JPH11219884A - 投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造 - Google Patents
投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造Info
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- JPH11219884A JPH11219884A JP10021817A JP2181798A JPH11219884A JP H11219884 A JPH11219884 A JP H11219884A JP 10021817 A JP10021817 A JP 10021817A JP 2181798 A JP2181798 A JP 2181798A JP H11219884 A JPH11219884 A JP H11219884A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きいサイズの露光マスクを使用する投影露
光装置に、小さいサイズの露光マスクを装着できるよう
に構成することにより、作業性の向上と、複数種類の露
光マスクの有効利用を図り、コストの低減を達成する。 【手段】 大きいサイズの露光マスクに合わせた板状体
１に、小さいサイズの露光マスク２と同じ大きさの貫通
孔３を穿設する一方、前記板状体の下面側に、前記貫通
孔内に突出する受け片４を、当該受け片における上面を
前記板状体の下面と同一平面にして設けて、前記貫通孔
３内に小さいサイズの露光マスク２を着脱自在に嵌める
ようにする。
光装置に、小さいサイズの露光マスクを装着できるよう
に構成することにより、作業性の向上と、複数種類の露
光マスクの有効利用を図り、コストの低減を達成する。 【手段】 大きいサイズの露光マスクに合わせた板状体
１に、小さいサイズの露光マスク２と同じ大きさの貫通
孔３を穿設する一方、前記板状体の下面側に、前記貫通
孔内に突出する受け片４を、当該受け片における上面を
前記板状体の下面と同一平面にして設けて、前記貫通孔
３内に小さいサイズの露光マスク２を着脱自在に嵌める
ようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置又は液
晶表示装置の製造に際しその半導体ウエハー等の基板に
表面に対し露光マスク（レチクル）を使用して各種のパ
ターンを投影露光するようにした投影露光装置におい
て、この投影露光装置に対して、大きさ及び厚さの異な
る各種の露光マスクを使用できるようにした治具の構造
に関するものである。
晶表示装置の製造に際しその半導体ウエハー等の基板に
表面に対し露光マスク（レチクル）を使用して各種のパ
ターンを投影露光するようにした投影露光装置におい
て、この投影露光装置に対して、大きさ及び厚さの異な
る各種の露光マスクを使用できるようにした治具の構造
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】一般に、
半導体装置の製造に際しその半導体ウエハーに対して各
種のパターンを投影露光するために使用する露光マスク
には、半導体ウエハーの大きさに合わせて、一辺寸法が
大きい（例えば、６インチ）正方形にした大きいサイズ
の露光マスクと、一辺寸法が小さい（例えば、５イン
チ）正方形にした小さいサイズの露光マスクとがあり、
更に、前記各サイズの露光マスクには、その厚さを厚く
（例えば、０．２５インチ）した厚型の露光マスクと、
厚さを薄く（例えば、０．０９インチ）した薄型の露光
マスクとが存在する。
半導体装置の製造に際しその半導体ウエハーに対して各
種のパターンを投影露光するために使用する露光マスク
には、半導体ウエハーの大きさに合わせて、一辺寸法が
大きい（例えば、６インチ）正方形にした大きいサイズ
の露光マスクと、一辺寸法が小さい（例えば、５イン
チ）正方形にした小さいサイズの露光マスクとがあり、
更に、前記各サイズの露光マスクには、その厚さを厚く
（例えば、０．２５インチ）した厚型の露光マスクと、
厚さを薄く（例えば、０．０９インチ）した薄型の露光
マスクとが存在する。
【０００３】しかし、前記投影露光装置は、例えば、特
開平７−２９８０２号公報等に記載されているように、
下面にパターン膜が形成されている露光マスク（レチク
ル）を、投影露光装置における露光マスクホルダに対し
て、当該露光マスクの下面の周囲が当該露光マスクホル
ダの上面に密接するようにして装着するように構成して
おり、従来における投影露光装置では、一つのサイズ
で、且つ、一つの厚さの露光マスクしか使用することが
できないように構成していることにより、大きいサイズ
の露光マスクを使用する投影露光装置に対して、小さい
サイズの露光マスクを使用することができないから、不
便で、作業性が低いばかりか、複数種類の露光マスクを
有効に利用できず、このために、投影露光に要するコス
トが可成りアップすると言う問題があった。
開平７−２９８０２号公報等に記載されているように、
下面にパターン膜が形成されている露光マスク（レチク
ル）を、投影露光装置における露光マスクホルダに対し
て、当該露光マスクの下面の周囲が当該露光マスクホル
ダの上面に密接するようにして装着するように構成して
おり、従来における投影露光装置では、一つのサイズ
で、且つ、一つの厚さの露光マスクしか使用することが
できないように構成していることにより、大きいサイズ
の露光マスクを使用する投影露光装置に対して、小さい
サイズの露光マスクを使用することができないから、不
便で、作業性が低いばかりか、複数種類の露光マスクを
有効に利用できず、このために、投影露光に要するコス
トが可成りアップすると言う問題があった。
【０００４】本発明は、大きいサイズの露光マスクを使
用する投影露光装置に、小さいサイズの露光マスクをそ
のまま使用できるようにした治具を提供することによ
り、前記した問題を解消することを技術的課題とするも
のである。
用する投影露光装置に、小さいサイズの露光マスクをそ
のまま使用できるようにした治具を提供することによ
り、前記した問題を解消することを技術的課題とするも
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この技術的課題を達成
するため本発明は、「一辺寸法を、一辺寸法を大きくし
た大きいサイズの露光マスクに合わせて正方形に形成し
た板状体を備え、この板状体に、一辺寸法を前記大きい
サイズの露光マスクにおける一辺寸法よりも小さくした
小さいサイズの露光マスクが着脱自在に嵌まる正方形の
貫通孔を穿設する一方、前記板状体の下面側に、その貫
通孔内に嵌めた小さいサイズの露光マスクに対する受け
片を、当該受け片における上面を前記板状体の下面と同
一平面にして設ける。」と言う構成にした。
するため本発明は、「一辺寸法を、一辺寸法を大きくし
た大きいサイズの露光マスクに合わせて正方形に形成し
た板状体を備え、この板状体に、一辺寸法を前記大きい
サイズの露光マスクにおける一辺寸法よりも小さくした
小さいサイズの露光マスクが着脱自在に嵌まる正方形の
貫通孔を穿設する一方、前記板状体の下面側に、その貫
通孔内に嵌めた小さいサイズの露光マスクに対する受け
片を、当該受け片における上面を前記板状体の下面と同
一平面にして設ける。」と言う構成にした。
【０００６】
【発明の作用・効果】このような構成において、板状体
における貫通孔内に、小さいサイズの露光マスクを嵌め
込むことで、この小さいサイズの露光マスクは、前記板
状体に対して、当該小さいサイズの露光マスクにおける
表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が前記
板状体の下面と同一平面になるように、換言すると、当
該小さいサイズの露光マスクにおけるパターン膜を板状
体における下面と同一平面に揃えた状態にして装着でき
る。
における貫通孔内に、小さいサイズの露光マスクを嵌め
込むことで、この小さいサイズの露光マスクは、前記板
状体に対して、当該小さいサイズの露光マスクにおける
表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が前記
板状体の下面と同一平面になるように、換言すると、当
該小さいサイズの露光マスクにおけるパターン膜を板状
体における下面と同一平面に揃えた状態にして装着でき
る。
【０００７】一方、前記板状体は、その一辺の寸法を大
きいサイズの露光マスクに合わせた正方形に形成されて
いるから、この板状体を、投影露光装置に対し、当該板
状体の下面の周囲の部分が投影露光装置における露光マ
スクホルダの上面に接当するように装着することによ
り、この大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、前記した小さいサイズの露光マスクを、
前記板状体を介して、当該小さいサイズの露光マスクの
下面におけるパターン膜を、露光マスクホルダの上面と
同一高さに正確に揃えた状態にして確実に装着できるの
である。
きいサイズの露光マスクに合わせた正方形に形成されて
いるから、この板状体を、投影露光装置に対し、当該板
状体の下面の周囲の部分が投影露光装置における露光マ
スクホルダの上面に接当するように装着することによ
り、この大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、前記した小さいサイズの露光マスクを、
前記板状体を介して、当該小さいサイズの露光マスクの
下面におけるパターン膜を、露光マスクホルダの上面と
同一高さに正確に揃えた状態にして確実に装着できるの
である。
【０００８】また、厚型の露光マスクであっても、薄型
の露光マスクであっても、前記と同様に、大きいサイズ
の露光マスクを使用する投影露光装置に対して、板状体
を介して確実に装着できるのである。従って、本発明に
よると、大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、小さいサイズの薄型露光マスク、及び、
小さいサイズの厚型露光マスクを、当該投影露光装置に
通常適用される大きいサイズの露光マスクと同じように
して使用することができるから、不便さを解消できて作
業性を向上できると共に、複数種類の露光マスクを有効
に利用できて、投影露光に要するコストの低減を達成で
きる効果を有する。
の露光マスクであっても、前記と同様に、大きいサイズ
の露光マスクを使用する投影露光装置に対して、板状体
を介して確実に装着できるのである。従って、本発明に
よると、大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、小さいサイズの薄型露光マスク、及び、
小さいサイズの厚型露光マスクを、当該投影露光装置に
通常適用される大きいサイズの露光マスクと同じように
して使用することができるから、不便さを解消できて作
業性を向上できると共に、複数種類の露光マスクを有効
に利用できて、投影露光に要するコストの低減を達成で
きる効果を有する。
【０００９】また、前記板状体に穿設する貫通孔を、当
該貫通孔が板状体における一つの側面に開口するように
構成することにより、前記板状体を、投影露光装置に対
して装着した状態のもとで、この板状体に対して小さい
サイズの露光マスクを着脱自在に装着することができる
から、その作業性をより向上できる利点を有する。
該貫通孔が板状体における一つの側面に開口するように
構成することにより、前記板状体を、投影露光装置に対
して装着した状態のもとで、この板状体に対して小さい
サイズの露光マスクを着脱自在に装着することができる
から、その作業性をより向上できる利点を有する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
１及び図２の図面について説明する。この図において、
符号１は、アルミニウム等のの金属板製の板状体示し、
この板状体１は、その厚さ寸法Ｔを０．２５インチ（Ｔ
＝６．３５ｍｍ）で、一辺の寸法Ａを６インチ（Ａ＝１
５２．４ｍｍ）にした正方形に形成することにより、６
インチサイズ、つまり、大きいサイズの露光マスク（レ
チクル）を使用する投影露光装置に対して適用できるよ
うに構成されている。
１及び図２の図面について説明する。この図において、
符号１は、アルミニウム等のの金属板製の板状体示し、
この板状体１は、その厚さ寸法Ｔを０．２５インチ（Ｔ
＝６．３５ｍｍ）で、一辺の寸法Ａを６インチ（Ａ＝１
５２．４ｍｍ）にした正方形に形成することにより、６
インチサイズ、つまり、大きいサイズの露光マスク（レ
チクル）を使用する投影露光装置に対して適用できるよ
うに構成されている。
【００１１】また、符号２は、厚さ寸法Ｔ１を０．０９
インチ（Ｔ１＝２．２８６ｍｍ）で、一辺の寸法Ｂを５
インチ（Ｂ＝１２７ｍｍ）の正方形にした５インチサイ
ズ、つまり、小さいサイズの薄型露光マスク（レチク
ル）を示し、この露光マスク２の下面に、パターン膜が
形成れている。そして、前記板状体１に、前記小さいサ
イズの薄型露光マスク２が着脱自在に嵌まる貫通孔３
を、当該貫通孔３が前記板状体１における一つの側面１
ａに対して開口するように穿設する一方、前記板状体１
の下面１ｂに、前記貫通孔３における三つの内側面３
ａ，３ｂ，３ｃの各々から内向きに突出する受け片４
を、当該受け片４における上面４ａが前記板状体１の下
面１ｂと同一平面になるようにして設けるのである。な
お、この受け片４は、貫通孔３における三つの内側面３
ａ，３ｂ，３ｃの全体にわたって連続するように形態に
構成しても良い。
インチ（Ｔ１＝２．２８６ｍｍ）で、一辺の寸法Ｂを５
インチ（Ｂ＝１２７ｍｍ）の正方形にした５インチサイ
ズ、つまり、小さいサイズの薄型露光マスク（レチク
ル）を示し、この露光マスク２の下面に、パターン膜が
形成れている。そして、前記板状体１に、前記小さいサ
イズの薄型露光マスク２が着脱自在に嵌まる貫通孔３
を、当該貫通孔３が前記板状体１における一つの側面１
ａに対して開口するように穿設する一方、前記板状体１
の下面１ｂに、前記貫通孔３における三つの内側面３
ａ，３ｂ，３ｃの各々から内向きに突出する受け片４
を、当該受け片４における上面４ａが前記板状体１の下
面１ｂと同一平面になるようにして設けるのである。な
お、この受け片４は、貫通孔３における三つの内側面３
ａ，３ｂ，３ｃの全体にわたって連続するように形態に
構成しても良い。
【００１２】この構成において、前記板状体１における
貫通孔３内に、前記５インチサイズの薄型露光マスク２
を嵌め込むことで、この５インチサイズの薄型露光マス
ク２は、前記板状体１に対して、当該露光マスク２にお
ける表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が
前記板状体１の下面１ｂと同一平面になるように、換言
すると、当該露光マスク２におけるパターン膜を板状体
１における下面１ｂの同一平面になるように正確に揃え
た状態にして確実に装着されることになる。
貫通孔３内に、前記５インチサイズの薄型露光マスク２
を嵌め込むことで、この５インチサイズの薄型露光マス
ク２は、前記板状体１に対して、当該露光マスク２にお
ける表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が
前記板状体１の下面１ｂと同一平面になるように、換言
すると、当該露光マスク２におけるパターン膜を板状体
１における下面１ｂの同一平面になるように正確に揃え
た状態にして確実に装着されることになる。
【００１３】この場合において、前記板状体１は、その
厚さ寸法Ｔ及び一辺の寸法Ａを６インチサイズの露光マ
スクに合わせたものに構成されているから、この板状体
１を、６インチサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、当該板状体１の下面の周囲の部分が投影
露光装置における露光マスクホルダの上面に接当するよ
うに装着することにより、この６インチサイズの露光マ
スクを使用する投影露光装置に対して、前記した５イン
チサイズの露光マスク２を、前記板状体１を介して、当
該５インチサイズの露光マスク２の下面におけるパター
ン膜を、露光マスクホルダの上面と同一高さに揃えた状
態にして確実に装着できるのである。
厚さ寸法Ｔ及び一辺の寸法Ａを６インチサイズの露光マ
スクに合わせたものに構成されているから、この板状体
１を、６インチサイズの露光マスクを使用する投影露光
装置に対して、当該板状体１の下面の周囲の部分が投影
露光装置における露光マスクホルダの上面に接当するよ
うに装着することにより、この６インチサイズの露光マ
スクを使用する投影露光装置に対して、前記した５イン
チサイズの露光マスク２を、前記板状体１を介して、当
該５インチサイズの露光マスク２の下面におけるパター
ン膜を、露光マスクホルダの上面と同一高さに揃えた状
態にして確実に装着できるのである。
【００１４】また、前記板状体１に対して、前記５イン
チサイズの薄型露光マスク２を装着することに代えて、
５インチサイズで厚さを０．２５インチと言うように厚
くした厚型露光マスクを装着することもできるのであ
る。なお、前記板状体１における上面の三箇所には、こ
れを投影露光装置に装着したときにおける位置合わせの
ためのアライメントマーク５が設けられる。
チサイズの薄型露光マスク２を装着することに代えて、
５インチサイズで厚さを０．２５インチと言うように厚
くした厚型露光マスクを装着することもできるのであ
る。なお、前記板状体１における上面の三箇所には、こ
れを投影露光装置に装着したときにおける位置合わせの
ためのアライメントマーク５が設けられる。
【００１５】また、この板状体１の全表面、特に、下面
１ｂには、露光光線の反射を防ぐための表面処理（例え
ば、酸化クロム層の形成とか、黒色塗料の塗布等）が施
されている。更にまた、前記板状体１における貫通孔３
は、板状体１における一つの側面に開口することによ
り、前記板状体１を、投影露光装置に対して装着した状
態のもとで、この板状体１に対して５インチサイズの露
光マスク２を着脱自在に装着することができるように構
成されている。なお、このように構成する場合には、前
記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面１ａ
に、開閉片６を設けることにより、露光マスク２を貫通
孔３内に嵌めた状態に保持するように構成されている。
１ｂには、露光光線の反射を防ぐための表面処理（例え
ば、酸化クロム層の形成とか、黒色塗料の塗布等）が施
されている。更にまた、前記板状体１における貫通孔３
は、板状体１における一つの側面に開口することによ
り、前記板状体１を、投影露光装置に対して装着した状
態のもとで、この板状体１に対して５インチサイズの露
光マスク２を着脱自在に装着することができるように構
成されている。なお、このように構成する場合には、前
記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面１ａ
に、開閉片６を設けることにより、露光マスク２を貫通
孔３内に嵌めた状態に保持するように構成されている。
【００１６】また、図３に示す別の実施の形態のよう
に、前記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面
１ａに開閉片６を設けて、この開閉片６により露光マス
ク２を貫通孔３における奥の内側面３ｂに対して密着す
るように押圧するように構成することに加えて、貫通孔
３における一つの内側面３ａに、板ばね７等の押圧付勢
手段を設けて、この押圧付勢手段により露光マスク２を
貫通孔３における別の内側面３ｃに対して密着するよう
に押圧するように構成することにより、前記露光マスク
２を、板状体１に対して正確に位置決めすることができ
るのである。
に、前記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面
１ａに開閉片６を設けて、この開閉片６により露光マス
ク２を貫通孔３における奥の内側面３ｂに対して密着す
るように押圧するように構成することに加えて、貫通孔
３における一つの内側面３ａに、板ばね７等の押圧付勢
手段を設けて、この押圧付勢手段により露光マスク２を
貫通孔３における別の内側面３ｃに対して密着するよう
に押圧するように構成することにより、前記露光マスク
２を、板状体１に対して正確に位置決めすることができ
るのである。
【００１７】更にまた、前記貫通孔３における二つの内
側面３ａ，３ｃのうちいずれか一方又は両方に、複数個
のコロ又はボールを回転自在に設けることにより、前記
貫通孔３内への露光マスク２の着脱を容易にすることが
できるのである。
側面３ａ，３ｃのうちいずれか一方又は両方に、複数個
のコロ又はボールを回転自在に設けることにより、前記
貫通孔３内への露光マスク２の着脱を容易にすることが
できるのである。
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１のII−II視拡大側面図である。
【図３】本発明の別の形態を示す斜視図である。
１ 板状体 ２ ５インチサイズ（小さいサイ
ズ）の露光マスク ３ 貫通孔 ４ 受け片 ５ アライメントマーク ６ 開閉片 ７ 板ばね
ズ）の露光マスク ３ 貫通孔 ４ 受け片 ５ アライメントマーク ６ 開閉片 ７ 板ばね
Claims (2)
- 【請求項１】一辺寸法を、一辺寸法を大きくした大きい
サイズの露光マスクに合わせて正方形に形成した板状体
を備え、この板状体に、一辺寸法を前記大きいサイズの
露光マスクにおける一辺寸法よりも小さくした小さいサ
イズの露光マスクが着脱自在に嵌まる正方形の貫通孔を
穿設する一方、前記板状体の下面側に、その貫通孔内に
嵌めた小さいサイズの露光マスクに対する受け片を、当
該受け片における上面を前記板状体の下面と同一平面に
して設けたことを特徴とする投影露光装置における露光
マスクサイズ変換用治具の構造。 - 【請求項２】前記請求項１において、前記貫通孔を、当
該貫通孔が前記板状体における一つの辺の側面に開口す
るように構成したことを特徴とする投影露光装置におけ
る露光マスクサイズ変換用治具の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02181798A JP3912884B2 (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02181798A JP3912884B2 (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11219884A true JPH11219884A (ja) | 1999-08-10 |
| JP3912884B2 JP3912884B2 (ja) | 2007-05-09 |
Family
ID=12065622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02181798A Expired - Fee Related JP3912884B2 (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3912884B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007164047A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Advanced Color Tec Kk | フォトマスク |
| JP2009157095A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Nsk Ltd | 近接露光装置及び近接露光装置用マスクアダプタ |
| JP2011013196A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| WO2020162396A1 (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-13 | 株式会社ニコン | マスクアダプタ、マスクアダプタ取付工具、露光装置、およびデバイス製造方法 |
-
1998
- 1998-02-03 JP JP02181798A patent/JP3912884B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007164047A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Advanced Color Tec Kk | フォトマスク |
| JP2009157095A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Nsk Ltd | 近接露光装置及び近接露光装置用マスクアダプタ |
| JP2011013196A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| WO2020162396A1 (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-13 | 株式会社ニコン | マスクアダプタ、マスクアダプタ取付工具、露光装置、およびデバイス製造方法 |
| JPWO2020162396A1 (ja) * | 2019-02-06 | 2021-12-02 | 株式会社ニコン | マスクアダプタ、マスクアダプタ取付工具、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3912884B2 (ja) | 2007-05-09 |
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