JPH11223661A - 集積回路の検査方法及び検査装置 - Google Patents
集積回路の検査方法及び検査装置Info
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- JPH11223661A JPH11223661A JP10027168A JP2716898A JPH11223661A JP H11223661 A JPH11223661 A JP H11223661A JP 10027168 A JP10027168 A JP 10027168A JP 2716898 A JP2716898 A JP 2716898A JP H11223661 A JPH11223661 A JP H11223661A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端
子とを電磁リレー等を介在させずに接続したままの状態
で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良否を検
査する方法及び装置を提供する 【解決手段】 複数の電源端子12,13,14のそれ
ぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流成分遮断用
コイル2,3,4を挿入し、複数の電源端子のうちの一
つ14に信号発生器7から交流信号又はパルス信号を印
加し、この印加された信号が他の電源端子13に伝達さ
れるか否かを、電源端子13に接続された信号検出回路
5によって検出する。
子とを電磁リレー等を介在させずに接続したままの状態
で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良否を検
査する方法及び装置を提供する 【解決手段】 複数の電源端子12,13,14のそれ
ぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流成分遮断用
コイル2,3,4を挿入し、複数の電源端子のうちの一
つ14に信号発生器7から交流信号又はパルス信号を印
加し、この印加された信号が他の電源端子13に伝達さ
れるか否かを、電源端子13に接続された信号検出回路
5によって検出する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は複数の電源端子を有
し、それらの電源端子が内部接続されている集積回路の
検査工程において、複数の電源端子間の内部接続の良否
を判定する検査方法及び検査装置に関する。
し、それらの電源端子が内部接続されている集積回路の
検査工程において、複数の電源端子間の内部接続の良否
を判定する検査方法及び検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】特に高速動作する集積回路は、電源供給
用の内部回路のインピーダンスをできるだけ下げるため
に、同一電源の電源端子を複数有する場合が多い。通
常、複数の電源端子は集積回路の内部で相互に接続され
ている。この電源端子相互間の接続が断線している場
合、特定の電源供給経路に過大な電源電流が流れてLS
Iの寿命が短くなったり、短期的な故障に至ったりする
おそれがある。そこで、従来は、集積回路の検査工程に
おいて、図3に示すような回路を用いて電源端子間の内
部接続が断線していないかチェックしていた。
用の内部回路のインピーダンスをできるだけ下げるため
に、同一電源の電源端子を複数有する場合が多い。通
常、複数の電源端子は集積回路の内部で相互に接続され
ている。この電源端子相互間の接続が断線している場
合、特定の電源供給経路に過大な電源電流が流れてLS
Iの寿命が短くなったり、短期的な故障に至ったりする
おそれがある。そこで、従来は、集積回路の検査工程に
おいて、図3に示すような回路を用いて電源端子間の内
部接続が断線していないかチェックしていた。
【0003】図3において、検査対象の集積回路は内部
接続された複数の電源端子12,13,14を有する。
また、例えば集積回路の信号入力端子10には、保護回
路として2本のダイオード15,16が電源端子14及
びGND(グランド)端子17との間に内蔵されてい
る。つまり、電源端子14と信号入力端子10との間に
はカソードを電源端子14側にして第1ダイオード15
が接続され、信号入力端子10とGND端子17との間
にはアノードをGND端子17側にして第2ダイオード
16が接続されている。したがって、電源端子14とG
ND端子17との間に2本のダイオード15,16が直
列接続されていることになる。この保護回路を利用して
電源端子間の内部接続がチェックされる。
接続された複数の電源端子12,13,14を有する。
また、例えば集積回路の信号入力端子10には、保護回
路として2本のダイオード15,16が電源端子14及
びGND(グランド)端子17との間に内蔵されてい
る。つまり、電源端子14と信号入力端子10との間に
はカソードを電源端子14側にして第1ダイオード15
が接続され、信号入力端子10とGND端子17との間
にはアノードをGND端子17側にして第2ダイオード
16が接続されている。したがって、電源端子14とG
ND端子17との間に2本のダイオード15,16が直
列接続されていることになる。この保護回路を利用して
電源端子間の内部接続がチェックされる。
【0004】検査装置には集積回路1に電力供給する電
源回路9の他に、定電流源23及び電圧計22が備えら
れている。定電流源23は矢印24で示す方向の電流を
発生する。定電流源23及び電圧計22は電磁リレー2
1を介して電源回路9の電源供給路に接続され、更に電
磁リレー18,19,20を介して検査対象の集積回路
の電源端子12,13,14にそれぞれ接続される。
源回路9の他に、定電流源23及び電圧計22が備えら
れている。定電流源23は矢印24で示す方向の電流を
発生する。定電流源23及び電圧計22は電磁リレー2
1を介して電源回路9の電源供給路に接続され、更に電
磁リレー18,19,20を介して検査対象の集積回路
の電源端子12,13,14にそれぞれ接続される。
【0005】集積回路1の電源端子間の内部接続を検査
するに際し、まず電磁リレー21を閉じて、定電流源2
3及び電圧計22を電源供給路に接続する。次に、例え
ば電磁リレー18を閉じると、定電流源23及び電圧計
22に接続された電源供給路が第2の電源端子13に接
続される。第2の電源端子13と第3の電源端子14と
が内部配線11によって正常に接続されている場合、検
査装置の定電流源23から供給される電流24は、GN
D端子17、保護回路のダイオード15,16、内部配
線11、第2の電源端子13、電磁リレー18,21を
通る閉ループを流れる。このとき検査装置の電圧計22
に検出される電圧値は、2本の直列接続された保護回路
用ダイオード15,16によって生ずる順方向電圧(約
1.3V)にほぼ等しい。
するに際し、まず電磁リレー21を閉じて、定電流源2
3及び電圧計22を電源供給路に接続する。次に、例え
ば電磁リレー18を閉じると、定電流源23及び電圧計
22に接続された電源供給路が第2の電源端子13に接
続される。第2の電源端子13と第3の電源端子14と
が内部配線11によって正常に接続されている場合、検
査装置の定電流源23から供給される電流24は、GN
D端子17、保護回路のダイオード15,16、内部配
線11、第2の電源端子13、電磁リレー18,21を
通る閉ループを流れる。このとき検査装置の電圧計22
に検出される電圧値は、2本の直列接続された保護回路
用ダイオード15,16によって生ずる順方向電圧(約
1.3V)にほぼ等しい。
【0006】一方、集積回路1の内部配線11が断線し
ている場合、上述の閉ループが形成されないため、検査
装置の定電流源23から供給される電流が上記閉ループ
に流れず、検査装置の電圧計22に検出される電圧値は
発生可能な最大電圧まで上昇していく。したがって、電
圧計22の検出電圧が所定値以下であれば集積回路の電
源端子間の内部配線11は正常であり、所定値を越えて
おれば内部配線11が断線していると判断することがで
きる。
ている場合、上述の閉ループが形成されないため、検査
装置の定電流源23から供給される電流が上記閉ループ
に流れず、検査装置の電圧計22に検出される電圧値は
発生可能な最大電圧まで上昇していく。したがって、電
圧計22の検出電圧が所定値以下であれば集積回路の電
源端子間の内部配線11は正常であり、所定値を越えて
おれば内部配線11が断線していると判断することがで
きる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の検
査方法の欠点として次のような問題がある。つまり、例
えば標準のLSIテスターを用いて、その電源供給端子
と検査対象の集積回路の電源端子との間に複数の電磁リ
レーを介在させる結果、その内部抵抗による電圧降下が
発生する。このため、高速かつ大消費電流の集積回路の
検査において、集積回路に十分な電力が供給されなくな
り、その結果、集積回路が正常に動作せずに機能検査で
不良と判定されるおそれがある。
査方法の欠点として次のような問題がある。つまり、例
えば標準のLSIテスターを用いて、その電源供給端子
と検査対象の集積回路の電源端子との間に複数の電磁リ
レーを介在させる結果、その内部抵抗による電圧降下が
発生する。このため、高速かつ大消費電流の集積回路の
検査において、集積回路に十分な電力が供給されなくな
り、その結果、集積回路が正常に動作せずに機能検査で
不良と判定されるおそれがある。
【0008】本発明は、上記のような従来の問題点を解
決すべく、LSIテスターの電源供給端子と集積回路の
電源端子とを電磁リレー等を介在させずに接続したまま
の状態で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良
否を検査する方法及び装置を提供することを目的とす
る。
決すべく、LSIテスターの電源供給端子と集積回路の
電源端子とを電磁リレー等を介在させずに接続したまま
の状態で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良
否を検査する方法及び装置を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明による検査方法
は、複数の電源端子を有し、それらの電源端子が内部接
続されている集積回路の検査工程において、電源端子間
の内部接続の良否を判定する方法であって、複数の電源
端子のそれぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流
成分遮断用コイルを挿入し、複数の電源端子のうちの一
つに交流信号又はパルス信号を印加し、この印加された
信号が他の電源端子に伝達されるか否かをチェックする
ことを特徴とする。
は、複数の電源端子を有し、それらの電源端子が内部接
続されている集積回路の検査工程において、電源端子間
の内部接続の良否を判定する方法であって、複数の電源
端子のそれぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流
成分遮断用コイルを挿入し、複数の電源端子のうちの一
つに交流信号又はパルス信号を印加し、この印加された
信号が他の電源端子に伝達されるか否かをチェックする
ことを特徴とする。
【0010】上記の検査方法に使用される本発明の検査
装置は、検査対象の集積回路の複数の電源端子に対して
電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回路の電
源供給端子と複数の電源端子のそれぞれとの間に接続さ
れる複数の交流成分遮断用コイルと、複数の電源端子の
うちの一つに交流信号又はパルス信号を印加するための
信号発生器と、他の電源端子に現れる交流信号又はパル
ス信号を検出する信号検出回路とを備えていることを特
徴とする。
装置は、検査対象の集積回路の複数の電源端子に対して
電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回路の電
源供給端子と複数の電源端子のそれぞれとの間に接続さ
れる複数の交流成分遮断用コイルと、複数の電源端子の
うちの一つに交流信号又はパルス信号を印加するための
信号発生器と、他の電源端子に現れる交流信号又はパル
ス信号を検出する信号検出回路とを備えていることを特
徴とする。
【0011】本発明の検査方法及び検査装置によれば、
検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端子とは交流
成分遮断用コイルにを介して接続され、交流成分遮断用
コイルよる電圧降下はほとんど無いので、十分な電源電
圧を検査対象の集積回路に供給することができる。
検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端子とは交流
成分遮断用コイルにを介して接続され、交流成分遮断用
コイルよる電圧降下はほとんど無いので、十分な電源電
圧を検査対象の集積回路に供給することができる。
【0012】
【本発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図1に本発明の検査
方法及び検査装置に用いられる電源端子間接続の検査回
路を示す。従来技術で説明したのと同じ集積回路1の検
査を例にとって説明する。この検査回路では、検査対象
の集積回路1の電源端子12,13,14が交流成分遮
断用コイル2,3,4を介して検査装置の電源供給回路
9の電源供給端子にそれぞれ接続されている。また、電
源供給端子をGNDレベルに接続する電磁リレー8が備
えられている。更に、集積回路1の複数の電源端子1
2,13,14のうちの一つに交流電圧又はパルス電圧
を印加するための信号発生器7と、他の電源端子に接続
される信号検出回路5とが設けられている。
て、図面を参照しながら説明する。図1に本発明の検査
方法及び検査装置に用いられる電源端子間接続の検査回
路を示す。従来技術で説明したのと同じ集積回路1の検
査を例にとって説明する。この検査回路では、検査対象
の集積回路1の電源端子12,13,14が交流成分遮
断用コイル2,3,4を介して検査装置の電源供給回路
9の電源供給端子にそれぞれ接続されている。また、電
源供給端子をGNDレベルに接続する電磁リレー8が備
えられている。更に、集積回路1の複数の電源端子1
2,13,14のうちの一つに交流電圧又はパルス電圧
を印加するための信号発生器7と、他の電源端子に接続
される信号検出回路5とが設けられている。
【0013】集積回路1の電源端子間の内部接続を検査
するに際し、電源供給回路9の作動が停止している状態
で電磁リレー8を閉じて電源供給路をGNDに接続す
る。次に、複数の電源端子のうちの一つ、例えば第3の
電源端子14に信号発生器7を接続して交流信号又はパ
ルス信号を第3の電源端子14に印加する。更に、例え
ば第2の電源端子13に信号検出回路5を接続する。信
号発生器7は特別なものではなく、汎用の信号発生回路
を用いることができる。信号検出回路5についても種々
の公知の回路を用いることができる。交流又はパルス信
号の有無をチェックできればよい。例えば、直流成分カ
ット用のコンデンサと整流回路及び電圧比較器で構成し
ても良い。
するに際し、電源供給回路9の作動が停止している状態
で電磁リレー8を閉じて電源供給路をGNDに接続す
る。次に、複数の電源端子のうちの一つ、例えば第3の
電源端子14に信号発生器7を接続して交流信号又はパ
ルス信号を第3の電源端子14に印加する。更に、例え
ば第2の電源端子13に信号検出回路5を接続する。信
号発生器7は特別なものではなく、汎用の信号発生回路
を用いることができる。信号検出回路5についても種々
の公知の回路を用いることができる。交流又はパルス信
号の有無をチェックできればよい。例えば、直流成分カ
ット用のコンデンサと整流回路及び電圧比較器で構成し
ても良い。
【0014】上記のような接続状態における要部回路を
図2に示す。集積回路の第2の電源端子13と第3の電
源端子14とを接続する内部配線11が正常な場合は、
信号発生器7から第3の電源端子14に与えられたパル
ス信号aは、集積回路の内部配線11を通って第2の電
源端子13に伝達される。伝達されたパルス信号bは、
第2の電源端子13に接続された信号検出回路5で検出
される。
図2に示す。集積回路の第2の電源端子13と第3の電
源端子14とを接続する内部配線11が正常な場合は、
信号発生器7から第3の電源端子14に与えられたパル
ス信号aは、集積回路の内部配線11を通って第2の電
源端子13に伝達される。伝達されたパルス信号bは、
第2の電源端子13に接続された信号検出回路5で検出
される。
【0015】一方、集積回路の第2の電源端子13と第
3の電源端子14とを接続する内部配線11が途中で断
線している場合は、第3の電源端子14に与えられたパ
ルス信号aが第2の電源端子13まで伝達されないの
で、信号検出回路5で検出すべき信号が検出されない。
このようにして、第2の電源端子13と第3の電源端子
14とを接続する内部配線11の断線の有無を検査する
ことができる。第1の電源端子12と第2の電源端子1
3又は第3の電源端子14との内部接続配線について
も、同様にして検査することができる。
3の電源端子14とを接続する内部配線11が途中で断
線している場合は、第3の電源端子14に与えられたパ
ルス信号aが第2の電源端子13まで伝達されないの
で、信号検出回路5で検出すべき信号が検出されない。
このようにして、第2の電源端子13と第3の電源端子
14とを接続する内部配線11の断線の有無を検査する
ことができる。第1の電源端子12と第2の電源端子1
3又は第3の電源端子14との内部接続配線について
も、同様にして検査することができる。
【0016】なお、図2において、交流成分遮断用コイ
ル4の働きにより、信号発生回路7から第3の電源端子
に印加されたパルス信号aが電源供給路を通って他の電
源端子に回り込むことはない。他の交流成分遮断用コイ
ル2,3についても同様の働きをする。
ル4の働きにより、信号発生回路7から第3の電源端子
に印加されたパルス信号aが電源供給路を通って他の電
源端子に回り込むことはない。他の交流成分遮断用コイ
ル2,3についても同様の働きをする。
【0017】
【発明の効果】以上のように本発明の検査方法及び検査
装置によれば、検査装置(LSIテスター)の電源供給
端子と集積回路の電源端子とを電磁リレー等を介在させ
ずに接続したままの状態で、集積回路の複数の電源端子
間の内部接続の良否を検査することができる。その結
果、高速かつ大消費電流の集積回路の検査においても、
集積回路に十分な電力が供給されるので、機能検査不良
と誤って判定することがない。
装置によれば、検査装置(LSIテスター)の電源供給
端子と集積回路の電源端子とを電磁リレー等を介在させ
ずに接続したままの状態で、集積回路の複数の電源端子
間の内部接続の良否を検査することができる。その結
果、高速かつ大消費電流の集積回路の検査においても、
集積回路に十分な電力が供給されるので、機能検査不良
と誤って判定することがない。
【0018】また、電源供給路にパルスイズが乗って
も、交流成分遮断用コイルによってノイズが遮断される
ので、検査対象の集積回路に電源端子からノイズが入る
ことを防止でき、検査の信頼性が高まるといった効果も
奏する。
も、交流成分遮断用コイルによってノイズが遮断される
ので、検査対象の集積回路に電源端子からノイズが入る
ことを防止でき、検査の信頼性が高まるといった効果も
奏する。
【図1】本発明による集積回路の複数の電源端子の内部
接続を検査するための回路構成を示す図
接続を検査するための回路構成を示す図
【図2】図1の検査回路の一接続例の要部回路図
【図3】集積回路の複数の電源端子の内部接続を検査す
るための従来の回路構成を示す図
るための従来の回路構成を示す図
1 検査対象の集積回路 2,3,4 交流成分遮断用コイル 5 信号検出回路 7 信号発生器 8 電磁リレー 9 電源供給回路 10 集積回路の信号入力端子 11 集積回路の電源端子間の内部接続配線 12,13,14 集積回路の電源端子 15、16 集積回路の保護回路用ダイオード 17 集積回路のGND端子
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の電源端子を有し、それらの電源端
子が内部接続されている集積回路の検査工程において、
前記電源端子間の内部接続の良否を判定する方法であっ
て、前記複数の電源端子のそれぞれと検査装置の電源供
給端子との間に交流成分遮断用コイルを挿入し、前記複
数の電源端子のうちの一つに交流信号又はパルス信号を
印加し、この印加された信号が他の電源端子に伝達され
るか否かをチェックすることを特徴とする集積回路の検
査方法。 - 【請求項2】 検査対象の集積回路の複数の電源端子に
対して電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回
路の電源供給端子と前記複数の電源端子のそれぞれとの
間に接続される複数の交流成分遮断用コイルと、前記複
数の電源端子のうちの一つに交流信号又はパルス信号を
印加するための信号発生器と、他の電源端子に現れる交
流信号又はパルス信号を検出する信号検出回路とを備え
ていることを特徴とする集積回路の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10027168A JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10027168A JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11223661A true JPH11223661A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12213539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10027168A Pending JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11223661A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008072639A1 (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
-
1998
- 1998-02-09 JP JP10027168A patent/JPH11223661A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008072639A1 (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
JP5066100B2 (ja) * | 2006-12-13 | 2012-11-07 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
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