JPH1123611A - 静電トルカ型加速度計 - Google Patents
静電トルカ型加速度計Info
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- JPH1123611A JPH1123611A JP9183920A JP18392097A JPH1123611A JP H1123611 A JPH1123611 A JP H1123611A JP 9183920 A JP9183920 A JP 9183920A JP 18392097 A JP18392097 A JP 18392097A JP H1123611 A JPH1123611 A JP H1123611A
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バイアス電圧をトルカ電極に印加する静電ト
ルカ型加速度計を提供する。 【解決手段】 ペンジュラムＰが変位することにより入
力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第
１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂのペンジュ
ラムＰ側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加
し、第１のトルカ電極Ａの固定電極側および第２のトル
カ電極Ｂの固定電極側に位置検出信号を印加することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
ルカ型加速度計を提供する。 【解決手段】 ペンジュラムＰが変位することにより入
力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第
１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂのペンジュ
ラムＰ側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加
し、第１のトルカ電極Ａの固定電極側および第２のトル
カ電極Ｂの固定電極側に位置検出信号を印加することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電トルカ型加
速度計に関し、特に、バイアス電圧をトルカ電極に印加
する静電トルカ型加速度計に関する。
速度計に関し、特に、バイアス電圧をトルカ電極に印加
する静電トルカ型加速度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】静電トルカ型加速度計の従来例を図２を
参照して説明する。図２において、静電容量型位置検出
器は、互いに等しい抵抗値を有する２個の抵抗Ｒ（Ｒ：
抵抗値をも示す）とペンジュラムＰに形成された第１の
位置検出器電極α、第２の位置検出器電極βを４辺とす
るブリッジ回路を有している。ブリッジ回路の入力端は
発振周波数１００ｋＨｚのオーダーの発振器ＯＳＣの一
方の端子に接続している。ブリッジ回路の出力端である
２個の位置検出器電極α、βの固定電極側は差動増幅器
より成る検出回路Ｕ２に接続している。Ｕ３は第１のト
ルカ電極駆動差動増幅器、Ｕ４は第２のトルカ電極駆動
差動増幅器である。第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ
３の非反転入力には一定のバイアス電圧を供給するバイ
アス電圧源Ｅによりバイアスされており、反転入力端に
は検出回路Ｕ２の出力を入力してこれを増幅する回路で
ある。これに対して、第２のトルカ電極駆動差動増幅器
Ｕ４の非反転入力は一定電圧のバイアス電圧源Ｅにより
バイアスされており、反転入力端に検出回路Ｕ２の出力
をインバータＩＮを介して入力して増幅する回路であ
る。
参照して説明する。図２において、静電容量型位置検出
器は、互いに等しい抵抗値を有する２個の抵抗Ｒ（Ｒ：
抵抗値をも示す）とペンジュラムＰに形成された第１の
位置検出器電極α、第２の位置検出器電極βを４辺とす
るブリッジ回路を有している。ブリッジ回路の入力端は
発振周波数１００ｋＨｚのオーダーの発振器ＯＳＣの一
方の端子に接続している。ブリッジ回路の出力端である
２個の位置検出器電極α、βの固定電極側は差動増幅器
より成る検出回路Ｕ２に接続している。Ｕ３は第１のト
ルカ電極駆動差動増幅器、Ｕ４は第２のトルカ電極駆動
差動増幅器である。第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ
３の非反転入力には一定のバイアス電圧を供給するバイ
アス電圧源Ｅによりバイアスされており、反転入力端に
は検出回路Ｕ２の出力を入力してこれを増幅する回路で
ある。これに対して、第２のトルカ電極駆動差動増幅器
Ｕ４の非反転入力は一定電圧のバイアス電圧源Ｅにより
バイアスされており、反転入力端に検出回路Ｕ２の出力
をインバータＩＮを介して入力して増幅する回路であ
る。
【０００３】ペンジュラムＰには第１の位置検出器電極
α、第２の位置検出器電極βの他に、更に、第１のトル
カ電極Ａ、第２のトルカ電極Ｂが形成されている。第１
の位置検出器電極αおよび第２の位置検出器電極βそれ
ぞれの可動電極、第１のトルカ電極Ａおよび第２のトル
カ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動電極は、
４枚共に電気的に共通に接続して発振器ＯＳＣの他方の
端子に接続している。そして、第１のトルカ電極Ａの固
定電極には第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３の出力
端が接続するのに対して、第２のトルカ電極Ｂの固定電
極には第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の出力端が
接続している。
α、第２の位置検出器電極βの他に、更に、第１のトル
カ電極Ａ、第２のトルカ電極Ｂが形成されている。第１
の位置検出器電極αおよび第２の位置検出器電極βそれ
ぞれの可動電極、第１のトルカ電極Ａおよび第２のトル
カ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動電極は、
４枚共に電気的に共通に接続して発振器ＯＳＣの他方の
端子に接続している。そして、第１のトルカ電極Ａの固
定電極には第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３の出力
端が接続するのに対して、第２のトルカ電極Ｂの固定電
極には第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の出力端が
接続している。
【０００４】ここで、加速度が印加されてペンジュラム
Ｐが変位すると、静電容量型位置検出器の第１の位置検
出器電極αおよび第２の位置検出器電極βはペンジュラ
ムＰの変位量に比例した変位の向きに対応した極性の出
力を発生する。ここで、位置検出器電極αおよび位置検
出器電極βは電極間隙の広がった方が電極間隙の狭まっ
た方と比較して大きな出力を発生する。検出回路Ｕ２は
入力されるこれら両位置検出器電極の出力を比較増幅し
て位置検出信号△Ｅを出力する。この位置検出信号△Ｅ
は第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３および第２のト
ルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４においてバイアス電圧源Ｅ
の一定バイアス電圧Ｅに重畳され、第１のトルカ電極駆
動差動増幅器Ｕ３から（＋△Ｅ＋Ｅ）が出力される一
方、この位置検出信号△ＥはインバータＩＮにより反転
されて第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の反転入力
端に反転入力し、第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４
からは（−△Ｅ＋Ｅ）が出力される。第１のトルカ電極
駆動差動増幅器Ｕ３の出力（Ｅ＋△Ｅ）は第１のトルカ
電極Ａの固定電極に負帰還入力される一方、第２のトル
カ電極駆動差動増幅器Ｕ４の出力（Ｅ−△Ｅ）は第２の
トルカ電極Ｂの固定電極に負帰還入力される。ここで、
間隙の広いトルカ電極間には高い電圧が印加され、狭い
トルカ電極間には低い電圧が印加される回路構成にして
いる。
Ｐが変位すると、静電容量型位置検出器の第１の位置検
出器電極αおよび第２の位置検出器電極βはペンジュラ
ムＰの変位量に比例した変位の向きに対応した極性の出
力を発生する。ここで、位置検出器電極αおよび位置検
出器電極βは電極間隙の広がった方が電極間隙の狭まっ
た方と比較して大きな出力を発生する。検出回路Ｕ２は
入力されるこれら両位置検出器電極の出力を比較増幅し
て位置検出信号△Ｅを出力する。この位置検出信号△Ｅ
は第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３および第２のト
ルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４においてバイアス電圧源Ｅ
の一定バイアス電圧Ｅに重畳され、第１のトルカ電極駆
動差動増幅器Ｕ３から（＋△Ｅ＋Ｅ）が出力される一
方、この位置検出信号△ＥはインバータＩＮにより反転
されて第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の反転入力
端に反転入力し、第２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４
からは（−△Ｅ＋Ｅ）が出力される。第１のトルカ電極
駆動差動増幅器Ｕ３の出力（Ｅ＋△Ｅ）は第１のトルカ
電極Ａの固定電極に負帰還入力される一方、第２のトル
カ電極駆動差動増幅器Ｕ４の出力（Ｅ−△Ｅ）は第２の
トルカ電極Ｂの固定電極に負帰還入力される。ここで、
間隙の広いトルカ電極間には高い電圧が印加され、狭い
トルカ電極間には低い電圧が印加される回路構成にして
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上の静電トルカ型加
速度計は、位置検出信号△Ｅにバイアス電圧Ｅを重畳し
てこれをトルカ電極の固定電極に負帰還入力する構成を
採用している。この構成を採用するには、上述した通
り、位置検出信号△Ｅにバイアス電圧Ｅを重畳する加算
器として第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３および第
２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の２個を必要とする
と共に、正負両極性の負帰還信号を生成するにインバー
タＩＮを１個必要とする。そして、この場合、負帰還信
号電圧の最大値は電極間に加えられる電位差の最大値で
あり、レンジに限界があった。
速度計は、位置検出信号△Ｅにバイアス電圧Ｅを重畳し
てこれをトルカ電極の固定電極に負帰還入力する構成を
採用している。この構成を採用するには、上述した通
り、位置検出信号△Ｅにバイアス電圧Ｅを重畳する加算
器として第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３および第
２のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４の２個を必要とする
と共に、正負両極性の負帰還信号を生成するにインバー
タＩＮを１個必要とする。そして、この場合、負帰還信
号電圧の最大値は電極間に加えられる電位差の最大値で
あり、レンジに限界があった。
【０００６】この発明は、上述の問題を解消した静電ト
ルカ型加速度計を提供するものである。
ルカ型加速度計を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１：ペンジュラム
Ｐが変位することにより入力加速度を検出する静電トル
カ型加速度計において、第１のトルカ電極Ａおよび第２
のトルカ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動電
極側にバイアス電圧を印加し、第１のトルカ電極Ａの固
定電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に位置
検出信号を印加する静電トルカ型加速度計を構成した。
Ｐが変位することにより入力加速度を検出する静電トル
カ型加速度計において、第１のトルカ電極Ａおよび第２
のトルカ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動電
極側にバイアス電圧を印加し、第１のトルカ電極Ａの固
定電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に位置
検出信号を印加する静電トルカ型加速度計を構成した。
【０００８】そして、請求項２：請求項１に記載される
静電トルカ型加速度計において、２個の抵抗Ｒ、ペンジ
ュラムＰに形成される第１の位置検出器電極αおよび第
２の位置検出器電極βを４辺とするブリッジ回路を具備
し、ペンジュラムＰに形成される第１のトルカ電極Ａお
よび第２のトルカ電極Ｂを具備し、２個の抵抗Ｒの共通
接続点と２個の位置検出器電極のペンジュラムＰに形成
される可動電極側の共通接続点との間に接続される発振
器ＯＳＣを具備し、一方の抵抗Ｒと第１の位置検出器電
極αの固定電極側の共通接続点と他方の抵抗Ｒと第２の
位置検出器電極βの固定電極側の共通接続点が接続され
る検出回路Ｕ２を具備し、第１のトルカ電極Ａおよび第
２のトルカ電極Ｂ双方のペンジュラムＰ側に形成される
可動電極を各別にバイアス電圧源Ｅの正負の端子に接続
し、検出回路Ｕ２の出力端は第１のトルカ電極Ａの固定
電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に直接接
続する静電トルカ型加速度計を構成した。
静電トルカ型加速度計において、２個の抵抗Ｒ、ペンジ
ュラムＰに形成される第１の位置検出器電極αおよび第
２の位置検出器電極βを４辺とするブリッジ回路を具備
し、ペンジュラムＰに形成される第１のトルカ電極Ａお
よび第２のトルカ電極Ｂを具備し、２個の抵抗Ｒの共通
接続点と２個の位置検出器電極のペンジュラムＰに形成
される可動電極側の共通接続点との間に接続される発振
器ＯＳＣを具備し、一方の抵抗Ｒと第１の位置検出器電
極αの固定電極側の共通接続点と他方の抵抗Ｒと第２の
位置検出器電極βの固定電極側の共通接続点が接続され
る検出回路Ｕ２を具備し、第１のトルカ電極Ａおよび第
２のトルカ電極Ｂ双方のペンジュラムＰ側に形成される
可動電極を各別にバイアス電圧源Ｅの正負の端子に接続
し、検出回路Ｕ２の出力端は第１のトルカ電極Ａの固定
電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に直接接
続する静電トルカ型加速度計を構成した。
【０００９】また、請求項３：請求項１および請求項２
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、バイアス電圧は第１のトルカ電極Ａの固定電極側お
よび第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に印加し、位置検
出信号は第１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極側に印加する
静電トルカ型加速度計を構成した。
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、バイアス電圧は第１のトルカ電極Ａの固定電極側お
よび第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に印加し、位置検
出信号は第１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極側に印加する
静電トルカ型加速度計を構成した。
【００１０】更に、請求項４：請求項１ないし請求項３
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、第１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂに印
加されるバイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とす
る静電トルカ型加速度計を構成した。
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、第１のトルカ電極Ａおよび第２のトルカ電極Ｂに印
加されるバイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とす
る静電トルカ型加速度計を構成した。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１の実
施例を参照して説明する。図１の実施例においても、静
電容量型位置検出器は互いに等しい抵抗値を有する２個
の抵抗Ｒ（Ｒ：抵抗値をも示す）とペンジュラムＰに形
成された第１の位置検出器電極α、第２の位置検出器電
極βを４辺とするブリッジ回路を有している。ブリッジ
回路の入力端は発振周波数１００ｋＨｚのオーダーの発
振器ＯＳＣの一方の端子に接続している。ブリッジ回路
の出力端である２個の位置検出器電極α、βの固定電極
側は差動増幅器より成る検出回路Ｕ２の入力端に接続し
ている。ペンジュラムＰには第１の位置検出器電極α、
第２の位置検出器電極βの他に更に、第１のトルカ電極
Ａ、第２のトルカ電極Ｂが形成されている。そして、検
出回路Ｕ２の出力端は第１のトルカ電極Ａの固定電極側
および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に直接に接続し
ている。
施例を参照して説明する。図１の実施例においても、静
電容量型位置検出器は互いに等しい抵抗値を有する２個
の抵抗Ｒ（Ｒ：抵抗値をも示す）とペンジュラムＰに形
成された第１の位置検出器電極α、第２の位置検出器電
極βを４辺とするブリッジ回路を有している。ブリッジ
回路の入力端は発振周波数１００ｋＨｚのオーダーの発
振器ＯＳＣの一方の端子に接続している。ブリッジ回路
の出力端である２個の位置検出器電極α、βの固定電極
側は差動増幅器より成る検出回路Ｕ２の入力端に接続し
ている。ペンジュラムＰには第１の位置検出器電極α、
第２の位置検出器電極βの他に更に、第１のトルカ電極
Ａ、第２のトルカ電極Ｂが形成されている。そして、検
出回路Ｕ２の出力端は第１のトルカ電極Ａの固定電極側
および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側に直接に接続し
ている。
【００１２】ここで、この実施例においては、第１の位
置検出器電極αおよび第２の位置検出器電極βそれぞれ
の可動電極は電気的に共通に接続して発振器ＯＳＣの他
方の端子に接続している。そして、第１のトルカ電極Ａ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極はバイアス電
圧源Ｅの負のバイアス電圧端子−Ｅに接続する一方、第
２のトルカ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動
電極はバイアス電圧源Ｅの正のバイアス電圧端子＋Ｅに
接続している。即ち、第１のトルカ電極Ａのペンジュラ
ムＰ側に形成される可動電極には負のバイアス電圧−Ｅ
が印加される一方、第２のトルカ電極Ｂのペンジュラム
Ｐ側に形成される可動電極には正のバイアス電圧＋Ｅが
印加されている。
置検出器電極αおよび第２の位置検出器電極βそれぞれ
の可動電極は電気的に共通に接続して発振器ＯＳＣの他
方の端子に接続している。そして、第１のトルカ電極Ａ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極はバイアス電
圧源Ｅの負のバイアス電圧端子−Ｅに接続する一方、第
２のトルカ電極ＢのペンジュラムＰ側に形成される可動
電極はバイアス電圧源Ｅの正のバイアス電圧端子＋Ｅに
接続している。即ち、第１のトルカ電極Ａのペンジュラ
ムＰ側に形成される可動電極には負のバイアス電圧−Ｅ
が印加される一方、第２のトルカ電極Ｂのペンジュラム
Ｐ側に形成される可動電極には正のバイアス電圧＋Ｅが
印加されている。
【００１３】ここで、加速度が印加されてペンジュラム
Ｐが変位すると、静電容量型位置検出器の第１の位置検
出器電極αおよび第２の位置検出器電極βはペンジュラ
ムＰの変位量に比例した出力を発生する。検出回路Ｕ２
は入力されるこれらの両位置検出器電極の出力を比較増
幅して変位の向きに対応した極性の位置検出信号△Ｅを
出力する。この位置検出信号△Ｅは第１のトルカ電極Ａ
の固定電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側の
双方に直接に印加される。ところで、第１のトルカ電極
ＡのペンジュラムＰ側に形成される可動電極には負のバ
イアス電圧−Ｅが印加される一方、第２のトルカ電極Ｂ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極には正のバイ
アス電圧＋Ｅが印加されている。
Ｐが変位すると、静電容量型位置検出器の第１の位置検
出器電極αおよび第２の位置検出器電極βはペンジュラ
ムＰの変位量に比例した出力を発生する。検出回路Ｕ２
は入力されるこれらの両位置検出器電極の出力を比較増
幅して変位の向きに対応した極性の位置検出信号△Ｅを
出力する。この位置検出信号△Ｅは第１のトルカ電極Ａ
の固定電極側および第２のトルカ電極Ｂの固定電極側の
双方に直接に印加される。ところで、第１のトルカ電極
ＡのペンジュラムＰ側に形成される可動電極には負のバ
イアス電圧−Ｅが印加される一方、第２のトルカ電極Ｂ
のペンジュラムＰ側に形成される可動電極には正のバイ
アス電圧＋Ｅが印加されている。
【００１４】ここで、第１のトルカ電極Ａに印加される
電圧は（△Ｅ−Ｅ）であり、第２のトルカ電極Ｂに印加
される電圧は（△Ｅ＋Ｅ）である。従って、レンジは印
加したバイアス電圧分だけ拡張され、従来例において必
要とされた第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３、第２
のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４およびインバータＩＮ
は不要となり、それだけ静電トルカ型加速度計の回路構
成を簡略化することができる。
電圧は（△Ｅ−Ｅ）であり、第２のトルカ電極Ｂに印加
される電圧は（△Ｅ＋Ｅ）である。従って、レンジは印
加したバイアス電圧分だけ拡張され、従来例において必
要とされた第１のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ３、第２
のトルカ電極駆動差動増幅器Ｕ４およびインバータＩＮ
は不要となり、それだけ静電トルカ型加速度計の回路構
成を簡略化することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、ペンジュラムが変位することにより入力加速度を検
出する静電トルカ型加速度計において、第１のトルカ電
極および第２のトルカ電極に絶対値は等しく互に逆極性
のバイアス電圧を印加することにより、レンジを拡張す
ると共に静電トルカ型加速度計の回路構成を簡略化する
ことができる。
ば、ペンジュラムが変位することにより入力加速度を検
出する静電トルカ型加速度計において、第１のトルカ電
極および第２のトルカ電極に絶対値は等しく互に逆極性
のバイアス電圧を印加することにより、レンジを拡張す
ると共に静電トルカ型加速度計の回路構成を簡略化する
ことができる。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】従来例を説明する図。
Ｒ 抵抗 Ｐ ペンジュラム α 第１の位置検出器電極 β 第２の位置検出器電極 ＯＳＣ 発振器 Ｕ２ 検出回路 Ｕ３ 第１のトルカ電極駆動差動増幅器 Ｕ４ 第２のトルカ電極駆動差動増幅器 Ｅ バイアス電圧源 ＩＮ インバータ Ａ 第１のトルカ電極 Ｂ 第２のトルカ電極
Claims (4)
- 【請求項１】 ペンジュラムが変位することにより入力
加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、 第１のトルカ電極および第２のトルカ電極のペンジュラ
ム側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加し、 第１のトルカ電極の固定電極側および第２のトルカ電極
の固定電極側に位置検出信号を印加することを特徴とす
る静電トルカ型加速度計。 - 【請求項２】 請求項１に記載される静電トルカ型加速
度計において、 ２個の抵抗、ペンジュラムに形成される第１の位置検出
器電極および第２の位置検出器電極を４辺とするブリッ
ジ回路を具備し、 ペンジュラムに形成される第１のトルカ電極および第２
のトルカ電極を具備し、 ２個の抵抗の共通接続点と２個の位置検出器電極のペン
ジュラムに形成される可動電極側の共通接続点との間に
接続される発振器を具備し、 一方の抵抗と第１の位置検出器電極の固定電極側の共通
接続点と他方の抵抗と第２の位置検出器電極の固定電極
側の共通接続点とが接続される検出回路を具備し、 第１のトルカ電極および第２のトルカ電極双方のペンジ
ュラム側に形成される可動電極を各別にバイアス電圧源
の正負の端子に接続し、 検出回路の出力端は第１のトルカ電極の固定電極側およ
び第２のトルカ電極の固定電極側に直接接続することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。 - 【請求項３】 請求項１および請求項２の内の何れかに
記載される静電トルカ型加速度計において、 バイアス電圧は第１のトルカ電極の固定電極側および第
２のトルカ電極の固定電極側に印加し、位置検出信号は
第１のトルカ電極および第２のトルカ電極のペンジュラ
ム側に形成される可動電極に印加することを特徴とする
静電トルカ型加速度計。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３の内の何れかに
記載される静電トルカ型加速度計において、 第１のトルカ電極および第２のトルカ電極に印加される
バイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とすることを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183920A JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183920A JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123611A true JPH1123611A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16144133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9183920A Pending JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1123611A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107349A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-08 | Honeywell Internatl Inc | 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 |
| JP2010517014A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 差動容量型センサとその製造方法 |
| JP2013130560A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 慣性センサー |
| JP2013250065A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 角加速度検出装置及び検出方法 |
| CN108240902A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 天津大学 | 一种电磁力矩器的测试装置及测试方法 |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP9183920A patent/JPH1123611A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107349A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-08 | Honeywell Internatl Inc | 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 |
| JP2010517014A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 差動容量型センサとその製造方法 |
| JP2013130560A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 慣性センサー |
| JP2013250065A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 角加速度検出装置及び検出方法 |
| CN108240902A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 天津大学 | 一种电磁力矩器的测试装置及测试方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050726 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060131 |