JPH11223521A - 無接触吸着具 - Google Patents
無接触吸着具Info
- Publication number
- JPH11223521A JPH11223521A JP3806098A JP3806098A JPH11223521A JP H11223521 A JPH11223521 A JP H11223521A JP 3806098 A JP3806098 A JP 3806098A JP 3806098 A JP3806098 A JP 3806098A JP H11223521 A JPH11223521 A JP H11223521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- air
- suction device
- chamber
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 空気を噴出することによりワ−クを吸引し、
定間隙をあけて保持する無接触吸着具の前記間隙を大き
くする。 【構成】 基体中央部の吸引用の空気噴出ノズル、基体
底面に形成する作動面に設けた空気吐出管および前記吐
出管に高圧空気を均等に供給する均圧室とで構成され
る。
定間隙をあけて保持する無接触吸着具の前記間隙を大き
くする。 【構成】 基体中央部の吸引用の空気噴出ノズル、基体
底面に形成する作動面に設けた空気吐出管および前記吐
出管に高圧空気を均等に供給する均圧室とで構成され
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動する液晶ガラス基
板、鋼板、プラスチック板等の反り、うねり、段差を表
面に接触することなく定間隙を維持する無接触吸着具、
この無接触吸着具を応用した変位センサ−及び測定方法
に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、空気を噴出することにより、ワ−
クに接触することなく一定間隙を維持し、表面のうね
り、反り等の変位による移動量を検出する特開平９−２
８０８４６号がある。 【０００３】また別に無接触吸着具として特開昭６３−
１７６２４２号がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平９
−２８０８４６号の変位センサ−の空気保持器は、測定
時においてワ−クとの間隙が小さいため、大きな反り、
段差の測定は難しく、また測定開始時に空気保持器をワ
−クとの間隙が大きい時点で空気を噴出すると、慣性力
によりワ−クと衝突するという欠点がある。 【０００５】また特開昭６３−１７６２４２号の無接触
吸着具は、測定開始時の慣性力によりワ−クと衝突する
という目的で吸着用空気を供給するノズルより吐出管を
分岐し、ワ−クに向かって空気噴出し、ワ−クと吸着具
との間隙を大きくするとともに、反発力を生じさせ接触
を阻止する目的のものであるが、吐出管の形状が複雑で
形成が難しく、またノズル周壁より多数の吐出管を分岐
し、均等に十分な吐出空気量を供給することは不可能で
あり、このため間隙を大きくすること及び所定の反発力
を生じさせることは不可能である。 【０００６】 【発明が解決するための手段】中央部のノズルより空気
を噴出することにより、ワ−クを無接触状態にて吸着す
る平板状の基体の底辺に形成する作動面の周辺部に、空
気吐出口を設け、前記基体の上方に、上部に空気送入口
を備え、かつ内部空間に形成する均圧室に前記ノズル及
び空気吐出口が開口している蓋体を覆設してなる無接触
吸着具により解決が可能である。 【０００７】 【作用】空気送入口１より供給された高圧空気Ｃは均圧
室１０に入る。 【０００８】均圧室１０に入った高圧空気Ｃはノズル３
からクッション室４へ噴出され、作動面５とワ−ク７と
の間隙を通過し、無接触吸着具Ａより外部へ放出され
る。 【０００９】その間高速気流によりエゼクタ機能及びベ
ルヌ−イ機能を生じ負圧を発生し、ワ−ク７を吸引す
る。 【００１０】一方均圧室１０より吐出管６に入り作動面
５よりワ−ク７に向かって噴出した高圧空気Ｃは、ワ−
ク７に対して反発力を与え、吸引され、慣性力により急
接近してきたワ−ク７が無接触吸着具Ａと接触するのを
阻止する。 【００１１】また作動面５に開口する吐出管６より高圧
空気Ｃを噴出し反発力を増加することにより無接触吸着
具Ａとワ−ク７との間隙を大きく維持することができ
る。 【００１２】 【実施例１】以下に本発明の実施例を図面により説明す
る。 【００１３】図１に本発明の無接触吸着具Ａの側面断面
図、図２にその下平面図を示す。 【００１４】中央内部の空間をクッション室４とし、側
壁底面を作動面５とし中央部にクッション室４に通じる
ノズル３および上面より作動面５に浅く形成された圧力
室８に貫通する吐出管６を設けている基体Ｌの上方に、
内部に空間に均圧室１０を形成した椀状の上部に空気送
入口１設けた蓋体Ｍをネジにより覆設して無接触吸着具
Ａを形成する。 【００１５】高圧空気源より管路を介して無接触吸着具
Ａに送られてきた高圧空気Ｃは、空気送入口１より均圧
室１０に入る。 【００１６】均圧室１０の高圧空気Ｃの一部はノズル３
よりクッション室４を通りワ−ク７に向かって噴出さ
れ、ワ−ク７と作動面５との間隙ｈを通過し外部へ排出
される。 【００１７】吸引当初の間隙ｈが大きい時点では、無接
触吸着具Ａのノズル３、クッション室４及び作動面５と
ワ−ク７間では、高圧空気Ｃの高速気流によりエゼクタ
機能およびベルヌ−イ機能を発揮し、負圧を発生し吸引
力を生じワ−ク７は吸引され作動面５に急接近する。 【００１８】ワ−ク７が接近し間隙ｈが小になれば、圧
力室型エアクッション機能及び空気流のクッション機能
により内部圧力が上昇し反発力を生じてワ−ク７を引き
離す。＄一方、均圧室１０はノズル３及び全吐出管６の
断面積の総計に比し格段に大きいため、均等量の高圧空
気Ｃが各吐出管６より圧力室８を経てワ−ク７に向かっ
て噴出する。 【００１９】この間圧力室８にて生じる昇圧作用により
ワ−ク７に対して反発力を生じ、引き離す力を発揮す
る。上述の吸引力、反発力及びワ−ク７の荷重の均衡し
た間隙にてワ−ク７は維持される。 【００２０】従来の平板に設けられたノズルより空気を
噴出するベルヌ−イチャックあるいは吐出管より均等か
つ十分な空気量の噴出の無い吸着具では、ワ−ク吸引当
初接近時の反発力が小さいため、接近してきたワ−クの
慣性力に打ち勝つことができずワ−クが吸着具と接触
し、ワ−クを損傷する場合がある。 【００２１】また吸引維持時においては上述の吐出管か
ら空気の噴出が不十分なため反発力が弱く、間隙ｈが小
さい。 【００２２】図３及び図４は多数の吐出管６を備えた無
接触吸着具Ｂである。 【００２３】図５及び図６はワ−クに対して角度を有し
た吐出管６及び圧力室８を備えた無接触吸着具Ｄ，Ｅで
ある。 【００２４】また本発明の無接触吸着具Ａのノズル３及
びクッション室４との組合せによる吸引機構に代えて、
従来技術のベルヌ−イチャックと称せられるノズル３の
みにて構成される吸引機構の周囲に吐出管６を配設した
無接触吸着具でもよい。 【００２５】図９はネジ機構にて締結された基体Ｌと蓋
体Ｍを回転することにより昇降させ、ノズル３より突出
した座１１と空気送入口１下端より突出した座１２との
間隔を調節可能にすることにより、吐出管６に供給する
高圧空気Ｃ量を調節し、反発力及び維持間隙ｈを調節可
能にした無接触吸着具Ｆである。 【００２６】図９に記載の吐出管６へ供給する高圧空気
Ｃ量の調節機構は無接触吸着具Ｂ，Ｄ，Ｅに装着するこ
とも可能である。 【００２７】図１０は、段差を設けた作動面２０を有す
る無接触吸着具である。 【００２８】図１１は、ノズル３に供給する高圧空気Ｃ
と均圧室１０から吐出管６に高圧空気Ｃをそれぞれ空気
送入口１３と空気送入口２１とに分離した無接触吸着具
である。 【００２９】図１２および図１３には、クッション室４
の底部のノズル３の直下に、ノズル３の口径よりやや大
きな邪魔板１７をクッション室４を設けた無接触吸着具
Ｇを示す。 【００３０】無接触吸着具Ｇは、ワ−ク７が薄いもの、
柔軟なもの、通気性のあるもの、穴のあるもの等である
場合に適応が可能である。 【００３１】 【実施例２】以下に本発明の無接触吸着具を応用した変
位センサ−Ｎの実施例を説明する。 【００３２】図１４は、無接触吸着具を用いた変位セン
サＮ−の構成図を示す。 【００３３】ブラケット１６に昇降及び回転自由に保持
された無接触吸着具Ａに、無接触吸着具Ａの移動量を検
出する検出装置Ｐが連接されて変位センサ−Ｎを構成す
る。 【００３４】上記の構成に於て変位センサ−Ｎの無接触
吸着具Ａに高圧空気Ｃを供給することにより作動面５に
近接してしている測定対象のワ−ク７とは、常に一定距
離を保持している。 【００３５】従ってワ−ク７の表面に変位量が生じる
と、無接触吸着具Ａは前記変位量に応じて移動する。 【００３６】その移動量を無接触吸着具Ａに連接する検
出装置Ｐにて検出する。 【００３７】かようにしてワ−ク７の反り、うねり、段
差等の測定が可能である。 【００３８】図１５には、変位センサ−Ｎを用いてワ−
クの変位によるカメラＲの焦点の調節方法を示す。 【００３９】変位センサ−Ｎの無接触吸着具は無接触吸
着具Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇの他従来技術のベルヌ−イチャ
ックの周囲にに吐出管を設けたものでもよい。 【００４０】 【実施例３】図１６には、本発明の変位測定方法を示
す。 【００４１】水平方向移動自由なテーブル２０上方に、
変位センサ−Ｎをブラケット１９に昇降自由に装着した
測定方法を示す。 【００４２】テーブル２０上に置かれたワ−ク７に変位
センサ−Ｎを降下接近させ高圧空気Ｃを供給する。 【００４３】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。 【００４４】次にテ−ブル２０を移動し、ワ−ク７の測
定箇所を無接触吸着具Ａの直下に移動さる。 【００４５】無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間
隔を維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反
り、段差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位
量だけ無接触吸着具Ａが移動する。 【００４６】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。 【００４７】本例では、テーブル１７が移動する方式で
あるが、テーブル１７は固定し変位センサ−Ｎを移動具
１９に装着し、水平方向に移動させ測定する方法でもよ
い。 【００４８】また上記移動具１９とテーブル２０が互い
に直角方向に移動する方式でもよい。 【００４９】図１７は、連続して移動する帯状のワ−ク
７の変位測定方法を示す。 【００５０】移動する帯状のワ−ク７の上方に、変位セ
ンサ−Ｎをバ−２２に取り付けて構成する変位測定方法
を示す。 【００５１】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａを移動し
てきたワ−ク７の近辺まで降下させ、高圧空気Ｃを供給
する。 【００５２】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。 【００５３】ワ−ク７が変位センサ−Ｎの下を通過する
時点で、無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間隔を
維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反り、段
差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位量だけ
無接触吸着具Ａが移動する。 【００５４】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。 【００５５】 【発明の効果】上述したように本発明により、高圧空気
Ｃを噴出することによりワ−クとの間隙を維持する無接
触吸着具において、従来技術より格段に大きな間隙が維
持でき、かつ吸引開始時に無接触吸着具とワ−クとの間
隙が大きい時点で空気を噴出しても、接近するワ−クの
慣性力によりワ−クと衝突するということがない無接触
吸着具の提供が可能となり、したがって大きなうねり、
反り、段差、突起のあるワ−クを損傷することなく、表
面変位を測定する変位センサ−および測定方法を提供す
ることが可能になった。
板、鋼板、プラスチック板等の反り、うねり、段差を表
面に接触することなく定間隙を維持する無接触吸着具、
この無接触吸着具を応用した変位センサ−及び測定方法
に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、空気を噴出することにより、ワ−
クに接触することなく一定間隙を維持し、表面のうね
り、反り等の変位による移動量を検出する特開平９−２
８０８４６号がある。 【０００３】また別に無接触吸着具として特開昭６３−
１７６２４２号がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平９
−２８０８４６号の変位センサ−の空気保持器は、測定
時においてワ−クとの間隙が小さいため、大きな反り、
段差の測定は難しく、また測定開始時に空気保持器をワ
−クとの間隙が大きい時点で空気を噴出すると、慣性力
によりワ−クと衝突するという欠点がある。 【０００５】また特開昭６３−１７６２４２号の無接触
吸着具は、測定開始時の慣性力によりワ−クと衝突する
という目的で吸着用空気を供給するノズルより吐出管を
分岐し、ワ−クに向かって空気噴出し、ワ−クと吸着具
との間隙を大きくするとともに、反発力を生じさせ接触
を阻止する目的のものであるが、吐出管の形状が複雑で
形成が難しく、またノズル周壁より多数の吐出管を分岐
し、均等に十分な吐出空気量を供給することは不可能で
あり、このため間隙を大きくすること及び所定の反発力
を生じさせることは不可能である。 【０００６】 【発明が解決するための手段】中央部のノズルより空気
を噴出することにより、ワ−クを無接触状態にて吸着す
る平板状の基体の底辺に形成する作動面の周辺部に、空
気吐出口を設け、前記基体の上方に、上部に空気送入口
を備え、かつ内部空間に形成する均圧室に前記ノズル及
び空気吐出口が開口している蓋体を覆設してなる無接触
吸着具により解決が可能である。 【０００７】 【作用】空気送入口１より供給された高圧空気Ｃは均圧
室１０に入る。 【０００８】均圧室１０に入った高圧空気Ｃはノズル３
からクッション室４へ噴出され、作動面５とワ−ク７と
の間隙を通過し、無接触吸着具Ａより外部へ放出され
る。 【０００９】その間高速気流によりエゼクタ機能及びベ
ルヌ−イ機能を生じ負圧を発生し、ワ−ク７を吸引す
る。 【００１０】一方均圧室１０より吐出管６に入り作動面
５よりワ−ク７に向かって噴出した高圧空気Ｃは、ワ−
ク７に対して反発力を与え、吸引され、慣性力により急
接近してきたワ−ク７が無接触吸着具Ａと接触するのを
阻止する。 【００１１】また作動面５に開口する吐出管６より高圧
空気Ｃを噴出し反発力を増加することにより無接触吸着
具Ａとワ−ク７との間隙を大きく維持することができ
る。 【００１２】 【実施例１】以下に本発明の実施例を図面により説明す
る。 【００１３】図１に本発明の無接触吸着具Ａの側面断面
図、図２にその下平面図を示す。 【００１４】中央内部の空間をクッション室４とし、側
壁底面を作動面５とし中央部にクッション室４に通じる
ノズル３および上面より作動面５に浅く形成された圧力
室８に貫通する吐出管６を設けている基体Ｌの上方に、
内部に空間に均圧室１０を形成した椀状の上部に空気送
入口１設けた蓋体Ｍをネジにより覆設して無接触吸着具
Ａを形成する。 【００１５】高圧空気源より管路を介して無接触吸着具
Ａに送られてきた高圧空気Ｃは、空気送入口１より均圧
室１０に入る。 【００１６】均圧室１０の高圧空気Ｃの一部はノズル３
よりクッション室４を通りワ−ク７に向かって噴出さ
れ、ワ−ク７と作動面５との間隙ｈを通過し外部へ排出
される。 【００１７】吸引当初の間隙ｈが大きい時点では、無接
触吸着具Ａのノズル３、クッション室４及び作動面５と
ワ−ク７間では、高圧空気Ｃの高速気流によりエゼクタ
機能およびベルヌ−イ機能を発揮し、負圧を発生し吸引
力を生じワ−ク７は吸引され作動面５に急接近する。 【００１８】ワ−ク７が接近し間隙ｈが小になれば、圧
力室型エアクッション機能及び空気流のクッション機能
により内部圧力が上昇し反発力を生じてワ−ク７を引き
離す。＄一方、均圧室１０はノズル３及び全吐出管６の
断面積の総計に比し格段に大きいため、均等量の高圧空
気Ｃが各吐出管６より圧力室８を経てワ−ク７に向かっ
て噴出する。 【００１９】この間圧力室８にて生じる昇圧作用により
ワ−ク７に対して反発力を生じ、引き離す力を発揮す
る。上述の吸引力、反発力及びワ−ク７の荷重の均衡し
た間隙にてワ−ク７は維持される。 【００２０】従来の平板に設けられたノズルより空気を
噴出するベルヌ−イチャックあるいは吐出管より均等か
つ十分な空気量の噴出の無い吸着具では、ワ−ク吸引当
初接近時の反発力が小さいため、接近してきたワ−クの
慣性力に打ち勝つことができずワ−クが吸着具と接触
し、ワ−クを損傷する場合がある。 【００２１】また吸引維持時においては上述の吐出管か
ら空気の噴出が不十分なため反発力が弱く、間隙ｈが小
さい。 【００２２】図３及び図４は多数の吐出管６を備えた無
接触吸着具Ｂである。 【００２３】図５及び図６はワ−クに対して角度を有し
た吐出管６及び圧力室８を備えた無接触吸着具Ｄ，Ｅで
ある。 【００２４】また本発明の無接触吸着具Ａのノズル３及
びクッション室４との組合せによる吸引機構に代えて、
従来技術のベルヌ−イチャックと称せられるノズル３の
みにて構成される吸引機構の周囲に吐出管６を配設した
無接触吸着具でもよい。 【００２５】図９はネジ機構にて締結された基体Ｌと蓋
体Ｍを回転することにより昇降させ、ノズル３より突出
した座１１と空気送入口１下端より突出した座１２との
間隔を調節可能にすることにより、吐出管６に供給する
高圧空気Ｃ量を調節し、反発力及び維持間隙ｈを調節可
能にした無接触吸着具Ｆである。 【００２６】図９に記載の吐出管６へ供給する高圧空気
Ｃ量の調節機構は無接触吸着具Ｂ，Ｄ，Ｅに装着するこ
とも可能である。 【００２７】図１０は、段差を設けた作動面２０を有す
る無接触吸着具である。 【００２８】図１１は、ノズル３に供給する高圧空気Ｃ
と均圧室１０から吐出管６に高圧空気Ｃをそれぞれ空気
送入口１３と空気送入口２１とに分離した無接触吸着具
である。 【００２９】図１２および図１３には、クッション室４
の底部のノズル３の直下に、ノズル３の口径よりやや大
きな邪魔板１７をクッション室４を設けた無接触吸着具
Ｇを示す。 【００３０】無接触吸着具Ｇは、ワ−ク７が薄いもの、
柔軟なもの、通気性のあるもの、穴のあるもの等である
場合に適応が可能である。 【００３１】 【実施例２】以下に本発明の無接触吸着具を応用した変
位センサ−Ｎの実施例を説明する。 【００３２】図１４は、無接触吸着具を用いた変位セン
サＮ−の構成図を示す。 【００３３】ブラケット１６に昇降及び回転自由に保持
された無接触吸着具Ａに、無接触吸着具Ａの移動量を検
出する検出装置Ｐが連接されて変位センサ−Ｎを構成す
る。 【００３４】上記の構成に於て変位センサ−Ｎの無接触
吸着具Ａに高圧空気Ｃを供給することにより作動面５に
近接してしている測定対象のワ−ク７とは、常に一定距
離を保持している。 【００３５】従ってワ−ク７の表面に変位量が生じる
と、無接触吸着具Ａは前記変位量に応じて移動する。 【００３６】その移動量を無接触吸着具Ａに連接する検
出装置Ｐにて検出する。 【００３７】かようにしてワ−ク７の反り、うねり、段
差等の測定が可能である。 【００３８】図１５には、変位センサ−Ｎを用いてワ−
クの変位によるカメラＲの焦点の調節方法を示す。 【００３９】変位センサ−Ｎの無接触吸着具は無接触吸
着具Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇの他従来技術のベルヌ−イチャ
ックの周囲にに吐出管を設けたものでもよい。 【００４０】 【実施例３】図１６には、本発明の変位測定方法を示
す。 【００４１】水平方向移動自由なテーブル２０上方に、
変位センサ−Ｎをブラケット１９に昇降自由に装着した
測定方法を示す。 【００４２】テーブル２０上に置かれたワ−ク７に変位
センサ−Ｎを降下接近させ高圧空気Ｃを供給する。 【００４３】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。 【００４４】次にテ−ブル２０を移動し、ワ−ク７の測
定箇所を無接触吸着具Ａの直下に移動さる。 【００４５】無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間
隔を維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反
り、段差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位
量だけ無接触吸着具Ａが移動する。 【００４６】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。 【００４７】本例では、テーブル１７が移動する方式で
あるが、テーブル１７は固定し変位センサ−Ｎを移動具
１９に装着し、水平方向に移動させ測定する方法でもよ
い。 【００４８】また上記移動具１９とテーブル２０が互い
に直角方向に移動する方式でもよい。 【００４９】図１７は、連続して移動する帯状のワ−ク
７の変位測定方法を示す。 【００５０】移動する帯状のワ−ク７の上方に、変位セ
ンサ−Ｎをバ−２２に取り付けて構成する変位測定方法
を示す。 【００５１】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａを移動し
てきたワ−ク７の近辺まで降下させ、高圧空気Ｃを供給
する。 【００５２】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。 【００５３】ワ−ク７が変位センサ−Ｎの下を通過する
時点で、無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間隔を
維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反り、段
差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位量だけ
無接触吸着具Ａが移動する。 【００５４】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。 【００５５】 【発明の効果】上述したように本発明により、高圧空気
Ｃを噴出することによりワ−クとの間隙を維持する無接
触吸着具において、従来技術より格段に大きな間隙が維
持でき、かつ吸引開始時に無接触吸着具とワ−クとの間
隙が大きい時点で空気を噴出しても、接近するワ−クの
慣性力によりワ−クと衝突するということがない無接触
吸着具の提供が可能となり、したがって大きなうねり、
反り、段差、突起のあるワ−クを損傷することなく、表
面変位を測定する変位センサ−および測定方法を提供す
ることが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の無接触吸着具Ａの側面断面図を示
す。 【図２】 本発明の無接触吸着具Ａの下平面図を示す。 【図３】 本発明の無接触吸着具Ｂの側面断面図を示
す。 【図４】 本発明の無接触吸着具Ｂの下平面図を示す。 【図５】 本発明の無接触吸着具Ｄの側面断面図を示
す。 【図６】 本発明の無接触吸着具Ｄの下平面図を示す。 【図７】 本発明の無接触吸着具Ｅの側面断面図を示
す。 【図８】 本発明の無接触吸着具Ｅの下平面図を示す。 【図９】 本発明の無接触吸着具Ｆの側面断面図であ
る。 【図１０】本発明の無接触吸着具の他の作動面の側面断
面図である。 【図１１】 無接触吸着具の他の吐出管への空気供給方
式の側面断面図である。 【図１２】 本発明の無接触吸着具Ｇの側面断面図を示
す。 【図１３】 本発明の無接触吸着具Ｇの下平面図を示
す。 【図１４】 本発明の変位センサ−の側面図である。 【図１５】 本発明の他の変位センサ−の側面図であ
る。 【図１６】 本発明の測定方法の側面図である。 【図１７】 本発明の他の測定方法の側面図である。 【符号の説明】 １、１３、１４ 空気送入口 ３ ノズル ４ クッション室 ５、２１ 作動面 ６ 吐出管 ７ ワ−ク ８ 圧力室 ９ 基体 １０ 均圧室 １１、１２ 座 １６ ブラケット １７ 邪魔板 １９ ブラケット ２０ テーブル Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ 無接触吸着具 Ｃ 高圧空気 Ｌ 基体 Ｍ 蓋体 Ｎ 変位センサ− Ｐ 検出装置 Ｒ カメラ
す。 【図２】 本発明の無接触吸着具Ａの下平面図を示す。 【図３】 本発明の無接触吸着具Ｂの側面断面図を示
す。 【図４】 本発明の無接触吸着具Ｂの下平面図を示す。 【図５】 本発明の無接触吸着具Ｄの側面断面図を示
す。 【図６】 本発明の無接触吸着具Ｄの下平面図を示す。 【図７】 本発明の無接触吸着具Ｅの側面断面図を示
す。 【図８】 本発明の無接触吸着具Ｅの下平面図を示す。 【図９】 本発明の無接触吸着具Ｆの側面断面図であ
る。 【図１０】本発明の無接触吸着具の他の作動面の側面断
面図である。 【図１１】 無接触吸着具の他の吐出管への空気供給方
式の側面断面図である。 【図１２】 本発明の無接触吸着具Ｇの側面断面図を示
す。 【図１３】 本発明の無接触吸着具Ｇの下平面図を示
す。 【図１４】 本発明の変位センサ−の側面図である。 【図１５】 本発明の他の変位センサ−の側面図であ
る。 【図１６】 本発明の測定方法の側面図である。 【図１７】 本発明の他の測定方法の側面図である。 【符号の説明】 １、１３、１４ 空気送入口 ３ ノズル ４ クッション室 ５、２１ 作動面 ６ 吐出管 ７ ワ−ク ８ 圧力室 ９ 基体 １０ 均圧室 １１、１２ 座 １６ ブラケット １７ 邪魔板 １９ ブラケット ２０ テーブル Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ 無接触吸着具 Ｃ 高圧空気 Ｌ 基体 Ｍ 蓋体 Ｎ 変位センサ− Ｐ 検出装置 Ｒ カメラ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 中央部のノズルより空気を噴出すること
により、ワ−クを無接触状態にて吸着する平板状の基体
の底辺に形成する作動面の周辺部に、空気吐出口を設
け、前記基体の上方に、上部に空気送入口を備え、かつ
内部空間に形成する均圧室に、前記ノズル及び空気吐出
口が開口している蓋体を覆設してなる無接触吸着具。 【請求項２】 空気を噴出することによりワ−クとの間
隙を一定に維持する 【請求項１】記載の無接触吸着具に移動量を検出する検
出装置を具備した変位センサー 【請求項３】 【請求項２】記載の変位センサ−の移動量により、ワ−
クの変位量を測定する変位測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3806098A JPH11223521A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 無接触吸着具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3806098A JPH11223521A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 無接触吸着具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11223521A true JPH11223521A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12514965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3806098A Pending JPH11223521A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 無接触吸着具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11223521A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006261698A (ja) * | 2006-06-02 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持装置 |
| JP2006278831A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Murata Mach Ltd | 非接触保持装置 |
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| JP2012131003A (ja) * | 2010-12-23 | 2012-07-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の非接触搬送装置、配線基板の製造方法 |
| KR20160013545A (ko) * | 2014-07-28 | 2016-02-05 | 한국기계연구원 | 플렉시블 디바이스 와피지 패널 표면 검사 장치 및 방법 |
| US11394016B2 (en) | 2018-08-10 | 2022-07-19 | Lg Energy Solution, Ltd. | Punching system for electrode base material and punching method |
-
1998
- 1998-02-04 JP JP3806098A patent/JPH11223521A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006278831A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Murata Mach Ltd | 非接触保持装置 |
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| JP2006261698A (ja) * | 2006-06-02 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持装置 |
| JP4544634B2 (ja) * | 2006-06-02 | 2010-09-15 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板支持装置 |
| JP2012131003A (ja) * | 2010-12-23 | 2012-07-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の非接触搬送装置、配線基板の製造方法 |
| KR20160013545A (ko) * | 2014-07-28 | 2016-02-05 | 한국기계연구원 | 플렉시블 디바이스 와피지 패널 표면 검사 장치 및 방법 |
| US11394016B2 (en) | 2018-08-10 | 2022-07-19 | Lg Energy Solution, Ltd. | Punching system for electrode base material and punching method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2729785A1 (en) | Air permeability apparatus | |
| JPH11223521A (ja) | 無接触吸着具 | |
| JP5666762B2 (ja) | 測定機 | |
| KR102504620B1 (ko) | 절삭 장치 | |
| JP2012040621A (ja) | 非接触吸着装置 | |
| JP2009130011A (ja) | 基板位置決め装置 | |
| CN111883467A (zh) | 刻蚀槽 | |
| US20050221725A1 (en) | Method of sucking water and water sucking device | |
| JP6564442B2 (ja) | プレス装置 | |
| JP2007081273A (ja) | 基板位置決め装置 | |
| JP3994372B2 (ja) | 空気保持装置 | |
| EP2410288B1 (en) | Method for cleaning the skid of a surface roughness tester | |
| JP2020192341A (ja) | 錠剤印刷装置 | |
| JP2017176646A (ja) | 錠剤印刷装置 | |
| JP2598314B2 (ja) | 硬脆材料の切断装置 | |
| JP3933123B2 (ja) | エア搬送装置 | |
| JPH08197024A (ja) | エア−洗浄装置 | |
| KR101502150B1 (ko) | 솔더볼 공급장치 | |
| JP2006181682A (ja) | 吸着装置 | |
| JP2011108879A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JP2515914B2 (ja) | 吸着保持装置 | |
| US8500914B2 (en) | Device for blowing off bottle bottoms | |
| JP2002043400A (ja) | 回転支持装置 | |
| JPH05138569A (ja) | 無接触プレス | |
| JPH01110105A (ja) | 硬脆材料の切断方法 |