JPH11211604A - ヘリウムリークデテクタ - Google Patents
ヘリウムリークデテクタInfo
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- JPH11211604A JPH11211604A JP2508698A JP2508698A JPH11211604A JP H11211604 A JPH11211604 A JP H11211604A JP 2508698 A JP2508698 A JP 2508698A JP 2508698 A JP2508698 A JP 2508698A JP H11211604 A JPH11211604 A JP H11211604A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
- F04D29/0513—Axial thrust balancing hydrostatic; hydrodynamic thrust bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターボ分子ポンプのカウンタフローを利用し
て被検査容器の漏洩検査を行なう方式のヘリウムリーク
デテクタにおいて、高感度で安定してヘリウムの漏洩を
計測できるヘリウムリークデテクタを提供する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプ部４の吸入口６ａ側に
分析室３を設置し、該ターボ分子ポンプ部４の排出口６
ｂ側を被検査容器２に接続すると共に該排出口６ｂ側に
ねじシール部５を設置し、該ねじシール部５が該ターボ
分子ポンプ部４に対して小さなコンダクタンスを持った
補助ポンプとなるように形成した。
て被検査容器の漏洩検査を行なう方式のヘリウムリーク
デテクタにおいて、高感度で安定してヘリウムの漏洩を
計測できるヘリウムリークデテクタを提供する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプ部４の吸入口６ａ側に
分析室３を設置し、該ターボ分子ポンプ部４の排出口６
ｂ側を被検査容器２に接続すると共に該排出口６ｂ側に
ねじシール部５を設置し、該ねじシール部５が該ターボ
分子ポンプ部４に対して小さなコンダクタンスを持った
補助ポンプとなるように形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気密性が要求され
る容器などの漏洩の有無の検査に最適なヘリウムリーク
デテクタに関する。
る容器などの漏洩の有無の検査に最適なヘリウムリーク
デテクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】極く微量の漏洩も許されない原子力施設
などでは、容器の気密性の検査にヘリウムリークデテク
タが用いられている。
などでは、容器の気密性の検査にヘリウムリークデテク
タが用いられている。
【０００３】典型的なカウンタフロー式ヘリウムリーク
デテクタの排気系統図を図８に示す。
デテクタの排気系統図を図８に示す。
【０００４】即ち、被検査容器Ｖをヘリウムガス雰囲気
中に置き、該被検査容器Ｖ内に周囲のヘリウムガスが漏
洩して浸入してきているがどうかを調べるために、ター
ボ分子ポンプａと補助真空ポンプｂと分析室ｃとを接続
してヘリウムリークデテクタを形成している。
中に置き、該被検査容器Ｖ内に周囲のヘリウムガスが漏
洩して浸入してきているがどうかを調べるために、ター
ボ分子ポンプａと補助真空ポンプｂと分析室ｃとを接続
してヘリウムリークデテクタを形成している。
【０００５】該ターボ分子ポンプａは分析室ｃから補助
真空ポンプｂの方向へ排気を行なっているが、ターボ分
子ポンプの特性として排気の方向とは逆の方向に流れる
カウンタフローが存在し、前記被検査容器Ｖ内にヘリウ
ムガスが漏洩していれば、該漏洩ガスはこのカウンタフ
ローに乗って分析室ｃへ浸入する。そこでこの分析室ｃ
内でヘリウムが検出されれば、該被検査容器Ｖに漏洩個
所の有ることが判る。
真空ポンプｂの方向へ排気を行なっているが、ターボ分
子ポンプの特性として排気の方向とは逆の方向に流れる
カウンタフローが存在し、前記被検査容器Ｖ内にヘリウ
ムガスが漏洩していれば、該漏洩ガスはこのカウンタフ
ローに乗って分析室ｃへ浸入する。そこでこの分析室ｃ
内でヘリウムが検出されれば、該被検査容器Ｖに漏洩個
所の有ることが判る。
【０００６】この従来のヘリウムリークデテクタの検出
感度を更に高めるために、前記ターボ分子ポンプａの排
気側と補助真空ポンプｂとの間に流量調節弁を介在させ
て該ターボ分子ポンプａの背圧側に極めて小さなコンダ
クタンスを与えるようにした例が知られている。これ
は、該補助真空ポンプｂの排気速度を極めて小さくする
ことによって、前記カウンタフローの流量の増大を図っ
たものである。
感度を更に高めるために、前記ターボ分子ポンプａの排
気側と補助真空ポンプｂとの間に流量調節弁を介在させ
て該ターボ分子ポンプａの背圧側に極めて小さなコンダ
クタンスを与えるようにした例が知られている。これ
は、該補助真空ポンプｂの排気速度を極めて小さくする
ことによって、前記カウンタフローの流量の増大を図っ
たものである。
【０００７】尚、前記補助真空ポンプｂには、一般に油
回転真空ポンプが使用されている。
回転真空ポンプが使用されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前記ターボ分子ポンプ
ａの背圧側のコンダクタンスを流量調節弁の絞り作用に
よって得ようとした場合、絞りのコンダクタンスは流れ
るガスの分子量の平方根に反比例するという事実があ
る。
ａの背圧側のコンダクタンスを流量調節弁の絞り作用に
よって得ようとした場合、絞りのコンダクタンスは流れ
るガスの分子量の平方根に反比例するという事実があ
る。
【０００９】空気とヘリウムの混合ガスが該流量調節弁
を通過する場合、分子量４のヘリウムのコンダクタンス
は分子量２９の空気のコンダクタンスの約２．７倍とな
り、該流量調節弁を通って前記補助真空ポンプｂへ流れ
るヘリウムガスの割合が増えるので、前記カウンタフロ
ーに乗って分析室ｃに送られるガスではノイズ源である
空気の割合が増えて、ヘリウムリークデテクタの感度を
低下させるという問題があった。
を通過する場合、分子量４のヘリウムのコンダクタンス
は分子量２９の空気のコンダクタンスの約２．７倍とな
り、該流量調節弁を通って前記補助真空ポンプｂへ流れ
るヘリウムガスの割合が増えるので、前記カウンタフロ
ーに乗って分析室ｃに送られるガスではノイズ源である
空気の割合が増えて、ヘリウムリークデテクタの感度を
低下させるという問題があった。
【００１０】又、前記流量調節弁の絞り作用によって前
記コンダクタンスを得ようとする場合、該コンダクタン
スの値を一定に保つために該流量調節弁の絞り設定値を
変化させないようにする必要があるが、この絞り値を微
妙に調節して一定に保つことは非常に難しいという問題
があった。
記コンダクタンスを得ようとする場合、該コンダクタン
スの値を一定に保つために該流量調節弁の絞り設定値を
変化させないようにする必要があるが、この絞り値を微
妙に調節して一定に保つことは非常に難しいという問題
があった。
【００１１】更に又、前記補助真空ポンプで一般に使用
されている油回転真空ポンプは、油の一部がシリンダ内
に導入される構造となっているため、排気中のヘリウム
ガスが油に溶け込み、この溶け込んだヘリウムガスが少
しずつ或いは急に油から離脱するときに前記分析室ｃの
バックグランド圧力が変動してデテクタの計測値が不安
定になるという問題があった。
されている油回転真空ポンプは、油の一部がシリンダ内
に導入される構造となっているため、排気中のヘリウム
ガスが油に溶け込み、この溶け込んだヘリウムガスが少
しずつ或いは急に油から離脱するときに前記分析室ｃの
バックグランド圧力が変動してデテクタの計測値が不安
定になるという問題があった。
【００１２】本発明はこれらの問題点を解消し、高感度
で安定してヘリウムの漏洩を計測できるヘリウムリーク
デテクタを提供することを目的とする。
で安定してヘリウムの漏洩を計測できるヘリウムリーク
デテクタを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するべく、ターボ分子ポンプのカウンタフローを利用
して容器等の漏洩の検査を行う方式のヘリウムリークデ
テクタにおいて、ターボ分子ポンプの吸入口側に分析室
を設置し、該ターボ分子ポンプの排出口側を被検査容器
に接続すると共に該排出口側にねじシールを設置し、該
ねじシールを該ターボ分子ポンプに対して小さなコンダ
クタンスを持った補助ポンプに形成したことを特徴とす
る。
成するべく、ターボ分子ポンプのカウンタフローを利用
して容器等の漏洩の検査を行う方式のヘリウムリークデ
テクタにおいて、ターボ分子ポンプの吸入口側に分析室
を設置し、該ターボ分子ポンプの排出口側を被検査容器
に接続すると共に該排出口側にねじシールを設置し、該
ねじシールを該ターボ分子ポンプに対して小さなコンダ
クタンスを持った補助ポンプに形成したことを特徴とす
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
乃至図５により説明する。
乃至図５により説明する。
【００１５】図１の第１の実施の形態の排気系統図にお
いて、１はヘリウムリークデテクタ、２は被検査容器を
示す。
いて、１はヘリウムリークデテクタ、２は被検査容器を
示す。
【００１６】ヘリウムリークデテクタ１は、分析室３、
ターボ分子ポンプ部４、ねじシール部５等よりなる。
ターボ分子ポンプ部４、ねじシール部５等よりなる。
【００１７】被検査容器２の漏洩の有無を検査するため
のプローブガスとしてヘリウムを使用するので、前記分
析室３にはヘリウム検出器（図示せず）を設置する。
のプローブガスとしてヘリウムを使用するので、前記分
析室３にはヘリウム検出器（図示せず）を設置する。
【００１８】そして該分析室３をターボ分子ポンプ部４
の吸入口側に接続すると共に該ターボ分子ポンプ部４の
排出口側６ｂを被検査容器２に接続する。
の吸入口側に接続すると共に該ターボ分子ポンプ部４の
排出口側６ｂを被検査容器２に接続する。
【００１９】ターボ分子ポンプ部４とねじシール部５と
は一体に組合わされてポンプアッセンブリ６を形成して
いる。。
は一体に組合わされてポンプアッセンブリ６を形成して
いる。。
【００２０】図２に該ポンプアッセンブリ６の縦断面図
を示す。
を示す。
【００２１】即ち、ターボ分子ポンプ部４は多数の動翼
４ａと多数の静翼４ｂ等からなり、４ｃは前記動翼４ａ
を周囲に係着した回転体で回転軸４ｄに嵌入固定されて
おり、更に該回転軸４ｄには前記回転体４ｃに引き続い
てねじ溝５ａを設置し、後述する排出口６ｃと共に前記
ねじシール部５を形成している。
４ａと多数の静翼４ｂ等からなり、４ｃは前記動翼４ａ
を周囲に係着した回転体で回転軸４ｄに嵌入固定されて
おり、更に該回転軸４ｄには前記回転体４ｃに引き続い
てねじ溝５ａを設置し、後述する排出口６ｃと共に前記
ねじシール部５を形成している。
【００２２】又、該回転軸４ｄには前記ねじシール部５
に引き続いてヘリングボーン動圧型気体軸受によるジャ
ーナル軸受７とスパイラルグルーブ動圧型気体軸受によ
るスラスト軸受８とが順次設置されている。
に引き続いてヘリングボーン動圧型気体軸受によるジャ
ーナル軸受７とスパイラルグルーブ動圧型気体軸受によ
るスラスト軸受８とが順次設置されている。
【００２３】尚、６ａ及び６ｂはそれぞれターボ分子ポ
ンプ部４の吸入口及び排出口で、吸入口６ａは前記分析
室３に接続しており、排出口６ｂは前記被検査容器２に
接続している。
ンプ部４の吸入口及び排出口で、吸入口６ａは前記分析
室３に接続しており、排出口６ｂは前記被検査容器２に
接続している。
【００２４】６ｃも排出口で、前記ねじシール部５より
の僅かな排気を排出すると共に、給気口６ｄより前記気
体軸受へ供給された大気の一部を該排出口６ｃより排出
する。
の僅かな排気を排出すると共に、給気口６ｄより前記気
体軸受へ供給された大気の一部を該排出口６ｃより排出
する。
【００２５】尚、前記ねじシール部５は前記気体軸受へ
流入した大気がハウジング６ｈ内へ浸入するのを防止す
る役目も果たしている。
流入した大気がハウジング６ｈ内へ浸入するのを防止す
る役目も果たしている。
【００２６】６ｅは円筒体で、前記ねじシール部５及び
前記ジャーナル軸受７のブッシュ側を形成している。
前記ジャーナル軸受７のブッシュ側を形成している。
【００２７】６ｆ及び６ｇは、それぞれ前記スラスト軸
受８の前後のスラスト受面を示す。
受８の前後のスラスト受面を示す。
【００２８】又、９はモータ、１０は固定用ナットであ
る。
る。
【００２９】前記ジャーナル軸受７を構成するヘリング
ボーン動圧型気体軸受の軸部の構造の１例を図３に示
し、又、前記スラスト軸受８を構成するスパイラルグル
ーブ動圧型気体軸受の構造の１例を図４に示す。
ボーン動圧型気体軸受の軸部の構造の１例を図３に示
し、又、前記スラスト軸受８を構成するスパイラルグル
ーブ動圧型気体軸受の構造の１例を図４に示す。
【００３０】即ち、図３において、７ａは回転方向に対
してハの字状に形成された多数の溝を示す。又、図４に
おいて、８ａはスラスト軸受８の上面に形成されたスパ
イラル状の多数の溝を示し、該スラスト軸受８の下面に
も同様のスパイラル状の多数の溝が形成されている。
してハの字状に形成された多数の溝を示す。又、図４に
おいて、８ａはスラスト軸受８の上面に形成されたスパ
イラル状の多数の溝を示し、該スラスト軸受８の下面に
も同様のスパイラル状の多数の溝が形成されている。
【００３１】尚、前記ターボ分子ポンプ部４は、ヘリウ
ムガスに対する圧縮比を１０乃至１０００の範囲に設定
すると共に前記ねじシール部５の排気速度を０．００１
乃至０．１Ｌ／ｓの範囲に設定して、該ねじシール部５
がターボ分子ポンプ部４に対して充分小さなコンダクタ
ンスを持った補助の真空ポンプとなるように形成した。
ムガスに対する圧縮比を１０乃至１０００の範囲に設定
すると共に前記ねじシール部５の排気速度を０．００１
乃至０．１Ｌ／ｓの範囲に設定して、該ねじシール部５
がターボ分子ポンプ部４に対して充分小さなコンダクタ
ンスを持った補助の真空ポンプとなるように形成した。
【００３２】次に本第１の実施の形態の作動及び効果に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００３３】図１の排管系統図に示すヘリウムリークデ
テクタ１において、前記ターボ分子ポンプ部４とねじシ
ール部５とを一体に組合せた構造のポンプアッセンブリ
６の運転を行なうと、ターボ分子ポンプ部４の排気作用
によって分析室３内が真空となると共に、ねじシール部
５の補助ポンプとしての排気作用によって、該ターボ分
子ポンプ部４の排出口６ｂが負圧となり、又、この排出
口６ｂに接続した被検査容器２内の圧力も負圧となる。
テクタ１において、前記ターボ分子ポンプ部４とねじシ
ール部５とを一体に組合せた構造のポンプアッセンブリ
６の運転を行なうと、ターボ分子ポンプ部４の排気作用
によって分析室３内が真空となると共に、ねじシール部
５の補助ポンプとしての排気作用によって、該ターボ分
子ポンプ部４の排出口６ｂが負圧となり、又、この排出
口６ｂに接続した被検査容器２内の圧力も負圧となる。
【００３４】そこで、この被検査容器２をヘリウムガス
雰囲気中に置くと、もし該被検査容器２に漏洩個所があ
れば、そこから浸入したヘリウムガスは前記ターボ分子
ポンプ部４の排出口側に達し、更にその１部が該ターボ
分子ポンプ部４のカウンタフローに乗って前記分析室３
へ到達し、前記ヘリウム検出器によって該被検査容器２
に漏洩個所のあることが高精度で検出される。
雰囲気中に置くと、もし該被検査容器２に漏洩個所があ
れば、そこから浸入したヘリウムガスは前記ターボ分子
ポンプ部４の排出口側に達し、更にその１部が該ターボ
分子ポンプ部４のカウンタフローに乗って前記分析室３
へ到達し、前記ヘリウム検出器によって該被検査容器２
に漏洩個所のあることが高精度で検出される。
【００３５】この理由を次の論理式によって説明する。
【００３６】Ｑ：被検査容器２の内壁からの放出ガス量
［Ｐ ａ・Ｌ／ｓ］ ｑ：分析室３の内壁からの放出ガス量及び該分析室３で
のリーク量［Ｐ ａ・Ｌ／ｓ］ Ｍ：被検査容器２へのリーク量［Ｐａ・Ｌ／ｓ］ Ｃ：被検査容器２とヘリウムリークデテクタ１との間の
配管コンダクタンス［Ｌ／ｓ］ Ｓ：ターボ分子ポンプ部４の排気速度［Ｌ／ｓ］ Ｓ´：ねじシール部５の排気速度［Ｌ／ｓ］ Ｒ：ターボ分子ポンプ部４の圧縮比 Ｐ 1：被検査容器２内の圧力［Ｐａ］ Ｐ2：ターボ分子ポンプ部４の背圧［Ｐａ］ Ｐ3：分析室３内の圧力［Ｐａ］ とする。
［Ｐ ａ・Ｌ／ｓ］ ｑ：分析室３の内壁からの放出ガス量及び該分析室３で
のリーク量［Ｐ ａ・Ｌ／ｓ］ Ｍ：被検査容器２へのリーク量［Ｐａ・Ｌ／ｓ］ Ｃ：被検査容器２とヘリウムリークデテクタ１との間の
配管コンダクタンス［Ｌ／ｓ］ Ｓ：ターボ分子ポンプ部４の排気速度［Ｌ／ｓ］ Ｓ´：ねじシール部５の排気速度［Ｌ／ｓ］ Ｒ：ターボ分子ポンプ部４の圧縮比 Ｐ 1：被検査容器２内の圧力［Ｐａ］ Ｐ2：ターボ分子ポンプ部４の背圧［Ｐａ］ Ｐ3：分析室３内の圧力［Ｐａ］ とする。
【００３７】Ｓ、Ｓ´、Ｒ、Ｃ、Ｑ、ｑの各パラメータ
と各圧力Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3との関係は数１で支配される。
と各圧力Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3との関係は数１で支配される。
【００３８】
【数１】
【００３９】この連立１次方程式の解は、数２〜数４で
与えられる。
与えられる。
【００４０】
【数２】
【数３】
【数４】
【００４１】ここでリーク量Ｍはヘリウムと空気からな
るのに対しＱ及びｑにはヘリウムが含まれないことか
ら、数４の右辺の第１項が第２項より優勢となるように
すれば、分析室３内の圧力Ｐ3のうち、ヘリウムガスの
分圧が向上することが判る。このためにはＳは大きく、
ＲＳ´は小さい方が良い。
るのに対しＱ及びｑにはヘリウムが含まれないことか
ら、数４の右辺の第１項が第２項より優勢となるように
すれば、分析室３内の圧力Ｐ3のうち、ヘリウムガスの
分圧が向上することが判る。このためにはＳは大きく、
ＲＳ´は小さい方が良い。
【００４２】然るにターボ分子ポンプのカウンタフロー
効果を大きくするためにターボ分子ポンプ４の圧縮比Ｒ
は大きくすることが望ましく、従ってねじシール部５の
排気速度Ｓ´は極めて小さい値とする必要がある。
効果を大きくするためにターボ分子ポンプ４の圧縮比Ｒ
は大きくすることが望ましく、従ってねじシール部５の
排気速度Ｓ´は極めて小さい値とする必要がある。
【００４３】かくして本発明のヘリウムリークデテクタ
１ではターボ分子ポンプ部４の圧縮比を大きくすると共
にねじシール部５の補助ポンプとしての排気速度を極め
て小さくして、該ねじシール部５がターボ分子ポンプ部
４に対して小さなコンダクタンスとなるように形成し
た。
１ではターボ分子ポンプ部４の圧縮比を大きくすると共
にねじシール部５の補助ポンプとしての排気速度を極め
て小さくして、該ねじシール部５がターボ分子ポンプ部
４に対して小さなコンダクタンスとなるように形成し
た。
【００４４】尚、ねじシールは流量調節弁等の絞り機構
とは違って、微小な排気速度を安定して発生させると共
に、ガスの種類や分子量の違いに関係なく、ほぼ一定の
排気速度を発生させる特徴を持っている。
とは違って、微小な排気速度を安定して発生させると共
に、ガスの種類や分子量の違いに関係なく、ほぼ一定の
排気速度を発生させる特徴を持っている。
【００４５】図５の表１に示す一般的なＱ、ｑ、Ｍの値
に対して、従来の一般的なカウンタフロー式ヘリウムリ
ークデテクタの排気系に対する数２、数３による計算結
果を図５の表２に示し、又、本実施の形態のヘリウムリ
ークデテクタの排気系に対する計算結果を図５の表３に
示した。
に対して、従来の一般的なカウンタフロー式ヘリウムリ
ークデテクタの排気系に対する数２、数３による計算結
果を図５の表２に示し、又、本実施の形態のヘリウムリ
ークデテクタの排気系に対する計算結果を図５の表３に
示した。
【００４６】本実施の形態の排気系の場合のＰ3のヘリ
ウム分圧は、従来の排気系の場合のそれの１００倍近く
になっており、また漏洩検知の際ノイズとなる容器内の
残留空気と容器内壁からの放出ガスの主成分である水の
分圧のヘリウム分圧に対する比が従来よりも遥かに小さ
くなっていることから前記漏洩検知により高感度の得ら
れることが判る。
ウム分圧は、従来の排気系の場合のそれの１００倍近く
になっており、また漏洩検知の際ノイズとなる容器内の
残留空気と容器内壁からの放出ガスの主成分である水の
分圧のヘリウム分圧に対する比が従来よりも遥かに小さ
くなっていることから前記漏洩検知により高感度の得ら
れることが判る。
【００４７】又、本実施の形態では、ターボ分子ポンプ
部４に動圧型気体軸受を採用すると共に従来の補助真空
ポンプの様な油回転真空ポンプは使用せず、従って分析
室３の排気系に油などの液体が一切使われていないの
で、該分析室３のバックグランド圧力が変動したりする
不具合がない。
部４に動圧型気体軸受を採用すると共に従来の補助真空
ポンプの様な油回転真空ポンプは使用せず、従って分析
室３の排気系に油などの液体が一切使われていないの
で、該分析室３のバックグランド圧力が変動したりする
不具合がない。
【００４８】更に又、本実施の形態ではターボ分子ポン
プ部４とねじシール部５とを一体化した構造とすると共
に該ねじシール部５が前記気体軸受からハウジング６ｈ
内への気体の浸入を防止する役目も兼ねるように形成し
たので、ポンプアッセンブリ６を含む装置の小型コンパ
クト化が達成された。
プ部４とねじシール部５とを一体化した構造とすると共
に該ねじシール部５が前記気体軸受からハウジング６ｈ
内への気体の浸入を防止する役目も兼ねるように形成し
たので、ポンプアッセンブリ６を含む装置の小型コンパ
クト化が達成された。
【００４９】尚、本実施の形態ではターボ分子ポンプ部
４に動圧型気体軸受を採用したが、これは玉軸受を用い
ても、又は磁気軸受式としてもよい。
４に動圧型気体軸受を採用したが、これは玉軸受を用い
ても、又は磁気軸受式としてもよい。
【００５０】本発明の第２の実施の形態を図６の排気系
統図により説明する。
統図により説明する。
【００５１】本実施の形態では、前記ヘリウムリークデ
テクタ１と被検査容器２との間にターボ分子ポンプ１１
を設けた点が前記第１の実施の形態とは異なる。
テクタ１と被検査容器２との間にターボ分子ポンプ１１
を設けた点が前記第１の実施の形態とは異なる。
【００５２】このように前記ターボ分子ポンプ部４と前
記ねじシール部５の間にターボ分子ポンプ１１の排出口
側を接続したので、該ターボ分子ポンプ１１の運転によ
って被検査容器２内の排気を行なうことができ、前記ね
じシール部５による微小な排気作用を補えるので、前記
第１の実施の形態に較べてヘリウムリークデテクタ１の
応答性が向上する。
記ねじシール部５の間にターボ分子ポンプ１１の排出口
側を接続したので、該ターボ分子ポンプ１１の運転によ
って被検査容器２内の排気を行なうことができ、前記ね
じシール部５による微小な排気作用を補えるので、前記
第１の実施の形態に較べてヘリウムリークデテクタ１の
応答性が向上する。
【００５３】本発明の第３の実施の形態を図７の排気系
統図により説明する。
統図により説明する。
【００５４】本実施の形態では、前記第２の実施の形態
において、前記被検査容器２の粗引きのための真空ポン
プ１２を追加して設置した。
において、前記被検査容器２の粗引きのための真空ポン
プ１２を追加して設置した。
【００５５】該粗引き用の真空ポンプ１２は、ターボ分
子ポンプでも又は油回転式真空ポンプでもよく、この真
空ポンプ１２によって予め被検査容器２を真空にしてお
くことによって、ヘリウムリークデテクタ１の立ち上り
を早めることができる。
子ポンプでも又は油回転式真空ポンプでもよく、この真
空ポンプ１２によって予め被検査容器２を真空にしてお
くことによって、ヘリウムリークデテクタ１の立ち上り
を早めることができる。
【００５６】
【発明の効果】このように本発明によれば、高感度で安
定してヘリウムの漏洩を計測できると共に小型コンパク
トなヘリウムリークデテクタを提供できる効果を有す
る。
定してヘリウムの漏洩を計測できると共に小型コンパク
トなヘリウムリークデテクタを提供できる効果を有す
る。
【図１】第１の実施の形態の排気系統図である。
【図２】ポンプアッセンブリの縦断面図である。
【図３】ヘリングボーン動圧型気体軸受の要部の形状説
明図である。
明図である。
【図４】スパイラルグルーブ動圧型気体軸受の要部の形
状説明図である。
状説明図である。
【図５】ヘリウムリークデテクタの性能計算の結果を比
較した表である。
較した表である。
【図６】第２の実施の形態の排気系統図である。
【図７】第３の実施の形態の排気系統図である。
【図８】従来のヘリウムリークデテクタの排気系統図で
ある。
ある。
１ ヘリウムリークデテクタ ２ 被検査容器 ３ 分析室 ４、11 ターボ分子ポンプ 4c 回転体 4d 回転軸 ５ ねじシール 6a 吸入口 6b 排出口 6h ハウジング ７ ジャーナル軸受 ８ スラスト軸受 12 粗引き用真空ポンプ
Claims (5)
- 【請求項１】 ターボ分子ポンプのカウンタフローを利
用して容器等の漏洩の検査を行う方式のヘリウムリーク
デテクタにおいて、ターボ分子ポンプの吸入口側に分析
室を設置し、該ターボ分子ポンプの排出口側を被検査容
器に接続すると共に該排出口側にねじシールを設置し、
該ねじシールを該ターボ分子ポンプに対して小さなコン
ダクタンスを持った補助ポンプに形成したことを特徴と
するヘリウムリークデテクタ。 - 【請求項２】 前記ターボ分子ポンプはハウジング内で
高速回転する回転体を有すると共に該回転体の回転軸に
前記ねじシールを形成し、これらターボ分子ポンプとね
じシールとを一体にして前記ハウジング内に内蔵させた
ことを特徴とする請求項１に記載のヘリウムリークデテ
クタ。 - 【請求項３】 前記ターボ分子ポンプのヘリウムガスに
対する圧縮比を１０乃至１０００の範囲に設定すると共
に前記ねじシールの排気速度を０．００１乃至０．１Ｌ
／ｓの範囲に設定したことを特徴とする請求項１に記載
のヘリウムリークデテクタ。 - 【請求項４】 前記ターボ分子ポンプの排出側と前記被
検査容器との間に第２のターボ分子ポンプを介在させた
ことを特徴とする請求項１に記載のヘリウムリークデテ
クタ。 - 【請求項５】 前記被検査容器に粗引き用の真空ポンプ
を併設したことを特徴とする請求項４に記載のヘリウム
リークデテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2508698A JPH11211604A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | ヘリウムリークデテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2508698A JPH11211604A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | ヘリウムリークデテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211604A true JPH11211604A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=12156126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2508698A Withdrawn JPH11211604A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | ヘリウムリークデテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235923A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| JP2021116814A (ja) * | 2020-01-27 | 2021-08-10 | プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト | 分子真空ポンプ及び分子真空ポンプの排気速度に影響を及ぼす方法 |
-
1998
- 1998-01-22 JP JP2508698A patent/JPH11211604A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235923A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| JP2021116814A (ja) * | 2020-01-27 | 2021-08-10 | プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト | 分子真空ポンプ及び分子真空ポンプの排気速度に影響を及ぼす方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050405 |