JPH11271752A - Method for correcting color filter and manufacture of color filter - Google Patents
Method for correcting color filter and manufacture of color filterInfo
- Publication number
- JPH11271752A JPH11271752A JP6914198A JP6914198A JPH11271752A JP H11271752 A JPH11271752 A JP H11271752A JP 6914198 A JP6914198 A JP 6914198A JP 6914198 A JP6914198 A JP 6914198A JP H11271752 A JPH11271752 A JP H11271752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- layer
- color
- colored
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の欠陥部分を修正するのに好適なカラーフィルターの修
正方法及びカラーフィルターの製造方法に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for repairing a color filter and a method for manufacturing a color filter suitable for repairing a defective portion of a color filter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】カラー液晶ディスプレイにおいて、たと
えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に着色された
層を多数所定のパターンに配列したカラーフィルターが
用いられる。この様なカラーフィルターを形成する製造
方法としては多くの方法があるが、以下に数種の方法を
説明する。2. Description of the Related Art In a color liquid crystal display, for example, a color filter is used in which a large number of layers colored in R (red), G (green), and B (blue) are arranged in a predetermined pattern. There are many methods for manufacturing such a color filter, and several methods will be described below.
【０００３】一般的な製造方法として顔料分散法があ
る。この方法は基板上に顔料を分散した感光性樹脂を塗
布し、これをフォトリソ法にて所定の形状にパターニン
グすることによって単色パターンを形成する。この工程
を３回又は４回繰り返すことによってＲＧＢ（場合によ
ってはさらにＢＫ（黒））のカラーフィルター着色層を
形成する。As a general production method, there is a pigment dispersion method. In this method, a monochromatic pattern is formed by applying a photosensitive resin in which a pigment is dispersed on a substrate and patterning the photosensitive resin in a predetermined shape by a photolithographic method. This step is repeated three or four times to form a color filter colored layer of RGB (or BK (black) in some cases).
【０００４】その他の方法として染色法が有る。この方
法は基板上に感光性染色基質を塗布した後にこれをフォ
トリソ法にて所定の形状にパターニングする。その後得
られたパターンを染色液に浸積することによって着色パ
ターンを形成する。これを３回繰り返すことによってＲ
ＧＢのカラーフィルター層を形成する。[0004] As another method, there is a dyeing method. In this method, a photosensitive dye substrate is coated on a substrate and then patterned into a predetermined shape by a photolithography method. Thereafter, the obtained pattern is immersed in a dye solution to form a colored pattern. By repeating this three times, R
A GB color filter layer is formed.
【０００５】上記の方法にてカラーフィルターは製造可
能であるが、どの方法においても多数の着色パターンを
欠陥無しに製造することは不可能である。Although a color filter can be manufactured by the above method, it is impossible to manufacture a large number of colored patterns without defects by any method.
【０００６】そこで、欠陥のあるカラーフィルターも欠
陥部分を修正することによって良品とすることが考えら
れる。[0006] Therefore, it is conceivable that a defective color filter can be made non-defective by correcting the defective portion.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターの着
色層中及び着色層膜上に異物が混入していた場合の修正
方法としては、異物の突起部を研磨する修正方法があ
る。また、製造工程にてピンホール等の色ヌケが生じて
しまった場合の修正方法としては、色ヌケ部を人手によ
り着色作業を施す修正方法があるが、修正作業に非常に
手間がかかるという問題がある。As a method of correcting foreign matter in the colored layer of the color filter and on the colored layer film, there is a method of polishing the projection of the foreign matter. In addition, as a method of correcting a color drop such as a pinhole in a manufacturing process, there is a correction method of manually coloring a color drop portion, but the correction work is extremely troublesome. There is.
【０００８】異物を除去する方法としては、特開平５−
７２５２８号に開示されているように、レーザー光線に
よって着色層中及び膜上の異物部分を除去し、再度着色
する方法が提案されている。しかし、この様なこれまで
の方法では再度着色する際に非常に人手・時間、コスト
がかかる問題を抱えていた。As a method for removing foreign matter, Japanese Patent Laid-Open No.
As disclosed in Japanese Patent No. 72528, a method has been proposed in which a foreign substance portion in a coloring layer and on a film is removed by a laser beam and coloring is performed again. However, such a conventional method has a problem that it takes a great deal of labor, time, and cost to color again.
【０００９】本発明は上述した事情に鑑みてなされたも
のであり、カラーフィルターの欠陥修正を容易に行うこ
とができるカラーフィルターの修正方法及び歩留まりの
向上を可能とするカラーフィルターの製造方法を提供す
ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method of repairing a color filter that can easily repair defects of the color filter and a method of manufacturing a color filter that can improve the yield. The purpose is to do.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明にあっては、透明基板上
に、着色層を予め定められたパターンにて配列すること
によって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記着色層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて当該
着色層に対応する色の着色材料を吐出することを特徴と
する。According to a first aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus, comprising the steps of arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate. In the method for correcting a color filter, a pinhole of the coloring layer is detected, and a coloring material of a color corresponding to the coloring layer is discharged to the detected pinhole using an inkjet head. I do.
【００１１】また、請求項２に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて保護
膜材料を吐出することを特徴とする。Further, in the invention according to claim 2,
On a transparent substrate, a colored layer is arranged in a predetermined pattern, and in a method of correcting a color filter formed by forming a transparent protective layer on the colored layer, the pinhole of the protective layer is removed. Detecting and discharging a protective film material to the detected pinhole using an inkjet head.
【００１２】また、請求項３に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列することによって構成されるカラーフィルターの修正
方法において、前記着色層に混入した異物を検出し、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用い
て当該着色層に対応する色の着色材料を吐出することを
特徴とする。Further, in the invention according to claim 3,
In a method for correcting a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate, a foreign substance mixed into the colored layer is detected, and the detected foreign substance is irradiated with a laser. Thus, a coloring material having a color corresponding to the coloring layer is discharged to a portion from which the foreign matter has been removed by using an inkjet head.
【００１３】また、請求項４に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層に混入した異物を検出し、検出された前
記異物をレーザを照射することにより除去し、異物を除
去した部分にインクジェットヘッドを用いて、当該保護
層の下に形成される前記着色層に対応する色の着色材料
と保護膜材料とを吐出することを特徴とする。Further, in the invention according to claim 4,
On a transparent substrate, a colored layer is arranged in a predetermined pattern, and in a method of correcting a color filter constituted by forming a transparent protective layer on the colored layer, foreign matter mixed in the protective layer. And removing the detected foreign matter by irradiating a laser, and using an ink-jet head in a portion where the foreign matter has been removed, using a coloring material having a color corresponding to the coloring layer formed below the protective layer. And a protective film material.
【００１４】また、請求項５に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドから吐出される前記着色材料
は、染料または顔料を含有する液体であることを特徴と
する。Further, in the invention according to claim 5,
The coloring material discharged from the inkjet head is a liquid containing a dye or a pigment.
【００１５】また、請求項６に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドから吐出される保護膜材料
は、アクリル系の液体樹脂であることを特徴とする。In the invention according to claim 6,
The protective film material discharged from the inkjet head is an acrylic liquid resin.
【００１６】また、請求項７に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドは電圧を印加すると変形する
ピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ法のヘッ
ドであることを特徴とする。In the invention according to claim 7,
The inkjet head is a piezo method head that ejects ink using a piezo element that deforms when a voltage is applied.
【００１７】本発明によればインクジェットヘッドを用
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行うことができる。According to the present invention, the color filter or the material of the protective film is discharged to the defective portion of the color filter using the ink jet head, so that the defect of the color filter can be easily corrected.
【００１８】また、本発明にて用いるインクジェットヘ
ッドは、ピエゾ方式のため、インクが加熱されることが
なく、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げることが
できる。Further, since the ink jet head used in the present invention is of the piezo type, the ink is not heated, and the range of choice of materials used for defect correction can be widened.
【００１９】また、請求項８に記載の発明にあっては、
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部にピンホールが検出された場合
に、インクジェットヘッドを用いて当該着色層に対応す
る色の着色材料を吐出することにより、前記欠陥部分を
修正する修正工程とを備えたことを特徴とする。In the invention according to claim 8,
In the method for manufacturing a color filter, on a transparent substrate,
A colored layer forming step of arranging the colored layers in a predetermined pattern, an inspection step of inspecting the colored layer, and when a pinhole is detected in the colored portion in the inspection step, using an inkjet head A correcting step of correcting the defective portion by discharging a coloring material of a color corresponding to the coloring layer.
【００２０】また、請求項９に記載の発明にあっては、
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部に異物が検出された場合に、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去す
る除去工程と、異物を除去した部分にインクジェットヘ
ッドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出
する修正工程とを備えたことを特徴とする。Further, in the invention according to claim 9,
In the method for manufacturing a color filter, on a transparent substrate,
A colored layer forming step of arranging the colored layers in a predetermined pattern, an inspecting step of inspecting the colored layer, and, when foreign matter is detected in the colored portion in the inspecting step, the detected foreign matter is removed. The method includes a removing step of removing the foreign matter by irradiating a laser, and a correcting step of discharging a coloring material of a color corresponding to the coloring layer using an inkjet head to a portion from which the foreign matter has been removed.
【００２１】本発明によればインクジェットヘッドを用
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行う修正工程を有するため、修正の作業
効率が高く生産性を向上させることができるとともに、
歩留まりのきわめて高いカラーフィルターの製造方法を
提供することができる。According to the present invention, since a colorant or a protective film material is discharged to a defective portion of a color filter by using an ink jet head, the color filter has a repairing step for easily repairing a defect. Efficiency is high and productivity can be improved,
A method for manufacturing a color filter with extremely high yield can be provided.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】１．カラーフィルタの構造 図１は、本実施形態の修正法が適用されるカラーフィル
ターの概略基本構造を示す縦断面図である。ガラス基板
１０の表面上には、ブラックスマトリクス（以下、「Ｂ
Ｍ」と称する）１１が形成される。ＢＭ１１の材料とし
ては、金属膜あるいは顔料（カーボン等）を用いること
ができる。 このＢＭ１１の格子間には、それぞれ、赤
色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青（Ｂ）から成る顔料層また
は染料層によって着色層１２が形成される。このカラー
フィルタ１２の表面上には、必要に応じて透明樹脂から
なる保護膜１３が被覆される。さらにその上にＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）からなる透明電極１４を形成す
る。また透明電極ＩＴＯ１４についても必要に応じてフ
ォトリソ法にてパターニングを施す。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Structure of Color Filter FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a schematic basic structure of a color filter to which the correction method of the present embodiment is applied. On the surface of the glass substrate 10, a black matrix (hereinafter referred to as "B
M ”) 11 are formed. As a material of the BM 11, a metal film or a pigment (such as carbon) can be used. The colored layer 12 is formed between the lattices of the BM 11 by a pigment layer or a dye layer made of red (R), green (G), and blue (B), respectively. A protective film 13 made of a transparent resin is coated on the surface of the color filter 12 as needed. In addition, ITO
(Indium Tin Oxide) transparent electrode 14 is formed. The transparent electrode ITO14 is also patterned by photolithography as needed.
【００２３】図２はカラーフィルターの平面図である。
図２に示したものは、ストライプ配列となっているが、
このほかにモザイク配列、デルタ配列に形成する場合も
ある。顔料分散法、染色法等の製造方法による構造の違
いは無いため、以降顔料分散法にて形成したカラーフィ
ルターを代表例として説明をする。FIG. 2 is a plan view of the color filter.
The one shown in FIG. 2 has a stripe arrangement,
In addition, they may be formed in a mosaic arrangement or a delta arrangement. Since there is no difference in structure depending on a manufacturing method such as a pigment dispersion method or a dyeing method, a color filter formed by a pigment dispersion method will be described below as a representative example.
【００２４】２．カラーフィルタの修正方法 次に、カラーフィルターの欠陥を修正する具体的方法に
ついて説明する。2. Next, a specific method for correcting a defect of the color filter will be described.
【００２５】２−１．着色層の修正 着色層１２の修正は、ガラス基板１０の上にＢＭ１１を
形成し、その上に着色層１２を形成した後に行われる。
まず、光学的な検査装置（図示せず）を用いて、着色層
１２の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類、欠陥部の位
置、及び欠陥個所の色を特定し、インクジェットヘッド
３２を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の
位置を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）
にも送られるようになっている。ここで、着色層１２の
欠陥としては、顔料の分散が適当に行われなっかたこと
に起因する色抜けと、異物の混入・付着がある。2-1. Correction of Colored Layer The correction of the colored layer 12 is performed after the BM 11 is formed on the glass substrate 10 and the colored layer 12 is formed thereon.
First, using an optical inspection device (not shown), the presence or absence of a defect in the colored layer 12 is inspected, the type of the defect, the position of the defective portion, and the color of the defective portion are specified, and the inkjet head 32 is controlled. Control data to be generated. The control data indicating the position of the defect is provided by a laser irradiation device (not shown).
It is also sent to. Here, as defects of the coloring layer 12, there are color omission due to improper dispersion of the pigment and mixing and adhesion of foreign matter.
【００２６】この検査装置は、着色層１２が形成されて
いる上面から光を照射し、カラーフィルター全体を走査
しながら、反射光を受光し、反射光の強度や波長を解析
することによって、上述した制御データを生成するよう
に構成されている。具体的には、正常なカラーフィルタ
を走査した場合に得られる反射光のパターンを予め記憶
しておき、この基準パターンと実際に走査した際に得ら
れるパターンを比較することによって、制御データを生
成する。This inspection apparatus irradiates light from the upper surface on which the colored layer 12 is formed, receives the reflected light while scanning the entire color filter, and analyzes the intensity and wavelength of the reflected light, thereby obtaining It is configured to generate the control data. Specifically, control data is generated by storing in advance a pattern of reflected light obtained when a normal color filter is scanned, and comparing the reference pattern with a pattern obtained when actually scanned. I do.
【００２７】２−１−１．色抜けの修正 図３は顔料分散法にて形成されたカラーフィルターの製
造工程にてピンホールによる色抜け３１が存在する場合
の修正方法を示した図である。図に示すインクジェット
ヘッド３２は、着色層１２の色に応じて３種類用意され
ており、検査装置からの制御データに基づいて、インク
ジェットヘッド３２の種類が選択されるようになってお
り、また、図示せぬ搬送機構に連結されている。2-1-1. Correction of Color Missing FIG. 3 is a diagram showing a method of correcting color missing 31 due to pinholes in a process of manufacturing a color filter formed by a pigment dispersion method. The inkjet head 32 shown in the figure is prepared in three types according to the color of the colored layer 12, and the type of the inkjet head 32 is selected based on control data from the inspection device. It is connected to a transport mechanism (not shown).
【００２８】ここで、インクジェットヘッド３２には、
電圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を
用いたピエゾ方式を用いる。これは、インクを急激に加
熱し発生したバブルによりインクを吐出させるバブル方
式に比べて、修正に用いる液体への熱の影響が無いた
め、欠陥修正に用いる材料の選択の幅が広いからであ
る。Here, the ink jet head 32 includes:
A piezo method using a ceramic (piezo element) that deforms when a voltage is applied is used. This is because there is no influence of heat on the liquid used for correction as compared with the bubble method in which the ink is ejected by bubbles generated by rapidly heating the ink, so that the material used for defect correction has a wider range of choice. .
【００２９】例えば、図３に示すように赤色の着色層１
２にピンホール状の欠陥部３１がある場合には、赤色に
対応するインクジェットヘッド３２が選択され、検査装
置からの制御データに従って、搬送機構が当該インクジ
ェットヘッド３２を欠陥部３１の真上に移動させる。For example, as shown in FIG.
2 has a pinhole-shaped defect 31, the inkjet head 32 corresponding to red is selected, and the transport mechanism moves the inkjet head 32 right above the defect 31 according to control data from the inspection device. Let it.
【００３０】この後、インクジェットヘッド３２は、欠
陥部３１に顔料を含有する硬化型樹脂３３を吐出する。
これにより、欠陥部３１に硬化型樹脂３３を充填するこ
とができ、欠陥を修正することが可能となる。なお、染
色法で形成された着色層１２においても同様に修正を施
すことができる。After that, the ink jet head 32 discharges the curable resin 33 containing the pigment to the defective portion 31.
Thereby, the curable resin 33 can be filled in the defective portion 31, and the defect can be corrected. The coloring layer 12 formed by the dyeing method can be similarly modified.
【００３１】２−１−２．異物の混入・付着に対する修
正 次に、カラーフィルター着色層１２内又は着色層１２上
に異物等が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法
について説明する。なお、異物としては、例えば、着色
層１２の塊異物及びガラス粉等が該当する。図５はカラ
ーフィルター製造工程にて異物が混入、付着した場合の
修正方法を示した図である。2-1-2. Next, a method of correcting a defect when a foreign substance or the like is mixed or adhered to the inside or on the color layer 12 of the color filter will be described. In addition, as a foreign substance, the lump foreign substance of the coloring layer 12, glass powder, etc. correspond, for example. FIG. 5 is a view showing a correction method when foreign matter is mixed or adhered in the color filter manufacturing process.
【００３２】図５（ａ）は、着色層１２に異物が混入・
付着している一例を示したものである。この場合には、
検査装置によって、異物が混入・付着していることが検
知され、搬送機構を備えたレーザ照射装置に制御データ
が送られる。レーザー照射装置は、制御データの示す位
置情報に基づいて、異物５１の真上に移動し、図５
（ｂ）に示すようにレーザー５２にて異物５１ごと除去
する。この場合、異物５１の除去に伴って、着色層１２
に色抜けが発生する。FIG. 5A shows that foreign matter is mixed in the colored layer 12.
It is an example in which it is attached. In this case,
The inspection device detects that foreign matter is mixed or attached, and sends control data to a laser irradiation device provided with a transport mechanism. The laser irradiation device moves directly above the foreign matter 51 based on the position information indicated by the control data.
As shown in (b), the foreign matter 51 is removed together with the laser 52. In this case, as the foreign matter 51 is removed, the colored layer 12 is removed.
Color loss occurs in the image.
【００３３】このため、インクジェットヘッド３２を除
去され色抜けとなった部分に移動させ、図５（ｃ）に示
すようにインクジェットヘッド３２から顔料を含有する
硬化型樹脂３３を吐出させる。これにより、色向け部分
に硬化型樹脂３３を充填することができ、異物５１の混
入による欠陥を修正することが可能となる。For this reason, the ink jet head 32 is moved to the portion where the color is missing due to the removal, and the curable resin 33 containing the pigment is discharged from the ink jet head 32 as shown in FIG. Thereby, the curable resin 33 can be filled in the portion for the color, and it becomes possible to correct a defect caused by the inclusion of the foreign matter 51.
【００３４】２−２．保護層の修正 保護層１３の修正は、着色層１２の上に保護層を形成し
た後に行われる。この場合には、上述した着色層１２の
修正と同様に、まず、光学的な検査装置（図示せず）を
用いて、保護層１３の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類
及び欠陥部の位置を特定し、インクジェットヘッド３２
を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の位置
を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）にも
送られるようになっている。ここで、保護層１３の欠陥
としては、着色層１２と同様にピンホールと異物の混入
・付着とがある。2-2. Modification of Protective Layer The modification of the protective layer 13 is performed after forming the protective layer on the colored layer 12. In this case, similarly to the above-described correction of the colored layer 12, first, the presence or absence of a defect in the protective layer 13 is inspected using an optical inspection device (not shown), and the type of the defect and the defect The position is specified, and the ink jet head 32
To generate control data for controlling. The control data indicating the position of the defect is also sent to a laser irradiation device (not shown). Here, the defects of the protective layer 13 include, as in the case of the colored layer 12, pinholes and the mixing and attachment of foreign matter.
【００３５】２−２−１．ピンホールの修正 図４はカラーフィルター上に被覆される保護膜にピンホ
ール４１が存在する場合の修正方法を示した図である。
例えば、図４に示すようにピンホール状の欠陥部４１が
ある場合には、図示せぬ搬送機構が、検査装置からの制
御データに基づいて、インクジェットヘッド３２を欠陥
部４１の真上に移動させる。この後、インクジェットヘ
ッド３２は、アクリル系の透明樹脂４２を吐出する。こ
れにより、欠陥部４１にアクリル樹脂を充填することが
でき、欠陥を修正することが可能となる。2-2-1. Correction of Pinhole FIG. 4 is a diagram showing a correction method when the pinhole 41 exists in the protective film coated on the color filter.
For example, if there is a pinhole-shaped defect 41 as shown in FIG. 4, a transport mechanism (not shown) moves the inkjet head 32 directly above the defect 41 based on control data from the inspection device. Let it. Thereafter, the inkjet head 32 discharges the acrylic transparent resin. As a result, the defective portion 41 can be filled with the acrylic resin, and the defect can be corrected.
【００３６】２−１−２．異物の混入・付着に対する修
正 次に、カラーフィルター保護層内又は保護層上に異物等
が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法について
説明する。図６はカラーフィルター上に被覆される保護
膜中又は膜上に異物の混入・付着が存在する場合の修正
方法を示した図である。2-1-2. Next, a correction method for a case where a defect occurs due to a foreign substance or the like mixed or adhered to the inside or on the protective layer of the color filter will be described. FIG. 6 is a diagram showing a correction method in the case where foreign matter is mixed or adhered in or on the protective film coated on the color filter.
【００３７】例えば、図６（ａ）に示すように異物６１
が保護層１３に混入・付着していたとすると、レーザ照
射装置が制御データに基づいて、異物６１の真上に搬送
される。この後、図６（ｂ）に示すようにレーザ照射装
置がレーザー５２を照射して異物６１を除去する。For example, as shown in FIG.
Is mixed and adhered to the protective layer 13, the laser irradiation device is transported directly above the foreign matter 61 based on the control data. Thereafter, as shown in FIG. 6B, the laser irradiation device irradiates the laser 52 to remove the foreign matter 61.
【００３８】この後、異物６１が除去され色抜けとなっ
た部分にインクジェットヘッド３２を移動させ、図６
（ｃ）に示すようにインクジェットヘッド３２から保護
層１３と同一成分であるアクリル系の透明樹脂６２及び
保護層１３の下部に形成される着色層１２の色に対応す
る顔料材料を吐出させる。これにより、欠陥を修正する
ことが可能となる。Thereafter, the ink jet head 32 is moved to the portion where the foreign matter 61 has been removed and the color has been lost.
As shown in (c), an acrylic transparent resin 62 having the same components as the protective layer 13 and a pigment material corresponding to the color of the colored layer 12 formed below the protective layer 13 are ejected from the inkjet head 32. This makes it possible to correct the defect.
【００３９】以上説明した様に、本実施例によれば、イ
ンクジェットヘッドを用いてカラーフィルターの欠陥部
分に着色材及び透明樹脂を吐出することによって、欠陥
部を容易に修正することが可能となり、修正の作業効率
が飛躍的に向上する。また、カラーフィルターの歩留ま
りを向上させることができ、生産効率を向上させ、資源
を有効に利用できることとなる。As described above, according to the present embodiment, the defective portion can be easily corrected by discharging the coloring material and the transparent resin to the defective portion of the color filter using the ink jet head. The work efficiency of the correction is dramatically improved. Further, the yield of color filters can be improved, production efficiency can be improved, and resources can be used effectively.
【００４０】また、インクジェットヘッド３２には、電
圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を用
いるようにしたので、バブル方式に比べて、欠陥修正に
用いる材料の選択の幅を広げることができる。Further, since a ceramic (piezo element) which deforms when a voltage is applied is used for the ink jet head 32, the range of selection of materials used for defect correction can be expanded as compared with the bubble type.
【００４１】なお、上述した実施形態においては液晶表
示装置に用いられるカラーフィルターを一例として説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、カラ
ーフィルターであればどのようなものに利用されるもの
であってもよい。例えば、半導体撮像素子に用いられる
カラーフィルターに、本発明を適用してもよいことは勿
論である。In the above-described embodiment, the color filter used in the liquid crystal display device has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and any color filter can be used. May be used. For example, it goes without saying that the present invention may be applied to a color filter used in a semiconductor imaging device.
【００４２】また、上述した実施形態において、保護層
１３に異物６１が付着・混入した場合には、レーザー５
２の強度を適切に調整することによって、着色層１２に
キズが発生しないようにできる。この場合には、保護膜
材料のみをインクジェットヘッド３２から吐出するよう
にしてもよい。In the above-described embodiment, when the foreign matter 61 adheres to or mixes with the protective layer 13, the laser 5
By appropriately adjusting the strength of No. 2, it is possible to prevent the colored layer 12 from being scratched. In this case, only the protective film material may be discharged from the inkjet head 32.
【００４３】また、上述した実施形態で説明したカラー
フィルターの修正方法は、カラーフィルターの製造工程
の一部として行うので、カラーフィルターの製造方法と
して把握されることは勿論である。The method for correcting a color filter described in the above-described embodiment is performed as a part of the process for manufacturing a color filter, and is, of course, understood as a method for manufacturing a color filter.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によればイン
クジェットヘッドを用いて、カラーフィルタの欠陥部分
に着色剤及び透明樹脂を吐出することによって、カラー
フィルターの欠陥修正を容易に行うことができる。As described above, according to the present invention, the color filter and the transparent resin are discharged to the defective portion of the color filter using the ink jet head, so that the defect of the color filter can be easily corrected. it can.
【００４５】また、本発明にて用いるインクジェットヘ
ッドには、ピエゾ方式のため、インクが加熱されること
がないため、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げる
ことができる。Further, since the ink jet head used in the present invention is a piezo type, the ink is not heated, so that the range of selection of materials used for defect correction can be widened.
【図１】本発明に係わるカラーフィルターの概略基本構
造を示す縦断面図。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a schematic basic structure of a color filter according to the present invention.
【図２】図１に示したカラーフィルターの平面図。FIG. 2 is a plan view of the color filter shown in FIG.
【図３】カラーフィルター製造工程にてピンホールが存
在する場合の修正方法を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a correction method when a pinhole exists in a color filter manufacturing process.
【図４】カラーフィルター上に被覆される保護膜にピン
ホールが存在する場合の修正方法を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing a correction method when a pinhole exists in a protective film coated on a color filter.
【図５】カラーフィルター製造工程にて異物が混入、付
着した場合の修正方法を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a correction method when foreign matter is mixed or adhered in a color filter manufacturing process.
【図６】カラーフィルター上に被覆される保護膜中又は
膜上に異物が存在する場合の修正方法を示した図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a correction method when a foreign substance is present in or on a protective film coated on a color filter.
１０ ガラス基板 １１ ブラックマトリクス １２ 着色層 １３ 保護層 １４ 透明電極 ３１ 色抜け（ピンホール状の欠陥部） ３２ インクジェットヘッド ３３ 顔料を含有した硬化型樹脂 ４１ 保護層ピンホール ４２ アクリル系の透明樹脂 ５１ 着色層内又は上の異物 ５２ レーザー ６１ 保護層中又は層上の異物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Glass substrate 11 Black matrix 12 Coloring layer 13 Protective layer 14 Transparent electrode 31 Discoloration (pinhole-shaped defect part) 32 Inkjet head 33 Curable resin containing pigment 41 Protective layer pinhole 42 Acrylic transparent resin 51 Coloring Foreign matter in or on layer 52 Laser 61 Foreign matter in or on protective layer
Claims (9)
ターンにて配列することによって構成されるカラーフィ
ルターの修正方法において、 前記着色層のピンホールを検出し、 検出された前記ピンホールに対してインクジェットヘッ
ドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出す
ることを特徴とするカラーフィルターの修正方法。1. A method for correcting a color filter, comprising arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate, wherein a pinhole in the colored layer is detected, and the detected pinhole is detected. A method of correcting a color filter, comprising discharging a coloring material of a color corresponding to the coloring layer using an inkjet head.
ターンにて配列し、 前記着色層の上に透明な保護層を形成することによって
構成されるカラーフィルターの修正方法において、 前記保護層のピンホールを検出し、 検出された前記ピンホールに対してインクジェットヘッ
ドを用いて保護膜材料を吐出することを特徴とするカラ
ーフィルターの修正方法。2. A method for repairing a color filter, comprising: arranging a colored layer in a predetermined pattern on a transparent substrate; and forming a transparent protective layer on the colored layer. A method for correcting a color filter, comprising detecting a pinhole in a layer, and discharging a protective film material to the detected pinhole using an inkjet head.
ターンにて配列することによって構成されるカラーフィ
ルターの修正方法において、 前記着色層に混入した異物を検出し、 検出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて当
該着色層に対応する色の着色材料を吐出することを特徴
とするカラーフィルターの修正方法。3. A method for correcting a color filter, comprising arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate, wherein the foreign matter mixed in the colored layer is detected, and the detected foreign matter is detected. A method for repairing a color filter, characterized in that a color material corresponding to the color layer is discharged using an ink jet head to a portion from which foreign matter has been removed by irradiating the color layer with a laser.
ターンにて配列し、前記着色層の上に透明な保護層を形
成することによって構成されるカラーフィルターの修正
方法において、 前記保護層に混入した異物を検出し、 検出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて、
当該保護層の下に形成される前記着色層に対応する色の
着色材料と保護膜材料とを吐出することを特徴とするカ
ラーフィルターの修正方法。4. A method for repairing a color filter, comprising: arranging a colored layer in a predetermined pattern on a transparent substrate and forming a transparent protective layer on the colored layer. Detecting foreign matter mixed in the layer, removing the detected foreign matter by irradiating a laser, and using an inkjet head in a portion where the foreign matter has been removed,
A method for correcting a color filter, comprising discharging a coloring material having a color corresponding to the coloring layer formed below the protective layer and a protective film material.
前記着色材料は、染料または顔料を含有する液体である
ことを特徴とする、請求項１、３又は４のうちいずれか
１項に記載したカラーフィルターの修正方法。5. The color filter according to claim 1, wherein the coloring material discharged from the inkjet head is a liquid containing a dye or a pigment. How to fix.
保護膜材料は、アクリル系の液体樹脂であることを特徴
とする、請求項２又は４に記載したカラーフィルターの
修正方法。6. The method according to claim 2, wherein the material of the protective film discharged from the ink jet head is an acrylic liquid resin.
ると変形するピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピ
エゾ法のヘッドであることを特徴とする、請求項１乃至
６のうちいずれか１項に記載したカラーフィルターの修
正方法。7. The ink-jet head according to claim 1, wherein the ink-jet head is a piezo head that discharges ink using a piezo element that deforms when a voltage is applied. How to fix color filters.
列する着色層形成工程と、 前記着色層を検査する検査工程と、 前記検査工程において前記着色部にピンホールが検出さ
れた場合に、インクジェットヘッドを用いて当該着色層
に対応する色の着色材料を吐出することにより、前記欠
陥部分を修正する修正工程とを備えたことを特徴とする
カラーフィルターの製造方法。8. A method for manufacturing a color filter, comprising: a colored layer forming step of arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate; an inspecting step of inspecting the colored layer; When a pinhole is detected in the colored portion, a correcting step of correcting the defective portion by discharging a coloring material of a color corresponding to the coloring layer using an inkjet head when the pinhole is detected. Manufacturing method of color filter.
列する着色層形成工程と、 前記着色層を検査する検査工程と、 前記検査工程において前記着色部に異物が検出された場
合に、検出された前記異物をレーザを照射することによ
り除去する除去工程と、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて当
該着色層に対応する色の着色材料を吐出する修正工程と
を備えたことを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。9. A method for manufacturing a color filter, comprising: a colored layer forming step of arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate; an inspecting step of inspecting the colored layer; A step of removing the detected foreign matter by irradiating a laser when the foreign matter is detected in the colored portion; and a coloring material of a color corresponding to the colored layer using an inkjet head in a portion where the foreign matter has been removed. And a correcting step of discharging a color filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6914198A JPH11271752A (en) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | Method for correcting color filter and manufacture of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6914198A JPH11271752A (en) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | Method for correcting color filter and manufacture of color filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271752A true JPH11271752A (en) | 1999-10-08 |
Family
ID=13394084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6914198A Withdrawn JPH11271752A (en) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | Method for correcting color filter and manufacture of color filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271752A (en) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029807A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active substrate |
| JP2003066218A (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Canon Inc | Method for repairing defect in color filter |
| JP2003322957A (en) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | Kimoto & Co Ltd | Method for correcting protective film for photomask |
| JP2006337946A (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sharp Corp | Method for removing defect in liquid crystal color filter and liquid crystal panel with defect removed |
| JP2007093786A (en) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | Colored composition for correcting green color filter, and color filter corrected by using the composition |
| JP2007101809A (en) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Sharp Corp | Method of correcting color filter |
| JP2008151872A (en) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Dainippon Printing Co Ltd | Method for correcting defect in color filter forming substrate and color filter forming substrate |
| JP2008281696A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of correcting defect on color filter substrate with transparent conductive film and color filter substrate with transparent conductive film |
| JP2011002692A (en) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter correcting method, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing liquid crystal display |
| US7924382B2 (en) | 2005-05-25 | 2011-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device substrate, method of manufacturing liquid crystal display device substrate, liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device |
| US8181595B2 (en) | 2002-12-24 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejecting apparatus, electro-optical device, method of manufacturing the electro-optical device, and electronic apparatus |
| US8273423B2 (en) | 2004-09-29 | 2012-09-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter substrate, liquid crystal display device, production method of color filter substrate, production method of liquid crystal display device |
-
1998
- 1998-03-18 JP JP6914198A patent/JPH11271752A/en not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843904B1 (en) | 1999-10-21 | 2005-01-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active type substrate |
| WO2001029807A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active substrate |
| JP2003066218A (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Canon Inc | Method for repairing defect in color filter |
| JP2003322957A (en) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | Kimoto & Co Ltd | Method for correcting protective film for photomask |
| US8181595B2 (en) | 2002-12-24 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejecting apparatus, electro-optical device, method of manufacturing the electro-optical device, and electronic apparatus |
| US8273423B2 (en) | 2004-09-29 | 2012-09-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter substrate, liquid crystal display device, production method of color filter substrate, production method of liquid crystal display device |
| US7924382B2 (en) | 2005-05-25 | 2011-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device substrate, method of manufacturing liquid crystal display device substrate, liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device |
| JP2006337946A (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sharp Corp | Method for removing defect in liquid crystal color filter and liquid crystal panel with defect removed |
| JP2007093786A (en) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | Colored composition for correcting green color filter, and color filter corrected by using the composition |
| JP2007101809A (en) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Sharp Corp | Method of correcting color filter |
| JP2008151872A (en) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Dainippon Printing Co Ltd | Method for correcting defect in color filter forming substrate and color filter forming substrate |
| JP2008281696A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of correcting defect on color filter substrate with transparent conductive film and color filter substrate with transparent conductive film |
| JP2011002692A (en) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter correcting method, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing liquid crystal display |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6828069B1 (en) | Method for correcting defects on color filter | |
| JPH11271752A (en) | Method for correcting color filter and manufacture of color filter | |
| KR100510611B1 (en) | Method for eliminating materials, method for reclaiming base, method for manufacturing display, and electronic appliances comprising display manufactured by the manufacturing method | |
| US6221544B1 (en) | Inspecting method of color filter and manufacturing method of color filter | |
| WO2006035621A1 (en) | Color filter substrate, liquid crystal display device, color filter substrate manufacturing method and liquid crystal display device manufacturing method | |
| US8199175B2 (en) | Methods and apparatus for applying patterns of non-contiguous features | |
| JP4217949B2 (en) | Color filter manufacturing method and color filter correction apparatus | |
| KR20040077110A (en) | Color filter panel for liquid crystal display and method of fabricating the same | |
| JPH0527111A (en) | Defect correcting method for color filter in color liquid crystal display device | |
| JP4617236B2 (en) | How to correct the color filter | |
| US20090309954A1 (en) | Methods and apparatus for selecting and applying non-contiguous features in a pattern | |
| JP4876578B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP4636648B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP5205733B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP2009133980A (en) | Defect correction method of color filter | |
| JP5182126B2 (en) | Color filter substrate correction method | |
| KR100751709B1 (en) | Apparatus and method for repairing color filter of liquid crystal display | |
| JP2006106524A (en) | Repairing method of color filter and color filter | |
| JP2009058891A (en) | Method for correcting defect in color filter | |
| JP2006154398A (en) | Correction method of color filter | |
| JPH05288917A (en) | Manufacture of color filter | |
| JP2003066220A (en) | Color filter and method for manufacturing the same, and liquid crystal element using the color filter | |
| JPH09230128A (en) | Correcting method of defect in color filter and defect correcting device | |
| JPH05303014A (en) | Correcting method for color filter | |
| JP5488170B2 (en) | Color filter correction method and color filter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040427 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040527 |