JPH1128307A

JPH1128307A - 脱気装置及び脱気方法

Info

Publication number: JPH1128307A
Application number: JP20244797A
Authority: JP
Inventors: Hajime Otani; 肇大谷; Toshihiko Ariyoshi; 俊彦有吉
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1997-07-10
Filing date: 1997-07-10
Publication date: 1999-02-02
Anticipated expiration: 2017-07-10
Also published as: JP3847909B2

Abstract

(57)【要約】【課題】１台の脱気装置で、様々な処理液量に対応す
ることが可能で、複数種類の処理液を同時に脱気処理す
ることができ、しかも処理液の性状の違いに柔軟に対応
可能で、さらには処理液の様々な供給方法、取り出し方
法に適応することができる汎用性に優れた脱気装置及び
脱気方法を提供すること【解決手段】１つの真空チャンバー内に、両端部に継
手が接続された接合部材が設けられてなる１本又は２本
以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが２
つ以上配設されてなることを特徴とする脱気装置とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は脱気装置及び脱気
方法に係り、その目的は、１台の脱気装置で、様々な処
理液量、処理液の種類、処理液の性状、処理液の供給方
法に柔軟に対応可能な脱気装置を提供することにある。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、熱交換器における熱交換エレ
メントや溶液中の溶存ガスの除去等に使用される脱気装
置は、フッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブ
を接合せしめた脱気エレメントをプラスチック製や金属
製、或いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を
用いて一体化することにより製造される。このような脱
気装置の例としては、例えば、図１０に示すものが存在
する。この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過
性チューブからなる脱気エレメント（Ａ）を接合部材
（Ｂ）により真空チャンバー（Ｃ）内部に接続固定して
なるものであり、脱気処理される液は継ぎ手（Ｄ）を介
して脱気装置に接続されたフッ素樹脂製チューブから供
給される。このような脱気装置の運転方法としては、吸
引口（Ｅ）に接続された真空ポンプ等の減圧装置により
真空チャンバー（Ｃ）内を減圧した状態で、フッ素樹脂
製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的であ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような脱気装置では、処理液の供給量が多い場合には
脱気効率を良くするために複数の脱気装置を並列或いは
直列に接続しなければならなかった。一方、処理液の供
給量が多い場合でも高い脱気効率を得ることができる脱
気装置として、図１１に示すような複数の嵌合部を有す
る接合部材（Ｂ）を真空チャンバー（Ｃ）に固定し、複
数の脱気エレメント（Ａ）を各嵌合部にそれぞれ取り付
けた脱気装置も使用されている。この脱気装置によれ
ば、１台の装置で多量の処理液を効率良く脱気処理する
ことができるものの、以下に述べるような課題が存在し
ていた。先ず、一度に一種類の液体しか脱気処理するこ
とができないため、液の性状（例えば、粘度、密度、水
系と溶剤系の別）が異なる２種類以上の液体を同時に脱
気処理しようとした場合には、結局２台以上の脱気装置
を接続して使用しなければならなかった。また、高粘度
の液体を脱気処理する場合には、チューブ径を太くした
り、チューブ長さを短くしたり、チューブ本数を増やし
たりする必要があるが、これらの変更を柔軟且つ容易に
行うことができなかった。さらに、例えば処理液の供給
元が１箇所で排出先が複数箇所の場合や、逆に複数箇所
から供給された処理液を混合して１箇所の排出先から取
り出そうとした場合には１台の脱気装置では対応するこ
とができず、２台以上の脱気装置を接続して使用しなけ
ればならなかった。本発明の解決課題は、１台の脱気装
置で、様々な処理液量に対応することが可能で、複数種
類の処理液を同時に脱気処理することができ、しかも処
理液の性状の違いに柔軟に対応可能で、さらには処理液
の様々な供給方法、取り出し方法に適応することができ
る汎用性に優れた脱気装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明においては上記課
題を解決するための手段として、請求項１の発明では１
つの真空チャンバー内に、両端部に継手が接続された接
合部材が設けられてなる１本又は２本以上の気体透過性
チューブからなる脱気エレメントが２つ以上配設されて
なることを特徴とする脱気装置とした。また請求項２の
発明では、２つ以上の脱気エレメント同士が直列に接続
され、脱気装置への処理液入口及び出口がそれぞれ一つ
となるように構成されてなることを特徴とする請求項１
記載の脱気装置とした。更に請求項３の発明では、２つ
以上の脱気エレメントの液入口同士、液出口同士がそれ
ぞれ並列に接続されてなることを特徴とする請求項１記
載の脱気装置とした。請求項４の発明では、２つ以上の
脱気エレメントの液入口同士が並列に接続され、液出口
同士は接続されずにそれぞれ独立してなることを特徴と
する請求項１記載の脱気装置とした。請求項５の発明で
は、２つ以上の脱気エレメントの液出口同士が並列に接
続され、液入口同士は接続されずにそれぞれ独立してな
ることを特徴とする請求項１記載の脱気装置とした。

【０００５】請求項６の発明では、３つ以上の脱気エレ
メントの液入口同士が接続されずにそれぞれ独立して設
けられ、液出口は単独のものと並列に接続されているも
のが設けられてなることを特徴とする請求項１記載の脱
気装置とした。請求項７の発明では、３つ以上の脱気エ
レメントの液入口が単独のものと並列に接続されている
ものが設けられ、液出口も同様に単独のものと並列に接
続されているものが設けられてなることを特徴とする請
求項１記載の脱気装置とした。請求項８の発明では、３
つ以上の脱気エレメントの液出口同士は接続されずにそ
れぞれ独立して設けられ、液入口は単独のものと並列に
接続されているものが設けられてなることを特徴とする
請求項１記載の脱気装置とした。

【０００６】請求項９の発明では、各脱気エレメントに
供給する処理液が同じであることを特徴とする請求項１
記載の脱気装置とした。請求項１０の発明では、各脱気
エレメントに供給する処理液が異なった種類のものであ
ることを特徴とする請求項１記載の脱気装置とした。請
求項１１の発明では、各脱気エレメントに異なった種類
の処理液を供給して出口から混合液として取り出すこと
を特徴とする請求項１記載の脱気装置とした。

【０００７】請求項１２の発明では、請求項１記載の脱
気装置を使用し、各脱気エレメントに同じ処理液を供給
して脱気処理を行うことを特徴とする脱気方法とした。
請求項１３の発明では、請求項１記載の脱気装置を使用
し、各脱気エレメントに異なった種類の処理液を供給し
て脱気処理を行うことを特徴とする脱気方法とした。請
求項１４の発明では、請求項１記載の脱気装置を使用
し、各脱気エレメントに異なった種類の処理液を供給し
て脱気処理を行うとともに出口から混合液として取り出
すことを特徴とする脱気方法とした。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る脱気装置及び
脱気方法の実施形態について、図面を参照しつつ説明す
る。図１は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面
図である。本発明に係る脱気装置（１）は図１に示す如
く、１つの真空チャンバー（２）と該真空チャンバー
（２）内に配設される２つ以上の脱気エレメント（３）
から構成される。本発明に係る脱気装置（１）において
は、真空チャンバー（２）の材質は特に限定されるもの
ではなく、金属、プラスチック、ガラス等、適宜任意の
素材を用いることができるが、耐久性や耐薬品性の点か
ら、金属材料を用いる場合はステンレス鋼を、プラスチ
ック材料を用いる場合はポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）やテトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素
樹脂、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、ポリエチレン樹脂
（ＰＥ）等を用いることが好ましい。また真空チャンバ
ー（２）の形状及び大きさについても、真空ポンプ等の
減圧手段と接続可能な吸引口（２１）と脱気エレメント
（３）に処理液を通過させるための入液口及び出液口を
有し且つ所要数の脱気エレメント（３）をその内部に収
めることが可能な大きさであれば特に限定されない。

【０００９】脱気エレメント（３）は、１本の気体透過
性チューブ又は２本以上の気体透過性チューブが端部に
おいて熱融着性を有するフッ素樹脂粉末を介して融着に
より接合一体化されてなる気体透過性チューブ束からな
る。気体透過性チューブの材質の具体例としては、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロ
エチレン−パ−フルオロアルキルビニルエーテル共重合
体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフ
ルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示できるが、こ
れらに限定されるものではない。また、熱融着性を有す
るフッ素樹脂粉末についても特に限定されるものではな
いが、具体的には、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフル
オロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）等の粉末を好適な例として例示することができ
る。

【００１０】脱気エレメント（３）は、接合部材（５）
を介して真空チャンバー（２）内に固定される。脱気エ
レメント（３）と接合部材（５）は、脱気エレメント
（３）両端部の接合片（１０）をフェルール等の嵌合片
（６）を介して嵌合部（５１）に嵌合し、袋ナット
（７）を雄ねじ部（５２）に螺合させることにより接続
固定され、また接合部材（５）と真空チャンバー（２）
はナット（８）を雄ねじ部（５５）に螺合させて鍔部
（５３）とナット（８）で真空チャンバー（２）の上壁
をＯリングを介して挟み込むことにより固定される。脱
気装置（１）内に処理液を送り込むためのチューブ（図
示せず）接続用の継手（９）は接合部材（５）に螺着さ
れ、継手（９）と接合部材（５）の間には図示の如くＯ
リングが介装される。このとき、接合部材（５）の膨ら
みを防止するために接合部材（５）の外周には筒状の膨
らみ防止具（４）が嵌着される。

【００１１】なお、本発明に係る脱気装置においては、
脱気エレメント（３）と接合部材（５）及び接合部材
（５）と真空チャンバー（２）との接続固定方法は、図
示例に何ら限定されるものではなく、接続部の気密性に
優れ且つ真空チャンバー（２）内に脱気エレメント
（３）を確実に固定することができれば、適宜任意の方
法を採用することができる。

【００１２】上記構成を有する脱気装置（１）の様々な
使用方法の例を概略図として図２〜図９に示す。尚、図
２〜図９においてＵ字状に示されているのが脱気エレメ
ント（３）であり、四角形状に示されているのは真空チ
ャンバー（２）である。また矢印（三角印）は処理液の
流通方向を示す。図２は、２つの脱気エレメントを独立
状態で１つの真空チャンバー内に配設した例を示す図で
あり、この場合異なった性状をもつ２種類の処理液を混
合させることなく同時に脱気処理することができる。図
３は、２つの脱気エレメントを直列に接続した例であ
り、このように直列接続することにより処理液の供給量
が多い場合にも脱気効率を低下させることなく脱気処理
を行うことができる。図４は、２つの脱気エレメントの
液入口同士、液出口同士をそれぞれ並列に接続した例で
あり、供給量が多い場合や高粘度の液体を脱気処理する
場合に有効である。図５は、２つの脱気エレメントの液
入口同士を並列に接続し、液出口同士は接続させずにそ
れぞれ独立させた例であり、供給量が多い場合や高粘度
の液体を脱気処理する場合に有効であり、しかも処理液
を２箇所に分けて取り出すことができる。図６は、２つ
の脱気エレメントの液出口同士を並列に接続し、液入口
同士は接続せずにそれぞれ独立させた場合の例であり、
この場合２種類の処理液を混合させて出口から取り出す
ことができる。

【００１３】図７は、３つの脱気エレメントを１つの真
空チャンバー内に配設し、それぞれの脱気エレメントの
液入口同士は接続せずにそれぞれ独立して設け、液出口
は単独のものと並列に接続したものを設けた場合であ
り、この場合２種類の処理液を混合させて出口から取り
出すことができるとともに、さらに同時に別のもう１種
類の処理液は混合させず処理することができる。図８
は、３つの脱気エレメントの液入口を単独のものと並列
に接続されているものとし、液出口も同様に単独のもの
と並列に接続されているものとした場合であり、この場
合処理量の多い液と、処理量の少ない別の種類の液を同
時に且つ混合させることなく脱気処理することができ
る。図９は、３つの脱気エレメントの液出口同士は接続
せずにそれぞれ独立して設け、液入口は単独のものと並
列に接続されているものを設けた場合であり、この場合
には２種類の処理液を混合して取り出すことができると
ともに、更に別の種類の処理液を同時に脱気処理するこ
とができる。

【００１４】上記した如く、本発明に係る脱気装置によ
れば、１つの真空チャンバー内に２つ以上の脱気エレメ
ントが配設されているため、各脱気エレメントの接続形
態を変えることにより、１台の脱気装置で、様々な処理
液量、処理液の種類、処理液の性状、処理液の供給方法
に柔軟に対応可能となる。尚、上記例においては、脱気
エレメントの数を２つ又は３つとした例を示したが、本
発明においては脱気エレメントの数は限定されず２以上
であればいくつであってもよい。また、脱気エレメント
同士の接続方法についても何ら限定されず、配管用チュ
ーブやＬタイプ、Ｔタイプ等の各種継手などを接続方法
に応じて適宜使用すればよい。

【００１５】

【実施例】以下、本発明に係る脱気装置及び脱気方法の
実施例を示すことにより、本発明に係る脱気装置及び脱
気方法の効果をより明確にする。尚、本発明はこの実施
例により何ら限定されるものではない。（実施例１）内径０．９ｍｍ、外径１．２ｍｍ、長さ
３．５ｍのフッ素樹脂製気体透過性チューブを１３０本
結束し、両端をＰＦＡ粉末を介して３８０℃で熱熔着し
て接合一体化したものを２つ製作し、それぞれを第１脱
気エレメント、第２脱気エレメントとし、これらの脱気
エレメントを真空チャンバーに取り付けて図１に示すよ
うな脱気装置を得た。得られた脱気装置を用いて、以下
に示すａ〜ｅの５通りの方法で脱気装置に処理液（純
水）を供給したところ、いずれの場合にも良好に脱気処
理を行うことができた。ａ．配管用チュ−ブをそれぞれの脱気エレメントに接続
し、それぞれの脱気エレメントに別々に処理液を供給し
た。（図２の接続形態）ｂ．配管用チューブと継手Ｌタイプを用いて第１及び第
２脱気エレメントを直列に接続して処理液を供給した。
（図３の接続形態）ｃ．配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプを用い
て脱気エレメントの入口側及び出口側をそれぞれ並列に
接続して処理液を供給した。（図４の接続形態）ｄ．配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプを用い
て脱気エレメントの入口側同士を並列に接続して、一方
出口側は接続せずに単独として処理液を供給した。（図
５の接続形態）ｅ．脱気エレメントの入口側を接続せずに単独とし、一
方出口側は配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプ
を用いて並列に接続して処理液を供給した。（図６の接
続形態）

【００１６】（実施例２）上記実施例１において脱気エ
レメントの数を３つに増やして脱気装置を構成し以下に
示す３通りの方法で脱気装置に処理液（純水）を供給し
たところ、いずれの場合にも良好に脱気処理を行うこと
ができた。ｆ．脱気エレメントの入口側を接続せずに単独とし、一
方出口側は配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプ
を用いて２本を並列に接続し残りの１本を単独として処
理液を供給した。（図７の接続形態）ｇ．配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプを用い
て脱気エレメントの入口側の２本を並列に接続し残りの
１本を単独とし、出口側も同様に２本を並列に接続し残
りの１本を単独として処理液を供給した。（図８の接続
形態）ｈ．配管用チューブと継手Ｌタイプ及びＴタイプを用い
て脱気エレメントの入口側の２本を並列に接続し残りの
１本を単独とし、一方出口側は接続せずに単独として一
方処理液を供給した。（図９の接続形態）

【００１７】（実施例３）実施例１ａの脱気装置を用い
て、第１脱気エレメントにはアルコールを流通し、第２
脱気エレメントには純水を供給して同時に脱気処理を行
ったところ、アルコール、純水ともに良好に脱気処理を
行うことができた。（図１の接続形態）

【００１８】（実施例４）実施例１の脱気装置におい
て、第１及び第２脱気エレメントの液入口側は接続せ
ず、出口側同士をＴ継手及びＬ継手と配管用チューブを
用いて接続した。（図６の接続形態）そして、それぞれ
の液入口側よりアルコールを供給して脱気処置を行った
ところ、出口側から２種のアルコールが良好に混合され
たアルコールを取り出すことができた。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は１つの真
空チャンバー内に、両端部に継手が接続された接合部材
が設けられてなる１本又は２本以上の気体透過性チュー
ブからなる脱気エレメントが２つ以上配設されてなるこ
とを特徴とする脱気装置及びこの脱気装置を用いた脱気
方法であるから、１台の脱気装置で、様々な処理液量に
対応することが可能で、且つ、複数種類の処理液を同時
に脱気処理することができ、しかも処理液の性状の違い
に柔軟に対応可能で、さらには処理液の様々な供給方
法、取り出し方法に適応することができるという優れた
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る脱気装置の一実施例の断面図であ
る。

【図２】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図３】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図４】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図５】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図６】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図７】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図８】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図９】本発明に係る脱気装置の使用方法の例を示す概
略図である。

【図１０】従来の脱気装置の一実施例の断面図である。

【図１１】従来の脱気装置の一実施例の断面図である。

【符号の説明】

１脱気装置２真空チャンバー３脱気エレメント５接合部材９継手

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１つの真空チャンバー内に、両端部に継
手が接続された接合部材が設けられてなる１本又は２本
以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが２
つ以上配設されてなることを特徴とする脱気装置。
【請求項２】２つ以上の脱気エレメント同士が直列に
接続され、脱気装置への処理液入口及び出口がそれぞれ
一つとなるように構成されてなることを特徴とする請求
項１記載の脱気装置。
【請求項３】２つ以上の脱気エレメントの液入口同
士、液出口同士がそれぞれ並列に接続されてなることを
特徴とする請求項１記載の脱気装置。
【請求項４】２つ以上の脱気エレメントの液入口同士
が並列に接続され、液出口同士は接続されずにそれぞれ
独立してなることを特徴とする請求項１記載の脱気装
置。
【請求項５】２つ以上の脱気エレメントの液出口同士
が並列に接続され、液入口同士は接続されずにそれぞれ
独立してなることを特徴とする請求項１記載の脱気装
置。
【請求項６】３つ以上の脱気エレメントの液入口同士
が接続されずにそれぞれ独立して設けられ、液出口は単
独のものと並列に接続されているものが設けられてなる
ことを特徴とする請求項１記載の脱気装置。
【請求項７】３つ以上の脱気エレメントの液入口が単
独のものと並列に接続されているものが設けられ、液出
口も同様に単独のものと並列に接続されているものが設
けられてなることを特徴とする請求項１記載の脱気装
置。
【請求項８】３つ以上の脱気エレメントの液出口同士
は接続されずにそれぞれ独立して設けられ、液入口は単
独のものと並列に接続されているものが設けられてなる
ことを特徴とする請求項１記載の脱気装置。
【請求項９】各脱気エレメントに供給する処理液が同
じであることを特徴とする請求項１記載の脱気装置。
【請求項１０】各脱気エレメントに供給する処理液が
異なった種類のものであることを特徴とする請求項１記
載の脱気装置。
【請求項１１】各脱気エレメントに異なった種類の処
理液を供給して出口から混合液として取り出すことを特
徴とする請求項１記載の脱気装置。
【請求項１２】請求項１記載の脱気装置を使用し、各
脱気エレメントに同じ処理液を供給して脱気処理を行う
ことを特徴とする脱気方法。
【請求項１３】請求項１記載の脱気装置を使用し、各
脱気エレメントに異なった種類の処理液を供給して脱気
処理を行うことを特徴とする脱気方法。
【請求項１４】請求項１記載の脱気装置を使用し、各
脱気エレメントに異なった種類の処理液を供給して脱気
処理を行うとともに出口から混合液として取り出すこと
を特徴とする脱気方法。