JPH11229158A - 放電表面処理方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製作の簡単な電極の使用を可能とし、さまざ
まな高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても同一の電極
の使用を可能とし、電極が消耗しても均一な放電表面処
理を可能とする。 【解決手段】 金属、金属の化合物、もしくはセラミッ
クスの粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極１
０３として、円錐状の処理面を有するワーク１０１と電
極との間に放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワ
ークの処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギ
ーにより反応した物質からなる被膜を形成するものであ
って、電極１０３として円錐台形状の電極を用い、電極
とワーク１０１間に所定の間隔を保った状態で両者を共
に回転させながらまたは電極をワークの処理面に沿って
揺動させながら放電を発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極とワークの間
に放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面
に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反
応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理方法お
よび装置に関するものであり、特に円錐面を持つワーク
上に放電表面処理を施す方法および装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】例えば特開平７−７０７６１号公報に金
属粉末、金属の化合物の粉末、またはセラミックスの粉
末を圧縮成形した電極を用い、この電極とワークの間に
パルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワ
ーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギー
により反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処
理方法が記載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の放電表面処理方
法は以上のようであり、円錐形状の処理面を持つワーク
に上述のような放電表面処理を施すには、ワークの形状
を反転させた形状をもつ電極を用いるとよいと考えられ
る。しかしながら、ワークの処理面が円錐台形状である
場合、その円錐台形状を反転させた円錐形状の穴を持っ
たすなわちすり鉢状の電極を製作する必要があるため電
極の製作が困難である、異なる高さや幅や広がり角の円
錐面に対してはそれぞれ異なる電極が必要となる、放電
表面処理により電極が消耗して形状が崩れるため均一な
表面処理が難しいなどの問題があった。また、ワークが
すり鉢状の処理面を有する場合にも、それぞれのワーク
の処理面に対応した円錐台形状を有する電極を用いるた
め、異なる高さや幅や広がり角の円錐面に対してはそれ
ぞれ異なる電極が必要となる、放電表面処理により電極
が消耗して形状が崩れるため均一な表面処理が難しいな
どの問題があった。

【０００４】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、製作の簡単な電極の使用を可能と
し、さまざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても
同一の電極の使用を可能とし、電極が消耗しても均一な
放電表面処理を可能とすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係る表面処
理方法は、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極とし
て、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間に
放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワークの
処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーによ
り反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理方
法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用い、
上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で両者を
共に回転させながら放電を発生させるものである。

【０００６】第２の発明に係る表面処理方法は、金属、
金属の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形
した圧粉体、または金属を電極として、円錐状の処理面
を有するワークと上記電極との間に放電を発生させ、そ
のエネルギーにより、上記ワークの処理面に電極材料ま
たは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質から
なる被膜を形成する放電表面処理方法であって、上記電
極として円錐台形状の電極を用い、上記電極とワーク間
に所定の間隔を保った状態で上記電極を上記ワークの処
理面に沿って揺動させながら放電を発生させるものであ
る。

【０００７】第３の発明に係る表面処理方法は、第１ま
たは第２の発明において、ワークの処理面がコレットホ
ルダまたはコレットホルダ保持具のチャック面であるも
のである。

【０００８】第４の発明に係る表面処理装置は、円錐状
の処理面を有するワークの上記処理面に電極材料または
電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる
被膜を形成する放電表面処理装置であって、金属、金属
の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した
圧粉体、または金属からなり、円錐台形状の放電面を有
して上記処理面と所定間隔を介して対向配置される電極
と、該電極とワークの処理面との間隔を調節する手段
と、上記電極を回転させる手段と、上記ワークを回転さ
せる手段と、上記電極とワークとの間に放電を発生させ
る電源装置と、上記電極とワークとの間に加工液を供給
する手段とを備えたものである。

【０００９】第５の発明に係る表面処理装置は、円錐状
の処理面を有するワークの上記処理面に電極材料または
電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる
被膜を形成する放電表面処理装置であって、金属、金属
の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した
圧粉体、または金属からなり、円錐台形状の放電面を有
して上記処理面と所定間隔を介して対向配置される電極
と、該電極とワークの処理面との間隔を調節する手段
と、上記電極を上記処理面に沿って揺動させる手段と、
上記電極とワークとの間に放電を発生させる電源装置
と、上記電極とワークとの間に加工液を供給する手段と
を備えたものである。

【００１０】第６の発明に係る表面処理装置は、第４ま
たは第５の発明において、ワークの処理面がコレットホ
ルダまたはコレットホルダ保持具のチャック面であるも
のである。

【００１１】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の実
施の形態１による放電表面処理装置を示す断面構成図で
ある。本実施の形態では、コレットホルダのコレットホ
ルダ保持具とのチャック面に放電表面処理により硬質膜
を形成する場合について説明する。工具はコレットによ
り保持され、さらにコレットはコレットホルダにより保
持される。これを機械側に取り付けられたコレットホル
ダ保持具にチャッッキングして使用されるのが一般的で
あり、コレットホルダやコレットホルダ保持具のチャッ
ク面はすり合わせにより摩耗しやすく、耐摩耗対策を施
すことが望まれる。図において、１０１は円錐台形状の
処理面を有するワークであり、この例では処理面として
円錐台形状のチャック面を有するコレットホルダであ
る。１０２はコレットホルダ１０１を円錐の中心軸を軸
として回転させるワーク回転装置、１０３は円錐台形状
のＴｉＨ₂（水素化チタン）系の圧粉体電極、１０４は
電極１０３を円錐の中心軸を軸として回転させる電極回
転装置、１０５は電極回転装置１０４を保持し、電極１
０３とコレットホルダ１０１のチャック面との相対距離
を調節する主軸、１０６は加工槽、１０７は加工液であ
り、この例では油が用いられる。１０８は放電を発生さ
せるための電源装置、１０９はコレットホルダ１０１を
そのチャック面の傾斜角度を調節可能に支持するワーク
支持部材である。図２（ａ）（ｂ）は本実施の形態にお
ける円錐台形状のＴｉＨ₂（水素化チタン）系の圧粉体
電極１０３とコレットホルダ１０１チャック面の位置関
係の変化を示す図である。

【００１２】次に、放電表面処理方法および図１に示し
た装置の動作について説明する。まず、ワーク回転装置
１０２に装着したコレットホルダ１０１と電極回転装置
１０４に装着した円錐台形状の圧粉体電極１０３を図２
（ａ）に示すような位置関係で微小間隙を隔てて隣り合
わせて設置する。この時、ワーク支持部材１０９により
コレットホルダ１０１のチャック面が圧粉体電極１０３
の傾斜に応じて対向するように調節する。次に、放電加
工液１０７中において、ワーク回転装置１０２によりコ
レットホルダ１０１を回転させ、電極回転装置１０４に
より圧粉体電極１０３を回転させつつ、圧粉体電極１０
３とコレットホルダ１０１のチャック面の相対距離を主
軸１０５により調整しながら、電源装置１０８によりパ
ルス状の放電を発生させる。すると電極１０３が消耗
し、電極１０３の成分であるＴｉを中心とした硬質被膜
がコレットホルダ１０１の円錐形状のチャック面に形成
される。ここで、コレットホルダ１０１のチャック面の
断面が太い部分ほど圧粉体電極１０３の太い部分で放電
表面処理されるため、圧粉体電極１０３が図２（ｂ）に
示すように均一に消耗するため、コレットホルダチャッ
ク１０１のすり合わせ面に均一な硬質被膜が被覆され
る。なお、圧粉体電極１０３の形状は円錐台形であれば
よく、必ずしもコレットホルダチャックのすり合わせ面
と同じ長さ、幅、勾配の円錐台形でなくてもよい。ま
た、ワーク回転装置１０２および電極回転装置１０４は
モータ（図示せず）を有しているが、加工液中に浸漬さ
せて使用しても加工液が浸透しないように内圧をかける
ことによりシールされている。

【００１３】コレットホルダ１０１のチャック面と圧粉
体電極１０３との間の放電で形成された改質層は、Ｔｉ
Ｃ（炭化チタン）が主成分となる。これは、加工液１０
７が油であるため、放電の熱で分解した油の成分のＣ
（炭素）と電極１０３中のＴｉが熱により化学反応を起
こしＴｉＣとなるためである。被処理材であるコレット
ホルダ１０１のチャック面と電極１０３との間の放電に
より、被処理材の表面は溶融し、改質層を形成する物質
と母材との界面において改質層の主成分であるＴｉＣ
（炭化チタン）と母材とが混合して再凝固した層が形成
される。ＴｉＣは非常に硬質（ビッカース硬度２０００
〜３０００）であり、改質層として良質のものである。
形成された改質層 によりコレットホルダ１０１のチャ
ック面の耐摩耗性が向上する。

【００１４】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ１０１のチャック面のような円錐台形状の表
面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放電表面
処理を施すように構成したので、処理電極１０３の製作
が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐面に対
しても同一の処理電極で処理が可能になり、処理電極１
０３がほぼ均等に消耗して均一な放電表面処理が実現で
きる。

【００１５】実施の形態２．図３は本発明の実施の形態
２による放電表面処理装置を示す断面構成図である。本
実施の形態では、コレットホルダ保持具のコレットホル
ダとのチャック面に放電表面処理により硬質膜を形成す
る場合について説明する。図において、１１０は円錐形
状の処理面を有するワークとしてすり鉢形状のチャック
面を持つコレットホルダ保持具、１１１はコレットホル
ダ保持具１１０を回転および傾斜可能に保持する保持部
材であり、回転および傾斜駆動機構１１により駆動され
る。１２は回転軸である。１１２、１１３はコレットホ
ルダ保持具１１０をそれぞれＸ軸方向およびＹ軸方向に
移動可能に保持するＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブルで
あり、それぞれＸ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構１０
により駆動される。１０３はコレットホルダ保持具１１
０のチャック面より小径の円錐台形状を有するＴｉＨ₂
（水素化チタン）系の圧粉体電極、１０５は圧粉体電極
１０３を保持し、圧粉体電極１０３とコレットホルダ保
持具１１０のチャック面との相対距離を調節する主軸、
８は主軸１０５をＺ軸方向に移動させる駆動力を発生す
るＺ軸駆動機構である。また、主軸１０５は内部にモー
タ１１４、軸受１１５、およびスピンドル１１６を備え
て圧粉体電極１０３を回転可能に保持している。スピン
ドル１１６は軸受１１５によって主軸１０５内に支持さ
れ、モータ１１４に接続されて圧粉体電極１０３を回転
させる。１４は制御回路であり、軌跡移動制御回路１５
を備え、極間検出回路１６が接続される。１０６は加工
槽、１０７は加工液でここでは油が用いられる。１０８
は放電を発生させるための電源装置である。

【００１６】次に放電表面処理方法および図３に示した
装置の動作について説明する。被処理材であるコレット
ホルダ保持具１１０は回転および傾斜保持部材１１１に
固定され、コレットホルダ保持具１１０の処理面である
チャック面が圧粉体電極１０３の円錐面に応じて対向す
るように傾斜させられる。このようにコレットホルダ保
持具１１０と円錐台形状の圧粉体電極１０３を微小間隙
を隔てて隣り合わせて設置し、放電加工液１０７中にお
いて、圧粉体電極１０３とコレットホルダ保持具１１０
のチャック面間の相対距離を主軸１０５により調整しな
がら、コレットホルダ保持具１１０の傾斜状態を維持し
たまま圧粉体電極１０３とコレットホルダ保持具１１０
を共に回転させる。以上の動作を行いながらコレットホ
ルダ保持具１１０のチャック面に対して圧粉体電極１０
３との間で電源装置１０８によりパルス状の放電を発生
させる。すると電極１０３が消耗し、電極１０３の成分
であるＴｉを中心とした硬質被膜がコレットホルダ保持
具１１０のすり鉢形状のチャック面に均一に形成され
る。

【００１７】ところで、圧粉体電極１０３は消耗により
コレットホルダ保持具１１０のチャック面に対して小さ
くなっていくため、Ｘ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構
１０により、圧粉体電極１０３を移動させて圧粉体電極
１０３とコレットホルダ保持具１１０のチャック面との
距離を所定間隔に保ちながら放電を発生させることで、
コレットホルダ保持具１１０のチャック面に均一な硬質
被膜が被覆される。そのため、極間検出回路１６により
圧粉体電極１０３の端面とコレットホルダ保持具１１０
との相対距離変化を検出し、安定した放電を発生するよ
うに制御回路１４によりＺ軸駆動機構８を駆動させ極間
距離を制御する。軌跡移動制御回路１５による圧粉体電
極１０３の軌跡情報にしたがって制御装置１４がＸ、Ｙ
軸駆動機構９、１０を駆動させる。

【００１８】コレットホルダ保持具１１０のチャック面
と圧粉体電極１０３との間の放電で形成された改質層
は、ＴｉＣ（炭化チタン）が主成分となる。これは、加
工液１０７が油であるため、放電の熱で分解した油の成
分のＣ（炭素）と電極１０３中のＴｉが熱により化学反
応を起こしＴｉＣとなるためである。被処理材であるコ
レットホルダ保持具１１０のチャック面と電極１０３と
の間の放電により、被処理材の表面は溶融し、改質層を
形成する物質と母材との界面において改質層の主成分で
あるＴｉＣ（炭化チタン）と母材とが混合して再凝固し
た層が形成される。ＴｉＣは非常に硬質（ビッカース硬
度２０００〜３０００）であり、改質層として良質のも
のである。形成された改質層によりコレットホルダ保持
具１１０のチャック面の耐摩耗性が向上する。

【００１９】以上説明したように、圧粉体電極１０３の
形状は円錐台形であればよく、必ずしもコレットホルダ
保持具１１０のチャック面の長さ、幅、勾配に１対１に
対応した円錐形でなくてもよい。また、回転および傾斜
保持部材１１１は、取り付けられたワークを回転させる
ための動力源としてのモータ（図示せず）を有している
が、加工液中に浸漬させて使用しても加工液が浸透しな
いように内圧をかけることによりシールされている。

【００２０】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ保持具１１０のチャック面のようなすり鉢形
状の表面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放
電表面処理を施すように構成したので、処理電極１０３
の製作が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐
面に対しても同一の処理電極１０３で処理が可能にな
り、処理電極１０３がほぼ均等に消耗して均一な放電表
面処理が実現できる。

【００２１】実施の形態３．図４は本発明の実施の形態
３による放電表面処理装置を示す断面構成図である。図
において、１１０は円錐形状の処理面を有するワークと
してすり鉢形状のチャック面を持つコレットホルダ保持
具、１０３はコレットホルダ保持具１１０のチャック面
より小径の円錐台形状を有するＴｉＨ₂（水素化チタ
ン）系の圧粉体電極、１０５は圧粉体電極１０３を保持
し、圧粉体電極１０３とコレットホルダチャック１０１
との相対距離を調節する主軸、１０６は加工槽、１０７
は加工液でこの例では油が用いられる。１０８はパルス
放電を発生させるための電源装置、１１７は圧粉体電極
１０３をコレットホルダ保持具１１０のチャック面に沿
って揺動させる揺動装置である。図５は処理面であるコ
レットホルダ保持具１１０のチャック面に対する圧粉体
電極１０３の揺動動作を説明する図である。

【００２２】次に表面処理方法および図４に示した装置
の動作について説明する。コレットホルダ保持具１１０
のチャック面と円錐形状の圧粉体電極１０３を図５に示
すような位置関係で微小間隙を隔てて対向させて設置
し、放電加工液１０７中において、コレットホルダ保持
具１１０のチャック面と所定間隔を保った状態で、圧粉
体電極１０３を揺動装置１１７によりコレットホルダ保
持具１１０のチャック面に沿って揺動させながら電源装
置１０８によりパルス状の放電を発生させる。すると電
極１０３が消耗し、電極１０３の成分であるＴｉを中心
とした硬質被膜がコレットホルダ保持具１１０のすり鉢
形状のチャック面に形成される。

【００２３】なお、圧粉体電極１０３の形状はコレット
ホルダ保持具１１０のチャック面より小径の円錐台形で
あればよく、必ずしもコレットホルダ保持具１１０のチ
ャック面と同じ長さや勾配を有する円錐形でなくてもよ
い。勾配が異なる場合には、図示していないが、電極１
０３を傾斜させることによりチャック面と電極１０３を
所定間隔を保って対向させることができる。

【００２４】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ保持具１１０のチャック面のようなすり鉢形
状の表面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放
電表面処理を施すように構成したので、処理電極１０３
の製作が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐
面に対しても同一の処理電極１０３で処理が可能にな
り、処理電極１０３が均等に消耗して均一な放電表面処
理が実現できる。

【００２５】なお、上記実施の形態３では電極１０３を
駆動することによって電極１０３をコレットホルダ保持
具１１０のチャック面に沿って揺動させるように構成し
た場合について示したが、コレットホルダ保持具１１０
を駆動することによって電極１０３をコレットホルダ保
持具１１０のチャック面に沿って揺動させるように構成
してもよい。また、上記実施の形態３ではすり鉢状の処
理面を有するコレットホルダ保持具１１０のチャック面
の表面処理について示したが、図１に示したような円錐
台形状の処理面を有するコレットホルダ１０１のチャッ
ク面の表面処理についても同様に、電極１０３またはコ
レットホルダ１０１を駆動して電極１０３をコレットホ
ルダ１０１のチャック面に沿って揺動させることによる
放電表面処理が可能である。

【００２６】なお、上記各実施の形態では放電表面処理
用電極１０３として、ＴｉＨ₂（水素化チタン）系の圧
粉体電極を用いたが、ソリッドのＴｉ電極や、Ｔｉ以外
にも炭化物が硬質の物質であるＶ（バナジウム）、Ｎｂ
（ニオブ）、Ｔａ（タンタル）等を成分とする電極やコ
バルトとタングステンカーバイトの混合電極など、また
は金属粉末あるいは金属化合物粉末あるいはセラミック
粉末を圧縮整形した圧粉体電極など、他の材質の電極を
用いてもよい。

【００２７】さらに、上記各実施の形態ではコレットホ
ルダ１０１およびコレットホルダ保持具１１０のチャッ
ク面に表面処理を施す場合について説明したが、これに
限るものではなく、円錐状の処理面を有するものであれ
ば、他のものにも適用可能であり、具体的には、例えば
圧延ローラ、列車の車輪のレールとの接地面、軸受、セ
ンタリングポンチのような工具の先端などの表面処理に
適用できる。

【００２８】

【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、金
属、金属の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮
成形した圧粉体、または金属を電極として、円錐状の処
理面を有するワークと上記電極との間に放電を発生さ
せ、そのエネルギーにより、上記ワークの処理面に電極
材料または電極材料が放電エネルギーにより反応した物
質からなる被膜を形成する放電表面処理方法であって、
上記電極として円錐台形状の電極を用い、上記電極とワ
ーク間に所定の間隔を保った状態で両者を共に回転させ
ながら放電を発生させるので、さまざまな高さ、幅、広
がり角の円錐面に対しても同一の、しかも簡単に製作で
きる円錐台形の電極を用いて、電極が消耗しても均一な
放電表面処理を行うことができる。

【００２９】第２の発明によれば、金属、金属の化合
物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉
体、または金属を電極として、円錐状の処理面を有する
ワークと上記電極との間に放電を発生させ、そのエネル
ギーにより、上記ワークの処理面に電極材料または電極
材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜
を形成する放電表面処理方法であって、上記電極として
円錐台形状の電極を用い、上記電極とワーク間に所定の
間隔を保った状態で上記電極を上記ワークの処理面に沿
って揺動させながら放電を発生させるので、さまざまな
高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても同一の、しかも
簡単に製作できる円錐台形の電極を用いて、電極が消耗
しても均一な放電表面処理を行うことができる。

【００３０】第３の発明によれば、第１または第２の発
明において、ワークの処理面がコレットホルダまたはコ
レットホルダ保持具のチャック面であるので、さまざま
な高さ、幅、広がり角の円錐状チャック面に対しても同
一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用い
て、均一な改質層が形成され、耐摩耗性に優れたチャッ
ク面が得られる。

【００３１】第４の発明によれば、円錐状の処理面を有
するワークの上記処理面に電極材料または電極材料が放
電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成す
る放電表面処理装置であって、金属、金属の化合物、も
しくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体、また
は金属からなり、円錐台形状の放電面を有して上記処理
面と所定間隔を介して対向配置される電極と、該電極と
ワークの処理面との間隔を調節する手段と、上記電極を
回転させる手段と、上記ワークを回転させる手段と、上
記電極とワークとの間に放電を発生させる電源装置と、
上記電極とワークとの間に加工液を供給する手段とを備
えたので、さまざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対
しても同一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極
を用いて、電極が消耗しても均一な放電表面処理を行う
ことができる。

【００３２】第５の発明によれば、円錐状の処理面を有
するワークの上記処理面に電極材料または電極材料が放
電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成す
る放電表面処理装置であって、金属、金属の化合物、も
しくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体、また
は金属からなり、円錐台形状の放電面を有して上記処理
面と所定間隔を介して対向配置される電極と、該電極と
ワークの処理面との間隔を調節する手段と、上記電極を
上記処理面に沿って揺動させる手段と、上記電極とワー
クとの間に放電を発生させる電源装置と、上記電極とワ
ークとの間に加工液を供給する手段とを備えたので、さ
まざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても同一
の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用いて、
電極が消耗しても均一な放電表面処理を行うことができ
る。

【００３３】第６の発明によれば、第４または第５の発
明において、ワークの処理面がコレットホルダまたはコ
レットホルダ保持具のチャック面であるので、さまざま
な高さ、幅、広がり角の円錐状チャック面に対しても同
一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用い
て、均一な改質層が形成され、耐摩耗性に優れたチャッ
ク面が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１による表面処理装置を
示す断面構成図である。

【図２】 本発明の実施の形態１における円錐形状の電
極とコレットホルダのチャック面の位置関係の変化を示
す説明図である。

【図３】 本発明の実施の形態２による表面処理装置を
示す構成図である。

【図４】 本発明の実施の形態３による表面処理装置を
示す断面構成図である。

【図５】 コレットホルダ保持具のチャック面に対する
電極の揺動動作を説明する図である。

【符号の説明】

８ Ｚ軸駆動機構、 ９ Ｘ軸駆動機構、 １０ Ｙ軸
駆動機構、 １１ 回転および傾斜駆動機構、 １２
回転軸、 １４ 制御回路、 １５ 軌跡移動制御回
路、 １６ 極間検出回路、 １０１ コレットホル
ダ、 １０２ ワーク回転装置、 １０３ 電極、 １
０４ 電極回転装置、 １０５ 主軸、 １０６ 加工
槽、 １０７ 加工液、 １０８ 電源装置、 １０９
ワーク支持部材、 １１０ コレットホルダ保持具、
１１１ ワーク回転および傾斜保持部材、 １１２
Ｘ軸テーブル、 １１３ Ｙ軸テーブル、 １１４ モ
ータ、１１５ 軸受、 １１６ スピンドル １１７
揺動装置。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属、金属の化合物、もしくはセラミッ
   クスの粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極と
   して、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間
   に放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワーク
   の処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーに
   より反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理
   方法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用
   い、上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で両
   者を共に回転させながら放電を発生させることを特徴と
   する放電表面処理方法。
2. 【請求項２】 金属、金属の化合物、もしくはセラミッ
   クスの粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極と
   して、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間
   に放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワーク
   の処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーに
   より反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理
   方法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用
   い、上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で上
   記電極を上記ワークの処理面に沿って揺動させながら放
   電を発生させることを特徴とする放電表面処理方法。
3. 【請求項３】 ワークの処理面がコレットホルダまたは
   コレットホルダ保持具のチャック面である請求項１また
   は２記載の放電表面処理方法。
4. 【請求項４】 円錐状の処理面を有するワークの上記処
   理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーにより
   反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理装置
   であって、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
   の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属からなり、円
   錐台形状の放電面を有して上記処理面と所定間隔を介し
   て対向配置される電極と、該電極とワークの処理面との
   間隔を調節する手段と、上記電極を回転させる手段と、
   上記ワークを回転させる手段と、上記電極とワークとの
   間に放電を発生させる電源装置と、上記電極とワークと
   の間に加工液を供給する手段とを備えたことを特徴とす
   る放電表面処理装置。
5. 【請求項５】 円錐状の処理面を有するワークの上記処
   理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーにより
   反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理装置
   であって、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
   の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属からなり、円
   錐台形状の放電面を有して上記処理面と所定間隔を介し
   て対向配置される電極と、該電極とワークの処理面との
   間隔を調節する手段と、上記電極を上記処理面に沿って
   揺動させる手段と、上記電極とワークとの間に放電を発
   生させる電源装置と、上記電極とワークとの間に加工液
   を供給する手段とを備えたことを特徴とする放電表面処
   理装置。
6. 【請求項６】 ワークの処理面がコレットホルダまたは
   コレットホルダ保持具のチャック面である請求項４また
   は５記載の放電表面処理装置。