JPH018714Y2 - - Google Patents
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- JPH018714Y2 JPH018714Y2 JP18464584U JP18464584U JPH018714Y2 JP H018714 Y2 JPH018714 Y2 JP H018714Y2 JP 18464584 U JP18464584 U JP 18464584U JP 18464584 U JP18464584 U JP 18464584U JP H018714 Y2 JPH018714 Y2 JP H018714Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leak valve
- pump
- leak
- molecular pump
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は電子顕微鏡等の真空装置における被排
気室内を排気するターボ分子ポンプのリーク弁の
開閉制御装置に関するものである。
気室内を排気するターボ分子ポンプのリーク弁の
開閉制御装置に関するものである。
[従来の技術]
非分散型X線分光器や電子エネルギーアナライ
ザ等を組込んだ分析電子顕微鏡で有益な結果を得
るためには、試料汚染を可能な限り低減させる必
要がある。そのため鏡体内は高真空で、且つ高清
浄の真空が必要とされ、真空ポンプとしてオイル
フリーであるターボ分子ポンプが使用されてい
る。
ザ等を組込んだ分析電子顕微鏡で有益な結果を得
るためには、試料汚染を可能な限り低減させる必
要がある。そのため鏡体内は高真空で、且つ高清
浄の真空が必要とされ、真空ポンプとしてオイル
フリーであるターボ分子ポンプが使用されてい
る。
[考案が解決しようとする問題点]
ところで、ターボ分子ポンプはポンプ電源をオ
フにしても直ぐに回転が停止するわけでなく、数
分以上は高速で回転している。
フにしても直ぐに回転が停止するわけでなく、数
分以上は高速で回転している。
このようなターボ分子ポンプにおいて、ポンプ
の稼動を停止する際、回転翼が停止した状態でポ
ンプ内に空気を導入(リーク)すると、ポンプの
軸受部分に使用されているオイルがポンプの高真
空側に逆流する不都合が生じる。
の稼動を停止する際、回転翼が停止した状態でポ
ンプ内に空気を導入(リーク)すると、ポンプの
軸受部分に使用されているオイルがポンプの高真
空側に逆流する不都合が生じる。
そこで、従来においてはターボ分子ポンプの電
源をオフにすると同時に、リーク弁を開放してい
る。その結果、回転翼が高速回転している状態
で、空気を導入することになるため、回転翼に大
きな衝撃が加わり、回転翼の破損や軸受部分の損
傷が生じて、ターボ分子ポンプの寿命を短くする
恐れが生じる。
源をオフにすると同時に、リーク弁を開放してい
る。その結果、回転翼が高速回転している状態
で、空気を導入することになるため、回転翼に大
きな衝撃が加わり、回転翼の破損や軸受部分の損
傷が生じて、ターボ分子ポンプの寿命を短くする
恐れが生じる。
そこで、従来においては、リーク弁の孔径を非
常に小さくしたり、また、リーク弁の配管を狭く
する等排気コンダクタンスを非常に小さくするこ
とにより徐々にポンプ内をリークする方法が用い
られる。この時の圧力の変化をグラフに表わす
と、第4図aのようになる。同図において、P0
はポンプ電源オフ時の圧力、Paは大気圧を示し、
圧力の上昇率(傾き)θはリーク弁の排気コンダ
クタンスで決まり、許容し得る範囲でできるだけ
大きく設定されている。
常に小さくしたり、また、リーク弁の配管を狭く
する等排気コンダクタンスを非常に小さくするこ
とにより徐々にポンプ内をリークする方法が用い
られる。この時の圧力の変化をグラフに表わす
と、第4図aのようになる。同図において、P0
はポンプ電源オフ時の圧力、Paは大気圧を示し、
圧力の上昇率(傾き)θはリーク弁の排気コンダ
クタンスで決まり、許容し得る範囲でできるだけ
大きく設定されている。
しかし、この方法では目づまりが生じ易く、そ
の都度分解掃除する等取扱いが非常に面倒である
と共に、リークに長時間を費やす欠点がある。
の都度分解掃除する等取扱いが非常に面倒である
と共に、リークに長時間を費やす欠点がある。
即ち、実際には、十分にリークが進み破損の恐
れがなくなつた圧力P1に到達したら、例えば第
4図bに示すように急激に大気を導入することが
可能であり、こうすれば第4図aに較べ、T0だ
けリークに要する時間を短縮できる。この点に着
目し、孔径の異なる2つのリーク弁を設け、最初
孔径の小さい第1のリーク弁により一定時間、つ
まりガス分子による衝撃が悪影響を及ぼさない程
度の時間までリークし、その後孔径の大きい第2
のリーク弁を使用して急激にリークする方法が考
えられる。
れがなくなつた圧力P1に到達したら、例えば第
4図bに示すように急激に大気を導入することが
可能であり、こうすれば第4図aに較べ、T0だ
けリークに要する時間を短縮できる。この点に着
目し、孔径の異なる2つのリーク弁を設け、最初
孔径の小さい第1のリーク弁により一定時間、つ
まりガス分子による衝撃が悪影響を及ぼさない程
度の時間までリークし、その後孔径の大きい第2
のリーク弁を使用して急激にリークする方法が考
えられる。
しかしながらこの方法でも前述と同様に孔径の
小さい第1のリーク弁の目づまりの問題は解決さ
れておらず、他に新たにリーク弁を追加しなけれ
ばならない欠点が生じる。
小さい第1のリーク弁の目づまりの問題は解決さ
れておらず、他に新たにリーク弁を追加しなけれ
ばならない欠点が生じる。
本考案は斯様な点に鑑みて、目づまりもなく、
しかも新たにリーク弁を設けることなくリーク時
間をできるだけ短くすることを目的とするもので
ある。
しかも新たにリーク弁を設けることなくリーク時
間をできるだけ短くすることを目的とするもので
ある。
[問題点を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本考案は被排気室
と、該被排気室を排気するターボ分子ポンプと、
該ターボ分子ポンプ内をリークするためのリーク
弁とを備え、前記ターボ分子ポンプ内をリーク弁
でリークする際、リーク弁を間歇的に開閉するよ
うに構成することを特徴とする。
と、該被排気室を排気するターボ分子ポンプと、
該ターボ分子ポンプ内をリークするためのリーク
弁とを備え、前記ターボ分子ポンプ内をリーク弁
でリークする際、リーク弁を間歇的に開閉するよ
うに構成することを特徴とする。
[実施例]
第1図は本考案の一実施例を示す構成略図であ
り、1は電子顕微鏡等の被排気室である。2はこ
の被排気室1内を排気管3を介して排気するため
のターボ分子ポンプであり、このターボ分子ポン
プの背圧側は排気管4を介して油回転ポンプ5に
より排気されている。6は前記ターボ分子ポンプ
2の電源である。7は前記被排気室1に接続され
た電磁弁からなるリーク弁で、駆動回路8により
弁の開閉が行われる。9はこの駆動回路8に第2
図Cに示すような駆動パルスを供給するためのパ
ルス発生回路であり、また、このパルス発生回路
には前記電源6から停止信号が供給される。10
は前記被排気室1(ターボ分子ポンプ2)内の圧
力を測定するための真空計である。
り、1は電子顕微鏡等の被排気室である。2はこ
の被排気室1内を排気管3を介して排気するため
のターボ分子ポンプであり、このターボ分子ポン
プの背圧側は排気管4を介して油回転ポンプ5に
より排気されている。6は前記ターボ分子ポンプ
2の電源である。7は前記被排気室1に接続され
た電磁弁からなるリーク弁で、駆動回路8により
弁の開閉が行われる。9はこの駆動回路8に第2
図Cに示すような駆動パルスを供給するためのパ
ルス発生回路であり、また、このパルス発生回路
には前記電源6から停止信号が供給される。10
は前記被排気室1(ターボ分子ポンプ2)内の圧
力を測定するための真空計である。
上述の如き構成において、リーク弁7として
は、第4図bにおいてP1後の急速なリークを行
う第2のリーク弁と同程度の排気コンダクタンス
を持つ孔径の大きなものが使用される。
は、第4図bにおいてP1後の急速なリークを行
う第2のリーク弁と同程度の排気コンダクタンス
を持つ孔径の大きなものが使用される。
しかして、ターボ分子ポンプ2が被排気室1を
排気している状態で、第2図aで示すように時刻
t0でポンプ電源6をオフにしてターボ分子ポンプ
への通電を停止すると、それと同時にポンプ電源
6は第2図bに示す停止信号を発生してパルス発
生回路9に供給する。パルス発生回路9は停止信
号に基づいて第2図Cに示す弁開閉信号を発し、
駆動回路8へ送る。この弁開閉信号により、リー
ク弁は期間T1に開状態、期間T2に閉状態とな
るため、4回にわたつて間歇的に開閉され、その
後連続的に開放されることになる。この時の圧力
の変化をグラフで表わすと、第4図cの実線イに
示すようになり、大きな孔径のリーク弁を用いな
がら、許容し得る範囲で圧力を上昇させることが
でき、圧力P1に到達した後は急速にリークを進
めることができるため、リーク弁を追加すること
なくリーク時間を短縮できる。しかも大きな孔径
なので、リーク弁に目づまり等は生じない。
排気している状態で、第2図aで示すように時刻
t0でポンプ電源6をオフにしてターボ分子ポンプ
への通電を停止すると、それと同時にポンプ電源
6は第2図bに示す停止信号を発生してパルス発
生回路9に供給する。パルス発生回路9は停止信
号に基づいて第2図Cに示す弁開閉信号を発し、
駆動回路8へ送る。この弁開閉信号により、リー
ク弁は期間T1に開状態、期間T2に閉状態とな
るため、4回にわたつて間歇的に開閉され、その
後連続的に開放されることになる。この時の圧力
の変化をグラフで表わすと、第4図cの実線イに
示すようになり、大きな孔径のリーク弁を用いな
がら、許容し得る範囲で圧力を上昇させることが
でき、圧力P1に到達した後は急速にリークを進
めることができるため、リーク弁を追加すること
なくリーク時間を短縮できる。しかも大きな孔径
なので、リーク弁に目づまり等は生じない。
尚、ターボ分子ポンプ2内を完全に大気圧にし
ないで、ある一定の圧力(例えば200Torr程度)
に維持する場合には、真空計10により所望の圧
力に達成した時点で第2図c中点線で示すように
手動または自動的にリーク弁7を閉じれば良い。
また、前記θ及びP1は被排気室1及びターボ分
子ポンプ2の容積等によつて異なるため、それに
合せてT1,T2を決める必要がある。
ないで、ある一定の圧力(例えば200Torr程度)
に維持する場合には、真空計10により所望の圧
力に達成した時点で第2図c中点線で示すように
手動または自動的にリーク弁7を閉じれば良い。
また、前記θ及びP1は被排気室1及びターボ分
子ポンプ2の容積等によつて異なるため、それに
合せてT1,T2を決める必要がある。
第3図は本考案の他の実施例を示す構成略図で
あり、第1図と同一番号のものは同一構成要素を
示す。図中、11は制御回路で、ポンプ電源6か
ら停止信号が供給され、また、真空計10で測定
された圧力に対応する信号が供給される。
あり、第1図と同一番号のものは同一構成要素を
示す。図中、11は制御回路で、ポンプ電源6か
ら停止信号が供給され、また、真空計10で測定
された圧力に対応する信号が供給される。
本実施例においては、第4図bの変化曲線に基
づいて、第5図aに示すようなリーク弁を開くタ
イミングを指定する関数Foと、リーク弁を閉じ
るタイミングを指定する関数Fsが予め決定され
ており、この関数Fo,Fsは制御回路11内に予
め格納されている。
づいて、第5図aに示すようなリーク弁を開くタ
イミングを指定する関数Foと、リーク弁を閉じ
るタイミングを指定する関数Fsが予め決定され
ており、この関数Fo,Fsは制御回路11内に予
め格納されている。
しかして、ポンプ電源6のオフに同期して第2
図bに示す停止信号が制御回路11へ送られる
と、制御回路はリーク弁7を開き、その後は真空
計10からの時間経過に伴う圧力信号曲線P,t
が関数Fsと交わるとリーク弁7を閉じ、関数Fo
と交わるとリーク弁7を開くという制御を行う。
そのためリーク弁7は第5図bに示すように間歇
的に開閉され、許容し得る範囲内で圧力を上昇さ
せることができ、圧力P1を超えた後は連続的に
開放されるため、急速にリークを進めることがで
きる。
図bに示す停止信号が制御回路11へ送られる
と、制御回路はリーク弁7を開き、その後は真空
計10からの時間経過に伴う圧力信号曲線P,t
が関数Fsと交わるとリーク弁7を閉じ、関数Fo
と交わるとリーク弁7を開くという制御を行う。
そのためリーク弁7は第5図bに示すように間歇
的に開閉され、許容し得る範囲内で圧力を上昇さ
せることができ、圧力P1を超えた後は連続的に
開放されるため、急速にリークを進めることがで
きる。
尚、ターボ分子ポンプ2内を完全に大気圧にし
ないで、ある一定の圧力(例えば00Torr程度)
に維持する場合には、真空計により所望の圧力に
達成した時点で第5図b中点線で示すように手動
または自動的にリーク弁7を閉じれば良い。
ないで、ある一定の圧力(例えば00Torr程度)
に維持する場合には、真空計により所望の圧力に
達成した時点で第5図b中点線で示すように手動
または自動的にリーク弁7を閉じれば良い。
本実施例では、圧力をモニターしながらリーク
弁の開閉を制御するため、リーク弁の排気コンダ
クタンスが変化したような場合でも許容範囲外で
急激にリークしてしまうような不都合は生じな
い。
弁の開閉を制御するため、リーク弁の排気コンダ
クタンスが変化したような場合でも許容範囲外で
急激にリークしてしまうような不都合は生じな
い。
尚、前述の説明では、ターボ分子ポンプのリー
クにあたつては被排気室に取付けたリーク弁を使
用したが、ターボ分子ポンプに直接リーク弁や真
空計を取付けても良いことは言うまでもない。こ
の場合には被排気室1とターボ分子ポンプ2との
間に弁が設けられる。
クにあたつては被排気室に取付けたリーク弁を使
用したが、ターボ分子ポンプに直接リーク弁や真
空計を取付けても良いことは言うまでもない。こ
の場合には被排気室1とターボ分子ポンプ2との
間に弁が設けられる。
[考案の効果]
以上のように本考案においては、ターボ分子ポ
ンプのリークに際し、孔径の比較的大きなリーク
弁を間歇的に開閉させながら行うため、目づまり
による分解掃除が不要となると共に、取扱いが容
易となり、また、孔径の異なる2つのリーク弁を
設ける必要がなくなり、コストの低減を図ること
ができる等、実用性大である。
ンプのリークに際し、孔径の比較的大きなリーク
弁を間歇的に開閉させながら行うため、目づまり
による分解掃除が不要となると共に、取扱いが容
易となり、また、孔径の異なる2つのリーク弁を
設ける必要がなくなり、コストの低減を図ること
ができる等、実用性大である。
第1図は本考案の一実施例を示す構成略図、第
2図はその動作を説明するための図、第3図は本
考案の他の実施例を示す構成略図、第4図a乃至
第4図cはターボ分子ポンプ内の圧力の変化を示
すグラフ、第5図a及びbは本考案の他の実施例
における動作を説明するための図である。 1……被排気室、2……ターボ分子ポンプ、
3,4……排気管、5……油回転ポンプ、6……
ポンプ電源、7……リーク弁、8……駆動回路、
9……パルス発生回路、10……真空計、11…
…制御回路。
2図はその動作を説明するための図、第3図は本
考案の他の実施例を示す構成略図、第4図a乃至
第4図cはターボ分子ポンプ内の圧力の変化を示
すグラフ、第5図a及びbは本考案の他の実施例
における動作を説明するための図である。 1……被排気室、2……ターボ分子ポンプ、
3,4……排気管、5……油回転ポンプ、6……
ポンプ電源、7……リーク弁、8……駆動回路、
9……パルス発生回路、10……真空計、11…
…制御回路。
Claims (1)
- 被排気室と、該被排気室を排気するターボ分子
ポンプと、該ターボ分子ポンプ内をリークするた
めのリーク弁とを備え、前記ターボ分子ポンプ内
をリーク弁でリークする際、リーク弁を間歇的に
開閉するように構成したことを特徴とするターボ
分子ポンプ用リーク弁の開閉制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18464584U JPH018714Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18464584U JPH018714Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6199694U JPS6199694U (ja) | 1986-06-25 |
JPH018714Y2 true JPH018714Y2 (ja) | 1989-03-08 |
Family
ID=30742130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18464584U Expired JPH018714Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH018714Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2466145A3 (de) * | 2010-12-17 | 2015-01-07 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Verfahren zum Belüften einer Vakuumpumpe and Anordnung mit einer Vakuumpumpe |
EP2960520A1 (de) * | 2014-06-26 | 2015-12-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum fluten einer vakuumkammer |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007051045B4 (de) * | 2007-10-25 | 2020-11-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren |
GB2552958B (en) * | 2016-08-15 | 2019-10-30 | Edwards Ltd | Turbo pump vent assembly and method |
EP3339651B1 (de) * | 2016-12-23 | 2019-05-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP18464584U patent/JPH018714Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2466145A3 (de) * | 2010-12-17 | 2015-01-07 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Verfahren zum Belüften einer Vakuumpumpe and Anordnung mit einer Vakuumpumpe |
EP2960520A1 (de) * | 2014-06-26 | 2015-12-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum fluten einer vakuumkammer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6199694U (ja) | 1986-06-25 |
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