JP2007227972A - キャリアストッカ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を収容するキャリアCを外部から受け取る第1受け渡し部10と、装置4に対して基板を受け渡しするためにキャリアCを載置する第2受け渡し部300との間でキャリア搬送ロボット20がキャリアCを搬送する。第1受け渡し部10の第1載置台11には、キャリア搬送ロボット20の昇降ハンド23が通過可能な通過口12が形成され、第2受け渡し部300の第2載置台303には、昇降ハンド23が通過可能な切り欠き部304が形成されている。このため、キャリア搬送ロボット20はキャリアCの底部を支持して搬送することが可能となり、キャリアストッカにおける搬送の高速化を図れる。
【選択図】図4
Description
図1は本発明に係る第1施形態のキャリアストッカ1の斜視図である。なお、便宜上図示のようにX、Y、Z軸を設定する。
第1受け渡し部10は第1載置台11を有している。
ストック棚60A、60Bはそれぞれ第1載置台11と同様の構造であって、第1受け渡し部10が外部から受け取ったキャリアまたは第1受け渡し部10が外部へ渡すキャリアを一時的に保管する。
第2受け渡し部30は水平ベース31と水平ベース上でX軸方向に水平移動する水平移動台32とを有する。水平移動台32にはキャリアCが載置されたとき、キャリアCの底面に形成されている図示せぬピン穴に嵌合する3本のピン33が立設されている。このため、水平移動台32上ではキャリアCは位置決めがなされる。
図1に戻ってキャリア搬送ロボット20はY軸方向に延設されているレールR1上を走行する走行台21、走行台21上に固定されている垂直ベース22、垂直ベース22に沿って昇降する昇降ハンド23を有する。
仲介リフタ40は第2受け渡し部30の上方に設けられている。図2に仲介リフタ40の詳細を示す。
図1に戻って、キャリアストッカ1に対しては搬入出ロボット50がキャリアCを搬入、搬出する。
次にキャリアストッカ1の動作の一例について説明する。
図4に第2実施形態のキャリアストッカ100を示す。
10 第1受け渡し部
20 キャリア搬送ロボット
24、33、56 ピン
30、300 第2受け渡し部
32 水平移動台
40 仲介リフタ
42 固定チャック
43 回動チャック
303 第2載置台
C キャリア
CT 鍔部材
CP 柱状部材
Claims (4)
- 基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカであって、
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第1受け渡し部と、
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、または、基板処理装置との間でキャリアに対して基板を受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第2受け渡し部と、
キャリアの底部の内、前記第1受け渡し部および第2受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送するキャリア搬送手段とを有し、
前記第2受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。 - 請求項1に記載のキャリアストッカにおいて、
前記第1受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。 - 請求項1または請求項2に記載のキャリアストッカにおいて、
前記キャリア搬送手段は、上下方向に昇降可能な昇降ハンドを有し、前記昇降ハンドの上面にはキャリアの底部を支持するピンが立設されていることを特徴とするキャリアストッカ。 - 請求項3に記載のキャリアストッカにおいて、
前記キャリア搬送手段は、
前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間で水平方向に延設されたレールと、
前記レールを走行する走行台と、
前記走行台に設けられるとともに、前記昇降ハンドが取り付けられた垂直ベースと、
を有することを特徴とするキャリアストッカ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007140697A JP2007227972A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | キャリアストッカ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007140697A JP2007227972A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | キャリアストッカ |
Related Parent Applications (1)
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Publications (1)
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JP2007227972A true JP2007227972A (ja) | 2007-09-06 |
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Family Applications (1)
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JP2007140697A Pending JP2007227972A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | キャリアストッカ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007227972A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109155270A (zh) * | 2016-03-22 | 2019-01-04 | 株式会社新川 | 基板供给单元及接合装置 |
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-
2007
- 2007-05-28 JP JP2007140697A patent/JP2007227972A/ja active Pending
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