JPH11230086A - 真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環真空システム - Google Patents
真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環真空システムInfo
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- JPH11230086A JPH11230086A JP4889098A JP4889098A JPH11230086A JP H11230086 A JPH11230086 A JP H11230086A JP 4889098 A JP4889098 A JP 4889098A JP 4889098 A JP4889098 A JP 4889098A JP H11230086 A JPH11230086 A JP H11230086A
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】緊急用ベアリング等のパーティクル発生部でパ
ーティクルが発生した場合でも該パーティクルが真空ポ
ンプ外に流出するのを阻止することができる真空ポンプ
及び該真空ポンプを使用した循環真空システムを提供す
ること。 【解決手段】 ターボ分子ポンプやモレキュラードラッ
クポンプ等の真空ポンプ内に該真空ポンプ内で発生した
パーティクルが外部へ流出するのを防止するパーティク
ルフィルタ２３、２４やラビリンス部２５を設けた。ま
た、該真空ポンプを循環真空システムに使用する。
ーティクルが発生した場合でも該パーティクルが真空ポ
ンプ外に流出するのを阻止することができる真空ポンプ
及び該真空ポンプを使用した循環真空システムを提供す
ること。 【解決手段】 ターボ分子ポンプやモレキュラードラッ
クポンプ等の真空ポンプ内に該真空ポンプ内で発生した
パーティクルが外部へ流出するのを防止するパーティク
ルフィルタ２３、２４やラビリンス部２５を設けた。ま
た、該真空ポンプを循環真空システムに使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプに関し、
特にプロセスガスを循環させて再利用する循環真空シス
テムに好適な真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環
真空システムに関するものである。
特にプロセスガスを循環させて再利用する循環真空シス
テムに好適な真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環
真空システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近の半導体製造装置は、半導体ウエハ
の大口径化に伴い多量のプロセスガスを使用する傾向に
あるが、導入されるプロセスガスは、その一部が反応に
寄与しているだけであり、残りの大部分は未反応のまま
排出されている。そこで、排出されるプロセスガスの一
部を再び真空チャンバーに戻して、未反応のプロセスガ
スの利用率を高める循環真空システムの開発が進められ
ている。
の大口径化に伴い多量のプロセスガスを使用する傾向に
あるが、導入されるプロセスガスは、その一部が反応に
寄与しているだけであり、残りの大部分は未反応のまま
排出されている。そこで、排出されるプロセスガスの一
部を再び真空チャンバーに戻して、未反応のプロセスガ
スの利用率を高める循環真空システムの開発が進められ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記循環真空システム
の課題の一つは、真空チャンバー、排気ライン、循環ラ
インにて発生するパーティクルが、循環ガスと共に真空
チャンバーへ混入してしまうことである。真空チャンバ
ーへのパーティクルの混入は製造されるデバイスの特性
を劣化させる原因になることから、該パーティクルの混
入を極力抑えることが求められる。
の課題の一つは、真空チャンバー、排気ライン、循環ラ
インにて発生するパーティクルが、循環ガスと共に真空
チャンバーへ混入してしまうことである。真空チャンバ
ーへのパーティクルの混入は製造されるデバイスの特性
を劣化させる原因になることから、該パーティクルの混
入を極力抑えることが求められる。
【０００４】真空ポンプ内のパーティクルの発生を考え
ると、軸受部に磁気軸受を使用している場合、通常の運
転状態において発生するパーティクルは微量であるが、
大気突入等不慮の事故が発生し、ロータが緊急用ベアリ
ング（玉軸受やすべり軸受等）上に落下した場合、パー
ティクルの発生が考えられる。上記循環真空システムで
使用される真空ポンプ内でこのようなパーティクルが発
生した場合、そのパーティクルが循環ガスと共に真空チ
ャンバーへ入る可能性がある。
ると、軸受部に磁気軸受を使用している場合、通常の運
転状態において発生するパーティクルは微量であるが、
大気突入等不慮の事故が発生し、ロータが緊急用ベアリ
ング（玉軸受やすべり軸受等）上に落下した場合、パー
ティクルの発生が考えられる。上記循環真空システムで
使用される真空ポンプ内でこのようなパーティクルが発
生した場合、そのパーティクルが循環ガスと共に真空チ
ャンバーへ入る可能性がある。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、真空ポンプ内の緊急用ベアリング等のパーティクル
発生部でパーティクルが発生した場合でも、該パーティ
クルが真空ポンプ外に流出するのを阻止することができ
る真空ポンプ及び該真空ポンプを使用した循環真空シス
テムを提供することを目的とする。
で、真空ポンプ内の緊急用ベアリング等のパーティクル
発生部でパーティクルが発生した場合でも、該パーティ
クルが真空ポンプ外に流出するのを阻止することができ
る真空ポンプ及び該真空ポンプを使用した循環真空シス
テムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、真空ポンプ内に該真空ポンプ
内で発生したパーティクルが外部へ流出するのを防止す
るパーティクル流出防止手段を設けたことを特徴とする
真空ポンプにある。
請求項１に記載の発明は、真空ポンプ内に該真空ポンプ
内で発生したパーティクルが外部へ流出するのを防止す
るパーティクル流出防止手段を設けたことを特徴とする
真空ポンプにある。
【０００７】また、請求項２に記載の発明は請求項１に
記載の真空ポンプにおいて、真空ポンプはターボ分子ポ
ンプであり、パーティクル流出防止手段はパーティクル
フィルタ及び／又はラビリンス構造であることを特徴と
する。
記載の真空ポンプにおいて、真空ポンプはターボ分子ポ
ンプであり、パーティクル流出防止手段はパーティクル
フィルタ及び／又はラビリンス構造であることを特徴と
する。
【０００８】また、請求項３に記載の発明は請求項１に
記載の真空ポンプにおいて、真空ポンプはモレキュラー
ドラックポンプであり、パーティクル流出防止手段はパ
ーティクルフィルタ及び／又はラビリンス構造であるこ
とを特徴とする。
記載の真空ポンプにおいて、真空ポンプはモレキュラー
ドラックポンプであり、パーティクル流出防止手段はパ
ーティクルフィルタ及び／又はラビリンス構造であるこ
とを特徴とする。
【０００９】また、請求項４に記載の発明は、真空チャ
ンバー内にプロセスガスを導入し真空チャンバー内の被
処理物と反応させ、該プロセスガスを真空チャンバー内
から真空ポンプにより排気した後、この排気されたプロ
セスガスの一部を再び真空チャンバー内に戻すように構
成された循環真空システムであって、真空ポンプに請求
項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプを用いたこと
を特徴とする循環真空システムにある。
ンバー内にプロセスガスを導入し真空チャンバー内の被
処理物と反応させ、該プロセスガスを真空チャンバー内
から真空ポンプにより排気した後、この排気されたプロ
セスガスの一部を再び真空チャンバー内に戻すように構
成された循環真空システムであって、真空ポンプに請求
項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプを用いたこと
を特徴とする循環真空システムにある。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明の真空ポンプであ
るターボ分子ポンプの構造例を示す図である。本ターボ
分子ポンプは図示するように、ポンプケーシング１の内
部にロータＲとステータＳにより構成される翼排気部Ｌ
1及びねじ溝排気部Ｌ2からなる排気部を具備し、該ねじ
溝排気部Ｌ2の排気側はポンプケーシング１の排気口２
０に連通している。ロータＲは主軸４とこれと一体に回
転する回転筒状部５を具備する。ステータＳは主軸４を
取り囲む固定筒状部３及び基部２を具備するステータ本
体から構成されている。
面に基づいて説明する。図１は本発明の真空ポンプであ
るターボ分子ポンプの構造例を示す図である。本ターボ
分子ポンプは図示するように、ポンプケーシング１の内
部にロータＲとステータＳにより構成される翼排気部Ｌ
1及びねじ溝排気部Ｌ2からなる排気部を具備し、該ねじ
溝排気部Ｌ2の排気側はポンプケーシング１の排気口２
０に連通している。ロータＲは主軸４とこれと一体に回
転する回転筒状部５を具備する。ステータＳは主軸４を
取り囲む固定筒状部３及び基部２を具備するステータ本
体から構成されている。
【００１１】回転筒状部５の上部外周部には回転翼１２
が一体に設けられて羽根車１３を構成する。一方、ポン
プケーシング１の内面には回転翼１２と交互に固定翼ス
ペーサ１４を介在させて固定翼１５が配置されている。
これによって、高速回転する回転翼１２と静止している
固定翼１５との相互作用によって排気を行う前記翼排気
部Ｌ1が形成される。更に、回転筒状部５には下方に延
出するねじ溝部１８が一体に設けられている。一方、ス
テータＳにはこのねじ溝部１８の外周を囲繞するねじ溝
部スペーサ１９が配置されている。これによって高速回
転するねじ溝部１８のドラック作用によって排気を行う
ねじ溝排気部Ｌ2が形成されている。
が一体に設けられて羽根車１３を構成する。一方、ポン
プケーシング１の内面には回転翼１２と交互に固定翼ス
ペーサ１４を介在させて固定翼１５が配置されている。
これによって、高速回転する回転翼１２と静止している
固定翼１５との相互作用によって排気を行う前記翼排気
部Ｌ1が形成される。更に、回転筒状部５には下方に延
出するねじ溝部１８が一体に設けられている。一方、ス
テータＳにはこのねじ溝部１８の外周を囲繞するねじ溝
部スペーサ１９が配置されている。これによって高速回
転するねじ溝部１８のドラック作用によって排気を行う
ねじ溝排気部Ｌ2が形成されている。
【００１２】主軸４と固定筒状部３の間に駆動用モータ
６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７及び
下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そして主
軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ側に
設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するアキシ
ャル軸受１１が配置されている。また、上部ラジアル軸
受７の上部近傍には上部ラジアルセンサ１６が、下部ラ
ジアル軸受８の下部近傍には下部ラジアルセンサ１７が
配置されている。また、緊急時に主軸４を支持するため
上下に緊急用ベアリング（例えば玉軸受やすべり軸受）
２１及び２２が配置されている。
６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７及び
下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そして主
軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ側に
設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するアキシ
ャル軸受１１が配置されている。また、上部ラジアル軸
受７の上部近傍には上部ラジアルセンサ１６が、下部ラ
ジアル軸受８の下部近傍には下部ラジアルセンサ１７が
配置されている。また、緊急時に主軸４を支持するため
上下に緊急用ベアリング（例えば玉軸受やすべり軸受）
２１及び２２が配置されている。
【００１３】上記構成によって、主軸４は上部ラジアル
軸受７、下部ラジアル軸受８及びアキシャル軸受１１に
非接触で支持され、５軸の能動制御を受けながら高速で
回転するようになっている。
軸受７、下部ラジアル軸受８及びアキシャル軸受１１に
非接触で支持され、５軸の能動制御を受けながら高速で
回転するようになっている。
【００１４】上記構造のターボ分子ポンプは、通常の運
転状態においては、主軸４は上部ラジアル軸受７、下部
ラジアル軸受８及びアキシャル軸受１１により非接触で
支持されているので、発生するパーティクルは微量であ
るが、上述のように大気突入等不慮の事故が発生し、主
軸４が上下の緊急用ベアリング２１及び２２上に落下し
た場合、パーティクルの発生が考えられる。
転状態においては、主軸４は上部ラジアル軸受７、下部
ラジアル軸受８及びアキシャル軸受１１により非接触で
支持されているので、発生するパーティクルは微量であ
るが、上述のように大気突入等不慮の事故が発生し、主
軸４が上下の緊急用ベアリング２１及び２２上に落下し
た場合、パーティクルの発生が考えられる。
【００１５】そこで、該発生したパーティクルがターボ
分子ポンプの外部に流出しないように、緊急用ベアリン
グ２１及び２２の排気通路に連通する面にパーティクル
フィルタ２３及び２４を設けている。これにより、大気
突入等不慮の事故が発生し、主軸４が上下の緊急用ベア
リング２１、２２上に落下して、パーティクルが発生し
た場合、該パーティクルはパーティクルフィルタ２３、
２４で捕捉され、外部に流出することがない。
分子ポンプの外部に流出しないように、緊急用ベアリン
グ２１及び２２の排気通路に連通する面にパーティクル
フィルタ２３及び２４を設けている。これにより、大気
突入等不慮の事故が発生し、主軸４が上下の緊急用ベア
リング２１、２２上に落下して、パーティクルが発生し
た場合、該パーティクルはパーティクルフィルタ２３、
２４で捕捉され、外部に流出することがない。
【００１６】また、緊急用ベアリング２１、２２で発生
したパーティクルの外部流出防止手段としては、上記パ
ーティクルフィルタ２３、２４を設ける以外に、緊急用
ベアリング２１、２２がポンプの排気通路に連通する部
分にラビリンス部２５を設けることもパーティクルの外
部への流出を防止する手段として好適である。即ち、ラ
ビリンス部２５を設けることにより、緊急用ベアリング
２１、２２で発生したパーティクルはラビリンス部２５
のシール作用により、排気通路へ流出しない。
したパーティクルの外部流出防止手段としては、上記パ
ーティクルフィルタ２３、２４を設ける以外に、緊急用
ベアリング２１、２２がポンプの排気通路に連通する部
分にラビリンス部２５を設けることもパーティクルの外
部への流出を防止する手段として好適である。即ち、ラ
ビリンス部２５を設けることにより、緊急用ベアリング
２１、２２で発生したパーティクルはラビリンス部２５
のシール作用により、排気通路へ流出しない。
【００１７】なお、上記例ではパーティクル発生部とし
て緊急用ベアリング２１、２２を想定したが、ターボ分
子ポンプでパーティクル発生が予想される部分の排気通
路に連通する部分にパーティクルフィルタやラビリンス
部のようなパーティクル流出防止手段を設けることによ
り、パーティクルの外部流出を効果的に防止することが
できる。
て緊急用ベアリング２１、２２を想定したが、ターボ分
子ポンプでパーティクル発生が予想される部分の排気通
路に連通する部分にパーティクルフィルタやラビリンス
部のようなパーティクル流出防止手段を設けることによ
り、パーティクルの外部流出を効果的に防止することが
できる。
【００１８】図２は本発明の真空ポンプであるモレキュ
ラードラックポンプの構造例を示す図である。本モレキ
ュラードラックポンプは図示するように、ケーシング３
１の内部にロータＲとステータＳを具備し、該ロータＲ
は主軸３４とこれと一体に回転する回転筒状部３５の外
周にねじ溝３６が形成され羽根車３３からなる。ステー
タＳは主軸３４を取り囲む固定筒状部３２を具備するス
テータ本体から構成されている。
ラードラックポンプの構造例を示す図である。本モレキ
ュラードラックポンプは図示するように、ケーシング３
１の内部にロータＲとステータＳを具備し、該ロータＲ
は主軸３４とこれと一体に回転する回転筒状部３５の外
周にねじ溝３６が形成され羽根車３３からなる。ステー
タＳは主軸３４を取り囲む固定筒状部３２を具備するス
テータ本体から構成されている。
【００１９】主軸３４と固定筒状部３２の間に駆動用モ
ータ３７と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）
３８及び下部ラジアル軸受（磁気軸受）３９が設けら
れ、そして主軸３４の下部にはターゲットディスク４１
とステータＳ側に設けられた上下の電磁石４０ａ、４０
ｂを有するアキシャル軸受４２が配置されている。ま
た、上部ラジアル軸受３８の上部近傍には上部ラジアル
センサ４３が、下部ラジアル軸受３９の下部近傍には下
部ラジアルセンサ４４が配置されている。また、緊急時
に主軸３４を支持するため上下に緊急用ベアリング（例
えば玉軸受やすべり軸受）４５及び４６が配置されてい
る。
ータ３７と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）
３８及び下部ラジアル軸受（磁気軸受）３９が設けら
れ、そして主軸３４の下部にはターゲットディスク４１
とステータＳ側に設けられた上下の電磁石４０ａ、４０
ｂを有するアキシャル軸受４２が配置されている。ま
た、上部ラジアル軸受３８の上部近傍には上部ラジアル
センサ４３が、下部ラジアル軸受３９の下部近傍には下
部ラジアルセンサ４４が配置されている。また、緊急時
に主軸３４を支持するため上下に緊急用ベアリング（例
えば玉軸受やすべり軸受）４５及び４６が配置されてい
る。
【００２０】上記構成によって、主軸３４は上部ラジア
ル軸受３８、下部ラジアル軸受３９及びアキシャル軸受
４２により非接触で支持され、５軸の能動制御を受けな
がら高速で回転するようになっている。これにより羽根
車３３が高速回転し、ねじ溝３６のドラック作用によっ
て排気を行うようになっている。
ル軸受３８、下部ラジアル軸受３９及びアキシャル軸受
４２により非接触で支持され、５軸の能動制御を受けな
がら高速で回転するようになっている。これにより羽根
車３３が高速回転し、ねじ溝３６のドラック作用によっ
て排気を行うようになっている。
【００２１】上記構造のモレキュラードラックポンプ
は、通常の運転状態においては、主軸３４は上部ラジア
ル軸受３８、下部ラジアル軸受３９及びアキシャル軸受
４２により非接触で支持されているので、発生するパー
ティクルは微量であるが、大気突入等不慮の事故が発生
し、主軸３４が上下の緊急用ベアリング４５及び４６上
に落下した場合、パーティクルの発生が考えられる。
は、通常の運転状態においては、主軸３４は上部ラジア
ル軸受３８、下部ラジアル軸受３９及びアキシャル軸受
４２により非接触で支持されているので、発生するパー
ティクルは微量であるが、大気突入等不慮の事故が発生
し、主軸３４が上下の緊急用ベアリング４５及び４６上
に落下した場合、パーティクルの発生が考えられる。
【００２２】そこで、発生したパーティクルがモレキュ
ラードラックポンプの外部に流出しないように、緊急用
ベアリング４５及び４６の排気通路に連通する面にパー
ティクルフィルタ４７及び４８を設けている。これによ
り、大気突入等不慮の事故が発生し、主軸３４が上下の
緊急用ベアリング４５、４６上に落下して、パーティク
ルが発生した場合、該パーティクルはパーティクルフィ
ルタ４７、４８で捕捉され、外部に流出することがな
い。
ラードラックポンプの外部に流出しないように、緊急用
ベアリング４５及び４６の排気通路に連通する面にパー
ティクルフィルタ４７及び４８を設けている。これによ
り、大気突入等不慮の事故が発生し、主軸３４が上下の
緊急用ベアリング４５、４６上に落下して、パーティク
ルが発生した場合、該パーティクルはパーティクルフィ
ルタ４７、４８で捕捉され、外部に流出することがな
い。
【００２３】また、緊急用ベアリング４５、４６で発生
したパーティクルの外部流出防止手段としては、上記パ
ーティクルフィルタ４７、４８を設ける以外に、緊急用
ベアリング４５、４６がポンプの排気通路に連通する部
分にラビリンス部４９を設けることもパーティクルの外
部への流出を防止する手段として好適である。即ち、ラ
ビリンス部４９を設けることにより、緊急用ベアリング
４５、４６で発生したパーティクルはラビリンス部２５
のシール作用により、排気通路へ流出しない。
したパーティクルの外部流出防止手段としては、上記パ
ーティクルフィルタ４７、４８を設ける以外に、緊急用
ベアリング４５、４６がポンプの排気通路に連通する部
分にラビリンス部４９を設けることもパーティクルの外
部への流出を防止する手段として好適である。即ち、ラ
ビリンス部４９を設けることにより、緊急用ベアリング
４５、４６で発生したパーティクルはラビリンス部２５
のシール作用により、排気通路へ流出しない。
【００２４】なお、上記例ではパーティクル発生部とし
て緊急用ベアリング４５、４６を想定したが、モレキュ
ラードラックポンプでパーティクル発生が予想される部
分の排気通路に連通する部分にパーティクルフィルタや
ラビリンス部のようなパーティクル流出防止手段を設け
ることにより、パーティクルの外部流出を効果的に防止
することができる。
て緊急用ベアリング４５、４６を想定したが、モレキュ
ラードラックポンプでパーティクル発生が予想される部
分の排気通路に連通する部分にパーティクルフィルタや
ラビリンス部のようなパーティクル流出防止手段を設け
ることにより、パーティクルの外部流出を効果的に防止
することができる。
【００２５】なお、上記例ではパーティクルフィルタと
ラビリンス部の両方を設けた例を示したが、パーティク
ルの外部への流出を十分防止できるのであれば、どちら
か一方でよいことは当然である。
ラビリンス部の両方を設けた例を示したが、パーティク
ルの外部への流出を十分防止できるのであれば、どちら
か一方でよいことは当然である。
【００２６】図３はプロセスガスの一部を再び真空チャ
ンバー内に戻すように構成された循環真空システムの構
成例を示す図である。図３において、５１は真空チャン
バー、５４はＡＰＣバルブ、５５は真空ポンプ、５６は
フォアラインバルブ、５７は粗引きポンプ、５８は循環
ライン、５９は締切バルブ、６０は流量調整バルブであ
る。真空チャンバー５１内にはプロセスガスを噴射する
シャワーヘッド５３、被処理物であるウエハ５２が配置
されている。
ンバー内に戻すように構成された循環真空システムの構
成例を示す図である。図３において、５１は真空チャン
バー、５４はＡＰＣバルブ、５５は真空ポンプ、５６は
フォアラインバルブ、５７は粗引きポンプ、５８は循環
ライン、５９は締切バルブ、６０は流量調整バルブであ
る。真空チャンバー５１内にはプロセスガスを噴射する
シャワーヘッド５３、被処理物であるウエハ５２が配置
されている。
【００２７】上記構成の循環真空システムにおいて、締
切バルブ５９を閉じた状態で粗引きポンプ５７により、
真空チャンバー５１内を粗引きした後、真空ポンプを起
動して、真空チャンバー５１内を所定の真空度まで真空
にする。続いてプロセスガスをシャワーヘッド５３から
ウエハ５２表面に供給し、ウエハ５２表面に成膜させる
と同時に、真空ポンプ５５で真空チャンバー５１内のプ
ロセスガスを排気し、該プロセスガス流量の一部Ｑ2を
循環ライン５８及び締切バルブ５９を通して、真空チャ
ンバー５１内に戻す。これにより、真空チャンバー５１
内のシャワーヘッド５３からは外部から供給されるプロ
セスガスの流量Ｑ1と上記循環流量Ｑ2との和、Ｑ1＋Ｑ2
が噴射され、流量調整バルブ６０で調整された流量Ｑ1
が粗引きポンプを通って外部に排出される。
切バルブ５９を閉じた状態で粗引きポンプ５７により、
真空チャンバー５１内を粗引きした後、真空ポンプを起
動して、真空チャンバー５１内を所定の真空度まで真空
にする。続いてプロセスガスをシャワーヘッド５３から
ウエハ５２表面に供給し、ウエハ５２表面に成膜させる
と同時に、真空ポンプ５５で真空チャンバー５１内のプ
ロセスガスを排気し、該プロセスガス流量の一部Ｑ2を
循環ライン５８及び締切バルブ５９を通して、真空チャ
ンバー５１内に戻す。これにより、真空チャンバー５１
内のシャワーヘッド５３からは外部から供給されるプロ
セスガスの流量Ｑ1と上記循環流量Ｑ2との和、Ｑ1＋Ｑ2
が噴射され、流量調整バルブ６０で調整された流量Ｑ1
が粗引きポンプを通って外部に排出される。
【００２８】上記構成の循環真空システムにおいて、真
空ポンプ５５に、上記パーティクルフィルタやラビリン
ス部等のパーティクル流出防止手段を設け、ターボ分子
ポンプやモレキュラードラックポンプを使用することに
より、真空ポンプ５５に大気突入等不慮の事故が発生
し、該真空ポンプ５５内でパーティクルが発生しても、
パーティクル流出防止手段により、発生したパーティク
ルの流出が阻止されるから、該パーティクルがプロセス
ガスと共に循環ライン５８を通って真空チャンバー５１
内に流入することがなく、真空チャンバー５１の内部が
パーティクルによって汚染されることはない。
空ポンプ５５に、上記パーティクルフィルタやラビリン
ス部等のパーティクル流出防止手段を設け、ターボ分子
ポンプやモレキュラードラックポンプを使用することに
より、真空ポンプ５５に大気突入等不慮の事故が発生
し、該真空ポンプ５５内でパーティクルが発生しても、
パーティクル流出防止手段により、発生したパーティク
ルの流出が阻止されるから、該パーティクルがプロセス
ガスと共に循環ライン５８を通って真空チャンバー５１
内に流入することがなく、真空チャンバー５１の内部が
パーティクルによって汚染されることはない。
【００２９】
【発明の効果】以上、説明したように請求項１乃至３に
記載の発明によれば、真空ポンプ内に該真空ポンプ内で
発生するパーティクルの外部への流出を防止するパーテ
ィクルフィルタやラビリンス構造等のパーティクル流出
防止手段を設けたので、該パーティクルの外部への流出
が防止でき、真空ポンプで排気されるガスが流入される
領域がパーティクル汚染を嫌う環境である場合に好適な
真空ポンプを提供できる。
記載の発明によれば、真空ポンプ内に該真空ポンプ内で
発生するパーティクルの外部への流出を防止するパーテ
ィクルフィルタやラビリンス構造等のパーティクル流出
防止手段を設けたので、該パーティクルの外部への流出
が防止でき、真空ポンプで排気されるガスが流入される
領域がパーティクル汚染を嫌う環境である場合に好適な
真空ポンプを提供できる。
【００３０】また、請求項４に記載の発明によれば、循
環真空システムの真空ポンプに請求項１乃至３に記載の
内部にパーティクルフィルタやラビリンス構造等のパー
ティクル流出防止手段を設けたので、真空チャンバー内
が真空ポンプ内で発生したパーティクルによって汚染さ
れることはない。
環真空システムの真空ポンプに請求項１乃至３に記載の
内部にパーティクルフィルタやラビリンス構造等のパー
ティクル流出防止手段を設けたので、真空チャンバー内
が真空ポンプ内で発生したパーティクルによって汚染さ
れることはない。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの構造例を示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明のモレキュラードラックポンプの構造例
を示す図である。
を示す図である。
【図３】循環真空システムの構成例を示す図である。
１ ポンプケーシング ２ 基部 ３ 固定筒状部 ４ 主軸 ５ 回転筒状部 ６ 駆動用モータ ７ 上部ラジアル軸受 ８ 下部ラジアル軸受 ９ ターゲットディスク １０ａ，ｂ 電磁石 １１ アキシャル軸受 １２ 回転翼 １３ 羽根車 １４ 固定翼スペーサ １５ 固定翼 １６ 上部ラジアルセンサ １７ 下部ラジアルセンサ １８ ねじ溝部 １９ ねじ溝部スペーサ ２０ 排気口 ２１ 緊急用ベアリング ２２ 緊急用ベアリング ２３ パーティクルフィルタ ２４ パーティクルフィルタ ２５ ラビリンス部 ２６ ハーメティックコネクタ ３１ ケーシング ３２ 固定筒状部 ３３ 羽根車 ３４ 主軸 ３５ 回転筒状部 ３６ ねじ溝 ３７ 駆動用モータ ３８ 上部ラジアル軸受 ３９ 下部ラジアル軸受 ４０ａ，ｂ 電磁石 ４１ ターゲットディスク ４２ アキシャル軸受 ４３ 上部ラジアルセンサ ４４ 下部ラジアルセンサ ４５ 緊急用ベアリング ４６ 緊急用ベアリング ４７ パーティクルフィルタ ４８ パーティクルフィルタ ４９ ラビリンス部 Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 ねじ溝排気部 ５１ 真空チャンバー ５２ ウエハ ５３ シャワーヘッド ５４ ＡＰＣバルブ ５５ 真空ポンプ ５６ フォアラインバルブ ５７ 粗引きポンプ ５８ 循環ライン ５９ 締切バルブ ６０ 流量調整バルブ
Claims (4)
- 【請求項１】 真空ポンプ内に該真空ポンプ内で発生し
たパーティクルが外部へ流出するのを防止するパーティ
クル流出防止手段を設けたことを特徴とする真空ポン
プ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の前記真空ポンプにおい
て、 前記真空ポンプはターボ分子ポンプであり、前記パーテ
ィクル流出防止手段はパーティクルフィルタ及び／又は
ラビリンス構造であることを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の前記真空ポンプにおい
て、 前記真空ポンプはモレキュラードラックポンプであり、
前記パーティクル流出防止手段はパーティクルフィルタ
及び／又はラビリンス構造であることを特徴とする真空
ポンプ。 - 【請求項４】 真空チャンバー内にプロセスガスを導入
し真空チャンバー内の被処理物と反応させ、該プロセス
ガスを真空チャンバー内から真空ポンプにより排気した
後、この排気されたプロセスガスの一部を再び真空チャ
ンバー内に戻すように構成された循環真空システムであ
って、 前記真空ポンプに請求項１乃至３のいずれかに記載の真
空ポンプを用いたことを特徴とする循環真空システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4889098A JPH11230086A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環真空システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4889098A JPH11230086A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環真空システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230086A true JPH11230086A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12815879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4889098A Pending JPH11230086A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 真空ポンプ及び該真空ポンプを用いた循環真空システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11230086A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509955A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出システム及び真空ポンプ排出装置の作動方法 |
| JP2012186483A (ja) * | 2005-03-02 | 2012-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 排気ポンプ |
| KR20150119549A (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-26 | 한밭대학교 산학협력단 | 터보분자식 수증기 압축장치 |
-
1998
- 1998-02-13 JP JP4889098A patent/JPH11230086A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509955A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出システム及び真空ポンプ排出装置の作動方法 |
| JP2012186483A (ja) * | 2005-03-02 | 2012-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 排気ポンプ |
| JP2013007383A (ja) * | 2005-03-02 | 2013-01-10 | Tokyo Electron Ltd | 排気ポンプ |
| KR20150119549A (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-26 | 한밭대학교 산학협력단 | 터보분자식 수증기 압축장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040218 |
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Effective date: 20040224 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050308 |