JPH11280761A - Linear motion rolling guide unit and xy table device using the same - Google Patents
Linear motion rolling guide unit and xy table device using the sameInfo
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- JPH11280761A JPH11280761A JP9697798A JP9697798A JPH11280761A JP H11280761 A JPH11280761 A JP H11280761A JP 9697798 A JP9697798 A JP 9697798A JP 9697798 A JP9697798 A JP 9697798A JP H11280761 A JPH11280761 A JP H11280761A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は，軌道レールに対
して長手方向に沿って移動する第１スライダと第１スラ
イダの幅方向に沿って移動する第２スライダから成る直
動転がり案内ユニット，及び該直動転がり案内ユニット
を用いた半導体製造装置，検査装置，測定器，加工機，
組立機等に適用されるＸＹテーブル装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motion rolling guide unit comprising a first slider moving in a longitudinal direction with respect to a track rail and a second slider moving in a width direction of the first slider, and Semiconductor manufacturing equipment, inspection equipment, measuring instrument, processing machine, and the like using the linear motion rolling guide unit.
The present invention relates to an XY table device applied to an assembling machine or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の直動転がり案内ユニットは，図９
に示すように，軌道レール５２及び軌道レール５２上を
ボール等の転動体４２を介して相対摺動できるスライダ
４３から成り，スライダ４３はケーシング４４，ケーシ
ング４４の長手方向両端面に当接して取り付けられたエ
ンドキャップ４５，ケーシング４４とエンドキャップ４
５との下面に配置された下面シール（図示せず）及び軌
道レール５２とエンドキャップ４５との間の隙間をシー
ルするためエンドキャップ４５の端面に配置されたエン
ドシール４６から構成されている。軌道レール５２には
長手方向両側壁面５３に軌道溝４７が形成され，また，
ケーシング４４には軌道レール５２の軌道溝４７に対向
する位置に軌道溝４８が形成されている。転動体４２
は，軌道溝４７と軌道溝４８との間に形成される負荷軌
道路では保持バンド４９でケーシング４４に保持されて
いる。転動体４２は，前記負荷軌道路，転動体４２の循
環させるためのケーシング４４に形成された無負荷軌道
路のリターン孔５０，及び前記負荷軌道路とリターン孔
５０とに連通するエンドキャップ４５に形成された無負
荷軌道路の方向転換路（図示せず）から成る無限循環路
を無限循環して転走するように直動転がり案内ユニット
に組み込まれている。また，エンドシール４６には，無
限循環路に潤滑剤を供給するため，グリースニップル５
１が取り付けられている。2. Description of the Related Art A conventional linear motion rolling guide unit is shown in FIG.
As shown in the figure, the track rail 52 and a slider 43 which can slide relative to each other on the track rail 52 via a rolling element 42 such as a ball, and the slider 43 is mounted in contact with the casing 44 and both longitudinal end faces of the casing 44. End cap 45, casing 44 and end cap 4
5 and an end seal 46 disposed on an end face of the end cap 45 to seal a gap between the track rail 52 and the end cap 45. The track rail 52 has track grooves 47 formed on both side walls 53 in the longitudinal direction.
A track groove 48 is formed in the casing 44 at a position facing the track groove 47 of the track rail 52. Rolling element 42
Is held on the casing 44 by the holding band 49 on the load track formed between the track groove 47 and the track groove 48. The rolling element 42 is connected to the load raceway, the return hole 50 of the no-load raceway formed in the casing 44 for circulating the rolling element 42, and the end cap 45 communicating with the load raceway and the return hole 50. The linear motion rolling guide unit is incorporated into the linear rolling guide unit so as to roll in an endless circulation path formed of a direction change path (not shown) of the formed no-load track path. The end seal 46 is provided with a grease nipple 5 to supply a lubricant to an infinite circulation path.
1 is attached.
【０００３】また，別の直動転がり案内ユニット，Ｘ方
向とＹ方向の両方向に摺動可能な直動転がり案内ユニッ
トとしては，例えば，実公平８−１７９０号公報に開示
されたものがある。該公報に開示された直動転がり案内
ユニットは，トラックレールに，転動体と転動用の軌道
とを有するスライドユニットが跨架されている。該スラ
イドユニットは，転動体と転動用軌道とを有し，トラッ
クレールに転動自在に係合しているロワメンバーと，該
ロワメンバーの上部に，前記トラックレールの長さ方向
と直交する方向への限定された移動間隙を存してアリ溝
嵌合されているテーブル固定用アッパメンバーとで形成
されている。直動転がり案内ユニットは，トラックレー
ルの長さ方向（Ｘ方向）に長いストローク，トラックレ
ールの長さ方向と直交する方向（Ｙ方向）には短いスト
ロークで移動するような用途に適している。例えば，２
本のトラックレールを平行に配置し，テーブル固定用ア
ッパメンバーの上にテーブルを取り付けることによって
ＸＹテーブル装置を構成した場合，一対のトラックレー
ルの平行度の誤差を，テーブル固定用アッパメンバーの
Ｙ方向の移動によって吸収することができ，これによ
り，高精度の摺動性能を維持することができる。As another linear motion rolling guide unit, a linear motion rolling guide unit slidable in both the X direction and the Y direction is disclosed, for example, in Japanese Utility Model Publication No. 8-1790. In the linear motion rolling guide unit disclosed in this publication, a slide unit having a rolling element and a rolling track is straddled on a track rail. The slide unit has a rolling member and a rolling track, and a lower member rotatably engaged with a track rail, and a direction perpendicular to a length direction of the track rail, provided on the lower member. And a table fixing upper member which is fitted in a dovetail groove with a limited moving gap. The linear motion rolling guide unit is suitable for applications in which a long stroke moves in the track rail length direction (X direction) and a short stroke moves in a direction orthogonal to the track rail length direction (Y direction). For example, 2
When the XY table device is configured by arranging the track rails in parallel and mounting the table on the table fixing upper member, the error in the parallelism between the pair of track rails is determined by the Y direction of the table fixing upper member. The movement can be absorbed, thereby maintaining the sliding performance with high precision.
【０００４】また，Ｘ方向及び該Ｘ方向に直交するＹ方
向の両方向にテーブルを移動可能とするＸＹテーブル装
置としては，例えば，図１０に示すような構造のものが
知られている。ＸＹテーブル装置は，Ｘテーブル装置６
３とＹテーブル装置５４とを上下に積み重ねて配置した
ものである。Ｙテーブル装置５４は，ベッド５５に平行
に設置した一対の軌道レール５６及び各軌道レール５６
に跨架されたスライダ５７とから成る直動転がり案内ユ
ニット５８，直動転がり案内ユニット５８上に取り付け
られたテーブル５９，ベッド５５に回転自在に支持され
且つテーブル５９に螺合されたボールねじ６０，及びボ
ールねじ６０を回転させるモータ６１とから構成されて
いる。Ｘテーブル装置６３は，Ｙテーブル装置５４と同
様の構造を有するものである。ＸＹテーブル装置は，上
側のＹテーブル装置５４のＹテーブル５９と下側のＸテ
ーブル装置６３のＸテーブル６２とが直交方向に移動し
得るように配置されており，下側のＸテーブル装置６３
のＸテーブル６２に上側のＹテーブル装置５４のベッド
５５を取り付けた構造を有している。As an XY table device capable of moving a table in both directions of an X direction and a Y direction orthogonal to the X direction, for example, a device having a structure as shown in FIG. 10 is known. The XY table device is an X table device 6
3 and the Y table device 54 are vertically stacked. The Y table device 54 includes a pair of track rails 56 installed in parallel with a bed 55 and each track rail 56.
And a table 59 mounted on the linear motion rolling guide unit 58, and a ball screw 60 rotatably supported by the bed 55 and screwed to the table 59. , And a motor 61 for rotating the ball screw 60. The X table device 63 has the same structure as the Y table device 54. The XY table device is arranged such that the Y table 59 of the upper Y table device 54 and the X table 62 of the lower X table device 63 can move in the orthogonal direction.
The X table 62 has a structure in which the bed 55 of the upper Y table device 54 is attached.
【０００５】また，ＸＹテーブルとして，例えば，特開
平２−２４０３２号公報に開示されたものがある。該公
報に開示されたＸＹテーブルは，下面側に２次元移動手
段を有して平面内をＸ方向及びＹ方向に移動可能な移動
テーブルと，前記移動テーブルの近傍に配設され，下面
側に１次元移動手段を有してＸ方向のみ移動可能な駆動
テーブルと，前記駆動テーブルと前記移動テーブルとの
間をＹ方向に移動可能に連結し，駆動テーブルのＸ方向
移動を前記移動テーブルに伝達する連結手段とを備え，
前記連結手段が前記駆動テーブル又は移動テーブルのい
ずれか一方に，そのＹ方向に沿って取り付けられた軌道
台と，前記軌道台を跨ぐように配設され，内面側に設け
られた複数の転動体を介して四方向の荷重を負荷しなが
ら摺動する摺動台と，前記摺動台と他方のテーブルとを
連結する連結腕とで構成されている。また，前記ＸＹテ
ーブルにおいて，移動テーブルの２次元移動手段が，移
動テーブル下面にそのＸ方向に沿って設けられた下向き
軌道台と，その下方にＹ方向に沿って配設された上向き
軌道台と，これら下向き軌道台と上向き軌道台の交差点
でこれら下向き軌道台と上向き軌道台を跨架し，複数の
転動体を介して各下向き軌道台と上向き軌道台に対しそ
れぞれ四方向の荷重を負荷しながら摺動する直交直線摺
動台とで構成されている。An XY table is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-24032. The XY table disclosed in this publication has a moving table having two-dimensional moving means on the lower surface side and movable in the X and Y directions in a plane, and is disposed near the moving table and provided on the lower surface side. A drive table having one-dimensional moving means and movable only in the X direction; and a drive table connected to the drive table and the movable table so as to be movable in the Y direction. Connecting means for
A track base attached to one of the drive table and the moving table along the Y direction, and a plurality of rolling elements provided on the inner surface side so as to straddle the track base; And a connecting arm for connecting the sliding table and the other table. In the XY table, the two-dimensional moving means of the moving table includes a downward track provided on the lower surface of the moving table along the X direction, and an upward track disposed below the moving table along the Y direction. At the intersection of the down way and the up way, the down way and the up way are straddled, and four downward loads are applied to each down way and the up way through multiple rolling elements. And an orthogonal linear slide that slides.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，実公平
８−１７９０号公報に開示された直動転がり案内ユニッ
トは，テーブル固定用アッパメンバーをロワメンバーに
アリ溝嵌合することによって摺動可能に構成したもので
あるため，アリ溝を高精度に製作することが困難である
ことから，必ずしも満足のいくものではなかった。しか
も，アリ溝の部分は滑り摺動であるため，高精度で滑ら
かな摺動を実現することは難しい。However, the linear motion rolling guide unit disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 8-1790 is slidable by fitting a table fixing upper member to a lower member in a dovetail groove. Therefore, it was not always satisfactory because it was difficult to manufacture the dovetail groove with high precision. In addition, since the dovetail portion slides smoothly, it is difficult to realize smooth sliding with high precision.
【０００７】また，図１０に示したＸＹテーブル装置
は，２台のテーブル装置６３，５４を上下に積み重ねて
配置したものであるから，装置全体の高さが高くなり，
重量も重くなり，そのため，装置自体が大型化してしま
うという問題がある。Further, the XY table device shown in FIG. 10 has two table devices 63 and 54 stacked one above the other, so that the overall height of the device is increased.
There is also a problem that the weight becomes heavy and the device itself becomes large.
【０００８】また，特開平２−２４０３２号公報に開示
されたＸＹテーブル装置は，高さも低く高精度なもので
あるが，テーブルをＸ方向とＹ方向の両方向に長いスト
ロークで移動できるように構成したものであるから，広
いスペースを要するものであった。また，特開平２−２
４０３２号公報に開示された直交直線摺動台は，複数の
転動体を介して下向き軌道台と上向き軌道台に対しそれ
ぞれ四方向の荷重を負荷しながら摺動するものであるか
ら，転動体の無限軌道路を一つの部品の上部と下部に形
成しなければならないため，製作が複雑なものとなる。The XY table device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-24032 is low in height and high in accuracy, but is constructed so that the table can be moved with a long stroke in both the X and Y directions. Therefore, a large space was required. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-2
The orthogonal linear slide disclosed in Japanese Patent No. 4032 slides on a downward track and an upward track with a load in four directions, respectively, via a plurality of rolling elements. The endless track must be formed at the top and bottom of one part, which complicates manufacturing.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明の目的は，上記
の課題を解決することであり，互いに独立して相対摺動
できる一対のスライダから成り，比較的簡単に製造で
き，装置全体の高さを低く抑えた小型且つ軽量な構造を
有する直動転がり案内ユニットを提供すると共に，該直
動転がり案内ユニットを用いた一方向（Ｘ方向）に長い
ストロークで移動し且つ他方向（Ｙ方向）に短いストロ
ークで移動することができ，半導体製造装置，検査装
置，測定器，加工機，組立機等に適用して好ましいＸＹ
テーブル装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and comprises a pair of sliders which can slide relative to each other independently of each other, which can be relatively easily manufactured, and the height of the whole apparatus is high. The present invention provides a linear motion rolling guide unit having a small and lightweight structure with a reduced height, and a long stroke in one direction (X direction) using the linear motion rolling guide unit and the other direction (Y direction). XY that can be moved with a short stroke in a short time, and is suitable for semiconductor manufacturing equipment, inspection equipment, measuring instruments, processing machines, assembling machines, etc.
It is to provide a table device.
【００１０】この発明は，長手方向両側面に沿って形成
された第１軌道溝を備えた軌道レール，前記第１軌道溝
に対向した位置に形成された第３軌道溝を備え且つ前記
軌道レールに跨架されて前記第１軌道溝と前記第３軌道
溝とで形成される第１軌道路を転走する第１転動体を介
在して前記軌道レールの長手方向に沿って摺動可能な第
１スライダ，前記第１スライダの両端面に形成された前
記第３軌道溝に交差する方向に延びる第２軌道溝，及び
前記第２軌道溝に対向した位置に形成された第４軌道溝
を備え且つ前記第１スライダに跨架されて前記第２軌道
溝と前記第４軌道溝とで形成される第２軌道路を転走す
る第２転動体を介在して前記軌道レールの長手方向に交
差する方向で前記第１スライダの幅方向に沿って摺動可
能な第２スライダ，から成る直動転がり案内ユニットに
関する。The present invention provides a track rail having a first track groove formed along both side surfaces in the longitudinal direction, a third track groove formed at a position opposed to the first track groove, and the track rail. Slidable along the longitudinal direction of the track rail via a first rolling element rolling on a first track formed by the first track groove and the third track groove so as to extend over the rail. A first slider, a second raceway groove formed on both end faces of the first slider and extending in a direction intersecting the third raceway groove, and a fourth raceway groove formed at a position facing the second raceway groove. A second rolling element, which is provided and extends on the first slider and rolls on a second track formed by the second track groove and the fourth track groove, in the longitudinal direction of the track rail. A second slider slidable in a direction intersecting along a width direction of the first slider; On the linear motion rolling guide unit consisting of.
【００１１】また，前記第１スライダと前記第２スライ
ダは，互いに直交する方向に相対移動する交差スライダ
を構成するものである。更に，この直動転がり案内ユニ
ットは，１本又は複数の前記軌道レールに１台又は複数
の前記交差スライダが跨架されているものである。The first slider and the second slider constitute a cross slider which relatively moves in a direction perpendicular to each other. Further, in this linear motion rolling guide unit, one or a plurality of the cross sliders are straddled on one or a plurality of the track rails.
【００１２】第１スライダは軌道レールに比べて長さが
十分に短く構成できるので，そのタイプの構造では，第
１スライダは軌道レールに沿って長いストロークで軌道
レール上を移動するが，第２スライダは第１スライダに
沿って短いストロークで第１スライダ上を摺動移動する
ことになる。Since the first slider can be configured to be sufficiently shorter in length than the track rail, in this type of structure, the first slider moves on the track rail with a long stroke along the track rail, while the second slider moves on the track rail. The slider will slide on the first slider in a short stroke along the first slider.
【００１３】この直動転がり案内ユニットは，前記第２
スライダの上面にはテーブル取付用のねじ穴が形成され
ているものである。また，第２スライダを取り外して使
用することもあり得るので，第１スライダの上面にもテ
ーブル等を取り付けるためのねじ穴を形成しておくこと
もできる。The linear motion rolling guide unit is provided with the second
A screw hole for table attachment is formed on the upper surface of the slider. In addition, since the second slider may be detached and used, a screw hole for attaching a table or the like may be formed on the upper surface of the first slider.
【００１４】前記第２軌道溝は，前記第１軌道溝に直交
するものであることが好ましい。前記第２軌道溝は，前
記第１軌道溝に交差するものであれば，その交差角度
は，直角に限らず，何度でもよく，用途に応じて決定す
べきものである。It is preferable that the second raceway groove is orthogonal to the first raceway groove. As long as the second raceway groove intersects with the first raceway groove, the crossing angle is not limited to a right angle but may be any number of times and should be determined according to the application.
【００１５】前記第１スライダは，前記第２軌道溝と前
記第３軌道溝が形成された第１ケーシング，前記第２軌
道溝の下方に上面が位置するように前記第１ケーシング
の両端面に配設された第１エンドキャップ，及び前記第
１エンドキャップの端面に配設された第１エンドシール
から構成されている。The first slider has a first casing in which the second raceway groove and the third raceway groove are formed, and is mounted on both end surfaces of the first casing such that an upper surface is located below the second raceway groove. It comprises a first end cap provided and a first end seal provided on an end face of the first end cap.
【００１６】前記第２スライダは，前記第４軌道溝が形
成された第２ケーシング，前記第２ケーシングの両端面
に配設された第２エンドキャップ，及び前記第２エンド
キャップの端面に配設された第２エンドシールから構成
されている。The second slider is provided with a second casing in which the fourth raceway groove is formed, second end caps disposed on both end faces of the second casing, and disposed on end faces of the second end cap. And a second end seal.
【００１７】又は，この発明は，上記の直動転がり案内
ユニットを用いたＸＹテーブル装置において，前記軌道
レールを固定したベッド，前記第２スライダの上面に固
定されたテーブル，前記第１スライダを前記軌道レール
上を前記軌道レールの長手方向に沿って摺動移動させる
第１テーブル駆動機構，及び前記第２スライダを前記第
１スライダ上で前記軌道レールの長手方向に交差する方
向で前記第１スライダの幅方向に沿って摺動移動させる
第２テーブル駆動機構から成ることを特徴とするＸＹテ
ーブル装置に関する。According to the present invention, there is provided an XY table device using the above-mentioned linear motion rolling guide unit, wherein the bed to which the track rail is fixed, the table fixed to the upper surface of the second slider, and the first slider are provided. A first table driving mechanism for slidingly moving on the track rail along the longitudinal direction of the track rail, and the first slider in a direction intersecting the longitudinal direction of the track rail on the first slider; The present invention relates to an XY table device comprising a second table driving mechanism that slides and moves along the width direction of the XY table.
【００１８】このＸＹテーブル装置において，前記軌道
レールは，前記ベッド上に長手方向を互いに平行に延び
るように一対設置され，前記第１スライダは前記軌道レ
ールにそれぞれ摺動可能に設置され，前記第２スライダ
は前記第１スライダ上にそれぞれ摺動可能に設置され，
前記テーブルは前記第２スライダに対して固定されてい
る。In the XY table device, a pair of the track rails are installed on the bed so as to extend in a longitudinal direction parallel to each other, and the first sliders are respectively slidably mounted on the track rails. The two sliders are slidably mounted on the first slider, respectively.
The table is fixed to the second slider.
【００１９】このＸＹテーブル装置において，前記第１
テーブル駆動機構は，前記ベッドに回転可能に支持され
且つ前記軌道レールに平行に設けられたＸ軸ボールね
じ，前記Ｘ軸ボールねじが螺合する第１Ｘ軸取付部材，
前記第１Ｘ軸取付部材に摺動可能に取り付けられ且つ前
記テーブルに固定された第２Ｘ軸取付部材，及び前記ベ
ッドに固定され且つ前記Ｘ軸ボールねじを回転させるＸ
軸駆動モータから構成されている。従って，前記テーブ
ルは，前記第１テーブル駆動機構の前記Ｘ軸駆動モータ
を駆動することによって，前記軌道レールに沿ってＸ方
向に長いストロークで移動できるように構成できる。In this XY table device, the first
An X-axis ball screw rotatably supported by the bed and provided in parallel with the track rail; a first X-axis mounting member with which the X-axis ball screw is screwed;
A second X-axis mounting member slidably mounted on the first X-axis mounting member and fixed to the table; and a X fixed to the bed and rotating the X-axis ball screw.
It consists of a shaft drive motor. Accordingly, the table can be configured to be able to move along the track rail with a long stroke in the X direction by driving the X-axis drive motor of the first table drive mechanism.
【００２０】このＸＹテーブル装置において，前記第２
テーブル駆動機構は，前記テーブルに固定された第１Ｙ
軸取付部材，前記第１Ｙ軸取付部材に螺合するＹ軸ボー
ルねじ，前記軌道レールに摺動可能に配設された駆動用
スライダ，前記駆動用スライダに設けられ且つ前記Ｙ軸
ボールねじを回転自在に支持する第２Ｙ軸取付部材，及
び前記第２Ｙ軸取付部材に固定され且つ前記Ｙ軸ボール
ねじを回転させるＹ軸駆動モータから構成されている。
従って，前記テーブルは，前記第２テーブル駆動機構の
前記Ｙ軸駆動モータを駆動することによって，前記軌道
レールに交差するＹ方向に短いストロークで移動できる
ように構成できる。In the XY table device, the second
The table driving mechanism includes a first Y fixed to the table.
A shaft mounting member, a Y-axis ball screw threadedly engaged with the first Y-axis mounting member, a driving slider slidably mounted on the track rail, and provided on the driving slider and rotating the Y-axis ball screw. It comprises a second Y-axis mounting member that freely supports, and a Y-axis drive motor that is fixed to the second Y-axis mounting member and rotates the Y-axis ball screw.
Therefore, the table can be configured to be able to move in a short stroke in the Y direction crossing the track rail by driving the Y-axis drive motor of the second table drive mechanism.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下，図面を参照して，この発明
による直動転がり案内ユニットの実施例を説明する。図
１はこの発明による直動転がり案内ユニットの一実施例
を示す斜視図，図２は図１に示す直動転がり案内ユニッ
トの正面図，及び図３は図１に示す直動転がり案内ユニ
ットの側面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a linear motion rolling guide unit according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a linear motion rolling guide unit according to the present invention, FIG. 2 is a front view of the linear motion rolling guide unit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a view of the linear motion rolling guide unit shown in FIG. It is a side view.
【００２２】この発明による直動転がり案内ユニット１
は，長手方向両側面２Ｓに沿って形成された第１軌道溝
２を備えた軌道レール３，軌道レール３に跨架して軌道
レール３の長手方向に沿って摺動可能な第１スライダ
５，及び第１スライダ５に跨架して軌道レールの長手方
向に交差する方向で前記第１スライダの幅方向に沿って
摺動可能な第２スライダ６から構成されている。第１ス
ライダ５は，第１軌道溝２に対向した位置に形成された
第３軌道溝（図示せず）を備え，軌道レール３の第１軌
道溝２と第３軌道溝とで形成される第１軌道路を転走す
る第１転動体を介在して軌道レール３上を相対摺動移動
する。第２スライダ６は，第１スライダ５の両端面４Ｓ
に形成された第２軌道溝４に対向した位置に形成された
第４軌道溝（図示せず）を有し，第１スライダ５の第２
軌道溝４と第４軌道溝とで形成される第２軌道路を転走
する第２転動体を介在して軌道レール３の長手方向に交
差する方向で第１スライダ５の幅方向に沿って相対摺動
移動する。この直動転がり案内ユニットでは，第１スラ
イダ５と第１スライダ５に跨架された第２スライダ６と
で直交スライダ即ち交差スライダ７が構成されている。Linear motion rolling guide unit 1 according to the present invention
A first slider 5 slidable along the longitudinal direction of the track rail 3 over the track rail 3 provided with the first track grooves 2 formed along both side surfaces 2S in the longitudinal direction. , And a second slider 6 slidable along the width direction of the first slider 5 in a direction crossing the longitudinal direction of the track rail while straddling the first slider 5. The first slider 5 has a third track groove (not shown) formed at a position facing the first track groove 2, and is formed by the first track groove 2 and the third track groove of the track rail 3. It relatively slides on the track rail 3 with the first rolling element rolling on the first track path. The second slider 6 is provided at both end surfaces 4S of the first slider 5.
A fourth raceway groove (not shown) formed at a position facing the second raceway groove 4 formed on the first slider 5;
Along the width direction of the first slider 5 in a direction intersecting the longitudinal direction of the track rail 3 with a second rolling element rolling on a second track path formed by the track groove 4 and the fourth track groove interposed therebetween. Relative sliding movement. In this linear motion rolling guide unit, a first slider 5 and a second slider 6 straddling the first slider 5 constitute an orthogonal slider, that is, an intersecting slider 7.
【００２３】軌道レール３は，ボルトを挿通する取付孔
８を有しており，取付孔８を挿通するボルトによってベ
ッド２２に固定されている。第１スライダ５は，軌道レ
ール３に跨架され，転動体（図９の符号４２参照）を介
して軌道レール３上を長手方向に相対摺動することがで
きる。第１スライダ５は，軌道レール３の両側面２Ｓに
沿って垂下した袖部を有しているケーシング９，ケーシ
ング９の長手方向両端面に当接して取り付けられたエン
ドキャップ１０，及び軌道レール３とエンドキャップ１
０との間の隙間をシールするためエンドキャップ１０の
端面に配置されたエンドシール１１から構成されてい
る。ケーシング９の袖部に第３軌道溝が形成されてい
る。この直動転がり案内ユニットは，図示していない
が，下面シールをケーシング９とエンドキャップ１０と
の下面に配置し，軌道レール３と第１スライダ５との間
の隙間すシールするように構成することができる。ケー
シング９には，軌道レール３の第１軌道溝２に対向して
形成された第３軌道溝（図９の符号４８参照）と，転動
体の復帰路であるリターン孔（図９の符号５０参照）と
が形成されている。また，エンドキャップ１０には，軌
道溝とリターン孔とを連通する方向転換路（図示せず）
が形成されている。直動転がり案内ユニット１では，第
１軌道溝２と第３軌道溝とで形成される軌道路，リター
ン孔及び方向転換路によって無限循環路が形成され，該
無限循環路を転動体が転走して無限循環する。また，エ
ンドシール１１には，無限循環路に潤滑剤を供給するた
め，グリースニップル１２が取り付けられている。The track rail 3 has a mounting hole 8 for inserting a bolt, and is fixed to the bed 22 by a bolt for inserting the mounting hole 8. The first slider 5 is laid on the track rail 3 and can relatively slide in the longitudinal direction on the track rail 3 via rolling elements (see reference numeral 42 in FIG. 9). The first slider 5 includes a casing 9 having a sleeve portion hanging down along both side surfaces 2S of the track rail 3, an end cap 10 attached to both ends of the casing 9 in the longitudinal direction, and the track rail 3. And end cap 1
An end seal 11 is disposed on an end face of the end cap 10 to seal a gap between the end cap 11 and the end cap 11. A third raceway groove is formed in the sleeve of the casing 9. Although not shown, this linear motion rolling guide unit has a lower surface seal disposed on the lower surface of the casing 9 and the end cap 10 so as to seal a gap between the track rail 3 and the first slider 5. be able to. The casing 9 has a third raceway groove (see reference numeral 48 in FIG. 9) formed opposite to the first raceway groove 2 of the raceway rail 3, and a return hole (reference numeral 50 in FIG. 9) serving as a return path for the rolling elements. Reference) is formed. A direction change path (not shown) for connecting the raceway groove and the return hole to the end cap 10.
Are formed. In the linear motion rolling guide unit 1, an endless circulation path is formed by the orbital path, the return hole, and the direction change path formed by the first orbital groove 2 and the third orbital groove, and the rolling element rolls on the infinite circulation path. And infinite circulation. A grease nipple 12 is attached to the end seal 11 to supply a lubricant to the endless circulation path.
【００２４】図９に示す従来の直動転がり案内ユニット
では，ケーシング４４はエンドキャップ４５とほぼ同じ
高さに形成されていたが，直動転がり案内ユニット１で
は，第１スライダ５のケーシング９は，エンドキャップ
１０の上面よりも延び出す形状に高く形成されている。
エンドキャップ１０の上面よりも高く形成された突出部
１３には第２軌道溝４が形成されており，突出部１３は
転動体が転走する軌道部としての機能を果たす。即ち，
第２軌道溝４は，ケーシング９の突出部１３における両
端面，即ち第１スライダ５の摺動方向の前後面に，第１
軌道溝２と直交するように形成されている。また，第１
スライダ５の上面には，テーブル等を取り付けるための
ねじ穴１４が形成されている。ねじ穴１４は，直動転が
り案内ユニット１の第２スライダ６を取り外して使用す
る場合に他の取付体を取り付けるために使用される。In the conventional linear motion rolling guide unit shown in FIG. 9, the casing 44 is formed at substantially the same height as the end cap 45. However, in the linear motion rolling guide unit 1, the casing 9 of the first slider 5 is formed. , Is formed higher than the upper surface of the end cap 10.
The second raceway groove 4 is formed in the protrusion 13 formed higher than the upper surface of the end cap 10, and the protrusion 13 functions as a raceway on which the rolling elements roll. That is,
The second raceway grooves 4 are formed on both end surfaces of the projecting portion 13 of the casing 9, that is, on the front and rear surfaces of the first slider 5 in the sliding direction.
It is formed so as to be orthogonal to the raceway groove 2. In addition, the first
On the upper surface of the slider 5, a screw hole 14 for mounting a table or the like is formed. The screw hole 14 is used for attaching another attachment when the second slider 6 of the linear motion rolling guide unit 1 is detached and used.
【００２５】第２スライダ６は，第１スライダ５に跨架
され，第２軌道溝４に沿って第１スライダ５上を摺動す
ることができる。第２スライダ６も第１スライダ５と同
様の構成を備えている。即ち，第２スライダ６は，軌道
レール３の上方で且つ第１ケーシング５の両端面４Ｓに
沿って垂下した袖部を有しているケーシング１５，ケー
シング１５の長手方向両側面に当接して取り付けられた
エンドキャップ１６，及び第１スライダ５とエンドキャ
ップ１６との間の隙間をシールするためエンドキャップ
１６の端面に配置されたエンドシール１７から構成され
ている。ケーシング１５の袖部に第４軌道溝が形成され
ている。この直動転がり案内ユニットは，図示していな
いが，下面シールをケーシング１５とエンドキャップ１
６との下面に配置し，第１スライダ５と第２スライダ６
との間の隙間すシールするように構成することができ
る。ケーシング１５には，第１スライダ５の第２軌道溝
４に対向して形成された第４軌道溝（図示せず）と，転
動体（図示せず）の復帰路であるリターン孔（図示せ
ず）とが形成されている。また，エンドキャップ１６に
は，第４軌道溝とリターン孔とを連通する方向転換路
（図示せず）が形成されている。直動転がり案内ユニッ
ト１では，第２軌道溝４と第４軌道溝とで形成される軌
道路，リターン孔及び方向転換路によって無限循環路が
形成され，該無限循環路を転動体が転走して無限循環す
る。また，エンドシール１７には，無限循環路に潤滑剤
を供給するため，グリースニップル１８が取り付けられ
ている。The second slider 6 is laid on the first slider 5 and can slide on the first slider 5 along the second track groove 4. The second slider 6 has the same configuration as the first slider 5. That is, the second slider 6 is attached to the casing 15 having the sleeves hanging above the track rail 3 and along the both end faces 4S of the first casing 5, and abutting on both longitudinal side faces of the casing 15. And an end seal 17 disposed on an end face of the end cap 16 to seal a gap between the first slider 5 and the end cap 16. A fourth raceway groove is formed in the sleeve of the casing 15. Although not shown, the linear motion rolling guide unit includes a lower surface seal formed by the casing 15 and the end cap 1.
6, a first slider 5 and a second slider 6
Can be configured to seal. The casing 15 has a fourth raceway groove (not shown) formed facing the second raceway groove 4 of the first slider 5 and a return hole (not shown) serving as a return path for a rolling element (not shown). ) Are formed. The end cap 16 is formed with a direction change path (not shown) that connects the fourth raceway groove and the return hole. In the linear motion rolling guide unit 1, an endless circulation path is formed by the orbital path formed by the second raceway groove 4 and the fourth raceway groove, the return hole, and the direction change path, and the rolling element rolls on the infinite circulation path. And infinite circulation. Further, a grease nipple 18 is attached to the end seal 17 in order to supply a lubricant to the endless circulation path.
【００２６】第２スライダ６のケーシング１５の上面
は，エンドキャップ１６の上面とほぼ面一になるように
形成され，ケーシング１５の上面には，テーブル等を取
り付けるための４個のねじ穴１９が形成されている。The upper surface of the casing 15 of the second slider 6 is formed so as to be substantially flush with the upper surface of the end cap 16, and four screw holes 19 for mounting a table or the like are formed on the upper surface of the casing 15. Is formed.
【００２７】第１スライダ５は無限循環する転動体を介
して軌道レール３上を相対摺動するものであり，第２ス
ライダ６は無限循環する転動体を介して第１スライダ５
上を相対摺動するものである。図示の実施例では，第１
スライダ５は軌道レール３に沿って長いストロークで軌
道レール３上を移動するが，第１スライダ５は軌道レー
ル３に比べて長さが十分に短いので，第２スライダ６は
第１スライダ５に沿って短いストロークで第１スライダ
５上を移動することになる。The first slider 5 relatively slides on the track rail 3 through rolling elements that circulate infinitely, and the second slider 6 moves through the rolling elements that circulate infinitely.
The upper part slides relatively. In the illustrated embodiment, the first
The slider 5 moves on the track rail 3 along the track rail 3 with a long stroke, but since the first slider 5 is sufficiently shorter than the track rail 3, the second slider 6 is attached to the first slider 5. Along the shortest stroke along the first slider 5.
【００２８】次に，直動転がり案内ユニット１が組み込
まれたＸＹテーブル装置２０について説明する。図４は
この発明によるＸＹテーブル装置の斜視図，図５は図４
に示すＸＹテーブル装置におけるテーブル駆動機構を示
す斜視図，図６は図４のＸＹテーブル装置の平面図，図
７は図６の側面図，及び図８は図６のＡ−Ａ断面を示す
断面図である。Next, the XY table device 20 incorporating the linear motion rolling guide unit 1 will be described. FIG. 4 is a perspective view of an XY table device according to the present invention, and FIG.
6, FIG. 6 is a plan view of the XY table device of FIG. 4, FIG. 7 is a side view of FIG. 6, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. FIG.
【００２９】この発明によるＸＹテーブル装置２０の実
施例は，例えば，ベッド２２に直動転がり案内ユニット
１が設定されたものであり，ベッド２２は，板状で長手
方向の両端に固定されたエンドプレート２３を有してい
る。各エンドプレート２３には，ベアリング２４が取り
付けられおり，両エンドプレート２３間にＸ軸ボールね
じ２５が回転可能で且つ軸方向に移動しないように支持
されている。ベッド２２の上面には２本の軌道レール３
が互いに平行に固定されている。また，２本の軌道レー
ル３はＸ軸ボールねじ２５に対して対称に配置されてい
る。In the embodiment of the XY table device 20 according to the present invention, for example, a linear motion rolling guide unit 1 is set on a bed 22. The bed 22 is a plate-like end fixed to both ends in the longitudinal direction. It has a plate 23. A bearing 24 is attached to each end plate 23, and an X-axis ball screw 25 is supported between both end plates 23 so as to be rotatable and not to move in the axial direction. Two track rails 3 on the upper surface of the bed 22
Are fixed parallel to each other. Further, the two track rails 3 are arranged symmetrically with respect to the X-axis ball screw 25.
【００３０】ＸＹテーブル装置２０には，２台の直動転
がり案内ユニット１が使用されている。ＸＹテーブル装
置２０は，２本の軌道レール３と４台の交差スライダ７
とから構成されている。即ち，ＸＹテーブル装置２０
は，軌道レール３を固定したベッド２２，第２スライダ
６の上面に固定されたテーブル２６，第１スライダ５を
軌道レール３上を軌道レール３の長手方向に沿って摺動
移動させる第１テーブル駆動機構２１，及び第２スライ
ダ６を第１スライダ５上で軌道レール１の長手方向に交
差する方向で第１スライダ５の幅方向に沿って摺動移動
させる第２テーブル駆動機構２１Ａから構成されてい
る。The XY table device 20 uses two linear motion rolling guide units 1. The XY table device 20 includes two track rails 3 and four cross sliders 7.
It is composed of That is, the XY table device 20
Is a table 22 on which the track rail 3 is fixed, a table 26 fixed on the upper surface of the second slider 6, and a first table for slidingly moving the first slider 5 on the track rail 3 along the longitudinal direction of the track rail 3. A drive mechanism 21 and a second table drive mechanism 21A that slides the second slider 6 on the first slider 5 along the width direction of the first slider 5 in a direction intersecting the longitudinal direction of the track rail 1. ing.
【００３１】また，ＸＹテーブル装置２０において，軌
道レール３は，ベッド２２上に長手方向を互いに平行に
延びるように一対設置され，第１スライダ５は軌道レー
ル３にそれぞれ摺動可能に設置され，第２スライダ６は
第１スライダ５上にそれぞれ摺動可能に設置され，テー
ブル２６は第２スライダ６に対して固定されている。第
２スライダ６の上面には，テーブル取付用の４個のねじ
穴１９が形成されている。板状のテーブル２６には，ね
じ穴１９に対応して４個で１組の取付孔３７が四隅に形
成されているので，テーブル２６は取付孔３７とねじ穴
１９にボルトをねじ込むことによって直動転がり案内ユ
ニット１に固定される。テーブル２６は，４個の交差ス
ライダ７によって支持される。テーブル２６のＸ方向の
移動は，第１スライダ５が軌道レール３に沿って摺動移
動することによって行われ，テーブル２６のＹ方向の移
動は，第２スライダ６が第１スライダ５の第２軌道溝４
に沿って摺動移動することによって行われる。In the XY table device 20, a pair of track rails 3 are installed on the bed 22 so as to extend in the longitudinal direction in parallel with each other, and the first sliders 5 are respectively slidably mounted on the track rails 3. The second slider 6 is slidably mounted on the first slider 5, and the table 26 is fixed to the second slider 6. On the upper surface of the second slider 6, four screw holes 19 for mounting the table are formed. The plate-shaped table 26 has a set of four mounting holes 37 at four corners corresponding to the screw holes 19, so that the table 26 can be directly mounted by screwing bolts into the mounting holes 37 and the screw holes 19. The rolling guide unit 1 is fixed. The table 26 is supported by four cross sliders 7. The movement of the table 26 in the X direction is performed by sliding the first slider 5 along the track rail 3, and the movement of the table 26 in the Y direction is performed by the second slider 6 Track groove 4
Is performed by sliding along.
【００３２】図５，図６及び図８に示すように，テーブ
ル２６の下面には，テーブル駆動機構２１が組み込まれ
ている。第１テーブル駆動機構のテーブル駆動機構２１
は，ベッド２２に回転可能に支持され且つ軌道レール３
に平行に設けられたＸ軸ボールねじ２５，Ｘ軸ボールね
じ２５に螺合するＸ軸ナット２７を備えた第１Ｘ軸取付
部材２８，第１Ｘ軸取付部材２８の上部の両側面に形成
された一対の軌道溝２９に沿って摺動可能に取り付けら
れ且つ前記テーブルに固定された第２Ｘ軸取付部材３
０，及びベッド２２のエンドプレート２３に固定され且
つＸ軸ボールねじ２５を回転させるＸ軸駆動モータ３５
から構成されている。As shown in FIGS. 5, 6, and 8, a table driving mechanism 21 is incorporated on the lower surface of the table 26. Table drive mechanism 21 of first table drive mechanism
Are rotatably supported by the bed 22 and have the track rail 3
An X-axis ball screw 25 provided in parallel to the first, a first X-axis mounting member 28 having an X-axis nut 27 screwed to the X-axis ball screw 25, and formed on both side surfaces of the upper portion of the first X-axis mounting member 28. Second X-axis mounting member 3 slidably mounted along a pair of track grooves 29 and fixed to the table
0, and an X-axis drive motor 35 fixed to the end plate 23 of the bed 22 and rotating the X-axis ball screw 25
It is composed of
【００３３】第２テーブル駆動機構のテーブル駆動機構
２１Ａは，テーブル２６に固定された第１Ｙ軸取付部材
３２，第１Ｙ軸取付部材３２のＹ軸ナット３１に螺合す
るＹ軸ボールねじ３３，軌道レール３に摺動可能に配設
された駆動用スライダ４０，駆動用スライダ４０に設け
られ且つＹ軸ボールねじ３３を回転自在に支持する第２
Ｙ軸取付部材４１，及び第２Ｙ軸取付部材４１に固定さ
れ且つＹ軸ボールねじ３３を回転させるＹ軸駆動モータ
３６から構成されている。ＸＹテーブル装置２０は，Ｘ
軸ボールねじ２５とＹ軸ボールねじ３３とは交差（図で
は直交）する方向に延びている。The table driving mechanism 21A of the second table driving mechanism includes a first Y-axis mounting member 32 fixed to the table 26, a Y-axis ball screw 33 screwed to the Y-axis nut 31 of the first Y-axis mounting member 32, and a track. A driving slider 40 slidably disposed on the rail 3, a second slider provided on the driving slider 40 and rotatably supporting the Y-axis ball screw 33.
It comprises a Y-axis mounting member 41 and a Y-axis drive motor 36 fixed to the second Y-axis mounting member 41 and rotating the Y-axis ball screw 33. The XY table device 20
The shaft ball screw 25 and the Y-axis ball screw 33 extend in a direction intersecting (orthogonal in the figure).
【００３４】第２Ｘ軸取付部材３０の上面には，テーブ
ル２６を取り付けるためのねじ穴３４（図５では４個）
が形成されている。同様に，第１Ｙ軸取付部材３２の上
面には，テーブル２６を取り付けるためのねじ穴（図示
せず）が形成されている。テーブル２６には，第２Ｘ軸
取付部材３０を取り付けるための取付孔３８（図４，図
６では４個）が形成されると共に，第１Ｙ軸取付部材３
２を取り付けるための取付孔３８Ａ（図４，図６では２
個）が形成されている。テーブル駆動機構２１は，ねじ
穴３４と取付孔３８とにボルトをねじ込んでテーブル２
６の中央部下面に固定される。同様に，テーブル駆動機
構２１Ａは，ねじ穴と取付孔３８Ａとにボルトをねじ込
んでテーブル２６の下面に固定される。第２Ｘ軸取付部
材３０と第１Ｙ軸取付部材３２は，テーブル２６にそれ
ぞれ隔置した位置に独立してそれぞれ設けられているの
で，テーブル２６のベッド２２に対する高さを低く抑え
ることができる。また，テーブル２６の中央部に形成さ
れた４個の取付孔３９は，テーブル２６の上に各種装置
を固定する際に使用されるものである。On the upper surface of the second X-axis mounting member 30, screw holes 34 (four in FIG. 5) for mounting the table 26 are provided.
Are formed. Similarly, a screw hole (not shown) for mounting the table 26 is formed on the upper surface of the first Y-axis mounting member 32. In the table 26, mounting holes 38 (four in FIGS. 4 and 6) for mounting the second X-axis mounting member 30 are formed.
2 and a mounting hole 38A (FIG. 4 and FIG.
) Are formed. The table driving mechanism 21 screws a bolt into the screw hole 34 and the mounting hole 38 to
6 is fixed to the lower surface of the central part. Similarly, the table driving mechanism 21A is fixed to the lower surface of the table 26 by screwing bolts into the screw holes and the mounting holes 38A. Since the second X-axis mounting member 30 and the first Y-axis mounting member 32 are independently provided at positions separated from each other on the table 26, the height of the table 26 with respect to the bed 22 can be kept low. The four mounting holes 39 formed at the center of the table 26 are used when fixing various devices on the table 26.
【００３５】Ｘ軸ボールねじ２５は，ベッド２２の両端
のエンドプレート２３に設けられたベアリング２４によ
って回転可能で且つ軸方向に移動しないように支持され
ている。エンドプレート２３にはＸ軸駆動モータ３５が
取り付けられ，Ｘ軸駆動モータ３５の駆動軸（図示せ
ず）はカップリング（図示せず）を介してＸ軸ボールね
じ２５の端部に連結されている。Ｙ軸ボールねじ３３
は，第２Ｙ軸取付部材４１に固定されたＹ軸駆動モータ
３６の駆動軸（図示せず）にカップリング（図示せず）
を介して連結されている。The X-axis ball screw 25 is supported by bearings 24 provided on end plates 23 at both ends of the bed 22 so as to be rotatable and not to move in the axial direction. An X-axis drive motor 35 is attached to the end plate 23, and a drive shaft (not shown) of the X-axis drive motor 35 is connected to an end of the X-axis ball screw 25 via a coupling (not shown). I have. Y-axis ball screw 33
Is coupled to a drive shaft (not shown) of the Y-axis drive motor 36 fixed to the second Y-axis mounting member 41 (not shown).
Are connected via
【００３６】ＸＹテーブル装置２０は，上記のように構
成されているので，次のように作動する。テーブル２６
のＸ方向への移動について説明する。Ｘ軸駆動モータ３
５を駆動させると，Ｘ軸ボールねじ２５はＸ方向に移動
することなく，その場で回転し，Ｘ軸ボールねじ２５に
螺合しているＸ軸ナット２７を設けた第１Ｘ軸取付部材
２８がＸ方向に移動する。即ち，Ｘ軸ボールねじ２５の
回転に伴って，Ｘ軸ナット２７を設けた第１Ｘ軸取付部
材２８にはＸ軸ボールねじ２５と一緒に回転しようとす
る力が働くが，第１Ｘ軸取付部材２８はテーブル２６が
２本の軌道レール３上に４つの交差スライダ７によって
支持されているため，Ｘ軸ナット２７を設けた第１Ｘ軸
取付部材２８は回転せず，螺合しているＸ軸ボールねじ
２５上をＸ方向に移動することになる。従って，Ｘ軸ナ
ット２７を設けた第１Ｘ軸取付部材２８のＸ方向への移
動に伴って，テーブル２６も軌道レール３上の長手方向
に沿ってＸ方向にスムースに移動することができる。Since the XY table device 20 is configured as described above, it operates as follows. Table 26
Will be described in the X direction. X-axis drive motor 3
When the X-axis ball screw 25 is driven, the X-axis ball screw 25 rotates in place without moving in the X direction, and the first X-axis mounting member 28 provided with the X-axis nut 27 screwed to the X-axis ball screw 25. Moves in the X direction. In other words, with the rotation of the X-axis ball screw 25, a force to rotate together with the X-axis ball screw 25 acts on the first X-axis mounting member 28 provided with the X-axis nut 27. The first X-axis mounting member 28 provided with the X-axis nut 27 does not rotate and the screwed X-axis 28 is used because the table 26 is supported by the four crossing sliders 7 on the two track rails 3. It moves on the ball screw 25 in the X direction. Accordingly, as the first X-axis mounting member 28 provided with the X-axis nut 27 moves in the X direction, the table 26 can also move smoothly in the X direction along the longitudinal direction on the track rail 3.
【００３７】Ｙ軸駆動モータ３６は第２Ｙ軸取付部材４
１の端部に固定され，更に，第２Ｙ軸取付部材４１は軌
道レール３に摺動可能に配設された駆動用スライダ４０
に固定され，一方，Ｙ軸ボールねじ３３は第１Ｙ軸取付
部材３２に設けたＹ軸ナット３１に螺合されているの
で，Ｙ軸駆動モータ３６が回転すると，Ｙ軸ボールねじ
３３が回転し，それに伴ってＹ軸ナット３１を設けた第
１Ｙ軸取付部材３２はＹ軸ボールねじ３３を移動する。
第１Ｙ軸取付部材３２のＹ軸ボールねじ３３上の移動
は，第１Ｙ軸取付部材３２に固定されたテーブル２６を
Ｙ方向，即ち軌道レール３と直交する方向に移動させ
る。Ｙ軸ボールねじ３３は，Ｘ軸ボールねじ２５に比較
して長さが十分に短いので，テーブル２６は，Ｘ軸方向
には軌道レール３に沿って長いストロークで移動し，軌
道レール３に直交するＹ方向には短いストロークで移動
する。The Y-axis drive motor 36 is connected to the second Y-axis mounting member 4
And a second Y-axis mounting member 41 is slidably disposed on the track rail 3.
On the other hand, since the Y-axis ball screw 33 is screwed to the Y-axis nut 31 provided on the first Y-axis mounting member 32, when the Y-axis drive motor 36 rotates, the Y-axis ball screw 33 rotates. Accordingly, the first Y-axis mounting member 32 provided with the Y-axis nut 31 moves the Y-axis ball screw 33.
The movement of the first Y-axis mounting member 32 on the Y-axis ball screw 33 moves the table 26 fixed to the first Y-axis mounting member 32 in the Y direction, that is, the direction orthogonal to the track rail 3. Since the Y-axis ball screw 33 is sufficiently shorter in length than the X-axis ball screw 25, the table 26 moves with a long stroke along the track rail 3 in the X-axis direction and is orthogonal to the track rail 3. Move in a short stroke in the Y direction.
【００３８】ＸＹテーブル装置２０は，２本の軌道レー
ル３を平行に配置し，テーブル固定用の第２スライダ６
の上面にテーブル２６を取り付けたものであるから，一
対の軌道レール３の平行度の誤差を，テーブル固定用の
第２スライダ６のＹ方向の移動によって吸収することが
でき，これにより，高精度の摺動性能を維持することが
できる。また，Ｘ軸駆動モータ３５及びＹ軸駆動モータ
３６としては，ステッピングモータ，ＤＣサーボモー
タ，ＡＣサーボモータ等を用いることができる。また，
ＸＹテーブル装置２０には，位置検知装置（図示せず）
が装備されており，位置決め制御をなす位置決めテーブ
ル装置が構成されている。The XY table device 20 has two track rails 3 arranged in parallel and a second slider 6 for fixing the table.
Since the table 26 is mounted on the upper surface of the table, the parallelism error between the pair of track rails 3 can be absorbed by the movement of the second slider 6 for fixing the table in the Y direction. Slidability can be maintained. Further, as the X-axis drive motor 35 and the Y-axis drive motor 36, a stepping motor, a DC servo motor, an AC servo motor, or the like can be used. Also,
The XY table device 20 has a position detection device (not shown)
And a positioning table device for performing positioning control is configured.
【００３９】[0039]
【発明の効果】この発明による直動転がり案内ユニット
及びＸＹテーブル装置は，上記のように構成されている
ので，第１スライダと第２スライダとが互いに独立して
相対摺動可能であり，第１スライダが軌道レール上を軌
道レールに沿って移動し，長いストロークでＸ方向に移
動することができるが，第２スライダが第１スライダ上
を移動し，短いストロークでＹ方向に移動することがで
きる。従って，この直動転がり案内ユニット及びＸＹテ
ーブル装置は，一方向に長いストロークで且つ他方向に
短いストロークで移動するような用途に適している。Since the linear motion rolling guide unit and the XY table device according to the present invention are constructed as described above, the first slider and the second slider can relatively slide independently of each other. While one slider moves along the track rail along the track rail and can move in the X direction with a long stroke, the second slider moves on the first slider and moves in the Y direction with a short stroke. it can. Therefore, the linear motion rolling guide unit and the XY table device are suitable for an application in which a long stroke in one direction and a short stroke in the other direction are used.
【００４０】第１スライダは無限循環する転動体を介し
て軌道レール上をＸ方向に摺動し，第２スライダは無限
循環する転動体を介して第１スライダ上をＹ方向に摺動
することができるので，両スライダは高精度で滑らかに
摺動することができ，テーブル移動の高速化を図ること
ができる。また，第１スライダは，軌道レール上を移動
するスライダとしての機能を果たすと同時に，第２スラ
イダのための軌道レールとしての機能を果たすので，一
つの部品で二つの機能を果たすことができ，部品点数を
削減することができる。The first slider slides on the track rail in the X direction via rolling elements that circulate infinitely, and the second slider slides on the first slider in the Y direction via rolling elements that circulate infinitely. Therefore, both sliders can slide smoothly with high precision, and the speed of table movement can be increased. In addition, since the first slider functions as a slider that moves on the track rail and at the same time functions as a track rail for the second slider, one component can perform two functions. The number of parts can be reduced.
【００４１】更に，この発明による直動転がり案内ユニ
ットは，軌道レール上を摺動する第１スライダと，第１
スライダ上を摺動する第２スライダとのそれぞれに，転
動体が無限循環するための無限軌道路を一つずつ形成す
ればよいので，一つのスライダに二つの無限軌道路を形
成していた従来のものに比べて，比較的簡単に低コスト
で製作することができる。また，この発明によるＸＹテ
ーブル装置は，第１スライダに軌道レールの機能を持た
せた直動転がり案内ユニットを使用しているので，従来
のＸＹテーブル装置に比較して，装置全体の高さを低く
抑えることができ，軽量化と小型化を図ることができ
る。Further, the linear motion rolling guide unit according to the present invention comprises a first slider sliding on a track rail and a first slider.
Conventionally, two endless track paths are formed on one slider because one endless track path for endless circulation of rolling elements may be formed for each of the second slider that slides on the slider. Can be manufactured relatively easily and at low cost. Further, the XY table device according to the present invention uses a linear motion rolling guide unit in which the first slider has the function of a track rail, so that the overall height of the device is smaller than that of the conventional XY table device. The weight can be kept low and the weight and size can be reduced.
【図１】この発明による直動転がり案内ユニットの一実
施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of a linear motion rolling guide unit according to the present invention.
【図２】図１に示す直動転がり案内ユニットの正面図で
ある。FIG. 2 is a front view of the linear motion rolling guide unit shown in FIG.
【図３】図１に示す直動転がり案内ユニットの側面図で
ある。FIG. 3 is a side view of the linear motion rolling guide unit shown in FIG. 1;
【図４】図１の直動転がり案内ユニットを用いたＸＹテ
ーブル装置の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of an XY table device using the linear motion rolling guide unit of FIG. 1;
【図５】図４のＸＹテーブル装置におけるテーブル駆動
機構を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a table driving mechanism in the XY table device of FIG. 4;
【図６】図４のＸＹテーブル装置の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the XY table device of FIG. 4;
【図７】図６の側面図である。FIG. 7 is a side view of FIG. 6;
【図８】図６のＡ−Ａ断面を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing an AA section of FIG. 6;
【図９】従来の直動転がり案内ユニットを示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing a conventional linear motion rolling guide unit.
【図１０】従来のＸＹテーブル装置を示す斜視図であ
る。FIG. 10 is a perspective view showing a conventional XY table device.
１ 直動転がり案内ユニット ２ 第１軌道溝 ３ 軌道レール ４ 第２軌道溝 ５ 第１スライダ ６ 第２スライダ ７ 交差スライダ ９，１５ ケーシング １０，１６ エンドキャップ １１，１７ エンドシール ２０ ＸＹテーブル装置 ２１，２１Ａ テーブル駆動機構 ２２ ベッド ２５ Ｘ軸ボールねじ ２６ テーブル ２８ 第１Ｘ軸取付部材 ３０ 第２Ｘ軸取付部材 ３２ 第１Ｙ軸取付部材 ３３ Ｙ軸ボールねじ ３５ Ｘ軸駆動モータ ３６ Ｙ軸駆動モータ ４０ 駆動用スライダ ４１ 第２Ｙ軸取付部材 Reference Signs List 1 linear motion rolling guide unit 2 first track groove 3 track rail 4 second track groove 5 first slider 6 second slider 7 cross slider 9, 15 casing 10, 16 end cap 11, 17 end seal 20, XY table device 21, 21A Table drive mechanism 22 Bed 25 X-axis ball screw 26 Table 28 First X-axis mounting member 30 Second X-axis mounting member 32 First Y-axis mounting member 33 Y-axis ball screw 35 X-axis driving motor 36 Y-axis driving motor 40 Driving slider 41 2nd Y-axis mounting member
Claims (10)
軌道溝を備えた軌道レール，前記第１軌道溝に対向した
位置に形成された第３軌道溝を備え且つ前記軌道レール
に跨架されて前記第１軌道溝と前記第３軌道溝とで形成
される第１軌道路を転走する第１転動体を介在して前記
軌道レールの長手方向に沿って摺動可能な第１スライ
ダ，前記第１スライダの両端面に形成された前記第３軌
道溝に交差する方向に延びる第２軌道溝，及び前記第２
軌道溝に対向した位置に形成された第４軌道溝を備え且
つ前記第１スライダに跨架されて前記第２軌道溝と前記
第４軌道溝とで形成される第２軌道路を転走する第２転
動体を介在して前記軌道レールの長手方向に交差する方
向で前記第１スライダの幅方向に沿って摺動可能な第２
スライダ，から成る直動転がり案内ユニット。1. A first device formed along both longitudinal side surfaces.
A track rail having a track groove, a third track groove formed at a position facing the first track groove, and formed by the first track groove and the third track groove so as to span the track rail. A first slider slidable along a longitudinal direction of the track rail with a first rolling element rolling on the first track path to be formed, and the third track formed on both end surfaces of the first slider A second raceway groove extending in a direction intersecting the groove;
A fourth raceway groove formed at a position facing the raceway groove, and rolling over the first slider to roll on a second raceway formed by the second raceway groove and the fourth raceway groove; A second slidable along the width direction of the first slider in a direction intersecting the longitudinal direction of the track rail with a second rolling element interposed therebetween.
A linear motion rolling guide unit comprising a slider.
は，互いに直交する方向に相対移動する交差スライダを
構成することから成る請求項１に記載の直動転がり案内
ユニット。2. The linear motion rolling guide unit according to claim 1, wherein said first slider and said second slider constitute a cross slider which relatively moves in a direction perpendicular to each other.
は複数の前記交差スライダがそれぞれ跨架されているこ
とから成る請求項２に記載の直動転がり案内ユニット。3. A linear motion rolling guide unit according to claim 2, wherein one or a plurality of said cross sliders are respectively straddled on one or a plurality of said track rails.
付用のねじ穴が形成されていることから成る請求項１〜
３のいずれか１項に記載の直動転がり案内ユニット。4. The apparatus according to claim 1, wherein a screw hole for mounting a table is formed on an upper surface of said second slider.
4. The linear motion rolling guide unit according to claim 3.
前記第３軌道溝が形成された第１ケーシング，前記第２
軌道溝の下方に上面が位置するように前記第１ケーシン
グの両端面に配設された第１エンドキャップ，及び前記
第１エンドキャップの端面に配設された第１エンドシー
ルから構成されていることから成る請求項１〜４のいず
れか１項に記載の直動転がり案内ユニット。5. The first slider includes a first casing having the second raceway groove and the third raceway groove formed therein, and the second slider having the second raceway groove and the third raceway groove.
It comprises a first end cap disposed on both end surfaces of the first casing such that an upper surface is located below the raceway groove, and a first end seal disposed on an end surface of the first end cap. The linear motion rolling guide unit according to any one of claims 1 to 4, comprising:
形成された第２ケーシング，前記第２ケーシングの両端
面に配設された第２エンドキャップ，及び前記第２エン
ドキャップの端面に配設された第２エンドシールから構
成されていることから成る請求項１〜５のいずれか１項
に記載の直動転がり案内ユニット。6. The second slider includes a second casing having the fourth raceway groove formed therein, second end caps disposed on both end faces of the second casing, and an end face of the second end cap. The linear motion rolling guide unit according to any one of claims 1 to 5, comprising a second end seal provided.
動転がり案内ユニットを用いたＸＹテーブル装置におい
て，前記軌道レールを固定したベッド，前記第２スライ
ダの上面に固定されたテーブル，前記第１スライダを前
記軌道レール上を前記軌道レールの長手方向に沿って摺
動移動させる第１テーブル駆動機構，及び前記第２スラ
イダを前記第１スライダ上で前記軌道レールの長手方向
に交差する方向で前記第１スライダの幅方向に沿って摺
動移動させる第２テーブル駆動機構から成ることを特徴
とするＸＹテーブル装置。7. The XY table device using the linear motion rolling guide unit according to claim 1, wherein the bed fixed to the track rail and the table fixed to the upper surface of the second slider. A first table driving mechanism for slidingly moving the first slider on the track rail along the longitudinal direction of the track rail, and intersecting the second slider on the first slider in the longitudinal direction of the track rail. An XY table device comprising a second table drive mechanism that slides and moves along a width direction of the first slider in a direction in which the first slider moves.
向を互いに平行に延びるように一対設置され，前記第１
スライダは前記軌道レールにそれぞれ摺動可能に設置さ
れ，前記第２スライダは前記第１スライダ上にそれぞれ
摺動可能に設置され，前記テーブルは前記第２スライダ
に対して固定されていることから成る請求項７に記載の
ＸＹテーブル装置。8. A pair of said track rails are installed on said bed so as to extend in a longitudinal direction parallel to each other,
A slider is slidably mounted on each of the track rails, the second slider is slidably mounted on the first slider, and the table is fixed to the second slider. The XY table device according to claim 7.
ドに回転可能に支持され且つ前記軌道レールに平行に設
けられたＸ軸ボールねじ，前記Ｘ軸ボールねじが螺合す
る第１Ｘ軸取付部材，前記第１Ｘ軸取付部材に摺動可能
に取り付けられ且つ前記テーブルに固定された第２Ｘ軸
取付部材，及び前記ベッドに固定され且つ前記Ｘ軸ボー
ルねじを回転させるＸ軸駆動モータから構成されている
ことから成る請求項７又は８に記載のＸＹテーブル装
置。9. An X-axis ball screw rotatably supported by the bed and provided in parallel with the track rail, a first X-axis mounting member to which the X-axis ball screw is screwed. A second X-axis mounting member slidably mounted on the first X-axis mounting member and fixed to the table; and an X-axis drive motor fixed to the bed and rotating the X-axis ball screw. The XY table device according to claim 7 or 8, comprising:
ーブルに固定された第１Ｙ軸取付部材，前記第１Ｙ軸取
付部材に螺合するＹ軸ボールねじ，前記軌道レールに摺
動可能に配設された駆動用スライダ，前記駆動用スライ
ダに設けられ且つ前記Ｙ軸ボールねじを回転自在に支持
する第２Ｙ軸取付部材，及び前記第２Ｙ軸取付部材に固
定され且つ前記Ｙ軸ボールねじを回転させるＹ軸駆動モ
ータから構成されていることから成る請求項７〜９のい
ずれか１項に記載のＸＹテーブル装置。10. The second table drive mechanism is slidably mounted on a first Y-axis mounting member fixed to the table, a Y-axis ball screw screwed to the first Y-axis mounting member, and the track rail. The driving slider, a second Y-axis mounting member provided on the driving slider and rotatably supporting the Y-axis ball screw, and fixed to the second Y-axis mounting member to rotate the Y-axis ball screw. The XY table device according to any one of claims 7 to 9, comprising a Y-axis drive motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9697798A JPH11280761A (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Linear motion rolling guide unit and xy table device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9697798A JPH11280761A (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Linear motion rolling guide unit and xy table device using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11280761A true JPH11280761A (en) | 1999-10-15 |
Family
ID=14179284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9697798A Pending JPH11280761A (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Linear motion rolling guide unit and xy table device using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11280761A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10320424A1 (en) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Ina-Schaeffler Kg | Linear guide comprises carriage which slides along rail, connecting plate for attaching e.g. table fitting on to carriage whose mounting allows it to be adjusted transversely with respect to rail |
| KR100706843B1 (en) | 2006-05-22 | 2007-04-13 | 주식회사 미드 | Cross bearing unit |
| DE112006002318T5 (en) | 2005-08-31 | 2008-07-10 | Thk Co., Ltd. | Guide table device |
| CN106952558A (en) * | 2017-04-11 | 2017-07-14 | 广西职业技术学院 | A kind of multifunction three-dimensional moves teaching demonstration device |
| CN113771092A (en) * | 2021-08-25 | 2021-12-10 | 北京国电光宇机电设备有限公司 | Intelligent workbench for electric power assembly |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP9697798A patent/JPH11280761A/en active Pending
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| DE112006002318T5 (en) | 2005-08-31 | 2008-07-10 | Thk Co., Ltd. | Guide table device |
| US7887239B2 (en) | 2005-08-31 | 2011-02-15 | Thk Co., Ltd. | Guide table device |
| DE112006002318B4 (en) * | 2005-08-31 | 2016-03-31 | Thk Co., Ltd. | Guide table device |
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