JPH11233020A - Manufacture of plasma display panel and plasma display panel - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide manufacturing method of a PDP(plasma display panel) wherein a phosphor layer is easily and precisely formed, even in the case of a fine cell structure, and the phosphor layer is uniformly formed in a groove between the barrier ribs in the case of the striped barrier ribs, and further easily on the side surfaces of them. SOLUTION: This manufacturing method comprises: a step of disposing a plate (back surface glass substrate 15) to which barrier ribs 17 are disposed in striped shape with an inclination θ to the horizontal plane; and a step of supplying phosphor ink between the barrier ribs 17 while discharging the phosphor ink from nozzles 24 to the end of grooves between the barrier ribs in the form of a continuous flow, thereby forming the phosphor layer in the barrier ribs.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスに用
いるプラズマディスプレイパネルに関し、特に詳細なセ
ル構造のプラズマディスプレイパネルに適した製造方法
に関する。The present invention relates to a plasma display panel used for a display device, and more particularly to a manufacturing method suitable for a plasma display panel having a detailed cell structure.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディス
プレイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。2. Description of the Related Art In recent years, expectations for high-definition and large-screen televisions such as high-definition televisions have been increasing.
In the field of displays such as CRTs, liquid crystal displays (LCDs), and plasma display panels (PDPs), the development of displays suitable for them is underway.

【０００３】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で４０インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難性があり、視野角にも限界がある。Conventionally, CRTs, which have been widely used as television displays, are excellent in resolution and image quality, but have a large screen of 40 inches or more in that the depth and weight increase with the screen size. Is not suitable. In addition, LCDs have excellent performance such as low power consumption and low driving voltage, but have technical difficulties in producing a large screen and have a limited viewing angle.

【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に４０インチ
クラスの製品も開発されている。ＰＤＰは一般的に、表
面に電極を配したフロントカバープレートとバックプレ
ートとが、電極を対向した状態で平行に配され、両プレ
ート間の間隙は隔壁で仕切られ、隔壁と隔壁との間の溝
に赤，緑，青の蛍光体層が形成されると共に放電ガスが
封入された構成であって、その製造は、隔壁を配設した
バックプレートの溝に蛍光体層を形成し、その上にフロ
ントカバープレートを重ねて放電ガスを封入することに
よって行う。そして、駆動回路で電極に印加して駆動を
行うようになっている。On the other hand, the PDP can realize a large screen with a small depth, and a 40-inch class product has already been developed. In general, a PDP has a front cover plate having electrodes disposed on a surface thereof and a back plate, which are disposed in parallel with electrodes facing each other. A gap between the two plates is partitioned by a partition wall. The structure is such that red, green, and blue phosphor layers are formed in the grooves and a discharge gas is filled therein. The manufacturing is performed by forming the phosphor layers in the grooves of the back plate provided with the partition walls, and further forming The discharge gas is sealed by superposing a front cover plate on the front cover plate. The driving circuit applies the voltage to the electrodes to drive the electrodes.

【０００５】ＰＤＰの発光原理は、基本的に蛍光灯と同
様であって、駆動回路が電極に電圧を印加して放電する
と、放電ガスから紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体
粒子（赤，緑，青）がこの紫外線を受けて励起発光する
が、放電エネルギが紫外線へ変換する効率や、蛍光体に
おける可視光への変換効率が低いので、蛍光灯のように
高い輝度を得ることは難しい現状である。The principle of light emission of a PDP is basically the same as that of a fluorescent lamp. When a driving circuit applies a voltage to an electrode and discharges the same, ultraviolet rays are emitted from a discharge gas, and the phosphor particles (red , Green, and blue) receive this ultraviolet light and emit light when excited. However, since the efficiency of converting discharge energy into ultraviolet light and the efficiency of converting phosphor into visible light are low, it is not possible to obtain high brightness like a fluorescent lamp. It is a difficult situation.

【０００６】ＰＤＰは駆動方式によって直流型（ＤＣ
型）と交流型（ＡＣ型）とに大別される。ＤＣ型では電
極が放電空間に露出しているのに対して、ＡＣ型では電
極上に誘電体ガラス層が配設されている。A PDP is a direct current type (DC) depending on a driving method.
Type) and AC type (AC type). In the DC type, the electrode is exposed to the discharge space, whereas in the AC type, a dielectric glass layer is provided on the electrode.

【０００７】また、隔壁の形状も違いがあって、一般的
にＡＣ型では隔壁がストライプ状に配設されているのに
対して、ＤＣ型では隔壁が井桁状に配設されている。こ
の点で、ＡＣ型の方が微細なセル構造のパネルを形成す
るのに適している。[0007] Also, there is a difference in the shape of the partition walls. In general, the partition walls are arranged in stripes in the AC type, whereas the partition walls are arranged in a grid pattern in the DC type. In this respect, the AC type is more suitable for forming a panel having a fine cell structure.

【０００８】ところで、ディスプレイの高品位化に対す
る要求が高まるにつれて、ＰＤＰにおいても微細なセル
構造のものが望まれている。By the way, as the demand for higher-quality displays increases, PDPs having a fine cell structure are also desired.

【０００９】例えば、従来のＮＴＳＣではセル数が６４
０×４８０で、４０インチクラスではセルピッチが０．
４３ｍｍ×１．２９ｍｍ、１セル面積が約０．５５ｍｍ
² であったが、フルスペックのハイビジョンテレビの画
素レベルでは、画素数が１９２０×１１２５となり、４
２インチクラスでのセルピッチは０．１５ｍｍ×０．４
８ｍｍ、１セルの面積は０．０７２ｍｍ²の細かさとな
る。For example, in the conventional NTSC, the number of cells is 64.
It is 0x480, and the cell pitch is 0.4 in the 40-inch class.
43mm x 1.29mm, cell area is about 0.55mm
Although there was a ^2, a high-definition TV pixel level full-spec, becomes the number of pixels is 1920 × 1125, 4
The cell pitch in the 2-inch class is 0.15mm × 0.4
The area of one cell of 8 mm is as fine as 0.072 mm ² .

【００１０】このような詳細なセル構造のＰＤＰを実用
化するためには、従来よりもセルの発光効率を高める必
要があり、そのために、蛍光体の改良等の研究がなされ
ている。In order to put a PDP having such a detailed cell structure into practical use, it is necessary to increase the luminous efficiency of the cell as compared with the prior art. For this purpose, research has been made on improvements in phosphors and the like.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】このような背景のもと
に、蛍光体層の形成に関して以下のような課題がある。
蛍光体層を形成する方法としては、図８に示すようにス
クリーン印刷法で蛍光体ペーストを隔壁間の凹部に充填
して焼成する方法が多く用いられているが、微細なセル
構造のＰＤＰに対しては、スクリーン印刷法は適用が難
しい。Under such a background, there are the following problems regarding the formation of the phosphor layer.
As a method of forming a phosphor layer, a method of filling a phosphor paste into a recess between partition walls by a screen printing method and firing it as shown in FIG. 8 is often used. On the other hand, the screen printing method is difficult to apply.

【００１２】即ち、セルピッチが０．１〜０．１５ｍｍ
程度の場合、隔壁間の溝幅は０．０８〜０．１ｍｍ程度
と非常に狭くなってしまうが、スクリーン印刷で用いる
蛍光体インキは粘度が高いので（通常、数万センチポイ
ズ）、狭い隔壁間に精度良く高速に蛍光体インキを流し
込むことは困難である。また、微細な構造のスクリーン
板を形成することも困難である。That is, the cell pitch is 0.1 to 0.15 mm
In this case, the groove width between the partition walls is very narrow, about 0.08 to 0.1 mm. However, since the phosphor ink used in screen printing has a high viscosity (typically, tens of thousands of centipoise), the width between the narrow partition walls is small. It is difficult to pour the phosphor ink accurately and at high speed. It is also difficult to form a screen plate having a fine structure.

【００１３】また、高い発光効率のＰＤＰを得るために
は、バックプレートの表面上だけでなく隔壁の側面にも
蛍光体層が配設され且つ放電空間が確保されるような構
造とすることが望ましいということができる。Further, in order to obtain a PDP with high luminous efficiency, a structure in which a phosphor layer is disposed not only on the surface of the back plate but also on the side surface of the partition wall and a discharge space is ensured. It can be said that it is desirable.

【００１４】スクリーン印刷法でもってこのような望ま
しい形状の蛍光体層を形成しようとすれば、蛍光体ペー
ストの粘度等の印刷条件を調整するなどしてプレートの
表面及び隔壁の側面に蛍光体ペーストを適量づつ付着さ
せる必要があるが、好適な印刷条件に調整することは難
しく、実際にはなかなか隔壁の側面に蛍光体ペーストが
付着しにくいという問題があり、場合によっては隔壁全
面に蛍光体ペーストをうめ込み、ブラスト法によって形
状を形成することが必要となる（例えば、特開平６−５
２０５号公報）。スクリーン印刷法以外の蛍光体層の形
成方法として、フォトレジストフィルム法やインキジェ
ット法も知られている。In order to form a phosphor layer having such a desirable shape by a screen printing method, the phosphor paste is applied to the surface of the plate and the side surfaces of the partition walls by adjusting printing conditions such as the viscosity of the phosphor paste. However, it is difficult to adjust to suitable printing conditions, and in practice there is a problem that the phosphor paste is difficult to adhere to the side surfaces of the partition walls. And it is necessary to form the shape by a blast method (for example, see
No. 205). As a method of forming a phosphor layer other than the screen printing method, a photoresist film method and an ink jet method are also known.

【００１５】フォトレジストフィルム法は、特開平６−
２７３９２５号公報に開示されているように、各色蛍光
体を含む紫外線感光性樹脂のフィルムを、隔壁と隔壁と
の間に埋め込み、該当する色の蛍光体層を形成しようと
する部分だけに露光現象を施し、露光しない部分を洗い
流す方法であって、この方法によれば、セルピッチが小
さい場合にも、ある程度精度良く隔壁間にフィルムを埋
め込むことが可能である。The photoresist film method is disclosed in
As disclosed in Japanese Patent No. 273925, a film of an ultraviolet-sensitive resin containing phosphors of each color is embedded between partition walls, and an exposure phenomenon occurs only in a portion where a phosphor layer of a corresponding color is to be formed. Is applied to wash out the unexposed portions. According to this method, even when the cell pitch is small, the film can be embedded between the partition walls with some accuracy.

【００１６】しかしながら、３色各色について、フィル
ムの埋め込み，露光現像及び洗い流しを順次行う必要が
あるため、製造工程が複雑であると共に混色が生じやす
いという問題があり、更に、蛍光体は比較的高価である
にもかかわらず洗い流された蛍光体を回収することは困
難なためコスト高になるという問題もある。However, since it is necessary to sequentially carry out film embedding, exposure and development, and rinsing for each of the three colors, there is a problem that the manufacturing process is complicated and color mixing is likely to occur, and the phosphor is relatively expensive. Nevertheless, there is also a problem in that it is difficult to collect the washed away phosphor, which increases the cost.

【００１７】一方、インキジェット法は、特開昭５３−
７９３７１号公報や特開平８−１６２０１９号公報に開
示されているように、蛍光体と有機バインダーからなる
インキ液を加圧してノズルから噴射させながら走査する
ことにより、所望のパターンでインキ液を絶縁基板上に
付着させる方法であって、狭い隔壁間の凹部にも精度良
くインキを塗布することが可能である。On the other hand, the ink jet method is disclosed in
As disclosed in JP-A-79371 and JP-A-8-162019, the ink liquid composed of a phosphor and an organic binder is pressed and scanned while being ejected from a nozzle to insulate the ink liquid in a desired pattern. This is a method of adhering the ink on a substrate, and it is possible to apply the ink to concave portions between narrow partition walls with high accuracy.

【００１８】しかしながら、このような従来のインキジ
ェット法では、噴射された蛍光体インキが液滴となって
間欠的に付着するので、隔壁がストライプ状に配設され
ている場合、隔壁間の溝に一定の膜厚で塗布することが
難しい。また、スクリーン印刷法と同様、インキ液が凹
部の底面に集中して付着し側面には付着しにくいという
問題がある。又微細なストライプ状の溝にそってインキ
ヘッドやガラス基板を精密に操作する必要があるという
問題があった。However, in such a conventional ink jet method, since the ejected phosphor ink is intermittently attached as droplets, when the partition walls are arranged in a stripe shape, grooves between the partition walls are formed. It is difficult to apply with a constant film thickness. Further, similarly to the screen printing method, there is a problem that the ink liquid is concentrated on the bottom surface of the concave portion and hardly adheres to the side surface. There is also a problem that it is necessary to precisely operate the ink head and the glass substrate along the fine stripe-shaped grooves.

【００１９】本発明は、上記課題に鑑み、微細なセル構
造の場合でも、容易に精度良く蛍光体層を形成すること
が可能であって、且つ隔壁がストライプ状の場合に、隔
壁間の溝に蛍光体層を均一的に形成することのできるＰ
ＤＰの製造方法を提供することを目的とする。In view of the above problems, the present invention makes it possible to easily and accurately form a phosphor layer even in the case of a fine cell structure, and to provide a groove between partition walls when the partition walls are striped. Which can uniformly form a phosphor layer on
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a DP.

【００２０】[0020]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、隔壁がストライプ状に配設された第１の
プレートにおける隔壁間の溝に蛍光体層を形成する工程
において、第１のプレートを水平面に対して傾きを設け
て配置し、隔壁間の溝の端部に蛍光体インキをノズルか
ら連続流となるよう吐出させながら隔壁に沿って蛍光体
インキを流すという方法で蛍光体インキを塗布するよう
にした。In order to achieve the above object, the present invention provides a method for forming a phosphor layer in a groove between partitions in a first plate in which partitions are arranged in stripes. The first plate is arranged so as to be inclined with respect to the horizontal plane, and the fluorescent ink is caused to flow along the partition walls while discharging the fluorescent ink from the nozzle in a continuous flow at the end of the groove between the partition walls. Body ink was applied.

【００２１】ここで、ノズルを隔壁の端部面に向けた状
態で蛍光体インキを噴出しながら、傾斜した第１のプレ
ート上の隔壁内に沿って蛍光体インキを流せば、目的が
達成できる。Here, the object can be achieved if the phosphor ink is caused to flow along the inside of the inclined partition on the first plate while ejecting the phosphor ink with the nozzle facing the end face of the partition. .

【００２２】また、蛍光体層を形成する工程において、
隔壁がストライプ状に配設された第１のプレート上に第
３のプレート（カバープレート）をはり付けた後、ノズ
ルを隔壁端部に置いた状態で蛍光体インキに圧力を加え
て蛍光体インキを隔壁に沿って噴出させたり、または、
パネルのもう一端を真空吸引したりすることによって蛍
光体インキを隔壁内部に流し込み、乾燥後第３のプレー
トを取り除くことによって、目的が達成できる。In the step of forming a phosphor layer,
After attaching a third plate (cover plate) on the first plate on which the partition walls are arranged in a stripe pattern, pressure is applied to the phosphor ink while the nozzle is placed at the end of the partition wall to apply a pressure to the phosphor ink. Squirting along the bulkhead, or
The object can be achieved by pouring the phosphor ink into the inside of the partition wall by vacuum suctioning the other end of the panel, and removing the third plate after drying.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕 （ＰＤＰの全体的な構成及び製法について）図３は、本
発明の一実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰの概略断
面図である。図３ではセルが１つだけ示されているが、
赤，緑，青の各色を発光するセルが交互に多数配列され
てＰＤＰが構成されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First Embodiment (Overall Configuration and Manufacturing Method of PDP) FIG. 3 is a schematic sectional view of an AC surface discharge type PDP according to one embodiment of the present invention. Although only one cell is shown in FIG. 3,
A PDP is formed by alternately arranging a large number of cells that emit red, green, and blue light.

【００２４】このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放
電電極１２（表示電極）と誘電体ガラス層１３及び誘電
体保護層１４が配された前面パネルと、背面ガラス基板
１５上にアドレス電極１６，隔壁１７，蛍光体層１８が
配された背面パネルとを張り合わせ、前面パネルと背面
パネルの間に形成される放電空間１９内に放電ガスが封
入された構成となっており、このＰＤＰは、図４に示す
駆動回路によって、放電電極１２とアドレス電極１６に
印加して駆動するようになっている。This PDP has a front panel in which a discharge electrode 12 (display electrode), a dielectric glass layer 13 and a dielectric protection layer 14 are arranged on a front glass substrate 11, an address electrode 16 on a rear glass substrate 15, The rear panel on which the partition wall 17 and the phosphor layer 18 are arranged is laminated, and a discharge gas is sealed in a discharge space 19 formed between the front panel and the rear panel. The drive circuit shown in FIG. 4 drives the discharge electrodes 12 and the address electrodes 16 by applying them.

【００２５】尚、図３では、便宜上、放電電極１２が断
面で表示されているが、実際には、放電電極１２はアド
レス電極１６と直交マトリックスを組むように、図３の
紙面に沿った方向に配設されている。In FIG. 3, the discharge electrode 12 is shown in a cross section for convenience. However, in practice, the discharge electrode 12 is arranged in a direction along the plane of FIG. It is arranged.

【００２６】前面パネルの作製：前面パネルは、前面ガ
ラス基板１１上に放電電極１２を形成し、その上を鉛系
の誘電体ガラス層１３で覆い、更に誘電体ガラス層１３
の表面に保護層１４を形成することによって作製する。Preparation of Front Panel: The front panel has a discharge electrode 12 formed on a front glass substrate 11, a lead-based dielectric glass layer 13 covering the discharge electrode 12, and a dielectric glass layer 13.
It is manufactured by forming a protective layer 14 on the surface of the substrate.

【００２７】放電電極１２は銀からなる電極であって、
電極用の銀ペーストをスクリーン印刷し焼成することに
よって形成する従来の方法で形成する。The discharge electrode 12 is an electrode made of silver.
It is formed by a conventional method in which a silver paste for an electrode is formed by screen printing and firing.

【００２８】誘電体ガラス層１３は、例えば、６５重量
％の酸化鉛［ＰｂＯ］，１７重量％の酸化硼素［Ｂ
₂Ｏ₃］，１３重量％の酸化硅素［ＳiＯ₂］及び５重量％
の酸化アルミニウムと有機バインダ［α−ターピネオー
ルに１０％のエチルセルローズを溶解したもの］とを混
合してなる組成物を、スクリーン印刷法で塗布した後、
５４０℃で２０分間焼成することによって膜厚約２０μ
ｍに形成する。The dielectric glass layer 13 is made of, for example, 65% by weight of lead oxide [PbO] and 17% by weight of boron oxide [B
₂ O ₃ ], 13% by weight of silicon oxide [SiO ₂ ] and 5% by weight
Of aluminum oxide and an organic binder [10% ethyl cellulose dissolved in α-terpineol] was applied by a screen printing method.
By baking at 540 ° C for 20 minutes, a film thickness of about 20μ
m.

【００２９】保護層１４は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなるものであって、例えば、スパッタリング法
によって０．５μｍの膜厚に形成する。The protective layer 14 is made of magnesium oxide (Mg).
O) and is formed to a thickness of 0.5 μm by, for example, a sputtering method.

【００３０】背面パネルの作製：背面ガラス基板１５上
に、放電電極１２と同様にスクリーン印刷方式を用い
て、アドレス電極１６を形成する。Preparation of rear panel: Address electrodes 16 are formed on rear glass substrate 15 by using a screen printing method in the same manner as discharge electrodes 12.

【００３１】次に、フィラーを添加したガラス材料をく
り返しスクリーン印刷した後、焼成することによって隔
壁１７を形成することもできるが、本実施の形態では、
後で詳述するが、プラズマ溶射法で隔壁を作成する。Next, the partition wall 17 may be formed by repeatedly screen-printing a glass material to which a filler has been added, and then firing the glass material.
As will be described in detail later, partition walls are formed by a plasma spraying method.

【００３２】そして、隔壁１７の間の溝に蛍光体層１８
を形成する。この蛍光体層１８の形成方法については後
で詳述するが、ノズルを隔壁端部におきノズルから、蛍
光体インキを連続的に噴射しながら蛍光体インキを隔壁
内に塗布し、焼成することによって形成する。Then, the phosphor layer 18 is formed in the groove between the partition walls 17.
To form The method for forming the phosphor layer 18 will be described later in detail. However, the nozzle is placed at the end of the partition wall, and the phosphor ink is applied to the partition wall while continuously spraying the phosphor ink from the nozzle, followed by baking. Formed by

【００３３】尚、本実施の形態では、４０インチクラス
のハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１
〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３ｍｍ
とする。In this embodiment, the height of the partition wall is 0.1 in accordance with a 40-inch class high-definition television.
~ 0.15mm, pitch of partition wall is 0.15 ~ 0.3mm
And

【００３４】パネル張り合わせによるＰＤＰの作製：次
に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封
着用ガラスを用いて張り合せると共に、隔壁１７で仕切
られた放電空間１９内を高真空（例えば８×１０^-7Ｔｏ
ｒｒ）に排気した後、放電ガス（例えばＨｅ−Ｘｅ系，
Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入するこ
とによってＰＤＰを作製する。Preparation of PDP by Panel Bonding: Next, the front panel and the rear panel thus prepared are bonded together using sealing glass, and the inside of the discharge space 19 partitioned by the partition 17 is subjected to a high vacuum (for example, 8 × 10 ^-7 To
rr), then discharge gas (for example, He-Xe system,
A PDP is manufactured by sealing a Ne—Xe-based inert gas) at a predetermined pressure.

【００３５】次に、ＰＤＰを駆動する回路ブロックを図
４のように実装して、ＰＤＰ表示装置を作製する。Next, a circuit block for driving the PDP is mounted as shown in FIG. 4 to manufacture a PDP display device.

【００３６】尚、本実施の形態では、放電ガスにおける
Ｘｅの含有量を５体積％以上とし、封入圧力を５００〜
６００Ｔｏｒｒの範囲に設定する。In this embodiment, the content of Xe in the discharge gas is set to 5% by volume or more and the filling pressure is set to 500 to 500%.
Set to the range of 600 Torr.

【００３７】（隔壁の形成方法について）図６は、溶射
法による隔壁の形成方法を示す概略工程図である。ま
ず、アドレス電極１６を形成した背面ガラス基板１５
（図６のＡ）の表面を、アクリル系感光樹脂でできたド
ライフィルム８１で覆う（図６のＢ）。FIG. 6 is a schematic process diagram showing a method of forming a partition by a thermal spraying method. First, the back glass substrate 15 on which the address electrodes 16 are formed
The surface of (FIG. 6A) is covered with a dry film 81 made of an acrylic photosensitive resin (FIG. 6B).

【００３８】フォトリソグラフィによって、このドライ
フィルム８１でパターニングする。即ち、ドライフィル
ム８１の上にフォトマスク８２を被せて、隔壁を形成し
ようとする部分だけに紫外光（ＵＶ）８３を照射し（図
６のＣ）、現像することによって、隔壁を形成する部分
のドライフィルム８１を除去し、隔壁を形成しない部分
だけにドライフィルム８１のマスクを形成する（図６の
Ｄ参照）。なお、現像は、１％程度のアルカリ水溶液
（具体的には炭酸ナトリウム水溶液）中で行う。The dry film 81 is patterned by photolithography. That is, a photomask 82 is placed on the dry film 81, and ultraviolet light (UV) 83 is applied only to a portion where a partition is to be formed (C in FIG. 6), and the portion is formed by developing. The dry film 81 is removed, and a mask of the dry film 81 is formed only on the portion where the partition is not formed (see D in FIG. 6). The development is performed in a 1% aqueous alkaline solution (specifically, a sodium carbonate aqueous solution).

【００３９】そして、これに、隔壁の原材料であるアル
ミナ（Ａｌ₂Ｏ₃），スピネル（ＭｇＯ・Ａｌ₂Ｏ₃），チ
タニン（ＴｉＯ₂），ジルコン（ＺｒＯ₂）をプラズマ溶
射する。又ＰＤＰのコントラストを向上させるために、
アルミナ，スピネル，ジルコンの上に同じく黒色のＣｒ
₂Ｏ₃，ＴｉＯ，Ｃ₀Ｏ，Ｆｅ₂Ｏ₃，ＭｎＯ₂等の酸化物や
これらの混合物を溶射することが出来る。Then, alumina (Al ₂ O ₃ ), spinel (MgO.Al ₂ O ₃ ), titanine (TiO ₂ ), and zircon (ZrO ₂ ), which are raw materials of the partition wall, are plasma sprayed. Also, in order to improve the contrast of PDP,
Black Cr on alumina, spinel and zircon
Oxides such as ₂ O ₃ , TiO, C ₀ O, Fe ₂ O ₃ , and MnO ₂ and mixtures thereof can be sprayed.

【００４０】図７は、プラズマ溶射を行うプラズマ溶射
装置の構成と動作を示す図である。このプラズマ溶射装
置９０では、陰極９１と陽極９２の間に電圧を印加し
て、陰極９１の先端にアーク放電を発生させ、その中に
アルゴンガスとを送り込み、プラズマジェットを発生さ
せる。FIG. 7 is a diagram showing the configuration and operation of a plasma spraying apparatus for performing plasma spraying. In the plasma spraying apparatus 90, a voltage is applied between the cathode 91 and the anode 92 to generate an arc discharge at the tip of the cathode 91, and an argon gas is fed into the arc discharge to generate a plasma jet.

【００４１】そして、原材料（アルミナやＣｒ₂Ｏ₃，Ｔ
ｉＯ₂等）の粉末をこの中に送り込んで、原材料をプラ
ズマジェットの中で溶融して基板１５の表面に吹き付け
る。これによって、基板１５の表面には、原材料の溶射
膜８４が形成される。The raw materials (alumina, Cr ₂ O ₃ , T
by feeding a powder of iO _2, etc.) therein, spraying the surface of the substrate 15 by melting the raw materials in the plasma jet. As a result, a sprayed film 84 of a raw material is formed on the surface of the substrate 15.

【００４２】このようにして、膜８４が形成された基板
１５（図６のＥ）を、剥離液（水酸化ナトリウム溶液）
に浸して、ドライフィルム８１のマスクを除去する（リ
フトオフ法）。これに伴って、原材料の膜８４の中、ド
ライフィルム８１のマスク上に形成された部分８４ｂは
除去され、基板１５上に直接形成された部分８４ａだけ
が残り、これが隔壁１７となる（図６のＦ）。The substrate 15 (E in FIG. 6) on which the film 84 has been formed in this manner is separated from the substrate 15 by a stripping solution (sodium hydroxide solution)
To remove the mask of the dry film 81 (lift-off method). Along with this, the portion 84b formed on the mask of the dry film 81 in the film 84 of the raw material is removed, leaving only the portion 84a directly formed on the substrate 15, which becomes the partition wall 17 (FIG. 6). F).

【００４３】そして、隔壁１７の間の溝に蛍光体層１８
を形成する。この蛍光体層１８の形成方法については後
で詳述する。The phosphor layer 18 is formed in a groove between the partition walls 17.
To form The method of forming the phosphor layer 18 will be described later in detail.

【００４４】尚、本実施の形態では、４０インチクラス
のハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１
〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３ｍｍ
とする。In the present embodiment, the height of the partition wall is 0.1 in accordance with a 40-inch class high-definition television.
~ 0.15mm, pitch of partition wall is 0.15 ~ 0.3mm
And

【００４５】なお、プラズマ溶射法による隔壁は、従来
のガラスペースト（フィラー入り）をスクリーン印刷後
焼成する工法と比較して、焼成工程が省略できること、
および高融点の酸化物を使用しているため、パネル封着
後のアウトガスが少ないことなどの利点がある。It should be noted that the baking step can be omitted for the partition wall formed by the plasma spraying method as compared with the conventional method of baking after screen printing of a glass paste (containing filler).
In addition, since an oxide having a high melting point is used, there are advantages such as low outgassing after panel sealing.

【００４６】用いる蛍光体インキとしては、隔壁凹部の
側面１７に付着しやすいような組成とするのが好まし
く、バインダーとしてエチルセルロースを０．１〜１０
重量％用い、溶剤としてターピネオール（Ｃ₁₀Ｈ₁₈Ｏ）
を用いると比較的良好な結果を得る。It is preferable that the phosphor ink used has a composition such that it easily adheres to the side surface 17 of the concave portion of the partition wall.
% By weight, terpineol (C ₁₀ H ₁₈ O) as solvent
Use gives relatively good results.

【００４７】また、これ以外に、用いる溶剤としてはジ
エチレングリコールモノメチルエーテルなどの有機溶剤
や水を挙げることができ、バインダーとしては、ＰＭＭ
Ａやポリビニルアルコールなどの高分子を挙げる事がで
きる。添加剤としては、分散剤としてグリセリルトリオ
レエート、可塑剤として、フタル酸ブチル等を用いるこ
とができる。In addition, examples of the solvent used include an organic solvent such as diethylene glycol monomethyl ether and water, and the binder used is PMM.
Polymers such as A and polyvinyl alcohol can be mentioned. As an additive, glyceryl trioleate can be used as a dispersant, and butyl phthalate can be used as a plasticizer.

【００４８】（蛍光体層の形成方法について）図１は、
蛍光体層１８を形成する際に用いるインキ塗布装置２０
の概略構成図、図２は、その断面概略斜視構成図であ
る。(Regarding Method of Forming Phosphor Layer) FIG.
Ink coating device 20 used when forming phosphor layer 18
FIG. 2 is a schematic cross-sectional perspective view of the same.

【００４９】図２に示されるように、インキ塗布装置２
０において、サーバ２１には蛍光体インキが貯えられて
おり、加圧ポンブ２２は、このインキを加圧してヘッダ
２３に供給する。ヘッダ２３には、インキ室２３ａおよ
びノズル２４が設けられており、加圧されたインキ室２
３ａに供給されたインキ２５は、ノズル２４から背面ガ
ラスプレート１５上の隔壁１７の間にインキが連続的に
供給されるようになっている。[0049] As shown in FIG.
At 0, the phosphor ink is stored in the server 21, and the pressurizing pump 22 pressurizes this ink and supplies it to the header 23. The header 23 is provided with an ink chamber 23 a and a nozzle 24.
The ink 25 supplied to the nozzle 3a is continuously supplied from the nozzle 24 to the partition 17 on the rear glass plate 15.

【００５０】このヘッダ２３は、金属材料を機械加工並
びに放電加工することによってインキ室２３ａやノズル
２４の部分も含めて一体成形されたものである。The header 23 is formed integrally with the ink chamber 23a and the nozzle 24 by machining and electric discharge machining of a metal material.

【００５１】又、図１において背面ガラスプレート１５
は、水平面に角度θをもって（θ＝３０〜９０度）傾け
られ、ノズルから供給されたインキが主に重力によって
下方に流れる仕組みになっている。図においては、隔壁
間に４本連続してインキを吐出させた図になっている
が、実際は青，緑，赤の３色があるので、一色で言うと
２つの溝をまたいで塗布する形態となる。Further, in FIG.
Is inclined at an angle θ (θ = 30 to 90 degrees) to a horizontal plane, and the ink supplied from the nozzle flows downward mainly by gravity. In the figure, four consecutive inks are ejected between the partition walls, but there are actually three colors of blue, green, and red. Therefore, in a single color, the ink is applied across two grooves. Becomes

【００５２】蛍光体インキは、各色の蛍光体粒子、バイ
ンダ、溶剤成分、必要に応じて分散剤，可塑剤等が適度
な粘度となるように調合し、ボールミルや、サンドミル
で良く分散して作成されたものである。The phosphor ink is prepared by mixing phosphor particles of each color, a binder, a solvent component, and, if necessary, a dispersant and a plasticizer so as to have an appropriate viscosity, and dispersing them well by a ball mill or a sand mill. It was done.

【００５３】蛍光体インキを構成する蛍光体粒子として
は、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているものを
用いることができる。その具体例としては、 「青色蛍光体」： ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ 「緑色蛍光体」： ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ または Ｚ
ｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ 「赤色蛍光体」： （Ｙ_xＧｄ_1-X）ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ また
は Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ³⁺ を挙げることができる。As the phosphor particles constituting the phosphor ink, those generally used for a phosphor layer of a PDP can be used. Specific examples thereof include “blue phosphor”: BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ “green phosphor”: BaAl ₁₂ O ₁₉ : Mn or Z
n ₂ SiO _4: Mn "red _{phosphor": (Y x Gd 1-X} ) BO 3: Eu 3+ or Y ₂ O _3: Eu ³⁺ and the like.

【００５４】ノズルの目づまりや粒子の沈澱を抑制する
ために、蛍光体インキに用いる蛍光体粒子の平均粒径は
３μｍ以下とするのがよい。また、蛍光体が良好な発光
効率を得るために、蛍光体の平均粒径は０．１μｍ以上
とするのがよい。従って、ここでは蛍光体は、０．１μ
ｍ〜３μｍ（より好ましくは０．５μｍ〜２μｍ）の範
囲にあるものを用いる。In order to suppress clogging of nozzles and precipitation of particles, the average particle size of the phosphor particles used in the phosphor ink is preferably 3 μm or less. Further, in order to obtain good luminous efficiency of the phosphor, the average particle diameter of the phosphor is preferably set to 0.1 μm or more. Therefore, the phosphor here is 0.1 μm.
Those having a range of m to 3 μm (more preferably 0.5 μm to 2 μm) are used.

【００５５】また、蛍光体インキの粘度は２５℃で５０
０センチポアズ以下（１０〜５００センチポアズ）の範
囲内に調整することが望ましい。The viscosity of the phosphor ink is 50 at 25 ° C.
It is desirable to adjust within the range of 0 centipoise or less (10 to 500 centipoise).

【００５６】添加剤としての分散剤（界面活性剤）や可
塑剤の、添加量は０．１〜５重量％が好ましく、更に、
分散剤を０．１〜５重量％，可塑剤を０．１〜１重量％
添加することが望ましい。The amount of the dispersant (surfactant) or plasticizer as an additive is preferably 0.1 to 5% by weight.
0.1-5% by weight of dispersant, 0.1-1% by weight of plasticizer
It is desirable to add.

【００５７】ノズル２４の口径は、ノズルの目詰まりを
防止するために４５μｍ以上で、隔壁１７間の溝幅Ｗよ
りも小さく、通常は４５〜１４０μｍ範囲に設定するこ
とが望ましい。The diameter of the nozzle 24 is preferably not less than 45 μm and less than the groove width W between the partition walls 17 in order to prevent clogging of the nozzle.

【００５８】なお、サーバ２１内では、インキ中の粒子
が沈澱しないように、サーバ２１内に取り付けられた攪
拌機（不図示）でインキが混合攪拌されながら貯蔵され
ている。In the server 21, the ink is stored while being mixed and stirred by a stirrer (not shown) attached to the server 21 so that the particles in the ink do not settle.

【００５９】加圧ポンプ２２の加圧力は、ノズル２４か
ら噴射されるインキの流れが連続流となるように調整す
る。The pressure of the pressure pump 22 is adjusted so that the flow of the ink ejected from the nozzle 24 becomes a continuous flow.

【００６０】ヘッダ２３は、背面ガラス基板１５の隔壁
上端部に、画素ライン数と同じヘッドノズル穴がある場
合は固定されている（画素ライン数よりヘッドノズル穴
が少ない時は、ヘッダを線走査する。）。ヘッダ２３を
固定し、ノズル２４からインキを連続的なインキ流２５
を形成するように噴射することによって、ガラス基板上
の隔壁内にインキがライン状に均一に塗布される。The header 23 is fixed when the number of head nozzle holes is equal to the number of pixel lines at the upper end of the partition wall of the rear glass substrate 15 (when the number of head nozzle holes is smaller than the number of pixel lines, the header is line-scanned). I do.) The header 23 is fixed, and a continuous ink flow 25 from the nozzle 24 is provided.
By spraying so as to form the ink, the ink is uniformly applied in a linear manner in the partition walls on the glass substrate.

【００６１】一方、インキ塗布装置２０による蛍光体イ
ンキの塗布は、背面ガラス基板１５上を隔壁１７の一端
に沿って、赤，青，緑の各色ごとに行う。そして、赤，
緑，青の蛍光体インキを順に所定の溝に塗布して乾燥し
た後、パネルを焼成（約５００℃で１０分間）すること
によって、蛍光体層１８が形成される。On the other hand, the application of the phosphor ink by the ink applying device 20 is performed on the rear glass substrate 15 along one end of the partition wall 17 for each of red, blue and green. And red,
After the green and blue phosphor inks are sequentially applied to predetermined grooves and dried, the panel is baked (at about 500 ° C. for 10 minutes) to form the phosphor layer 18.

【００６２】このように、蛍光体層１８は、従来のイン
キジェット法のようにインキが液滴となって塗布される
のではなく、インキが連続的に塗布されて形成されたも
のなので、層の厚さが均一的である。As described above, the phosphor layer 18 is not formed by applying ink as droplets as in the conventional ink jet method, but is formed by applying ink continuously. Is uniform in thickness.

【００６３】〔実施の形態２〕本実施の形態のＰＤＰの
基本構成及び製造方法は、実施の形態１とほぼ同様であ
るが、蛍光体層の形成方法に違いがある。以下、背面ガ
ラス基板１５の隔壁間の溝への蛍光体層の形成方法につ
いて説明する。[Second Embodiment] The basic structure and manufacturing method of the PDP of the present embodiment are almost the same as those of the first embodiment, but differ in the method of forming the phosphor layer. Hereinafter, a method of forming the phosphor layer in the groove between the partition walls of the rear glass substrate 15 will be described.

【００６４】図５は、本実施の形態で蛍光体層１８（図
２）を形成する際に用いるインキ塗布装置の概略構成図
である。このインキ塗布装置２０も、実施の形態１で用
いる装置と同様のものであって、サーバ２１（図２）に
は蛍光体インキが貯えられており、加圧ポンプ２２（図
２）は、この蛍光体インキを加圧してヘッダ２３に供給
する。またヘッダ２３には、複数のノズル２４が設けら
れており、加圧供給された蛍光体インキは、ノズル２４
に分配されて連続的に噴射されるようになっている。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an ink application device used when forming the phosphor layer 18 (FIG. 2) in the present embodiment. This ink application device 20 is also the same as the device used in the first embodiment, and a server 21 (FIG. 2) stores phosphor ink, and a pressure pump 22 (FIG. 2) The phosphor ink is supplied to the header 23 under pressure. The header 23 is provided with a plurality of nozzles 24, and the phosphor ink supplied under pressure is supplied to the nozzles 24.
And are continuously injected.

【００６５】ただし、本実施の形態のインキ塗布装置２
０においては、隔壁１７上に樹脂基板２６がはり付けら
れており、隔壁間と樹脂基板２６の端面の空間にノズル
２４を設置し、ノズル２４から蛍光体インキを噴射させ
隔壁内に蛍光体インキ２５を塗布する方法である。However, the ink application device 2 of the present embodiment
In No. 0, a resin substrate 26 is adhered on the partition wall 17, and a nozzle 24 is provided between the partition walls and in a space between the end surfaces of the resin substrate 26. 25 is applied.

【００６６】尚、ノズル２４の穴（もしくは噴射孔）が
画素のライン数より少ない場合は、ノズルを横方向（隔
壁の長手方向に直角な方向、すなわち矢印の方向）に走
査するように構成すればよい。When the number of holes (or ejection holes) of the nozzle 24 is smaller than the number of pixel lines, the nozzle is scanned in the horizontal direction (the direction perpendicular to the longitudinal direction of the partition wall, ie, the direction of the arrow). I just need.

【００６７】この製造方法においては、圧力を加えるこ
とによってストライプ状隔壁内に蛍光体インキを端面か
らもう一端の方向に流し込むことも出来るし、他端を減
圧にして、吸引しながら蛍光体インキを流し込むことも
出来る。In this manufacturing method, the phosphor ink can be poured into the stripe-shaped partition wall from the end face to the other end by applying pressure, or the other end is reduced in pressure and the phosphor ink is sucked while being sucked. It can also be poured.

【００６８】そして塗布後乾燥し、次に樹脂基板２６を
取り除くと、蛍光体層１８（図２）が隔壁内に形成でき
るようになっている。Then, after coating and drying, and then removing the resin substrate 26, the phosphor layer 18 (FIG. 2) can be formed in the partition.

【００６９】従って、背面ガラス基板１５の隔壁間の溝
に蛍光体インキが均一的に塗布される点は実施の形態１
と同様であるが、本実施の形態では、更に隔壁１７の側
面の上部にも蛍光体インキを塗布することができるの
で、より発光面積の広い蛍光体層１８を形成することが
できる。Therefore, Embodiment 1 is characterized in that the phosphor ink is uniformly applied to the grooves between the partition walls of the rear glass substrate 15.
However, in the present embodiment, since the phosphor ink can be further applied to the upper portion of the side surface of the partition wall 17, the phosphor layer 18 having a larger light emitting area can be formed.

【００７０】又このように、実施の形態１，２の方法
は、従来例のインキジェット法のようにインキのノズル
または基板を、精密に走査する必要がないため、簡単に
ストライプ状の隔壁に蛍光体層を形成できる。As described above, the methods of Embodiments 1 and 2 do not need to precisely scan an ink nozzle or a substrate as in the conventional ink jet method, and thus can be easily formed on the stripe-shaped partition walls. A phosphor layer can be formed.

【００７１】以下、図１、図２、図５を参照しながらイ
ンキ塗布装置２０の動作及び効果について、更に具体的
に説明する。Hereinafter, the operation and effect of the ink applying apparatus 20 will be described more specifically with reference to FIGS. 1, 2 and 5.

【００７２】インキ塗布装置２０において、ヘッダ２３
は、赤，青，緑の各色ごとに備えられ、各ヘッダ２３に
開設されているノズル２４のピッチは、セルピッチの３
倍に設定されており、図１，図５に示されるようにヘッ
ダ２３は、固定しておき２つおきに蛍光体インキが充填
されるようになっている。図では４個のノズルの記載し
かないが、さらに多くの個数のノズル、例えば３の倍数
の６個や９個のノズルを用いてもよいものである。In the ink application device 20, the header 23
Are provided for each color of red, blue, and green, and the pitch of the nozzles 24 opened in each header 23 is 3 times the cell pitch.
As shown in FIGS. 1 and 5, the header 23 is fixed and filled with phosphor ink every third one. Although only four nozzles are shown in the drawing, a larger number of nozzles, for example, six or nine nozzles, which is a multiple of three, may be used.

【００７３】又、ヘッダ２３のノズル穴数が画素数より
少ない時は、矢印Ａの方向に走査しながら所定の溝に蛍
光体インキを充填する。When the number of nozzle holes in the header 23 is smaller than the number of pixels, predetermined grooves are filled with the phosphor ink while scanning in the direction of arrow A.

【００７４】以上のように、本実施の形態のＰＤＰの製
造方法によれば、蛍光体層を隔壁に沿って均一にしかも
簡単に形成することができ、且つ凹部の側面にも蛍光体
層を付着させることができる。従って、発光輝度の高い
ＰＤＰを作製することができる。As described above, according to the method of manufacturing the PDP of the present embodiment, the phosphor layer can be formed uniformly and easily along the partition walls, and the phosphor layer is formed on the side surface of the concave portion. Can be attached. Therefore, a PDP with high emission luminance can be manufactured.

【００７５】尚、実施の形態２において、樹脂基板２６
の表面（隔壁と向き合う面）を撥水性の面とすれば、樹
脂基板２６への蛍光体インクの付着量が少なくて済み、
経済的である。In the second embodiment, the resin substrate 26
If the surface (surface facing the partition wall) is made to be a water-repellent surface, the amount of phosphor ink attached to the resin substrate 26 can be reduced,
It is economical.

【００７６】[0076]

【実施例】（実施例１〜５）実施の形態１に基づいて実
施例１〜５のＰＤＰを作製した。（表１）に、実施例１
〜５で用いる蛍光体インキの組成並びにインキ粘度を掲
載する。実施例１〜５において、青色蛍光体としてはＢ
ａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺、緑色蛍光体としてはＺｎ₂
ＳｉＯ₄：Ｍｎ、赤色蛍光体としては（Ｙ₂Ｏ₃）：Ｅｕ
³⁺を用いた。EXAMPLES (Examples 1 to 5) PDPs of Examples 1 to 5 were produced based on the first embodiment. (Table 1) shows Example 1
The compositions and ink viscosities of the phosphor inks used in Nos. To 5 are described. In Examples 1 to 5, the blue phosphor was B
aMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ , Zn ₂ as a green phosphor
SiO ₄ : Mn, red phosphor (Y ₂ O ₃ ): Eu
³⁺ was used.

【００７７】[0077]

【表１】 [Table 1]

【００７８】バインダとして用いたエチルセルローすの
分子量は５万、アクリル樹脂の分子量は１万である。The molecular weight of ethyl cellulose used as the binder is 50,000, and the molecular weight of the acrylic resin is 10,000.

【００７９】実施例１〜５では、ノズル径５０μｍのノ
ズルを用い、ノズル先端と背面ガラス基板の隔壁間にノ
ズルをさし込んで蛍光体インキを吐出して、下記の隔壁
内に流し込んだ。また、隔壁１７の間隔（セルピッチ）
は０．１５ｍｍに設定し、高さは０．１５ｍｍに設定し
た。さらに、放電ガスは、５％のキセノン（Ｘｅ）ガス
を含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力５００Ｔｏ
ｒｒとした。In Examples 1 to 5, a nozzle having a nozzle diameter of 50 μm was used, the nozzle was inserted between the tip of the nozzle and the partition of the rear glass substrate, and the phosphor ink was ejected and poured into the following partition. Further, the interval between partition walls 17 (cell pitch)
Was set to 0.15 mm, and the height was set to 0.15 mm. Further, as the discharge gas, a neon (Ne) gas containing 5% xenon (Xe) gas is used, and the filling pressure is 500 To.
rr.

【００８０】実施例６、実施例７では、ノズル径４５μ
ｍのノズルで、隔壁１７の間隔（セルピッチ）は０．１
０６ｍｍ、高さ０．１０ｍｍに設定した。また、隔壁間
にノズルをさし込んで蛍光体インキを加圧して流しなが
ら、他端を真空吸引して蛍光体インキを隔壁に流し込ん
だ。この場合の放電ガスは、５％のキセノン（Ｘｅ）ガ
スを含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力６００Ｔ
ｏｒｒとした。In the sixth and seventh embodiments, the nozzle diameter is 45 μm.
m, the interval (cell pitch) between the partition walls 17 is 0.1
The height was set to 06 mm and the height to 0.10 mm. In addition, while the phosphor ink was pressurized and flowed by inserting a nozzle between the partition walls, the other end was vacuumed to flow the phosphor ink into the partition walls. The discharge gas in this case is a neon (Ne) gas containing 5% xenon (Xe) gas, and the filling pressure is 600T.
orr.

【００８１】実施例１〜７のＰＤＰについて、放電維持
電圧１５０Ｖ周波数３０ＫＨｚで放電させて輝度を測定
した。なお、輝度測定の条件は、以下の実施例において
も同様である。The PDPs of Examples 1 to 7 were discharged at a discharge sustaining voltage of 150 V and a frequency of 30 KHz, and the luminance was measured. The conditions for measuring the luminance are the same in the following examples.

【００８２】紫外線の波長は、１４３ｎｍの共鳴線と１
７３ｎｍを中心とする分子線による励起波長であった。
輝度の測定結果は、（表１）に示すような値であった。The wavelength of the ultraviolet light is 143 nm resonance line and 1
The excitation wavelength was a molecular beam centered at 73 nm.
The measurement result of the luminance was a value as shown in (Table 1).

【００８３】尚、実施の形態１では１つの隔壁間につい
て単一のノズルを用いたが、図９に示すように複数のノ
ズルを用いても良い。図９(A),(B) は、実施の形態１に
係る他の構成のインキ塗布装置の充填動作を示す側面図
で、図９(A) は、ノズル先端を２分岐にした構成を示
し、図９(B) は、２個のヘッダを用いた構成を示してい
る。Although a single nozzle is used between one partition in the first embodiment, a plurality of nozzles may be used as shown in FIG. 9 (A) and 9 (B) are side views showing a filling operation of an ink application device having another configuration according to Embodiment 1, and FIG. 9 (A) shows a configuration in which the tip of the nozzle is divided into two branches. FIG. 9B shows a configuration using two headers.

【００８４】いずれも、隔壁の間の溝の上端において、
蛍光体インキをノズルから連続もしくはほぼ連続して吐
出させ隔壁にそって蛍光体インキを流す点については実
施の形態１と同様であるが、隔壁の長手方向にみて中間
にあたる点、すなわち上端からＴ₁（隔壁長さが２Ｔ₁）
の隔壁の位置に他のノズル先端を配置してある。In any case, at the upper end of the groove between the partition walls,
The point that the phosphor ink is continuously or almost continuously discharged from the nozzles and the phosphor ink is caused to flow along the partition walls is the same as in the first embodiment, however, a point in the middle in the longitudinal direction of the partition walls, that is, T from the upper end. ₁ (Partition length is 2T ₁ )
The other nozzle tip is disposed at the position of the partition wall.

【００８５】この構成によれば、実施の形態１と比較し
て約半分の時間で塗布が完了する。また、３分岐や３個
のヘッダなどの多数分岐や多数のヘッダ構成とすれば、
さらに蛍光体形成時間の短縮が可能となる。According to this configuration, the coating is completed in about half the time as in the first embodiment. Also, if a multi-branch or a multi-header configuration such as three branches or three headers is used,
Further, the phosphor formation time can be reduced.

【００８６】また、できるだけ隔壁の側面の上部に蛍光
体が付着するように、蛍光体インクの噴射が完了後、隔
壁の長手方向に対して直角な方向に振動を与えても良
い。この場合、インクの粘性が低いと容易に隔壁の側面
の上部に蛍光体インクが付着するが、振動の程度は隣り
の隔壁間に蛍光体インクが混色しない程度とするのが好
ましい。After the phosphor ink has been ejected, vibration may be applied in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the partition so that the fluorescent substance adheres to the upper part of the side wall of the partition as much as possible. In this case, if the viscosity of the ink is low, the phosphor ink easily adheres to the upper part of the side wall of the partition, but it is preferable that the degree of vibration be such that the phosphor ink does not mix colors between the adjacent partitions.

【００８７】また、蛍光体インクの噴射が完了後、隔壁
の長手方向に振動を与えても良い。この場合、隔壁の長
手方向の蛍光体インクの均一性が高まる。After the completion of the ejection of the phosphor ink, vibration may be applied in the longitudinal direction of the partition walls. In this case, the uniformity of the phosphor ink in the longitudinal direction of the partition wall is improved.

【００８８】また、振動を加える間は、プレートを水平
に保って行うことが好ましい。蛍光体インクがこぼれ出
る場合があるからである。It is preferable to keep the plate horizontal while applying vibration. This is because the phosphor ink may spill out.

【００８９】[0089]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、隔壁が
ストライプ状に配置されたプレートにおける隔壁間の溝
に蛍光体層を形成する工程において、プレートを水平面
に対して傾きを設けて配置し、蛍光体インキをノズルか
ら連続流となるよう吐出させながら隔壁内に蛍光体イン
キを塗布するようにすることによって、微細なセル構造
の場合でも、容易に精度良く蛍光体層を形成することが
可能であって、且つ隔壁がストライプ状の場合に、隔壁
間の溝に蛍光体層を均一的に形成することができる。As described above, according to the present invention, in the step of forming the phosphor layer in the groove between the partitions in the plate in which the partitions are arranged in a stripe pattern, the plate is disposed with an inclination with respect to the horizontal plane. Then, the phosphor ink is applied to the inside of the partition wall while discharging the phosphor ink from the nozzle in a continuous flow, so that the phosphor layer can be easily and accurately formed even in a fine cell structure. When the barrier ribs are striped, the phosphor layer can be uniformly formed in the grooves between the barrier ribs.

【００９０】また、蛍光体層を形成する工程において、
隔壁上に第３のプレートを全面にはり付けた後、隔壁と
第３のプレート間の溝に蛍光体インキを加工塗布した
り、または隔壁とパネルのもう一端から真空吸引したり
した後、第３のプレートを取り除くことによっても隔壁
の内部に容易に蛍光体層を形成できる。In the step of forming the phosphor layer,
After the third plate is attached to the entire surface of the partition wall, the phosphor ink is processed and applied to the groove between the partition wall and the third plate, or the vacuum suction is performed from the other end of the partition wall and the panel. By removing the plate 3, the phosphor layer can be easily formed inside the partition.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施の形態に係るインキ塗布装置を
用いた充填動作を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing a filling operation using an ink application device according to an embodiment of the present invention.

【図２】実施の形態１で、蛍光体層を形成する際に用い
るインキ塗布装置の概略構成図FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an ink application device used in forming a phosphor layer in the first embodiment.

【図３】本発明の一実施の形態に係る交流面放電型ＰＤ
Ｐの概略断面図FIG. 3 is an AC surface discharge type PD according to one embodiment of the present invention.
Schematic sectional view of P

【図４】本発明の一実施の形態に係るＰＤＰの概略駆動
ブロック図FIG. 4 is a schematic drive block diagram of a PDP according to an embodiment of the present invention.

【図５】実施の形態２で蛍光体層を形成する際に用いる
インキ塗布装置の概略構成図FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an ink application device used when forming a phosphor layer in the second embodiment.

【図６】(A)〜(F) 溶射法による隔壁の形成方法を示す
概略工程図FIGS. 6A to 6F are schematic process diagrams showing a method of forming a partition wall by a thermal spraying method.

【図７】プラズマ溶射を行うプラズマ溶射装置の構成と
動作を示す図FIG. 7 is a diagram showing the configuration and operation of a plasma spraying apparatus for performing plasma spraying.

【図８】(A)〜(D) 従来のスクリーン印刷法で蛍光体ペ
ーストを隔壁間の凹部に塗布する様子を示す図FIGS. 8A to 8D are views showing a state in which a phosphor paste is applied to a concave portion between partition walls by a conventional screen printing method.

【図９】(A),(B) 実施の形態１に係る他の構成のインキ
塗布装置の充填動作を示す概略側面図FIGS. 9A and 9B are schematic side views showing a filling operation of an ink applying apparatus having another configuration according to the first embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 前面ガラス基板（第２のプレート） １２ 放電電極 １３ 誘電体ガラス層 １４ 保護層 １５ 背面ガラス基板（第１のプレート） １６ アドレス電極 １７ 隔壁 １８ 蛍光体層 １９ 放電空間 ２０ インキ塗布装置 ２１ サーバ ２２ 加圧ポンプ ２３ ヘッダ ２４ ノズル ２５ 蛍光体インキ流 ２６ 樹脂基板（第３のプレート） ８１ ドライフィルムレジスト ８２ フォトマスク ８３ 紫外光（ＵＶ） ８４ プラズマ溶射膜 ９０ プラズマ溶射装置 ９１ 陰極 ９２ 陽極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Front glass substrate (2nd plate) 12 Discharge electrode 13 Dielectric glass layer 14 Protective layer 15 Back glass substrate (1st plate) 16 Address electrode 17 Partition wall 18 Phosphor layer 19 Discharge space 20 Ink coating device 21 Server 22 Pressure pump 23 Header 24 Nozzle 25 Phosphor ink flow 26 Resin substrate (third plate) 81 Dry film resist 82 Photomask 83 Ultraviolet light (UV) 84 Plasma sprayed film 90 Plasma sprayed device 91 Cathode 92 Anode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 光弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 加道 博行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Mitsuhiro Otani 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】隔壁がストライプ状に配置された第１のプ
レートを水平面に対して傾きを設けて配置し、前記隔壁
の間の溝の上端において、蛍光体インキをノズルから吐
出させ前記隔壁にそって前記蛍光体インキを流してスト
ライプ状に蛍光体を形成する蛍光体層形成ステップと、 前記第１のプレートの隔壁を配置した側に第２のプレー
トを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステ
ップとを少なくとも含むことを特徴とするプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。1. A first plate in which partitions are arranged in a stripe pattern is disposed so as to be inclined with respect to a horizontal plane, and a phosphor ink is discharged from a nozzle at an upper end of a groove between the partitions to form a partition on the partitions. A phosphor layer forming step of flowing the phosphor ink to form a phosphor in a stripe shape, and a second plate is stacked and sealed on the side of the first plate on which the partition walls are arranged, and a gas medium is formed. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising at least a sealing step of sealing. 【請求項２】蛍光体層形成ステップでは、前記隔壁間の
溝に対して配設された２個以上のノズルから、前記隔壁
内に向けて蛍光体インキを並行して噴射しながら前記蛍
光体インキを前記隔壁に沿って流すことを特徴とする請
求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。2. The phosphor layer forming step, wherein the phosphor ink is jetted in parallel from two or more nozzles arranged in the grooves between the partition walls into the partition walls. 2. The method according to claim 1, wherein the ink is caused to flow along the partition walls. 【請求項３】蛍光体層形成ステップは、第１のプレート
の溝を水平面に対する傾斜角が３０度以上９０度以下で
あることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。3. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein, in the phosphor layer forming step, an inclination angle of the groove of the first plate with respect to a horizontal plane is not less than 30 degrees and not more than 90 degrees. 【請求項４】隔壁がストライプ状に配設された第１のプ
レート上に第３のプレートを前記隔壁上にはり付けた後
前記隔壁の間の溝の一端において蛍光体インキをノズル
から圧力をかけて、吐出させ、前記隔壁と第３のプレー
トの間に蛍光体インキを流し込んだ後、前記第３のプレ
ートを取り除いてストライプ状に蛍光体層を形成する蛍
光体層形成ステップと、 前記第１のプレートの隔壁を配設した側に、第２のプレ
ートを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ス
テップとから成ることを特徴とするプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。4. A phosphor plate is mounted on a first plate on which the partition walls are arranged in a stripe pattern, and a phosphor ink is applied from a nozzle at one end of a groove between the partition walls by attaching a third plate onto the partition walls. Applying a phosphor ink between the partition and the third plate, and then removing the third plate to form a phosphor layer in a stripe shape; A sealing step of superposing and sealing a second plate on the side of the first plate on which the partition walls are provided, and sealing a gas medium. 【請求項５】隔壁がストライプ状に配設された第１プレ
ート上に第３のプレートを前記隔壁上にはり付けた後隔
壁との第３のプレートの間の溝の一端にノズルを向けた
状態で蛍光体インキを噴出しながら隔壁の終端部を減圧
にして、インキを隔壁内面に塗布した後、第３のプレー
トを取り除いてストライプ状に蛍光体層を形成する蛍光
体層形成ステップと、 前記第１のプレートの隔壁を配設した側に第２のプレー
トを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステ
ップとから成ることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。5. A method according to claim 5, wherein a third plate is mounted on the first plate on which the partition walls are arranged in a stripe pattern, and then the nozzle is directed to one end of a groove between the partition plate and the third plate. A phosphor layer forming step of reducing the pressure at the terminal end of the partition wall while ejecting the phosphor ink in the state, applying the ink to the inner surface of the partition wall, and removing the third plate to form a phosphor layer in a stripe shape; A sealing step of overlapping and sealing a second plate on the side of the first plate on which the partition walls are provided, and sealing a gas medium. 【請求項６】蛍光体層形成ステップで用いる蛍光体イン
キは、平均粒径０．１μｍ〜３．０μｍの蛍光体とエチ
ルセルロースまたは、アクリル樹脂を含む溶剤および分
散剤を含みボールミルまたはサンドミルで分散され２５
℃における粘度が５００センチポアズ以下であることを
特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。6. A phosphor ink used in the phosphor layer forming step is dispersed in a ball mill or a sand mill containing a phosphor having an average particle diameter of 0.1 μm to 3.0 μm and a solvent and a dispersant containing ethyl cellulose or an acrylic resin. 25
The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 1 to 5, wherein the viscosity at 500C is 500 centipoise or less. 【請求項７】蛍光体層形成ステップで用いるノズルは、
口径が４５〜１５０μｍであることを特徴とする請求項
１〜５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。7. The nozzle used in the phosphor layer forming step,
The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 1 to 5, wherein the diameter is 45 to 150 µm. 【請求項８】蛍光体層形成ステップでは、複数個のノズ
ルから複数の溝端部に対して並行して蛍光体インキを吐
出することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。8. The plasma according to claim 1, wherein in the phosphor layer forming step, the phosphor ink is ejected from a plurality of nozzles to a plurality of groove ends in parallel. Display panel manufacturing method. 【請求項９】一対の平行に配されたプレートの間に、電
極，誘電体層，隔壁及び蛍光体層が配設されガス媒体が
封入された放電空間が形成され、放電に伴って紫外線を
発し前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光
するプラズマディスプレイパネルであって、 前記隔壁がプラズマ溶射法にて形成され、その隔壁間に
蛍光体と、溶剤および樹脂バインダーを含む蛍光体イン
クをノズルから連続的に噴出させ、乾燥後焼成して前記
隔壁内に蛍光体層が形成されたことを特徴とするプラズ
マディスプレイパネル。9. A discharge space in which a gas medium is enclosed by disposing electrodes, a dielectric layer, partition walls, and a phosphor layer is formed between a pair of parallelly arranged plates. What is claimed is: 1. A plasma display panel which emits light by emitting light by converting it into visible light in the phosphor layer, wherein the partition walls are formed by a plasma spraying method, and a phosphor, a solvent, and a resin binder are provided between the partition walls. Characterized in that the phosphor layer is formed in the partition wall by continuously ejecting from the nozzle, drying and firing. 【請求項１０】プラズマ溶射法による隔壁で、下部の白
色材料が、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃），スピネル（ＭｇＯ・
Ａｌ₂Ｏ₃），チタニア（ＴｉＯ₂）のうちのいづれか一
種であることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。10. A partition wall formed by plasma spraying, wherein the lower white material is alumina (Al ₂ O ₃ ), spinel (MgO.
A plasma display panel, which is one of Al ₂ O ₃ ) and titania (TiO ₂ ). 【請求項１１】プラズマ溶射法による隔壁で、上部の黒
色材料が、酸化クロム(Ｃｒ₂Ｏ₃），酸化クロム−酸化
鉄−酸化コバルト(Ｃｒ₂Ｏ₃−Ｆｅ₂Ｏ₃−ＣｏＯ)，酸化
クロム−酸化マンガン−酸化鉄（Ｃｒ₂Ｏ₃−ＭｎＯ₂−
Ｆｅ₂Ｏ₃），酸化クロム−酸化鉄（Ｃｒ₂Ｏ₃−Ｆｅ
₂Ｏ₃）のうちのいづれか一種であることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル。11. A partition formed by plasma spraying, wherein the upper black material is chromium oxide (Cr ₂ O ₃ ), chromium oxide-iron oxide-cobalt oxide (Cr ₂ O ₃ -Fe ₂ O ₃ -CoO), or oxidized. chromium - manganese oxide - iron oxide (Cr ₂ O ₃ -MnO ₂ -
Fe ₂ O ₃ ), chromium oxide-iron oxide (Cr ₂ O ₃ —Fe)
₂ O ₃ ).