JPH11203723A - ディスク状記録媒体用基板及びディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 浮上型光学ヘッドと衝突することがなく、高
密度で信頼性の高いディスク状記録媒体を得ることがで
きるディスク状記録媒体用基板及びこのディスク状記録
媒体用基板を用いたディスク状記録媒体に対して記録及
び／又は再生を行うディスク装置を提供する。 【解決手段】 浮上型光学ヘッドにより情報信号の書き
込み又は読み取りが行われるディスク状記録媒体に用い
られるディスク状記録媒体用基板において、少なくとも
信号が記録される領域には、波長が浮上型光学ヘッドの
走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用されるレ
ーザビームの波長の１／４以上となるうねりが形成され
ないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光を使用して記録
及び／又は再生が行われるディスク状記録媒体に用いら
れるディスク状記録媒体用基板及びこのディスク状記録
媒体用基板を用いたディスク状記録媒体に対して記録及
び／又は再生を行うディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、再生専用光ディスク、光磁気
ディスク、相変化型光ディスク等のように、光を用いて
情報信号の書き込みや読み取りが行われるディスク状記
録媒体が普及している。

【０００３】これらのディスク状記録媒体に対して情報
信号の記録及び／又は再生を行うディスク装置は、例え
ば再生時においては、半導体レーザからレーザビームを
出射して、このレーザビームを光学系を用いて絞り込
み、装着されたディスク状記録媒体の信号記録面上に焦
点を合わせて照射し、その反射光を検出することによ
り、ディスク状記録媒体に記録された情報信号を読み取
るようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
光を用いてディスク状記録媒体に対して情報信号の書き
込みや読み出しを行うシステムが普及する中で、このシ
ステムに用いられるディスク状記録媒体は、記録密度の
向上と信頼性の向上とが求められている。

【０００５】しかしながら、このようなシステムにおい
ては、記録密度の向上を図るべく、光学ヘッドとしてデ
ィスク状記録媒体上を僅かな浮上量で浮上する浮上型光
学ヘッドを採用した場合に、光学ヘッドとディスク状記
録媒体とが衝突してしまう可能性があり、このような光
学ヘッドとディスク状記録媒体との衝突がディスク状記
録媒体の信頼性を損う大きな要因となっていた。

【０００６】そこで、本発明は、高密度で信頼性の高い
ディスク状記録媒体を得ることができるディスク状記録
媒体用基板及びこのディスク状記録媒体用基板を用いた
ディスク状記録媒体に対して記録及び／又は再生を行う
ディスク装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るディスク状
記録媒体用基板は、上述した課題を解決すべく創案され
たものであって、ディスク状記録媒体上を浮上しながら
光源からの光を集束して上記ディスク状記録媒体に照射
する浮上型光学ヘッドにより情報信号の書き込み又は読
み取りが行われるディスク状記録媒体に用いられるディ
スク状記録媒体用基板において、少なくとも信号が記録
される領域には、波長が上記浮上型光学ヘッドの走行方
向の長さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波長の１／
４以上となるうねりが形成されていないことを特徴とす
るものである。

【０００８】ディスク状記録媒体は、このディスク状記
録媒体用基板を基板として用いることにより、少なくと
も信号が記録される領域を、波長が浮上型光学ヘッドの
走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の
波長の１／４以上となるうねりのない平滑な平面とする
ことができ、浮上型光学ヘッドを僅かな浮上量で浮上さ
せた場合であっても、浮上型光学ヘッドとの衝突が回避
され、信頼性の向上及び高密度記録が可能となる。

【０００９】特に、近年、ニアフィールド記録と呼ばれ
る記録再生方式を用いて、レーザビームのスポット径を
小さくし、ディスク状記録媒体の高密度記録化を図るよ
うにしたシステムが提案されている。

【００１０】このニアフィールド記録は、レーザビーム
が屈折率ｎの高いレンズを透過したときに、このレンズ
から極めて近接した領域において得られる、スポットが
１／ｎに絞られた漏れ光を利用して記録再生を行うもの
である。このとき、記録再生を行うために必要な出力を
もつ漏れ光が得られるのは、レンズからの距離がλ／４
程度までの領域である。

【００１１】したがって、例えばディスク状記録媒体に
対して記録及び／又は再生を行うために使用される光の
波長λが約６５９ｎｍである場合、ニアフィールド記録
により高密度記録を図るためには、浮上型光学ヘッドを
ディスク状記録媒体の信号記録面から約１６５ｎｍ（λ
／４）以内の浮上量で浮上させて、記録及び／又は再生
を行う必要がある。

【００１２】このとき、ディスク状記録媒体の信号が記
録される領域に浮上型光学ヘッドの走行方向の長さより
も波長が短いうねりが存在すると、浮上型光学ヘッドは
このうねりに追従できない。そして、このうねりの最大
振幅が約１６５ｎｍ（λ／４）以上であると、浮上型光
学ヘッドとディスク状記録媒体とが衝突し、浮上型光学
ヘッドの損傷あるいはディスク状記録媒体自体の損傷を
招いてしまう場合がある。

【００１３】浮上型光学ヘッドの走行方向の長さよりも
波長が短く、最大振幅が約１６５ｎｍ以上のうねりが形
成されたディスク状記録媒体の信号が記録される領域
を、任意の方向に４０００μｍに亘って走査して得たデ
ィスク状記録媒体表面の様子を図１に示す。なお、図１
において、縦軸はディスク状記録媒体の基準面を０とし
たときの、ディスク状記録媒体表面の基準面からの距離
を示し、横軸は走査した位置を示している。

【００１４】また、図１において、ディスク状記録媒体
の実際の表面は実線で表しており、このディスク状記録
媒体の平均面を仮想線（一点鎖線）で表している。実線
で表されたディスク状記録媒体表面の微細な凹凸は、デ
ィスク状記録媒体表面に予め形成されたサーボパターン
である。

【００１５】また、浮上型光学ヘッドを図１中に波線で
示している。なお、この浮上型光学ヘッドの走行方向の
長さは、約２ｍｍとされている。

【００１６】このディスク状記録媒体には、図１に示す
ように、半径方向の位置が３０００〜４０００μｍの領
域において、最大振幅が１６５ｎｍ以上であるうねりが
形成されている。そして、このうねりは、波長が浮上型
光学ヘッドの走行方向の長さよりも短い。したがって、
浮上型光学ヘッドは、このうねりに追従することができ
ずに衝突してしまうことになる。

【００１７】本発明に係るディスク状記録媒体用基板を
用いたディスク状記録媒体は、少なくとも信号が記録さ
れる領域が、波長が浮上型光学ヘッドの走行方向の長さ
以下で、且つ、最大振幅が光の波長の１／４以上となる
うねりのない平滑な平面とされるので、このニアフィー
ルド記録により記録及び／又は再生を行うようにしても
光学ヘッドとの衝突が回避され、信頼性を損なうことな
く記録密度を大幅に向上させることができる。

【００１８】また、本発明に係るディスク状記録媒体用
基板は、樹脂を射出成形することにより形成されている
ことが望ましい。

【００１９】ディスク状記録媒体用樹脂基板は、樹脂を
射出成形して形成されることにより、ディスク表面にヘ
ッド位置決め情報やアドレス情報のための凹部が設けら
れたディスク状記録媒体やトラック間にグルーブを有す
るディスク状記録媒体用の基板として、精度良く且つ容
易に形成することができ、ハードディスク等で用いられ
ているアルミニウム基板に比べて生産性良く且つ低コス
トで製造することができる。

【００２０】なお、この射出成形の際には、成形面に直
接転写パターンが形成された成形用金型を用いることが
望ましい。このように、成形面に直接転写パターンが形
成された成形用金型を用いて射出成形を行うことによ
り、振幅の大きなうねりの発生を抑制することができ
る。

【００２１】また、本発明に係るディスク状記録媒体用
基板は、熱可塑性ノルボルネン系樹脂を射出成形するこ
とにより形成されていることが、より望ましい。

【００２２】ディスク状記録媒体用基板の材料として、
例えばポリカーボネートやメチルメタクリレート等を用
いた場合、吸湿によりディスク状記録媒体用基板に大き
な変形を生じさせてしまうことがあり、光学ヘッドを近
接させて記録及び／又は再生を行うディスク状記録媒体
に用いる基板の材料としては必ずしも適当とはいえな
い。また、低吸湿性のプラスチック材料を用いた場合で
あっても、ポリメチルペンテンやポリスチレン等では、
結晶性を有するために、成形後にディスク状記録媒体用
基板に変形を生じさせてしまう場合があり、さらには耐
熱性が不十分である等の問題がある。

【００２３】これに対して、ディスク状記録媒体用基板
の材料として、熱可塑性ノルボルネン系樹脂を用いた場
合は、十分な耐熱性が得られ、吸湿や結晶性による変形
もほとんどなく、浮上型光学ヘッドを近接させて記録及
び／又は再生を行うディスク状記録媒体用の基板として
最適なディスク状記録媒体用基板が得られる。

【００２４】また、本発明に係るディスク装置は、ディ
スク状記録媒体を回転駆動させるモータと、このモータ
により回転駆動されるディスク状記録媒体上を、使用す
る光の波長の１／４以内の浮上量で浮上して、このディ
スク状記録媒体に対して情報信号の書き込み又は読み取
りを行う浮上型光学ヘッドとを備え、上記ディスク状記
録媒体の少なくとも信号が記録される領域には、波長が
浮上型光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大
振幅が上記光の波長の１／４以上となるうねりが形成さ
れていないことを特徴としている。

【００２５】このディスク装置によれば、浮上型光学ヘ
ッドが、モータにより回転駆動されるディスク状記録媒
体上を使用される光の波長の１／４以内の浮上量で浮上
して、このディスク状記録媒体に対して情報信号の書き
込み又は読み出しを行う。

【００２６】このとき、ディスク状記録媒体の少なくと
も信号が記録される領域には、波長が浮上型光学ヘッド
の走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波
長の１／４以上となるうねりが形成されていないので、
浮上型光学ヘッドとディスク状記録媒体との衝突が回避
され、信頼性の高い記録及び／又は再生を行うことがで
きる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００２８】本発明に係るディスク状記録媒体用基板
（以下、ディスク基板という。）は、再生専用光ディス
ク、光磁気ディスク、相変化型光ディスク等のように、
光を使用して記録及び／又は再生が行われるディスク状
記録媒体に用いられる基板であって、少なくともディス
ク状記録媒体の信号が記録される領域には、浮上型光学
ヘッドの走行方向の長さよりも波長が短く且つ最大振幅
が上記光の波長の１／４以上となるうねりが形成されて
いないことを特徴としている。

【００２９】そして、このディスク基板は、特に、ニア
フィールド記録と呼ばれる、近接場の漏れ光を利用して
記録再生を行う方式により情報信号の書き込み又は読み
取りが行われるディスク状記録媒体の基板として好適で
ある。

【００３０】ニアフィールド記録は、屈折率ｎの高いレ
ンズを有する光学ヘッドを、ディスク状記録媒体の信号
記録面に近接させて、このディスク状記録媒体の信号記
録面上にスポット径が１／ｎに絞られたレーザビームを
照射し、ディスク状記録媒体に情報信号を書き込み、又
はディスク状記録媒体から情報信号を読み取る方式であ
り、スポット径を小さくすることにより、高密度記録を
実現するものである。

【００３１】このニアフィールド記録により、情報信号
の書き込み又は読み取りを行う場合、必要とされる出力
を得ることができるのは、光学ヘッドからの距離が使用
する光の波長の１／４以内の範囲である。

【００３２】そこで、ニアフィールド記録により情報信
号の書き込み又は読み取りを行う場合は、光学ヘッド
を、ハードディスク装置等で採用される浮上型ヘッドの
技術を用いた浮上型光学ヘッドとして構成し、この浮上
型光学ヘッドをディスク状記録媒体の信号記録面から使
用する光の波長の１／４以内の高さで浮上させて、情報
信号の書き込み又は読み取りを行うようにしている。

【００３３】本発明に係るディスク基板は、信号が記録
される領域に、浮上型光学ヘッドの走行方向の長さより
も波長が短く且つ最大振幅が上記光の波長の１／４以上
となるうねりが形成されていないので、ニアフィールド
記録により情報信号の書き込み又は読み取りを行うよう
にしても、浮上型光学ヘッドとの衝突が回避され、信頼
性が向上する。

【００３４】以下、このディスク基板を樹脂を用いて成
形し、光磁気記録層を有する光磁気ディスクの基板とし
て用いて、浮上型光学ヘッドでニアフィールド記録によ
りこの光磁気ディスクに対して情報信号の書き込み又は
読み取りを行うようにした例について説明する。

【００３５】光磁気ディスク１０は、例えば図２に示す
ように、ディスク基板１１上に光磁気記録層１２が形成
されている。

【００３６】光磁気記録層１２は、Ａｌ反射膜１３と、
第１の誘電体膜１４と、記録膜１５と、第２の誘電体膜
１６とが順次積層されてなる。

【００３７】記録膜１５は、光磁気効果を発揮する膜で
あり、その材料としては、例えば、希土類としてＴｂ、
遷移金属としてＦｅを用いたＴｂ−Ｆｅアモルファス系
の材料等が用いられる。

【００３８】Ａｌ反射膜１３は、光磁気記録層１２の反
射率を向上させるためのものである。

【００３９】また、第１及び第２の誘電体膜１４，１６
は、記録膜１５の耐湿性の向上やディスク基板１１の熱
変形を防止を図るとともに、記録膜１５による光の吸収
を増大させるといった光学的な効率の向上を図るための
ものであり、その材料としては、例えば、ＺｎＳ−Ｓｉ
Ｏ₂系の材料等が用いられる。

【００４０】光磁気ディスク１０は、ディスク基板１１
上に、上述した光磁気記録層１２を構成する各膜が、例
えばスパッタリング等により成膜されることにより製造
される。

【００４１】なお、光磁気ディスク１０は、光磁気記録
層１２上に、光磁気記録層１２を保護するための保護層
１７や、浮上型光学ヘッドが光磁気ディスク１０に接触
した際の衝撃を緩和するための、図示しない潤滑剤層が
形成されていることが望ましい。

【００４２】保護層１７は、例えばカーボンやＳｉＯ₂
等がスパッタリング等により光磁気記録層１２上に成膜
されることにより形成される。

【００４３】また、潤滑剤層は、例えばパーフルオロポ
リエーテル等がスピンコート法等により保護層１７上に
塗布されることにより形成される。

【００４４】一方、浮上型光学ヘッド２０は、図３に示
すように、半導体レーザから出射されるレーザビームを
集光するプリフォーカスレンズ２１と、このプリフォー
カスレンズ２１により集光されたレーザビームをさらに
絞り込んでビームスポットを形成するフォーカスレンズ
２２との２種類のレンズを備え、これらがレンズホルダ
２３に支持されてなる。

【００４５】２種類のレンズのうち、フォーカスレンズ
２２は、屈折率の高い材料が例えば半球状に成形されて
なり、円形平面が光磁気ディスク１０の光磁気記録層１
２側の面と対向するように、レンズホルダ２３に支持さ
れている。

【００４６】また、この浮上型光学ヘッド２０には、磁
界変調用の薄膜コイル２４が、フォーカスレンズ２２の
外周側に位置して、レンズホルダ２３に支持された状態
で設けられている。そして、この浮上型光学ヘッド２０
は、走行方向の長さＬが例えば約２ｍｍとされている。

【００４７】以上のように構成される浮上型光学ヘッド
２０は、回転する光磁気ディスク１０上を浮上しなが
ら、半導体レーザから出射されたレーザビームを集光し
て光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に照射させ
る。また、この浮上型光学ヘッド２０は、記録時におい
ては、薄膜コイル２４が所定の強度の磁界を発生して、
この磁界を光磁気記録層１２のレーザビームが照射され
た箇所に印加する。

【００４８】このような構成の浮上型光学ヘッド２０を
用いた場合、ニアフィールド記録により光磁気ディスク
１０に対して情報信号の記録及び再生を行うことができ
る。すなわち、浮上型光学ヘッド２０は、光磁気ディス
ク１０に極めて近接しながら、屈折率ｎの高い材料から
なるフォーカスレンズ２２を透過したレーザビームを光
磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に照射させて情報
信号の記録及び再生を行うようになされているので、情
報信号の記録及び再生にスポットが１／ｎに絞られた漏
れ光を利用することができる。

【００４９】詳述すると、対物レンズがディスクからあ
る程度離れた位置に配置される光学系を用いて波長がλ
のレーザビームを集光した場合、レーザビームのスポッ
ト径は、λ／ＮＡ（ＮＡは光学系の開口数）となるが、
浮上型光学ヘッド２０を用いて波長がλのレーザビーム
を集光した場合、フォーカスレンズ２２に極めて近接し
た領域においては、径が１／ｎ×λ／ＮＡ（ｎはフォー
カスレンズ２２の屈折率、ＮＡは浮上型光学ヘッド２０
の開口数）と絞られたレーザビームのスポットを得るこ
とができる。

【００５０】このとき、情報信号の記録及び再生を行う
ために必要な出力をもつ漏れ光が得られるのは、レンズ
からの距離がλ／４程度までの領域である。

【００５１】したがって、この浮上型光学ヘッド２０
を、光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２からλ／４
以内の浮上量で浮上させて、光磁気ディスク１０に対し
て記録及び再生を行うことにより、対物レンズがディス
クからある程度離れた位置に配置される光学系を用いた
場合に比べて光磁気ディスク１０の記録容量をｎ倍程度
にまで向上させることができる。

【００５２】ところで、ディスク基板１１には、成形の
際の金型の表面精度等が反映されて、表面にうねりが生
じている場合がある。そして、このディスク基板１１の
うねりは、そのまま光磁気ディスク１０のうねりとして
現れる。なお、ここでうねりとは、成形の際に生じるデ
ィスク基板１１の表面の起伏であって、核となる異物粒
子等が存在しないディスク基板１１の表面の起伏をい
う。

【００５３】浮上型光学ヘッド２０は、図４に示すよう
に、光磁気ディスク１０のうねりが、波長ｂが長い大き
なうねりである場合には、そのうねりに追従して、光磁
気ディスク１０上を所定の浮上量ｈで浮上する。

【００５４】しかしながら、図５に示すように、浮上型
光学ヘッド２０は、光磁気ディスク１０のうねりの波長
ｂが短くなるに従って、次第にこのうねりに追従できな
くなり、浮上量ｈにΔｈ分だけ変動が生じる。そして、
うねりの波長ｂが浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長
さＬよりも短くなると、浮上型光学ヘッド２０は、この
うねりに全く追従することができず、浮上量ｈの変動量
Δｈがうねりの最大振幅ａに一致するようになる。

【００５５】光磁気ディスク１０のうねりの波長ｂと浮
上型光学ヘッド２０の浮上変動量Δｈとの関係を図６に
示す。なお、図６において、縦軸は（浮上型光学ヘッド
２０の浮上変動量Δｈ）／（光磁気ディスク１０のうね
りの最大振幅ａ）を示し、横軸は（光磁気ディスク１０
のうねりの波長ｂ）／（浮上型光学ヘッド２０の走行方
向の長さＬ）を示している。

【００５６】図６から分かるように、光磁気ディスク１
０のうねりの波長ｂが浮上型光学ヘッド２０の走行方向
の長さＬに対して十分に長い場合、すなわち、（光磁気
ディスク１０のうねりの波長ｂ）／（浮上型光学ヘッド
２０の走行方向の長さＬ）の値が大きい場合は、（浮上
型光学ヘッド２０の浮上変動量Δｈ）／（光磁気ディス
ク１０のうねりの最大振幅ａ）の値が小さくなる。そし
て、（光磁気ディスク１０のうねりの波長ｂ）／（浮上
型光学ヘッド２０の走行方向の長さＬ）の値が大きくな
ればなるほど、（浮上型光学ヘッド２０の浮上変動量Δ
ｈ）／（光磁気ディスク１０のうねりの最大振幅ａ）の
値は０に近づき、浮上型光学ヘッド２０は、光磁気ディ
スク１０のうねりに追従して走行する。

【００５７】一方、光磁気ディスク１０のうねりの波長
ｂが浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さＬ以下であ
る場合、すなわち、（光磁気ディスク１０のうねりの波
長ｂ）／（浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さＬ）
の値が１以下の場合は、（浮上型光学ヘッド２０の浮上
変動量Δｈ）／（光磁気ディスク１０のうねりの最大振
幅ａ）の値は約１であり、浮上型光学ヘッド２０が光磁
気ディスク１０のうねりに全く追従していないことが分
かる。

【００５８】ニアフィールド記録により、光磁気ディス
ク１０に対して情報信号の記録及び再生を行う場合、記
録及び再生に必要な出力を得るためには、上述したよう
に、浮上型光学ヘッド２０を、光磁気ディスク１０の光
磁気記録層１２からλ／４以内の浮上量で浮上させて、
光磁気ディスク１０に対して記録及び再生を行う必要が
ある。

【００５９】このとき、光磁気ディスク１０の信号記録
領域に、最大振幅がλ／４以上の浮上型光学ヘッド２０
が全く追従できないうねりが存在すると、このうねりが
原因となって光磁気ディスク１０と浮上型光学ヘッド２
０とが衝突してしまい、光磁気ディスク１０あるいは浮
上型光学ヘッド２０の損傷を招いてしまうことになる。

【００６０】そこで、ディスク基板１１は、少なくとも
光磁気ディスク１０の信号が記録される領域に、波長が
浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さＬ以下で、且
つ、最大振幅がレーザビームの波長の１／４以上となる
うねりが形成されないようにしている。

【００６１】ここで、本発明に係るディスク基板１１の
製造方法について説明する。このディスク基板１１は、
例えば成形面に転写パターンが形成された成形用金型を
用い、樹脂材料が例えば射出成形されることにより製造
される。

【００６２】このディスク基板１１の材料として使用す
る樹脂材料としては、耐熱性、精密成形性、低吸湿変形
性、高弾性率等に優れた熱可塑性樹脂が好ましい。

【００６３】さらに詳しくは、耐熱性の観点から、ガラ
ス転移温度が５０℃以上、好ましくは７０℃以上、より
好ましくは１００℃以上、精密成形性の観点から、非晶
性樹脂でガラス転移温度が３００℃以下、好ましくは２
５０℃以下、より好ましくは２００℃以下、低吸湿性の
観点から、吸水率（２５℃、２４時間浸漬後）が０．２
％以下、好ましくは０．１％以下の非晶質熱可塑性樹脂
が好ましく、これらのバランスがよい点で、熱可塑性ノ
ルボルネン系樹脂が最も好ましい。

【００６４】ディスク基板１１の射出成形に用いられる
成形用金型５０は、例えば図７に示すように、一対の固
定金型５１及び可動金型５２と、これら固定金型５１及
び可動金型５２に取り付けられディスク基板１１の外周
端部を成形する図示しない環状型体とを備えている。こ
れら固定金型５１及び可動金型５２と環状金型は、それ
ぞれ図示しない冷却機構により冷却されるようになされ
ている。

【００６５】成形用金型５０は、可動金型５２が固定金
型５１に突き合わされたときに、両者間に樹脂材料が充
填されるキャビティが形成される。そして、この成形用
金型５０は、キャビディを構成する固定金型５１と可動
金型５２のそれぞれの対向面５１ａ，５２ａがディスク
成形面とされており、これらの対向面５１ａ，５２ａ
に、例えば、所望のトラックパターンやサーボパターン
に対応した転写パターンが形成されている。

【００６６】ここで、固定金型５１と可動金型５２のそ
れぞれの対向面５１ａ，５２ａに転写パターンを形成す
る工程について説明する。

【００６７】まず、図８に示すように、固定金型５１と
可動金型５２の転写パターンが形成されるそれぞれの対
向面５１ａ，５２ａに、めっき処理や鏡面仕上げ加工等
の表面処理が施され、それぞれの対向面５１ａ，５２ａ
に形成されたピンホール等の穴や間隙等が埋められる。

【００６８】次に、図９に示すように、表面処理が施さ
れた固定金型５１と可動金型５２のそれぞれの対向面５
１ａ，５２ａに、レジスト５３が塗布される。

【００６９】次に、図１０に示すように、レジスト５３
が塗布された固定金型５１と可動金型５２のそれぞれの
対向面５１ａ，５２ａに、転写パターンに対応してレー
ザ光が照射され、所定の箇所のレジストが露光される。

【００７０】次に、図１１に示すように、レーザ光が照
射されたレジストが現像され、除去される。

【００７１】次に、図１２に示すように、除去されずに
残ったレジストをマスクとして、固定金型５１と可動金
型５２のそれぞれの対向面５１ａ，５２ａに、例えばア
ルゴンイオン等のガスによりエッチング処理が施され
る。

【００７２】最後に、図１３に示すように、マスクとさ
れたレジストが洗浄除去され、固定金型５１と可動金型
５２のそれぞれの対向面５１ａ，５２ａに、所望の転写
パターンが形成される。

【００７３】以上のように転写パターンが形成された成
形用金型５０は、図示しない射出成形装置に装着され
る。そして、ディスク基板１１を製造する際は、まず、
可動金型５２が移動操作され、固定金型５１に突き合わ
されて、可動金型５２と固定金型５１のそれぞれの対向
面５１ａ，５２ａ間にキャビティが形成される。

【００７４】次に、この成形用金型５０のキャビティ内
に、溶融された樹脂材料が、所定の圧力で注入され、充
填される。キャビティ内に充填された樹脂材料は、キャ
ビティ内で冷却固化されることにより、ディスク基板１
１として成形される。このとき、固定金型５１と可動金
型５２のそれぞれの対向面５１ａ，５２ａに形成された
転写パターンが、ディスク基板１１の表面に転写され、
ディスク基板１１の表面に所望のトラックパターンやサ
ーボパターンが形成される。

【００７５】ディスク基板１１は、以上のように製造さ
れることにより、少なくとも光磁気ディスク１０の信号
記録領域となる領域に、波長が浮上型光学ヘッドの走行
方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用されるレーザ
ビームの波長の１／４以上となるうねりが形成されてい
ない平面が得られる。

【００７６】実際に、以上のように製造されたディスク
基板１１の信号記録領域となる領域を半径方向に４００
０μｍ走査し、ディスク基板１１のうねりの状態を調べ
た。このディスク基板１１の表面の様子を図１４に示
す。なお、図１４において、縦軸はディスク基板１１の
基準面を０としたときの、ディスク基板１１表面の基準
面からの距離を示し、横軸はディスク基板１１の半径方
向の位置を示している。

【００７７】また、図１４において、ディスク基板１１
の実際の表面は実線で表しており、このディスク基板１
１の平均面を仮想線（一点鎖線）で表している。実線で
表されたディスク基板１１表面の微細な凹凸は、ディス
ク基板１１表面に予め形成されたサーボパターンであ
る。

【００７８】このディスク基板１１には、図１４に示す
ように、波長が浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さ
以下であるうねりは確認されなかった。波長が浮上型光
学ヘッド２０の走行方向の長さに対して十分に長い、大
きなうねりは確認されたが、この大きなうねりに対して
は、浮上型光学ヘッド２０が追従するので問題はない。
なお、浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さは、約２
ｍｍとされている。

【００７９】光磁気ディスク１０は、このディスク基板
１１上に光磁気記録層１２が形成されて製造されること
により、少なくとも信号記録領域を、波長が上記浮上型
光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が
上記光の波長の１／４以上となるうねりのない平滑な面
とすることができ、浮上型光学ヘッド２０でニアフィー
ルド記録により記録再生を行う際に、浮上型光学ヘッド
２０と衝突するという不都合が回避され、信頼性が向上
する。

【００８０】なお、以上は、本発明を光磁気記録層１２
を有する光磁気ディスク１０用のディスク基板１１に適
用した例について説明したが、本発明はこの例に限定さ
れるものではなく、再生専用の光ディスク用のディスク
基板や相変化型の光ディスク用のディスク基板に適用す
ることもできる。

【００８１】以上のようなディスク基板１１を用いた光
磁気ディスク１０は、例えば図１５及び図１６に示すよ
うなディスク装置３０に装着されて記録及び再生が行わ
れる。なお、図１５は、このディスク装置３０の概略構
成を示すブロック図であり、図１６は、このディスク装
置３０の要部の縦断面図である。

【００８２】このディスク装置３０は、光磁気ディスク
１０を回転駆動させるスピンドルモータ３１と、このス
ピンドルモータ３１により回転駆動される光磁気ディス
ク１０に対して情報信号の書き込み又は読み出しを行う
ヘッド機構３２と、ヘッド機構３２から供給された受光
信号に基づいてＭＯ再生信号及び制御信号を生成する信
号処理部３３と、スピンドルモータ３１及びヘッド機構
３２の動作を制御するシステムコントローラ３４とを備
えている。

【００８３】スピンドルモータ３１は、システムコント
ローラ３４の制御により、保持した光磁気ディスク１０
を所定の速度で回転駆動させる。

【００８４】ヘッド機構３２は、図１６に示すように、
浮上型光学ヘッド２０と、この浮上型光学ヘッド２０を
駆動させるヘッド駆動部４０と、光磁気ディスク１０に
向けてレーザビームを出射するとともに光磁気ディスク
１０にて反射されたレーザビーム（戻り光）を受光する
発光／受光部４４とを備えている。

【００８５】浮上型光学ヘッド２０は、先に図３で示し
たように、プリフォーカスレンズ２１とフォーカスレン
ズ２２とがレンズホルダ２３に支持されてなり、フォー
カスレンズ２２の外周側には磁界変調用の薄膜コイル２
４が設けられている。なお、この浮上型光学ヘッド２０
の詳細は上述した通りであるので、ここでは説明を省略
する。

【００８６】ヘッド駆動部４０は、回動軸４３に回動可
能に取り付けられてその一端側にて浮上型光学ヘッド２
０を支持する支持アーム４１と、この支持アーム４１の
他端側に設けられこの支持アーム４１を回動させるボイ
スコイルモータ４２とを備えている。

【００８７】このヘッド駆動部４０は、システムコント
ローラ３４の制御により、ボイスコイルモータ４２に所
定の電流が供給されると、ボイスコイルモータ４２が支
持アーム４１を回動軸４３を回動中心として回動させ、
支持アーム４１の一端側に取り付けられた浮上型光学ヘ
ッド２０を、回転する光磁気ディスク１０の光磁気記録
層１２から所定量浮上させた状態で、光磁気ディスク１
０の径方向に移動させる。

【００８８】発光／受光部４４は、図示を省略するが、
光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に向けて所定の
波長のレーザビームを出射する半導体レーザと、光磁気
ディスク１０の光磁気記録層１２からの戻り光を受光
し、受光した光を電気信号（受光信号）に変換してこの
受光信号を信号処理部３３に供給するフォトディテクタ
とを備えている。また、半導体レーザから出射され光磁
気ディスク１０の光磁気記録層１２で反射されてフォト
ディテクタで受光されるレーザビームの光路上には、図
５に示すようなレーザビームを反射させて光路を折り曲
げるミラー４５，４６や、図示を省略するが、レーザビ
ームを分離するビームスプリッタ等の光学素子が配置さ
れている。

【００８９】信号処理部３３は、ヘッド機構３２の発光
／受光部４４のフォトディテクタから供給される受光信
号に基づいて、ＭＯ再生信号を生成してこのＭＯ再生信
号を出力するとともに、トラッキングエラー信号等の制
御信号を生成してこの制御信号をシステムコントローラ
３４に供給する。

【００９０】システムコントローラ３４は、スピンドル
モータ３１の動作を制御して光磁気ディスク１０を所定
の速度で回転させる。また、システムコントローラ３４
は、図示しない装置から供給される記録信号に基づいて
ヘッド機構３２に記録動作を行わせるとともに、ヘッド
機構３２に再生動作を行わせる。このとき、システムコ
ントローラ３４は、信号処理部３３から供給される制御
信号に基づいてヘッド機構３２にトラッキング制御を行
わせる。

【００９１】以上のように構成されるディスク装置３０
は、記録時においては、システムコントローラ３４の制
御により、スピンドルモータ３１が、装着された光磁気
ディスク１０を所定の速度で回転させる。また、発光／
受光部４４の半導体レーザが、例えば波長が６５９ｎｍ
の赤色レーザビームを出射する。

【００９２】半導体レーザから出射されたレーザビーム
は、ミラー４５，４６により曲折され、浮上型光学ヘッ
ド２０に入射される。

【００９３】浮上型光学ヘッド２０は、ヘッド駆動部４
０の支持アーム４１に支持されて、回転する光磁気ディ
スク１０上を、例えば光磁気記録層１２から１６５ｎｍ
以内の浮上量で浮上した状態で、入射したレーザビーム
を収束して光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に照
射させる。このとき、光磁気ディスク１０の表面には、
波長が浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さ以下で、
且つ最大振幅が１６５ｎｍ以上のうねりが形成されてい
ないので、浮上型光学ヘッド２０が光磁気ディスク１０
の突起に衝突する不都合が回避される。

【００９４】また、浮上型ヘッド２０は、システムコン
トローラ３４の制御により、薄膜ヘッド２４が記録信号
に対応した強度の磁界を発生し、この磁界を光磁気記録
層１２のレーザビームが照射された箇所に印加する。

【００９５】以上のようにして、ディスク装置３０は、
光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に所定の情報信
号を記録する。なお、この記録時においても、後述する
再生時と同様にトラッキング制御が行われる。

【００９６】ディスク装置３０は、再生時においては、
システムコントローラ３４の制御により、スピンドルモ
ータ３１が、装着された光磁気ディスク１０を所定の速
度で回転させる。また、発光／受光部４４の半導体レー
ザが、例えば波長が６５９ｎｍの赤色レーザビームを出
射する。

【００９７】半導体レーザから出射されたレーザビーム
は、ミラー４５，４６にて反射され、浮上型光学ヘッド
２０に入射される。

【００９８】浮上型光学ヘッド２０は、ヘッド駆動部４
０の支持アーム４１に支持されて、回転する光磁気ディ
スク１０上を、例えば光磁気記録層１２から１６５ｎｍ
以内の浮上量で浮上した状態で、入射したレーザビーム
を収束して光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に照
射させる。

【００９９】このとき、光磁気ディスク１０の表面に
は、波長が浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さ以下
で、且つ最大振幅が１６５ｎｍ以上のうねりが形成され
ていないので、浮上型光学ヘッド２０が光磁気ディスク
１０の突起に衝突する不都合が回避される。

【０１００】光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２に
照射されたレーザビームは、この光磁気記録層１２で反
射され、信号成分を含んだ戻り光となる。そして、この
戻り光は、浮上型光学ヘッド２０を透過し、ミラー４
５，４６にて反射されて、発光／受光部４４のフォトデ
ィテクタにより受光される。

【０１０１】フォトディテクタは、受光した戻り光を電
気信号（受光信号）に変換して、信号処理部３３に供給
する。

【０１０２】信号処理部３３は、フォトディテクタから
供給された受光信号に基づいてＭＯ再生信号を生成して
出力するとともに、フォトディテクタから供給された受
光信号に基づいてトラッキングエラー信号等の制御信号
を生成し、この制御信号をシステムコントローラ３４に
供給する。

【０１０３】システムコントローラ３４は、信号処理部
３３より供給された制御信号に基づいてヘッド駆動部４
０のボイスコイルモータ４３を制御して、支持アーム４
１に支持された浮上型光学ヘッド２０を光磁気ディスク
１０の径方向に移動させ、トラッキング制御を行う。

【０１０４】以上のようにして、ディスク装置３０は、
光磁気ディスク１０に記録された情報信号を適切に再生
する。

【０１０５】このディスク装置３０は、浮上型光学ヘッ
ド２０が、光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２から
の離間距離がレーザビームの波長の１／４以内の範囲で
浮上しながら、光磁気ディスク１０の光磁気記録層１２
にレーザビームを照射するようにしているので、レーザ
ビームのスポット径を小さくすることができ、光磁気デ
ィスク１０に対して高密度で情報信号を記録し、また
は、高密度で情報信号が記録された光磁気ディスク１０
の情報信号を再生することができる。

【０１０６】また、このディスク装置３０は、基板表面
に、波長が浮上型光学ヘッド２０の走行方向の長さ以下
で、且つ最大振幅がレーザビームの波長の１／４以上と
なるうねりが形成されていないディスク基板１１を用い
た光磁気ディスク１０に対して情報信号の記録及び再生
を行うようにしているので、浮上型光学ヘッド２０が光
磁気ディスク１０の表面の突起に衝突して、浮上型光学
ヘッド２０あるいは光磁気ディスク１０の損傷を招いて
しまうという不都合が回避され、信頼性の高い記録及び
再生動作を行うことができる。

【０１０７】なお、以上は、光磁気ディスク１０に対し
て記録及び再生を行うディスク装置３０を例に説明した
が、本発明は、この例に限定されるものではなく、再生
専用の光ディスクに対して再生を行うディスク装置や、
相変化型の光ディスクに対して記録及び再生を行うディ
スク装置にも適用することができる。

【０１０８】

【発明の効果】本発明に係るディスク状記録媒体用基板
は、少なくともディスク状記録媒体の信号が記録される
領域に対応した領域には、波長が浮上型光学ヘッドの走
行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の波
長の１／４以上となるうねりが形成されていない。した
がって、この基板を用いたディスク状記録媒体は、光学
ヘッドとの衝突等が回避され、信頼性が大幅に向上す
る。

【０１０９】また、この基板を用いたディスク状記録媒
体は、浮上型光学ヘッドを信号記録層から使用する光の
波長の１／４以内の浮上量で浮上させて記録及び／又は
再生を行うようにしても、浮上型光学ヘッドとの衝突が
回避されるので、高密度な記録及び／又は再生が可能と
なる。

【０１１０】さらに、このディスク状記録媒体用基板
は、成形面に転写パターンが形成された成形用金型を用
い、樹脂を射出成形して形成するようにすれば、ディス
ク表面にヘッド位置決め情報やアドレス情報のための凹
部が設けられたディスク状記録媒体やトラック間にグル
ーブを有するディスク状記録媒体用の基板として、精度
良く且つ容易に形成することができ、ハードディスク等
で用いられているアルミニウム基板に比べて生産性良く
且つ低コストで製造することができる。

【０１１１】また、本発明に係るディスク装置は、信号
が記録される領域に、波長が浮上型光学ヘッドの走行方
向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の波長の
１／４以上となるうねりが形成されていないディスク状
記録媒体に対して情報信号の記録及び再生を行うように
しているので、使用する光の波長の１／４以内の浮上量
で浮上する浮上型光学ヘッドが、ディスク状記録媒体に
衝突して、浮上型光学ヘッドあるいはディスク状記録媒
体の損傷を招いてしまうという不都合が回避され、信頼
性の高い記録及び再生動作を行うことができる。

【０１１２】さらに、このディスク装置は、浮上型光学
ヘッドが、使用する光の波長の１／４以内の浮上量で浮
上しながら、ディスク状記録媒体に対して情報信号の書
き込み又は読み出しを行うようにしているので、光のス
ポット径を小さくすることができ、ディスク状記録媒体
に対して高密度で情報信号を記録し、または、高密度で
情報信号が記録されたディスク状記録媒体の情報信号を
再生することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ディスク状記録媒体のうねりの状態を説明する
図である。

【図２】光磁気ディスクの要部を示す縦断面図である。

【図３】光磁気ディスク上を浮上する浮上型光学ヘッド
を示す縦断面図である。

【図４】浮上型光学ヘッドが光磁気ディスクのうねりに
追従している状態を説明する図である。

【図５】浮上型光学ヘッドが光磁気ディスク基板のうね
りに追従しない状態を説明する図である。

【図６】光磁気ディスクのうねりの波長と浮上型光学ヘ
ッドの浮上変動量との関係を説明する図である。

【図７】本発明に係るディスク基板を製造する際に使用
される成形用金型の斜視図である。

【図８】固定金型及び可動金型のそれぞれの対向面に表
面処理を施す工程を説明する図である。

【図９】表面処理が施された固定金型及び可動金型のそ
れぞれの対向面にレジストを塗布する工程を説明する図
である。

【図１０】レジストが塗布された固定金型及び可動金型
のそれぞれの対向面に、転写パターンに対応してレーザ
光を照射して、所定の箇所のレジストを露光する工程を
説明する図である。

【図１１】露光されたレジストを現像し、除去する工程
を説明する図である。

【図１２】除去されずに残ったレジストをマスクとし
て、固定金型及び可動金型のそれぞれの対向面に、エッ
チング処理を施す工程を説明する図である。

【図１３】マスクとしたレジストを洗浄除去し、固定金
型及び可動金型のそれぞれの対向面に、所望の転写パタ
ーンを形成する工程を説明する図である。

【図１４】本発明に係るディスク基板のうねりの状態を
説明する図である。

【図１５】光ディスク装置の概略構成を示すブロック図
である。

【図１６】光ディスク装置の要部を示す縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 光磁気ディスク、１１ ディスク基板、１２ 光
磁気ディスク層、１７保護層、２０ 浮上型光学ヘッ
ド、３０ ディスク装置、３１ スピンドルモータ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスク状記録媒体上を浮上しながら光
   源からの光を集束して上記ディスク状記録媒体に照射す
   る浮上型光学ヘッドにより情報信号の書き込み又は読み
   取りが行われるディスク状記録媒体に用いられるディス
   ク状記録媒体用基板において、 少なくとも信号が記録される領域には、波長が上記浮上
   型光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅
   が上記光の波長の１／４以上となるうねりが形成されて
   いないことを特徴とするディスク状記録媒体用基板。
2. 【請求項２】 上記ディスク状記録媒体は、基板上に少
   なくとも信号記録層と保護層とが順次積層されてなり、
   上記保護層を透過した光が上記信号記録層上に照射され
   ることにより情報信号の書き込み又は読み取りが行われ
   るディスク状記録媒体であることを特徴とする請求項１
   記載のディスク状記録媒体用基板。
3. 【請求項３】 成形面に転写パターンが形成された成形
   用金型を用い、樹脂を射出成形することにより形成され
   ていることを特徴とする請求項１記載のディスク状記録
   媒体用基板。
4. 【請求項４】 上記樹脂は熱可塑性ノルボルネン系樹脂
   であることを特徴とする請求項３記載のディスク状記録
   媒体用基板。
5. 【請求項５】 ディスク状記録媒体を回転駆動させるモ
   ータと、 上記モータにより回転駆動されるディスク状記録媒体上
   を、使用する光の波長の１／４以内の浮上量で浮上し
   て、このディスク状記録媒体に対して情報信号の書き込
   み又は読み取りを行う浮上型光学ヘッドとを備え、 上記ディスク状記録媒体の少なくとも信号が記録される
   領域には、波長が上記浮上型光学ヘッドの走行方向の長
   さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波長の１／４以上
   となるうねりが形成されていないことを特徴とするディ
   スク装置。
6. 【請求項６】 上記ディスク状記録媒体の基板は、成形
   面に転写パターンが形成された成形用金型を用い、樹脂
   を射出成形することにより成形されていることを特徴と
   する請求項５記載のディスク装置。
7. 【請求項７】 上記ディスク状記録媒体の基板は、熱可
   塑性ノルボルネン系樹脂からなることを特徴とする請求
   項５記載のディスク装置。