JP2003148379A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JP2003148379A JP2003148379A JP2001350749A JP2001350749A JP2003148379A JP 2003148379 A JP2003148379 A JP 2003148379A JP 2001350749 A JP2001350749 A JP 2001350749A JP 2001350749 A JP2001350749 A JP 2001350749A JP 2003148379 A JP2003148379 A JP 2003148379A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 内部温度を適切に維持することを可能とする
ターボ分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロー
タに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝段部とを備えた
ターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部を冷却する冷
却水が流動する上部冷却水路（軸流段部側冷却水路）４
０と、前記ねじ溝段部を冷却する冷却水が流動する下部
冷却水路（ねじ溝段部側冷却水路）４１と、前記ねじ溝
段部を加熱するヒータ４２と、前記下部冷却水路４１へ
の冷却水の流動を開閉する開閉弁５０とが設けられてい
る。
ターボ分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロー
タに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝段部とを備えた
ターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部を冷却する冷
却水が流動する上部冷却水路（軸流段部側冷却水路）４
０と、前記ねじ溝段部を冷却する冷却水が流動する下部
冷却水路（ねじ溝段部側冷却水路）４１と、前記ねじ溝
段部を加熱するヒータ４２と、前記下部冷却水路４１へ
の冷却水の流動を開閉する開閉弁５０とが設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体プロセス等
において用いられるターボ分子ポンプの構造に関する。
において用いられるターボ分子ポンプの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体プロセスは、光学的処理や化学的
処理等からなる様々な工程により実現される。光学的処
理の代表例としては、ウェハ面への回路パターン焼き付
けを行う露光処理が挙げられ、化学的処理では例えば、
ウェハ面において薄膜を作製する等の表面処理、エッチ
ング処理、洗浄処理等が挙げられる。また、これらの処
理を実現するためには、光学的処理においては露光装
置、化学的処理においては様々な化学薬品やこれを安全
に取り扱うための各種機器が用いられる。これら様々な
工程又は各種装置及び機器においては、半導体の更なる
高集積化等への要求が高まりつつある中で、それぞれが
技術的に高度な水準を要求されており、また更なる発展
をも図るべく関係各所にて鋭意研究、開発が進行するこ
ととなっている。
処理等からなる様々な工程により実現される。光学的処
理の代表例としては、ウェハ面への回路パターン焼き付
けを行う露光処理が挙げられ、化学的処理では例えば、
ウェハ面において薄膜を作製する等の表面処理、エッチ
ング処理、洗浄処理等が挙げられる。また、これらの処
理を実現するためには、光学的処理においては露光装
置、化学的処理においては様々な化学薬品やこれを安全
に取り扱うための各種機器が用いられる。これら様々な
工程又は各種装置及び機器においては、半導体の更なる
高集積化等への要求が高まりつつある中で、それぞれが
技術的に高度な水準を要求されており、また更なる発展
をも図るべく関係各所にて鋭意研究、開発が進行するこ
ととなっている。
【０００３】その中で特に具体的技術を挙げると、化学
的処理である表面処理工程に注目すれば、上述した薄膜
製造技術として、半導体プロセスにおいては必須となっ
た技術としてＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）技
術がある。このＣＶＤとは、ウェハ等の基板上に対して
原料ガスを供給し、当該基板上でのガスの吸着及び化学
反応を経て、その基板上に所望の薄膜を形成する技術で
ある。この技術は、ゲートの薄膜化、配線間容量低減等
の半導体高集積化を実現するためには欠くことのできな
いものとなっている。
的処理である表面処理工程に注目すれば、上述した薄膜
製造技術として、半導体プロセスにおいては必須となっ
た技術としてＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）技
術がある。このＣＶＤとは、ウェハ等の基板上に対して
原料ガスを供給し、当該基板上でのガスの吸着及び化学
反応を経て、その基板上に所望の薄膜を形成する技術で
ある。この技術は、ゲートの薄膜化、配線間容量低減等
の半導体高集積化を実現するためには欠くことのできな
いものとなっている。
【０００４】上記ＣＶＤの中でも減圧ＣＶＤおよびプラ
ズマＣＶＤ等は真空雰囲気かで行われ、真空排気系が必
要となる。
ズマＣＶＤ等は真空雰囲気かで行われ、真空排気系が必
要となる。
【０００５】上記真空排気系としては、一般に大気圧か
ら低真空域まで減圧するロータリポンプと、低真空域か
ら高真空域まで減圧するデフュージョンポンプ、ターボ
分子ポンプ等、複数のポンプにより構成されたものが利
用される。なお、ターボ分子ポンプとは、周知のよう
に、高速で回転するロータにより気体分子を圧縮しつつ
排気するような構成を備えたものである。ここでロータ
としては、これが上述したように非常に高速で回転する
部材であるため、軽量かつ応力強度の高いアルミニウム
合金をその材質として選択されるのが一般的である。
ら低真空域まで減圧するロータリポンプと、低真空域か
ら高真空域まで減圧するデフュージョンポンプ、ターボ
分子ポンプ等、複数のポンプにより構成されたものが利
用される。なお、ターボ分子ポンプとは、周知のよう
に、高速で回転するロータにより気体分子を圧縮しつつ
排気するような構成を備えたものである。ここでロータ
としては、これが上述したように非常に高速で回転する
部材であるため、軽量かつ応力強度の高いアルミニウム
合金をその材質として選択されるのが一般的である。
【０００６】次に、上記ターボ分子ポンプについて詳細
に説明する。図３に示すように、ターボ分子ポンプＰ
は、上半部１ａ及び下半部１ｂとからなるケーシング１
内部に各種部品が備えられた構成となっている。このケ
ーシング１においては、その上半部１ａに吸気口１ｃ、
下半部１ｂに排気口１ｄが、それぞれ形成されている。
ケーシング１内部においては、上部に軸流段部ＰA、下
部にねじ溝段部ＰBが設けられている。軸流段部ＰAは主
として後述する多段に設けられた動翼５および静翼３と
により構成され、ねじ溝段部ＰBにおいてははロータ４
に螺旋状のねじ溝１３が形成されている。
に説明する。図３に示すように、ターボ分子ポンプＰ
は、上半部１ａ及び下半部１ｂとからなるケーシング１
内部に各種部品が備えられた構成となっている。このケ
ーシング１においては、その上半部１ａに吸気口１ｃ、
下半部１ｂに排気口１ｄが、それぞれ形成されている。
ケーシング１内部においては、上部に軸流段部ＰA、下
部にねじ溝段部ＰBが設けられている。軸流段部ＰAは主
として後述する多段に設けられた動翼５および静翼３と
により構成され、ねじ溝段部ＰBにおいてははロータ４
に螺旋状のねじ溝１３が形成されている。
【０００７】より具体的に説明すると、ロータ室２に
は、ロータ４が配設されている。ロータ４は、鉛直に立
設されたロータシャフト４ａと、当該ロータシャフト４
ａ周囲に放射状に配置された動翼５とを備えた構成とな
っている。また、ケーシング上半部１ａには静翼３が固
定されている。ロータ４には、動翼５の下方にねじ溝１
３が形成されたねじ溝ロータ部１４が形成されている。
ねじ溝ロータ部１４にはケーシング上半部１ａと対向す
る面にねじ溝１３が形成されており、ねじ溝１３の山部
とケーシング上半部１ａとの間にわずかな隙間が形成さ
れている。
は、ロータ４が配設されている。ロータ４は、鉛直に立
設されたロータシャフト４ａと、当該ロータシャフト４
ａ周囲に放射状に配置された動翼５とを備えた構成とな
っている。また、ケーシング上半部１ａには静翼３が固
定されている。ロータ４には、動翼５の下方にねじ溝１
３が形成されたねじ溝ロータ部１４が形成されている。
ねじ溝ロータ部１４にはケーシング上半部１ａと対向す
る面にねじ溝１３が形成されており、ねじ溝１３の山部
とケーシング上半部１ａとの間にわずかな隙間が形成さ
れている。
【０００８】前記ロータシャフト４ａの下端部には、ス
ラスト磁気ディスク６が備えられている。このスラスト
磁気ディスク６の上下面には、これに対向した形でスラ
スト磁気軸受け８が設けられている。また、ロータシャ
フト４ａとケーシング下半部１ｂとの対向面における上
方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受け７ａ、７
ｂが設けられている。さらに、ロータシャフト４ａ上端
部にラジアル用上部保護軸受けとして設けられたボール
ベアリング９、同下端ネック部にはラジアル及びスラス
ト用下部保護軸受けとして設けられたボールベアリング
１０が設けられている。そして、ケーシング下半部１ｂ
には、ロータ駆動用モータ１１が設けられている。真空
排気の際にはモータ１１を駆動してロータ４を回転させ
る。ロータ４の回転により動翼５と静翼３との間で第１
の圧縮が行われたあと、ねじ溝段部ＰBのねじ溝１３に
よって第２の圧縮が行われ、排気口１ｄ方向へ流れて真
空排気される。
ラスト磁気ディスク６が備えられている。このスラスト
磁気ディスク６の上下面には、これに対向した形でスラ
スト磁気軸受け８が設けられている。また、ロータシャ
フト４ａとケーシング下半部１ｂとの対向面における上
方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受け７ａ、７
ｂが設けられている。さらに、ロータシャフト４ａ上端
部にラジアル用上部保護軸受けとして設けられたボール
ベアリング９、同下端ネック部にはラジアル及びスラス
ト用下部保護軸受けとして設けられたボールベアリング
１０が設けられている。そして、ケーシング下半部１ｂ
には、ロータ駆動用モータ１１が設けられている。真空
排気の際にはモータ１１を駆動してロータ４を回転させ
る。ロータ４の回転により動翼５と静翼３との間で第１
の圧縮が行われたあと、ねじ溝段部ＰBのねじ溝１３に
よって第２の圧縮が行われ、排気口１ｄ方向へ流れて真
空排気される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ターボ分子ポンプにおいては、塩化アルミニウムなどの
析出温度が常温に近いガスを排気する場合には、流量が
少ない場合において低温になりやすく、ねじ溝段部ＰB
に付着物が溜まりやすい。特にねじ溝段部ＰBに溜まり
やすい理由は、この部位において圧力が高くなるためで
ある。このため、定期的にメンテナンスをして付着物の
除去を行わなければねじ溝の破損を招いてしまうという
問題がある。その一方で、ターボ分子ポンプを大流量用
途に用いる場合、風損が大きいために発熱量が大きくな
り、軸流段の温度がクリープ許容温度以上となって損傷
・寿命の低下を招いてしまうという問題があった。
ターボ分子ポンプにおいては、塩化アルミニウムなどの
析出温度が常温に近いガスを排気する場合には、流量が
少ない場合において低温になりやすく、ねじ溝段部ＰB
に付着物が溜まりやすい。特にねじ溝段部ＰBに溜まり
やすい理由は、この部位において圧力が高くなるためで
ある。このため、定期的にメンテナンスをして付着物の
除去を行わなければねじ溝の破損を招いてしまうという
問題がある。その一方で、ターボ分子ポンプを大流量用
途に用いる場合、風損が大きいために発熱量が大きくな
り、軸流段の温度がクリープ許容温度以上となって損傷
・寿命の低下を招いてしまうという問題があった。
【００１０】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、内部温度を適切に維持することを可能とするター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
あり、内部温度を適切に維持することを可能とするター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロータまたはス
テータに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝段部とを備
えたターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部を冷却す
る冷却水が流動する軸流段部側冷却水路と、前記ねじ溝
段部を冷却する冷却水が流動するねじ溝段部側冷却水路
と、前記ねじ溝段部を加熱するヒータと、前記ねじ溝段
部側冷却水路への冷却水の流動を開閉する開閉弁とが設
けられていることを特徴とする。
は、動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロータまたはス
テータに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝段部とを備
えたターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部を冷却す
る冷却水が流動する軸流段部側冷却水路と、前記ねじ溝
段部を冷却する冷却水が流動するねじ溝段部側冷却水路
と、前記ねじ溝段部を加熱するヒータと、前記ねじ溝段
部側冷却水路への冷却水の流動を開閉する開閉弁とが設
けられていることを特徴とする。
【００１２】この発明においては、付着物が溜まりやす
いねじ溝ポンプ段をヒータによって加熱することで、付
着を防止する。その一方、温度が高くなりすぎると損傷
してしまうため、冷却水路によって冷却を可能とする。
いねじ溝ポンプ段をヒータによって加熱することで、付
着を防止する。その一方、温度が高くなりすぎると損傷
してしまうため、冷却水路によって冷却を可能とする。
【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部側冷却水路
と前記ねじ溝段部側冷却水路とが並列に接続され、前記
開閉弁を開閉することで、冷却水が前記軸流段部側冷却
水路のみに流動する場合と前記軸流段部側冷却水路と前
記ねじ溝段部側冷却水路の双方に流動する場合とに切り
替えられることを特徴とする。
のターボ分子ポンプにおいて、前記軸流段部側冷却水路
と前記ねじ溝段部側冷却水路とが並列に接続され、前記
開閉弁を開閉することで、冷却水が前記軸流段部側冷却
水路のみに流動する場合と前記軸流段部側冷却水路と前
記ねじ溝段部側冷却水路の双方に流動する場合とに切り
替えられることを特徴とする。
【００１４】この発明においては、開閉弁を閉として
も、軸流段部側冷却水路には冷却水が流動される。この
ため、完全に冷却水の流動を止めることにより生ずる他
の機器に流れる冷却水の流量や水圧に大きな影響を与え
ることを回避することができる。また、軸流段部は常に
軸流段部側冷却水路によって冷却されているため、損傷
が防止される。
も、軸流段部側冷却水路には冷却水が流動される。この
ため、完全に冷却水の流動を止めることにより生ずる他
の機器に流れる冷却水の流量や水圧に大きな影響を与え
ることを回避することができる。また、軸流段部は常に
軸流段部側冷却水路によって冷却されているため、損傷
が防止される。
【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝段部
の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段の検
出結果に基づいて前記ヒータ及び開閉弁を制御する制御
部とが設けられていることを特徴とする。
２に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝段部
の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段の検
出結果に基づいて前記ヒータ及び開閉弁を制御する制御
部とが設けられていることを特徴とする。
【００１６】この発明においては、制御部がねじ溝段部
の温度を監視しつつねじ溝段部の加熱・冷却を行うこと
が可能である。
の温度を監視しつつねじ溝段部の加熱・冷却を行うこと
が可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形
態について示した図である。ターボ分子ポンプ２０は、
上部ケーシング２１ａ、下部ケーシング２１ｂおよびベ
ース２１ｃとにより構成されたケーシング２１内部に各
種部品が備えられた構成となっている。このケーシング
２１においては、その上部ケーシング２１ａに吸気口２
１ｄ、ベースに排気口２１ｅが、それぞれ形成されてい
る。ケーシング２１内部においては、上部に軸流段部２
０ａ、下部にねじ溝段部２０ｂとが設けられている。軸
流段部２０ａは主として後述する多段に設けられた動翼
２５および静翼２３とにより構成され、ねじ溝段部２０
ｂにおいてはロータ２４に螺旋状のねじ溝３３が形成さ
れている。
て、図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形
態について示した図である。ターボ分子ポンプ２０は、
上部ケーシング２１ａ、下部ケーシング２１ｂおよびベ
ース２１ｃとにより構成されたケーシング２１内部に各
種部品が備えられた構成となっている。このケーシング
２１においては、その上部ケーシング２１ａに吸気口２
１ｄ、ベースに排気口２１ｅが、それぞれ形成されてい
る。ケーシング２１内部においては、上部に軸流段部２
０ａ、下部にねじ溝段部２０ｂとが設けられている。軸
流段部２０ａは主として後述する多段に設けられた動翼
２５および静翼２３とにより構成され、ねじ溝段部２０
ｂにおいてはロータ２４に螺旋状のねじ溝３３が形成さ
れている。
【００１８】より具体的に説明すると、ロータ室２２に
は、ロータ２４が配設されている。ロータ２４は、鉛直
に立設されたロータシャフト２４ａと、当該ロータシャ
フト２４ａ周囲に放射状に配置された動翼２５とを備え
た構成となっている。また、上部ケーシング２１ａには
静翼２３が固定されている。ロータ２４には、動翼２５
の下方にねじ溝３３が形成されたねじ溝ロータ部３５が
形成されている。
は、ロータ２４が配設されている。ロータ２４は、鉛直
に立設されたロータシャフト２４ａと、当該ロータシャ
フト２４ａ周囲に放射状に配置された動翼２５とを備え
た構成となっている。また、上部ケーシング２１ａには
静翼２３が固定されている。ロータ２４には、動翼２５
の下方にねじ溝３３が形成されたねじ溝ロータ部３５が
形成されている。
【００１９】前記ロータシャフト２４ａの下端部には、
スラスト磁気ディスク２６が備えられている。このスラ
スト磁気ディスク２６の上下面には、これに対向した形
でスラスト磁気軸受け２８が設けられている。また、ロ
ータシャフト２４ａと下部ケーシング２１ｂとの対向面
における上方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受
け２７ａ、２７ｂが設けられている。さらに、ロータシ
ャフト２４ａ上端部にラジアル用上部保護軸受けとして
設けられたボールベアリング２９、同下端ネック部には
ラジアル及びスラスト用下部保護軸受けとして設けられ
たボールベアリング３０が設けられている。そして、下
部ケーシング２１ｂには、ロータ駆動用モータ３１が設
けられている。
スラスト磁気ディスク２６が備えられている。このスラ
スト磁気ディスク２６の上下面には、これに対向した形
でスラスト磁気軸受け２８が設けられている。また、ロ
ータシャフト２４ａと下部ケーシング２１ｂとの対向面
における上方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受
け２７ａ、２７ｂが設けられている。さらに、ロータシ
ャフト２４ａ上端部にラジアル用上部保護軸受けとして
設けられたボールベアリング２９、同下端ネック部には
ラジアル及びスラスト用下部保護軸受けとして設けられ
たボールベアリング３０が設けられている。そして、下
部ケーシング２１ｂには、ロータ駆動用モータ３１が設
けられている。
【００２０】さて、本例においては、上部冷却水路（軸
流段部側冷却水路）４０、下部冷却水路（ねじ溝段部側
冷却水路）４１、さらにヒータ４２がケーシング２１の
外側であって周方向に取り囲んで取り付けられている。
上部冷却水路４０の高さ方向の位置は、軸流段部２０ａ
とねじ溝段部２０ｂとの中間付近、下部冷却水路４１は
ねじ溝段部２０ｂの下端付近、ヒータ４２は下部冷却水
路４１の近傍に設けられている。上部冷却水路４０と下
部冷却水路４１はそれぞれ金属製の配管であり、ケーシ
ング２１に固定されている。ヒータ４２はラバーヒータ
などが使用可能である。
流段部側冷却水路）４０、下部冷却水路（ねじ溝段部側
冷却水路）４１、さらにヒータ４２がケーシング２１の
外側であって周方向に取り囲んで取り付けられている。
上部冷却水路４０の高さ方向の位置は、軸流段部２０ａ
とねじ溝段部２０ｂとの中間付近、下部冷却水路４１は
ねじ溝段部２０ｂの下端付近、ヒータ４２は下部冷却水
路４１の近傍に設けられている。上部冷却水路４０と下
部冷却水路４１はそれぞれ金属製の配管であり、ケーシ
ング２１に固定されている。ヒータ４２はラバーヒータ
などが使用可能である。
【００２１】図２にターボ分子ポンプの外観と冷却水路
の系統図とを模式的に示した。冷却水は不図示の供給源
から供給され、分岐してそれぞれ上部冷却水路４０と下
部冷却水路４１に並列に供給されるようになっている。
下部冷却水路４１には開閉弁５０が介装されている。さ
らに、ねじ溝段部２０ｂ内のガス温度を計測する温度セ
ンサ（温度検出手段）５１（たとえば熱電対など）が設
けられており、この検出出力が入力される制御部５５が
設けられている。制御部５５はまた、開閉弁５０を開閉
する制御を行い、さらに、ヒータ４２をオン／オフする
制御も行うようになっている。上部冷却水路４０と下部
冷却水路４１から排水された冷却水は合流した後に排出
される。
の系統図とを模式的に示した。冷却水は不図示の供給源
から供給され、分岐してそれぞれ上部冷却水路４０と下
部冷却水路４１に並列に供給されるようになっている。
下部冷却水路４１には開閉弁５０が介装されている。さ
らに、ねじ溝段部２０ｂ内のガス温度を計測する温度セ
ンサ（温度検出手段）５１（たとえば熱電対など）が設
けられており、この検出出力が入力される制御部５５が
設けられている。制御部５５はまた、開閉弁５０を開閉
する制御を行い、さらに、ヒータ４２をオン／オフする
制御も行うようになっている。上部冷却水路４０と下部
冷却水路４１から排水された冷却水は合流した後に排出
される。
【００２２】以上のように構成されたターボ分子ポンプ
においては、真空排気の際にはモータ３１を駆動してロ
ータ２４を回転させる。ロータ２４の回転により動翼２
５と静翼２３との間で第１の圧縮が行われたあと、ねじ
溝段部２０ｂのねじ溝３３で第２の圧縮が行われる。
においては、真空排気の際にはモータ３１を駆動してロ
ータ２４を回転させる。ロータ２４の回転により動翼２
５と静翼２３との間で第１の圧縮が行われたあと、ねじ
溝段部２０ｂのねじ溝３３で第２の圧縮が行われる。
【００２３】真空排気に際しては、制御部５５が常にね
じ溝段部２０ｂ内部のガス温度を監視している。そし
て、例えば基準温度を７０度としている場合、一定より
高い場合（例えば７５度を超える場合）、下部冷却水路
４１の開閉弁５０を開として、冷却水を下部冷却水路４
１に流すことで、それ以上の温度上昇を防ぐ。そしてガ
ス温度が基準温度にまで下がったときに開閉弁を閉とす
る。また、ガス温度が一定より低い場合（例えば６５度
より下がった場合）にはヒータ４２をオンにして加熱を
行う。そしてガス温度が基準温度にまで上がったときに
ヒータ４２をオフにする。このようにして制御部５５が
冷却と加熱とを制御することにより、ねじ溝段部２０ｂ
が適切な温度に維持される。したがって、温度が低い場
合に発生する付着が防止され、また、温度が高い場合に
発生する損傷を防止することができる。
じ溝段部２０ｂ内部のガス温度を監視している。そし
て、例えば基準温度を７０度としている場合、一定より
高い場合（例えば７５度を超える場合）、下部冷却水路
４１の開閉弁５０を開として、冷却水を下部冷却水路４
１に流すことで、それ以上の温度上昇を防ぐ。そしてガ
ス温度が基準温度にまで下がったときに開閉弁を閉とす
る。また、ガス温度が一定より低い場合（例えば６５度
より下がった場合）にはヒータ４２をオンにして加熱を
行う。そしてガス温度が基準温度にまで上がったときに
ヒータ４２をオフにする。このようにして制御部５５が
冷却と加熱とを制御することにより、ねじ溝段部２０ｂ
が適切な温度に維持される。したがって、温度が低い場
合に発生する付着が防止され、また、温度が高い場合に
発生する損傷を防止することができる。
【００２４】このとき、上部冷却水路４０には常に冷却
水が供給されている。もし常時冷却水を供給していない
場合、ねじ溝段部２０ｂに設けられた温度センサ５１だ
けを監視していたのでは軸流段部２０ａの温度が予想外
に高くなるおそれがあるが、本例においては常に軸流段
部２０ａを冷却しているので、たとえヒータ加熱時にお
いても軸流段部２０ａの温度がクリープ許容温度以上と
なるおそれがない。
水が供給されている。もし常時冷却水を供給していない
場合、ねじ溝段部２０ｂに設けられた温度センサ５１だ
けを監視していたのでは軸流段部２０ａの温度が予想外
に高くなるおそれがあるが、本例においては常に軸流段
部２０ａを冷却しているので、たとえヒータ加熱時にお
いても軸流段部２０ａの温度がクリープ許容温度以上と
なるおそれがない。
【００２５】また、ヒータ４２は全体を加熱する必要は
なく、ねじ溝段部２０ｂのみを加熱すればよいので、大
容量である必要はない。さらに、本実施形態によれば適
切に温度制御が可能であるため、３段ねじ溝構造を有す
る大流量ターボ分子ポンプでも損傷を防ぐことができ
る。また、開閉弁５０で開閉しても、上部冷却水路４０
には常に冷却水が流動しているため、完全に冷却水の流
動を止めることにより生ずる他の機器に流れる冷却水の
流量や水圧に大きな影響を与えることを回避することが
できる。さらにまた、三方弁を用いることなく、開閉弁
（二方弁）５０を用いることでコストを大幅に抑えるこ
とができる。
なく、ねじ溝段部２０ｂのみを加熱すればよいので、大
容量である必要はない。さらに、本実施形態によれば適
切に温度制御が可能であるため、３段ねじ溝構造を有す
る大流量ターボ分子ポンプでも損傷を防ぐことができ
る。また、開閉弁５０で開閉しても、上部冷却水路４０
には常に冷却水が流動しているため、完全に冷却水の流
動を止めることにより生ずる他の機器に流れる冷却水の
流量や水圧に大きな影響を与えることを回避することが
できる。さらにまた、三方弁を用いることなく、開閉弁
（二方弁）５０を用いることでコストを大幅に抑えるこ
とができる。
【００２６】なお、上部冷却水路４０が冷却する部分は
軸流段部２０ａであればよく、その設置位置、設置部位
は上記実施形態に限定されるものではない。また、下部
冷却水路４１が冷却する部分およびヒータ４２が加熱す
る部分はねじ溝段部２０ｂ、特にねじ溝段部２０ｂ下部
であればよく、その設置位置、設置部位は上記実施形態
に限定されるものではない。
軸流段部２０ａであればよく、その設置位置、設置部位
は上記実施形態に限定されるものではない。また、下部
冷却水路４１が冷却する部分およびヒータ４２が加熱す
る部分はねじ溝段部２０ｂ、特にねじ溝段部２０ｂ下部
であればよく、その設置位置、設置部位は上記実施形態
に限定されるものではない。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、本発明においては以下の
効果を得ることができる。請求項１に記載の発明によれ
ば、付着物が溜まりやすいねじ溝ポンプ段をヒータによ
って加熱することで、付着を防止することができる。ま
た、温度が高くなりすぎると損傷してしまい寿命の低下
を招いてしまうため、冷却水路によって冷却することで
損傷を防止することができる。請求項２に記載の発明に
よれば、ねじ溝段部側冷却水路は必要に応じて開閉され
るが、軸流段部側冷却水路は常に冷却される。これによ
り熱による軸流段部の損傷を防止することができる。請
求項３に記載の発明によれば、制御部がねじ溝部の温度
を監視することで、ねじ溝段部の温度低下による付着物
と、温度上昇による損傷をともに防止することができ
る。
効果を得ることができる。請求項１に記載の発明によれ
ば、付着物が溜まりやすいねじ溝ポンプ段をヒータによ
って加熱することで、付着を防止することができる。ま
た、温度が高くなりすぎると損傷してしまい寿命の低下
を招いてしまうため、冷却水路によって冷却することで
損傷を防止することができる。請求項２に記載の発明に
よれば、ねじ溝段部側冷却水路は必要に応じて開閉され
るが、軸流段部側冷却水路は常に冷却される。これによ
り熱による軸流段部の損傷を防止することができる。請
求項３に記載の発明によれば、制御部がねじ溝部の温度
を監視することで、ねじ溝段部の温度低下による付着物
と、温度上昇による損傷をともに防止することができ
る。
【図１】 本発明の一実施形態として示したターボ分子
ポンプの縦断面図である。
ポンプの縦断面図である。
【図２】 同ターボ分子ポンプの外観と冷却水の流動経
路とを模式的に示した図である。
路とを模式的に示した図である。
【図３】 従来のターボ分子ポンプの一部を破断した斜
視図である。図である。
視図である。図である。
２０ａ 軸流段部
２０ｂ ねじ溝段部
４０ 上部冷却水路（軸流段部側冷却水路）
４１ 下部冷却水路（ねじ溝段部側冷却水路）
４２ ヒータ
５０ 開閉弁
５１ 温度センサ（温度検出手段）
５５ 制御部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ０４Ｄ 29/58 Ｆ０４Ｄ 29/58 Ｓ
Ｆターム(参考） 3H031 DA01 DA02 DA07 EA01 EA02
EA12 EA15 FA01 FA31 FA35
3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08
BB11 BB16 BB17 CC03 CC07
DD01 DD26 DD28 DD30 EE02
EE03 EE15
Claims (3)
- 【請求項１】 動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロー
タまたはステータに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝
段部とを備えたターボ分子ポンプにおいて、 前記軸流段部を冷却する冷却水が流動する軸流段部側冷
却水路と、前記ねじ溝段部を冷却する冷却水が流動する
ねじ溝段部側冷却水路と、前記ねじ溝段部を加熱するヒ
ータと、前記ねじ溝段部側冷却水路への冷却水の流動を
開閉する開閉弁とが設けられていることを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 請求項１に記載のターボ分子ポンプにお
いて、 前記軸流段部側冷却水路と前記ねじ溝段部側冷却水路と
が並列に接続され、前記開閉弁を開閉することで、冷却
水が前記軸流段部側冷却水路のみに流動する場合と前記
軸流段部側冷却水路と前記ねじ溝段部側冷却水路の双方
に流動する場合とに切り替えられることを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のターボ分子ポ
ンプターボ分子において、 前記ねじ溝段部の温度を検出する温度検出手段と、該温
度検出手段の検出結果に基づいて前記ヒータ及び開閉弁
を制御する制御部とが設けられていることを特徴とする
ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001350749A JP3930297B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001350749A JP3930297B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003148379A true JP2003148379A (ja) | 2003-05-21 |
| JP3930297B2 JP3930297B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=19163185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001350749A Expired - Lifetime JP3930297B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3930297B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012043027A1 (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプ |
| WO2014045438A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| CN104454569A (zh) * | 2013-09-24 | 2015-03-25 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| CN104819158A (zh) * | 2014-02-05 | 2015-08-05 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| WO2021166777A1 (ja) | 2020-02-19 | 2021-08-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及びコントローラ |
| EP3779202A4 (en) * | 2018-03-30 | 2021-12-22 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP |
| US11549515B2 (en) * | 2017-07-14 | 2023-01-10 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, temperature adjustment controller used for vacuum pump, inspection tool, and method of diagnosing temperature-adjustment function unit |
-
2001
- 2001-11-15 JP JP2001350749A patent/JP3930297B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPWO2012043027A1 (ja) * | 2010-09-28 | 2014-02-06 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプ |
| US9790946B2 (en) | 2010-09-28 | 2017-10-17 | Edwards Japan Limited | Exhaust pump |
| WO2012043027A1 (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプ |
| WO2014045438A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| CN104350283A (zh) * | 2012-09-24 | 2015-02-11 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| CN104454569B (zh) * | 2013-09-24 | 2017-04-12 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
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| JP2015148162A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| CN104819158A (zh) * | 2014-02-05 | 2015-08-05 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| CN104819158B (zh) * | 2014-02-05 | 2017-04-12 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| US11549515B2 (en) * | 2017-07-14 | 2023-01-10 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, temperature adjustment controller used for vacuum pump, inspection tool, and method of diagnosing temperature-adjustment function unit |
| EP3779202A4 (en) * | 2018-03-30 | 2021-12-22 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP |
| US11542950B2 (en) | 2018-03-30 | 2023-01-03 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| WO2021166777A1 (ja) | 2020-02-19 | 2021-08-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及びコントローラ |
| KR20220131933A (ko) | 2020-02-19 | 2022-09-29 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 및 컨트롤러 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3930297B2 (ja) | 2007-06-13 |
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