JPH11257419A - アクティブ型除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 除振能力に優れアクチュエータの破損を防止
しかつ制御が簡単なアクティブ型除振装置を提供する。 【解決手段】 アクティブ型除振装置１００は、床面１
１に設置される基台１０と、この基台１０の上面に配設
された４個の空気ばね４０によって上下及び水平方向に
移動可能に支持された被除振体を取付けるための定盤１
２とを備えている。定盤１２には、定盤１２における上
下及び水平方向の加速度を検出する振動センサ１８、２
０が配設されている。基台１０には、この定盤１２に上
下及び水平方向の変位を加えて上下及び水平方向に変位
させるための第１及び第２のアクチュエータ４２、４４
が配設されている。定盤１２の底面１２０と基台１０の
間には、定盤１２の上下及び水平方向の移動を規制する
規制手段５８が２個設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はアクティブ型除振装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造工場などにおいて使
用される超微細加工に用いる製造装置や超高倍率の電子
顕微鏡などの精密機器は、振動を極端に嫌う装置であ
り、振動がこの種の装置に悪影響を及ぼすのを防止する
ために除振装置が使用されている。除振装置は、外部の
振動などに影響されることなく高度の静止状態を維持す
ることのできる定盤を備え、この定盤上に、振動を嫌う
装置の全体またはその装置のうちの特に振動を嫌う部分
を取り付けて用いる。

【０００３】このような振動を嫌う装置に悪影響を及ぼ
す振動には、大きく分けて次の３種類のものがある。 （Ａ）外部環境に通常的に発生している微振動。例え
ば、振動を嫌う装置を設置した建物の近くを走行する車
両や、周辺の建設工事による地盤振動、その建物に設置
された空調設備やエレベータ及びその他の機械の作動に
よって発生する振動、それに、その建物内を人が歩行す
ることによって発生する振動などである。 （Ｂ）振動を嫌う装置そのものが発生する振動。例え
ば、この振動を嫌う装置が半導体リソグラフィ工程で用
いられるステップ・アンド・スキャン型のウェーハ露光
装置であった場合を例に説明すると、ウェーハ上の１箇
所の露光領域の露光を行う毎に、ウェーハを載置したウ
ェーハ・ステージとマスクを載置したマスク・ステージ
とが水平方向に走査されるために加速及び減速され、そ
の際に発生する揺動によって微振動が発生する。 （Ｃ）地震による振動。この振動の振幅及び加速度は小
さなものから大きなものまでさまざまであり、したがっ
てこの振動には、微振動から大振動までが含まれ得る。

【０００４】多くの除振装置は、上記（Ａ）及び（Ｂ）
の微振動を吸収して、振動を嫌う装置がそのような微振
動の影響を受けないようにすることを目的として設計さ
れており、上記（Ｃ）の地震による振動のうち比較的大
きな振動に対応することは、最初から予定していない。
例えば、半導体デバイスの集積度が現在ほど高くなく、
露光装置などが扱うパターンの線幅が現在ほど細かくな
かった頃は、パッシブ型除振装置が多く使用されてい
た。パッシブ型除振装置では、露光装置などの振動を嫌
う装置を取付ける定盤が空気ばねや防振ゴムなどの弾性
支持手段を介して、床面に固定された基台上に固定され
ており、その弾性支持手段の撓みによって外部からの微
振動が吸収され、また、その弾性支持手段と定盤及びそ
れに取り付けされた装置の質量とによって形成される振
動系の共振周波数を適当に設定することにより、露光装
置などが発生する微振動の振幅が抑制されるようにして
いた。

【０００５】ところが、このようなパッシブ型除振装置
は、その弾性支持手段が有する固有振動数以下の低振動
領域の振動に対しては除振効果が得られず、逆に振動を
増幅してしまうおそれがあり、この弾性支持手段の固有
振動数を下げるには限度があった。そして、半導体の集
積度が上昇してパターンの微細化が進行するにつれて、
このようなパッシブ型除振装置の除振能力では不充分と
なってきたため、最近ではアクティブ型除振装置が多用
されている。

【０００６】アクティブ型除振装置としては、図６に示
すように、床面に固定された基台１０上において定盤１
２を複数のピエゾアクチュエータ１４、１６を介して支
持するとともに、これらピエゾアクチュエータ１４、１
６によって定盤１２に上下及び水平方向の変位を与え、
この定盤１２に上下及び水平方向の振動の加速度を検出
する複数の振動センサ１８、２０を取り付けて構成され
たものがある。ピエゾアクチュエータ１４、１６と定盤
１２の間にはこれらピエゾアクチュエータ１４、１６に
作用するせん断力を吸収する弾性体１７を設けてピエゾ
アクチュエータ１４、１６の破損を防止している。な
お、図６の紙面前後方向にも不図示のピエゾアクチュエ
ータが水平方向のアクチュエータとして設けられてい
る。このアクティブ型除振装置では、各振動センサ１
８、２０の検出出力Ｓ１、Ｓ２を振動計増幅器２２で増
幅し、その増幅された検出出力に基づいて制御装置２４
がフィードバックやフィードフォワードなどの技法を用
いてピエゾアクチュエータ１４、１６を駆動するために
必要な駆動信号を生成し、これら駆動信号をアクチュエ
ータ駆動アンプ２６で増幅して駆動信号Ｄとしてピエゾ
アクチュエータ１４、１６及び不図示の前後方向のアク
チュエータに与えることで、定盤１２に取付けられた被
除振体に発生する振動を小さく抑えるようにしている。

【０００７】また、図７に示すように、上述したピエゾ
アクチュエータの代わりに空気圧によって駆動されるエ
アーアクチュエータ２８、３０を用いたものもある。こ
のアクティブ型除振装置は、各振動センサ１８、２０の
検出出力を振動計増幅器２２で増幅し、その増幅された
検出出力に基づいて制御装置２４が先と同様の技法を用
いてエアアクチュエータ２８、３０を駆動するために必
要な駆動信号を生成し、この駆動信号に基づいてエアア
クチュエータ圧力制御装置３２が空気圧Ａを生成してエ
アアクチュエータ２８、３０及び不図示の前後方向のエ
アアクチュエータに与えることで、定盤１２に取付けら
れた被除振体に発生する振動を小さく抑えるようにして
いる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したピエ
ゾアクチュエータを利用したアクティブ型除振装置では
変位量の少ないピエゾ素子を積層構造とすることにより
ピエゾアクチュエータが所望の変位量を得るようにして
いる。このように積層構造で形成されたピエゾアクチュ
エータは、せん断力や引っ張り力が作用すると容易に破
損してしまうおそれがあるので、過大な力が作用しない
ようにピエゾアクチュエータを保護する機構が必要とな
っている。一方、上述したエアーアクチュエータを利用
したアクティブ型除振装置では、ピエゾアクチュエータ
を用いたアクティブ型除振装置とは違って、取り扱いに
注意する必要はないが、エアーアクチュエータが流体
（空気）を用いているため、高周波領域の応答性が悪く
高周波領域の除振能力が劣るだけでなく、エアアクチュ
エータの変位特性が複雑な非線形性を有しているため、
制御装置がエアアクチュエータを駆動するための駆動信
号を生成する制御（演算処理）が複雑にならざるを得な
いという欠点がある。また、エアアクチュエータを駆動
するためには、比較的容量の大きなエアコンプレッサー
が必要となり装置の設置スペースが大きくなりがちであ
り、このエアコンプレッサーの電力消費がかさみコスト
もかかるという問題がある。

【０００９】本発明は前記事情に鑑み案出されたもので
あって、本発明の目的は、除振能力に優れ、アクチュエ
ータが破損されることがなく、アクチュエータの駆動制
御が簡単で、設置スペースとコストが少なくて済むアク
ティブ型除振装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、基台上において上下及び水平方向に移動可能
に支持され被除振体が取付けられる定盤と、前記定盤の
上下及び水平方向の加速度を検出する振動センサと、前
記基台と定盤との間に設けられ前記定盤に上下方向の変
位を加えて定盤を上下方向に変位させる第１のアクチュ
エータと、前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤に
水平方向の変位を加えて前記定盤を水平方向に変位させ
る第２のアクチュエータと、前記第１のアクチュエータ
と前記定盤の間に設けられ前記第１のアクチュエータに
作用するせん断力を吸収する第２の弾性体と、前記第２
のアクチュエータと前記定盤の間に設けられ前記第２の
アクチュエータに作用するせん断力を吸収する第２の弾
性体と、前記振動センサで検出した上下及び水平方向の
加速度に基づいて前記第１及び第２のアクチュエータを
駆動させて前記被除振体の振動を除去するアクティブ型
除振装置において、前記第１及び第２のアクチュエータ
は固体アクチュエータから構成されており、前記定盤と
前記基台との間に設けられ、前記被除振体を含む前記定
盤の重量を、前記被除振体を含む前記定盤が上下動でき
る状態で支える支持手段と、前記基台との間に設けら
れ、前記第１のアクチュエータを保持するとともに、非
駆動状態の前記第１のアクチュエータがその変位方向に
おいて前記定盤から受ける予圧縮力を調整する第１の調
整手段と、前記基台に設けられ、前記第２のアクチュエ
ータを保持するとともに、非駆動状態の前記第２のアク
チュエータがその変位方向において前記定盤から受ける
予圧縮力を調整する第２の調整手段と、前記基台と定盤
との間に設けられ前記定盤の上下方向の移動量を規制す
る上下規制手段と、前記基台と定盤との間に設けられ前
記定盤の水平方向の移動量を規制する水平規制手段とを
備えたことを特徴とする。また、本発明は、前記支持手
段が、前記基台と前記定盤の間に配設された空気ばね
と、前記空気ばねに空気を与えるエアコンプレッサー
と、前記エアコンプレッサーから前記空気ばねに与える
空気圧を制御する空気圧制御弁とを備えることを特徴と
する。また、本発明は、前記第１のアクチュエータは基
台に保持されたアクチュエータ保持部と前記アクチュエ
ータ保持部から進退するロッドを備え、前記第１の調整
手段は、前記アクチュエータ保持部を前記第１のアクチ
ュエータの前記変位方向においてその位置を調整するよ
うに構成されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記第２のアクチュエータは基台に保持されたアク
チュエータ保持部と前記アクチュエータ保持部から進退
するロッドを備え、前記第２の調整手段は、前記アクチ
ュエータ保持部を前記第２のアクチュエータの前記変位
方向においてその位置を調整するように構成されている
ことを特徴とする。また、本発明は、前記第１の弾性体
は、上下方向に加わる荷重に対しては剛く、かつ、水平
方向に加わる荷重に対しては柔らかいものであり、前記
第２の弾性体は、上下方向に加わる荷重に対しては柔ら
かく、かつ、水平方向に加わる荷重に対しては剛いもの
であることを特徴とする。また、本発明は、前記定盤の
上下方向の位置を検出する複数のレベルセンサと、前記
各レベルセンサから入力される検出信号に基づいて前記
空気圧制御弁を制御することで前記エアコンプレッサー
が前記空気ばねに与える空気圧を制御して前記定盤の高
さ方向の位置を一定に保持する定盤位置制御手段を備え
たことを特徴とする。また、本発明は、前記定盤は平面
視直方形をなす板状を呈しており、前記第１のアクチュ
エータは、前記定盤の下面の四隅近傍に対応する位置に
その変位方向が上下方向となるようにそれぞれ設けられ
たものであり、前記第２のアクチュエータは、前記定盤
の四隅の対向する一対の隅部の近傍に対応する箇所にお
いてに前記一対の隅部を挟んで隣接するようにそれぞれ
設けられ、かつ、前記一対の隅部を挟んで隣接するそれ
ぞれの前記第２のアクチュエータの変位方向が水平面内
で互いに直角をなす方向となるように構成されているこ
とを特徴とする。また、本発明は、前記第１のアクチュ
エータ及び前記第２のアクチュエータによって前記定盤
に加えられる変位量を計測する変位量計測手段を備えた
ことを特徴とする。また、本発明は、前記変位量計測手
段が、前記振動センサの検出信号に基づいて前記変位量
を求めるものであることを特徴とする。また、本発明
は、前記変位量計測手段が、前記第１のアクチュエータ
によって変位を与えられる前記定盤の箇所の変位量を測
定する第１の変位計と、前記第２のアクチュエータによ
って変位を与えられる前記定盤の箇所の変位量を測定す
る第２の変位計とによって構成されることを特徴とす
る。また、本発明は、前記第１のアクチュエータ及び前
記第２のアクチュエータの予圧縮力を計測する予圧縮力
計測手段を備えたことを特徴とする。また、本発明は、
前記予圧縮力計測手段は、前記第１の弾性体及び前記第
２の弾性体のたわみ量に基づいて予圧縮力を計測するも
のであることを特徴とする。また、本発明は、前記予圧
縮力計測手段は、前記固体アクチュエータに設けられた
ひずみゲージに基づいて測定されるひずみ量に基づいて
予圧縮力を計測するものであることを特徴とする。ま
た、本発明は、前記固体アクチュエータが超磁歪アクチ
ュエータであることを特徴とする。また、本発明は、前
記超磁歪アクチュエータを磁気シールドで覆ったことを
特徴とする。また、本発明は、前記磁気シールドが純鉄
で形成されていることを特徴とする。

【００１１】本発明では、超磁歪アクチュエータによっ
て構成された第１及び第２のアクチュエータが定盤に与
える変位が駆動信号に対して最も効率よく発生し、か
つ、駆動信号に対して発生する変位の直線性がよくなる
条件を満たすように、すなわち除振能力が最も優れた状
態となるように第１及び第２のアクチュエータの予圧縮
力を第１及び第２の調整手段によって調整することがで
きる。また、上下規制手段と水平規制手段によって上下
及び水平方向への基台の移動量が規制されるので、第1
及び第2のアクチュエータにかかるせん断方向及び引っ
張り方向の力が制限される。また、支持手段が、基台と
前記定盤の間に配設された空気ばねと、前記空気ばねに
空気を与えるエアコンプレッサーと、前記エアコンプレ
ッサーから前記空気ばねに与える空気圧を制御する空気
圧制御弁とを備えるものである場合には、定盤の高さ方
向の位置を調整することができる。また、前記第１のア
クチュエータが基台に保持されたアクチュエータ保持部
と前記アクチュエータ保持部から進退するロッドを備
え、前記第１の調整手段は、前記アクチュエータ保持部
を前記第１のアクチュエータの前記変位方向においてそ
の位置を調整するように構成されている場合には、第１
のアクチュエータの予圧縮力を調整することができる。
また、前記第２のアクチュエータが基台に保持されたア
クチュエータ保持部と前記アクチュエータ保持部から進
退するロッドを備え、前記第２の調整手段は、前記アク
チュエータ保持部を前記第２のアクチュエータの前記変
位方向においてその位置を調整するように構成されてい
る場合には、第２のアクチュエータの予圧縮力を調整す
ることができる。また、前記第１の弾性体が、上下方向
に加わる荷重に対しては剛く、かつ、水平方向に加わる
荷重に対しては柔らかいものであり、前記第２の弾性体
が、上下方向に加わる荷重に対しては柔らかく、かつ、
水平方向に加わる荷重に対しては剛いものである場合に
は、第１のアクチュエータにかかるせん断方向の微振動
が第１の弾性体で吸収され、第２のアクチュエータにか
かるせん断方向の微振動が第２の弾性体で吸収される。
前記定盤の上下方向の位置を検出する複数のレベルセン
サと、前記各レベルセンサから入力される検出信号に基
づいて前記空気圧制御弁を制御することで前記エアコン
プレッサーが前記空気ばねに与える空気圧を制御して前
記定盤の高さ方向の位置を一定に保持する定盤位置制御
手段を備えた場合には、定盤の高さ方向の位置が一定に
保持される。また、前記定盤は平面視直方形をなす板状
を呈しており、前記第１のアクチュエータは、前記定盤
の下面の四隅近傍に対応する位置にその変位方向が上下
方向となるようにそれぞれ設けられたものであり、前記
第２のアクチュエータは、前記定盤の四隅の対向する一
対の隅部の近傍に対応する箇所においてに前記一対の隅
部を挟んで隣接するようにそれぞれ設けられ、かつ、前
記一対の隅部を挟んで隣接するそれぞれの前記第２のア
クチュエータの変位方向が水平面内で互いに直角をなす
方向となるように構成されている場合には、定盤が各第
１のアクチュエータ及び各第２のアクチュエータによっ
て変位を与えることでこの定盤に取付けられた被除振体
の振動が除去される。また、前記第１のアクチュエータ
及び前記第２のアクチュエータによって前記定盤に加え
られる変位量を計測する変位量計測手段を備えた場合に
は、定盤に加えられる変位量を計測することができる。
また、前記変位量計測手段が、前記振動センサの検出信
号に基づいて前記変位量を求めるものであった場合に
は、振動センサの検出信号から定盤の変位量を得ること
ができる。また、前記変位量計測手段が、前記第１のア
クチュエータによって変位を与えられる前記定盤の箇所
の変位量を測定する第１の変位計と、前記第２のアクチ
ュエータによって変位を与えられる前記定盤の箇所の変
位量を測定する第２の変位計とによって構成される場合
には、第１及び第２の変位計によって定盤の上下及び水
平方向の変位量を計測することができる。また、前記第
１のアクチュエータ及び前記第２のアクチュエータの予
圧縮力を計測する予圧縮力計測手段を備えた場合には、
第１及び第２のアクチュエータの予圧縮力を計測するこ
とができる。また、前記予圧縮力計測手段が、前記第１
の弾性体及び前記第２の弾性体のたわみ量に基づいて予
圧縮力を計測するものである場合には、第１及び第２の
弾性体のたわみ量から第１及び第２のアクチュエータの
予圧縮力を計測することができる。また、前記予圧縮力
計測手段は、前記固体アクチュエータに設けられたひず
みゲージに基づいて測定されるひずみ量に基づいて予圧
縮力を計測するものである場合には、固体アクチュエー
タに生じるひずみ量からこのアクチュエータの予圧縮力
を計測することができる。また、前記固体アクチュエー
タが超磁歪アクチュエータである場合には、この超磁歪
アクチュエータが比較的強度が強く温度変化に対して強
いから取り扱いが容易である。また、超磁歪アクチュエ
ータを磁気シールドで覆った場合には、この超磁歪アク
チュエータから発せられる磁界が超磁歪アクチュエータ
の外部に放射されることを防止することができる。ま
た、前記磁気シールドが純鉄で形成されている場合に
は、この純鉄によって超磁歪アクチュエータから発せら
れる磁界が超磁歪アクチュエータの外部に放射されるこ
とを防止することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明のアクティブ型除振
装置の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
２はその平面図であり定盤を取り除いた状態を示してい
る。なお、図１、図２において従来例を示す図６、図７
と同一の部分には同一の符号を付しその説明を省略す
る。本発明に係るアクティブ型除振装置１００は、床面
１１に設置される平面視直方形をなす底壁１０Ａ及びこ
の底壁１０Ａの４つの側辺から上方に立設された側壁１
０Ｂを備えた基台（ベースフレーム）１０と、この基台
１０よりも小さな平面視直方形をなす板状を呈し、この
基台１０の側壁１０Ｂにその側面が囲まれた状態で、基
台１０の底壁１０Ａの上面に配設された４個の空気ばね
４０によって上下及び水平方向に移動可能に支持され
た、被除振体を取付けるための定盤１２とを備えてい
る。各空気ばね４０は、不図示のエアコンプレッサーか
ら与えられる空気圧が不図示の空気圧制御弁によって制
御されることでその上下方向の寸法が調整されるように
なっている。空気ばね４０、エアコンプレッサー及び空
気圧制御弁によって被除振体及び定盤１２の重量を、被
除振体及び定盤１２が上下動できる状態で支持する支持
手段が構成されている。

【００１３】上面からみて矩形状を呈する定盤１２の底
面１２０には、定盤１２における上下方向の加速度を検
出する３個の振動センサ１８と水平方向の加速度を検出
する３個の振動センサ２０がそれぞれ底面１２０の縦横
の中心線上とほぼ重なる位置に配設されている。

【００１４】基台１０の底壁１０Ａ上において、定盤１
２の下面の四隅近傍に対応する位置には、この定盤１２
に上下方向の変位を加えて上下方向に変位させるための
第１のアクチュエータ４２がそれぞれ１個ずつ合計４個
配設されている。また、基台１０の側壁１０Ｂにおい
て、定盤１２の側面の四隅近傍に対応する位置には、こ
の定盤１２に水平方向の変位を加えて水平方向に変位さ
せるための第２のアクチュエータ４４がそれぞれ１個ず
つ合計４個配設されている。

【００１５】第１のアクチュエータ４２及び第２のアク
チュエータ４４は、超磁歪アクチュエータによって構成
されており、与えられる駆動信号に基づいてケース４６
の長手方向に伸長する歪み（磁歪）を生じる不図示の超
磁歪素子と、この超磁歪素子を収容してこの超磁歪素子
を外部から保護するケース４６と、この超磁歪素子に結
合されてケース４６の端部からケース４６の長手方向に
進退するロッド４８とを備えている。この超磁歪素子
は、磁界の影響を受けた場合にその磁歪量が大きな合金
材料により構成されている。また、この超磁歪アクチュ
エータは、それに与えられる駆動信号の大きさに対する
磁歪量である変位特性がほぼ線形であるため、この超磁
歪アクチュエータを駆動するための駆動信号を生成する
処理は比較的簡単でよいという利点がある。

【００１６】各第１のアクチュエータ４２は、軸心方向
を上下方向に向けて配設されており、そのロッド４８の
上端は、弾性体５０を介して定盤１２の底面１２０に取
付けられている。この弾性体（特許請求の範囲の第１の
弾性体に相当）５０は、第１のアクチュエータ４２の変
位方向（上下方向）に対しては剛く、第１のアクチュエ
ータ４２の変位方向と直交する方向（水平方向）には柔
らかい特性を備えた例えばゴムなどから構成されるもの
であり、第１のアクチュエータ４２に対してその変位方
向に作用する力をそのまま定盤１２に伝える一方、変位
方向と直交する方向に作用するせん断力とせん断方向の
微振動については吸収する作用を果たしている。

【００１７】図３に詳しく説明するように、各第１のア
クチュエータ４２は、底壁１０Ａにボルトなどで取付け
られたアクチュエータ取付部１０００に保持されてい
る。アクチュエータ取付部１０００は、その下部に設け
られた固定片１００２がボルト１００４などによって底
壁１０Ａに固着されている。アクチュエータ取付部１０
００の下部から立設された側壁１００６によって囲まれ
た収容空間１００７が形成されており、この収容空間１
００７には、ケース４６部分にアクチュエータ保持部４
９Ａが取付けられた第１のアクチュエータ４４が上下方
向、すなわちロッド４８の進退方向に沿って移動可能な
状態で収容保持されている。そして、上記収容空間１０
０７の下部には、アクチュエータ保持部４９Ａの後端に
面して水平方向に延在する中間壁１００８が形成されて
おり、アクチュエータ保持部４９Ａの後端は、この中間
壁１００８に螺合された調整ねじ１０１０の先端に当接
するようになっている。

【００１８】したがって、この調整ねじ１０１０を回転
することにより、第１のアクチュエータ４２の変位方向
におけるアクチュエータ保持部４９Ａの位置を調整する
ことができるようになっている。つまり、第１のアクチ
ュエータ４２を固定したアクチュエータ保持部４９Ａの
位置を調整ねじ１０１０によって調整することにより、
非駆動状態の第１のアクチュエータ４１がその変位方向
に対して定盤１２から受ける予圧縮力を調整できるよう
になっている。ここで、アクチュエータ保持部４９Ａを
保持するアクチュエータ取付部１０００と調整ねじ１０
１０は特許請求の範囲の第１の調整手段に相当してい
る。なお、この実施の形態では、基台１０と定盤１２の
間において、調整ねじ１０１０、アクチュエータ４２及
び弾性体５０をこの順番で配置しているが、調整ねじ１
０１０、アクチュエータ４１及び弾性体５０の配置は上
記順番に限定されない。

【００１９】また、基台１０の底壁１０Ａの上面には、
定盤１２の上下方向の位置を検出するためのレベルセン
サ６０が３個配設されており、このレベルセンサ６０の
検出出力に基づいて、エアコンプレッサーから各空気ば
ね６０に与える空気圧を空気圧制御弁で調整することに
よって、定盤１２の高さ方向の位置を一定に保持する定
盤位置制御手段が構成されている。このエアコンプレッ
サーが定盤１２の高さ方向の位置を一定に保持するため
に空気ばね１２に与える空気量は、ごくわずかな量で済
むため、従来のエアアクチュエータを用いたアクティブ
型除振装置の場合に比較して、エアコンプレッサーは空
気容量が少ない小型のものでよく電力消費量も少なくて
済む。

【００２０】各第２のアクチュエータ４４は、軸心方向
を水平方向に向けて配設されており、そのロッド４８の
前端は、第１のアクチュエータ４２の場合と同様に弾性
体（特許請求の範囲の第２の弾性体に相当）５１を介し
て定盤１２に取付けられている。この弾性体５１は、第
２のアクチュエータ４４の変位方向（水平方向）に対し
ては剛く、第１のアクチュエータ４２の変位方向と直交
する方向（上下方向）には柔らかい特性を備えたもので
あり、第２のアクチュエータ４４に対してその変位方向
に作用する力をそのまま定盤１２に伝える一方、変位方
向と直交する方向に作用するせん断力及びせん断方向の
微振動を吸収する作用を果たしている。

【００２１】各第２のアクチュエータ４４のケース４６
は、基台１０の側壁１０Ｂに保持されるアクチュエータ
保持部４９に固定されており、このアクチュエータ保持
部４９は、側壁１０Ｂにおいてロッド４８の進退方向に
沿った任意の位置で固定されるようになっている。この
アクチュエータ保持部４９は、その後端が側壁１０Ｂに
設けられた壁部１０Ｃに螺合された調整ねじ５４の先端
に常時当接するように付勢されている。

【００２２】したがって、この調整ねじ５４を回転する
ことにより、第２のアクチュエータ４４の変位方向にお
けるアクチュエータ保持部４９の位置を調整することが
できるようになっている。つまり、第２のアクチュエー
タ４４を固定したアクチュエータ保持部４９の位置を調
整ねじ５４によって調整した後、このアクチュエータ保
持部４９を側壁１０Ｂに固定することにより、非駆動状
態の第２のアクチュエータ４４がその変位方向に対して
定盤１２から受ける予圧縮力を調整できるようになって
いる。ここで、アクチュエータ保持部４９を保持する側
壁１０Ｂと壁部１０Ｃに螺合された調整ねじ５４は特許
請求の範囲の第２の調整手段に相当している。なお、こ
の実施の形態では、基台１０と定盤１２の間において、
調整ねじ５４、アクチュエータ４４及び弾性体５１をこ
の順番で配置しているが、調整ねじ５４、アクチュエー
タ４４及び弾性体５１の配置は上記順番に限定されな
い。

【００２３】各第２のアクチュエータ４４は、それぞれ
隣り合う第２のアクチュエータ４４の変位方向が水平面
内で互いに直角をなす異なる４つの方向となるように配
設されている。

【００２４】定盤１２の底面１２０と基台１０の間に
は、定盤１２の上下及び水平方向の移動を規制する規制
手段５８が２個設けられている。各規制手段５８は、定
盤１２の底面１２０から下方に延出され中間部に半径方
向に延出された円盤部５８２を備える棒状体５８０と、
基台１０の上面においてこの棒状体５８０に対応する位
置に設けられ、円盤部５８２の上下の面に当接すること
により円盤部５８２の軸方向（上下方向）の移動を規制
する第１の面と、円盤部５８２の円周面に当接すること
により円盤部５８２の円周方向（水平方向）の移動を規
制する第２の面とを備えた規制体５８４とから構成され
ている。この規制手段５８によって定盤１２の上下及び
水平方向の移動量が規制されるが、この移動量は、定盤
１２が移動した場合に、第１及び第２のアクチュエータ
４２、４４が破損しないような寸法に設定されている。
なお、規制手段５８は特許請求の範囲の上下規制手段及
び水平規制手段に相当している。

【００２５】振動計増幅器２２は、各振動センサ１８、
２０から入力される上下及び水平方向の加速度を示す検
出信号Ｓを増幅するものである。制御装置２４は、振動
計増幅器２２から入力された上下及び水平方向の加速度
を示す検出信号Ｓに基づいて、その振動を定盤１２に取
付けられた被除振体から除去するために必要な第１及び
第２のアクチュエータ４２、４４の駆動量に相当する駆
動信号を演算生成するものである。前述したように、超
磁歪アクチュエータにより構成される各アクチュエータ
４２、４４は、それらに与えられる駆動信号に対する駆
動量（発生する変位の大きさ）がほぼ線形の特性を有し
ているため、制御装置２４によって検出信号から駆動信
号を演算生成するための処理が簡単なでよい。アクチュ
エータ駆動アンプ２７は、この駆動信号を増幅した駆動
信号Ｄを第１及び第２のアクチュエータ４２、４４に入
力して駆動させるものである。

【００２６】図４は本発明に係るアクティブ型除振装置
の実際の構成を示す正面図、図５はその平面図であり定
盤及び定盤に取付けられる取付け板を取り除いた状態を
示している。図４に示すように、定盤１２は平面視直方
形をなす板状を呈しており、定盤１２の底面１２０はこ
の底面１２０とほぼ同形状の取付け板１３に取付けられ
ている。

【００２７】図５に示すように、第１のアクチュエータ
４２は、定盤１２の下面１２０の四隅近傍に対応する位
置にその変位方向が上下方向となるようにそれぞれ設け
られている。第２のアクチュエータ４４のロッド４８
は、不図示の弾性体及びそれに取着された取付け部４４
１を介して取付け板１３に固定されている。したがっ
て、各第２のアクチュエータ４４は、定盤１２の四隅の
対向する一対の隅部の近傍に対応する箇所においてに一
対の隅部を挟んで隣接し、定盤１２の四隅の対向する一
対の隅部の近傍に対応する箇所に駆動力が伝達されるよ
うに設けられており、かつ、一対の隅部を挟んで隣接す
るそれぞれの第２のアクチュエータ４４の変位方向が水
平面内で互いに直角をなす方向となるように構成されて
いる。

【００２８】基台１０の底壁１０Ａ上には、基台１０の
対向する長辺に沿って３個ずつ合計６個の空気ばね４０
と、空気ばね４０の間に位置する５個の規制手段５８
と、振動センサ１８、２０からの検出信号を増幅するた
めの振動計増幅器２２と、各空気ばね４０と連通してお
り、エアコンプレッサーに接続されこれら空気ばね４０
にエアコンプレッサーからの空気圧を供給する供給口４
１とが設けられている。取付け板１３の下面１３Ａに
は、上下及び水平方向の加速度を検出するための振動セ
ンサ１８、２０がそれぞれ３個づつ取付けられている。
図４、図５に示した構成においては、定盤１２の底面１
２０の下方に、全ての部品、すなわち振動増幅器２２、
空気ばね４０、供給口４１、第１及び第２のアクチュエ
ータ４２、４４、及び規制手段５８が配設されている。

【００２９】次に、作用、効果について説明する。ま
ず、初めに超磁歪アクチュエータとこれに与える予圧縮
力について説明する。一般的に、超磁歪アクチュエータ
においては、その超磁歪アクチュエータに与えられる駆
動信号に対して、この磁歪アクチュエータの変形量（伸
び、縮み）がもっとも大きく、かつ、超磁歪アクチュエ
ータの変形量が線形に変化する状態にすることが超磁歪
アクチュエータの性能を最大限に生かす上で好ましい。
超磁歪アクチュエータでは、これに与える予圧縮力を最
適値に調整することにより、この超磁歪アクチュエータ
を上述した好ましい状態にすることができる。

【００３０】この実施の形態においては、第１及び第２
のアクチュエータ４２、４４を上述した好ましい状態に
調整することで次のような利点が生じる。すなわち、第
１及び第２のアクチュエータ４２、４４に与えられる駆
動信号に対して、第１及び第２のアクチュエータ４２、
４４が定盤１２に与える変位量がもっとも大きくなるか
ら、より大きな外部振動に対してその振動を除去するこ
とができる。また、第１及び第２のアクチュエータ４
２、４４に与えられる駆動信号に対して、第１及び第２
のアクチュエータ４２、４４が定盤１２に与える変位量
が線形に変化するので、第１及び第２のアクチュエータ
４２、４４が定盤１２に与える変位量が駆動信号に対し
て忠実に発生するので、アクチュエータの駆動制御がよ
り忠実に行われる。つまり、第１及び第２のアクチュエ
ータ４２、４４の予圧縮力を最適に調整することで、こ
の除振装置の除振能力が最も優れた状態にすることがで
きる。

【００３１】したがって、まず、第１のアクチュエータ
４２、第２のアクチュエータ４４の予圧縮力の調整を行
う。この予圧縮力は、各アクチュエータを構成する超磁
歪アクチュエータが非駆動時に定盤１２から受ける荷重
のことを示している。

【００３２】超磁歪アクチュエータの予圧縮力の調整
（磁歪量の最適化）は、所定周波数かつ所定振幅の駆動
信号（例えば正弦波信号）を各アクチュエータ４２、４
４に入力した状態で、最も定盤１２が振動される、すな
わち定盤１２の変位が大きくなるように各アクチュエー
タ４２、４４の予圧縮力を調整することによって行われ
る。第１及び第２のアクチュエータ４２、４４の予圧縮
力は、調整ねじ１０１０、５４を回転させてそれぞれ第
１、第２のアクチュエータ４２、４４の変位方向におけ
るアクチュエータ保持部４９Ａ、４９の位置を変えるこ
とによって容易に調整することができる。

【００３３】なお、第１及び第２のアクチュエータ４
２、４４によって定盤１２に加えられる変位量を計測す
る変位量計測手段は、例えば、各振動センサ１８、２０
から検出される加速度の検出信号に基づいて変位量を計
測することで実現できる。また、変位量計測手段とし
て、第１のアクチュエータ４２によって変位を与えられ
る定盤１２の箇所の変位量を測定する第１の変位計と、
第２のアクチュエータ４４によって変位を与えられる定
盤１２の箇所の変位量を測定する第２の変位計とを設け
てもよい。

【００３４】また、第１及び第２のアクチュエータ４
２、４４の予圧縮力を計測するための予圧縮力計測手段
を設ければ、第１及び第２のアクチュエータ４２、４４
の予圧縮力の最適な値を把握することができる。このよ
うな予圧縮力計測手段としては、例えば第１及び前記第
２の弾性体５０、５１のたわみ量に基づいて予圧縮力を
計測するものであってもよい。また、予圧縮力計測手段
は、第１及び第２のアクチュエータ４２、４４に設けら
れたひずみゲージに基づいて測定されるひずみ量に基づ
いて予圧縮力を計測するものであってもよい。

【００３５】各アクチュエータ４２、４４の予圧縮力調
整が終了すれば、振動増幅器２２、制御装置２４、アク
チュエータ駆動アンプ２７の電源を投入することによ
り、このアクティブ型除振装置１００が稼動する。床面
１１を伝わってきた振動により定盤１２とこれに取付け
られた被除振体が振動すると、各振動センサ１８、２０
が定盤の振動を示す加速度を検出し、それら加速度を示
す検出信号を振動増幅器２２に入力する。振動増幅器２
２は、制御装置２４に増幅した検出信号を入力する。こ
の制御装置２４は、振動計増幅器２２から入力された上
下及び水平方向の加速度を示す検出信号Ｓに基づいて、
その振動を定盤１２に取付けられた被除振体から除去す
るために必要な第１及び第２のアクチュエータ４２、４
４の駆動量に相当する駆動信号を演算生成してアクチュ
エータ駆動アンプ２７に入力する。このアクチュエータ
駆動アンプ２７は、この駆動信号を増幅した駆動信号Ｄ
を第１及び第２のアクチュエータ４２、４４に入力して
駆動させる。これにより、定盤１２に取付けられた被除
振体の振動が除去され、被除振体は高度な静止状態を維
持する。

【００３６】また、このアクティブ型除振装置１００が
稼動している際に、このアクティブ型除振装置の除振能
力を超える振動（例えば地震などによる振動）が床面１
１から基台１０に伝わった場合には、定盤１２が大きく
振動しようとするが、規制手段５８の作用により、定盤
１２の上下及び水平方向の移動量が確実に規制される。
したがって、各アクチュエータ４２、４４が大きなせん
断力及び引っ張り力を受けて破損することが防止され
る。

【００３７】上述した実施の形態のアクティブ型除振装
置によれば、その除振能力が最も優れた状態となるよう
に第１及び第２のアクチュエータ４２、４４の予圧縮力
を調整することができるので、被除振体の重量などの条
件が変わった場合には、これらの予圧縮力を適切に調整
することにより除振能力を最大限に発揮することができ
る。また、この実施の形態によれば、従来のエアアクチ
ュエータを用いたアクティブ型除振装置と違ってその変
位特性がほぼ線形であるため、アクチュエータの駆動制
御が簡単であり、エアアクチュエータと異なり流体を使
用していないので、高周波領域の振動に対する除振能力
が低下することもない。また、従来のエアアクチュエー
タを用いたアクティブ型除振装置と違って、大きなエア
コンプレッサーが不要なので、設置スペースが少なくか
つ動作電力も少なくて済む。

【００３８】なお、第１及び第２のアクチュエータ４
２、４４として超磁歪アクチュエータを用いたが、この
超磁歪アクチュエータは、内部に永久磁石やコイルを有
しているため、その動作中に強力な磁界を発生する。こ
のため、その磁界が除振装置の近傍に存在する磁界の影
響を嫌う他の装置に放射されないように純鉄などから形
成される磁気シールドで覆うことが好ましい。また、磁
気シールドを第１及び第２のアクチュエータ４２、４４
のケース４６によって構成すれば、ケース４６の他に磁
気シールドを別途設ける必要がないという利点もある。
また、本実施の形態では、第１及び第２のアクチュエー
タ４２、４４として超磁歪アクチュエータを用いたが、
その他の固体アクチュエータを用いてもよい。超磁歪ア
クチュエータ以外の固体アクチュエータとしては、温度
による熱膨張で動作するもの、電界による電歪、圧電歪
で動作するもの、光による光誘起相転移で動作するもの
などがある。なお、超磁歪アクチュエータ以外の固体ア
クチュエータも、超磁歪アクチュエータと同様に、それ
に与えられる駆動信号の大きさに対する変位特性がほぼ
線形であるため、この固体アクチュエータを駆動するた
めの駆動信号を生成する処理は比較的簡単でよい。ま
た、固体アクチュエータとそれに加える予圧縮力の関係
も前述した超磁歪アクチュエータの場合と同様である。
また、固体アクチュエータの１つであるピエゾアクチュ
エータは、超磁歪アクチュエータに比較して温度環境の
変化に対する影響を受けやすい欠点があるため、温度環
境の変化がある場所で使用する場合には、例えばこのよ
うな温度環境の変化に対して影響を受けにくい超磁歪ア
クチュエータを用いることが好ましい。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明は、
基台上において上下及び水平方向に移動可能に支持され
被除振体が取付けられる定盤と、前記定盤の上下及び水
平方向の加速度を検出する振動センサと、前記基台と定
盤との間に設けられ前記定盤に上下方向の変位を加えて
定盤を上下方向に変位させる第１のアクチュエータと、
前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤に水平方向の
変位を加えて前記定盤を水平方向に変位させる第２のア
クチュエータと、前記第１のアクチュエータと前記定盤
の間に設けられ前記第１のアクチュエータに作用するせ
ん断力を吸収する第２の弾性体と、前記第２のアクチュ
エータと前記定盤の間に設けられ前記第２のアクチュエ
ータに作用するせん断力を吸収する第２の弾性体と、前
記振動センサで検出した上下及び水平方向の加速度に基
づいて前記第１及び第２のアクチュエータを駆動させて
前記被除振体の振動を除去するアクティブ型除振装置に
おいて、前記第１及び第２のアクチュエータは固体アク
チュエータから構成されており、前記定盤と前記基台と
の間に設けられ、前記被除振体を含む前記定盤の重量
を、前記被除振体を含む前記定盤が上下動できる状態で
支える支持手段と、前記基台との間に設けられ、前記第
１のアクチュエータを保持するとともに、非駆動状態の
前記第１のアクチュエータがその変位方向において前記
定盤から受ける予圧縮力を調整する第１の調整手段と、
前記基台に設けられ、前記第２のアクチュエータを保持
するとともに、非駆動状態の前記第２のアクチュエータ
がその変位方向において前記定盤から受ける予圧縮力を
調整する第２の調整手段と、前記基台と定盤との間に設
けられ前記定盤の上下方向の移動量を規制する上下規制
手段と、前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤の水
平方向の移動量を規制する水平規制手段とを備えた構成
とした。

【００４０】そのため、固体アクチュエータによって構
成された第１及び第２のアクチュエータが定盤に与える
変位が駆動信号に対して最も効率よく発生し、かつ、駆
動信号に対して発生する変位の直線性がよくなる条件を
満たすように、すなわち除振能力が最も優れた状態とな
るように第１及び第２のアクチュエータの予圧縮力を第
１及び第２の調整手段によって調整することができる。
また、上下規制手段と水平規制手段によって上下及び水
平方向への基台の移動量が規制されるので、第1及び第2
のアクチュエータにかかるせん断方向及び引っ張り方向
の力が制限されるので、第１及び第２のアクチュエータ
の破損が防止される。また、従来のエアアクチュエータ
を用いたアクティブ型除振装置と違って、第１及び第２
のアクチュエータの変位特性がほぼ線形であるため、ア
クチュエータの駆動制御が簡単であり、エアアクチュエ
ータと異なり流体を用いていないため、高周波領域の振
動に対する除振能力が低下することもない。また、従来
のエアアクチュエータを用いたアクティブ型除振装置と
違って、大きなエアコンプレッサーが不要なので、設置
スペースが少なくかつ動作電力も少なくて済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアクティブ型除振装置の概略構成を示
す縦断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】第１の調整手段の構成を示す説明図である。

【図４】本発明のアクティブ型除振装置の実際の構成を
示す正面図である。

【図５】図４の平面図である。

【図６】ピエゾアクチュエータを用いた従来のアクティ
ブ型除振装置の説明図である。

【図７】エアアクチュエータを用いた従来のアクティブ
型除振装置の説明図である。

【符号の説明】

１００ 除振装置 １０ 基台 １１ 床面 １２ 定盤 １８ 振動センサ ２０ 振動センサ ４０ 空気ばね ４２ 第１のアクチュエータ ４４ 第２のアクチュエータ ４８ ロッド ４９Ａ、４９ アクチュエータ保持部 ５０、５１ 弾性体 ５８ 規制手段 ６０ レベルセンサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 増田 圭司 東京都渋谷区千駄ヶ谷四丁目６番15号 株 式会社フジタ内 (72)発明者 蔵 正幸 東京都渋谷区千駄ヶ谷四丁目６番15号 株 式会社フジタ内 (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 特許機 器株式会社内 (72)発明者 松浦 章 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 特許機 器株式会社内

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台上において上下及び水平方向に移動
   可能に支持され被除振体が取付けられる定盤と、前記定
   盤の上下及び水平方向の加速度を検出する振動センサ
   と、前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤に上下方
   向の変位を加えて定盤を上下方向に変位させる第１のア
   クチュエータと、前記基台と定盤との間に設けられ前記
   定盤に水平方向の変位を加えて前記定盤を水平方向に変
   位させる第２のアクチュエータと、前記第１のアクチュ
   エータと前記定盤の間に設けられ前記第１のアクチュエ
   ータに作用するせん断力を吸収する第２の弾性体と、前
   記第２のアクチュエータと前記定盤の間に設けられ前記
   第２のアクチュエータに作用するせん断力を吸収する第
   ２の弾性体と、前記振動センサで検出した上下及び水平
   方向の加速度に基づいて前記第１及び第２のアクチュエ
   ータを駆動させて前記被除振体の振動を除去するアクテ
   ィブ型除振装置において、 前記第１及び第２のアクチュエータは固体アクチュエー
   タから構成されており、 前記定盤と前記基台との間に設けられ、前記被除振体を
   含む前記定盤の重量を、前記被除振体を含む前記定盤が
   上下動できる状態で支える支持手段と、 前記基台との間に設けられ、前記第１のアクチュエータ
   を保持するとともに、非駆動状態の前記第１のアクチュ
   エータがその変位方向において前記定盤から受ける予圧
   縮力を調整する第１の調整手段と、 前記基台に設けられ、前記第２のアクチュエータを保持
   するとともに、非駆動状態の前記第２のアクチュエータ
   がその変位方向において前記定盤から受ける予圧縮力を
   調整する第２の調整手段と、 前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤の上下方向の
   移動量を規制する上下規制手段と、 前記基台と定盤との間に設けられ前記定盤の水平方向の
   移動量を規制する水平規制手段と、 を備えたことを特徴とするアクティブ型除振装置。
2. 【請求項２】 前記支持手段は、前記基台と前記定盤の
   間に配設された空気ばねと、前記空気ばねに空気を与え
   るエアコンプレッサーと、前記エアコンプレッサーから
   前記空気ばねに与える空気圧を制御する空気圧制御弁と
   を備えることを特徴とする請求項１記載のアクティブ型
   除振装置。
3. 【請求項３】 前記第１のアクチュエータは基台に保持
   されたアクチュエータ保持部と前記アクチュエータ保持
   部から進退するロッドを備え、前記第１の調整手段は、
   前記アクチュエータ保持部を前記第１のアクチュエータ
   の前記変位方向においてその位置を調整するように構成
   されていることを特徴とする請求項１または２記載のア
   クティブ型除振装置。
4. 【請求項４】 前記第２のアクチュエータは基台に保持
   されたアクチュエータ保持部と前記アクチュエータ保持
   部から進退するロッドを備え、前記第２の調整手段は、
   前記アクチュエータ保持部を前記第２のアクチュエータ
   の前記変位方向においてその位置を調整するように構成
   されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   に記載のアクティブ型除振装置。
5. 【請求項５】 前記第１の弾性体は、上下方向に加わる
   荷重に対しては剛く、かつ、水平方向に加わる荷重に対
   しては柔らかいものであり、前記第２の弾性体は、上下
   方向に加わる荷重に対しては柔らかく、かつ、水平方向
   に加わる荷重に対しては剛いものであることを特徴とす
   る請求項１乃至４のいずれかに記載のアクティブ型除振
   装置。
6. 【請求項６】 前記定盤の上下方向の位置を検出する複
   数のレベルセンサと、前記各レベルセンサから入力され
   る検出信号に基づいて前記空気圧制御弁を制御すること
   で前記エアコンプレッサーが前記空気ばねに与える空気
   圧を制御して前記定盤の高さ方向の位置を一定に保持す
   る定盤位置制御手段を備えたことを特徴とする請求項１
   乃至５のいずれかに記載のアクティブ型除振装置。
7. 【請求項７】 前記定盤は平面視直方形をなす板状を呈
   しており、前記第１のアクチュエータは、前記定盤の下
   面の四隅近傍に対応する位置にその変位方向が上下方向
   となるようにそれぞれ設けられたものであり、前記第２
   のアクチュエータは、前記定盤の四隅の対向する一対の
   隅部の近傍に対応する箇所においてに前記一対の隅部を
   挟んで隣接するようにそれぞれ設けられ、かつ、前記一
   対の隅部を挟んで隣接するそれぞれの前記第２のアクチ
   ュエータの変位方向が水平面内で互いに直角をなす方向
   となるように構成されていることを特徴とする請求項１
   乃至６のいずれかに記載のアクティブ型除振装置。
8. 【請求項８】 前記第１のアクチュエータ及び前記第２
   のアクチュエータによって前記定盤に加えられる変位量
   を計測する変位量計測手段を備えたことを特徴とする請
   求項１乃至７のいずれかに記載のアクティブ型除振装
   置。
9. 【請求項９】 前記変位量計測手段は、前記振動センサ
   の検出信号に基づいて前記変位量を求めるものであるこ
   とを特徴とする請求項８記載のアクティブ型除振装置。
10. 【請求項１０】 前記変位量計測手段は、前記第１のア
    クチュエータによって変位を与えられる前記定盤の箇所
    の変位量を測定する第１の変位計と、前記第２のアクチ
    ュエータによって変位を与えられる前記定盤の箇所の変
    位量を測定する第２の変位計とによって構成されること
    を特徴とする請求項８記載のアクティブ型除振装置。
11. 【請求項１１】 前記第１のアクチュエータ及び前記第
    ２のアクチュエータの予圧縮力を計測する予圧縮力計測
    手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至１０のいず
    れかに記載のアクティブ型除振装置。
12. 【請求項１２】 前記予圧縮力計測手段は、前記第１の
    弾性体及び前記第２の弾性体のたわみ量に基づいて予圧
    縮力を計測するものであることを特徴とする請求項１１
    記載のアクティブ型除振装置。
13. 【請求項１３】 前記予圧縮力計測手段は、前記固体ア
    クチュエータに設けられたひずみゲージに基づいて測定
    されるひずみ量に基づいて予圧縮力を計測するものであ
    ることを特徴とする請求項１１記載のアクティブ型除振
    装置。
14. 【請求項１４】 前記固体アクチュエータが超磁歪アク
    チュエータであることを特徴とする請求項１乃至１３の
    いずれかに記載のアクティブ型除振装置。
15. 【請求項１５】 前記超磁歪アクチュエータを磁気シー
    ルドで覆ったことを特徴とする請求項１４記載のアクテ
    ィブ型除振装置。
16. 【請求項１６】 前記磁気シールドが純鉄で形成されて
    いることを特徴とする請求項１５記載のアクティブ型除
    振装置。