JPH1121677A - 超微粒子の成膜，成形方法及びその装置 - Google Patents
超微粒子の成膜，成形方法及びその装置Info
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- JPH1121677A JPH1121677A JP9174048A JP17404897A JPH1121677A JP H1121677 A JPH1121677 A JP H1121677A JP 9174048 A JP9174048 A JP 9174048A JP 17404897 A JP17404897 A JP 17404897A JP H1121677 A JPH1121677 A JP H1121677A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単な構成で不要な粒径の超微粒子を除去する
超微粒子の成膜，成形方法及びその装置を提供する。 【解決手段】超微粒子分級装置１１，１２を超微粒子の
搬送路の途中に配設するか或いは超微粒子の発生装置の
後方に配設することによって、均質な超微粒子のみを被
膜や薄膜或いは成形品の原料とする。
超微粒子の成膜，成形方法及びその装置を提供する。 【解決手段】超微粒子分級装置１１，１２を超微粒子の
搬送路の途中に配設するか或いは超微粒子の発生装置の
後方に配設することによって、均質な超微粒子のみを被
膜や薄膜或いは成形品の原料とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超精密分野におい
て用いられる超微粒子の成膜及び成形方法に関するもの
である。
て用いられる超微粒子の成膜及び成形方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば本願出願人が既に出願して
いる特開平８−８１７７４号公報で開示している技術に
おいては、３次元立体の原料として粒径の小さい超微粒
子が必要とされる。
いる特開平８−８１７７４号公報で開示している技術に
おいては、３次元立体の原料として粒径の小さい超微粒
子が必要とされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記技
術においては、低真空の不活性ガス中で金属或いは有機
物からなる粒径の揃った超微粒子を安定して確保するこ
とは非常に困難であった。これは、原料となる金属或い
は有機物を加熱蒸発する際、或いはアルゴンガス等の不
活性ガスで超微粒子を含むエアロゾル化した超微粒子流
として搬送する際に、微粒子同士が再結合して粒径の大
きな微粒子も同時に生じてしまうからである。
術においては、低真空の不活性ガス中で金属或いは有機
物からなる粒径の揃った超微粒子を安定して確保するこ
とは非常に困難であった。これは、原料となる金属或い
は有機物を加熱蒸発する際、或いはアルゴンガス等の不
活性ガスで超微粒子を含むエアロゾル化した超微粒子流
として搬送する際に、微粒子同士が再結合して粒径の大
きな微粒子も同時に生じてしまうからである。
【０００４】また、金属やセラミックスの超微粒子をガ
スで攪拌し、エアロゾル化してノズルから吹き付け堆積
させる場合、このエアロゾル中に含まれる１〜２μｍ以
上の微粒子は、ガスで加速するには質量が大きすぎるた
めに充分な速度が得られず、そのため基板や堆積物表面
に激突して、微粒子の運動エネルギーが熱エネルギーに
変換されるときに、焼結を生じるのに充分な高温が得ら
れない。
スで攪拌し、エアロゾル化してノズルから吹き付け堆積
させる場合、このエアロゾル中に含まれる１〜２μｍ以
上の微粒子は、ガスで加速するには質量が大きすぎるた
めに充分な速度が得られず、そのため基板や堆積物表面
に激突して、微粒子の運動エネルギーが熱エネルギーに
変換されるときに、焼結を生じるのに充分な高温が得ら
れない。
【０００５】このため、堆積膜中に焼結していない部分
が残り、膜の剥離や膜機能の特性の劣化、成形物の形状
精度の低下などの原因になったり、更に粒径の大きな粒
子が焼結・堆積している膜をエッチングすることがあ
り、膜の成長速度が著しく低下する等といった問題を有
していた。
が残り、膜の剥離や膜機能の特性の劣化、成形物の形状
精度の低下などの原因になったり、更に粒径の大きな粒
子が焼結・堆積している膜をエッチングすることがあ
り、膜の成長速度が著しく低下する等といった問題を有
していた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記従来の欠点
を解消するもので、エアロゾル中の超微粒子を粒径に応
じて分級した超微粒子の堆積方法であって、上記エアロ
ゾルの流れと対面するように遮蔽板を設けて、該遮蔽板
に上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロ
ゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆
積させて除去することによって、上記特定の粒径未満の
超微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜方法を
提供するものである。
を解消するもので、エアロゾル中の超微粒子を粒径に応
じて分級した超微粒子の堆積方法であって、上記エアロ
ゾルの流れと対面するように遮蔽板を設けて、該遮蔽板
に上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロ
ゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆
積させて除去することによって、上記特定の粒径未満の
超微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜方法を
提供するものである。
【０００７】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、上記エ
アロゾルの流れと対面するように遮蔽板を設けて、該遮
蔽板に上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エ
アロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上
に堆積させて除去することによって、上記特定の粒径未
満の超微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形方
法を提供するものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、上記エ
アロゾルの流れと対面するように遮蔽板を設けて、該遮
蔽板に上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エ
アロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上
に堆積させて除去することによって、上記特定の粒径未
満の超微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形方
法を提供するものである。
【０００８】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を特定
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、
エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜方法を提供
するものである。
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、
エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜方法を提供
するものである。
【０００９】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を特定
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、
エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形方法を提供
するものである。
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、
エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形方法を提供
するものである。
【００１０】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると共に、
上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる清浄ガ
ス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の超微粒
子のみを分級し成膜する超微粒子の成膜方法を提供する
ものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると共に、
上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる清浄ガ
ス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の超微粒
子のみを分級し成膜する超微粒子の成膜方法を提供する
ものである。
【００１１】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると共に、
上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる清浄ガ
ス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の超微粒
子のみを分級し成形する超微粒子の成形方法を提供する
ものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると共に、
上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる清浄ガ
ス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の超微粒
子のみを分級し成形する超微粒子の成形方法を提供する
ものである。
【００１２】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、上記エ
アロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対面する
ように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを介して
上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロゾ
ル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆積
させて除去することによって、上記特定の粒径未満の超
微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜装置を提
供するものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、上記エ
アロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対面する
ように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを介して
上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロゾ
ル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆積
させて除去することによって、上記特定の粒径未満の超
微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜装置を提
供するものである。
【００１３】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、上記エ
アロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対面する
ように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを介して
上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロゾ
ル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆積
させて除去することによって、上記特定の粒径未満の超
微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形装置を提
供するものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、上記エ
アロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対面する
ように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを介して
上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロゾ
ル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆積
させて除去することによって、上記特定の粒径未満の超
微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形装置を提
供するものである。
【００１４】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を特定
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、
エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜装置を
提供するものである。
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、
エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成膜する超微粒子の成膜装置を
提供するものである。
【００１５】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を特定
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、
エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形装置を
提供するものである。
の粒径に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、
エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成形する超微粒子の成形装置を
提供するものである。
【００１６】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高電圧直
流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向きに所
定の速度で流れる清浄ガス流を供給することにより、特
定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成膜する超微粒
子の成膜装置を提供するものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高電圧直
流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向きに所
定の速度で流れる清浄ガス流を供給することにより、特
定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成膜する超微粒
子の成膜装置を提供するものである。
【００１７】本発明は、エアロゾル中の超微粒子を粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高電圧直
流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向きに所
定の速度で流れる清浄ガス流を供給することにより、特
定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成形する超微粒
子の成形装置を提供するものである。
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、エアロ
ゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一組の電
極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高電圧直
流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向きに所
定の速度で流れる清浄ガス流を供給することにより、特
定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成形する超微粒
子の成形装置を提供するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明の請求項１，２に対応
する超微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子
分級装置の第１の実施形態を示す原理図である。
基づいて説明する。図１は本発明の請求項１，２に対応
する超微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子
分級装置の第１の実施形態を示す原理図である。
【００１９】図において、１は超微粒子の分級装置本体
であり、２は装置本体１内に設けられたノズルであっ
て、装置本体１の内部に入った超微粒子エアロゾルを遮
蔽板３に対して正面から吹き付けるように機能する。
であり、２は装置本体１内に設けられたノズルであっ
て、装置本体１の内部に入った超微粒子エアロゾルを遮
蔽板３に対して正面から吹き付けるように機能する。
【００２０】これによって、大きくて重い粗粒粒子Ｂは
遮蔽板３上に堆積し、装置本体１の細粒粒子取出口４か
らは、細粒だけを含んだエアロゾルが取り出される。
遮蔽板３上に堆積し、装置本体１の細粒粒子取出口４か
らは、細粒だけを含んだエアロゾルが取り出される。
【００２１】尚、ノズル２から吹き出すエアロゾルの速
度によって、堆積する粗粒粒子Ｂの粒径を適宜に選択で
きるので、細粒粒子取出口４からは粒径が設定値以下の
細粒粒子Ａのみを取り出すことが可能になる。
度によって、堆積する粗粒粒子Ｂの粒径を適宜に選択で
きるので、細粒粒子取出口４からは粒径が設定値以下の
細粒粒子Ａのみを取り出すことが可能になる。
【００２２】図２は本発明の請求項３，４に対応する超
微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子分級装
置の第２の実施形態を示す原理図である。
微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子分級装
置の第２の実施形態を示す原理図である。
【００２３】図において、１は超微粒子の分級装置本体
であり、２はノズルであって、装置本体１の内部に入っ
た超微粒子エアロゾルを、ノズル２と対向して設置され
た粗粒粒子取出口５に対して吹き込むように機能する。
であり、２はノズルであって、装置本体１の内部に入っ
た超微粒子エアロゾルを、ノズル２と対向して設置され
た粗粒粒子取出口５に対して吹き込むように機能する。
【００２４】一方、装置本体１の側面に設けられた細粒
粒子取出口６からは装置本体１の外部に引圧することに
よって、細粒粒子取出口６から細粒粒子Ａだけを含んだ
エアロゾルが取り出される。
粒子取出口６からは装置本体１の外部に引圧することに
よって、細粒粒子取出口６から細粒粒子Ａだけを含んだ
エアロゾルが取り出される。
【００２５】尚、ノズル２から吹き出すエアロゾルの速
度及び上記引圧の圧力の程度によって、微粒粒子取出口
６から取り出される微粒粒子Ａの粒径を適宜に選択する
ことが可能になる。
度及び上記引圧の圧力の程度によって、微粒粒子取出口
６から取り出される微粒粒子Ａの粒径を適宜に選択する
ことが可能になる。
【００２６】図３は本発明の請求項５，６に対応する超
微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子分級装
置の第３の実施形態を示す原理図である。
微粒子の成膜及び成形方法に用いられる超微粒子分級装
置の第３の実施形態を示す原理図である。
【００２７】図において１′は超微粒子の分級装置本
体、７は装置本体１′の中心部に設けられた第１電極、
８は第１電極７の外側に配設された第２電極であり、９
は第１電極７と第２電極８の間に高電圧を生じさせる高
圧電源である。
体、７は装置本体１′の中心部に設けられた第１電極、
８は第１電極７の外側に配設された第２電極であり、９
は第１電極７と第２電極８の間に高電圧を生じさせる高
圧電源である。
【００２８】先ず、第１電極７及び第２電極８の間にお
いて、第１電極７に近い部分に清浄ガス流を流し、その
外側を超微粒子エアロゾルが流れるように構成する。
いて、第１電極７に近い部分に清浄ガス流を流し、その
外側を超微粒子エアロゾルが流れるように構成する。
【００２９】そして、超微粒子エアロゾル中の微粒子は
第２電極８で帯電して第１電極７の方に引き寄せられる
が、清浄ガス流によって押し流され、微細な微粒子Ａの
みが第１電極７上に到達できて堆積する。
第２電極８で帯電して第１電極７の方に引き寄せられる
が、清浄ガス流によって押し流され、微細な微粒子Ａの
みが第１電極７上に到達できて堆積する。
【００３０】また、粒径の大きな微粒子Ｂは清浄ガスに
押し流されて装置本体１′の外部に排出される。さら
に、中間の粒径の微粒子の内、特定の粒径の微粒子のみ
が特定粒径粒子取出口１０から取り出されるように機能
する。そして、清浄ガス流の速度と第１電極７及び第２
電極８の電位差を任意に設定することによって粒径を容
易に可変することが可能である。
押し流されて装置本体１′の外部に排出される。さら
に、中間の粒径の微粒子の内、特定の粒径の微粒子のみ
が特定粒径粒子取出口１０から取り出されるように機能
する。そして、清浄ガス流の速度と第１電極７及び第２
電極８の電位差を任意に設定することによって粒径を容
易に可変することが可能である。
【００３１】図４は本発明の一実施形態における超微粒
子成膜及び成形装置全体の構成を示したものであり、図
中の１１及び１２は第１乃至第３の超微粒子分級装置の
何れかである。尚、他の構成物は従来例と同様であるの
で特に説明は行わない。
子成膜及び成形装置全体の構成を示したものであり、図
中の１１及び１２は第１乃至第３の超微粒子分級装置の
何れかである。尚、他の構成物は従来例と同様であるの
で特に説明は行わない。
【００３２】本発明では、超微粒子分級装置１１，１２
を図示の位置に配設したことにより、アルゴンガス等の
不活性ガスで超微粒子を含むエアロゾル化した超微粒子
流として搬送する際、或いは原料となる金属或いは有機
物を加熱蒸発する際に、微粒子同士が再結合して粒径の
大きな微粒子となるのを防止することができる。
を図示の位置に配設したことにより、アルゴンガス等の
不活性ガスで超微粒子を含むエアロゾル化した超微粒子
流として搬送する際、或いは原料となる金属或いは有機
物を加熱蒸発する際に、微粒子同士が再結合して粒径の
大きな微粒子となるのを防止することができる。
【００３３】以上、本発明を図面に記載された実施の形
態に基づいて説明したが、本発明は上記した実施の形態
だけではなく、特許請求の範囲に記載の構成を変更しな
い限りどのようにでも実施することができる。例えば分
離粒子径の異なる超微粒子分級装置を複数段組み合わせ
て使用することにより、特定の粒径の微粒子のみを堆積
させることが可能となり、均質な粒径を必要とする圧電
素子等の製造にも使用が可能となる。特にＰＺＴ材料の
場合、０．７μｍ前後の粒径を用いると、圧電性が大幅
に向上し、大変有効な手法となる。
態に基づいて説明したが、本発明は上記した実施の形態
だけではなく、特許請求の範囲に記載の構成を変更しな
い限りどのようにでも実施することができる。例えば分
離粒子径の異なる超微粒子分級装置を複数段組み合わせ
て使用することにより、特定の粒径の微粒子のみを堆積
させることが可能となり、均質な粒径を必要とする圧電
素子等の製造にも使用が可能となる。特にＰＺＴ材料の
場合、０．７μｍ前後の粒径を用いると、圧電性が大幅
に向上し、大変有効な手法となる。
【００３４】
【発明の効果】以上要するに、本発明によれば、比較的
簡単な構成で、しかもエアロゾル中に含まれる粒径の大
きな微粒子を除去可能であり、膜の剥離や特性の劣化や
膜の成長速度の劣化を防止でき、更には、制御しづらい
１μｍ以下の超微粒子を用いる成膜技術、微細成形分野
において部品や薄膜の製造などが容易になると共に、よ
り精度の高い部品を製造することが可能である。
簡単な構成で、しかもエアロゾル中に含まれる粒径の大
きな微粒子を除去可能であり、膜の剥離や特性の劣化や
膜の成長速度の劣化を防止でき、更には、制御しづらい
１μｍ以下の超微粒子を用いる成膜技術、微細成形分野
において部品や薄膜の製造などが容易になると共に、よ
り精度の高い部品を製造することが可能である。
【図１】本発明の第１の実施形態における超微粒子の分
級装置の原理図である。
級装置の原理図である。
【図２】本発明の第２の実施形態における超微粒子の分
級装置の原理図である。
級装置の原理図である。
【図３】本発明の第３の実施形態における超微粒子の分
級装置の原理図である。
級装置の原理図である。
【図４】本発明の一実施形態を示す構成図である。
１，１′ 超微粒子の分級装置本体 ２ ノズル ３ 遮蔽板 ４，６ 細粒粒子取出口 ５ 粗粒粒子取出口 ７ 第１電極 ８ 第２電極 ９ 高圧電源 １０ 特定粒径粒子取出口 １１，１２ 超微粒子分級装置 Ａ 細粒粒子 Ｂ 粗粒粒子 Ｃ 特定粒粒子
Claims (16)
- 【請求項１】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて
分級した超微粒子の堆積方法であって、 上記エアロゾルの流れと対面するように遮蔽板を設け
て、該遮蔽板に上記エアロゾルを吹き付けることによ
り、上記エアロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上
記遮蔽板上に堆積させて除去することによって、上記特
定の粒径未満の超微粒子のみを分級して成膜することを
特徴とする超微粒子の成膜方法。 - 【請求項２】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて
分級した超微粒子の堆積方法であって、 上記エアロゾルの流れと対面するように遮蔽板を設け
て、該遮蔽板に上記エアロゾルを吹き付けることによ
り、上記エアロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上
記遮蔽板上に堆積させて除去することによって、上記特
定の粒径未満の超微粒子のみを分級して成形することを
特徴とする超微粒子の成形方法。 - 【請求項３】 エアロゾル中の超微粒子を特定の粒径に
応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、 エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成膜することを特徴とする超微粒子
の成膜方法。 - 【請求項４】 エアロゾル中の超微粒子を特定の粒径に
応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、 エアロゾルの流れの向きを変えることによって、上記特
定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の超微
粒子のみを分級して成形することを特徴とする超微粒子
の成形方法。 - 【請求項５】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて
分級した超微粒子の堆積方法であって、 エアロゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一
組の電極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると
共に、上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる
清浄ガス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の
超微粒子のみを分級し成膜することを特徴とする超微粒
子の成膜方法。 - 【請求項６】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて
分級した超微粒子の堆積方法であって、 エアロゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一
組の電極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加すると
共に、上記エアロゾルと同じ向きに所定の速度で流れる
清浄ガス流を供給することにより、特定の範囲の粒径の
超微粒子のみを分級し成形することを特徴とする超微粒
子の成形方法。 - 【請求項７】 上記超微粒子の成膜方法は、上記分級し
た超微粒子を基板上にノズルから噴射して堆積させるこ
とにより行われることを特徴とする請求項１，３，５の
何れかに記載の超微粒子の成膜方法。 - 【請求項８】 上記超微粒子の成形方法は、上記分級し
た超微粒子を基板上にノズルから噴射して堆積させるこ
とにより行われることを特徴とする請求項２，４，６の
何れかに記載の超微粒子の成形方法。 - 【請求項９】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて
分級した超微粒子の堆積装置であって、 上記エアロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対
面するように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを
介して上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エ
アロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上
に堆積させて除去することによって、上記特定の粒径未
満の超微粒子のみを分級して成膜することを特徴とする
超微粒子の成膜装置。 - 【請求項１０】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じ
て分級した超微粒子の堆積装置であって、 上記エアロゾルの流れを形成するノズルと該ノズルと対
面するように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記ノズルを
介して上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エ
アロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上
に堆積させて除去することによって、上記特定の粒径未
満の超微粒子のみを分級して成形することを特徴とする
超微粒子の成形装置。 - 【請求項１１】 エアロゾル中の超微粒子を特定の粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、 エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成膜することを特徴とする超微
粒子の成膜装置。 - 【請求項１２】 エアロゾル中の超微粒子を特定の粒径
に応じて分級した超微粒子の堆積装置であって、 エアロゾルの流れの向きを変える引圧手段を設けて、上
記特定の粒径以上の大きな重い超微粒子を分離した後の
超微粒子のみを分級して成形することを特徴とする超微
粒子の成形装置。 - 【請求項１３】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じ
て分級した超微粒子の堆積装置であって、 エアロゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一
組の電極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高
電圧直流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向
きに所定の速度で流れる清浄ガス流を供給することによ
り、特定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成膜する
ことを特徴とする超微粒子の成膜装置。 - 【請求項１４】 エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じ
て分級した超微粒子の堆積装置であって、 エアロゾルの流れの向きに沿って対面する少なくとも一
組の電極を設け、該電極に高電圧直流電圧を印加する高
電圧直流電源を設けると共に、上記エアロゾルと同じ向
きに所定の速度で流れる清浄ガス流を供給することによ
り、特定の範囲の粒径の超微粒子のみを分級し成形する
ことを特徴とする超微粒子の成形装置。 - 【請求項１５】 上記超微粒子の成膜装置は、上記分級
した超微粒子を基板上にノズルから噴射して堆積させる
ことにより行われることを特徴とする請求項９，１１，
１３の何れかに記載の超微粒子の成膜装置。 - 【請求項１６】 上記超微粒子の成形装置は、上記分級
した超微粒子を基板上にノズルから噴射して堆積させる
ことにより行われることを特徴とする請求項１０，１
２，１４の何れかに記載の超微粒子の成形装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9174048A JP2987430B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 超微粒子の成膜，成形方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9174048A JP2987430B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 超微粒子の成膜，成形方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1121677A true JPH1121677A (ja) | 1999-01-26 |
| JP2987430B2 JP2987430B2 (ja) | 1999-12-06 |
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|---|---|---|---|
| JP9174048A Expired - Lifetime JP2987430B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 超微粒子の成膜，成形方法及びその装置 |
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|---|---|
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