JPH11183133A - 線材の寸法測定方法 - Google Patents
線材の寸法測定方法Info
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- JPH11183133A JPH11183133A JP34794497A JP34794497A JPH11183133A JP H11183133 A JPH11183133 A JP H11183133A JP 34794497 A JP34794497 A JP 34794497A JP 34794497 A JP34794497 A JP 34794497A JP H11183133 A JPH11183133 A JP H11183133A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、複数本並べて走行する線材の直径
を1台の光学式寸法測定装置により次々に測定する線材
の寸法測定方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 複数本並べて走行する線材1〜4を光学
式寸法測定装置10により線材1〜4の外径寸法を測定す
る線材の寸法測定方法であって、光学式寸法測定装置10
の投光部11と受光部13との間を走査するレーザ光線6の
位置に線材1,2,3,ならびに4が次々と位置するよ
うに、光学式寸法測定装置10をシフトさせると共に、
光学式寸法測定装置10の投光部11と受光部13とを線材の
長手方向の軸を回転センタとして回転し、この回転セン
タに線材1,2,3,ならびに4を次々に位置させて、
多方向に渡り螺旋状に線材の外径寸法を次々に測定す
る。こうすると、1台の光学式寸法測定装置10で複数の
線材を測定できる。また、螺旋状に連続して外径寸法が
計れるから線材の真円度も測定できる。
を1台の光学式寸法測定装置により次々に測定する線材
の寸法測定方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 複数本並べて走行する線材1〜4を光学
式寸法測定装置10により線材1〜4の外径寸法を測定す
る線材の寸法測定方法であって、光学式寸法測定装置10
の投光部11と受光部13との間を走査するレーザ光線6の
位置に線材1,2,3,ならびに4が次々と位置するよ
うに、光学式寸法測定装置10をシフトさせると共に、
光学式寸法測定装置10の投光部11と受光部13とを線材の
長手方向の軸を回転センタとして回転し、この回転セン
タに線材1,2,3,ならびに4を次々に位置させて、
多方向に渡り螺旋状に線材の外径寸法を次々に測定す
る。こうすると、1台の光学式寸法測定装置10で複数の
線材を測定できる。また、螺旋状に連続して外径寸法が
計れるから線材の真円度も測定できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、走行中の複数の線
材の外径寸法を次々に測定する線材の寸法測定方法に関
する。
材の外径寸法を次々に測定する線材の寸法測定方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来から、圧延後、引抜き後、あるいは
熱処理後等に複数並べた線材を軸方向に走行させながら
任意に人手により線材の外径寸法を測定している。
熱処理後等に複数並べた線材を軸方向に走行させながら
任意に人手により線材の外径寸法を測定している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、走行する線
材は早いスピードであるために走行中に外径寸法を測定
しようとしてもうまく測定することができなかった。ま
た、複数並べた線材が走行して來るので走行する線材の
上に身を乗りだして測定したりせねばならず不自然な姿
勢で測定しなければならなかった。だからといって、ラ
インを停止する訳にもいかず走行中の複数本並べられた
線材の外径寸法を次々に測定することができなかった。
材は早いスピードであるために走行中に外径寸法を測定
しようとしてもうまく測定することができなかった。ま
た、複数並べた線材が走行して來るので走行する線材の
上に身を乗りだして測定したりせねばならず不自然な姿
勢で測定しなければならなかった。だからといって、ラ
インを停止する訳にもいかず走行中の複数本並べられた
線材の外径寸法を次々に測定することができなかった。
【0004】そこで、本発明はこのような問題に鑑みな
されたもので、複数本並べて走行する線材の外径寸法を
1台の光学式寸法測定装置により次々に測定する線材の
寸法測定方法を提供することを目的とする。
されたもので、複数本並べて走行する線材の外径寸法を
1台の光学式寸法測定装置により次々に測定する線材の
寸法測定方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段、及び発明の効果】上記目
的を達成するためになされた請求項1記載の線材の寸法
測定方法は、複数本並べて走行する線材を光学式寸法測
定装置により前記線材の外形寸法を測定する線材の寸法
測定方法であって、前記光学式寸法測定装置の投光部と
受光部との間の光線の走査位置に前記線材が次々と位置
するように、前記光学式寸法測定装置又は前記線材をシ
フトさせて前記線材の外径寸法を次々に測定することを
特徴とする。
的を達成するためになされた請求項1記載の線材の寸法
測定方法は、複数本並べて走行する線材を光学式寸法測
定装置により前記線材の外形寸法を測定する線材の寸法
測定方法であって、前記光学式寸法測定装置の投光部と
受光部との間の光線の走査位置に前記線材が次々と位置
するように、前記光学式寸法測定装置又は前記線材をシ
フトさせて前記線材の外径寸法を次々に測定することを
特徴とする。
【0006】請求項1記載の発明によると、1本目の線
材の外径寸法を測定したら光学式寸法測定装置または線
材をシフトさせて、光学式寸法測定装置の投光部と受光
部との間を走査する光線の走査位置に2本目の線材を合
わせてセットしてやり、2本目の線材の外径寸法を測定
するというように、光学式寸法測定装置または線材をシ
フトさせて次々に隣を走行する線材の外径寸法を測定す
ることができる。
材の外径寸法を測定したら光学式寸法測定装置または線
材をシフトさせて、光学式寸法測定装置の投光部と受光
部との間を走査する光線の走査位置に2本目の線材を合
わせてセットしてやり、2本目の線材の外径寸法を測定
するというように、光学式寸法測定装置または線材をシ
フトさせて次々に隣を走行する線材の外径寸法を測定す
ることができる。
【0007】従って、1台の光学式寸法測定装置により
複数本の線材の外径寸法を次々に測定することができ
る。請求項2記載の発明は、請求項1記載の線材の寸法
測定方法において、前記光学式寸法測定装置の前記投光
部と前記受光部とを線材の長手方向の軸を回転センタと
させて回転し、前記回転センタに前記線材を位置させ
て、多方向に渡り前記線材の外径寸法を測定することを
特徴とする。
複数本の線材の外径寸法を次々に測定することができ
る。請求項2記載の発明は、請求項1記載の線材の寸法
測定方法において、前記光学式寸法測定装置の前記投光
部と前記受光部とを線材の長手方向の軸を回転センタと
させて回転し、前記回転センタに前記線材を位置させ
て、多方向に渡り前記線材の外径寸法を測定することを
特徴とする。
【0008】請求項2記載の発明によると、1本目の線
材の外径寸法を測定したら光学式寸法測定装置をシフト
させて投光部と受光部の回転センタに2本目の線材を合
わせてセットし、2本目の線材の外径寸法を測定すると
いうように、光学式寸法測定装置をシフトさせて次々と
隣を走行する線材の外径寸法を測定することができる。
材の外径寸法を測定したら光学式寸法測定装置をシフト
させて投光部と受光部の回転センタに2本目の線材を合
わせてセットし、2本目の線材の外径寸法を測定すると
いうように、光学式寸法測定装置をシフトさせて次々と
隣を走行する線材の外径寸法を測定することができる。
【0009】また、回転センタに線材を位置させて光学
式寸法測定装置の投光部および受光部が回転するから、
測定する線材の隣を走行する線材に走査する光線が緩衝
しない範囲内で線材の外径寸法を螺旋状に多方向に渡り
連続的又は断続的に測定することができる。従って、線
材の真円度も測定することができる。
式寸法測定装置の投光部および受光部が回転するから、
測定する線材の隣を走行する線材に走査する光線が緩衝
しない範囲内で線材の外径寸法を螺旋状に多方向に渡り
連続的又は断続的に測定することができる。従って、線
材の真円度も測定することができる。
【0010】請求項3記載の発明は、請求項1または2
記載の線材の寸法測定方法において、前記光線がレーザ
光線であることを特徴とする。請求項3記載の発明によ
ると、走査するレーザ光線により線材の外径寸法を測定
することができる。
記載の線材の寸法測定方法において、前記光線がレーザ
光線であることを特徴とする。請求項3記載の発明によ
ると、走査するレーザ光線により線材の外径寸法を測定
することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図に基づい
て説明する。図1は、第1発明の実施の形態に使用した
光学式寸法測定装置を表す概略説明図である。
て説明する。図1は、第1発明の実施の形態に使用した
光学式寸法測定装置を表す概略説明図である。
【0012】図1に示すように、光学式寸法測定装置1
0は、投光部11と、受光部12と、投光部11と受光
部12を支持させて回転する回転リング13と、回転リ
ング13を回転させるためのローラ15と、ローラ15
をベルト16を介して駆動させるためのモータ17とが
備えてある。
0は、投光部11と、受光部12と、投光部11と受光
部12を支持させて回転する回転リング13と、回転リ
ング13を回転させるためのローラ15と、ローラ15
をベルト16を介して駆動させるためのモータ17とが
備えてある。
【0013】また、回転リング13は回動可能な4個の
補助ローラ18を介して支持リング14に回転可能に備
えてある。なお、回転リング13は線材1〜4がシフト
するに十分な内径を有している。さらに、また、支持リ
ング14は台車19に取り付けてある。
補助ローラ18を介して支持リング14に回転可能に備
えてある。なお、回転リング13は線材1〜4がシフト
するに十分な内径を有している。さらに、また、支持リ
ング14は台車19に取り付けてある。
【0014】そして、台車19は下方に車輪を有すると
共に、ナット20がスクリューネジ21を挿通できるよ
うに形成させて取り付けてある。また、スクリューネジ
21が回転可能に軸受22に支持されている。第1の発
明の実施の形態の線材の寸法測定方法を図2,図3に基
づいて説明する。
共に、ナット20がスクリューネジ21を挿通できるよ
うに形成させて取り付けてある。また、スクリューネジ
21が回転可能に軸受22に支持されている。第1の発
明の実施の形態の線材の寸法測定方法を図2,図3に基
づいて説明する。
【0015】図2(a)は1本目の線材を測定している
ところを表し、図2(b)は2本目線材を測定している
ところを表す、図2(a)に示すように圧延後、引抜き
後、あるいは熱処理後等に50mm間隔に複数並べて配
置した0.2〜2.5mm丸の線材1,2,3,4を軸
方向(紙面の手前)に走行させてある。
ところを表し、図2(b)は2本目線材を測定している
ところを表す、図2(a)に示すように圧延後、引抜き
後、あるいは熱処理後等に50mm間隔に複数並べて配
置した0.2〜2.5mm丸の線材1,2,3,4を軸
方向(紙面の手前)に走行させてある。
【0016】また、光学式寸法測定装置10は、走行す
る線材1,2,3,4の周りを外側の矢印で示すように
回転する投光部11に受光部12を対面させて配置させ
てある。なお、鎖線軌跡を回転しながら投光部11から
受光部12に向けてレーザ光線6を走査するようにして
ある。また、レーザ光線6は光源から発光されるレーザ
光線6をミラー及びレンズを介して矢印で示すように投
光部11から30mmの幅をもって常に走査軸5に沿っ
て走査するようにしてある。
る線材1,2,3,4の周りを外側の矢印で示すように
回転する投光部11に受光部12を対面させて配置させ
てある。なお、鎖線軌跡を回転しながら投光部11から
受光部12に向けてレーザ光線6を走査するようにして
ある。また、レーザ光線6は光源から発光されるレーザ
光線6をミラー及びレンズを介して矢印で示すように投
光部11から30mmの幅をもって常に走査軸5に沿っ
て走査するようにしてある。
【0017】図2(a)に示すように、線材1,2,
3,4を紙面の手前方向に走行させながら、光学式寸法
測定装置10の投光部11および受光部12の線材の長
手方向を軸とする回転センタに線材1を合わせてセツト
する。次に、モータ17を駆動させて光学式寸法測定装
置10を外側の矢印で示すように線材1〜4の周りを回
転させると線材1の周りを螺旋状にレーザ光線6が走査
し、受光部12が線材1の影を読み取る。このようにし
て線材1の周りを螺旋状に多方向に渡って走査し、線材
1の外径寸法を螺旋状に連続的に測定する。しかし、5
0mmの間隔をおいて右隣に走行する線材2があるため
に線材2側から線材1に向けてレーザ光線6を走査する
時にレーザ光線6が線材2に緩衝されてしまうから測定
できなくなる。従って、実質的には、線材2に緩衝され
ない部分の2点鎖線の矢印で示す上方の120度の範囲
と下方の120度の範囲に当たる線材1の外径寸法を螺
旋状に連続的に測定することができる。次に、スクリュ
ーネジ21を回転させて台車19を移動させて、図2
(b)に示すように、光学式寸法測定装置10を矢印A
で示すように横に50mmシフトさせる。この時に光学
式寸法測定装置10の投光部11および受光部12の回
転センタに線材2を合わせてセットし、前記同様に測定
することができる。
3,4を紙面の手前方向に走行させながら、光学式寸法
測定装置10の投光部11および受光部12の線材の長
手方向を軸とする回転センタに線材1を合わせてセツト
する。次に、モータ17を駆動させて光学式寸法測定装
置10を外側の矢印で示すように線材1〜4の周りを回
転させると線材1の周りを螺旋状にレーザ光線6が走査
し、受光部12が線材1の影を読み取る。このようにし
て線材1の周りを螺旋状に多方向に渡って走査し、線材
1の外径寸法を螺旋状に連続的に測定する。しかし、5
0mmの間隔をおいて右隣に走行する線材2があるため
に線材2側から線材1に向けてレーザ光線6を走査する
時にレーザ光線6が線材2に緩衝されてしまうから測定
できなくなる。従って、実質的には、線材2に緩衝され
ない部分の2点鎖線の矢印で示す上方の120度の範囲
と下方の120度の範囲に当たる線材1の外径寸法を螺
旋状に連続的に測定することができる。次に、スクリュ
ーネジ21を回転させて台車19を移動させて、図2
(b)に示すように、光学式寸法測定装置10を矢印A
で示すように横に50mmシフトさせる。この時に光学
式寸法測定装置10の投光部11および受光部12の回
転センタに線材2を合わせてセットし、前記同様に測定
することができる。
【0018】このように、1本目の線材1の外径寸法を
測定したら光学式寸法測定装置10をシフトさせて回転
センタに2本目の線材2を合わせてセットし、線材2の
外径寸法を測定するというように、光学式寸法測定装置
10をシフトさせて次々と隣を走行する線材3,4の外
径寸法を測定することができる。従って、1台の光学式
寸法測定装置10により複数本の線材1〜4の外径寸法
を次々に測定することができる。
測定したら光学式寸法測定装置10をシフトさせて回転
センタに2本目の線材2を合わせてセットし、線材2の
外径寸法を測定するというように、光学式寸法測定装置
10をシフトさせて次々と隣を走行する線材3,4の外
径寸法を測定することができる。従って、1台の光学式
寸法測定装置10により複数本の線材1〜4の外径寸法
を次々に測定することができる。
【0019】また、光学式寸法測定装置10の回転セン
タに線材1,2,3あるいは4を位置させて光学式寸法
測定装置10が回転するから測定中の線材の隣を走行す
る線材にレーザ光線6が緩衝しない範囲の線材の外径寸
法を螺旋状に多方向に渡り連続的又は断続的に測定する
ことができる。
タに線材1,2,3あるいは4を位置させて光学式寸法
測定装置10が回転するから測定中の線材の隣を走行す
る線材にレーザ光線6が緩衝しない範囲の線材の外径寸
法を螺旋状に多方向に渡り連続的又は断続的に測定する
ことができる。
【0020】さらに、また、レーザ光線6を走査して、
線材1,2,3,あるいは4の走行する速度に追随させ
て、線材1,2,3,あるいは4の多方向の外径寸法を
測定するから、線材1,2,3,あるいは4の真円度も
精度よく測定することができる。 第2の発明の実施の
形態を図に基づいて説明する。
線材1,2,3,あるいは4の走行する速度に追随させ
て、線材1,2,3,あるいは4の多方向の外径寸法を
測定するから、線材1,2,3,あるいは4の真円度も
精度よく測定することができる。 第2の発明の実施の
形態を図に基づいて説明する。
【0021】図3は、第2の発明の実施の形態の線材の
寸法測定方法の説明図である。図3に示すように圧延
後、引抜き後、あるいは熱処理後等に50mm間隔に複
数並べて配置した0.2〜2.5mm丸の線材1,2,
3,4を軸方向(紙面の手前)に走行させてある。光学
式寸法測定装置30は、線材1の上方に配置する投光部
31からレーザ光線6を走査し、走査するレーザ光線6
の影を読み取るための受光部32を投光部31に対面さ
せて下方に配置してある。
寸法測定方法の説明図である。図3に示すように圧延
後、引抜き後、あるいは熱処理後等に50mm間隔に複
数並べて配置した0.2〜2.5mm丸の線材1,2,
3,4を軸方向(紙面の手前)に走行させてある。光学
式寸法測定装置30は、線材1の上方に配置する投光部
31からレーザ光線6を走査し、走査するレーザ光線6
の影を読み取るための受光部32を投光部31に対面さ
せて下方に配置してある。
【0022】レーザ光線6は、光源から発光されるレー
ザ光線6をミラー及びレンズを介して投光部31から走
査するようにしてある。また、レーザ光線6は光源から
発光されるレーザ光線6をミラー及びレンズを介して投
光部31から30mm幅をもって常に走査軸5に沿って
走査するようにしてある。
ザ光線6をミラー及びレンズを介して投光部31から走
査するようにしてある。また、レーザ光線6は光源から
発光されるレーザ光線6をミラー及びレンズを介して投
光部31から30mm幅をもって常に走査軸5に沿って
走査するようにしてある。
【0023】第2の発明の実施の形態の線材の寸法測定
方法を説明する。図3に示すように、光学式寸法測定装
置30のレーザ光線6の走査幅5に線材1をセットして
線材1,2,3,4を紙面の手前方向に走行させながら
光学式寸法測定装置30の投光部31から矢印で示すよ
うにレーザ光線6を走査する。次に、線材1の影を受光
部32で読み取り一方向の外径寸法を測定する。
方法を説明する。図3に示すように、光学式寸法測定装
置30のレーザ光線6の走査幅5に線材1をセットして
線材1,2,3,4を紙面の手前方向に走行させながら
光学式寸法測定装置30の投光部31から矢印で示すよ
うにレーザ光線6を走査する。次に、線材1の影を受光
部32で読み取り一方向の外径寸法を測定する。
【0024】次に、矢印で示すように、光学式寸法測定
装置30を点線で示す位置に50mmほどシフトさせて
やり、光学式寸法測定装置30の走査幅5に線材2を合
わせてセットする。次に前記と同様の手順で外径寸法を
測定する。あとは、光学式寸法測定装置30を矢印方向
に次々にシフトして線材3,4の外径寸法を次々に測定
する。
装置30を点線で示す位置に50mmほどシフトさせて
やり、光学式寸法測定装置30の走査幅5に線材2を合
わせてセットする。次に前記と同様の手順で外径寸法を
測定する。あとは、光学式寸法測定装置30を矢印方向
に次々にシフトして線材3,4の外径寸法を次々に測定
する。
【0025】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明の趣旨の範囲を越えない限り種々の実施が
できる。例えば、発明の実施の形態では光学式寸法測定
装置を横方向にシフトさせて説明をしたが、複数並べて
配置した線材をそっくり横方向にシフトさせてもよい。
たが、本発明の趣旨の範囲を越えない限り種々の実施が
できる。例えば、発明の実施の形態では光学式寸法測定
装置を横方向にシフトさせて説明をしたが、複数並べて
配置した線材をそっくり横方向にシフトさせてもよい。
【0026】また、レーザ光線の幅および線材の間隔を
変えることにより、測定可能な角度を変えることができ
る。また、発明の実施の形態ではレーザー光線を使用し
て説明したが、その他の投光式等であってもよい。
変えることにより、測定可能な角度を変えることができ
る。また、発明の実施の形態ではレーザー光線を使用し
て説明したが、その他の投光式等であってもよい。
【図1】 第1の発明の実施の形態の光学式寸法測定装
置を表す概略説明図。
置を表す概略説明図。
【図2】 第1の発明の実施の形態の線材の測定方法を
表す説明図。
表す説明図。
【図3】 第2の発明の実施の形態の線材の測定方法を
表す説明図。
表す説明図。
1,2,3,4…線材、10,30…光学式寸法測定装
置、11,31…投光部、12,32…受光部。
置、11,31…投光部、12,32…受光部。
Claims (3)
- 【請求項1】 複数本並べて走行する線材を光学式寸法
測定装置により前記線材の外形寸法を測定する線材の寸
法測定方法であって、 前記光学式寸法測定装置の投光部と受光部との間の光線
の走査位置に前記線材が次々と位置するように、前記光
学式寸法測定装置又は前記線材をシフトさせて前記線材
の外径寸法を次々に測定することを特徴とする線材の寸
法測定方法。 - 【請求項2】 前記光学式寸法測定装置の前記投光部と
前記受光部とを線材の長手方向の軸を回転センタとさせ
て回転し、前記回転センタに前記線材を位置させ、多方
向に渡り前記線材の外径寸法を測定することを特徴とす
る請求項1記載の線材の寸法測定方法。 - 【請求項3】 前記光線がレーザ光線であることを特徴
とする請求項1または2記載の線材の寸法測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34794497A JPH11183133A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 線材の寸法測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34794497A JPH11183133A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 線材の寸法測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11183133A true JPH11183133A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18393673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34794497A Pending JPH11183133A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 線材の寸法測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11183133A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011107044A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Waterworks Technology Development Organization Co Ltd | 外径計測装置 |
JP2013232343A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 圧着形状情報取得方法、及び、圧着形状情報取得装置 |
CN109141297A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-04 | 淮南文峰航天电缆有限公司 | 一种电缆检测装置 |
CN109781036A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-05-21 | 山东科技大学 | 一种液压支架直线度检测装置及检测方法 |
-
1997
- 1997-12-17 JP JP34794497A patent/JPH11183133A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011107044A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Waterworks Technology Development Organization Co Ltd | 外径計測装置 |
JP2013232343A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 圧着形状情報取得方法、及び、圧着形状情報取得装置 |
CN109141297A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-04 | 淮南文峰航天电缆有限公司 | 一种电缆检测装置 |
CN109141297B (zh) * | 2018-08-31 | 2020-07-24 | 淮南文峰航天电缆有限公司 | 一种电缆检测装置 |
CN109781036A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-05-21 | 山东科技大学 | 一种液压支架直线度检测装置及检测方法 |
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