JP2007227972A

JP2007227972A - キャリアストッカ

Info

Publication number: JP2007227972A
Application number: JP2007140697A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Mitsuyoshi; 一郎光▲吉▼
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-05-28
Filing date: 2007-05-28
Publication date: 2007-09-06

Abstract

【課題】キャリアストッカにおけるスループットの向上を図る。
【解決手段】基板を収容するキャリアＣを外部から受け取る第１受け渡し部１０と、装置４に対して基板を受け渡しするためにキャリアＣを載置する第２受け渡し部３００との間でキャリア搬送ロボット２０がキャリアＣを搬送する。第１受け渡し部１０の第１載置台１１には、キャリア搬送ロボット２０の昇降ハンド２３が通過可能な通過口１２が形成され、第２受け渡し部３００の第２載置台３０３には、昇降ハンド２３が通過可能な切り欠き部３０４が形成されている。このため、キャリア搬送ロボット２０はキャリアＣの底部を支持して搬送することが可能となり、キャリアストッカにおける搬送の高速化を図れる。
【選択図】図４

Description

本発明は基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカに関する。

キャリアストッカは基板を収容するキャリアを外部から受け取って収容し、収容したキャリアを必要に応じて所定位置に搬送するものである。

近年、基板を収容するキャリアとしては従来のように基板の主面を垂直にして、複数の基板を水平方向に一列に配列した状態で基板を収容する水平配列キャリアに加え、基板の主面を水平にして複数の基板を垂直方向に一列に配列した状態で基板を収容する垂直配列キャリアが使用されるようになった。

このような垂直配列キャリア（以下、単にキャリアという。）を図５（ａ）に示す。

キャリアＣは前面に開口ＴＨを有するキャリア本体ＣＢと該開口に対して着脱可能な前面蓋ＦＬを有する。

キャリア本体ＣＢの上部にはキャリア本体ＣＢから上方に延びる柱状部材ＣＰが設けられ、柱状部材ＣＰの頂部には鍔部材ＣＴが設けられている。

また、前面蓋ＦＬにはロック機構が設けられている。ロック機構の詳細は図示しないがロック穴ＣＨに後述のオープナー９２０が有する着脱機構を嵌合させて着脱機構を動作させることにより、前面蓋ＦＬとキャリア本体ＣＢとを固定、解除できる。

このようなキャリアＣは図５（ｂ）のようにステージ９１１に載置され、そして、オープナー９２０によって前面蓋ＦＬが着脱される。なお、図５（ｂ）には便宜上Ｘ、Ｙ、Ｚ軸を設定する。オープナー９２０は上方に開口を有し、機枠等に固定されているハウジング９２１とハウジング９２１に対してＸ軸方向に進退可能で、かつ、上下方向に移動可能な着脱ハンド９２２を有する。また、着脱ハンド９２２には図示はしないがロック穴ＣＨと嵌合して前面蓋のロック機構を作動させたり解除させたりする着脱機構が設けられている。また、着脱機構はキャリア本体ＣＢから外した前面蓋ＦＬを保持することができ、着脱ハンド９２２が前面蓋ＦＬを保持して下降することによって、開口ＴＨを通じての基板Ｗの搬入、搬出が可能になる。

このようなキャリアＣを収容するキャリアストッカではキャリアストッカの外部から基板Ｗを収容したキャリアＣを受け取る第１受け渡し部と、ステージ９１１のようにキャリアＣが載置され、載置されているキャリアＣ内の基板Ｗがキャリアストッカの外部に対して搬入、搬出される第２受け渡し部とを有し、第１受け渡し部と第２受け渡し部との間でキャリアＣを搬送する搬送手段を有する。このような搬送手段には例えば、鍔部材ＣＴを把持してキャリアＣを吊り下げた状態でステージ９１１に搬送する搬送ロボットがある。

しかし、鍔部材ＣＴを把持してキャリアＣを吊り下げた状態で搬送する場合、柱状部材ＣＰの強度の問題から急な加減速ができないので搬送速度の高速化は望めない。このため、スループットの向上はある程度までしか求められない。

本発明の目的はキャリアストッカにおけるスループットの向上を図ることである。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカにおいて、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第１受け渡し部と、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、または、基板処理装置との間でキャリアに対して基板を受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第２受け渡し部と、キャリアの底部の内、前記第１受け渡し部および第２受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第１受け渡し部と第２受け渡し部との間でキャリアを搬送するキャリア搬送手段とを有し、前記第２受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記第１受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記キャリア搬送手段は、上下方向に昇降可能な昇降ハンドを有し、前記昇降ハンドの上面にはキャリアの底部を支持するピンが立設されていることを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記キャリア搬送手段は、前記第１受け渡し部と第２受け渡し部との間で水平方向に延設されたレールと、前記レールを走行する走行台と、前記走行台に設けられるとともに、前記昇降ハンドが取り付けられた垂直ベースと、を有することを特徴とする。

本発明によれば、キャリア搬送手段は、第１受け渡し部および第２受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持して第１受け渡し部と第２受け渡し部との間でキャリアを搬送することができるため、キャリア搬送手段の移動速度を大きくすることができ、キャリアストッカのスループットの向上を図ることができる。

＜第１実施形態のキャリアストッカ＞
図１は本発明に係る第１施形態のキャリアストッカ１の斜視図である。なお、便宜上図示のようにＸ、Ｙ、Ｚ軸を設定する。

キャリアストッカ１は隔壁２を境界に基板処理装置等の他の装置４に連設されている。

また、隔壁２には開口３が開けられており、開口３を挟んで隔壁２のＸ軸正方向側にはオープナー７０が設けられている。

オープナー７０はキャリアＣの前面蓋（不図示）を着脱する着脱ハンド７１を有し、該着脱ハンド７１はＸ軸方向に進退可能で、Ｚ軸方向に昇降可能である。そして、着脱ハンド７１には前面蓋のロックを着脱する着脱機構７２が設けられており、開口３を通じて第２受け渡し部３０（後述）に載置されたキャリアＣの前面蓋を着脱する。

なお、着脱ハンド７１が前面蓋を外すときは、着脱機構７２が前面蓋を保持した状態で前記着脱ハンド７１がＸ軸正方向に移動してさらに降下することによって、開口３を通じてのキャリアＣ内の基板（不図示）の出し入れが可能になる。

キャリアストッカ１は搬入出ロボット５０（後述）に対してキャリアＣを受け渡しする第１受け渡し部１０、複数のキャリアＣを載置しておくストック棚６０Ａ、６０Ｂ、その他の装置４に対してキャリア内の基板が受け渡しされるためにキャリアが載置される第２受け渡し部３０、キャリアＣを保持して第１受け渡し部１０、ストック棚６０Ａ、６０Ｂとの間でキャリアＣを搬送するキャリア搬送ロボット２０、キャリア搬送ロボットと第２受け渡し部との間でキャリアＣを搬送する仲介リフタ４０を有する。

＜第１受け渡し部＞
第１受け渡し部１０は第１載置台１１を有している。

第１載置台１１は、後述の搬入出ロボット５０の支持スライダ５５や、キャリア搬送ロボット２０の昇降ハンド２３が昇降したときに該支持スライダ５５や昇降ハンド２３が通過できる通過口１２を有する。この通過口１２の大きさはキャリアＣの底面の周辺部分が第１載置台１１に乗る程度の大きさにされている。

よって、第１載置台１１はキャリアＣの底部の周辺部分を支持することによってキャリアＣを支持する。

＜ストック棚＞
ストック棚６０Ａ、６０Ｂはそれぞれ第１載置台１１と同様の構造であって、第１受け渡し部１０が外部から受け取ったキャリアまたは第１受け渡し部１０が外部へ渡すキャリアを一時的に保管する。

＜第２受け渡し部＞
第２受け渡し部３０は水平ベース３１と水平ベース上でＸ軸方向に水平移動する水平移動台３２とを有する。水平移動台３２にはキャリアＣが載置されたとき、キャリアＣの底面に形成されている図示せぬピン穴に嵌合する３本のピン３３が立設されている。このため、水平移動台３２上ではキャリアＣは位置決めがなされる。

また、水平移動台３２は、図３（ａ）のように仲介リフタ４０下方で該仲介リフタ４０との間でキャリアＣを受け渡しする仲介位置と、図３（ｂ）のように仲介位置よりもＸ軸正方向で、キャリアＣの前面蓋とオープナー７０の着脱ハンド７１とが接触する蓋開閉位置との２つの位置をＸ軸方向に沿って水平移動する。

＜キャリア搬送ロボット＞
図１に戻ってキャリア搬送ロボット２０はＹ軸方向に延設されているレールＲ１上を走行する走行台２１、走行台２１上に固定されている垂直ベース２２、垂直ベース２２に沿って昇降する昇降ハンド２３を有する。

昇降ハンド２３は第１載置台１１の通過口１２に対して昇降する際、該通過口１２を通過可能な形状をしている。具体的には昇降ハンド２３の一部が平面視で通過口１２と相似形状をなしている。なお、昇降ハンド２３の一部と通過口１２とは相似形状であるが、平面視での大きさは昇降ハンド２３の方が小さいため、昇降ハンド２３は通過口１２を通過可能である。このため、昇降ハンド２３はキャリアＣの底部のうち、第１載置台１１が支持しているキャリアＣの周辺部分よりも内側を支持する。すなわち、昇降ハンド２３はキャリアＣの底部のうち、第１載置台１１が支持している部分とは異なる部分を支持する。

また昇降ハンド２３の上面にはキャリアＣの底面に形成されている図示せぬピン穴に嵌合する３本のピン２４が立設されている。このため、昇降ハンド２３上ではキャリアＣは位置決めがなされる。

このようなキャリア搬送ロボット２０は走行台２１がＹ軸方向に走行し、また、昇降ハンド２３が垂直ベース２２に沿って昇降することによって、キャリアを第１受け渡し部１０、ストック棚６０Ａ、６０Ｂ、仲介リフタ４０に対して受け渡しできる。

また、昇降ハンド２３上にはピン２４が立設されていて該ピン２４がキャリアＣのピン穴と嵌合するため、キャリア搬送ロボット２０が急加減速を行っても昇降ハンド２３上でキャリアＣの位置がずれることはなく、キャリアＣは安定して搬送される。

＜仲介リフタ＞
仲介リフタ４０は第２受け渡し部３０の上方に設けられている。図２に仲介リフタ４０の詳細を示す。

リフタベース４１はキャリアストッカ１の図示せぬフレームに固定されている。そして、リフタベース４１には水平移動台３２の移動方向すなわちＸ軸方向において固定チャック４２と回動チャック４３とが並んで設けられ、該固定チャック４２および、回動チャック４３は一体的にリフタベース４１に対して昇降可能に設けられている。

固定チャック４２はＹ軸方向に沿って延びる部材であって、キャリアＣの鍔部材ＣＴが上下方向に通過可能な切り欠き４２Ａを有し、また、鍔部材ＣＴの下面を支持する支持面４２Ｄを有する。

回動チャック４３はＹ軸方向に沿った軸４３Ａと、軸４３Ａと回動チャック本体４３Ｃとを連結する連結部材４３Ｂとを有する。そして、回動チャック本体４３Ｃは鍔部材ＣＴの下面を支持する支持面４３Ｄを有する。

この回動チャック４３では軸４３Ａを中心に回動することによって、図２（ａ）のように支持面４３Ｄが垂直状態になる解除姿勢と、図２（ｂ）のように支持面４３Ｄが水平になる保持姿勢とをとることができる。

＜搬入出ロボット＞
図１に戻って、キャリアストッカ１に対しては搬入出ロボット５０がキャリアＣを搬入、搬出する。

なお、図中２台の搬入出ロボット５０が示されているが、これらはいずれも同様の構造である。

搬入出ロボット５０は床面等に固定された固定ベース５１、固定ベース５１に対して昇降する昇降ベース５２、昇降ベース５２上で昇降ベース５２に対してＸ軸方向に水平移動する第１スライダ５３、第１スライダ５３上で第１スライダ５３に対してＸ軸方向に水平移動する第２スライダ５４、第２スライダ５４上で第２スライダ５４に対してＸ軸方向に水平移動する支持スライダ５５を有する。

支持スライダ５５はキャリア搬送ロボット２０の昇降ハンド２３と同様、第１載置台１１の通過口１２を通過可能な形状となっている。このため、支持スライダ５５はキャリアＣの底部のうち、第１載置台１１が支持している部分とは異なる部分を支持する。

搬入出ロボット５０では昇降ベース５２に対して第１スライダ５３、第２スライダ５４、支持スライダ５５が相対的に移動することによって支持スライダ５５をＸ軸方向に移動させることができる。また、昇降ベース５２が昇降することによって、支持スライダ５５の位置を上下させることができる。

搬入出ロボット５０がキャリアストッカ１に対してキャリアＣを渡す場合は、まず、図１のＹ軸負方向に示す搬入出ロボット５０のように支持スライダ５５を昇降ベース５２上に位置させた状態で不図示の搬送機からキャリアＣを受け取る。このとき、昇降ベース５２は上昇させておく。そして、図１のＹ軸正方向に示す搬入出ロボット５０のように第１スライダ５３、第２スライダ５４、支持スライダ５５をＸ軸正方向に移動させ、キャリアＣを第１載置台１１上に位置させる。その後、昇降ベース５２を降下させて支持スライダ５５に通過口１２を通過させることによって、支持スライダ５５上のキャリアＣを第１載置台１１に渡す。

ここで支持スライダ５５上にはピン５６が立設されていて該ピン５６がキャリアＣのピン穴と嵌合するため、支持スライダ５５上でキャリアＣの位置がずれることはなく、キャリアＣは安定して搬送される。

＜キャリアストッカの動作＞
次にキャリアストッカ１の動作の一例について説明する。

まず、第１載置台１１からキャリア搬送ロボット２０がキャリアＣを受け取る場合について説明する。

搬入出ロボット５０から第１載置台１１の通過口１２上にキャリアＣが載置される。このとき、支持スライダ５５上のピン５６によって支持スライダ５５上において位置決めがなされるのでキャリアＣは第１載置台１１の所定の位置に位置決めされている。

その後、キャリア搬送ロボット２０の昇降ハンド２３を第１載置台１１よりも低い位置に配した状態で走行台２１を走行させ、昇降ハンド２３をキャリアが載置されている通過口１２の下方に位置させる。この状態で昇降ハンド２３を垂直ベース２２に対して上昇させることによって昇降ハンド２３が開口１２を通過してキャリアＣの底面に達する。このとき、キャリアＣは第１載置台１１上で所定の位置に位置決めされているので昇降ハンド２３のピン２４とキャリアＣのピン穴とが確実に嵌合する。さらに、昇降ハンド２３を上昇させることによって昇降ハンド２３でキャリアＣの底面を支持できる。このとき、昇降ハンド２３はキャリアＣの底部のうち、第１載置台１１が支持している部分とは異なる部分を支持している。

その次に必要に応じてキャリア搬送ロボット２０を移動させて昇降ハンド２３に支持しているキャリアＣをストック棚６０Ａ、６０Ｂに載置したり、仲介リフタ４０に搬送する。

なお、キャリア搬送ロボット２０が保持しているキャリアＣを第１載置台１１に載置する場合は上記と逆の手順を踏めばよい。

次に、キャリアＣがキャリア搬送ロボット２０によって仲介リフタ４０に搬送され、該キャリアＣが仲介リフタ４０によって第２受け渡し部３０に搬送される場合について説明する。

まず、昇降ハンド２３上にキャリアＣを支持させておく。

仲介リフタ４０は図２（ａ）のように固定チャック４２、および、回動チャック４３をリフタベース４１に対して上昇させた状態でかつ、回動チャック４３を解除姿勢にしておく。

この状態でキャリア搬送ロボット２０を移動させて固定チャック４２の支持面４２Ｄ上方にキャリアＣの鍔部材ＣＴを配する。

このとき、固定チャック４２には切り欠き４２Ａが設けられているので鍔部材ＣＴと固定チャック４２とは干渉することがない。特に鍔部材ＣＴの上下方向における厚みがキャリアＣの仕様毎に異なっていても干渉することがない。

次に、図２（ｂ）のように回動チャック４３を回動させて支持面４３ＤをキャリアＣの鍔部材ＣＴとキャリア本体ＣＲとの間に配する。そして、昇降ハンド２３を降下させれば鍔部材ＣＴが支持面４２Ｄ、４３Ｄによって支持され、その結果、仲介リフタ４０によって、キャリアＣが保持される。このとき、昇降ハンド２３にはピン２４が立設されており、昇降ハンド２３上でキャリアＣが位置決めされているので仲介リフタ４０の所定の位置にキャリアＣが保持される。

以上のようにしてキャリア搬送ロボット２０から仲介リフタ４０にキャリアＣが渡される。

次に、昇降ハンド２３を水平移動台３２上方から退避させ、図３（ａ）のように固定チャック４２と回動チャック４３とをともにリフタベース４１に対して降下させればキャリアＣが水平移動台３２上に載置される。

このとき、仲介リフタ４０においてキャリアＣが所定の位置に位置決めされているのでキャリアＣは確実に水平移動台３２上のピン３３に嵌合する。

さらに、第２受け渡し部３０におけるキャリアＣの開口３側への水平移動について説明する。

図３（ａ）のように水平移動台３２上にキャリアＣが載置された状態で、図３（ｂ）のように回動チャック４３を回動させて該回動チャック４３を解除姿勢にする。そして、水平移動台３２をＸ軸正方向に移動させて蓋開閉位置に移動させることによってキャリアＣを開口３側へ移動させることができる。この後、図１に示すオープナー７０によってキャリアＣの図示せぬ前面蓋が外される。

このように水平移動台３２の移動に伴ってキャリアＣも移動するが、回動チャック４３が回動して解除姿勢をとることにより回動チャック４３はキャリアＣの移動経路外に移動するので回動チャック４３とキャリアＣとの干渉を防止することができる。

なお、蓋開閉位置にある水平移動台３２が支持しているキャリアＣを仲介リフタ４０を介してキャリア搬送ロボット２０に渡す場合は上記と逆の手順を踏めばよい。

なお、キャリアＣは収容枚数の違いによって高さ方向の寸法が異なり、したがって、鍔部材ＣＴの高さ方向における位置が異なるものがある。

鍔部材ＣＴの位置がそれぞれ異なるキャリアＣを混在させて取り扱う場合、例えばキャリア搬送ロボットが鍔部材ＣＴを保持して搬送するものではキャリア搬送ロボットがキャリアを受け渡しする際、鍔部材ＣＴを保持しに行く高さ方向の位置をキャリアＣの寸法に従って変更せねばならず、制御が複雑になってしまう。

しかし、本実施形態のキャリアストッカ１によれば、キャリア搬送ロボット２０はキャリアＣの底部を支持して搬送し、第１受け渡し部１０、ストッカ棚６０Ａ、６０Ｂもキャリア搬送ロボット２０との間でキャリアＣを受け渡しするとき、キャリアＣの底部を支持する。このため、上記第１受け渡し部１０、ストッカ棚６０Ａ、６０Ｂに対してはキャリアＣの高さ方向の寸法の違いに関係なく、キャリア搬送ロボット２０は同じ制御でキャリアＣの受け渡しができ、制御が簡単になる。

また、キャリア搬送ロボット２０はキャリアＣの底部を支持して搬送するのでキャリアＣの鍔を保持して搬送するものに比べて急な加減速ができ、搬送の高速化を図れる。

＜第２実施形態のキャリアストッカ＞
図４に第２実施形態のキャリアストッカ１００を示す。

第１実施形態のキャリアストッカ１と本実施形態のキャリアストッカ１００との違いはキャリアストッカ１００は仲介リフタを有していないこと、第２受け渡し部の構造が違うことである。よって、第２受け渡し部３００について説明する。

第２受け渡し部３００は隔壁２に固定された固定部材３０１と固定部材３０１に固定されたＬ型部材３０２とＬ型部材３０２上に固定された第２載置台３０３を有する。

第２載置台３０３は昇降ハンド２３が昇降する際に通過可能な切り欠き部３０４を有する。そして、キャリアＣを支持した昇降ハンド２３が第２載置台３０３上方から下方に降下することで、キャリアＣの底面の周辺部分が第２載置台３０３に乗り、キャリアＣは第２載置台３０３に支持される。この場合、第２載置台３０３はキャリアＣの底部の周辺部分を支持し、昇降ハンド２３は該周辺部分よりも内側の部分を支持する。すなわち、昇降ハンド２３はキャリアＣの底部のうち、第１載置台１１、第２載置台３０３によって支持される部分とは異なる部分を支持している。

ここでは、昇降ハンド２３上で位置決めされた状態でキャリアＣが第２載置台３０３に載置されるのでキャリアＣは第２載置台３０３の所定の位置に載置される。このため、オープナー７０によって確実にキャリアＣの前面蓋が着脱される。

この第２実施形態のキャリアストッカ１００では第１実施形態のキャリアストッカ１のような仲介リフタ４０が不要なので装置コストの上昇を抑えることができる。

また、キャリアＣは収容枚数の違いによって高さ方向の寸法が異なり、したがって、鍔部材ＣＴの高さ方向における位置がそれぞれ異なるものがある。

鍔部材ＣＴの位置が異なるキャリアＣを混在させて取り扱う場合、例えばキャリア搬送ロボットが鍔部材ＣＴを保持して搬送するものではキャリア搬送ロボットがキャリアを受け渡しする際、鍔部材ＣＴを保持しに行く高さ方向の位置をキャリアＣの寸法に従って変更せねばならず、制御が複雑になってしまう。

しかし、本実施形態のキャリアストッカ１００によれば、キャリア搬送ロボット２０はキャリアＣの底部を支持して搬送し、第１受け渡し部１０、ストッカ棚６０Ａ、６０Ｂ、第２受け渡し部３００もキャリア搬送ロボット２０との間でキャリアＣを受け渡しするときキャリアＣの底部を支持する。このため、キャリアＣの高さ方向の寸法の違いに関係なく、キャリア搬送ロボット２０は同じ制御でキャリアＣの受け渡しができ、制御が簡単になる。

また、鍔部材ＣＴを持つキャリア、持たないキャリアの何れも搬送することができる。

以上のようなキャリアストッカ１、１００によればキャリア搬送ロボット２０はキャリアＣの底部を支持して搬送するのでキャリアＣの鍔部材ＣＴを保持して搬送するものに比べて急な加減速ができ、搬送の高速化を図れる。

また、キャリア搬送ロボット２０がキャリアＣの底部を支持して搬送できるため、キャリア搬送ロボット２０が鍔部材ＣＴや、柱状部材ＣＰを保持する必要が無く、鍔部材ＣＴや、柱状部材ＣＰに力がかかることが少なくなる。このため、鍔部材ＣＴや、柱状部材ＣＰの寿命を伸ばすことができる。

なお、以上のようなキャリアストッカ１、１００では第２受け渡し部３０、３００が他の装置４へ基板を渡すためにキャリアＣを支持するが、キャリアＣそのものを他の装置４へ渡すためにキャリアＣを保持してもよい。

第１の実施の形態であるキャリアストッカの構成を示す図である。第１の実施の形態におけるキャリアストッカの一部を示す図である。第１の実施の形態におけるキャリアストッカの一部を示す図である。第２の実施の形態であるキャリアストッカの構成を示す図である。従来のキャリアを説明した図である。

符号の説明

１、１００キャリアストッカ
１０第１受け渡し部
２０キャリア搬送ロボット
２４、３３、５６ピン
３０、３００第２受け渡し部
３２水平移動台
４０仲介リフタ
４２固定チャック
４３回動チャック
３０３第２載置台
Ｃキャリア
ＣＴ鍔部材
ＣＰ柱状部材

Claims

基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカであって、
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第１受け渡し部と、
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、または、基板処理装置との間でキャリアに対して基板を受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第２受け渡し部と、
キャリアの底部の内、前記第１受け渡し部および第２受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第１受け渡し部と第２受け渡し部との間でキャリアを搬送するキャリア搬送手段とを有し、
前記第２受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。
請求項１に記載のキャリアストッカにおいて、
前記第１受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。
請求項１または請求項２に記載のキャリアストッカにおいて、
前記キャリア搬送手段は、上下方向に昇降可能な昇降ハンドを有し、前記昇降ハンドの上面にはキャリアの底部を支持するピンが立設されていることを特徴とするキャリアストッカ。
請求項３に記載のキャリアストッカにおいて、
前記キャリア搬送手段は、
前記第１受け渡し部と第２受け渡し部との間で水平方向に延設されたレールと、
前記レールを走行する走行台と、
前記走行台に設けられるとともに、前記昇降ハンドが取り付けられた垂直ベースと、
を有することを特徴とするキャリアストッカ。