良い。また、３つの支持部材２を使用し
てワークＷの外周を３点で支持するようにしているが、
該支持部材２の数は２つでも４つ以上であっても良い。
しかも、これれらの支持部材２は、完全に鉛直に設ける
必要はなく、若干傾斜していても構わない。
１４を各凹部１０に沿って一続きに連なるように形成し
ているが、この吸引口１４は、各凹部１０毎に独立に形
成されていても良い。また、３つの支持部材２を使用し
てワークＷの外周を３点で支持するようにしているが、
該支持部材２の数は２つでも４つ以上であっても良い。
しかも、これれらの支持部材２は、完全に鉛直に設ける
必要はなく、若干傾斜していても構わない。
【００２６】図５は本発明のキャリヤの第２実施例を示
すもので、このキャリヤ１Ｂは、図７及び図８に示すよ
うな公知のキャリヤ１Ａと同様の基本構成を有してい
て、これに液滴吸引のための機構を付設したものであ
る。即ち、この第２実施例のキャリヤ１Ｂは、Ｖ字形の
円周溝からなる複数の凹部３０を外周に備えた棒状の支
持部材３２を、左右の側板３５，３５間に掛け渡し、こ
れらの支持部材３２の凹部３０内にワークＷの外周を縦
向きに支持するもので、各支持部材３２の内部に連通孔
３６を設けると共に、上記各凹部３０に該連通孔３６に
通じる吸引口３４をそれぞれ開設し、各支持部材３２の
連通孔３６を、何れかの側板３５に設けた共通の接続口
３５を通じて吸引手段に接続するように構成したもので
ある。
すもので、このキャリヤ１Ｂは、図７及び図８に示すよ
うな公知のキャリヤ１Ａと同様の基本構成を有してい
て、これに液滴吸引のための機構を付設したものであ
る。即ち、この第２実施例のキャリヤ１Ｂは、Ｖ字形の
円周溝からなる複数の凹部３０を外周に備えた棒状の支
持部材３２を、左右の側板３５，３５間に掛け渡し、こ
れらの支持部材３２の凹部３０内にワークＷの外周を縦
向きに支持するもので、各支持部材３２の内部に連通孔
３６を設けると共に、上記各凹部３０に該連通孔３６に
通じる吸引口３４をそれぞれ開設し、各支持部材３２の
連通孔３６を、何れかの側板３５に設けた共通の接続口
３５を通じて吸引手段に接続するように構成したもので
ある。
【００２７】
【発明の効果】このように本発明によれば、支持部材に
設けたワーク支持用の凹部に液滴用吸引口を設け、ワー
クとの接触部分に付着した液滴をこの吸引口を通じて吸
引手段により強制的に吸引するようにしたので、上記ワ
ークと支持部材との接触部分に液滴が残留することがな
く、この結果、液滴の残留による乾燥遅れやウオーター
マークの付着等を確実に防止することができる。
設けたワーク支持用の凹部に液滴用吸引口を設け、ワー
クとの接触部分に付着した液滴をこの吸引口を通じて吸
引手段により強制的に吸引するようにしたので、上記ワ
ークと支持部材との接触部分に液滴が残留することがな
く、この結果、液滴の残留による乾燥遅れやウオーター
マークの付着等を確実に防止することができる。
【図１】本発明に係るキャリヤの第１実施例を示す部分
破断側面図である。
破断側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】１つの支持部材の拡大断面図である。
【図４】１つの支持部材の分解斜視図である。
【図５】本発明に係るキャリヤの第２実施例を示す部分
破断側面図である。
破断側面図である。
【図６】図５の要部拡大図である。
【図７】従来のキャリヤの部分破断側面図である。
【図８】図７のキャリヤの正面図である。
１Ａ，１Ｂ キャリヤ ２，３２ 支持部
材 ３ スタンド部材 １０，３０ 凹部 １１ 第１部材 １２ 第２部材 １４，３４ 吸引口 １５，３５ 接続
口 １６，３６ 連通孔 Ｗ ワーク
材 ３ スタンド部材 １０，３０ 凹部 １１ 第１部材 １２ 第２部材 １４，３４ 吸引口 １５，３５ 接続
口 １６，３６ 連通孔 Ｗ ワーク
Claims (6)
- 【請求項１】縦向きに置かれたディスク形ワークの外周
を支持する、該ワークの直径より狭い間隔で位置する複
数の支持部材を有し、 上記支持部材が、ワークの外周が嵌合状態で当接する複
数の凹部と、各凹部に臨むように開口する液滴用吸引口
と、吸引手段に接続するための接続口と、該接続口と上
記吸引口とを連通する連通孔とを有することを特徴とす
るディスク形ワーク用キャリヤ。 - 【請求項２】請求項１に記載のキャリヤにおいて、上記
支持部材が、波形に連なる凹部を備えた第１部材と、該
第１部材に重合する第２部材とからなり、これらの第１
部材と第２部材との間に、各凹部の底部に臨む上記吸引
口が形成されると共に、連通孔が形成されていることを
特徴とするもの。 - 【請求項３】請求項２に記載のキャリヤにおいて、上記
吸引口が第１部材と第２部材との間の隙間からなってい
て、該隙間が、上記各凹部の底部に沿って一続きに連な
った状態に開口していることを特徴とするもの。 - 【請求項４】請求項２又は３に記載のキャリヤにおい
て、第１部材の上端部に上記凹部が形成されると共に、
第２部材の上端面が該凹部よりも低位置に形成され、該
上端面が、上記凹部から離れるに従って次第に低くなる
ように傾斜していることを特徴とするもの。 - 【請求項５】請求項１から４までの何れか１つに記載の
キャリヤにおいて、上記各支持部材がプレート状をして
いて、スタンド部材に縦向きに取り付けられていること
を特徴とするもの。 - 【請求項６】請求項５に記載のキャリヤにおいて、上記
各支持部材のスタンド部材への取付点が、該支持部材で
支持されたワークの最下端より低位置にあることを特徴
とするもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11017798A JPH11297808A (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | ディスク形ワーク用キャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11017798A JPH11297808A (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | ディスク形ワーク用キャリヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11297808A true JPH11297808A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14529010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11017798A Pending JPH11297808A (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | ディスク形ワーク用キャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11297808A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170798A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 研磨用プレートの洗浄方法及び洗浄装置、及びウエーハ研磨方法 |
| WO2005015627A1 (en) * | 2003-08-07 | 2005-02-17 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and substrate holding apparatus |
| CN100442448C (zh) * | 2003-08-07 | 2008-12-10 | 株式会社荏原制作所 | 基片处理装置 |
| JP2009295672A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 乾燥ジグ、乾燥装置、乾燥方式及び磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2011094641A3 (en) * | 2010-01-31 | 2011-12-29 | Xyratex Technology Ltd. | Substrate nest with drip remover |
| JP2013222911A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法、並びに太陽電池の製造方法 |
-
1998
- 1998-04-06 JP JP11017798A patent/JPH11297808A/ja active Pending
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| US7578886B2 (en) | 2003-08-07 | 2009-08-25 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and substrate holding apparatus |
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