JPH11245370A - 電気ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法 - Google Patents
電気ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法Info
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- JPH11245370A JPH11245370A JP10049144A JP4914498A JPH11245370A JP H11245370 A JPH11245370 A JP H11245370A JP 10049144 A JP10049144 A JP 10049144A JP 4914498 A JP4914498 A JP 4914498A JP H11245370 A JPH11245370 A JP H11245370A
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 自動的に行える電気ペーストのスクリーン印
刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 第１のカメラで基板１０のＡ点とＢ点の
座標（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２）を、また第２のカ
メラでスクリーンマスク３３のＡ’点とＢ’点の座標
（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ４）を求める。次にＡ点と
Ｂ点の中点Ｐ１の座標、Ａ’点とＢ’点の中点Ｐ２の座
標を求め、その結果に従って基板１０とスクリーンマス
ク３３のＸ方向，Ｙ方向の位置ずれΔＸ，ΔＹを求め
る。次に中点Ｐ１と中点Ｐ２を合わせ、基板１０を水平
回転させてＡ点とＢ点を結ぶ線分Ｌ１をＡ’点とＢ’点
を結ぶ線分Ｌ２に合わせ、水平回転方向の位置ずれθを
求める。ΔＸ，ΔＹ，θを求めたならば、この計算結果
にしたがって基板１０とスクリーンマスク３３を位置合
わせし、Ａ点とＡ’点を視認して合否判定を行う。
刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 第１のカメラで基板１０のＡ点とＢ点の
座標（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２）を、また第２のカ
メラでスクリーンマスク３３のＡ’点とＢ’点の座標
（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ４）を求める。次にＡ点と
Ｂ点の中点Ｐ１の座標、Ａ’点とＢ’点の中点Ｐ２の座
標を求め、その結果に従って基板１０とスクリーンマス
ク３３のＸ方向，Ｙ方向の位置ずれΔＸ，ΔＹを求め
る。次に中点Ｐ１と中点Ｐ２を合わせ、基板１０を水平
回転させてＡ点とＢ点を結ぶ線分Ｌ１をＡ’点とＢ’点
を結ぶ線分Ｌ２に合わせ、水平回転方向の位置ずれθを
求める。ΔＸ，ΔＹ，θを求めたならば、この計算結果
にしたがって基板１０とスクリーンマスク３３を位置合
わせし、Ａ点とＡ’点を視認して合否判定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーム半田や導
電性ペーストなどの電気ペーストのスクリーン印刷にお
ける基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法に関する
ものである。
電性ペーストなどの電気ペーストのスクリーン印刷にお
ける基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を実装する基板には、電子部品
を半田付けするためのクリーム半田や回路パターンを形
成するための導電ペースト、絶縁ペーストなどの電気ペ
ーストがスクリーン印刷により印刷される。
を半田付けするためのクリーム半田や回路パターンを形
成するための導電ペースト、絶縁ペーストなどの電気ペ
ーストがスクリーン印刷により印刷される。
【０００３】スクリーン印刷は、基板にスクリーンマス
クを重ねスクリーンマスク上をスキージを摺動させるこ
とにより、スクリーンマスクに開口されたパターン口を
通して、基板の所定の部分に電気ペーストを印刷するも
のである。
クを重ねスクリーンマスク上をスキージを摺動させるこ
とにより、スクリーンマスクに開口されたパターン口を
通して、基板の所定の部分に電気ペーストを印刷するも
のである。
【０００４】スクリーン印刷を行う場合、基板とスクリ
ーンマスクは正確に位置合わせする必要があり、したが
ってスクリーン印刷を行うのに先立って、基板とスクリ
ーンマスクの位置合わせが行われる。従来、この位置合
わせは、次のようにして行われていた。すなわち、オペ
レータはカメラをスクリーンマスクに対して相対的に水
平移動させながらスクリーンマスクの特徴部をカメラで
観察してスクリーンマスクの位置をティーチングする。
また基板に対しても同様にしてカメラによりその特徴部
を観察し、基板の位置をティーチングする。そしてスク
リーンマスクと基板の相対的な位置ずれを計算し、位置
補正データとしてコンピュータのメモリに登録する。
ーンマスクは正確に位置合わせする必要があり、したが
ってスクリーン印刷を行うのに先立って、基板とスクリ
ーンマスクの位置合わせが行われる。従来、この位置合
わせは、次のようにして行われていた。すなわち、オペ
レータはカメラをスクリーンマスクに対して相対的に水
平移動させながらスクリーンマスクの特徴部をカメラで
観察してスクリーンマスクの位置をティーチングする。
また基板に対しても同様にしてカメラによりその特徴部
を観察し、基板の位置をティーチングする。そしてスク
リーンマスクと基板の相対的な位置ずれを計算し、位置
補正データとしてコンピュータのメモリに登録する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の基
板とスクリーンマスクの位置合わせ方法は、オペレータ
がカメラをスクリーンマスクや基板に対して手動的に水
平移動させながら行っていたため、多大な時間と労力を
要し、またオペレータの熟練度により誤差を生じやすい
ものであった。
板とスクリーンマスクの位置合わせ方法は、オペレータ
がカメラをスクリーンマスクや基板に対して手動的に水
平移動させながら行っていたため、多大な時間と労力を
要し、またオペレータの熟練度により誤差を生じやすい
ものであった。
【０００６】したがって本発明は、自動的に行える電気
ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマ
スクの位置合わせ方法を提供することを目的とする。
ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマ
スクの位置合わせ方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の電気ペーストの
スクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置
合わせ方法は、基板をカメラに対して相対的に水平移動
させ、カメラで基板の２つの特徴部を観察することによ
り、これらの特徴部の位置データを基板認識結果データ
記憶部に登録する工程と、スクリーンマスクをカメラに
対して相対的に水平移動させ、カメラでスクリーンマス
クの２つの特徴部を観察することにより、これらの特徴
部の位置データをスクリーンマスク認識結果データ記憶
部に登録する工程と、上記２つの位置データに基づい
て、基板とスクリーンマスクのＸ方向およびＹ方向の相
対的な位置ずれを制御部で計算して求め、この計算結果
を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、前記基板
の２つの特徴部を結ぶ線分と、前記スクリーンマスクの
２つの特徴部を結ぶ線分を求めるとともに、求められた
２つの線分の相対角度を制御部で計算して求め、この計
算結果を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、を
含む。
スクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置
合わせ方法は、基板をカメラに対して相対的に水平移動
させ、カメラで基板の２つの特徴部を観察することによ
り、これらの特徴部の位置データを基板認識結果データ
記憶部に登録する工程と、スクリーンマスクをカメラに
対して相対的に水平移動させ、カメラでスクリーンマス
クの２つの特徴部を観察することにより、これらの特徴
部の位置データをスクリーンマスク認識結果データ記憶
部に登録する工程と、上記２つの位置データに基づい
て、基板とスクリーンマスクのＸ方向およびＹ方向の相
対的な位置ずれを制御部で計算して求め、この計算結果
を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、前記基板
の２つの特徴部を結ぶ線分と、前記スクリーンマスクの
２つの特徴部を結ぶ線分を求めるとともに、求められた
２つの線分の相対角度を制御部で計算して求め、この計
算結果を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、を
含む。
【０００８】上記構成によれば、カメラを基板やスクリ
ーンマスクに対して相対的に水平移動させながら、基板
とスクリーンマスクの位置データを求め、この位置デー
タに基づいて基板とスクリーンマスクのＸ方向、Ｙ方
向、θ方向の相対的な位置ずれを自動的に求めることが
できる。そして求められた位置ずれを位置補正データと
して、基板とスクリーンマスクを完全にマッチングさせ
て電気ペーストの印刷を実行することができる。
ーンマスクに対して相対的に水平移動させながら、基板
とスクリーンマスクの位置データを求め、この位置デー
タに基づいて基板とスクリーンマスクのＸ方向、Ｙ方
向、θ方向の相対的な位置ずれを自動的に求めることが
できる。そして求められた位置ずれを位置補正データと
して、基板とスクリーンマスクを完全にマッチングさせ
て電気ペーストの印刷を実行することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の
電気ペーストのスクリーン印刷装置の斜視図、図２は同
電気ペーストのスクリーン印刷装置の側面図、図３は同
電気ペーストのスクリーン印刷装置の制御系のブロック
図である。また図４は同基板とスクリーンマスクの位置
合わせ動作のフローチャート、図５（ａ）は同基板の位
置データテーブル図、図５（ｂ）は同スクリーンマスク
の位置データテーブル図、図５（ｃ）は同位置ずれ計算
結果のデータテーブル図、図６は同基板観察の説明図、
図７は同スクリーンマスク観察の説明図、図８は同基板
とスクリーンマスクのＸＹθ方向の位置ずれ検出の説明
図、図９は同基板とスクリーンマスクの位置合わせの合
否判定図である。
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の
電気ペーストのスクリーン印刷装置の斜視図、図２は同
電気ペーストのスクリーン印刷装置の側面図、図３は同
電気ペーストのスクリーン印刷装置の制御系のブロック
図である。また図４は同基板とスクリーンマスクの位置
合わせ動作のフローチャート、図５（ａ）は同基板の位
置データテーブル図、図５（ｂ）は同スクリーンマスク
の位置データテーブル図、図５（ｃ）は同位置ずれ計算
結果のデータテーブル図、図６は同基板観察の説明図、
図７は同スクリーンマスク観察の説明図、図８は同基板
とスクリーンマスクのＸＹθ方向の位置ずれ検出の説明
図、図９は同基板とスクリーンマスクの位置合わせの合
否判定図である。
【００１０】まず、図１〜図３を参照して、電気ペース
トのスクリーン印刷装置の全体構成を説明する。なお図
１および図２に示すスクリーン印刷装置の構造は周知の
ものであり、構造については簡単に説明する。図１およ
び図２において、基台１上には可動テーブル２が設けら
れている。可動テーブル２は、Ｘテーブル３、Ｙテーブ
ル４、Ｚテーブル５、基板保持部６を段積して構成され
ている。また可動テーブル２は基板保持ブロック６上の
基板１０をθ回転（水平回転）させるθテーブル９を備
えている。Ｍｘ，Ｍｙ，ＭθはそれぞれＸテーブル３、
Ｙテーブル４、θテーブル９を駆動するモータ、９ａは
モータＭθの伝動部である。
トのスクリーン印刷装置の全体構成を説明する。なお図
１および図２に示すスクリーン印刷装置の構造は周知の
ものであり、構造については簡単に説明する。図１およ
び図２において、基台１上には可動テーブル２が設けら
れている。可動テーブル２は、Ｘテーブル３、Ｙテーブ
ル４、Ｚテーブル５、基板保持部６を段積して構成され
ている。また可動テーブル２は基板保持ブロック６上の
基板１０をθ回転（水平回転）させるθテーブル９を備
えている。Ｍｘ，Ｍｙ，ＭθはそれぞれＸテーブル３、
Ｙテーブル４、θテーブル９を駆動するモータ、９ａは
モータＭθの伝動部である。
【００１１】図２において、Ｚテーブル５はＹテーブル
４上に立設された垂直な送りねじ１１、送りねじ１１を
回転させるモータ１２、ギヤ１３，１４、一方の送りね
じ１１の回転を他方の送りねじに伝達するベルト１５な
どから成っている。また送りねじ１１にはナット１６を
介して第１の昇降板１７が保持されている。したがって
モータ１２が駆動して送りねじ１１が回転すると、昇降
板１７は昇降する。
４上に立設された垂直な送りねじ１１、送りねじ１１を
回転させるモータ１２、ギヤ１３，１４、一方の送りね
じ１１の回転を他方の送りねじに伝達するベルト１５な
どから成っている。また送りねじ１１にはナット１６を
介して第１の昇降板１７が保持されている。したがって
モータ１２が駆動して送りねじ１１が回転すると、昇降
板１７は昇降する。
【００１２】昇降板１７にはガイドロッド２０が立設さ
れており、ガイドロッド２０にはガイドリング２１を介
して第２の昇降板２２が保持されている。第１の昇降板
１７には垂直な送りねじ２３が立設されており、また送
りねじ２３を回転させるモータ２４、ギヤ２５，２６が
設けられている。第２の昇降板２２は送りねじ２３の上
端部に連結されている。したがってモータ２４が駆動し
て送りねじ２３が回転すると、第２の昇降板２２は昇降
する。
れており、ガイドロッド２０にはガイドリング２１を介
して第２の昇降板２２が保持されている。第１の昇降板
１７には垂直な送りねじ２３が立設されており、また送
りねじ２３を回転させるモータ２４、ギヤ２５，２６が
設けられている。第２の昇降板２２は送りねじ２３の上
端部に連結されている。したがってモータ２４が駆動し
て送りねじ２３が回転すると、第２の昇降板２２は昇降
する。
【００１３】第２の昇降板２２の上面には基板保持部６
が設置されている。基板１０は基板保持部６上に載置さ
れ、左右のクランプユニット２７，２８により左右から
クランプして固定される。一方のクランプユニット２８
は可動クランパであり、横方向（図２において左右方
向）に前進後退することにより、基板１０をクランプ
し、またクランプを解除する。
が設置されている。基板１０は基板保持部６上に載置さ
れ、左右のクランプユニット２７，２８により左右から
クランプして固定される。一方のクランプユニット２８
は可動クランパであり、横方向（図２において左右方
向）に前進後退することにより、基板１０をクランプ
し、またクランプを解除する。
【００１４】図１および図２において、スクリーンマス
ク３３は枠形のホルダ３４に保持されており、パターン
口３５が開口されている。基台１には支柱３６が立設さ
れており、支柱３６で支持フレーム３７が支持されてい
る。左右の支持フレーム３７にはスライド板４５が架設
されており、スライド板４５には２個のシリンダ３８が
設置されている。シリンダ３８のロッド３９にはスキー
ジ４０が結合されており、シリンダ３８が駆動してロッ
ド３９が突没すると、スキージ４０は上下動する。４１
はスクリーンマスク３３上に貯溜されたクリーム半田な
どの電気ペーストである。スライド板４５の端部にはナ
ット４２が装着されている。ナット４２には送りねじ４
３が螺入している。モータ４４が駆動して送りねじ４３
が回転すると、スライド板４５はＹ方向へ摺動し、スキ
ージ４０はスクリーンマスク３３上を同方向に摺動す
る。
ク３３は枠形のホルダ３４に保持されており、パターン
口３５が開口されている。基台１には支柱３６が立設さ
れており、支柱３６で支持フレーム３７が支持されてい
る。左右の支持フレーム３７にはスライド板４５が架設
されており、スライド板４５には２個のシリンダ３８が
設置されている。シリンダ３８のロッド３９にはスキー
ジ４０が結合されており、シリンダ３８が駆動してロッ
ド３９が突没すると、スキージ４０は上下動する。４１
はスクリーンマスク３３上に貯溜されたクリーム半田な
どの電気ペーストである。スライド板４５の端部にはナ
ット４２が装着されている。ナット４２には送りねじ４
３が螺入している。モータ４４が駆動して送りねじ４３
が回転すると、スライド板４５はＹ方向へ摺動し、スキ
ージ４０はスクリーンマスク３３上を同方向に摺動す
る。
【００１５】支持フレーム３７には基板観察用の第１の
カメラ５１が装着されている。またＹテーブル４にはス
クリーンマスク観察用の第２のカメラ５２が装着されて
いる。Ｘテーブル３とＹテーブル４が駆動すると、可動
テーブル２上の基板１０は第１のカメラ５１に対してＸ
方向やＹ方向へ相対的に水平移動し、第１のカメラ５１
により上方から基板１０の特徴部であるＡ点とＢ点を観
察する。また同様にＸテーブル３とＹテーブル４が駆動
すると、第２のカメラ５２はスクリーンマスク３３の下
方をＸ方向やＹ方向へ水平移動し、第２のカメラ５２に
より下方からスクリーンマスク３３の特徴部であるＡ’
点とＢ’点を観察する。Ａ点とＢ点は、基板１０の対角
線上にスポット的に形成されている。またＡ’点とＢ’
点は、Ａ点とＢ点に対応する位置にスポット的に開口さ
れている。
カメラ５１が装着されている。またＹテーブル４にはス
クリーンマスク観察用の第２のカメラ５２が装着されて
いる。Ｘテーブル３とＹテーブル４が駆動すると、可動
テーブル２上の基板１０は第１のカメラ５１に対してＸ
方向やＹ方向へ相対的に水平移動し、第１のカメラ５１
により上方から基板１０の特徴部であるＡ点とＢ点を観
察する。また同様にＸテーブル３とＹテーブル４が駆動
すると、第２のカメラ５２はスクリーンマスク３３の下
方をＸ方向やＹ方向へ水平移動し、第２のカメラ５２に
より下方からスクリーンマスク３３の特徴部であるＡ’
点とＢ’点を観察する。Ａ点とＢ点は、基板１０の対角
線上にスポット的に形成されている。またＡ’点とＢ’
点は、Ａ点とＢ点に対応する位置にスポット的に開口さ
れている。
【００１６】次に図３を参照して制御系を説明する。６
０はＣＰＵなどの制御部である。制御部６０にはバス６
１を介して以下に述べる要素が接続されている。制御部
６０は、装置全体の制御や、必要な計算・判断などを行
う。
０はＣＰＵなどの制御部である。制御部６０にはバス６
１を介して以下に述べる要素が接続されている。制御部
６０は、装置全体の制御や、必要な計算・判断などを行
う。
【００１７】６２は認識部であり、第１のカメラ５１と
第２のカメラ５２が接続されている。６３はモータ駆動
部であり、上述した各モータＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚ，Ｍθが
接続されている。６４は記憶部であり、様々なデータな
どを記憶する。６５は自動ティーチプログラム記憶部で
あり、基板１０とスクリーンマスク３３の自動位置合わ
せのためのプログラムが登録されている。
第２のカメラ５２が接続されている。６３はモータ駆動
部であり、上述した各モータＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚ，Ｍθが
接続されている。６４は記憶部であり、様々なデータな
どを記憶する。６５は自動ティーチプログラム記憶部で
あり、基板１０とスクリーンマスク３３の自動位置合わ
せのためのプログラムが登録されている。
【００１８】６６は基板認識結果データ記憶部であり、
第１のカメラ５１で観察した基板の特徴部であるＡ点，
Ｂ点の位置データ（Ｘ座標値、Ｙ座標値）や形状データ
などを記憶する。６７はスクリーンマスク認識結果デー
タ記憶部であり、第２のカメラ５２で観察したスクリー
ンマスク３３の特徴部であるＡ’点，Ｂ’点の位置デー
タ（Ｘ座標値、Ｙ座標値）や形状データなどを記憶す
る。
第１のカメラ５１で観察した基板の特徴部であるＡ点，
Ｂ点の位置データ（Ｘ座標値、Ｙ座標値）や形状データ
などを記憶する。６７はスクリーンマスク認識結果デー
タ記憶部であり、第２のカメラ５２で観察したスクリー
ンマスク３３の特徴部であるＡ’点，Ｂ’点の位置デー
タ（Ｘ座標値、Ｙ座標値）や形状データなどを記憶す
る。
【００１９】６８は位置補正計算結果記憶部である。制
御部６０は基板１０のＡ点，Ｂ点の位置データとスクリ
ーンマスク３３のＡ’点，Ｂ’点の位置データから両者
のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の相対的な位置ずれを計算
し、その計算結果を基板１０とスクリーンマスク３３の
位置合わせのための補正データとしてこの位置補正計算
結果記憶部６８に記憶する。６９は基板１０の特徴部で
あるＡ点，Ｂ点の座標位置や形状のデータを記憶する基
板特徴部の位置形状データ記憶部である。７０はスクリ
ーンマスク３３の特徴部であるＡ’点，Ｂ’点の座標位
置や形状のデータを記憶するスクリーンマスク特徴部の
位置形状データ記憶部である。
御部６０は基板１０のＡ点，Ｂ点の位置データとスクリ
ーンマスク３３のＡ’点，Ｂ’点の位置データから両者
のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の相対的な位置ずれを計算
し、その計算結果を基板１０とスクリーンマスク３３の
位置合わせのための補正データとしてこの位置補正計算
結果記憶部６８に記憶する。６９は基板１０の特徴部で
あるＡ点，Ｂ点の座標位置や形状のデータを記憶する基
板特徴部の位置形状データ記憶部である。７０はスクリ
ーンマスク３３の特徴部であるＡ’点，Ｂ’点の座標位
置や形状のデータを記憶するスクリーンマスク特徴部の
位置形状データ記憶部である。
【００２０】このスクリーン印刷装置は上記のような構
成より成り、次に基板１０とスクリーンマスク３３の自
動位置合わせ方法を説明する。図４は、そのフローチャ
ートを示している。図１において、コンベヤ（図示せ
ず）により基板１０を可動テーブル２上に搬入し、クラ
ンプユニット２７，２８でクランプして基板１０を位置
決めした後、基板認識を行う（図４のステップ１）。こ
の基板認識は次のようにして行う。図１において、可動
テーブル２を駆動して基板１０をＸ方向やＹ方向へ移動
させ、Ａ点とＢ点を順に第１のカメラ５１で上方から観
察する。
成より成り、次に基板１０とスクリーンマスク３３の自
動位置合わせ方法を説明する。図４は、そのフローチャ
ートを示している。図１において、コンベヤ（図示せ
ず）により基板１０を可動テーブル２上に搬入し、クラ
ンプユニット２７，２８でクランプして基板１０を位置
決めした後、基板認識を行う（図４のステップ１）。こ
の基板認識は次のようにして行う。図１において、可動
テーブル２を駆動して基板１０をＸ方向やＹ方向へ移動
させ、Ａ点とＢ点を順に第１のカメラ５１で上方から観
察する。
【００２１】図６は、この基板観察の様子を示してい
る。基板１０を当初の位置イからロ位置へ移動させ、第
１のカメラ５１でＡ点を観察する。次に基板１０をロ位
置からハ位置へ移動させ、第１のカメラ５１でＢ点を観
察する。図５（ａ）はこの観察により入手して基板認識
結果データ記憶部６６に記憶されたデータを示してい
る。Ａ点およびＢ点の平面形状は丸、直径は１ｍｍであ
る。
る。基板１０を当初の位置イからロ位置へ移動させ、第
１のカメラ５１でＡ点を観察する。次に基板１０をロ位
置からハ位置へ移動させ、第１のカメラ５１でＢ点を観
察する。図５（ａ）はこの観察により入手して基板認識
結果データ記憶部６６に記憶されたデータを示してい
る。Ａ点およびＢ点の平面形状は丸、直径は１ｍｍであ
る。
【００２２】次にスクリーンマスク認識を行う（ステッ
プ２）。このスクリーンマスク認識は次のようにして行
う。可動テーブル２を駆動することにより、Ｙテーブル
４に装着された第２のカメラ５２をスクリーンマスク３
３の下方へ移動させ、Ａ’点とＢ’点を観察する。図７
はこのスクリーンマスク認識の様子を示している。可動
テーブル２を駆動して第２のカメラ５２を当初の位置
イ’からロ’位置へ移動させ、スクリーンマスク３３の
Ａ’点を観察する。次に第２のカメラ５２をロ’位置か
らハ’位置へ移動させ、Ｂ’点を観察する。図５（ｂ）
はこの観察により入手してスクリーンマスク認識結果デ
ータ記憶部６７に記憶されたデータを示している。Ａ’
点およびＢ’点の形状は丸、直径は１ｍｍである。
プ２）。このスクリーンマスク認識は次のようにして行
う。可動テーブル２を駆動することにより、Ｙテーブル
４に装着された第２のカメラ５２をスクリーンマスク３
３の下方へ移動させ、Ａ’点とＢ’点を観察する。図７
はこのスクリーンマスク認識の様子を示している。可動
テーブル２を駆動して第２のカメラ５２を当初の位置
イ’からロ’位置へ移動させ、スクリーンマスク３３の
Ａ’点を観察する。次に第２のカメラ５２をロ’位置か
らハ’位置へ移動させ、Ｂ’点を観察する。図５（ｂ）
はこの観察により入手してスクリーンマスク認識結果デ
ータ記憶部６７に記憶されたデータを示している。Ａ’
点およびＢ’点の形状は丸、直径は１ｍｍである。
【００２３】基板認識とスクリーンマスク認識が終了し
たならば、位置補正計算を行う（ステップ３）。図８
は、ステップ３の内容を矢印で示す処理順に示してお
り、次に図８を参照してその説明を行う。まず処理１に
おいて、基板１０のＡ点（Ｘ１，Ｙ１）とＢ点（Ｘ２，
Ｙ２）を結ぶ線分Ｌ１の中点Ｐ１の座標（Ｘ１＋Ｘ２／
２，Ｙ１＋Ｙ２／２）を計算する。またスクリーンマス
ク３３のＡ’点（Ｘ３，Ｙ３）とＢ’点（Ｘ４，Ｙ４）
を結ぶ線分Ｌ２の中点Ｐ２の座標（Ｘ３＋Ｘ４／２，Ｙ
３＋Ｙ４／２）を計算する。
たならば、位置補正計算を行う（ステップ３）。図８
は、ステップ３の内容を矢印で示す処理順に示してお
り、次に図８を参照してその説明を行う。まず処理１に
おいて、基板１０のＡ点（Ｘ１，Ｙ１）とＢ点（Ｘ２，
Ｙ２）を結ぶ線分Ｌ１の中点Ｐ１の座標（Ｘ１＋Ｘ２／
２，Ｙ１＋Ｙ２／２）を計算する。またスクリーンマス
ク３３のＡ’点（Ｘ３，Ｙ３）とＢ’点（Ｘ４，Ｙ４）
を結ぶ線分Ｌ２の中点Ｐ２の座標（Ｘ３＋Ｘ４／２，Ｙ
３＋Ｙ４／２）を計算する。
【００２４】次に処理２において、中点Ｐ１と中点Ｐ２
のＸ方向の位置ずれΔＸとＹ方向の位置ずれΔＹを計算
する。ΔＸ＝（Ｘ３＋Ｘ４／２）−（Ｘ１＋Ｘ２／
２）、ΔＹ＝（Ｙ３＋Ｙ４／２）−（Ｙ１＋Ｙ２／２）
である。ΔＸとΔＹは、図５（ｃ）に示すデータとして
位置補正計算結果記憶部６８に記憶される。
のＸ方向の位置ずれΔＸとＹ方向の位置ずれΔＹを計算
する。ΔＸ＝（Ｘ３＋Ｘ４／２）−（Ｘ１＋Ｘ２／
２）、ΔＹ＝（Ｙ３＋Ｙ４／２）−（Ｙ１＋Ｙ２／２）
である。ΔＸとΔＹは、図５（ｃ）に示すデータとして
位置補正計算結果記憶部６８に記憶される。
【００２５】次に処理３において、Ｐ１とＰ２を重ね合
わせる。このとき、Ａ点とＢ点を結ぶ線分Ｌ１と、Ａ’
点とＢ’点を結ぶ線分Ｌ２は角度θずれている。そこで
処理４において、θテーブルを駆動して基板１０をスク
リーンマスク３３に対して相対的に水平回転させ、線分
同士を重ねる。このときの水平回転角度からθが判明す
る。このθも、図５（ｃ）に示すデータとして位置補正
計算結果記憶部６８に記憶される。
わせる。このとき、Ａ点とＢ点を結ぶ線分Ｌ１と、Ａ’
点とＢ’点を結ぶ線分Ｌ２は角度θずれている。そこで
処理４において、θテーブルを駆動して基板１０をスク
リーンマスク３３に対して相対的に水平回転させ、線分
同士を重ねる。このときの水平回転角度からθが判明す
る。このθも、図５（ｃ）に示すデータとして位置補正
計算結果記憶部６８に記憶される。
【００２６】以上により、基板１０とスクリーンマスク
３３のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の位置ずれが判明する。
そこで位置補正計算結果記憶部６８に記憶されたデータ
にしたがって、可動テーブル２を駆動して基板１０をス
クリーンマスク３３の直下の印刷位置へ移動させ、基板
１０とスクリーンマスク３３を重ね合わせて印刷位置の
確認をし（ステップ４）、合否の判定を行う（ステップ
５）。
３３のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の位置ずれが判明する。
そこで位置補正計算結果記憶部６８に記憶されたデータ
にしたがって、可動テーブル２を駆動して基板１０をス
クリーンマスク３３の直下の印刷位置へ移動させ、基板
１０とスクリーンマスク３３を重ね合わせて印刷位置の
確認をし（ステップ４）、合否の判定を行う（ステップ
５）。
【００２７】図９は合否判定の説明図である。図９
（ａ）に示すようにＡ点とＡ’点が合致していれば合
格、図９（ｂ）に示すようにＡ点とＡ’点が許容値以上
に位置ずれしていれば不合格である。この合否判定は、
オペレータが目視して行ってもよく、あるいはスクリー
ンマスク３３の上方に設けられたカメラで観察して自動
的に制御部６０で合否判定を行ってもよい。また図９に
示す合否判定は、Ｂ点とＢ’点についても行うことが望
ましく、また合否判定はスクリーンマスクのパターン口
と基板の印刷位置にて行ってもよい。
（ａ）に示すようにＡ点とＡ’点が合致していれば合
格、図９（ｂ）に示すようにＡ点とＡ’点が許容値以上
に位置ずれしていれば不合格である。この合否判定は、
オペレータが目視して行ってもよく、あるいはスクリー
ンマスク３３の上方に設けられたカメラで観察して自動
的に制御部６０で合否判定を行ってもよい。また図９に
示す合否判定は、Ｂ点とＢ’点についても行うことが望
ましく、また合否判定はスクリーンマスクのパターン口
と基板の印刷位置にて行ってもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板とスクリーンマスクの位置合わせを自動的に行うこと
ができる。
板とスクリーンマスクの位置合わせを自動的に行うこと
ができる。
【図１】本発明の一実施の形態の電気ペーストのスクリ
ーン印刷装置の斜視図
ーン印刷装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の電気ペーストのスクリ
ーン印刷装置の側面図
ーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態の電気ペーストのスクリ
ーン印刷装置の制御系のブロック図
ーン印刷装置の制御系のブロック図
【図４】本発明の一実施の形態の基板とスクリーンマス
クの位置合わせ動作のフローチャート
クの位置合わせ動作のフローチャート
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態の基板の位置デー
タテーブル図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーンマスクの位置
データテーブル図 （ｃ）本発明の一実施の形態の位置ずれ計算結果のデー
タテーブル図
タテーブル図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーンマスクの位置
データテーブル図 （ｃ）本発明の一実施の形態の位置ずれ計算結果のデー
タテーブル図
【図６】本発明の一実施の形態の基板観察の説明図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーンマスク観察
の説明図
の説明図
【図８】本発明の一実施の形態の基板とスクリーンマス
クのＸＹθ方向の位置ずれ検出の説明図
クのＸＹθ方向の位置ずれ検出の説明図
【図９】本発明の一実施の形態の基板とスクリーンマス
クの位置合わせの合否判定図
クの位置合わせの合否判定図
２ 可動テーブル １０ 基板 ３３ スクリーンマスク ５１ 第１のカメラ ５２ 第２のカメラ ６０ 制御部 ６６ 基板認識結果データ記憶部 ６７ スクリーンマスク認識結果データ記憶部 ６８ 位置補正計算結果記憶部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 浩 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】基板をカメラに対して相対的に水平移動さ
せ、カメラで基板の２つの特徴部を観察することによ
り、これらの特徴部の位置データを基板認識結果データ
記憶部に登録する工程と、スクリーンマスクをカメラに
対して相対的に水平移動させ、カメラでスクリーンマス
クの２つの特徴部を観察することにより、これらの特徴
部の位置データをスクリーンマスク認識結果データ記憶
部に登録する工程と、上記２つの位置データに基づい
て、基板とスクリーンマスクのＸ方向およびＹ方向の相
対的な位置ずれを制御部で計算して求め、この計算結果
を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、前記基板
の２つの特徴部を結ぶ線分と、前記スクリーンマスクの
２つの特徴部を結ぶ線分を求めるとともに、求められた
２つの線分の相対角度を制御部で計算して求め、この計
算結果を位置補正計算結果記憶部に登録する工程と、を
含むことを特徴とする電気ペーストのスクリーン印刷に
おける基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10049144A JPH11245370A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 電気ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法 |
| US09/245,864 US6011629A (en) | 1998-03-02 | 1999-02-08 | Method of positional alignment of substrate and screen mask in electrical paste screen printing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10049144A JPH11245370A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 電気ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245370A true JPH11245370A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12822905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10049144A Pending JPH11245370A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 電気ペーストのスクリーン印刷における基板とスクリーンマスクの位置合わせ方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6011629A (ja) |
| JP (1) | JPH11245370A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2002234132A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-20 | Sony Corp | スクリーン印刷装置 |
| KR100750515B1 (ko) | 2005-07-20 | 2007-08-20 | 주식회사 제우스 | 평판형 디스플레이 스크린 프린터 장치 |
| KR100750518B1 (ko) | 2005-07-20 | 2007-08-20 | 주식회사 제우스 | 평판형 디스플레이 스크린 프린터 장치 |
| CN102756539A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-10-31 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种基于双印刷台的图形对位方法及其装置 |
| JP2018008466A (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | スクリーン印刷方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030021886A1 (en) * | 2000-02-23 | 2003-01-30 | Baele Stephen James | Method of printing and printing machine |
| GB2359515B (en) * | 2000-02-23 | 2003-12-03 | Kistech Ltd | Method of printing and printing machine |
| KR100720416B1 (ko) * | 2002-03-16 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 합착 장치 |
| US6838372B2 (en) | 2002-09-25 | 2005-01-04 | Cookson Electronics, Inc. | Via interconnect forming process and electronic component product thereof |
| US20080156849A1 (en) * | 2007-01-03 | 2008-07-03 | International Business Machines Corporation | Mold shave apparatus and injection molded soldering process |
| CN101229711B (zh) * | 2007-01-25 | 2010-06-02 | 东莞市凯格精密机械有限公司 | 视觉印刷机中单光轴检测的方法及机构 |
| US8215473B2 (en) * | 2008-05-21 | 2012-07-10 | Applied Materials, Inc. | Next generation screen printing system |
| US7648056B1 (en) * | 2008-07-03 | 2010-01-19 | Sony Corporation | Selective soldering bath |
| IT1392991B1 (it) | 2009-02-23 | 2012-04-02 | Applied Materials Inc | Procedimento di stampa serigrafica autoregolantesi |
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| JP5206572B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2013-06-12 | 株式会社日立プラントテクノロジー | ハンダボール印刷装置 |
| US20120227602A1 (en) * | 2009-09-16 | 2012-09-13 | Applied Materials, Inc. | Cleaning Device for an Apparatus for Silk-Screen Printing on a Print Support |
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| CN102328493A (zh) * | 2011-08-31 | 2012-01-25 | 熊猫电子集团有限公司 | 一种新型丝网印ccd图像识别的定位方法 |
| CN103157578B (zh) * | 2011-12-12 | 2016-04-20 | 赛恩倍吉科技顾问（深圳）有限公司 | 涂抹装置 |
| KR101491037B1 (ko) * | 2012-04-27 | 2015-02-23 | 주식회사 고영테크놀러지 | 스크린 프린터 장비의 보정방법 및 이를 이용한 기판 검사시스템 |
| KR101550688B1 (ko) * | 2014-02-18 | 2015-09-07 | (주) 에스에스피 | 에어커텐을 이용한 솔더볼 공급장치 |
| CN106643500A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-10 | 华中科技大学 | 一种对锡膏印刷机印刷平台的标定及对位方法 |
| US11202372B2 (en) | 2018-05-25 | 2021-12-14 | Koh Young Technology Inc. | Apparatus for performing compensation associated with screen printer and method thereof |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-03-02 JP JP10049144A patent/JPH11245370A/ja active Pending
-
1999
- 1999-02-08 US US09/245,864 patent/US6011629A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|
| US6011629A (en) | 2000-01-04 |
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| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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