JPH11176723A

JPH11176723A - 接続識別装置

Info

Publication number: JPH11176723A
Application number: JP9335997A
Authority: JP
Inventors: Itsukou Isaki; 一皇伊三木
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-12-05
Filing date: 1997-12-05
Publication date: 1999-07-02

Abstract

(57)【要約】【課題】ケーブル１１とコネクタ１３の接続における
誤配線や接続漏れを自動的に判別する。【解決手段】露光装置３２の各駆動回路３、４、５、
６に識別信号送信回路１５を設けて、識別信号線１６を
介して識別信号を送出する。また、主制御装置３３側で
は、機器コネクタ１３と各制御基板７、８、９、１０と
の間に配線切換え回路１７を設置する。前記識別信号送
信回路１５からの識別信号は、機器コネクタ１３の１番
ピンから識別信号線２０により配線切換え回路１７を介
してＣＰＵボード１８へ伝達される。これによって得ら
れる識別信号を基に、ＣＰＵボード１８は露光装置３２
の各駆動回路３、４、５、６と主制御装置３３の機器コ
ネクタ１３との接続を識別して、各制御基板７、８、
９、１０と機器コネクタ１３間の対応を決定し、配線制
御信号線１９からの配線制御信号により、機器信号が本
来伝達されるべき各制御基板７、８、９、１０に与えら
れるよう配線を切換え、必要な結線状態が得られるよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、接続識別装置に関
し、特に露光装置のように多数のケーブルを使っている
装置に用いて有効な接続識別装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば露光装置においては、図３
に見られるように露光装置本体１と制御ラック２それぞ
れの接続機器である、ウェハローダ駆動回路３とウェハ
ローダ制御基板７、レチクルローダ駆動回路４とレチク
ルローダ制御基板８、アライメント調整機器駆動回路５
とアライメント制御基板９、そして、ステージ駆動回路
６とステージ制御基板１０とを接続する際、各配線にお
いて、接続ケーブル１１にタグ２２を付与したり、各コ
ネクタの形状を対応するもの毎に異なるものにしたり、
各コネクタに誤挿入防止用のキーやピンを使用したりし
て機器信号線１２に接続された機器コネクタ１３とケー
ブルコネクタ１４とを１対１に対応させ、対応するコネ
クタを選別しつつ配線を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来の配
線では、１つの機器のコネクタに１つのケーブルコネク
タを接続する度にいくつものケーブルコネクタの中から
その機器に対応するケーブルコネクタを見つけ出してか
ら、それらを結線しなければならない。その際、誤挿入
防止ピンが抜けていたりすることによる誤配線や、接続
漏れが発生するおそれもある。一旦、配線作業が終了し
た後で、何らかの誤配線が疑われるような場合には、す
べてのコネクタとケーブルの対応を確認していく必要が
ある。

【０００４】露光装置においてはケーブル数が数十本と
多く、そのケーブルに対してこのような作業を行うこと
は多大な作業時間と人手を必要とすることになる。本発
明は、このようなケーブル等とコネクタの接続における
作業効率の向上と、誤配線の払拭、誤配線や接続漏れの
自動判別を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の接続識別装置
は、第１のコネクタ（１３）を有し、該第１のコネクタ
特有の識別信号を送出する第１の装置（１５）と、前記
第１のコネクタと接続可能な第２のコネクタ（１３）を
有し、前記識別信号に応じて前記第１の装置との接続を
識別する第２の装置（１８）と、を有するものである。
また、第２の装置（１８）は、前記識別信号を受信しな
いときに、前記第１のコネクタと接続されていないと判
定することが、接続がされていないコネクタを識別する
ことができるので、好ましい。

【０００６】さらに、前記第１のコネクタと前記第２の
コネクタとは複数のコネクタであり、前記第２の装置は
前記識別信号に基づいて前記複数のコネクタの接続関係
を切換える接続切換え手段（１７）を備えることが、コ
ネクタ接続の対応関係を無視して単に接続するだけで、
本来のコネクタの接続関係を得ることができるので、好
ましい。また、前記識別信号に基づいて警告する警告手
段（２１）を有することが、接続漏れや接続誤りを確認
でき、場合によってはその場所も確認することができる
ので、好ましい。また、第１のコネクタと第２のコネク
タとをつなぐチューブを備えることが、気体や液体の供
給のための接続の識別をすることができるので、好まし
い。

【０００７】

【発明の実施の形態】図４に本発明の接続識別装置を適
用して好適な露光装置の具体例を示す。この露光装置
は、コータ・デベロッパ装置３１と、ウェハ１００を露
光する露光装置３２と、装置全体の総括的な制御を行う
主制御装置３３と、主制御装置３３に接続された記憶装
置３４とを備えている。コータ・デベロッパ装置３１
は、複数のウェハを収納するウェハカセット３５とウェ
ハ１００表面にフォトレジストを塗布するコータ３６
と、露光後のウェハ１００を現像する現像装置（デベロ
ッパ）３７と、現像後のウェハ１００のアライメント誤
差を計測する検査装置３８と、ウェハの搬送を行う多関
節ロボットアーム３９及びガイドレール４０とを備えて
いる。

【０００８】露光装置３２は、コータ・デベロッパ装置
３１との間でウェハ１００の受け渡しを行う多関節ロボ
ットアーム４３とウェハ１００上に形成されたバーコー
ドを読み取るバーコードリーダ４４と、ウェハ１００上
にバーコードを形成するレーザ加工装置４５と、プリア
ライメント装置４７と、露光部（５０、５３、５４、５
６）とを備えている。プリアライメント装置４７へのウ
ェハ１００の搬送及び搬出は、ガイド４６上を移動する
多関節ロボットアーム４３によって行われる。また、プ
リアライメント装置４７と露光装置３２間のウェハの搬
送は、ガイド５２上をスライドするスライダアーム５１
によって行われる。

【０００９】図４において、ウェハカセット３５に収納
された複数のウェハ１００の内の１枚を多関節ロボット
アーム３９で抜き取り、そのウェハ１００をコータ３６
に搬送する。コータ３６で表面にフォトレジストが塗布
されたウェハ１００は、ロボットアーム３９によって待
機位置４１まで搬送される。待機位置４１のウェハ１０
０は、露光装置３２に設けられた多関節ロボットアーム
４３に保持され、ウェハ１００上の各層に形成された識
別コード（例えばバーコード）を読み取る装置（バーコ
ードリーダ）４４まで搬送される。読取装置４４は読み
取った情報（各層にパターンを形成したときの露光及び
アライメントに関する条件）を主制御装置３３に出力す
る。

【００１０】ロボットアーム４３はガイド４６に沿って
更に移動し、ウェハ１００をプリアライメント装置４７
のターンテーブル４８に受け渡す。プリアライメント装
置４７は、ターンテーブル４８でウェハ１００を回転さ
せつつ、センサ４９によってその外周部に非露光波長の
平行光束を照射しウェハ１００で遮られない光束を光電
検出する。そして、センサ４９の出力に応じてターンテ
ーブル４８の回転を停止させ、ウェハ１００のオリエン
テーションフラットを所定方向に合わせる。その後、ス
ライダアーム５１によってウェハはウェハステージ５０
の上方まで搬送され、ウェハホルダ５３に真空吸着され
る。

【００１１】ウェハ１００上の複数の層には、それぞれ
パターンが重ね合わせて形成されており、その複数層の
少なくとも１つのパターンに付設されたアライメントマ
ーク（図示せず）をアライメントセンサ５６で検出す
る。そして、このアライメントセンサ５６の出力と、所
定の補正量（アライメント条件）に基づいてウェハステ
ージ５０を駆動して、ウェハ１００上のパターンとレチ
クル上のパターンとを位置合わせする。その後、ウェハ
１００上の最上層（それを覆うフォトレジスト）を、投
影光学系５４を介してレチクル上のパターンの像で露光
する。

【００１２】すべてのショット領域（パターン）でレチ
クルのパターン像で重ね合わせ露光されたウェハ１００
は、スライダアーム５１によってウェハステージ５０か
ら搬出され、ロボットアーム４３に受け渡される。更
に、ロボットアーム４３によってウェハ１００は、露光
及びアライメントに関する条件をウェハ（最上層）１０
０に記録するレーザ加工装置４５まで搬送される。レー
ザ加工装置４５はフォトレジストを感光させる波長域の
レーザビームをウェハ１００上に照射し、露光及びアラ
イメントに関する条件をバーコード（又は数字やアルフ
ァベット）の形でウェハ（フォトレジスト）１００に書
き込む。

【００１３】さて、各種条件が記録されたウェハ１００
は、ロボットアーム４３で待機位置４１まで搬送され、
更にロボットアーム３９によって現像装置３７に搬入さ
れる。現像装置３７で現像処理が施されたウェハ１００
は、ロボットアーム３９によって検査装置３８に搬入さ
れ、ここでアライメント誤差が計測される。検査装置３
８は、ウェハ１００上のいくつかのショット領域をそれ
ぞれ照明しウェハ１００から発生する光を撮像素子（例
えばＣＣＤ）で光電検出する。更に、撮像素子からの画
像信号を複数の走査線で走査して、ウェハ１００上の少
なくとも１つの層に形成されたパターンと露光装置３２
で露光された、最上層に形成されるべきパターン（レジ
ストパターン）とのアライメント誤差を計測し、この計
測結果を主制御装置３３に出力する。

【００１４】図５は、露光装置３２の露光部の構成を示
す。図において、露光光源６０から出力された露光光
は、レチクルステージ６４に保持されたレチクル６２を
照明する。レチクル６２には、所定の回路パターンが形
成されており、そのパターンが投影光学系５４を介して
ウェハ１００上に投影される。ウェハステージ５０は、
ステージ駆動装置６８によって、ＸＹ二次元方向にステ
ップ移動可能になっている。アライメント装置５６は、
投影光学系５４の光軸から所定量ずれた位置でウェハ１
００のショット領域に付設されたアライメントマークを
光電検出する。ウェハステージ５０上には、反射ミラー
７０が固定され、干渉計７２によって受光し、ウェハス
テージ５０の位置を検出するようになっている。投影光
学系５４には、その結像特性を制御する結像特性制御装
置７４が接続されている。

【００１５】図１に示すように、露光装置３２は、多関
節ロボットアーム４３とスライダアーム５１とを駆動す
るウエハローダ駆動回路３とを、不図示のレチクルロー
ダを駆動するレチクルローダ駆動回路４と、アライメン
トセンサ５６を駆動するアライメント調製機器駆動回路
５と、ウエハステージ５０とレチクルステージ６４とを
駆動するステージ駆動回路６と、識別信号送信回路１５
とを更に有している。

【００１６】また、主制御装置３３は、ウエハローダ駆
動回路３を制御するウエハローダ制御基板７と、レチク
ルローダ駆動回路４を制御するレチクルローダ制御基板
８と、アライメント調製機器駆動回路５を制御するアラ
イメント制御基板９と、ステージ駆動回路６を制御する
ステージ制御基板とを備えている。更に、主制御装置３
３は、配線切換え回路１７とＣＰＵボード１８と、警告
ＬＥＤ２１とを備えている（詳細後述）。

【００１７】露光装置３２と主制御装置３３とを接続す
るために、露光装置３２の各駆動回路３、４、５、６に
識別信号送信回路１５を設けて、機器コネクタ１３に接
続する接続機器信号線１２に加えて識別信号線１６を設
けて、一方を機器コネクタ１３の例えば１番ピンに接続
し、他方を識別信号送信回路１５に接続する。そして、
この識別信号送信回路１５から識別信号を送出する。ま
た、主制御装置３３側では、機器コネクタ１３と各制御
基板７、８、９、１０との間に配線切換え回路１７（例
えばマルチプレクス回路）を設置する。前記識別信号送
信回路１５からの識別信号は、機器コネクタ１３の１番
ピンから識別信号線２０により配線切換え回路１７を介
してＣＰＵボード１８へ伝達される。これによって得ら
れる識別信号を基に、ＣＰＵボード１８は露光装置３２
の各駆動回路３、４、５、６と主制御装置３３の機器コ
ネクタ１３との接続を識別して、各制御基板７、８、
９、１０と機器コネクタ１３間の対応を決定し、配線制
御信号線１９からの配線制御信号により、機器信号が本
来伝達されるべき各制御基板７、８、９、１０に与えら
れるよう配線を切換え、必要な結線状態が得られるよう
にする。

【００１８】また、接続そのものがされていないか、又
は、接続が不完全であるような場合には、識別信号線２
０に識別信号が供給されないので、このことをＣＰＵボ
ード１８で判定して、露光装置３２の各駆動回路３、
４、５、６と主制御装置３３の各制御基板７、８、９、
１０との間で何らかの接続不良があることを個々の機器
コネクタ１３と対応付けて警告ＬＥＤ２１等で警告表示
する。このように配線切換え回路１７で配線の切換えが
行われるので、コネクタの形状はすべて同一のものとし
て、接続に際して機器コネクタ１３とケーブル１１との
対応関係をとる必要がない。

【００１９】また、このような構成を用いたことによ
り、機器コネクタ１３とケーブルコネクタ１４とを接続
する際にどのケーブルコネクタ１４をどの機器コネクタ
１３に接続しても正しい結線状態が得られるため、接続
後に正常に動作しない場合でも、ケーブルコネクタ対機
器コネクタの対応関係を調べなければならないという事
態を避けることができ、必要な本数分のケーブルコネク
タと機器コネクタが接続されてさえいれば、接続誤りに
起因するトラブルではないとの想定で対処することがで
きる。

【００２０】図２に、他の実施の形態を示す。この実施
の形態では、識別信号線２０を他の接続機器信号線と同
様に配線切換え回路１７によって切換えられるようにし
て、配線切換え回路１７に識別信号線２０のための専用
の出力端子を設ける必要がないようにしたものである。
ＣＰＵボード１８は配線切換え回路１７の配線切換え状
態を制御しているので、現在どのような配線切換え状態
であるのかを認識しているため、識別信号がどの機器コ
ネクタ１３からのものであるのかが分かることになり、
この情報を基に上記の実施の形態と同様に露光装置３２
の各駆動回路３、４、５、６と主制御装置３３の機器コ
ネクタ１３との接続を識別して、各制御基板７、８、
９、１０と機器コネクタ１３間の対応を決定し、配線制
御信号線１９からの配線制御信号により、機器信号が本
来伝達されるべき各制御基板７、８、９、１０に与えら
れるよう配線を切換え、必要な結線状態が得られるよう
にするものである。

【００２１】この実施の形態においても、接続不良を警
告ＬＥＤ２１等で警告表示することができる。なお、上
記の識別信号はデジタル信号でもアナログ信号でも良
い。デジタル信号であれば、露光装置３２の各駆動回路
３、４、５、６のＩＤ認識番号等を用いることができ
る。また、識別信号線は複数本としても良い。

【００２２】さらに、上記の露光装置３２の各駆動回路
３、４、５、６と主制御装置３３の機器コネクタ１３と
の接続の識別、及び、配線切換えは、上記の構成により
常時行って、これによりたまたま接続不良が発生したよ
うな場合に即時に警告表示をする、とすることもできる
が、特に識別信号線２０を設けずに接続機器信号線の１
又は複数本を識別信号線２０としてケーブルの接続直後
だけに識別及び配線切換えを行って、その後はその配線
を維持する、という構成にすることもできる。

【００２３】また、配線切換え回路１７は必ずしも必要
ではなく、接続が本来の接続と異なる場合に、このこと
を識別して警告表示するだけでも良い。また、１のケー
ブルで接続するコネクタは１対１に限られず、１対複数
や複数対複数であっても良い。また、露光装置と接続す
るのは電気的なケーブルの他にも、例えば空気、ウェハ
１００やレチクルを真空吸着する真空源、又は、熱源の
冷却等のように広く一般的な気体や液体を供給するチュ
ーブであっても良い。この場合には識別信号線を設ける
必要がある。

【００２４】なお、露光装置としては、レチクル６２と
ウエハ１００とを静止した状態でレチクル６２のパター
ンを露光し、ウエハ１００を順序ステップ移動させるス
テップ・アンド・リピート型の露光装置でも、レチクル
６２とウエハ１００とを同期移動してレチクル６２のパ
ターンを露光する走査型の露光装置にも適用することが
できる。また、露光光としてＫｒＦエキシマレーザ（２
４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）、Ｆ
₂レーザ（１５７ｎｍ）のみならず、Ｘ線や電子線など
の荷電粒子線を用いることができる。例えば、電子線を
用いる場合には電子銃として、熱電子放射型のランタン
ヘキサボライト（ＬaＢ₆）、タンタル（Ｔa）を用いる
ことができる。

【００２５】投影光学系５４の倍率は縮小系のみならず
等倍および拡大系のいずれでもいい。また、投影光学系
ＰＬとしては、エキシマレーザを用いる場合は硝材とし
て石英や蛍石を用い、Ｘ線を用いる場合は反射屈折系の
光学系にし（レチクルも反射型タイプのものを用い
る）、また、電子線を用いる場合には光学系として電子
レンズおよび偏向器からなる電気光学系を用いればい
い。なお、電子線が通過する光路は真空にすることはい
うまでもない。また、投影光学系５４を用いることなく
レチクル６２とウエハ１００とを密接させてレチクル６
２のパターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適
用することができる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明を露光装置に用いれ
ば機器コネクタの接続において、対応の調査の必要がな
くなるため、結線作業の効率は向上する。さらに、機器
コネクタとケーブル等との１対１の対応が存在しないた
め、誤配線は生じない、その上、識別信号の受信を確認
することにより、接続漏れの確認が行えるため、人間に
よる接続漏れの確認作業が必要なくなる。これにより配
線作業が質的に大幅に軽減され、製造時間の短縮化が望
める上、誤配線や配線漏れによる機器の破損、動作の不
良が防止又は軽減され、それらの修理、原因調査の作業
も短縮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を露光装置に適用した構成を説明する図
である。

【図２】本発明の他の実施の形態を説明する図である。

【図３】従来技術を説明する図である。

【図４】露光装置の具体例を説明する図である。

【図５】図４の露光装置の要部を説明する図である。

【符号の説明】

１１接続ケーブル１２機器信号線１３機器コネクタ１４ケーブルコネクタ１５識別信号送信回路１６識別信号線１７配線切換え回路２２タグ３１コータ・デベロッパ３２露光装置３３主制御装置３４記憶装置３５ウェハカセット３６コータ３７現像装置（デベロッパ）３８検査装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１のコネクタを有し、該第１のコネクタ
特有の識別信号を送出する第１の装置と、前記第１のコネクタと接続可能な第２のコネクタを有
し、前記識別信号に応じて前記第１の装置との接続を識
別する第２の装置と、を有することを特徴とする接続識
別装置。
【請求項２】請求項１記載の接続識別装置において、第２の装置は、前記識別信号を受信しないときに、前記
第１のコネクタと接続されていないと判定することを特
徴とする接続識別装置。
【請求項３】請求項１記載の接続識別装置において、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとは複数のコ
ネクタであり、前記第２の装置は前記識別信号に基づい
て前記複数のコネクタの接続関係を切換える接続切換え
手段を備えることを特徴とする接続識別装置。
【請求項４】請求項１乃至３いずれかに記載の接続識別
装置において、前記識別信号に基づいて警告する警告手段を有すること
を特徴とする接続識別装置。
【請求項５】請求項１乃至４いずれかに記載の接続識別
装置において、第１のコネクタと第２のコネクタとをつなぐチューブを
備えることを特徴とする接続識別装置。