JPH11229158A - Electric discharge surface treatment and device therefor - Google Patents
Electric discharge surface treatment and device thereforInfo
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- JPH11229158A JPH11229158A JP3317898A JP3317898A JPH11229158A JP H11229158 A JPH11229158 A JP H11229158A JP 3317898 A JP3317898 A JP 3317898A JP 3317898 A JP3317898 A JP 3317898A JP H11229158 A JPH11229158 A JP H11229158A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電極とワークの間
に放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面
に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反
応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理方法お
よび装置に関するものであり、特に円錐面を持つワーク
上に放電表面処理を施す方法および装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge surface treatment in which a discharge is generated between an electrode and a work, and the energy of the discharge forms an electrode material or a film made of a substance reacted by the discharge energy on the work surface. The present invention relates to a method and an apparatus, and more particularly to a method and an apparatus for performing a discharge surface treatment on a work having a conical surface.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば特開平７−７０７６１号公報に金
属粉末、金属の化合物の粉末、またはセラミックスの粉
末を圧縮成形した電極を用い、この電極とワークの間に
パルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワ
ーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギー
により反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処
理方法が記載されている。2. Description of the Related Art For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-70761, an electrode obtained by compression molding a metal powder, a metal compound powder, or a ceramic powder is used, and a pulse-like discharge is generated between the electrode and a work. A discharge surface treatment method for forming a film made of an electrode material or a substance in which the electrode material reacts with the discharge energy by using the energy is described.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の放電表面処理方
法は以上のようであり、円錐形状の処理面を持つワーク
に上述のような放電表面処理を施すには、ワークの形状
を反転させた形状をもつ電極を用いるとよいと考えられ
る。しかしながら、ワークの処理面が円錐台形状である
場合、その円錐台形状を反転させた円錐形状の穴を持っ
たすなわちすり鉢状の電極を製作する必要があるため電
極の製作が困難である、異なる高さや幅や広がり角の円
錐面に対してはそれぞれ異なる電極が必要となる、放電
表面処理により電極が消耗して形状が崩れるため均一な
表面処理が難しいなどの問題があった。また、ワークが
すり鉢状の処理面を有する場合にも、それぞれのワーク
の処理面に対応した円錐台形状を有する電極を用いるた
め、異なる高さや幅や広がり角の円錐面に対してはそれ
ぞれ異なる電極が必要となる、放電表面処理により電極
が消耗して形状が崩れるため均一な表面処理が難しいな
どの問題があった。The conventional discharge surface treatment method is as described above. In order to perform the above-described discharge surface treatment on a work having a conical treated surface, the shape of the work is inverted. It is considered that an electrode having a shape is preferably used. However, when the processing surface of the workpiece has a truncated cone shape, it is difficult to manufacture the electrode because it is necessary to manufacture a cone-shaped electrode having a cone-shaped hole obtained by inverting the truncated cone shape. There are problems that different electrodes are required for the conical surfaces of the height, width and divergence angle, and uniform surface treatment is difficult because the electrodes are worn out by the discharge surface treatment and the shape is lost. In addition, even when the workpiece has a mortar-shaped processing surface, an electrode having a truncated cone shape corresponding to the processing surface of each workpiece is used. There have been problems such as the necessity of an electrode and the difficulty in uniform surface treatment because the electrode is consumed by the discharge surface treatment and the shape is lost.
【０００４】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、製作の簡単な電極の使用を可能と
し、さまざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても
同一の電極の使用を可能とし、電極が消耗しても均一な
放電表面処理を可能とすることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and allows the use of electrodes that are easy to manufacture, and is the same for conical surfaces of various heights, widths, and divergence angles. It is an object of the present invention to enable the use of an electrode and to enable a uniform discharge surface treatment even when the electrode is worn.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る表面処
理方法は、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極とし
て、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間に
放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワークの
処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーによ
り反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理方
法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用い、
上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で両者を
共に回転させながら放電を発生させるものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a surface treatment method comprising compressing a metal, a compound of a metal, or a ceramics powder into a compact, or forming a conical treated surface using a metal as an electrode. A discharge surface treatment method in which a discharge is generated between a workpiece having the electrode and the electrode, and the energy thereof forms a coating made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted with the discharge energy on the treated surface of the work, Using a frustoconical electrode as the electrode,
The discharge is generated while rotating the electrodes and the workpiece while keeping a predetermined distance therebetween.
【０００６】第２の発明に係る表面処理方法は、金属、
金属の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形
した圧粉体、または金属を電極として、円錐状の処理面
を有するワークと上記電極との間に放電を発生させ、そ
のエネルギーにより、上記ワークの処理面に電極材料ま
たは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質から
なる被膜を形成する放電表面処理方法であって、上記電
極として円錐台形状の電極を用い、上記電極とワーク間
に所定の間隔を保った状態で上記電極を上記ワークの処
理面に沿って揺動させながら放電を発生させるものであ
る。[0006] A surface treatment method according to a second aspect of the present invention is a method for treating a metal,
A discharge is generated between a work having a conical processing surface and the above-mentioned electrode, using a green compact obtained by compression-molding a metal compound or a ceramic powder, or a metal as an electrode, and the energy is used to process the work. A discharge surface treatment method for forming a film made of an electrode material or a substance in which the electrode material reacts by discharge energy on a surface, wherein a frustoconical electrode is used as the electrode, and a predetermined distance is maintained between the electrode and a workpiece. The discharge is generated while the electrode is swung along the processing surface of the work in the state of being turned.
【０００７】第３の発明に係る表面処理方法は、第１ま
たは第２の発明において、ワークの処理面がコレットホ
ルダまたはコレットホルダ保持具のチャック面であるも
のである。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the processing surface of the workpiece is a collet holder or a chuck surface of a collet holder holder.
【０００８】第４の発明に係る表面処理装置は、円錐状
の処理面を有するワークの上記処理面に電極材料または
電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる
被膜を形成する放電表面処理装置であって、金属、金属
の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した
圧粉体、または金属からなり、円錐台形状の放電面を有
して上記処理面と所定間隔を介して対向配置される電極
と、該電極とワークの処理面との間隔を調節する手段
と、上記電極を回転させる手段と、上記ワークを回転さ
せる手段と、上記電極とワークとの間に放電を発生させ
る電源装置と、上記電極とワークとの間に加工液を供給
する手段とを備えたものである。[0008] A surface treatment apparatus according to a fourth aspect of the present invention is a discharge surface treatment apparatus for forming a coating made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted by discharge energy on the above-mentioned treatment surface of a workpiece having a conical treatment surface. An electrode made of a metal, a compound of a metal, or a compact formed by compression molding of a ceramic powder, or a metal, having a truncated cone-shaped discharge surface, and disposed opposite to the processing surface at a predetermined interval. And means for adjusting the distance between the electrode and the processing surface of the work, means for rotating the electrode, means for rotating the work, and a power supply device for generating a discharge between the electrode and the work, Means for supplying a processing liquid between the electrode and the work.
【０００９】第５の発明に係る表面処理装置は、円錐状
の処理面を有するワークの上記処理面に電極材料または
電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる
被膜を形成する放電表面処理装置であって、金属、金属
の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した
圧粉体、または金属からなり、円錐台形状の放電面を有
して上記処理面と所定間隔を介して対向配置される電極
と、該電極とワークの処理面との間隔を調節する手段
と、上記電極を上記処理面に沿って揺動させる手段と、
上記電極とワークとの間に放電を発生させる電源装置
と、上記電極とワークとの間に加工液を供給する手段と
を備えたものである。A surface treatment apparatus according to a fifth aspect of the present invention is a discharge surface treatment apparatus for forming a coating made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted by discharge energy on the above-mentioned treatment surface of a workpiece having a conical treatment surface. An electrode made of a metal, a compound of a metal, or a compact formed by compression molding of a ceramic powder, or a metal, having a truncated cone-shaped discharge surface, and disposed opposite to the processing surface at a predetermined interval. Means for adjusting the distance between the electrode and the processing surface of the workpiece, means for swinging the electrode along the processing surface,
A power supply device for generating a discharge between the electrode and the work; and a means for supplying a working fluid between the electrode and the work.
【００１０】第６の発明に係る表面処理装置は、第４ま
たは第５の発明において、ワークの処理面がコレットホ
ルダまたはコレットホルダ保持具のチャック面であるも
のである。A surface treatment apparatus according to a sixth invention is the surface treatment apparatus according to the fourth or fifth invention, wherein the processing surface of the workpiece is a collet holder or a chuck surface of a collet holder holder.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の実
施の形態１による放電表面処理装置を示す断面構成図で
ある。本実施の形態では、コレットホルダのコレットホ
ルダ保持具とのチャック面に放電表面処理により硬質膜
を形成する場合について説明する。工具はコレットによ
り保持され、さらにコレットはコレットホルダにより保
持される。これを機械側に取り付けられたコレットホル
ダ保持具にチャッッキングして使用されるのが一般的で
あり、コレットホルダやコレットホルダ保持具のチャッ
ク面はすり合わせにより摩耗しやすく、耐摩耗対策を施
すことが望まれる。図において、１０１は円錐台形状の
処理面を有するワークであり、この例では処理面として
円錐台形状のチャック面を有するコレットホルダであ
る。１０２はコレットホルダ１０１を円錐の中心軸を軸
として回転させるワーク回転装置、１０３は円錐台形状
のＴｉＨ2（水素化チタン）系の圧粉体電極、１０４は
電極１０３を円錐の中心軸を軸として回転させる電極回
転装置、１０５は電極回転装置１０４を保持し、電極１
０３とコレットホルダ１０１のチャック面との相対距離
を調節する主軸、１０６は加工槽、１０７は加工液であ
り、この例では油が用いられる。１０８は放電を発生さ
せるための電源装置、１０９はコレットホルダ１０１を
そのチャック面の傾斜角度を調節可能に支持するワーク
支持部材である。図２（ａ）（ｂ）は本実施の形態にお
ける円錐台形状のＴｉＨ2（水素化チタン）系の圧粉体
電極１０３とコレットホルダ１０１チャック面の位置関
係の変化を示す図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional configuration diagram showing a discharge surface treatment apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. In the present embodiment, a case where a hard film is formed by a discharge surface treatment on a chuck surface of a collet holder and a collet holder holder will be described. The tool is held by a collet, and the collet is held by a collet holder. This is generally used by chucking it to the collet holder holder attached to the machine side, and the collet holder and the chuck surface of the collet holder holder are liable to wear due to friction. desired. In the drawing, reference numeral 101 denotes a work having a processing surface having a truncated cone shape, and in this example, a collet holder having a chuck surface having a truncated cone shape as a processing surface. Reference numeral 102 denotes a work rotating device for rotating the collet holder 101 about the central axis of the cone, 103 denotes a truncated cone-shaped TiH 2 (titanium hydride) -based compact electrode, and 104 denotes an electrode having the central axis of the cone as the axis. The electrode rotating device 105 rotates the electrode 1 and the electrode rotating device 104 holds the electrode rotating device 104.
A spindle for adjusting the relative distance between 03 and the chuck surface of the collet holder 101, 106 is a processing tank, 107 is a processing liquid, and oil is used in this example. Reference numeral 108 denotes a power supply device for generating a discharge, and reference numeral 109 denotes a work supporting member that supports the collet holder 101 so that the inclination angle of the chuck surface thereof can be adjusted. FIGS. 2A and 2B are diagrams showing the change in the positional relationship between the truncated cone-shaped TiH 2 (titanium hydride) -based compact electrode 103 and the chuck surface of the collet holder 101 in the present embodiment.
【００１２】次に、放電表面処理方法および図１に示し
た装置の動作について説明する。まず、ワーク回転装置
１０２に装着したコレットホルダ１０１と電極回転装置
１０４に装着した円錐台形状の圧粉体電極１０３を図２
（ａ）に示すような位置関係で微小間隙を隔てて隣り合
わせて設置する。この時、ワーク支持部材１０９により
コレットホルダ１０１のチャック面が圧粉体電極１０３
の傾斜に応じて対向するように調節する。次に、放電加
工液１０７中において、ワーク回転装置１０２によりコ
レットホルダ１０１を回転させ、電極回転装置１０４に
より圧粉体電極１０３を回転させつつ、圧粉体電極１０
３とコレットホルダ１０１のチャック面の相対距離を主
軸１０５により調整しながら、電源装置１０８によりパ
ルス状の放電を発生させる。すると電極１０３が消耗
し、電極１０３の成分であるＴｉを中心とした硬質被膜
がコレットホルダ１０１の円錐形状のチャック面に形成
される。ここで、コレットホルダ１０１のチャック面の
断面が太い部分ほど圧粉体電極１０３の太い部分で放電
表面処理されるため、圧粉体電極１０３が図２（ｂ）に
示すように均一に消耗するため、コレットホルダチャッ
ク１０１のすり合わせ面に均一な硬質被膜が被覆され
る。なお、圧粉体電極１０３の形状は円錐台形であれば
よく、必ずしもコレットホルダチャックのすり合わせ面
と同じ長さ、幅、勾配の円錐台形でなくてもよい。ま
た、ワーク回転装置１０２および電極回転装置１０４は
モータ（図示せず）を有しているが、加工液中に浸漬さ
せて使用しても加工液が浸透しないように内圧をかける
ことによりシールされている。Next, the discharge surface treatment method and the operation of the apparatus shown in FIG. 1 will be described. First, a collet holder 101 mounted on a work rotating device 102 and a truncated conical compact electrode 103 mounted on an electrode rotating device 104 are shown in FIG.
They are installed next to each other with a small gap in a positional relationship as shown in FIG. At this time, the chuck surface of the collet holder 101 is moved by the work supporting member 109 to the green compact electrode 103.
Adjust so as to face each other according to the inclination of. Next, while the collet holder 101 is rotated by the work rotating device 102 and the green compact electrode 103 is rotated by the electrode rotating device 104 in the electric discharge machining liquid 107,
While adjusting the relative distance between the chuck 3 and the chuck surface of the collet holder 101 by the main shaft 105, a pulse-like discharge is generated by the power supply device. Then, the electrode 103 is consumed, and a hard film centering on Ti, which is a component of the electrode 103, is formed on the conical chuck surface of the collet holder 101. Here, as the cross section of the chuck surface of the collet holder 101 is thicker, the discharge surface treatment is performed at the thicker portion of the green compact electrode 103, so that the green compact electrode 103 is uniformly consumed as shown in FIG. Therefore, the contact surface of the collet holder chuck 101 is coated with a uniform hard coating. The shape of the green compact electrode 103 may be a truncated cone, and need not necessarily be a truncated cone having the same length, width, and gradient as the contact surface of the collet holder chuck. Although the work rotating device 102 and the electrode rotating device 104 have motors (not shown), they are sealed by applying an internal pressure so that the working fluid does not permeate even when used by being immersed in the working fluid. ing.
【００１３】コレットホルダ１０１のチャック面と圧粉
体電極１０３との間の放電で形成された改質層は、Ｔｉ
Ｃ（炭化チタン）が主成分となる。これは、加工液１０
７が油であるため、放電の熱で分解した油の成分のＣ
（炭素）と電極１０３中のＴｉが熱により化学反応を起
こしＴｉＣとなるためである。被処理材であるコレット
ホルダ１０１のチャック面と電極１０３との間の放電に
より、被処理材の表面は溶融し、改質層を形成する物質
と母材との界面において改質層の主成分であるＴｉＣ
（炭化チタン）と母材とが混合して再凝固した層が形成
される。ＴｉＣは非常に硬質（ビッカース硬度２０００
〜３０００）であり、改質層として良質のものである。
形成された改質層 によりコレットホルダ１０１のチャ
ック面の耐摩耗性が向上する。The modified layer formed by the discharge between the chuck surface of the collet holder 101 and the green compact electrode 103 is made of Ti
C (titanium carbide) is the main component. This is processing fluid 10
Since oil 7 is an oil, the C of the oil component decomposed by the heat of electric discharge
This is because (carbon) and Ti in the electrode 103 cause a chemical reaction due to heat to become TiC. By the discharge between the electrode 103 and the chuck surface of the collet holder 101, which is the material to be treated, the surface of the material to be treated is melted, and the main component of the modified layer is formed at the interface between the substance forming the modified layer and the base material. TiC
(Titanium carbide) and the base material are mixed to form a re-solidified layer. TiC is very hard (Vickers hardness 2000
To 3000), which is a good quality modified layer.
The wear resistance of the chuck surface of the collet holder 101 is improved by the formed modified layer.
【００１４】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ１０１のチャック面のような円錐台形状の表
面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放電表面
処理を施すように構成したので、処理電極１０３の製作
が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐面に対
しても同一の処理電極で処理が可能になり、処理電極１
０３がほぼ均等に消耗して均一な放電表面処理が実現で
きる。As described above, according to the present embodiment, the discharge surface treatment is performed on the truncated cone-shaped surface such as the chuck surface of the collet holder 101 using the treatment electrode 103 having the truncated cone shape. As a result, the processing electrode 103 can be easily manufactured, and the same processing electrode can be used to process conical surfaces having various lengths, widths, and gradients.
03 is almost uniformly consumed, and uniform discharge surface treatment can be realized.
【００１５】実施の形態２．図３は本発明の実施の形態
２による放電表面処理装置を示す断面構成図である。本
実施の形態では、コレットホルダ保持具のコレットホル
ダとのチャック面に放電表面処理により硬質膜を形成す
る場合について説明する。図において、１１０は円錐形
状の処理面を有するワークとしてすり鉢形状のチャック
面を持つコレットホルダ保持具、１１１はコレットホル
ダ保持具１１０を回転および傾斜可能に保持する保持部
材であり、回転および傾斜駆動機構１１により駆動され
る。１２は回転軸である。１１２、１１３はコレットホ
ルダ保持具１１０をそれぞれＸ軸方向およびＹ軸方向に
移動可能に保持するＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブルで
あり、それぞれＸ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構１０
により駆動される。１０３はコレットホルダ保持具１１
０のチャック面より小径の円錐台形状を有するＴｉＨ2
（水素化チタン）系の圧粉体電極、１０５は圧粉体電極
１０３を保持し、圧粉体電極１０３とコレットホルダ保
持具１１０のチャック面との相対距離を調節する主軸、
８は主軸１０５をＺ軸方向に移動させる駆動力を発生す
るＺ軸駆動機構である。また、主軸１０５は内部にモー
タ１１４、軸受１１５、およびスピンドル１１６を備え
て圧粉体電極１０３を回転可能に保持している。スピン
ドル１１６は軸受１１５によって主軸１０５内に支持さ
れ、モータ１１４に接続されて圧粉体電極１０３を回転
させる。１４は制御回路であり、軌跡移動制御回路１５
を備え、極間検出回路１６が接続される。１０６は加工
槽、１０７は加工液でここでは油が用いられる。１０８
は放電を発生させるための電源装置である。Embodiment 2 FIG. 3 is a sectional configuration diagram showing a discharge surface treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, a case where a hard film is formed by a discharge surface treatment on a chuck surface of a collet holder holder and a collet holder will be described. In the drawing, reference numeral 110 denotes a collet holder holding tool having a mortar-shaped chuck surface as a work having a conical processing surface, and 111 denotes a holding member that holds the collet holder holding tool 110 so as to rotate and tilt. Driven by the mechanism 11. Reference numeral 12 denotes a rotating shaft. Reference numerals 112 and 113 denote an X-axis table and a Y-axis table for holding the collet holder holder 110 so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively.
Driven by 103 is a collet holder holder 11
TiH 2 having a truncated cone shape with a smaller diameter than the chuck surface of No. 0
A (titanium hydride) -based green compact electrode, 105 a main shaft for holding the green compact electrode 103 and adjusting the relative distance between the green compact electrode 103 and the chuck surface of the collet holder holder 110;
Reference numeral 8 denotes a Z-axis drive mechanism that generates a driving force for moving the main shaft 105 in the Z-axis direction. The main shaft 105 includes a motor 114, a bearing 115, and a spindle 116 therein and rotatably holds the green compact electrode 103. The spindle 116 is supported in the main shaft 105 by a bearing 115 and is connected to a motor 114 to rotate the green compact electrode 103. Reference numeral 14 denotes a control circuit, and a locus movement control circuit 15
And the gap detection circuit 16 is connected. 106 is a processing tank, 107 is a processing liquid, and oil is used here. 108
Is a power supply device for generating a discharge.
【００１６】次に放電表面処理方法および図３に示した
装置の動作について説明する。被処理材であるコレット
ホルダ保持具１１０は回転および傾斜保持部材１１１に
固定され、コレットホルダ保持具１１０の処理面である
チャック面が圧粉体電極１０３の円錐面に応じて対向す
るように傾斜させられる。このようにコレットホルダ保
持具１１０と円錐台形状の圧粉体電極１０３を微小間隙
を隔てて隣り合わせて設置し、放電加工液１０７中にお
いて、圧粉体電極１０３とコレットホルダ保持具１１０
のチャック面間の相対距離を主軸１０５により調整しな
がら、コレットホルダ保持具１１０の傾斜状態を維持し
たまま圧粉体電極１０３とコレットホルダ保持具１１０
を共に回転させる。以上の動作を行いながらコレットホ
ルダ保持具１１０のチャック面に対して圧粉体電極１０
３との間で電源装置１０８によりパルス状の放電を発生
させる。すると電極１０３が消耗し、電極１０３の成分
であるＴｉを中心とした硬質被膜がコレットホルダ保持
具１１０のすり鉢形状のチャック面に均一に形成され
る。Next, the discharge surface treatment method and the operation of the apparatus shown in FIG. 3 will be described. The collet holder holder 110 as the material to be processed is fixed to the rotating and tilting holding member 111, and is inclined such that the chuck surface, which is the processing surface of the collet holder holder 110, faces the conical surface of the compact electrode 103. Let me do. In this way, the collet holder holder 110 and the truncated cone-shaped green compact electrode 103 are placed adjacent to each other with a small gap therebetween, and the compact green electrode 103 and the collet holder holder 110 are placed in the electric discharge machining liquid 107.
While the relative distance between the chuck surfaces is adjusted by the main shaft 105, the compact electrode 103 and the collet holder holder 110 are maintained while the inclined state of the collet holder holder 110 is maintained.
Are rotated together. While performing the above operation, the green compact electrode 10 is held against the chuck surface of the collet holder holder 110.
A pulse-like discharge is generated by the power supply device 108 between the first and third power supplies. Then, the electrode 103 is consumed, and a hard coating centering on Ti, which is a component of the electrode 103, is uniformly formed on the mortar-shaped chuck surface of the collet holder holder 110.
【００１７】ところで、圧粉体電極１０３は消耗により
コレットホルダ保持具１１０のチャック面に対して小さ
くなっていくため、Ｘ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構
１０により、圧粉体電極１０３を移動させて圧粉体電極
１０３とコレットホルダ保持具１１０のチャック面との
距離を所定間隔に保ちながら放電を発生させることで、
コレットホルダ保持具１１０のチャック面に均一な硬質
被膜が被覆される。そのため、極間検出回路１６により
圧粉体電極１０３の端面とコレットホルダ保持具１１０
との相対距離変化を検出し、安定した放電を発生するよ
うに制御回路１４によりＺ軸駆動機構８を駆動させ極間
距離を制御する。軌跡移動制御回路１５による圧粉体電
極１０３の軌跡情報にしたがって制御装置１４がＸ、Ｙ
軸駆動機構９、１０を駆動させる。Since the compact electrode 103 becomes smaller with respect to the chuck surface of the collet holder holder 110 due to wear, the compact electrode 103 is moved by the X-axis drive mechanism 9 and the Y-axis drive mechanism 10. By causing a discharge while maintaining the distance between the green compact electrode 103 and the chuck surface of the collet holder holder 110 at a predetermined distance,
The chuck surface of the collet holder holder 110 is coated with a uniform hard coating. Therefore, the gap detection circuit 16 detects the end face of the compact electrode 103 and the collet holder holder 110.
The control circuit 14 drives the Z-axis driving mechanism 8 to control the distance between the electrodes so as to generate a stable discharge. In accordance with the trajectory information of the green compact electrode 103 by the trajectory movement control circuit 15, the control device 14
The shaft driving mechanisms 9 and 10 are driven.
【００１８】コレットホルダ保持具１１０のチャック面
と圧粉体電極１０３との間の放電で形成された改質層
は、ＴｉＣ（炭化チタン）が主成分となる。これは、加
工液１０７が油であるため、放電の熱で分解した油の成
分のＣ（炭素）と電極１０３中のＴｉが熱により化学反
応を起こしＴｉＣとなるためである。被処理材であるコ
レットホルダ保持具１１０のチャック面と電極１０３と
の間の放電により、被処理材の表面は溶融し、改質層を
形成する物質と母材との界面において改質層の主成分で
あるＴｉＣ（炭化チタン）と母材とが混合して再凝固し
た層が形成される。ＴｉＣは非常に硬質（ビッカース硬
度２０００〜３０００）であり、改質層として良質のも
のである。形成された改質層によりコレットホルダ保持
具１１０のチャック面の耐摩耗性が向上する。The modified layer formed by the discharge between the chuck surface of the collet holder holder 110 and the green compact electrode 103 contains TiC (titanium carbide) as a main component. This is because, because the working fluid 107 is oil, the component C (carbon) of the oil decomposed by the heat of the discharge and the Ti in the electrode 103 undergo a chemical reaction due to the heat to become TiC. The discharge between the chuck surface of the collet holder holder 110, which is the material to be processed, and the electrode 103 melts the surface of the material to be processed, and the surface of the material to form the modified layer and the modified layer at the interface between the material and the base material. The re-solidified layer is formed by mixing TiC (titanium carbide) as the main component and the base material. TiC is very hard (Vickers hardness: 2000 to 3000) and has a high quality as a modified layer. The wear resistance of the chuck surface of the collet holder holder 110 is improved by the formed modified layer.
【００１９】以上説明したように、圧粉体電極１０３の
形状は円錐台形であればよく、必ずしもコレットホルダ
保持具１１０のチャック面の長さ、幅、勾配に１対１に
対応した円錐形でなくてもよい。また、回転および傾斜
保持部材１１１は、取り付けられたワークを回転させる
ための動力源としてのモータ（図示せず）を有している
が、加工液中に浸漬させて使用しても加工液が浸透しな
いように内圧をかけることによりシールされている。As described above, the shape of the green compact electrode 103 may be a truncated cone, and is necessarily a cone having a one-to-one correspondence with the length, width, and gradient of the chuck surface of the collet holder holder 110. It is not necessary. The rotation and tilt holding member 111 has a motor (not shown) as a power source for rotating the attached work. Sealed by applying internal pressure to prevent penetration.
【００２０】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ保持具１１０のチャック面のようなすり鉢形
状の表面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放
電表面処理を施すように構成したので、処理電極１０３
の製作が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐
面に対しても同一の処理電極１０３で処理が可能にな
り、処理電極１０３がほぼ均等に消耗して均一な放電表
面処理が実現できる。As described above, according to the present embodiment, the discharge surface treatment is performed on the mortar-shaped surface such as the chuck surface of the collet holder holder 110 using the processing electrode 103 having the shape of a truncated cone. Because of the configuration, the processing electrode 103
The same processing electrode 103 can be used to process various conical surfaces of various lengths, widths, and gradients, and the processing electrode 103 is almost uniformly consumed and uniform discharge surface treatment is achieved. realizable.
【００２１】実施の形態３．図４は本発明の実施の形態
３による放電表面処理装置を示す断面構成図である。図
において、１１０は円錐形状の処理面を有するワークと
してすり鉢形状のチャック面を持つコレットホルダ保持
具、１０３はコレットホルダ保持具１１０のチャック面
より小径の円錐台形状を有するＴｉＨ2（水素化チタ
ン）系の圧粉体電極、１０５は圧粉体電極１０３を保持
し、圧粉体電極１０３とコレットホルダチャック１０１
との相対距離を調節する主軸、１０６は加工槽、１０７
は加工液でこの例では油が用いられる。１０８はパルス
放電を発生させるための電源装置、１１７は圧粉体電極
１０３をコレットホルダ保持具１１０のチャック面に沿
って揺動させる揺動装置である。図５は処理面であるコ
レットホルダ保持具１１０のチャック面に対する圧粉体
電極１０３の揺動動作を説明する図である。Embodiment 3 FIG. 4 is a sectional configuration diagram showing a discharge surface treatment apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. In the drawing, reference numeral 110 denotes a collet holder holder having a mortar-shaped chuck surface as a work having a conical processing surface, and 103 denotes a TiH 2 (titanium hydride) having a truncated cone shape smaller in diameter than the chuck surface of the collet holder holder 110. The green compact electrode 105 holds the green compact electrode 103, and the green compact electrode 103 and the collet holder chuck 101.
A spindle for adjusting the relative distance from the workpiece;
Is a working fluid, and oil is used in this example. Reference numeral 108 denotes a power supply device for generating a pulse discharge, and 117 denotes a swinging device that swings the green compact electrode 103 along the chuck surface of the collet holder holder 110. FIG. 5 is a view for explaining the swinging operation of the green compact electrode 103 with respect to the chuck surface of the collet holder holder 110 which is the processing surface.
【００２２】次に表面処理方法および図４に示した装置
の動作について説明する。コレットホルダ保持具１１０
のチャック面と円錐形状の圧粉体電極１０３を図５に示
すような位置関係で微小間隙を隔てて対向させて設置
し、放電加工液１０７中において、コレットホルダ保持
具１１０のチャック面と所定間隔を保った状態で、圧粉
体電極１０３を揺動装置１１７によりコレットホルダ保
持具１１０のチャック面に沿って揺動させながら電源装
置１０８によりパルス状の放電を発生させる。すると電
極１０３が消耗し、電極１０３の成分であるＴｉを中心
とした硬質被膜がコレットホルダ保持具１１０のすり鉢
形状のチャック面に形成される。Next, the surface treatment method and the operation of the apparatus shown in FIG. 4 will be described. Collet holder holder 110
The chuck surface of the collet holder 103 and the chuck surface of the collet holder holder 110 are disposed in the electric discharge machining liquid 107 in a predetermined relationship with a conical compact electrode 103 in a positional relationship as shown in FIG. In a state where the interval is maintained, a pulse-like discharge is generated by the power supply device 108 while the powder compact electrode 103 is rocked along the chuck surface of the collet holder holder 110 by the rocking device 117. Then, the electrode 103 is consumed, and a hard film centering on Ti, which is a component of the electrode 103, is formed on the mortar-shaped chuck surface of the collet holder holder 110.
【００２３】なお、圧粉体電極１０３の形状はコレット
ホルダ保持具１１０のチャック面より小径の円錐台形で
あればよく、必ずしもコレットホルダ保持具１１０のチ
ャック面と同じ長さや勾配を有する円錐形でなくてもよ
い。勾配が異なる場合には、図示していないが、電極１
０３を傾斜させることによりチャック面と電極１０３を
所定間隔を保って対向させることができる。The shape of the compact electrode 103 may be a truncated cone having a smaller diameter than the chuck surface of the collet holder holder 110, and is necessarily a cone having the same length and gradient as the chuck surface of the collet holder holder 110. It is not necessary. If the gradient is different, the electrode 1 (not shown)
By inclining 03, the chuck surface and the electrode 103 can be opposed at a predetermined interval.
【００２４】以上のように、本実施の形態によればコレ
ットホルダ保持具１１０のチャック面のようなすり鉢形
状の表面に、円錐台形状の処理電極１０３を使用して放
電表面処理を施すように構成したので、処理電極１０３
の製作が容易になり、さまざまな長さ、幅、勾配の円錐
面に対しても同一の処理電極１０３で処理が可能にな
り、処理電極１０３が均等に消耗して均一な放電表面処
理が実現できる。As described above, according to the present embodiment, the discharge surface treatment is performed on the mortar-shaped surface such as the chuck surface of the collet holder holder 110 using the processing electrode 103 having the shape of a truncated cone. Because of the configuration, the processing electrode 103
The same processing electrode 103 can be used for processing conical surfaces of various lengths, widths, and gradients, and the processing electrode 103 is evenly consumed to achieve a uniform discharge surface treatment. it can.
【００２５】なお、上記実施の形態３では電極１０３を
駆動することによって電極１０３をコレットホルダ保持
具１１０のチャック面に沿って揺動させるように構成し
た場合について示したが、コレットホルダ保持具１１０
を駆動することによって電極１０３をコレットホルダ保
持具１１０のチャック面に沿って揺動させるように構成
してもよい。また、上記実施の形態３ではすり鉢状の処
理面を有するコレットホルダ保持具１１０のチャック面
の表面処理について示したが、図１に示したような円錐
台形状の処理面を有するコレットホルダ１０１のチャッ
ク面の表面処理についても同様に、電極１０３またはコ
レットホルダ１０１を駆動して電極１０３をコレットホ
ルダ１０１のチャック面に沿って揺動させることによる
放電表面処理が可能である。In the third embodiment, the case where the electrode 103 is swung along the chuck surface of the collet holder holder 110 by driving the electrode 103 has been described.
May be driven to swing the electrode 103 along the chuck surface of the collet holder holder 110. Further, in the third embodiment, the surface treatment of the chuck surface of the collet holder holder 110 having the mortar-shaped processing surface has been described, but the collet holder 101 having the truncated conical processing surface as shown in FIG. Similarly, for the surface treatment of the chuck surface, the discharge surface treatment by driving the electrode 103 or the collet holder 101 to swing the electrode 103 along the chuck surface of the collet holder 101 is possible.
【００２６】なお、上記各実施の形態では放電表面処理
用電極１０３として、ＴｉＨ2（水素化チタン）系の圧
粉体電極を用いたが、ソリッドのＴｉ電極や、Ｔｉ以外
にも炭化物が硬質の物質であるＶ（バナジウム）、Ｎｂ
（ニオブ）、Ｔａ（タンタル）等を成分とする電極やコ
バルトとタングステンカーバイトの混合電極など、また
は金属粉末あるいは金属化合物粉末あるいはセラミック
粉末を圧縮整形した圧粉体電極など、他の材質の電極を
用いてもよい。In each of the above embodiments, a TiH 2 (titanium hydride) -based green compact electrode is used as the discharge surface treatment electrode 103, but a solid Ti electrode or a carbide other than Ti is hard. V (vanadium), Nb
Electrodes of other materials, such as an electrode containing (niobium), Ta (tantalum) or the like, a mixed electrode of cobalt and tungsten carbide, or a green compact electrode formed by compressing and shaping a metal powder, a metal compound powder or a ceramic powder. May be used.
【００２７】さらに、上記各実施の形態ではコレットホ
ルダ１０１およびコレットホルダ保持具１１０のチャッ
ク面に表面処理を施す場合について説明したが、これに
限るものではなく、円錐状の処理面を有するものであれ
ば、他のものにも適用可能であり、具体的には、例えば
圧延ローラ、列車の車輪のレールとの接地面、軸受、セ
ンタリングポンチのような工具の先端などの表面処理に
適用できる。Further, in each of the above-described embodiments, the case where the surface treatment is performed on the chuck surfaces of the collet holder 101 and the collet holder holder 110 has been described. However, the present invention is not limited to this, and has a conical processing surface. If there is, it can be applied to other things, and more specifically, it can be applied to surface treatment of, for example, a rolling roller, a contact surface of a train wheel with a rail, a bearing, and a tip of a tool such as a centering punch.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、金
属、金属の化合物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮
成形した圧粉体、または金属を電極として、円錐状の処
理面を有するワークと上記電極との間に放電を発生さ
せ、そのエネルギーにより、上記ワークの処理面に電極
材料または電極材料が放電エネルギーにより反応した物
質からなる被膜を形成する放電表面処理方法であって、
上記電極として円錐台形状の電極を用い、上記電極とワ
ーク間に所定の間隔を保った状態で両者を共に回転させ
ながら放電を発生させるので、さまざまな高さ、幅、広
がり角の円錐面に対しても同一の、しかも簡単に製作で
きる円錐台形の電極を用いて、電極が消耗しても均一な
放電表面処理を行うことができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, there is provided a compact having a metal, a metal compound, or a ceramic powder compacted or a metal having an electrode and a conical treated surface. A discharge surface treatment method for generating a discharge between the electrode and the electrode, and forming a coating made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted with the discharge energy on the treatment surface of the workpiece by the energy thereof,
A frustoconical electrode is used as the electrode, and discharge is generated while rotating both electrodes while maintaining a predetermined distance between the electrode and the work, so that the conical surface of various heights, widths, and divergence angles can be formed. Even when the electrodes are worn out, the same discharge surface treatment can be performed uniformly by using the same and easily manufactured truncated conical electrodes.
【００２９】第２の発明によれば、金属、金属の化合
物、もしくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉
体、または金属を電極として、円錐状の処理面を有する
ワークと上記電極との間に放電を発生させ、そのエネル
ギーにより、上記ワークの処理面に電極材料または電極
材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜
を形成する放電表面処理方法であって、上記電極として
円錐台形状の電極を用い、上記電極とワーク間に所定の
間隔を保った状態で上記電極を上記ワークの処理面に沿
って揺動させながら放電を発生させるので、さまざまな
高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても同一の、しかも
簡単に製作できる円錐台形の電極を用いて、電極が消耗
しても均一な放電表面処理を行うことができる。According to the second invention, a compact having a metal, a metal compound, or a ceramics powder compression-molded, or a metal as an electrode is provided between a workpiece having a conical treated surface and the electrode. A discharge surface treatment method for generating a discharge and forming a film made of an electrode material or a material in which the electrode material has reacted by the discharge energy on the treatment surface of the work by the energy thereof, wherein the electrode having a truncated cone shape is used as the electrode. The discharge is generated while oscillating the electrode along the processing surface of the work while maintaining a predetermined distance between the electrode and the work, so that the conical surface of various heights, widths, and spread angles can be used. Even when the electrodes are worn out, the same discharge surface treatment can be performed uniformly by using the same and easily manufactured truncated conical electrodes.
【００３０】第３の発明によれば、第１または第２の発
明において、ワークの処理面がコレットホルダまたはコ
レットホルダ保持具のチャック面であるので、さまざま
な高さ、幅、広がり角の円錐状チャック面に対しても同
一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用い
て、均一な改質層が形成され、耐摩耗性に優れたチャッ
ク面が得られる。According to the third aspect, in the first or second aspect, since the processing surface of the work is the chuck surface of the collet holder or the collet holder holder, the cone having various heights, widths, and divergence angles is provided. A uniform reforming layer is formed using the same frustum-shaped electrode that can be easily manufactured on the chuck surface, and a chuck surface having excellent wear resistance can be obtained.
【００３１】第４の発明によれば、円錐状の処理面を有
するワークの上記処理面に電極材料または電極材料が放
電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成す
る放電表面処理装置であって、金属、金属の化合物、も
しくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体、また
は金属からなり、円錐台形状の放電面を有して上記処理
面と所定間隔を介して対向配置される電極と、該電極と
ワークの処理面との間隔を調節する手段と、上記電極を
回転させる手段と、上記ワークを回転させる手段と、上
記電極とワークとの間に放電を発生させる電源装置と、
上記電極とワークとの間に加工液を供給する手段とを備
えたので、さまざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対
しても同一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極
を用いて、電極が消耗しても均一な放電表面処理を行う
ことができる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a discharge surface treatment apparatus for forming a coating made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted by discharge energy on the above-mentioned treatment surface of a work having a conical treatment surface, A metal, a compound of a metal, or a compact formed by compression-molding a ceramic powder, or a metal, having a truncated cone-shaped discharge surface, an electrode disposed opposite to the treatment surface at a predetermined distance, and Means for adjusting the distance between the electrode and the processing surface of the work, means for rotating the electrode, means for rotating the work, and a power supply for generating a discharge between the electrode and the work,
Since there is provided a means for supplying a machining liquid between the electrode and the work, the same, even for a conical surface having various heights, widths, and divergence angles, and a truncated conical electrode that can be easily manufactured is used. As a result, even if the electrodes are worn, uniform discharge surface treatment can be performed.
【００３２】第５の発明によれば、円錐状の処理面を有
するワークの上記処理面に電極材料または電極材料が放
電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成す
る放電表面処理装置であって、金属、金属の化合物、も
しくはセラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体、また
は金属からなり、円錐台形状の放電面を有して上記処理
面と所定間隔を介して対向配置される電極と、該電極と
ワークの処理面との間隔を調節する手段と、上記電極を
上記処理面に沿って揺動させる手段と、上記電極とワー
クとの間に放電を発生させる電源装置と、上記電極とワ
ークとの間に加工液を供給する手段とを備えたので、さ
まざまな高さ、幅、広がり角の円錐面に対しても同一
の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用いて、
電極が消耗しても均一な放電表面処理を行うことができ
る。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a discharge surface treatment apparatus for forming a film made of an electrode material or a substance in which the electrode material has reacted by discharge energy on the above-mentioned treatment surface of a work having a conical treatment surface, A metal, a compound of a metal, or a compact formed by compression-molding a ceramic powder, or a metal, having a truncated cone-shaped discharge surface, an electrode disposed opposite to the treatment surface at a predetermined distance, and Means for adjusting the distance between the electrode and the processing surface of the workpiece, means for oscillating the electrode along the processing surface, a power supply device for generating a discharge between the electrode and the workpiece, And means for supplying a machining fluid between it and the same, even for various heights, widths, and conical surfaces of divergent angles, using a truncated conical electrode that can be easily manufactured,
Even when the electrodes are worn, uniform discharge surface treatment can be performed.
【００３３】第６の発明によれば、第４または第５の発
明において、ワークの処理面がコレットホルダまたはコ
レットホルダ保持具のチャック面であるので、さまざま
な高さ、幅、広がり角の円錐状チャック面に対しても同
一の、しかも簡単に製作できる円錐台形の電極を用い
て、均一な改質層が形成され、耐摩耗性に優れたチャッ
ク面が得られる。According to the sixth invention, in the fourth or fifth invention, since the processing surface of the work is the chuck surface of the collet holder or the collet holder holder, the cone having various heights, widths, and divergence angles is provided. A uniform reforming layer is formed using the same frustum-shaped electrode that can be easily manufactured on the chuck surface, and a chuck surface having excellent wear resistance can be obtained.
【図１】 本発明の実施の形態１による表面処理装置を
示す断面構成図である。FIG. 1 is a sectional configuration diagram showing a surface treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態１における円錐形状の電
極とコレットホルダのチャック面の位置関係の変化を示
す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a change in a positional relationship between a conical electrode and a chuck surface of a collet holder according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態２による表面処理装置を
示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a surface treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施の形態３による表面処理装置を
示す断面構成図である。FIG. 4 is a sectional configuration diagram showing a surface treatment apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図５】 コレットホルダ保持具のチャック面に対する
電極の揺動動作を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a swinging operation of an electrode with respect to a chuck surface of a collet holder holder.
８ Ｚ軸駆動機構、 ９ Ｘ軸駆動機構、 １０ Ｙ軸
駆動機構、 １１ 回転および傾斜駆動機構、 １２
回転軸、 １４ 制御回路、 １５ 軌跡移動制御回
路、 １６ 極間検出回路、 １０１ コレットホル
ダ、 １０２ ワーク回転装置、 １０３ 電極、 １
０４ 電極回転装置、 １０５ 主軸、 １０６ 加工
槽、 １０７ 加工液、 １０８ 電源装置、 １０９
ワーク支持部材、 １１０ コレットホルダ保持具、
１１１ ワーク回転および傾斜保持部材、 １１２
Ｘ軸テーブル、 １１３ Ｙ軸テーブル、 １１４ モ
ータ、１１５ 軸受、 １１６ スピンドル １１７
揺動装置。8 Z axis drive mechanism, 9 X axis drive mechanism, 10 Y axis drive mechanism, 11 rotation and tilt drive mechanism, 12
Rotation axis, 14 control circuit, 15 locus movement control circuit, 16 gap detection circuit, 101 collet holder, 102 work rotating device, 103 electrode, 1
04 electrode rotating device, 105 spindle, 106 processing tank, 107 processing liquid, 108 power supply device, 109
Work support member, 110 collet holder holder,
111 Work rotation and tilt holding member, 112
X axis table, 113 Y axis table, 114 motor, 115 bearing, 116 spindle 117
Rocking device.
Claims (6)
クスの粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極と
して、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間
に放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワーク
の処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーに
より反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理
方法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用
い、上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で両
者を共に回転させながら放電を発生させることを特徴と
する放電表面処理方法。An electric discharge is generated between a workpiece having a conical processing surface and said electrode using a green compact obtained by compression-molding a metal, a metal compound, or a ceramic powder, or a metal as an electrode. A discharge surface treatment method for forming a film made of an electrode material or a substance in which the electrode material reacts by discharge energy on the treatment surface of the work by energy, wherein a frustoconical electrode is used as the electrode, and the electrode and the work A discharge surface treatment method, wherein a discharge is generated while rotating both of them while keeping a predetermined interval therebetween.
クスの粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属を電極と
して、円錐状の処理面を有するワークと上記電極との間
に放電を発生させ、そのエネルギーにより、上記ワーク
の処理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーに
より反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理
方法であって、上記電極として円錐台形状の電極を用
い、上記電極とワーク間に所定の間隔を保った状態で上
記電極を上記ワークの処理面に沿って揺動させながら放
電を発生させることを特徴とする放電表面処理方法。2. A discharge is generated between a workpiece having a conical processing surface and said electrode, using a green compact obtained by compression-molding a metal, a metal compound, or a ceramic powder, or a metal as an electrode. A discharge surface treatment method for forming a film made of an electrode material or a substance in which the electrode material reacts by discharge energy on the treatment surface of the work by energy, wherein a frustoconical electrode is used as the electrode, and the electrode and the work A discharge surface treatment method, wherein a discharge is generated while the electrode is swung along a processing surface of the workpiece while maintaining a predetermined interval therebetween.
コレットホルダ保持具のチャック面である請求項１また
は２記載の放電表面処理方法。3. The discharge surface treatment method according to claim 1, wherein the processing surface of the workpiece is a chuck surface of the collet holder or the collet holder holder.
理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーにより
反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理装置
であって、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属からなり、円
錐台形状の放電面を有して上記処理面と所定間隔を介し
て対向配置される電極と、該電極とワークの処理面との
間隔を調節する手段と、上記電極を回転させる手段と、
上記ワークを回転させる手段と、上記電極とワークとの
間に放電を発生させる電源装置と、上記電極とワークと
の間に加工液を供給する手段とを備えたことを特徴とす
る放電表面処理装置。4. A discharge surface treatment apparatus for forming a coating made of an electrode material or a substance obtained by reacting the electrode material by discharge energy on the treatment surface of a workpiece having a conical treatment surface, the device comprising a metal, a compound of a metal, Alternatively, an electrode made of a compact formed by compression-molding ceramic powder, or metal, having a truncated conical discharge surface, disposed opposite to the processing surface at a predetermined distance, and a processing surface of the electrode and the workpiece Means for adjusting the interval between, and means for rotating the electrode,
A discharge surface treatment comprising: means for rotating the work; a power supply device for generating a discharge between the electrode and the work; and means for supplying a working fluid between the electrode and the work. apparatus.
理面に電極材料または電極材料が放電エネルギーにより
反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理装置
であって、金属、金属の化合物、もしくはセラミックス
の粉末を圧縮成形した圧粉体、または金属からなり、円
錐台形状の放電面を有して上記処理面と所定間隔を介し
て対向配置される電極と、該電極とワークの処理面との
間隔を調節する手段と、上記電極を上記処理面に沿って
揺動させる手段と、上記電極とワークとの間に放電を発
生させる電源装置と、上記電極とワークとの間に加工液
を供給する手段とを備えたことを特徴とする放電表面処
理装置。5. A discharge surface treatment apparatus for forming a coating made of an electrode material or a substance obtained by reacting the electrode material with discharge energy on the treatment surface of a workpiece having a conical treatment surface, the treatment device comprising a metal, a compound of a metal, Alternatively, an electrode made of a compact formed by compression-molding ceramic powder, or metal, having a truncated conical discharge surface, disposed opposite to the processing surface at a predetermined distance, and a processing surface of the electrode and the workpiece Means for adjusting the distance between the electrode and the workpiece, means for oscillating the electrode along the processing surface, a power supply device for generating a discharge between the electrode and the workpiece, and a machining fluid between the electrode and the workpiece. A discharge surface treatment apparatus, comprising:
コレットホルダ保持具のチャック面である請求項４また
は５記載の放電表面処理装置。6. The discharge surface treatment apparatus according to claim 4, wherein the processing surface of the work is a chuck surface of a collet holder or a collet holder holder.
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|---|---|---|---|
| JP3317898A JPH11229158A (en) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | Electric discharge surface treatment and device therefor |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007211351A (en) * | 2007-05-28 | 2007-08-23 | Suzuki Motor Corp | Method of forming valve seat coating film |
| JP2014128866A (en) * | 2012-11-29 | 2014-07-10 | Naotake Mori | Coating method |
-
1998
- 1998-02-16 JP JP3317898A patent/JPH11229158A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007211351A (en) * | 2007-05-28 | 2007-08-23 | Suzuki Motor Corp | Method of forming valve seat coating film |
| JP2014128866A (en) * | 2012-11-29 | 2014-07-10 | Naotake Mori | Coating method |
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