JPH11263631A

JPH11263631A - スクライブ装置

Info

Publication number: JPH11263631A
Application number: JP10084906A
Authority: JP
Inventors: Akira Shimotoyotome; 暁下豊留
Original assignee: BELDEX KK; THK Co Ltd
Current assignee: BELDEX KK; THK Co Ltd
Priority date: 1998-03-16
Filing date: 1998-03-16
Publication date: 1999-09-28

Abstract

(57)【要約】【課題】硬質脆性材料からなるワークに種々の形状の
刻線を自在に形成することができるスクライブ装置を提
供する。【解決手段】ＸーＹステージ３０にスクライブヘッド
４０が設けられている。スクライブヘッド４０は、先端
が尖ったカッタ４３（当接部材）と、このカッタ４３を
保持するホルダ４２と、このホルダ４２を微小量スライ
ド可能に支持するボデイ４１とを有している。ホルダ４
２の受部４２ｄとボデイ４１の受部４１ａとの間には、
振動アクチュエータ４４が介在されている。カッタ４３
をボデイ４１やホルダ４２の自重で板ガラス１００（ワ
ーク）に押し付けて振動アクチュエータ４４の高周波振
動エネルギーを付与しながら、ＸーＹステージ３０を駆
動してカッタ４３を移動させることにより、板ガラス１
００（ワーク）に種々の形状の刻線を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、板ガラス等の硬
質脆性材料のワークの面に刻線を形成するスクライブ装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、板ガラス等のワークを破断する
場合には、ワークの面に予め刻線を形成し、この刻線に
沿って破断するようにしている。この刻線の形成に用い
られる従来のスクライブ装置は、周縁が尖った円盤形状
のカッタと、このカッタを回転自在に支持するホルダ
と、このホルダを介してカッタを板ガラス（ワーク）の
面に押しつけるとともに、板ガラスの面に沿って移動さ
せる押圧，移動機構とを備えている。上記のように、カ
ッタを所定の押圧力で板ガラスに押し付けた状態で移動
させることにより、板ガラスに直線的に延びる刻線を形
成する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の装置では、
刻線を直線的にしか描くことができず、より複雑な形状
の刻線を描いて、複雑な輪郭を有する製品を得ることが
困難であった。また、大きな押圧力でカッタをワーク面
に押し付けるため、刻線形成に必要な垂直クラックのみ
ならず、横方向にもクラックが発生し、きれいな刻線を
描くことができなかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに、請求項１の発明は、（イ）ワークを設置するテー
ブルと、（ロ）設置されたワークの面に当接する当接部
材と、この当接部材をワーク面に押し付けながらこのワ
ーク面と交差する方向に高周波振動を付与してワークに
クラックを発生させる押圧，振動付与手段とを有するス
クライブヘッドと、（ハ）上記スクライブヘッドを、ワ
ーク面に沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、
上記移動手段は、基台と、ワーク面と平行なＸ軸方向に
移動可能に基台に支持された第１移動体と、ワーク面と
平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動可能に第１移動体
に支持された第２移動体と、これら第１，第２移動体を
それぞれ移動させる第１，第２の駆動機構と、これら第
１，第２駆動機構を制御する制御手段とを備え、上記第
２移動体に上記スクライブヘッドまたは上記ワーク設置
用テーブルが設けられていることを特徴とすることを特
徴とする。

【０００５】請求項２の発明は、請求項１に記載のスク
ライブ装置において、上記スクライブヘッドが上記移動
手段の第２移動体に設けられ、上記ワーク設置用テーブ
ルが回転手段に設けられていることを特徴とする。

【０００６】請求項３の発明は、請求項１に記載のスク
ライブ装置において、上記スクライブヘッドが、（i）
尖った先端を有し、その先端がワーク面に当たる上記当
接部材と、（ii）上記当接部材を保持するホルダと、
（iii）上記ホルダを、ワーク面と交差する方向に微小
往復動可能に支持するボデイと、（iv）上記ボデイの受
部と上記ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに上記
高周波振動を付与する振動アクチュエータと、（v）上
記ホルダの受部を振動アクチュエータに向けて付勢する
弾性部材と、を備え、上記ボデイがスライド支持機構を
介して、上記移動手段の第２移動体または固定構造体に
垂直方向にスライド可能に取り付けられ、これらボデイ
およびホルダの自重が上記当接部材に働くことにより、
この当接部材をワーク面に押し付けるようにし、上記押
圧，振動付与手段は、これらボデイ，ホルダ，振動アク
チュエータを含むことを特徴とする。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施形態
を図１〜図６に基づいて説明する。図１〜図３に示すよ
うに、スクライブ装置は、ベースフレーム１に設けられ
た回転機構１０（回転手段）と、この回転機構１０に設
けられたテーブル２０と、ベースフレーム１において回
転機構１０の横に設けられたＸーＹステージ３０（移動
手段）と、このＸーＹステージ３０に設けられたスクラ
イブヘッド４０と、を備えている。

【０００８】上記テーブル２０は、ワーク１００を水平
に設置するためのものである。詳述すると、図３に示す
ように、テーブル２０の上面には、直線的に延びて互い
に直交する２つの位置決め用段差２１が形成されてい
る。ワーク１００は、例えば四角形状をなし、その２辺
を上記位置決め用段差２１に当てて位置決めした状態
で、テーブル２０の上面に設置される。テーブル２０の
上面には、複数の吸引孔２２が形成されており、後述す
るスクライブを実行する際には、これら吸引孔２２に接
続されるバキューム機構（図示しない）の駆動によっ
て、ワーク１００を吸引し、このワーク１００を上記位
置決め状態で保持するようになっている。上記テーブル
２０は、回転機構１０により水平回転されるようになっ
ている。

【０００９】上記Ｘ−Ｙステージ３０は、図１，図３に
示すように、基台３１と第１移動体３２と第２移動体３
３とを備えている。基台３１の上面には水平なＸ軸方向
に延びる２本のレール３４が設けられており、このレー
ル３４に沿って第１移動体３２がスライド可能に支持さ
れている。第１移動体３２の上面にも、Ｙ軸方向に延び
る２本のレール３５が設けられており、このレール３５
に沿って第２移動体３３がスライド可能に支持されてい
る。なおＹ軸は水平をなし、Ｘ軸と直交している。

【００１０】図３に示すように、上記第１移動体３２
は、第１駆動機構３６により、Ｘ軸方向に移動するよう
になっている。この第１駆動機構３６は、Ｘ軸方向に延
びるねじロッド３６ａと、このねじロッド３６ａの一端
に連結されたステッピングモータ３６ｂと、ねじロッド
３６ａの他端を回転可能に支持する軸受３６ｃと、第１
移動体３２の下面に固定されてねじロッド３６ａに螺合
する螺合部材３６ｄとを備えている。上記ステッピング
モータ３６ｂが駆動すると、ねじロッド３６ａが回転
し、このねじロッド３６ａと螺合部材３６ｄの螺合作用
を介して、第１移動体３２がＸ軸方向に移動する。上記
第２移動体３３は、第２駆動機構３７により、Ｙ軸方向
に移動するようになっている。この第２駆動機構３７
は、第１駆動機構３６と同様に、ねじロッド３７ａと、
ステッピングモータ３７ｂと、軸受３７ｃと、螺合部材
３７ｄとを備えている。

【００１１】上記第２移動体３３には、ブラケット３９
が取り付けられている。このブラケット３９には、スラ
イド機構５０を介して、上記スクライブヘッド４０が取
り付けられている。

【００１２】上記スライド機構５０は、上記ブラケット
３９に垂直に固定された取付板５１と、この取付板５１
に固定されて垂直に延びるガイド５２と、このガイド５
２に垂直方向にスライド可能に支持されたスライダ５３
とを備えている。図３に良く示されているように、ガイ
ド５２には垂直方向に延びるガイド溝５２ａが形成され
ており、このガイド溝５２ａにスライダ５３の縦長の凸
部５３ａがスライド可能に入り込んでいる。このスライ
ダ５３は、ガイド５２に設けられたストッパ（図示しな
い）により下限位置を決定されている。

【００１３】図１に示すように、上記スライダ５３に
は、上下一対の水平をなす板バネ５５ａ，５５ｂを介し
て、上記スクライブヘッド４０のボデイ４１が取り付け
られている。詳述すると、スライダ５３には、上下にＬ
字形のブラケット５６ａ，５６ｂが１つずつ固定されて
おり、これらブラケット５６ａ，５６ｂに、上記板バネ
５５ａ，５５ｂの中央部がそれぞれ固定されている。他
方、上記ボデイ４１には、上下に一対ずつＬ字形のブラ
ケット５７ａ，５７ｂが固定されている。上側の一対の
ブラケット５７ａは、ブラケット５６ａを挟みこのブラ
ケット５６ａから離れて配置されており、上記板バネ５
５ａの両端部に固定されている。同様に、下側の一対の
ブラケット５７ｂも、ブラケット５６ｂを挟みこのブラ
ケット５６ｂから離れて配置されており、上記板バネ５
５ｂの両端部に固定されている。

【００１４】次に、上記スクライブヘッド４０の構成に
ついて詳述する。上記スクライブヘッド４０は、上記ボ
デイ４１と、このボデイ４１に微小量の垂直方向往復動
を可能にして支持されたホルダ４２と、このホルダ４２
の下端に固定されたカッタ４３（当接部材）と、ホルダ
４２に垂直方向の振動を付与するピエゾアクチュエータ
４４（振動アクチュエータ）と、を備えている。なお、
ボデイ４１，ホルダ４２，ピエゾアクチュエータ４４
は、後述するようにカッタ４３をワーク１００の面に押
し付けならが高周波振動を付与する押圧，振動付与手段
を構成している。上記ボデイ４１は、中空をなす上部
と、平板部をなす下部とを有しており、両者の境の段差
４１ａが、上記ピエゾアクチュエータ４４の上端を係止
するための受部として提供される。ボデイ４１の下部に
は、ガイド４５が固定されている。

【００１５】上記ホルダ４２は、垂直方向に延びるよう
に細長く構成されており、幅の狭い平板形状をなして垂
直に延びる主ロッド４２ａと、この主ロッド４２ａの上
端に連結されて垂直に上方に延びる補助ロッド４２ｂ
（ホルダ４２の基端部）と、主ロッド４２ａの下端に固
定されたアタッチメント４２ｃ（ホルダ４２の先端部）
とを備えている。主ロッド４２ａは、ボデイ４１のガイ
ド４５によって案内されて垂直方向に微少量のスライド
が可能になっている。

【００１６】上記主ロッド４２ａの長手方向の中間部に
は受け部材４２ｄ（受部）が固定されており、この受け
部材４２ｄに上記ピエゾアクチュエータ４４の下端が係
止されている。その結果、ピエゾアクチュエータ４４
は、垂直方向に対峙した上記段差４１ａと受部材４２ｄ
との間に挟まれるようにして配置されている。ピエゾア
クチュエータ４４は、高周波交流電圧を受けて垂直方向
へ周期的に伸縮するものであり、その周期的伸縮によっ
てホルダ４２を垂直方向に振動させるようになってい
る。

【００１７】上記補助ロッド４２ｂは、ボデイ４１の上
壁を貫通して上方に突出している。ボデイ４１の上壁に
は、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるボール４６（球形
状の弾性部材）と、その上下の球面受座４７，４８が配
置されており、これらを、上記補助ロッド２２が貫通し
ている。上記補助ロッド４２ｂの上端部は雄ネジをなし
ており、この雄ネジに螺合された上側の球面受座４８を
締め付けることにより、上記ボール４６が球面受座４
７，４８で挟み付けられて弾性変形されている。このボ
ール４６の復元力が、ホルダ４２をボデイ４１に対して
上方へ付勢する力となり、ひいてはホルダ４２の受部材
４２ｄを常時ピエゾアクチュエータ４４に押し付ける力
となる。

【００１８】上記ホルダ４２のアタッチメント４２ｃに
は、上記カッタ４３が固定されている。このカッタ４３
は、垂直に延び、その下端（先端）が円錐形状をなして
尖っている。なお、このカッタ４３の下端は角錐形状で
あってもよい。カッタ４３の下端には、角錐形状をなす
ダイヤモンド粒が固着されている。

【００１９】さらに、アタッチメント４２ｃには、ガイ
ド板４９が取り付けられている。このガイド板４９は、
バネ材からなり、その平坦な両端部がアタッチメント４
２ｃの両側面に取り付けられ、中央部が下に凸に湾曲し
ている。図４，図５に最も良く示されているように、ガ
イド板４９の中央には穴４９ａが形成されている。上記
カッタ４３は、この穴４９ａを通って、ガイド板４９よ
り所定量（数ミクロン）だけ下方に突出している。な
お、図においてこの突出量は誇張して示されている。

【００２０】図２，図３に示すように、上記取付板５１
には、エアシリンダ６０が垂直に取り付けられている。
他方、スクライブヘッド４０のボデイ４１の上部側面に
はＬ字形のブラケット６５が固定されており、このブラ
ケット６５には、垂直をなす短ロッド６６が螺合されて
いる。この短ロッド６６は、上記エアシリンダ６０のロ
ッド６１の真上に位置している。

【００２１】スクライブ装置はさらに制御ユニット７０
（制御手段、図３にのみ示す）を備えている。この制御
ユニット７０は、上記バキューム機構，回転機構２０，
上記Ｘ−Ｙステージ３０のステッピングモータ３６ｂ，
３７ｂ，ピエゾアクチュエータ４４，エアシリンダ６０
等を制御する。

【００２２】上記構成をなすスクライブ装置の作用を説
明する。前述したように、水平のテーブル２０に板ガラ
ス１００（ワーク）を位置決めして水平にセットする。
初期状態では、スクライブヘッド４０のカッタ４３は、
板ガラス１００の縁から水平方向に離れており、テーブ
ル２０の上面から微小間隔離れている。この状態で、制
御ユニット７０のスタートボタンをオンすると、制御ユ
ニット７０は、バキューム機構を駆動させて板ガラス１
００を吸着する。これと同時に、Ｘ−Ｙステージ３０の
ステッピングモータ３６ｂ，３７ｂを駆動させて、移動
体３２，３３を移動させ、これにより、スクライブヘッ
ド４０を板ガラス１００上のスクライブ開始位置まで移
動させる。なお、スクライブヘッド４０がこのスクライ
ブ開始位置まで移動する過程において、ガイド板４９の
湾曲した部分が、板ガラス１００の端縁に当たり、その
傾斜によってスクライブヘッド４０が押し上げられる。
これにより、カッタ４３は、板ガラス１００の端縁を越
えてその上面に円滑に乗り上げることができる。

【００２３】上記スクライブヘッド４０のカッタ４３が
板ガラス１００の上面のスクライブ開始位置に達した時
に、制御ユニット７０は、ピエゾアクチュエータ４４に
高周波電圧を付与するとともに、Ｘ−Ｙステージ３０の
ステッピングモータ３６ｂ，３７ｂを駆動させることに
より、例えば図７に示す形状の閉曲線をなす刻線１０５
を形成する。

【００２４】上記刻線１０５の形成に際して、カッタ４
３には板ガラス１００の上面に対する押圧力Ｐ１が常に
付与されている。すなわち、上記スクライブヘッド４０
は、スライド支持機構５０を介してスライド可能に支持
されており、このスクライブヘッド４０の自重（主にボ
デイ４１とホルダ４２の自重）と、スライダ５３の自重
がカッタ４３への押圧力となる。

【００２５】上記のように、スクライブヘッド４０の自
重等でカッタ４３を板ガラス１００の面に押し付けた状
態で、ピエゾアクチュエータ４４に高周波電圧を印加さ
せて、ピエゾアクチュエータ４４を周期的に伸縮させる
と、この周期的伸縮に伴うホルダ４２の振動がカッタ４
３を介して板ガラス１００に伝達される。換言すれば、
図６に示すように、カッタ４３を介して板ガラス１００
に付与される押圧力Ｐは、上記ボデイ１０等の自重に起
因する押圧力Ｐ１を下限値とし、ピエゾアクチュエータ
４４の振動に起因して周期的に変動する。したがって押
圧力Ｐは、周期的に非常に大きな力となり、カッタ４３
の尖った下端を介して板ガラス１００に衝撃を付与する
ことになり、図５に示すように深い垂直クラックを有す
る刻線１０５を形成することができる。しかし、自重に
起因する押圧力Ｐ１は比較的小さいので、従来装置のよ
うな水平クラックの発生をほとんど皆無にすることがで
きる。

【００２６】なお、押圧力Ｐの周期、換言すればピエゾ
アクチュエータ４４に印加する高周波電圧の周波数は、
３〜３０ＫＨｚ程度に設定し、ピエゾアクチュエータ４
４の伸縮量、つまり振幅は数μｍ〜２０μｍ程度に設定
する。また、カッタ４３の送り速度は、上の周波数を採
用する場合、１００〜２５０ｍｍ／ｓｅｃ程度に設定す
るのがよい。

【００２７】上記刻線１０５の形成工程において、カッ
タ４３はスクライブヘッド４０等の自重に伴う押圧力を
もって常に板ガラス１００の面に接した状態であり、こ
の面から瞬間的に離れることがないので、刻線１０５の
近傍の欠損をなくし、きれいな刻線１０５を形成するこ
とができる。また、ホルダ４２が剛体でありカッタ４３
が弾性体を介在せずに直接ホルダ４２に固定されている
ので、カッタ４３はホルダ４２と一体となって振動し、
ピエゾアクチュエータ４４の振動エネルギーを良好にカ
ッタ４３に伝達することができ、共振の可能性を減じる
ことができ、カッタ４３の跳ね上げの可能性を減じるこ
とができる。しかも、本実施形態では、ボデイ４１とス
ライダ５３との間に板バネ５５ａ，５５ｂが介在されて
いるので、共振の可能性をより一層減じることができ
る。また、弾性部材としてボール４６を用いているの
で、耐久性が良く、確実にピエゾアクチュエータ４４に
弾性力を付与することができる。

【００２８】ここで、図７に示す刻線１０５を形成する
ための、上記カッタ４３の移動軌跡について説明する。
図７の刻線１０５は略四角形をなし、４つの角が円弧と
なっている。この場合、直線をなす４つの辺について
は、上記ステッピングモータ３６ｂ，３７ｂのいずれか
一方を駆動させて、移動体３２，３３の一方を移動さ
せ、カッタ４３をＸ軸またはＹ軸方向に移動させること
により、形成する。また、角の円弧については、ステッ
ピングモータ３６ｂ，３７ｂを同時駆動させて、移動体
３３，３４を同時に移動させ、カッタ４３に円弧を描か
せることにより、形成する。このように、Ｘ−Ｙステー
ジ３０を制御することにより、図７の形状のような延び
方向の異なる複数の直線を含んだり、円弧のような曲線
を含む形状の刻線１０５を簡単に形成することができ
る。

【００２９】上記Ｘ−Ｙステージ３０のステッピングモ
ータ３６ｂ，３７ｂの同時制御により、図８に示すよう
に、真円の刻線１０５’を形成することもできる。な
お、図８の真円の刻線１０５’を形成する場合には、Ｘ
−Ｙステージ３０の制御により、カッタ４３をスクライ
ブ開始位置まで移動させた後で、回転機構１０を駆動し
て板ガラス１００を回転させながらピエゾアクチュエー
タ４４を駆動するようにしてもよい。このようにすれ
ば、制御は簡単である。また、刻線の一部をなす円弧の
中心が、回転機構１０の回転中心と一致する場合には、
この回転機構１０を駆動して円弧を形成してもよい。

【００３０】上記カッタ４３は、ピンポイントで押圧力
を集中させ、ガラス板１００に対する相対移動に伴って
垂直クラックからなる刻線１０５，１０５’を形成する
ので、カッタ４３の移動軌跡に対する姿勢を考慮せずに
済み、カッタ４３の姿勢制御は不要である。

【００３１】上記カッタ４３による板ガラス１００への
刻線１０５，１０５’の形成が完了したら、ピエゾアク
チュエータ４４に対する通電を停止するとともに、エア
シリンダ６０を駆動させて、スクライブヘッド４０を上
方に押し上げる。そして、Ｘ−Ｙステージ３０を制御し
て、板ガラス１００から離れた初期位置まで戻す。その
後で、エアシリンダ６０を逆方向に駆動させてスクライ
ブヘッド４０を下限位置まで戻す。その後で、刻線１０
５，１０５’を形成した板ガラス１００をテーブル２０
から外し、次の新しい板ガラス１００をセットする。

【００３２】上記刻線１０５，１０５’のクラックが深
く、板ガラス１００の厚みまたはそれに近い程度である
場合には、板ガラス１００に僅かな力を付与するだけ
で、刻線１０５，１０５’に沿って破断することがで
き、その外側部分と内側部分を分離することができる。
そして、例えば刻線１０５，１０５’を輪郭とする内側
部分を製品とすることができる。刻線１０５，１０５’
が比較的浅い場合には、エア圧ないしは機械的な圧力を
用いて破断する。

【００３３】本発明は上記実施形態に制約されず、種々
の形態が可能である。図９に示す実施形態では、スクラ
イブヘッド４０は、ベースフレーム１に設けられた支柱
８０（固定構造体）に、ブラケット８１およびスライド
機構５０を介して取り付けられている。また、ワーク１
００を設置するテーブル２０は、ＸーＹステージ３０に
設けられている。図９において、前述の実施形態に対応
する構成部には同番号を付してその詳細な説明を省略す
る。この実施形態では、ＸーＹステージ３０の制御によ
り、ワーク１００が、固定位置にあるスクライブヘッド
４０に対して水平移動することにより、図７，図８等に
示すような刻線１０５，１０５’を形成することができ
る。なお、この実施形態では、テーブル２０とＸーＹス
テージ３０の第２移動体３３は一体をなしていてもよ
い。弾性部材として、ボール２５の代わりに、重ねられ
た多数の皿バネ等を用いてもよい。硬質脆性材料のワー
クとしては、板ガラスに限らず、セラミック製の板，シ
リコンウエハー等のであってもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、当接部材をワークに押し付けながら高周波振動
を付与することにより、刻線をワークに深く形成するこ
とができ、しかも水平クラックの発生を防止することが
できる。また、直交する２軸に沿って第１，第２移動体
を移動させることにより、当接部材の軌跡を描くことが
でき、直線のみならず、曲線を含む形状や、互いに交差
する複数の直線を含む形状等、自在な形状の刻線を形成
することができる。請求項２の発明によれば、ワークに
回転を付与することにより、直交２軸方向の移動手段を
位置決めに用いて、簡単な制御で円弧ないしは真円形状
の刻線を形成することができる。請求項３の発明によれ
ば、先端が尖った当接部材を介して、ピンポイントで振
動押圧力をワークに付与するので、刻線の形状が直線で
なくてもスクライブヘッドの姿勢制御は不要である。ま
た、ボデイとホルダの受部で振動アクチュエータを挟
み、弾性部材でホルダの受部を振動アクチュエータに向
けて押し付けることにより、振動アクチュエータの振動
エネルギーを、確実に当接部材に付与でき、しかも、ボ
デイとホルダの自重で当接部材をワークに押し付けるの
で、刻線をより一層きれいに形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態をなすスクライブ装置を一
部断面にして示す側面図である。

【図２】同スクライブ装置の正面図である。

【図３】同スクライブ装置の平面図である。

【図４】同装置のスクライブヘッドの要部を一部断面に
して示す拡大正面図である。

【図５】同要部を一部断面にして示す拡大側面図であ
る。

【図６】カッタの板ガラスに対する押圧力を示す図であ
る。

【図７】形成される刻線の一態様を示す平面図である。

【図８】形成される刻線の他の態様を示す平面図であ
る。

【図９】本発明の他の実施形態をなすスクライブ装置を
一部断面にして示す側面図である。

【符号の説明】

１０ワーク設置用テーブル２０回転機構（回転手段）３０ＸーＹステージ（移動手段）３１基台３２第１移動体３３第２移動体３６第１駆動機構３７第２駆動機構４０スクライブヘッド４１ボデイ４１ａ段差（受部）４２ホルダ４２ｄ受け部材（受部）４３カッタ（当接部材）４４ピエゾアクチュエータ（振動アクチュエータ）４６ボール（弾性部材）５０スライド機構７０制御ユニット（制御手段）８０支柱（固定構造体）１００板ガラス（ワーク）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（イ）ワークを設置するテーブルと、
（ロ）設置されたワークの面に当接する当接部材と、こ
の当接部材をワーク面に押し付けながらこのワーク面と
交差する方向に高周波振動を付与してワークにクラック
を発生させる押圧，振動付与手段とを有するスクライブ
ヘッドと、（ハ）上記スクライブヘッドを、ワーク面に
沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、上記移動
手段は、基台と、ワーク面と平行なＸ軸方向に移動可能
に基台に支持された第１移動体と、ワーク面と平行でＸ
軸と直交するＹ軸方向に移動可能に第１移動体に支持さ
れた第２移動体と、これら第１，第２移動体をそれぞれ
移動させる第１，第２の駆動機構と、これら第１，第２
駆動機構を制御する制御手段とを備え、上記第２移動体
に上記スクライブヘッドまたは上記ワーク設置用テーブ
ルが設けられていることを特徴とすることを特徴とする
スクライブ装置。
【請求項２】上記スクライブヘッドが上記移動手段の第
２移動体に設けられ、上記ワーク設置用テーブルが回転
手段に設けられていることを特徴とする請求項１に記載
のスクライブ装置。
【請求項３】上記スクライブヘッドが、（i）尖った先
端を有し、その先端がワーク面に当たる上記当接部材
と、（ii）上記当接部材を保持するホルダと、（iii）
上記ホルダを、ワーク面と交差する方向に微小往復動可
能に支持するボデイと、（iv）上記ボデイの受部と上記
ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに上記高周波振
動を付与する振動アクチュエータと、（v）上記ホルダ
の受部を振動アクチュエータに向けて付勢する弾性部材
と、を備え、上記ボデイがスライド支持機構を介して、
上記移動手段の第２移動体または固定構造体に垂直方向
にスライド可能に取り付けられ、これらボデイおよびホ
ルダの自重が上記当接部材に働くことにより、この当接
部材をワーク面に押し付けるようにし、上記押圧，振動
付与手段は、これらボデイ，ホルダ，振動アクチュエー
タを含むことを特徴とする請求項１に記載のスクライブ
装置。