JPH1125760A - 異方性導電フィルム - Google Patents

異方性導電フィルム

Info

Publication number
JPH1125760A
JPH1125760A JP17843397A JP17843397A JPH1125760A JP H1125760 A JPH1125760 A JP H1125760A JP 17843397 A JP17843397 A JP 17843397A JP 17843397 A JP17843397 A JP 17843397A JP H1125760 A JPH1125760 A JP H1125760A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
diameter
conductive
film
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17843397A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Terasaka
信治 寺坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP17843397A priority Critical patent/JPH1125760A/ja
Publication of JPH1125760A publication Critical patent/JPH1125760A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Landscapes

  • Non-Insulated Conductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】接続すべき電極表面の酸化膜を破って、接続す
べき基板面の電極どうしを確実かつ容易に接続する異方
性導電フィルムを提供する。 【解決手段】異方性導電フィルム中の導電粒子に、粒径
が2〜15μmの金属粒子2と、粒径が0.01〜0.
05μmの金属微粒子3の二種類の粒子を用い、それら
を混在させて接着剤中4に分散させる。この異方性導電
フィルムを用いて接続すべき基板上の電極間に介在させ
て圧着すると、金属微粒子3が電極表面の酸化膜を破壊
し、接続すべき上下の電極どうしの間の電気的接続を確
実なものにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電フィル
ムに関し、特に、対面する二枚の基板どうしに対しては
導電性を示す一方で、同一基板内の回路や電極どうしに
対しては絶縁性を示す異方性導電フィルムに関する。
【0002】
【従来の技術】異方性導電フィルム(以下、ACFと記
す)は、例えば印刷配線板のような薄板表面に回路や電
極が形成された基板を対面させ、二つの基板の対向する
電極どうしを電気的に接続する目的で開発されている材
料である。図5にその断面図を示すように、剥離性基材
1上に導電性粒子11を含有した接着剤4を塗布したも
のであり、例えば特開昭61−55809号公報などに
開示されている。
【0003】図6に、ACFを用いて基板どうしを接続
したときの断面図を示す。図6を参照して、先ず、片方
の基板(この図の例では、ガラス基板9)上に、ACF
をその接着剤層が基板表面に形成されている電極8側に
向くようにして貼り付け、剥離性の基材を剥がす。次
に、もう片方の基板(同、フィルム6)を、その電極7
をガラス基板側の電極8に位置合せして、基材を取り去
った後のACF上に載置し加圧、加熱圧着すると、接着
剤4が硬化し、基板9,6どうしの接着がなされる。こ
のとき、両基板の電極7,8間に導電性粒子11が入り
込み、基板9,6相互間の電気的接続がなされる。一
方、同一基板内の横方向については、隣接する電極8,
8どうし又は電極7,7どうしの間が接着剤層4で満た
されるので、絶縁性が保たれる。このような、紙面垂直
方向(基板9,6に垂直な方向)には導電性を有し、一
方、基板面に水平な方向には絶縁性を持つACFを用い
ることで、液晶表示素子などの狭ピッチな電極どうしの
接続が可能になっている。
【0004】ところで、ACF中に含ませる導電性粒子
には、ACF自体の厚さ、接続すべき電極或いは回路の
微細さなどに応じて粒子径や配合量に好適な範囲があ
り、例えば前述の特開昭61−55809号公報では、
接着剤中の導電性粒子の平均粒子径を0.01〜50μ
mとし、配合量を0.1〜10体積%としている。又、
特開昭61−74205号公報は、塗料として塗装して
薄膜を形成した際に垂直方向の導電性と水平方向の絶縁
性とが確実に得られるようにするために、直径が0.5
μm以下で配合量が0.2〜20重量%の導電性粒子
と、直径が1μm以上で配合量が10〜75重量%の導
電性粒子の二種類の粒子を混在させたACFを開示して
いる
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術に
よるACFを用いて、例えば電極間(同一基板内の隣接
する電極間の距離)が30μm、幅が40μmの電極が
形成された基板どうしを接続したとすると、粒子径が5
0μmであれば、圧着後に、隣接する電極間に導電性粒
子が跨って入り込むというショート不良が発生しやす
い。また、特開昭61−74205号公報のように導電
性粒子の配合量を75重量%にすると、図7(a)に示
すような導電性粒子どうしの数珠繋ぎが発生し、やはり
隣接電極間のショート不良が生じやすい。従って、導電
性粒子の粒径、配合量については、用途に応じて最適と
なるように設計する必要がある。
【0006】ところで、接続される電極表面が酸化しや
すいような金属、例えば図7(b)に示すような、ガラ
ス基板9上に成膜されたクロム(Cr)電極8にACF
による接続技術を適用すると、Cr電極表面の数nmの
酸化膜10が絶縁膜として介在し、接続不良が生じる。
この絶縁性のCrの酸化膜は、熱圧着の際に大きな荷重
を加えることにより、破壊することができる。しかし、
この方法は、接続される相手側の電極の材質が柔らかい
ときは、必ずしも十分な効果をもたらすとは限らない。
例えば、図7(b)に示すように、接続相手の電極7が
SnやCu製の電極7である場合には、導電性粒子11
がそちら側の電極7に食い込んでしまうため、Crの酸
化膜10を十分に破ることができない。
【0007】電極表面の酸化膜を破って導通を得る方法
として、特開平5−47428号公報は、多孔性絶縁膜
の貫通孔部分に突起電極構造の導電部を形成した異方性
導電膜を用いる技術を開示している。上記突起電極構造
の導電部は、例えばAuやNiのような耐酸化性金属中
に、アルミナや炭化珪素のような高硬度の微粒子を含ま
せたものである。このような構造の異方性導電膜の導電
部を接続すべき両基板の電極間に介在させ、超音波を加
えながら圧着すると、高硬度微粒子が電極表面の自然酸
化膜を破り、良好な接触が得られる。しかし、この方法
には、電極どうしの接着を突起電極構造の導電部のみで
行っていることから、振動などによるストレスに弱いこ
とと、突起電極部の作製にコストが掛るという問題があ
った。
【0008】従って、本発明は、電子部品の接続に用い
るACFにおいて、接続すべき電極表面の酸化膜を破っ
て、電子部品電極どうしを確実かつ容易に接続するAC
Fを提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の異方性導電フィ
ルムは、剥離性基材と、その剥離性基材上に形成された
接着性の絶縁性樹脂膜と、前記絶縁性樹脂膜中に分散さ
れた導電性粒子とを含んでなる異方性導電フィルムにお
いて、前記導電性粒子に、粒径が2〜15μmの大径の
金属粒子と、粒径が0.01〜0.05μmの小径の金
属粒子とを用い、前記二種類の金属粒子を前記絶縁性樹
脂膜中に分散させ混在させたことを特徴とする。
【0010】又は、前記導電性粒子に、粒径が2〜15
μmの表面が金属めっきされた大径の樹脂粒子と、粒径
が0.01〜0.05μmの小径の金属粒子とを用い、
前記大径の樹脂粒子と前記小径の金属粒子とを前記絶縁
性樹脂膜中に分散させ混在させたことを特徴とする。
【0011】又は、前記導電性粒子に、粒径が2〜15
μmの表面が金属めっきされた大径のセラミック粒子
と、粒径が0.01〜0.05μmの小径の金属粒子と
を用い、前記大径のセラミック粒子と前記小径の金属粒
子とを前記絶縁性樹脂膜中に分散させ混在させたことを
特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、実施例を用い図面を参照して説明する。図1は、本
発明の第1の実施例によるACF断面図である。図1を
参照して、本実施例のACFは、剥離性基材1と、接着
に寄与するエポキシ系接着剤4と、電気的な接続を行う
役目を果たす金属粒子2及びその金属粒子より粒径の小
さい金属微粒子3とからなる。粒子の製造法は一般に粉
体の製造に用いられているものと同じで、金属粒子2は
噴霧法水熱法等、金属微粒子3はプラズマジェット加熱
法などにより製造する。
【0013】図2に、ガラス基板9上に成膜されたCr
電極8と、フイルム6上に形成されたCu電極7とを本
実施例のACFを用いて接続したときの断面図を示す。
フィルム6の厚みは75μm、Cu電極7の厚みは18
μm、Snメッキ厚は0.2μmであり、電極幅は40
μmである。一方、ガラス基板上のCr電極8は、膜厚
が0.2μmであり、その表面に電極母材であるCrが
自然に酸化されてできた5nmの酸化膜10が形成され
ている。次に、図2中に丸で囲ったA部の拡大図を図3
(a)に示し、B部の拡大図を図3(b)に示す。図2
及び図3を参照して、フィルム6上に形成されたCu電
極7に、大きい方の金属粒子2が食い込んでいる。一
方、ガラス基板9上のCrの酸化膜10には小さい方の
金属微粒子3が食い込んで、電極母材であるCrの表面
と直接接触している。これにより、電極間の電気的接続
が確実になされる。このように小径の金属微粒子3は、
圧着の際に応力を集中させ、Crの酸化膜を破る働きを
する。一方、上下の基板同士の接着は、ガラス基板9−
フィルム6間に満たされた接着剤4がその役割を担って
いる。
【0014】本実施例においては、先ず、接着剤のもと
になるエポキシ系の樹脂および硬化剤と、溶剤と、金属
粒子および金属微粒子とを所定の割合で混合し、撹拌し
て、粒子を均一に分散させた。次に、この樹脂を剥離性
の基材上に10〜30μmの厚みに塗布し、40〜60
℃の温度で数分間乾燥させてシート状のACFとした
後、用途に応じて1mm〜10mm程度の幅に切断し
た。
【0015】次いで、ガラス基板9のCr電極形成面に
ACFを貼り付け、剥離性の基材1を剥がし、フィルム
6上に形成されたCu電極7をガラス基板9側の電極8
に位置合せし、フィルム6の側から加圧、加熱圧着し
た。このとき、径の小さい金属微粒子3は、電極7,8
と金属粒子2との間に挟まった状態となる。
【0016】本実施例によるACFは、剥離性基材1の
厚みは50μm、接着剤4の厚みは15μmである。導
電粒子の平均径は、径の大きい方の金属粒子は直径5μ
m、小いさい方の金属微粒子は直径0.03μmであ
る。それぞれの配合比は、剥離性基材を除いた総重量に
対して、大径の金属粒子2は1重量%、小径の金属微粒
子3は0.02重量%である。
【0017】この配合比にしたのは圧着後、隣接電極
7,7又は8,8間でショートを起こさない範囲で、金
属粒子2と電極7,8との間に確実に金属微粒子3が挟
まるようにするためである。また、金属粒子2の大きさ
を2〜15μmの範囲にしたのは、被接続電極7,8間
でのオープンや隣接電極でのショート不良を発生させな
いためである。粒径が2μmより小さいとCu電極7表
面にある1μm程度の凹凸を十分に吸収できず接続が不
安定になり、オープン不良が発生する。逆に、粒径が1
5μmを越えると、電極ピッチにもよるが、2〜3個程
度の導電粒子が数珠つなぎになっただけで隣接電極間に
ショート不良が生じる。径の小さい金属微粒子3は応力
を集中させるために用いるので、大きい方の金属粒子2
に対し1/100以下の大きさが好ましく、一方、厚さ
数nmのCrの酸化膜10を破る大きさが必要であるの
で、直径0.01〜0.05μmの範囲が適当である。
これら金属粒子2及び金属微粒子3には、硬い材質であ
るNiを使用した。尚、粒子は、硬い材料で導電性のあ
るものであればよいので、Co、Ti或いはWなどでも
良い。
【0018】次に、本発明の第二の実施例について、説
明する。図4は、本発明の第2の実施例によるACFの
断面図である。本実施例では、径の大きい方の導電粒子
に、表面を金属めっきしたプラスチック粒子5を用いて
いる点が、第1の実施例と異なっている。めっきの材質
はNiである。プラスチック粒子は、材質はポリスチレ
ンで、粒径は5μmである。めっきの厚さは、金属微粒
子3の粒径より厚ければよいので、0.1〜0.5μm
とした。
【0019】プラスチック粒子の替わりにアルミナなど
のセラミック粒子に金属めっきしたものも、同等に使用
可能である。このときも、粒径は5μm、めっき厚は
0.1〜0.5μmが適当である。このように、大径の
導電粒子は必ずしも純粋な金属でなくてもよいので、粒
子の製造コストが安価なもの選択するとよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の異方性導
電フィルムは、導電性粒子に大小2種類の粒子を用い、
それぞれの粒径を特定の範囲に限定している。
【0021】これにより本発明によれば、小径の導電粒
子に応力を集中させて電極上の自然酸化膜破壊能力を高
めることができるので、同一基板上では隣接する電極間
にショートを生じさせることなく、接続すべき基板間で
は電極間を確実に接続して、接続の信頼性を向上させる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例によるACFの断面図で
ある。
【図2】第1の実施例において、ガラス基板上の電極と
フィルム上の電極とを接続したときの断面図である。
【図3】図2中に丸で囲って示すA部およびB部の拡大
断面図である。
【図4】本発明の第2の実施例によるACFの断面図で
ある。
【図5】従来の技術によるACFの一例の断面図であ
る。
【図6】図5に示すACFを用いてガラス基板上の電極
とフィルム上の電極とを接続したときの断面図である。
【図7】従来の技術によるACF接続構造において、同
一基板上の隣接電極間にショートが生じた状態を示す断
面図および、電極表面の自然酸化膜によりオープンが発
生した状態を示す図である。
【符号の説明】
1 剥離性基材 2 金属粒子 3 金属微粒子 4 接着剤 5 プラスチック粒子 6 フィルム 7 Cu端子 8 Cr端子 9 ガラス基板 10 酸化膜 11 導電性粒子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 剥離性基材と、その剥離性基材上に形成
    された接着性の絶縁性樹脂膜と、前記絶縁性樹脂膜中に
    分散された導電性粒子とを含んでなる異方性導電フィル
    ムにおいて、 前記導電性粒子に、粒径が2〜15μmの大径の金属粒
    子と、粒径が0.01〜0.05μmの小径の金属粒子
    とを用い、前記二種類の金属粒子を前記絶縁性樹脂膜中
    に分散させ混在させたことを特徴とする異方性導電フィ
    ルム。
  2. 【請求項2】 剥離性基材と、その剥離性基材上に形成
    された接着性の絶縁性樹脂膜と、前記絶縁性樹脂膜中に
    分散させた導電性粒子とを含んでなる異方性導電フィル
    ムにおいて、 前記導電性粒子に、粒径が2〜15μmの表面が金属め
    っきされた大径の樹脂粒子と、粒径が0.01〜0.0
    5μmの小径の金属粒子とを用い、前記大径の樹脂粒子
    と前記小径の金属粒子とを前記絶縁性樹脂膜中に分散さ
    せ混在させたことを特徴とする異方性導電フィルム。
  3. 【請求項3】 剥離性基材と、その剥離性基材上に形成
    された接着性の絶縁性樹脂膜と、前記絶縁性樹脂膜中に
    分散させた導電性粒子とを含んでなる異方性導電フィル
    ムにおいて、 前記導電性粒子に、粒径が2〜15μmの表面が金属め
    っきされた大径のセラミック粒子と、粒径が0.01〜
    0.05μmの小径の金属粒子とを用い、前記大径のセ
    ラミック粒子と前記小径の金属粒子とを前記絶縁性樹脂
    膜中に分散させ混在させたことを特徴とする異方性導電
    フィルム。
JP17843397A 1997-07-03 1997-07-03 異方性導電フィルム Pending JPH1125760A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17843397A JPH1125760A (ja) 1997-07-03 1997-07-03 異方性導電フィルム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17843397A JPH1125760A (ja) 1997-07-03 1997-07-03 異方性導電フィルム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1125760A true JPH1125760A (ja) 1999-01-29

Family

ID=16048435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17843397A Pending JPH1125760A (ja) 1997-07-03 1997-07-03 異方性導電フィルム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1125760A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013037944A (ja) * 2011-08-09 2013-02-21 Takigawa Tadahiro 異方導電性膜および導電性コネクタ
WO2013129437A1 (ja) * 2012-03-02 2013-09-06 デクセリアルズ株式会社 接続体の製造方法、及び異方性導電接着剤
JP2015005503A (ja) * 2013-05-22 2015-01-08 積水化学工業株式会社 接続構造体
JP2015149313A (ja) * 2014-02-04 2015-08-20 日立化成株式会社 電子デバイス用接着剤及び電子デバイスの接着方法
JP2016040771A (ja) * 2015-08-27 2016-03-24 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、接合体及び接続方法
JPWO2018030438A1 (ja) * 2016-08-08 2019-06-13 積水化学工業株式会社 導通検査装置用部材及び導通検査装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013037944A (ja) * 2011-08-09 2013-02-21 Takigawa Tadahiro 異方導電性膜および導電性コネクタ
WO2013129437A1 (ja) * 2012-03-02 2013-09-06 デクセリアルズ株式会社 接続体の製造方法、及び異方性導電接着剤
JP2015005503A (ja) * 2013-05-22 2015-01-08 積水化学工業株式会社 接続構造体
JP2015149313A (ja) * 2014-02-04 2015-08-20 日立化成株式会社 電子デバイス用接着剤及び電子デバイスの接着方法
JP2016040771A (ja) * 2015-08-27 2016-03-24 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、接合体及び接続方法
JPWO2018030438A1 (ja) * 2016-08-08 2019-06-13 積水化学工業株式会社 導通検査装置用部材及び導通検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3400051B2 (ja) 異方性導電膜、その製造方法及びそれを使用するコネクタ
US6034331A (en) Connection sheet and electrode connection structure for electrically interconnecting electrodes facing each other, and method using the connection sheet
EP0914027A1 (en) Film-like adhesive for connecting circuit and circuit board
WO1996037913A1 (en) Semiconductor device having a semiconductor chip electrically connected to a wiring substrate
JPH09312176A (ja) 接続部材および該接続部材を用いた電極の接続構造並びに接続方法
JPS62188184A (ja) 異方導電性を有する回路接続用接着剤組成物および接着フイルム並びにこれらを用いた回路の接続方法
JPH08279371A (ja) 接続部材および該接続部材を用いた電極の接続構造並びに接続方法
JPH08148213A (ja) 接続部材、該接続部材を用いた電極の接続構造及び接続方法
JP4190424B2 (ja) 導電性粒子および接着剤
JPH0945731A (ja) 半導体チップの接続構造及びこれに用いる配線基板
JP3622792B2 (ja) 接続部材及び該接続部材を用いた電極の接続構造・接続方法
JPH1125760A (ja) 異方性導電フィルム
JP2004006417A (ja) 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JP3876993B2 (ja) 接着構造、液晶装置、及び電子機器
KR100251673B1 (ko) 서로 마주보는 전극들을 상호접속하기 위한 접속시트, 및이 접속시트를 사용하는 전극접속구조 및 접속방법
JP2001155540A (ja) 導電性微粒子、異方性導電接着剤及び導電接続構造体
JPH09306231A (ja) 導電性微粒子及び基板
JPH09147928A (ja) 接続部材
JPH11339558A (ja) 異方性導電接着剤及び導電接続構造体
JPH05174890A (ja) 接合構造
JPH08148210A (ja) 接続部材
JPH03101007A (ja) 異方導電フィルム
JP4155470B2 (ja) 接続部材を用いた電極の接続法
JPH0955279A (ja) 電極の接続方法および該方法で得た電極の接続構造
KR0178129B1 (ko) 이방 도전성 필름

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20000404