JPH11251421A

JPH11251421A - 基板収納容器の蓋開閉装置および基板搬入搬出装置

Info

Publication number: JPH11251421A
Application number: JP4741498A
Authority: JP
Inventors: Jun Shibukawa; 潤渋川; Joichi Nishimura; 讓一西村; Masami Otani; 正美大谷
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1998-02-27
Publication date: 1999-09-17
Anticipated expiration: 2018-02-27
Also published as: JP3974992B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構造で容易に制御でき、設置スペース
および消費電力も小さな基板収納容器の蓋開閉装置およ
び基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入
搬出装置を提供する。【解決手段】インデクサ１０には、ポッド１を載置す
るためのステージ１２が４個設けられている。ポッド１
の蓋２を開閉するためのポッドオープナ３０は、Ｙ方向
移動機構４０によってステージ１２の配列の方向に沿っ
て移動することが可能である。従って、４個のステージ
１２のいずれに載置されたポッド１についても１つのポ
ッドオープナ３０によって蓋２の開閉作業を行うことが
でき、その結果、インデクサ１０全体を簡単な構造にで
きるとともに、制御も容易なものとなり、設置スペース
および消費電力も小さくすることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体基板や液
晶ガラス基板などの薄板状基板（以下、「基板」と称す
る）が収納された複数の基板収納容器のそれぞれの蓋を
開閉する蓋開閉装置および当該基板収納容器との間で基
板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、基板に対してレジスト塗布処
理等の処理を行う基板処理装置には、装置外部から未処
理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キャ
リアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプ
のＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタイ
プのＦＯＵＰ(front opening unified pod；以下、単に
「ポッド」と称する)とがある。

【０００３】装置間における基板の搬送にポッドを使用
した場合は、基板が密閉された状態で搬送されることと
なるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在してい
たとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板処
理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高
くする必要がなくなるため、クレーンルームに要するコ
ストを低減することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、基
板処理装置の基板搬入搬出部には搬送されてきたポッド
を載置する複数のステージが設けられている。そして、
ステージに載置されたポッドは、そのステージと一体的
に設けられたポッドオープナによって蓋が開けられ、基
板処理装置内の基板移載ロボットによってポッドから基
板の取り出しが行われる。

【０００５】しかし、ポッドオープナはステージと一体
的に設けられているため、ステージの数と同じだけのポ
ッドオープナおよびそのコントローラが必要となり、コ
ストアップが生じるとともに、それらの設置スペースお
よび消費電力は大きなものとなっていた。

【０００６】また、制御面からも複数のポッドオープナ
ごとに通信を必要とするため、制御方式が複雑なものと
ならざるを得なかった。

【０００７】さらに、複数のポッドオープナを設けるこ
とによって基板搬入搬出部全体としての構造も複雑なも
のとなっていた。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、簡単な構造で容易に制御でき、設置スペースお
よび消費電力も小さな基板収納容器の蓋開閉装置および
基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬
出装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、複数の基板収納容器のそれぞれ
の蓋を開閉する基板収納容器の蓋開閉装置であって、
(a) 前記基板収納容器から前記蓋を取り外すことと前記
基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手
段と、(b) 前記蓋着脱手段を前記複数の基板収納容器の
配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、を備
える。

【００１０】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る基板収納容器の蓋開閉装置において、前記駆動手
段によって前記蓋着脱手段を前記蓋開閉装置外部に設け
られた蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記
蓋着脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡
しを行わせることが可能である。

【００１１】また、請求項３の発明は、複数の基板収納
容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置で
あって、(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の
載置部を設けた載置台と、(b) 前記基板収納容器から蓋
を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着する
ことが可能な蓋着脱手段と、(c) 前記基板収納容器から
基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納す
ることが可能な基板受渡手段と、(d) 前記蓋着脱手段を
前記複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能
な駆動手段と、を備える。

【００１２】また、請求項４の発明は、請求項３の発明
に係る基板搬入搬出装置において、(e) 前記基板収納容
器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置を、
さらに備え、前記駆動手段によって前記蓋着脱手段を前
記蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記蓋着
脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを
行わせることが可能である。

【００１３】また、請求項５の発明は、複数の基板収納
容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置で
あって、(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の
載置部を設けた載置台と、(b) 前記基板収納容器から基
板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納する
ことが可能な基板受渡手段と、(c) 前記基板受渡手段に
設けられ、前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前
記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱
手段と、(d) 前記基板受渡手段を前記複数の載置部の配
列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、を備え
る。

【００１４】また、請求項６の発明は、請求項５の発明
に係る基板搬入搬出装置において、(e) 前記基板収納容
器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置を、
さらに備え、前記駆動手段によって前記基板受渡手段を
前記蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記蓋
着脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡し
を行わせることが可能である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００１６】＜第１の実施の形態＞図１は、基板を収納
するポッドの一例を示す斜視図である。また、図２およ
び図３は、ポッドの内部の状態を示す平面図および正面
図である。

【００１７】ポッド１の内部には複数の溝１ａが刻設さ
れており、各溝１ａはそれぞれ基板Ｗを水平姿勢にて保
持できるように構成されている。また、ポッド１には蓋
２が後述するロック機構によって着脱自在とされてお
り、蓋２が閉じられた状態（ポッド１に蓋２が着けられ
た状態）では、ポッド１の内部は密閉され、外部の雰囲
気から遮蔽された状態となる。

【００１８】半導体基板等の基板を製造する工場では、
複数の基板Ｗがポッド１に収納された状態で蓋２が閉じ
られ、そのポッド１がＯＨＴ(over-head hoist transpo
rt)やＰＧＶ(personal guided vehicle)などの搬送機構
によって搬送される。すなわち、複数の基板Ｗはポッド
１内に外部の雰囲気から遮蔽された清浄な状態で収容さ
れ、ポッド１とともに基板処理装置に搬送されることに
なる。

【００１９】基板処理装置にはポッド１との間で基板Ｗ
の受け渡しを行うインデクサ１０（基板搬入搬出装置）
が設けられている。図４は、インデクサ１０の外観斜視
図である。また、図５はインデクサ１０の平断面図であ
り、図６はインデクサ１０の縦断面図である。なお、図
４以降の各図においては、それらの方向関係を明確にす
るため適宜ＸＹＺ直交座標系を付している。

【００２０】インデクサ１０には、基板処理装置外部か
ら搬送されてきたポッド１を載置するためのステージ１
２（載置部）を４個備えた載置台１１が設けられてい
る。インデクサ１０の壁面のうち４個のステージ１２の
それぞれに隣接する部分には開口２２が設けられてお
り、ポッド１に収容された基板Ｗは開口２２を介して搬
出搬入が行われることとなる。ここで、ステージ１２に
ポッド１が載置されていない状態においては、開口２２
から装置外部のパーティクル等が流入するのを防止する
ため、シャッター２３が閉じられて開口２２が遮蔽され
る。

【００２１】また、インデクサ１０には、ポッド１の蓋
２を開閉するためのポッドオープナ３０（蓋着脱手段）
およびポッド１から未処理基板Ｗを取り出すとともにポ
ッド１に処理済み基板Ｗを渡す基板移載ロボット５０
（基板受渡手段）が設けられている。これらの構成およ
び動作については後述する。

【００２２】さらに、インデクサ１０のポッドオープナ
３０および基板移載ロボット５０の上方にはファン２５
とフィルタ２６とが設けられており、清浄な空気がイン
デクサ１０の上方から下方へと流れ、ポッドオープナ３
０などから発生したパーティクルが舞い上がって基板Ｗ
に付着するのを防止している。

【００２３】ポッドオープナ３０は、蓋開閉部材３１と
エアシリンダ３２とピストン３３とを備えている。蓋開
閉部材３１は蓋２のロック機構を開閉して、ポッド１か
ら蓋２を取り外すことおよびポッド１に蓋２を装着する
ことが可能である。また、エアシリンダ３２およびピス
トン３３によって蓋開閉部材３１は鉛直方向（Ｚ方向）
に移動することが可能である。すなわち、エアシリンダ
３２およびピストン３３は、ポッドオープナ３０の鉛直
方向移動機構としての役割を果たしている。

【００２４】また、ポッドオープナ３０は、Ｘ方向移動
機構３５およびＹ方向移動機構４０によってそれぞれＸ
方向とＹ方向とに移動することが可能である。Ｘ方向移
動機構３５は、プーリ３６とベルト３７とによって構成
されており、プーリ３６に接続されたモータ（図示省
略）が回転することによって、プーリ３６に掛けられた
ベルト３７が回走し、その動作に伴ってベルト３７に係
止されたポッドオープナ３０がＸ方向に移動する。

【００２５】一方、Ｙ方向移動機構４０は、ボールネジ
４１とガイドレール４２とモータ４３とによって構成さ
れている。そして、上記Ｘ方向移動機構３５の下部はガ
イドレール４２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボー
ルネジ４１に螺合されている。モータ４３の正または逆
回転はそのままボールネジ４１に伝達され、ボールネジ
４１の回転動作にともなってＸ方向移動機構３５および
ポッドオープナ３０がＹ方向、すなわちポッド１が載置
されたステージ１２の配列の方向に沿って移動する。Ｙ
方向移動機構４０の各ステージ１２に対向する位置には
センサ４４が設けられており（図５には便宜上１つのみ
図示）、このセンサ４４によってポッドオープナ３０の
位置を検出しつつＹ方向移動の制御を行う。

【００２６】基板移載ロボット５０は、アーム５１と伸
縮機構５５と鉛直方向移動機構６５とＹ方向移動機構６
０とを備えている。本実施形態におけるアーム５１は、
「Ｉ」字型の形状であり、その上面には３つの基板支持
ピン５１ａが設けられている。アーム５１が基板Ｗを保
持するときには、３つの基板支持ピン５１ａに基板Ｗが
支持された状態となる。なお、アーム５１の形状は
「Ｉ」字型に限定されるものではなく、例えば「Ｕ」字
型であってもよい。

【００２７】基板移載ロボット５０の伸縮機構５５は、
プーリ５６とベルト５７とによって構成されている。図
示を省略するモータによってプーリ５６が回転され、そ
のプーリ５６に掛けられたベルト５７が回走し、ベルト
５７に係止されたアーム５１が前後に（Ｘ方向に）伸縮
動作を行う。

【００２８】また、基板移載ロボット５０は、鉛直方向
移動機構６５およびＹ方向移動機構６０によってそれぞ
れＺ方向とＹ方向とに移動することが可能である。鉛直
方向移動機構６５は、ボールネジ６７とモータ６８とに
よって構成されている。ボールネジ６７には、基板移載
ロボット５０の支持台６６が螺合されており、モータ６
８によってボールネジ６７が正または逆方向に回転する
と、その回転動作にともなって基板移載ロボット５０が
鉛直方向に移動する。

【００２９】一方、Ｙ方向移動機構６０は、ボールネジ
６１とガイドレール６２とモータ６３とによって構成さ
れている。そして、上記鉛直方向移動機構６５の下部は
ガイドレール６２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボ
ールネジ６１に螺合されている。モータ６３の正または
逆回転はそのままボールネジ６１に伝達され、ボールネ
ジ６１の回転動作にともなって基板移載ロボット５０が
Ｙ方向に移動する。

【００３０】インデクサ１０には、上記の他に、シャッ
ター２３を開閉するためのシャッター開閉機構２４と、
インデクサ１０内部の各機構を制御するコントローラ５
と、ポッドオープナ３０が取り外した蓋２を待避させる
ための蓋待避部７０とが設けられている。

【００３１】次に、ステージ１２に載置されたポッド１
とインデクサ１０との基板受渡動作について説明する。

【００３２】まず、ＯＨＴ等の搬送機構によって搬送さ
れてきたポッド１が４個のステージ１２のうちのいずれ
かに載置される。この時点においては、蓋２とシャッタ
ー２３との間に若干の間隔が生じるようにポッド１が載
置される（図６参照）。４個のステージ１２のそれぞれ
には図示を省略するポッド駆動機構が設けられており、
ステージ１２に載置されたポッド１をＸ方向に移動させ
ることが可能に構成されている。このポッド駆動機構
は、ベルト送り機構などを用いて構成すればよい。

【００３３】ステージ１２にポッド１が載置されると、
上記ポッド駆動機構がポッド１を（−Ｘ）方向に（シャ
ッター２３に向けて）移動させるとともに、シャッター
開閉機構２４がシャッター２３を開ける。そして、当該
ポッド１が載置されているステージ１２に対向する地点
にポッドオープナ３０が位置するように、Ｙ方向移動機
構４０がポッドオープナ３０を移動させる。

【００３４】ポッドオープナ３０のＹ方向移動が完了す
ると、Ｘ方向移動機構３５がポッドオープナ３０を（＋
Ｘ）方向に（ポッド１に向けて）移動させ、蓋開閉部材
３１を蓋２に接触させる。なお、蓋開閉部材３１の上下
位置は開口２２と一致するように、予めエアシリンダ３
２によって調整されている。図７は、蓋開閉部材３１が
蓋２に接触した状態を示す部分縦断面図である。

【００３５】次に、蓋開閉部材３１が蓋２のロック機構
を解除する。図８は蓋２のロック機構を示す図であり、
図９は蓋開閉部材３１のロック解除機構を示す図であ
る。図８に示すように、本実施形態におけるロック機構
は、ラックとピニオンを用いた機構であり、ピニオン２
ｂが回転することによってラック２ａが上下動し、ロッ
ク機構が開閉される。一方、図９に示すように、蓋開閉
部材３１にはロック解除機構として２本のピン状の連結
部材３１ａとモータ３１ｂとが設けられている。蓋開閉
部材３１が蓋２のロック機構を解除するときには、２本
のピン状の連結部材３１ａがピニオン２ｂの２つの孔に
嵌入された状態で、連結部材３１ａをモータ３１ｂが回
転させ、その回転にともなってピニオン２ｂが回転する
ことにより蓋２のロック機構が解除される。

【００３６】蓋２のロック機構が解除されると、ポッド
オープナ３０が（−Ｘ）方向に移動する。このときに、
蓋開閉部材３１に連結された蓋２も蓋開閉部材３１とと
もに（−Ｘ）方向に移動し、ポッド１から外れる。その
後、図１０に示すように、ポッドオープナ３０が鉛直方
向下向きに降下し、蓋２の開放作業が終了する。

【００３７】蓋２が開けられたポッド１に対しては、基
板移載ロボット５０がアクセスし、未処理基板Ｗの取り
出しや処理済み基板Ｗの収納を行う。すなわち、基板移
載ロボット５０は、伸縮機構５５、鉛直方向移動機構６
５およびＹ方向移動機構６０によって３次元的に移動す
ることが可能であり、任意のステージ１２に載置されて
いるポッド１のいかなる高さ位置に対しても基板Ｗの出
し入れを行うことができる。

【００３８】基板移載ロボット５０による基板Ｗの出し
入れ作業が終了すると、上述したのとは逆の手順によっ
て蓋２がポッド１に装着され、当該ポッド１が基板処理
装置外部に搬出される。

【００３９】以上のように、第１実施形態においては、
１つのポッドオープナ３０がＹ方向移動機構４０によっ
てステージ１２の配列の方向に沿って移動することが可
能であるため、４個のステージ１２のいずれに載置され
たポッド１についてもその１つのポッドオープナ３０に
よって蓋２の開閉作業を行うことができる。従って、イ
ンデクサ１０全体を簡単な構造にできるとともに、制御
も容易なものとなり、設置スペースおよび消費電力も小
さくすることが可能となる。

【００４０】ところで、本実施形態においては、１つの
ポッドオープナ３０が４個のポッド１の蓋２の開閉作業
を行うこととなる。一方、ポッドオープナ３０の蓋開閉
部材３１は１つの蓋２しか保持しておくことができな
い。そこで、インデクサ１０には蓋待避位置である２ヶ
所の蓋待避部７０が設けられている。蓋待避部７０は、
蓋２を載置しておくことができる台である。ポッドオー
プナ３０があるポッド１の蓋２を取り外した直後に、他
のポッド１の蓋２を取り外すときは、先に取り外した蓋
２を一旦蓋待避部７０に待避・載置した後、当該他のポ
ッド１の蓋２の開放作業を行う。このようにすれば、１
つのポッド１の蓋２を取り外した後、その蓋２を装着す
ることなく、他のポッド１の蓋２を取り外すことが容易
に可能となる。なお、蓋待避部７０は２ヶ所に限定され
るものではない。

【００４１】＜第２の実施の形態＞次に、本発明の第２
実施形態について図１１および図１２を参照しつつ説明
する。図１１は第２実施形態のインデクサ１０の平断面
図であり、また図１２は第２実施形態のインデクサ１０
の縦断面図である。

【００４２】第２実施形態が第１実施形態と異なるの
は、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０に設け
られている点である。すなわち、第１実施形態において
は、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０とは別
個独立に駆動されていたのに対し、第２実施形態ではポ
ッドオープナ３０のＸ方向移動機構３５が基板移載ロボ
ット５０の鉛直方向移動機構６５と一体に設けられてお
り、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０のＹ方
向移動機構６０によりステージ１２の配列の方向に沿っ
て移動されるのである。

【００４３】第２実施形態のＹ方向移動機構６０は、上
記第１実施形態と同様に、ボールネジ６１とガイドレー
ル６２とモータ６３とによって構成されており、鉛直方
向移動機構６５およびＸ方向移動機構３５の下部はガイ
ドレール６２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボール
ネジ６１に螺合されている。モータ６３の正または逆回
転はそのままボールネジ６１に伝達され、ボールネジ６
１の回転動作にともなって基板移載ロボット５０および
ポッドオープナ３０がＹ方向に移動する。

【００４４】従って、基板移載ロボット５０のＹ方向移
動機構６０は、基板移載ロボット５０とともにポッドオ
ープナ３０をもＹ方向に移動させる役割を果たしてい
る。但し、Ｙ方向に関しては基板移載ロボット５０とポ
ッドオープナ３０とが１つの移動機構を共用しているも
のの、Ｘ方向およびＺ方向に関しては基板移載ロボット
５０とポッドオープナ３０とが別個独立に移動され、各
移動機構の構成については第１実施形態と同じである。
また、残余の構成やポッドオープナ３０の動作について
も第１実施形態と同じであるため説明を省略する。

【００４５】以上のようにしても、第１実施形態と同様
に、１つのポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０
のＹ方向移動機構６０によってステージ１２の配列の方
向に沿って移動することが可能であるため、４個のステ
ージ１２のいずれに載置されたポッド１についてもその
１つのポッドオープナ３０によって蓋２の開閉作業を行
うことができる。従って、インデクサ１０全体を簡単な
構造にできるとともに、制御も容易なものとなり、設置
スペースおよび消費電力も小さくすることが可能とな
る。またこの第２実施形態においては、ポッドオープナ
３０と基板移載ロボット５０のＹ方向の移動をともにＹ
方向移動機構６０によって行う構成としているので、移
動機構の構成をより簡素化することができる。

【００４６】＜変形例＞以上、本発明の実施の形態につ
いて説明したが、この発明は上記の例に限定されるもの
ではない。例えば、載置台１１に設けられたステージ１
２の数は４個に限られるものではなく、２個以上であれ
ばよい。図１３は、２個のステージ１２を設けたインデ
クサ１０を示す模式図である。図示のようなインデクサ
１０においても、１つのポッドオープナ３０がステージ
１２の配列の方向に沿って移動することが可能であるた
め、２個のステージ１２のいずれに載置されたポッド１
に対しても蓋２の開閉作業を行うことができ、上記実施
形態と同様の効果を得ることができる。

【００４７】また、ステージ１２の配列は直線に限定さ
れるものではない。図１４は２個のステージ１２を円弧
状に配列したインデクサ１０を示す模式図である。この
インデクサ１０においては、ポッドオープナ３０が２個
のステージ１２の配列と同心円の軌跡を描くように移動
することが可能に構成されている。すなわち、この場合
においても、１つのポッドオープナ３０は２個のステー
ジ１２の配列の方向に沿って移動することが可能であ
り、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

【００４８】また、第１実施形態におけるポッドオープ
ナ３０のＹ方向移動機構４０は、ボールネジ４１とガイ
ドレール４２とモータ４３とによって構成されていた
が、これを例えばベルト送り機構やその他の移動機構に
よって構成するようにしてもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、蓋着脱手段を複数の基板収納容器の配列に沿っ
て移動させることが可能な駆動手段を備えているため、
複数の基板収納容器のいずれに対しても１つの蓋着脱手
段によって蓋の開閉作業を行うことができ、その結果、
蓋開閉装置全体としての構造を簡素化できるとともに、
制御も容易となり、設置スペースおよび消費電力も小さ
なものとすることが可能になる。

【００５０】また、請求項２の発明によれば、蓋着脱手
段は、蓋開閉装置外部に設けられた蓋待避位置との間で
蓋の受け渡しを行うことが可能であるため、一つの基板
収納容器の蓋を取り外した後、その蓋を装着することな
く、他の基板収納容器の蓋を取り外すことが可能とな
る。

【００５１】また、請求項３の発明によれば、蓋着脱手
段を複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能
な駆動手段を備えているため、複数の基板収納容器のい
ずれに対しても１つの蓋着脱手段によって蓋の開閉作業
を行うことができ、その結果、基板搬入搬出装置全体と
しての構造を簡素化できるとともに、制御も容易とな
り、設置スペースおよび消費電力も小さなものとするこ
とが可能になる。

【００５２】また、請求項４の発明によれば、基板収納
容器から取り外された蓋を待避させる蓋待避位置を備え
ているため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、
その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取
り外すことが可能となる。

【００５３】また、請求項５の発明によれば、蓋着脱手
段を基板受渡手段に設け、基板受渡手段を複数の載置部
の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段を備え
ているため、複数の基板収納容器のいずれに対しても１
つの蓋着脱手段によって蓋の開閉作業を行うことがで
き、その結果、基板搬入搬出装置全体としての構造を簡
素化できるとともに、制御も容易となり、設置スペース
および消費電力も小さなものとすることが可能になる。

【００５４】また、請求項６の発明によれば、基板収納
容器から取り外された蓋を待避させる蓋待避位置を備え
ているため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、
その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取
り外すことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板を収納するポッドの一例を示す斜視図であ
る。

【図２】ポッドの内部の状態を示す平面図である。

【図３】ポッドの内部の状態を示す正面図である。

【図４】インデクサの外観斜視図である。

【図５】図４のインデクサの平断面図である。

【図６】図４のインデクサの縦断面図である。

【図７】ポッドオープナの蓋開閉部材が蓋に接触した状
態を示す部分縦断面図である。

【図８】蓋のロック機構を示す図である。

【図９】蓋開閉部材のロック解除機構を示す図である。

【図１０】ポッドオープナが蓋を開放した状態を示す部
分縦断面図である。

【図１１】第２実施形態のインデクサの平断面図であ
る。

【図１２】第２実施形態のインデクサの縦断面図であ
る。

【図１３】２個のステージを設けたインデクサを示す模
式図である。

【図１４】２個のステージを円弧状に配列したインデク
サを示す模式図である。

【符号の説明】

１ポッド２蓋１０インデクサ１１載置台１２ステージ３０ポッドオープナ４０、６０Ｙ方向移動機構５０基板移載ロボット７０蓋待避部Ｗ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の基板収納容器のそれぞれの蓋を開
閉する基板収納容器の蓋開閉装置であって、 (a) 前記基板収納容器から前記蓋を取り外すことと前記
基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手
段と、 (b) 前記蓋着脱手段を前記複数の基板収納容器の配列に
沿って移動させることが可能な駆動手段と、を備えるこ
とを特徴とする基板収納容器の蓋開閉装置。
【請求項２】請求項１記載の基板収納容器の蓋開閉装
置において、前記駆動手段は、前記蓋着脱手段を前記蓋開閉装置外部
に設けられた蓋待避位置に移動させることも可能であ
り、前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受
け渡しを行うことが可能であることを特徴とする基板収
納容器の蓋開閉装置。
【請求項３】複数の基板収納容器との間で基板の受け
渡しを行う基板搬入搬出装置であって、 (a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を
設けた載置台と、 (b) 前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前記基板
収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段
と、 (c) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基
板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段
と、 (d) 前記蓋着脱手段を前記複数の載置部の配列に沿って
移動させることが可能な駆動手段と、を備えることを特
徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項４】請求項３記載の基板搬入搬出装置におい
て、 (e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避さ
せる蓋待避位置を、さらに備え、前記駆動手段は、前記蓋着脱手段を前記蓋待避位置に移
動させることも可能であり、前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受
け渡しを行うことを特徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項５】複数の基板収納容器との間で基板の受け
渡しを行う基板搬入搬出装置であって、 (a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を
設けた載置台と、 (b) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基
板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段
と、 (c) 前記基板受渡手段に設けられ、前記基板収納容器か
ら蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着
することが可能な蓋着脱手段と、 (d) 前記基板受渡手段を前記複数の載置部の配列に沿っ
て移動させることが可能な駆動手段と、を備えることを
特徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項６】請求項５記載の基板搬入搬出装置におい
て、 (e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避さ
せる蓋待避位置を、さらに備え、前記駆動手段は、前記基板受渡手段を前記蓋待避位置に
移動させることも可能であり、前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受
け渡しを行うことを特徴とする基板搬入搬出装置。