JPH11263081A - メタルマスクとその製造方法 - Google Patents

メタルマスクとその製造方法

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JPH11263081A
JPH11263081A JP10248541A JP24854198A JPH11263081A JP H11263081 A JPH11263081 A JP H11263081A JP 10248541 A JP10248541 A JP 10248541A JP 24854198 A JP24854198 A JP 24854198A JP H11263081 A JPH11263081 A JP H11263081A
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metal mask
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mask
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JP10248541A
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English (en)
Inventor
Naoya Furuichi
直也 古市
Shoji Shibazaki
正二 柴崎
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Taiyo Kagaku Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Kagaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペースト状インクが通過する印刷孔4を有す
るマスク板1の板厚のバラツキや加工歪が小さく、印刷
物の印刷面上の突出物を覆うことができる凹状の空間を
有するメタルマスクを得る。 【解決手段】 メタルマスクは、印刷物bの印刷面上に
ペースト状インクを印刷するパターンに対応して印刷孔
4が設けられると共に、印刷物bの印刷面上に設けられ
た突出物aに対応して突出物通過孔2が設けられた板状
のマスク板1と、下面が開口する容器状に形成されたカ
バー5とを有する。このカバー5の開口部の周囲の縁部
は、前記マスク板1の突出物通過孔2の周囲に固着され
るすることにより、カバー5がマスク板1に取り付けら
れる。マスク板1に、予め作っておいた別体のカバー5
を取り付けることにより、突出物通過孔2を覆う凹部が
形成できるため、印刷孔4を有するマスク板1に板厚の
バラツキや加工歪みが生じにくい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
の印刷面上に半田ペースト等のペースト状インクを印刷
するため、そのペースト状インクが通過可能な印刷孔を
有するメタルマスクとその製法方法に関し、特に、プリ
ント配線基板の印刷面上に予め回路部品等の突出物を搭
載した状態でペースト状インクを印刷することができる
メタルマスクに関する。
【0002】
【従来の技術】プリント配線基板上に形成された電極に
チップ状回路部品等の回路部品を半田付けする場合、プ
リント配線基板上のランド電極に半田ペーストを印刷
し、その後プリント配線基板上のランド電極の対応する
位置に回路部品を搭載し、接着剤等で仮固定した状態で
半田ペーストをリフローし、その後リフローした半田を
硬化させて回路部品を半田付けすることが行われてい
る。
【0003】プリント配線基板等の印刷物の印刷面上
に、前記のような半田ペーストを印刷するに当たって
は、従来からメタルマスクが使用されている。このメタ
ルマスクは、ステンレス等の薄板からなり、プリント配
線基板等の印刷物に半田ペースト等のペースト状インク
を印刷すべき位置に対応して印刷孔が設けられている。
このメタルマスクを印刷物の印刷面上に乗せて、メタル
マスク上にペースト状インクを付与し、これをスキージ
で薄く引き延ばすことにより、前記印刷孔にペースト状
インクを充填する。その後、メタルマスクを印刷物の印
刷面から取り除くことにより、印刷面の所定の位置にペ
ースト状インクが印刷されることになる。
【0004】プリント配線基板上に回路部品を搭載、半
田付けして回路装置を製造する場合、幾つかの印刷工程
を経る必要がある。半田ペーストの印刷工程では、既に
プリント配線基板上に回路部品が搭載された状態で、さ
らに別の回路部品を搭載するため、プリント配線基板上
のランド電極上に半田ペーストを印刷する工程もある。
このような場合、プリント配線基板上に既に搭載されて
いる回路部品を避けるため、下面に凹状の空間を有する
メタルマスクが使用されている(例えば実開昭63−1
06664号公報)。このようなプリント配線基板上に
既に搭載された回路部品を避けるため、下面に凹状の空
間を有するメタルマスクを製造する手段として、従来
は、金属板をプレスにより塑性加工して凹部を形成する
手段や、電鋳によりレプリカ状のメッキ膜を作ることに
より、凹部を有するメタルマスクを作る手段等が採用さ
れている(例えば、特開平6−31890号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとしている課題】前記のように、塑
性加工で下面に凹状の空間を形成するメタルマスクの製
造手段では、凹部を形成するためのメタルマスクの一部
を塑性変形したときに、メタルマスクの凹部の周囲にも
加工歪みが及ぶ。この加工歪みにより、半田ペーストを
印刷するための印刷孔の位置や形状の精度が悪くなる。
このため、細密なプリント配線基板上への半田ペースト
等の印刷には適さない。電鋳によりメタルマスクを製造
する手段では、加工歪みの問題は無いが、母型金属の機
械加工、フォトレジストの印刷、メッキ、フォトレジス
トの除去、メッキ、さらにメッキ膜の剥離等の工程を経
る必要があり、製造に多くの手数がかかる。しかも、得
られたメタルマスクの板厚にバラツキが生じやすい。
【0006】本発明は、このような従来のメタルマスク
の製造技術の課題に鑑み、板厚のバラツキや加工歪みが
小さく、印刷物の印刷面上にある突出物を覆うことがで
きる凹状の空間を有するメタルマスクを得るものであ
る。しかも、そのメタルマスクを簡便に得ることができ
るようにすることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明では、この目的を
達成するため、半田ペースト等のペースト状インクを通
す印刷孔4と、既に印刷物bの印刷面上に搭載されてい
る回路部品等の突出物aに対応して突出物通過孔2とを
設けた板状のマスク板1とは別に、下方が開口した容器
状のカバー5を作り、このカバー5を突出物通過孔2の
部分に取り付け、そのカバー5の周囲の縁を突出物通過
孔2の周囲に溶接等の手段で固着し、且つシールするも
のである。ここでは、突出物通過孔2を覆うように設け
たカバー5の内部空間が、印刷面上の突出物aを避ける
凹部となる。
【0008】すなわち、本発明によるメタルマスクは、
印刷物bの印刷面上にペースト状インクを印刷する印刷
孔4を有するメタルマスクにおいて、印刷物bの印刷面
上にペースト状インクを印刷するパターンに対応して印
刷孔4が設けられると共に、印刷物bの印刷面上に設け
られた突出物aに対応して突出物通過孔2が設けられた
板状のマスク板1と、下面が開口する容器状に形成され
たカバー5とを有し、このカバー5の開口部の周囲の縁
部が前記マスク板1の突出物通過孔2の周囲に固着され
ることを特徴とする。
【0009】そして、このようなメタルマスクを製造す
るには、まず、板状のマスク板1の印刷物aの印刷面上
にペースト状インクを印刷する位置に対応する印刷孔4
と、マスク板1の印刷物bの印刷面上に設けられた突出
物aに対応する突出物通過孔2を穿孔する。また、下面
が開口する容器状に形成されたカバー5を作り、このカ
バー5の開口部の周囲の縁部を前記マスク板1の突出物
通過孔2の周囲に固着する。マスク板1に印刷孔4と突
出物通過孔2を穿孔する工程は、レーザー加工により行
うことができる。
【0010】このようなメタルマスクでは、マスク板1
に、予め作っておいた別体のカバー5を取り付けること
により、突出物通過孔2を覆う凹部が形成できるため、
印刷孔4を有するマスク板1に板厚のバラツキや加工歪
みが生じにくい。従って、凹部の形成のために、印刷孔
4のずれや変形等が生じることなく、設計に従い設けた
通りの印刷孔4の精度を維持することができる。例えば
カバー5は、その開口部の周囲をマスク板1の突出物通
過孔2の周囲にレーザ溶接することにより取り付けるこ
とができ、カバー5の取り付けも簡単である。また、カ
バー5とマスク板1との継ぎ目をシール材8によりシー
ルすることにより、ペースト状インクの漏れの無いメタ
ルマスクが得られる。
【0011】カバー5とマスク板1とは、マスク板1の
突出物通過孔2とカバー5の下面の開口部とを位置決め
する位置決め手段を有すると、カバー5を突出物通過孔
2に対して正確な位置に取り付けることができる。この
ような位置決め手段としては、カバー5の開口部の周囲
の縁部から突設された差込片7と、この差込片7がその
位置に対応してマスク板1の突出物通過孔2の周囲に設
けられ、差込片7が係合される係合部3、3’との組み
合わせをあげることができる。マスク板1の係合部3
は、カバー5の差込片7が嵌合される通孔が一般的であ
るが、突出物通過孔2の内周に設けた凹部からなる係合
部3’を形成し、ここにカバー5の差込片7を嵌合する
ようにしてもよい。
【0012】カバー5は、プレス等の塑性加工により形
成されたものでもよいが、レーザー加工等の手段によ
り、所定の形状の板状素材10を切り出し、且つこの板
状素材10を折り曲げて容器状に形成したものがより簡
便に製作できる。このカバー5を形成する板状素材10
は、それを折り曲げる位置に切り込み13を有すると、
折り曲げに容易である。この切り込み13は、これに沿
って板状素材10を折り曲げた後、シール部材9により
シールすることにより、ペースト状インクの漏れを防止
できる。
【0013】また、プレス等の塑性加工によりカバー5
を成型する際に、カバー5の折曲部14に生じるクラッ
クをレーザ溶接し、シールしてもよい。カバー5の開口
部の周囲をマスク板1の突出物通過孔2の周囲にレーザ
溶接するのと前後して、カバー5の折曲部14のクラッ
クをレーザ溶接することにより、レーザ溶接だけでカバ
ー5の取り付けが可能である。このような手段をとるこ
とにより、カバー5を形成するための板状部材10の切
り出し、マスク板1の突出物通過孔2の穿孔、カバー5
の突出物通過孔2の周囲への溶接、カバー5の折曲部1
4に生じるクラックのシールを、何れもレーザ加工によ
り行うことができ、メタルマスクの製造がレーザ加工と
いう単一の手段により可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図1は、本発明によるメタルマスクの例を分解して示し
たものである。同図に示すように、このメタルマスク
は、マスク板1とカバー5とからなっている。マスク板
1は、ステンレス等の薄い金属板からなり、このマスク
板1には、半田ペースト等のペースト状インクを通す印
刷孔4が所定の印刷パターンに従って配置されている。
すなわち、印刷孔4はプリント配線基板に半田ペースト
を印刷しようとする位置に穿孔されている。
【0015】さらにこのマスク板1には、プリント配線
基板等の印刷物の印刷面上にある突出物を避けるために
突出物通過孔2が設けられている。この突出物通過孔2
は、プリント配線基板等の印刷物の印刷面上にある突出
物の位置に対応して設けれら、突出物の印刷面への投影
面より大きく穿孔されている。図1の例では、マスク板
1のほぼ中央に正方形の突出物通過孔2が穿孔されてい
る。
【0016】この突出物通過孔2の周囲には、突出物通
過孔2を囲むように、位置決め手段である係合部3とし
て、通孔が穿孔されている。この係合部3は、後述する
カバー5の開口縁に設けた差込片7に対応する位置と形
状で穿孔されている。前記の印刷孔4、突出物通過孔2
及び係合部3は、レーザ加工やエッチング加工等の手段
で穿孔するのが適当である。
【0017】他方、カバー5は、下方が開口した容器状
のもので、図1に示すものは、平面が正方形、側面が台
形を呈している。このカバー5は、プリント配線基板等
の印刷面上にある回路部品等の突出物を収納し、覆うも
のである。従って、カバー5の内部空間は、突出物より
広く形成されている。また、カバー5の開口部の周囲の
下縁は、前記マスク板1の突出物通過孔2により大きく
形成されている。カバー5の開口部の周囲の下縁からは
差込片7が突設されており、この差込片7は、前記マス
ク板1の係合部3に適合する寸法を有している。また、
これらの差込片7は、マスク板1の係合部3に適合する
位置に配置されている。
【0018】このようなカバー5は、寸法が標準化され
た回路部品等については、プレス等により板材を打ち抜
き、さらに打ち抜いた板状素材を絞り加工する等の手段
で製造してもよい。しかし、多数製造することが少ない
メタルマスクの製造においては、板材から所定の形状の
板状素材をレーザー加工等の手段で切り出し、これを折
り曲げて作るのが有利である。図3は、レーザー加工に
より板材から所定の形状で切り出された板状素材10の
例を示しており、これは図1に示すカバー5の展開品で
ある。
【0019】図3に示すように、板状素材10は、カバ
ー5の上面となる中央の正方形の部分の周囲に細長い切
り込み13が配列され、カバー5の上面となる部分は、
これらの切り込み13により囲まれている。この切り込
み13は、板状素材10をそこで曲げやすくするための
ものであり、レーザー加工等により形成される。この切
り込み13は、図示のような細長いスリット状の開口で
あっても、また板状素材10の裏面に設けられた溝状の
ものであってもよい。板状素材10の四隅の部分、すな
わちカバー5の上面となる部分の頂点の部分から、外側
に開くようなV字形の切欠き12が設けられている。さ
らに、板状素材10の四辺には、前記カバー5の差込片
7となる突起11が突出している。
【0020】このような板状素材10を前記切り込み1
3に沿って一方に折り曲げ、V字形の切欠き12を合わ
せ、レーザ溶接やロウ付け等の手段で接合するか、また
は接着剤等で接着することにより、図1に示すようなカ
バー5として組み立てられる。接合部分はシールし、ま
た切り込み13が図示のようなスリット状の通孔である
場合は、その部分もシールする。
【0021】このようにして板状素材10から組み立て
られたカバー5は、図1に示す状態から、マスク板1の
突出物通過孔2を塞ぐように位置合わせし、さらにカバ
ー5の差込片7をマスク板1の係合部3に位置合わせ
し、差し込む。これと同様に、カバー5の開口部の周り
の下縁をマスク板1の突出物通過孔2の周囲の部分に当
接する。この状態では、マスク板1の突出物通過孔2が
カバー5によって閉じられると共に、カバー5の内部
に、突出物通過孔2によって下方に開口した凹状の空間
が形成される。この状態を図2に示す。
【0022】マスク板1とカバー5の接合部分は、必要
に応じてレーザ溶接やロウ付け等の手段で接合するか、
或いは接着剤により接着する。さらに、必要な場合は、
その接合部を内側からシール材8でシールする。これに
より、図2に示すようなメタルマスクが完成する。図2
において、符号9は、スリットである折り曲げ後の切り
込み6の部分を内側からシールしたシール材である。
【0023】このようなメタルマスクは、図4に示すよ
うにして、プリント配線基板等の印刷物bの印刷面上に
載せる。突出物通過孔2及びカバー5は、印刷物の印刷
面上の回路部品等の突出物aの位置に対応しているた
め、突出物aが突出物通過孔2からカバー5の中に収ま
る。このため、マスク板1を印刷物bの印刷面に密着し
て載せることができる。この状態で、マスク板1上に半
田ペースト等のペースト状インクを付与し、これをスキ
ージによりマスク板1上に展開することにより、マスク
板1上に設けられた印刷孔4にペースト状インクが充填
される。このとき突出物aはカバー5で覆われているた
め、突出物aにはペースト状インクは付着しない。その
後、マスク板1を印刷物aの印刷面から離すことによ
り、印刷孔4内に充填されたペースト状インクのみが印
刷物bの印刷面に残り、ペースト状インクの印刷が完了
する。図4では、カバー5の部分のみを拡大して示して
いるが、ペースト状インク及びスキージは図示していな
い。
【0024】図5に本発明によるメタルマスクの他の例
を示す。前述の例では、マスク板1に設けた突出物通過
孔2及びカバー5の平面形状は正方形であったが、この
例では、マスク板1に設けた突出物通過孔2及びカバー
5の平面形状が八角形となっている。プリント配線基板
に既に搭載されている回路部品等の突出物aの中には、
平面が円形やそれに近い形状を有するものがある。その
ような場合は、図5に示すような平面八角形、或いは平
面円形等の突出物通過孔2を設け、その形状に対応した
カバー5を取り付けると、スペースの点で有利である。
【0025】図6は、図5に示すメタルマスクに使用す
るカバー5を作るための板状素材10の形状の例であ
る。図5に示す板状素材10は、カバー5の上面となる
部分は、八角形であり、同図の例では、正八角形となっ
ている。もちろん正八角形ではなく、不等辺八角形であ
ってもよい。このカバー5の上面となる部分を囲んで、
その周囲に細長い切り込み13が配列されている。板状
素材10の周辺部には、カバー5の上面となる部分の頂
点の位置から外側に開くようなV字形の切欠き12が設
けられている。図5の例では、カバー5の上面となる部
分が正八角形であるため、切欠き12は等角度間隔に放
射状に8つ設けられている。さらに、板状素材10の八
辺には、前記カバー5の差込片7となる突起11が突出
している。
【0026】この板状素材10もまた、前記の例と同様
にして、前記切り込み13に沿って一方に折り曲げ、V
字形の切欠き12を合わせ、レーザ溶接やロウ付け等の
手段で接合するか、または接着剤等で接着することによ
り、図5に示すようなカバー5として組み立てられる。
さらに、接合部分や切り込み2を、必要に応じてシール
する。
【0027】このようにして板状素材10から組み立て
られたカバー5は、図5に示す状態から、前述の例と同
様にして、カバー5の差込片7をマスク板1の係合部3
に嵌め込みながら、マスク板1の突出物通過孔2を塞ぐ
ように組み付ける。そして、必要に応じてカバー5とマ
スク板1との接合部をレーザ溶接等の手段で固定し、接
合部や折り曲げ後の切り込み6の部分をシールする。こ
れにより、メタルマスクが完成する。これらの点は、前
述の例と全く同様である。このメタルマスクも前述の例
とその使用方法は異なることなく、同様にして使用する
ことができる。
【0028】図7は、図5に示すメタルマスクの変形例
を示す。図1〜図4で示した例及び図5及び図6で示し
た例は、何れもマスク板1の係合部3が通孔であった。
これに対し、図7で示した例では、マスク板1の係合部
3’が突出物通過孔2と一体になった切欠き状の凹部か
らなっている。この凹状の係合部3’は、マスク板1に
設けた突出物通過孔2の周囲から放射状に切り込まれて
いる。カバー5は、前述の図5及び図6で示した例のも
のと同様であり、このカバー5の差込片7を前記係合部
3’に差し込んでカバー5をマスク板1に取り付ける。
その他の点は、前述の図5及び図6で示した例と同様で
ある。
【0029】図8〜図10は、メタルマスクの他の変形
例を示す。前述したように、切り出した板状素材10を
折り曲げたときに、図10に示すように折曲部14にク
ラックを生じる。また、板状素材10のV字形の切欠き
12を接合した接合部15にも隙間が生じる。そこで、
この例では、前記の折曲部14に生じるクラックをレー
ザ溶接し、シールすると共に、板状素材10のV字形の
切欠き12の接合部15の隙間もレーザ溶接してシール
している。さらに、カバー5の開口縁7’に対応してメ
タルマスク1の突出物通過孔2の周囲に溝状の係合部
3”を設け、この係合部3”に前記カバー5の開口縁
7’を嵌め込み、この部分をレーザ溶接し、シールす
る。この変形例では、レーザ加工による切り出しと溶接
のみで突出物通過孔2にカバー5を取り付けてシール
し、メタルマスクを容易に製造することができる利点が
ある。
【0030】前述した3つの例では、マスク板1に設け
た突出物通過孔2及びカバー5の平面形状が何れも多角
形であったが、それらは円形やその他の形状であっても
よい。特に、印刷物bの印刷面に複数の突出物がある場
合、それらの突出物aを個々にカバー5で覆うことな
く、一体のカバー5で覆うような場合は、その配置に合
わせた特殊な形状の突出物通過孔2とカバー5を使用す
る場合もある。この場合も、基本的に前記の各例と同様
にして実施することが出来るのは言うまでもない。
【0031】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、印
刷孔4を有するマスク板1に板厚のバラツキや加工歪み
が小さく、印刷物bの印刷面上の突出物aを避ける凹部
を形成することができるので、印刷孔4の形状及び位置
等の精度が良好なメタルマスクが得られる。さらに、単
品あるいは少量のメタルマスクを作る場合でも、レーザ
ーカットやレーザー溶接等のレーザー加工技術を使用し
て簡単に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるメタルマスクの例を示す分解斜視
図である。
【図2】同メタルマスクのカバーの周辺部を示す要部縦
断側面図である。
【図3】同メタルマスクのカバーを作るための板状素材
の例を示す展開図である。
【図4】同メタルマスクの使用状態を示すカバーの周辺
部の要部縦断側面図である。
【図5】本発明によるメタルマスクの他の例を示す分解
斜視図である。
【図6】同メタルマスクのカバーを作るための板状素材
の例を示す展開図である。
【図7】本発明によるメタルマスクの他の例を示す分解
斜視図である。
【図8】本発明によるメタルマスクの他の例を示す分解
斜視図である。
【図9】同メタルマスクのカバーの周辺部を示す要部縦
断側面図である。
【図10】同メタルマスクの折曲部と接合部のレーザ溶
接前の状態を示す要部拡大斜視図である。
【符号の説明】
1 マスク板 2 突出物通過孔 3 マスク板の係合部 3’ マスク板の係合部 3” マスク板の係合部 4 マスク板の印刷孔 5 カバー 6 カバーの切り込み 7 カバーの差込片 8 シール材 9 シール部材 10 板状素材 13 板状素材の切り込み 14 カバーの折曲部 15 カバーの接合部 a 印刷物の突出物 b 印刷物

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 印刷物(b)の印刷面上にペースト状イ
    ンクを印刷する印刷孔(4)を有するメタルマスクにお
    いて、印刷物(b)の印刷面上にペースト状インクを印
    刷するパターンに対応して印刷孔(4)が設けられると
    共に、印刷物(b)の印刷面上に設けられた突出物
    (a)に対応して突出物通過孔(2)が設けられた板状
    のマスク板(1)と、下面が開口する容器状に形成され
    たカバー(5)とを有し、このカバー(5)の開口部の
    周囲の縁部が前記マスク板(1)の突出物通過孔(2)
    の周囲に固着されていることを特徴とするメタルマス
    ク。
  2. 【請求項2】 カバー(5)とマスク板(1)との継ぎ
    目がシール材(8)によりシールされていることを特徴
    とする請求項1に記載のメタルマスク。
  3. 【請求項3】 カバー(5)の開口部の周囲が、マスク
    板(1)の突出物通過孔(2)の周囲にレーザ溶接され
    ていることを特徴とする請求項1または2に記載のメタ
    ルマスク。
  4. 【請求項4】 カバー(5)とマスク板(1)とは、マ
    スク板(1)の突出物通過孔(2)とカバー(5)の下
    面の開口部とを位置決めする位置決め手段を有すること
    を特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のメタルマス
    ク。
  5. 【請求項5】 カバー(5)の開口部の周囲の縁部がそ
    の位置に対応してマスク板(1)の突出物通過孔(2)
    の周囲に設けられた係合部(3)、(3’)、(3”)
    に係合されていることを特徴とする請求項1〜4の何れ
    かに記載のメタルマスク。
  6. 【請求項6】 マスク板(1)の係合部(3)は、カバ
    ー(5)の差込片(7)が嵌合される通孔からなること
    を特徴とする請求項5に記載のメタルマスク。
  7. 【請求項7】 マスク板(1)の係合部(3’)は、突
    出物通過孔(2)の内周に設けられ、カバー(5)の差
    込片(7)が嵌合される凹部からなることを特徴とする
    請求項5に記載のメタルマスク。
  8. 【請求項8】 マスク板(1)の係合部(3”)は、カ
    バー(5)の差込片(7)が係合される溝からなること
    を特徴とする請求項5に記載のメタルマスク。
  9. 【請求項9】 カバー(5)は、板材から所定の形状の
    板状素材(10)を切り出し、且つこの板状素材(1
    0)を折り曲げて容器状に形成されたものであることを
    特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のメタルマス
    ク。
  10. 【請求項10】 カバー(5)を形成する板状素材(1
    0)は、それを折り曲げる位置に切り込み(13)を有
    することを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載のメ
    タルマスク。
  11. 【請求項11】 切り込み(13)は、それにそって板
    状素材(10)を折り曲げた後、シール部材(9)によ
    りシールされることを特徴とする請求項10に記載のメ
    タルマスク。
  12. 【請求項12】 カバー(5)は、その折曲部及び継合
    せ部がレーザ溶接によりシールされていることを特徴と
    する請求項9に記載のメタルマスク。
  13. 【請求項13】 印刷物(b)の印刷面上にペースト状
    インクを印刷する印刷孔(4)を有するメタルマスクを
    製造する方法において、印刷物(b)の印刷面上にペー
    スト状インクを印刷する位置に対応する印刷孔(4)
    と、印刷物(b)の印刷面上に設けられた突出物(a)
    に対応する突出物通過孔(2)とを穿孔する工程と、下
    面が開口する容器状に形成されたカバー(5)を作る工
    程と、このカバー(5)の開口部の周囲の縁部を前記マ
    スク板(1)の突出物通過孔(2)の周囲に固着する工
    程とを有することを特徴とするメタルマスクの製造方
    法。
  14. 【請求項14】 マスク板(1)に印刷孔(4)と突出
    物通過孔(2)を穿孔する工程は、レーザー加工により
    行われることを特徴とする請求項13に記載のメタルマ
    スクの製造方法。
  15. 【請求項15】 カバー(5)は、レーザ加工により切
    り出された板状素材(10)から作られることを特徴と
    する請求項13または14に記載のメタルマスクの製造
    方法。
  16. 【請求項16】 カバー(5)は、その折曲部及び接合
    部がレーザ溶接によりシールされることを特徴とする請
    求項13〜15の何れかに記載のメタルマスクの製造方
    法。
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