JPH1123611A - 静電トルカ型加速度計 - Google Patents
静電トルカ型加速度計Info
- Publication number
- JPH1123611A JPH1123611A JP9183920A JP18392097A JPH1123611A JP H1123611 A JPH1123611 A JP H1123611A JP 9183920 A JP9183920 A JP 9183920A JP 18392097 A JP18392097 A JP 18392097A JP H1123611 A JPH1123611 A JP H1123611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- toruca
- pendulum
- position detector
- torquer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バイアス電圧をトルカ電極に印加する静電ト
ルカ型加速度計を提供する。 【解決手段】 ペンジュラムPが変位することにより入
力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第
1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極Bのペンジュ
ラムP側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加
し、第1のトルカ電極Aの固定電極側および第2のトル
カ電極Bの固定電極側に位置検出信号を印加することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
ルカ型加速度計を提供する。 【解決手段】 ペンジュラムPが変位することにより入
力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第
1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極Bのペンジュ
ラムP側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加
し、第1のトルカ電極Aの固定電極側および第2のトル
カ電極Bの固定電極側に位置検出信号を印加することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電トルカ型加
速度計に関し、特に、バイアス電圧をトルカ電極に印加
する静電トルカ型加速度計に関する。
速度計に関し、特に、バイアス電圧をトルカ電極に印加
する静電トルカ型加速度計に関する。
【0002】
【従来の技術】静電トルカ型加速度計の従来例を図2を
参照して説明する。図2において、静電容量型位置検出
器は、互いに等しい抵抗値を有する2個の抵抗R(R:
抵抗値をも示す)とペンジュラムPに形成された第1の
位置検出器電極α、第2の位置検出器電極βを4辺とす
るブリッジ回路を有している。ブリッジ回路の入力端は
発振周波数100kHzのオーダーの発振器OSCの一
方の端子に接続している。ブリッジ回路の出力端である
2個の位置検出器電極α、βの固定電極側は差動増幅器
より成る検出回路U2に接続している。U3は第1のト
ルカ電極駆動差動増幅器、U4は第2のトルカ電極駆動
差動増幅器である。第1のトルカ電極駆動差動増幅器U
3の非反転入力には一定のバイアス電圧を供給するバイ
アス電圧源Eによりバイアスされており、反転入力端に
は検出回路U2の出力を入力してこれを増幅する回路で
ある。これに対して、第2のトルカ電極駆動差動増幅器
U4の非反転入力は一定電圧のバイアス電圧源Eにより
バイアスされており、反転入力端に検出回路U2の出力
をインバータINを介して入力して増幅する回路であ
る。
参照して説明する。図2において、静電容量型位置検出
器は、互いに等しい抵抗値を有する2個の抵抗R(R:
抵抗値をも示す)とペンジュラムPに形成された第1の
位置検出器電極α、第2の位置検出器電極βを4辺とす
るブリッジ回路を有している。ブリッジ回路の入力端は
発振周波数100kHzのオーダーの発振器OSCの一
方の端子に接続している。ブリッジ回路の出力端である
2個の位置検出器電極α、βの固定電極側は差動増幅器
より成る検出回路U2に接続している。U3は第1のト
ルカ電極駆動差動増幅器、U4は第2のトルカ電極駆動
差動増幅器である。第1のトルカ電極駆動差動増幅器U
3の非反転入力には一定のバイアス電圧を供給するバイ
アス電圧源Eによりバイアスされており、反転入力端に
は検出回路U2の出力を入力してこれを増幅する回路で
ある。これに対して、第2のトルカ電極駆動差動増幅器
U4の非反転入力は一定電圧のバイアス電圧源Eにより
バイアスされており、反転入力端に検出回路U2の出力
をインバータINを介して入力して増幅する回路であ
る。
【0003】ペンジュラムPには第1の位置検出器電極
α、第2の位置検出器電極βの他に、更に、第1のトル
カ電極A、第2のトルカ電極Bが形成されている。第1
の位置検出器電極αおよび第2の位置検出器電極βそれ
ぞれの可動電極、第1のトルカ電極Aおよび第2のトル
カ電極BのペンジュラムP側に形成される可動電極は、
4枚共に電気的に共通に接続して発振器OSCの他方の
端子に接続している。そして、第1のトルカ電極Aの固
定電極には第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3の出力
端が接続するのに対して、第2のトルカ電極Bの固定電
極には第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の出力端が
接続している。
α、第2の位置検出器電極βの他に、更に、第1のトル
カ電極A、第2のトルカ電極Bが形成されている。第1
の位置検出器電極αおよび第2の位置検出器電極βそれ
ぞれの可動電極、第1のトルカ電極Aおよび第2のトル
カ電極BのペンジュラムP側に形成される可動電極は、
4枚共に電気的に共通に接続して発振器OSCの他方の
端子に接続している。そして、第1のトルカ電極Aの固
定電極には第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3の出力
端が接続するのに対して、第2のトルカ電極Bの固定電
極には第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の出力端が
接続している。
【0004】ここで、加速度が印加されてペンジュラム
Pが変位すると、静電容量型位置検出器の第1の位置検
出器電極αおよび第2の位置検出器電極βはペンジュラ
ムPの変位量に比例した変位の向きに対応した極性の出
力を発生する。ここで、位置検出器電極αおよび位置検
出器電極βは電極間隙の広がった方が電極間隙の狭まっ
た方と比較して大きな出力を発生する。検出回路U2は
入力されるこれら両位置検出器電極の出力を比較増幅し
て位置検出信号△Eを出力する。この位置検出信号△E
は第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3および第2のト
ルカ電極駆動差動増幅器U4においてバイアス電圧源E
の一定バイアス電圧Eに重畳され、第1のトルカ電極駆
動差動増幅器U3から(+△E+E)が出力される一
方、この位置検出信号△EはインバータINにより反転
されて第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の反転入力
端に反転入力し、第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4
からは(−△E+E)が出力される。第1のトルカ電極
駆動差動増幅器U3の出力(E+△E)は第1のトルカ
電極Aの固定電極に負帰還入力される一方、第2のトル
カ電極駆動差動増幅器U4の出力(E−△E)は第2の
トルカ電極Bの固定電極に負帰還入力される。ここで、
間隙の広いトルカ電極間には高い電圧が印加され、狭い
トルカ電極間には低い電圧が印加される回路構成にして
いる。
Pが変位すると、静電容量型位置検出器の第1の位置検
出器電極αおよび第2の位置検出器電極βはペンジュラ
ムPの変位量に比例した変位の向きに対応した極性の出
力を発生する。ここで、位置検出器電極αおよび位置検
出器電極βは電極間隙の広がった方が電極間隙の狭まっ
た方と比較して大きな出力を発生する。検出回路U2は
入力されるこれら両位置検出器電極の出力を比較増幅し
て位置検出信号△Eを出力する。この位置検出信号△E
は第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3および第2のト
ルカ電極駆動差動増幅器U4においてバイアス電圧源E
の一定バイアス電圧Eに重畳され、第1のトルカ電極駆
動差動増幅器U3から(+△E+E)が出力される一
方、この位置検出信号△EはインバータINにより反転
されて第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の反転入力
端に反転入力し、第2のトルカ電極駆動差動増幅器U4
からは(−△E+E)が出力される。第1のトルカ電極
駆動差動増幅器U3の出力(E+△E)は第1のトルカ
電極Aの固定電極に負帰還入力される一方、第2のトル
カ電極駆動差動増幅器U4の出力(E−△E)は第2の
トルカ電極Bの固定電極に負帰還入力される。ここで、
間隙の広いトルカ電極間には高い電圧が印加され、狭い
トルカ電極間には低い電圧が印加される回路構成にして
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上の静電トルカ型加
速度計は、位置検出信号△Eにバイアス電圧Eを重畳し
てこれをトルカ電極の固定電極に負帰還入力する構成を
採用している。この構成を採用するには、上述した通
り、位置検出信号△Eにバイアス電圧Eを重畳する加算
器として第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3および第
2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の2個を必要とする
と共に、正負両極性の負帰還信号を生成するにインバー
タINを1個必要とする。そして、この場合、負帰還信
号電圧の最大値は電極間に加えられる電位差の最大値で
あり、レンジに限界があった。
速度計は、位置検出信号△Eにバイアス電圧Eを重畳し
てこれをトルカ電極の固定電極に負帰還入力する構成を
採用している。この構成を採用するには、上述した通
り、位置検出信号△Eにバイアス電圧Eを重畳する加算
器として第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3および第
2のトルカ電極駆動差動増幅器U4の2個を必要とする
と共に、正負両極性の負帰還信号を生成するにインバー
タINを1個必要とする。そして、この場合、負帰還信
号電圧の最大値は電極間に加えられる電位差の最大値で
あり、レンジに限界があった。
【0006】この発明は、上述の問題を解消した静電ト
ルカ型加速度計を提供するものである。
ルカ型加速度計を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1:ペンジュラム
Pが変位することにより入力加速度を検出する静電トル
カ型加速度計において、第1のトルカ電極Aおよび第2
のトルカ電極BのペンジュラムP側に形成される可動電
極側にバイアス電圧を印加し、第1のトルカ電極Aの固
定電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側に位置
検出信号を印加する静電トルカ型加速度計を構成した。
Pが変位することにより入力加速度を検出する静電トル
カ型加速度計において、第1のトルカ電極Aおよび第2
のトルカ電極BのペンジュラムP側に形成される可動電
極側にバイアス電圧を印加し、第1のトルカ電極Aの固
定電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側に位置
検出信号を印加する静電トルカ型加速度計を構成した。
【0008】そして、請求項2:請求項1に記載される
静電トルカ型加速度計において、2個の抵抗R、ペンジ
ュラムPに形成される第1の位置検出器電極αおよび第
2の位置検出器電極βを4辺とするブリッジ回路を具備
し、ペンジュラムPに形成される第1のトルカ電極Aお
よび第2のトルカ電極Bを具備し、2個の抵抗Rの共通
接続点と2個の位置検出器電極のペンジュラムPに形成
される可動電極側の共通接続点との間に接続される発振
器OSCを具備し、一方の抵抗Rと第1の位置検出器電
極αの固定電極側の共通接続点と他方の抵抗Rと第2の
位置検出器電極βの固定電極側の共通接続点が接続され
る検出回路U2を具備し、第1のトルカ電極Aおよび第
2のトルカ電極B双方のペンジュラムP側に形成される
可動電極を各別にバイアス電圧源Eの正負の端子に接続
し、検出回路U2の出力端は第1のトルカ電極Aの固定
電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側に直接接
続する静電トルカ型加速度計を構成した。
静電トルカ型加速度計において、2個の抵抗R、ペンジ
ュラムPに形成される第1の位置検出器電極αおよび第
2の位置検出器電極βを4辺とするブリッジ回路を具備
し、ペンジュラムPに形成される第1のトルカ電極Aお
よび第2のトルカ電極Bを具備し、2個の抵抗Rの共通
接続点と2個の位置検出器電極のペンジュラムPに形成
される可動電極側の共通接続点との間に接続される発振
器OSCを具備し、一方の抵抗Rと第1の位置検出器電
極αの固定電極側の共通接続点と他方の抵抗Rと第2の
位置検出器電極βの固定電極側の共通接続点が接続され
る検出回路U2を具備し、第1のトルカ電極Aおよび第
2のトルカ電極B双方のペンジュラムP側に形成される
可動電極を各別にバイアス電圧源Eの正負の端子に接続
し、検出回路U2の出力端は第1のトルカ電極Aの固定
電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側に直接接
続する静電トルカ型加速度計を構成した。
【0009】また、請求項3:請求項1および請求項2
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、バイアス電圧は第1のトルカ電極Aの固定電極側お
よび第2のトルカ電極Bの固定電極側に印加し、位置検
出信号は第1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極B
のペンジュラムP側に形成される可動電極側に印加する
静電トルカ型加速度計を構成した。
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、バイアス電圧は第1のトルカ電極Aの固定電極側お
よび第2のトルカ電極Bの固定電極側に印加し、位置検
出信号は第1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極B
のペンジュラムP側に形成される可動電極側に印加する
静電トルカ型加速度計を構成した。
【0010】更に、請求項4:請求項1ないし請求項3
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、第1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極Bに印
加されるバイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とす
る静電トルカ型加速度計を構成した。
の内の何れかに記載される静電トルカ型加速度計におい
て、第1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極Bに印
加されるバイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とす
る静電トルカ型加速度計を構成した。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図1の実
施例を参照して説明する。図1の実施例においても、静
電容量型位置検出器は互いに等しい抵抗値を有する2個
の抵抗R(R:抵抗値をも示す)とペンジュラムPに形
成された第1の位置検出器電極α、第2の位置検出器電
極βを4辺とするブリッジ回路を有している。ブリッジ
回路の入力端は発振周波数100kHzのオーダーの発
振器OSCの一方の端子に接続している。ブリッジ回路
の出力端である2個の位置検出器電極α、βの固定電極
側は差動増幅器より成る検出回路U2の入力端に接続し
ている。ペンジュラムPには第1の位置検出器電極α、
第2の位置検出器電極βの他に更に、第1のトルカ電極
A、第2のトルカ電極Bが形成されている。そして、検
出回路U2の出力端は第1のトルカ電極Aの固定電極側
および第2のトルカ電極Bの固定電極側に直接に接続し
ている。
施例を参照して説明する。図1の実施例においても、静
電容量型位置検出器は互いに等しい抵抗値を有する2個
の抵抗R(R:抵抗値をも示す)とペンジュラムPに形
成された第1の位置検出器電極α、第2の位置検出器電
極βを4辺とするブリッジ回路を有している。ブリッジ
回路の入力端は発振周波数100kHzのオーダーの発
振器OSCの一方の端子に接続している。ブリッジ回路
の出力端である2個の位置検出器電極α、βの固定電極
側は差動増幅器より成る検出回路U2の入力端に接続し
ている。ペンジュラムPには第1の位置検出器電極α、
第2の位置検出器電極βの他に更に、第1のトルカ電極
A、第2のトルカ電極Bが形成されている。そして、検
出回路U2の出力端は第1のトルカ電極Aの固定電極側
および第2のトルカ電極Bの固定電極側に直接に接続し
ている。
【0012】ここで、この実施例においては、第1の位
置検出器電極αおよび第2の位置検出器電極βそれぞれ
の可動電極は電気的に共通に接続して発振器OSCの他
方の端子に接続している。そして、第1のトルカ電極A
のペンジュラムP側に形成される可動電極はバイアス電
圧源Eの負のバイアス電圧端子−Eに接続する一方、第
2のトルカ電極BのペンジュラムP側に形成される可動
電極はバイアス電圧源Eの正のバイアス電圧端子+Eに
接続している。即ち、第1のトルカ電極Aのペンジュラ
ムP側に形成される可動電極には負のバイアス電圧−E
が印加される一方、第2のトルカ電極Bのペンジュラム
P側に形成される可動電極には正のバイアス電圧+Eが
印加されている。
置検出器電極αおよび第2の位置検出器電極βそれぞれ
の可動電極は電気的に共通に接続して発振器OSCの他
方の端子に接続している。そして、第1のトルカ電極A
のペンジュラムP側に形成される可動電極はバイアス電
圧源Eの負のバイアス電圧端子−Eに接続する一方、第
2のトルカ電極BのペンジュラムP側に形成される可動
電極はバイアス電圧源Eの正のバイアス電圧端子+Eに
接続している。即ち、第1のトルカ電極Aのペンジュラ
ムP側に形成される可動電極には負のバイアス電圧−E
が印加される一方、第2のトルカ電極Bのペンジュラム
P側に形成される可動電極には正のバイアス電圧+Eが
印加されている。
【0013】ここで、加速度が印加されてペンジュラム
Pが変位すると、静電容量型位置検出器の第1の位置検
出器電極αおよび第2の位置検出器電極βはペンジュラ
ムPの変位量に比例した出力を発生する。検出回路U2
は入力されるこれらの両位置検出器電極の出力を比較増
幅して変位の向きに対応した極性の位置検出信号△Eを
出力する。この位置検出信号△Eは第1のトルカ電極A
の固定電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側の
双方に直接に印加される。ところで、第1のトルカ電極
AのペンジュラムP側に形成される可動電極には負のバ
イアス電圧−Eが印加される一方、第2のトルカ電極B
のペンジュラムP側に形成される可動電極には正のバイ
アス電圧+Eが印加されている。
Pが変位すると、静電容量型位置検出器の第1の位置検
出器電極αおよび第2の位置検出器電極βはペンジュラ
ムPの変位量に比例した出力を発生する。検出回路U2
は入力されるこれらの両位置検出器電極の出力を比較増
幅して変位の向きに対応した極性の位置検出信号△Eを
出力する。この位置検出信号△Eは第1のトルカ電極A
の固定電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側の
双方に直接に印加される。ところで、第1のトルカ電極
AのペンジュラムP側に形成される可動電極には負のバ
イアス電圧−Eが印加される一方、第2のトルカ電極B
のペンジュラムP側に形成される可動電極には正のバイ
アス電圧+Eが印加されている。
【0014】ここで、第1のトルカ電極Aに印加される
電圧は(△E−E)であり、第2のトルカ電極Bに印加
される電圧は(△E+E)である。従って、レンジは印
加したバイアス電圧分だけ拡張され、従来例において必
要とされた第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3、第2
のトルカ電極駆動差動増幅器U4およびインバータIN
は不要となり、それだけ静電トルカ型加速度計の回路構
成を簡略化することができる。
電圧は(△E−E)であり、第2のトルカ電極Bに印加
される電圧は(△E+E)である。従って、レンジは印
加したバイアス電圧分だけ拡張され、従来例において必
要とされた第1のトルカ電極駆動差動増幅器U3、第2
のトルカ電極駆動差動増幅器U4およびインバータIN
は不要となり、それだけ静電トルカ型加速度計の回路構
成を簡略化することができる。
【0015】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、ペンジュラムが変位することにより入力加速度を検
出する静電トルカ型加速度計において、第1のトルカ電
極および第2のトルカ電極に絶対値は等しく互に逆極性
のバイアス電圧を印加することにより、レンジを拡張す
ると共に静電トルカ型加速度計の回路構成を簡略化する
ことができる。
ば、ペンジュラムが変位することにより入力加速度を検
出する静電トルカ型加速度計において、第1のトルカ電
極および第2のトルカ電極に絶対値は等しく互に逆極性
のバイアス電圧を印加することにより、レンジを拡張す
ると共に静電トルカ型加速度計の回路構成を簡略化する
ことができる。
【図1】実施例を説明する図。
【図2】従来例を説明する図。
R 抵抗 P ペンジュラム α 第1の位置検出器電極 β 第2の位置検出器電極 OSC 発振器 U2 検出回路 U3 第1のトルカ電極駆動差動増幅器 U4 第2のトルカ電極駆動差動増幅器 E バイアス電圧源 IN インバータ A 第1のトルカ電極 B 第2のトルカ電極
Claims (4)
- 【請求項1】 ペンジュラムが変位することにより入力
加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、 第1のトルカ電極および第2のトルカ電極のペンジュラ
ム側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加し、 第1のトルカ電極の固定電極側および第2のトルカ電極
の固定電極側に位置検出信号を印加することを特徴とす
る静電トルカ型加速度計。 - 【請求項2】 請求項1に記載される静電トルカ型加速
度計において、 2個の抵抗、ペンジュラムに形成される第1の位置検出
器電極および第2の位置検出器電極を4辺とするブリッ
ジ回路を具備し、 ペンジュラムに形成される第1のトルカ電極および第2
のトルカ電極を具備し、 2個の抵抗の共通接続点と2個の位置検出器電極のペン
ジュラムに形成される可動電極側の共通接続点との間に
接続される発振器を具備し、 一方の抵抗と第1の位置検出器電極の固定電極側の共通
接続点と他方の抵抗と第2の位置検出器電極の固定電極
側の共通接続点とが接続される検出回路を具備し、 第1のトルカ電極および第2のトルカ電極双方のペンジ
ュラム側に形成される可動電極を各別にバイアス電圧源
の正負の端子に接続し、 検出回路の出力端は第1のトルカ電極の固定電極側およ
び第2のトルカ電極の固定電極側に直接接続することを
特徴とする静電トルカ型加速度計。 - 【請求項3】 請求項1および請求項2の内の何れかに
記載される静電トルカ型加速度計において、 バイアス電圧は第1のトルカ電極の固定電極側および第
2のトルカ電極の固定電極側に印加し、位置検出信号は
第1のトルカ電極および第2のトルカ電極のペンジュラ
ム側に形成される可動電極に印加することを特徴とする
静電トルカ型加速度計。 - 【請求項4】 請求項1ないし請求項3の内の何れかに
記載される静電トルカ型加速度計において、 第1のトルカ電極および第2のトルカ電極に印加される
バイアス電圧は絶対値は等しく互に逆極性とすることを
特徴とする静電トルカ型加速度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9183920A JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9183920A JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1123611A true JPH1123611A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16144133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9183920A Pending JPH1123611A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 静電トルカ型加速度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1123611A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008107349A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-08 | Honeywell Internatl Inc | 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 |
JP2010517014A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 差動容量型センサとその製造方法 |
JP2013130560A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 慣性センサー |
JP2013250065A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 角加速度検出装置及び検出方法 |
CN108240902A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 天津大学 | 一种电磁力矩器的测试装置及测试方法 |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP9183920A patent/JPH1123611A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008107349A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-08 | Honeywell Internatl Inc | 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 |
JP2010517014A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 差動容量型センサとその製造方法 |
JP2013130560A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 慣性センサー |
JP2013250065A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 角加速度検出装置及び検出方法 |
CN108240902A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 天津大学 | 一种电磁力矩器的测试装置及测试方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101680910B (zh) | 具有模拟复位的电容式微机械传感器的工作方法和电路结构 | |
US7078916B2 (en) | Linearity enhancement for capacitive sensors | |
US7456731B2 (en) | Capacitive-type physical quantity sensor | |
JP4310571B2 (ja) | 静電容量検出型振動ジャイロ、および静電容量変化検出方法 | |
KR100397105B1 (ko) | 자이로스코프의 구동검출장치 | |
EP0579974A1 (en) | Drift suppressing circuit of gyroscope | |
JPH0688757A (ja) | トルクセンサ | |
JP3520821B2 (ja) | 振動ジャイロ用自己診断回路 | |
JPH1123611A (ja) | 静電トルカ型加速度計 | |
JP3709793B2 (ja) | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 | |
JP2001153659A (ja) | 角速度センサ | |
EP0658743B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
JP2002139322A (ja) | 振動ジャイロの自己診断方法、及び、振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 | |
JPH05302833A (ja) | 圧電式振動ジャイロの直流増幅回路 | |
JPH10332738A (ja) | 静電トルカ式加速度計 | |
JP3319015B2 (ja) | 半導体ヨーレイトセンサ | |
JP2000018952A (ja) | 角速度センサ | |
US20010008088A1 (en) | Angular velocity sensor | |
JP3265807B2 (ja) | 容量型センサ | |
EP0674152B1 (en) | Angular velocity detection circuit for vibratory gyroscopes | |
JP4765171B2 (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 | |
JPH0961189A (ja) | センサ用検出回路 | |
JPH11132787A (ja) | 電気量検出回路 | |
JPH0783670A (ja) | 圧電振動子の駆動・検出回路 | |
JPH06140874A (ja) | インピーダンス変換回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060131 |