JPH11174246A - プレーナ形光導波路 - Google Patents
プレーナ形光導波路Info
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- JPH11174246A JPH11174246A JP10277855A JP27785598A JPH11174246A JP H11174246 A JPH11174246 A JP H11174246A JP 10277855 A JP10277855 A JP 10277855A JP 27785598 A JP27785598 A JP 27785598A JP H11174246 A JPH11174246 A JP H11174246A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板とその上にコーティングされる層との熱
膨張係数の間の差による応力を減少させることにより低
複屈折のプレーナ形光導波路及びこれを製造する方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 プレーナ形光導波路は基板上の少なくと
も2つのクラッド層と、クラッド層の間に配置される少
なくとも1つのコア層とからなる。装置の偏光感度を減
少させるため、2つの層のうちオーバークラッド層は基
板の熱膨張係数に近い又は等しい熱膨張係数を生ずるよ
うドーピングされる。
膨張係数の間の差による応力を減少させることにより低
複屈折のプレーナ形光導波路及びこれを製造する方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 プレーナ形光導波路は基板上の少なくと
も2つのクラッド層と、クラッド層の間に配置される少
なくとも1つのコア層とからなる。装置の偏光感度を減
少させるため、2つの層のうちオーバークラッド層は基
板の熱膨張係数に近い又は等しい熱膨張係数を生ずるよ
うドーピングされる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はプレーナ形光導波路
及びこれを製造する方法に関する。
及びこれを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、光学系を使用する通信システムが
広く普及してきた。最初に導入されたとき、光学系は対
称的に円形の光ファイバを使用することに基づいてい
た。しかし最近は、半導体製造によって知られる技術を
使用することによって異なるタイプの装置が形成されう
るという容易さにより、プレーナ形導波路装置が導入さ
れている。しかしながら、プレーナ形導波路はしばしば
基板の表面の平面に対して平行及び垂直な方向に異なる
屈折率を示す。複屈折プレーナ形導波路に入る偏光され
ていない光は、基板の表面に平行な方向の1つの成分
と、基板の表面に垂直な方向の1つの成分とに分割さ
れ、これらの成分は異なる速度で伝搬する。このこと
は、反射格子を組み込んだ方向性カプラ又は波長マルチ
プレクサといった波長選択的要素はただ1つの偏光方向
に対してのみ最適に設計され得るため、光回路の設計を
より困難にさせる。この現象は複屈折と称され、水晶体
プレーナ形基板の場合、複屈折は水晶体構造と平面に対
する水晶の選択された向きとによって生ずる。ガラスと
いったアモルファスの透明な材料は応力を受けないかぎ
り、複屈折を示さない。
広く普及してきた。最初に導入されたとき、光学系は対
称的に円形の光ファイバを使用することに基づいてい
た。しかし最近は、半導体製造によって知られる技術を
使用することによって異なるタイプの装置が形成されう
るという容易さにより、プレーナ形導波路装置が導入さ
れている。しかしながら、プレーナ形導波路はしばしば
基板の表面の平面に対して平行及び垂直な方向に異なる
屈折率を示す。複屈折プレーナ形導波路に入る偏光され
ていない光は、基板の表面に平行な方向の1つの成分
と、基板の表面に垂直な方向の1つの成分とに分割さ
れ、これらの成分は異なる速度で伝搬する。このこと
は、反射格子を組み込んだ方向性カプラ又は波長マルチ
プレクサといった波長選択的要素はただ1つの偏光方向
に対してのみ最適に設計され得るため、光回路の設計を
より困難にさせる。この現象は複屈折と称され、水晶体
プレーナ形基板の場合、複屈折は水晶体構造と平面に対
する水晶の選択された向きとによって生ずる。ガラスと
いったアモルファスの透明な材料は応力を受けないかぎ
り、複屈折を示さない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って低複屈折のプレ
ーナ形光導波路を製造するために多くの注意が向けられ
ており、通常利用される技術は本質的に平面的なシリコ
ン結晶基板上でガラスから導波路を製造する技術であ
る。この方法では、均一性を確実にするために、ガラス
層は上昇された温度で生成されること及び/又は高温処
理されることが必要とされる。高温処理の結果、基板と
その上にコーティングされる層との熱膨張係数の間の差
は冷却の際にかなりの応力をもたらし、片側コーティン
グの場合、シリコン結晶基板の曲げまで生じさせる。周
知の応力光学効果により、これらの応力は導波路の光搬
送コアの中に複屈折をもたらす。複屈折の影響は図3に
図示されており、全てのTE及びTMモードにおけるピ
ーク挿入損は異なる波長で生ずる。
ーナ形光導波路を製造するために多くの注意が向けられ
ており、通常利用される技術は本質的に平面的なシリコ
ン結晶基板上でガラスから導波路を製造する技術であ
る。この方法では、均一性を確実にするために、ガラス
層は上昇された温度で生成されること及び/又は高温処
理されることが必要とされる。高温処理の結果、基板と
その上にコーティングされる層との熱膨張係数の間の差
は冷却の際にかなりの応力をもたらし、片側コーティン
グの場合、シリコン結晶基板の曲げまで生じさせる。周
知の応力光学効果により、これらの応力は導波路の光搬
送コアの中に複屈折をもたらす。複屈折の影響は図3に
図示されており、全てのTE及びTMモードにおけるピ
ーク挿入損は異なる波長で生ずる。
【0004】この問題を克服するために多数の提案がな
されており、幾つかの技術は非常に低い偏光感度(アレ
ー式導波路デマルチプレクサでは0.05nm以下)を
達成することが可能である一方で低コスト/大量生産に
は適していない。ドイツ国特許出願第4433738号
は、低複屈折をもたらし、光コア材料の熱膨張係数をシ
リコン基板の熱膨張率と同じにすることを含む。この文
献は、0.1乃至0.2nmの領域において偏光感度の
減少をもたらすと説明されているが、これは実際の目的
には充分に良い減少ではない。
されており、幾つかの技術は非常に低い偏光感度(アレ
ー式導波路デマルチプレクサでは0.05nm以下)を
達成することが可能である一方で低コスト/大量生産に
は適していない。ドイツ国特許出願第4433738号
は、低複屈折をもたらし、光コア材料の熱膨張係数をシ
リコン基板の熱膨張率と同じにすることを含む。この文
献は、0.1乃至0.2nmの領域において偏光感度の
減少をもたらすと説明されているが、これは実際の目的
には充分に良い減少ではない。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は低い複屈折、即
ち0.05nm以下のオーダの低い偏光感度を示すプレ
ーナ形光導波路装置を提供することを目的とする。本発
明は、基板上の酸化シリコン(SiO2 )を含む少なく
とも2つのクラッド層と、クラッド層の間に配置される
酸化シリコンを含む少なくとも1つのコア層とからな
り、コア層は該クラッド層の屈折率よりも高い屈折率を
有する、オーバークラッド層は上記基板の熱膨張係数に
近い又は等しい熱膨張係数を有することを特徴とするプ
レーナ形光導波路を提供する。
ち0.05nm以下のオーダの低い偏光感度を示すプレ
ーナ形光導波路装置を提供することを目的とする。本発
明は、基板上の酸化シリコン(SiO2 )を含む少なく
とも2つのクラッド層と、クラッド層の間に配置される
酸化シリコンを含む少なくとも1つのコア層とからな
り、コア層は該クラッド層の屈折率よりも高い屈折率を
有する、オーバークラッド層は上記基板の熱膨張係数に
近い又は等しい熱膨張係数を有することを特徴とするプ
レーナ形光導波路を提供する。
【0006】上述の装置はわずか0.03乃至0.05
nmの偏光感度を生ずることが分かっている。オーバー
クラッド層の中に所望の熱膨張係数を発生するよう、オ
ーバークラッド層はホウ素及びリンを含む物質によって
ドーピングされていることが望ましい。
nmの偏光感度を生ずることが分かっている。オーバー
クラッド層の中に所望の熱膨張係数を発生するよう、オ
ーバークラッド層はホウ素及びリンを含む物質によって
ドーピングされていることが望ましい。
【0007】アンダークラッド層及び光コア材料の熱膨
張係数は10乃至30E−7の広い範囲で変化でき、装
置はそれでもなお低い複屈折を示すことが分かってい
る。
張係数は10乃至30E−7の広い範囲で変化でき、装
置はそれでもなお低い複屈折を示すことが分かってい
る。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明が容易に理解されるよう、
添付の図面を参照して本発明の実施例を例としてのみ説
明する。図1に示されるプレーナ形光導波路装置は、通
常は単シリコン結晶の形の基板1と、その上に片側に形
成されたクラッド層2とからなる。層2は通常2酸化シ
リコン(SiO2 )を含み、PECVD,LPCVD,
APCVD又はFHDといった方法によって熱によって
成長又は付着される。
添付の図面を参照して本発明の実施例を例としてのみ説
明する。図1に示されるプレーナ形光導波路装置は、通
常は単シリコン結晶の形の基板1と、その上に片側に形
成されたクラッド層2とからなる。層2は通常2酸化シ
リコン(SiO2 )を含み、PECVD,LPCVD,
APCVD又はFHDといった方法によって熱によって
成長又は付着される。
【0009】層2は通常10μm以上の厚さを有し、1
100℃以上の温度で焼きなましされることによって強
化される。層3の上には1つ以上の光コア要素が形成さ
れる。層3もまたSiO2 を含むが、層3の屈折率は層
2の屈折率よりも高い。典型的には屈折率の差は5E−
3乃至20E−3のオーダであり、コア層をゲルマニウ
ム、酸化リン、酸化ホウ素又はその組み合わせによって
ドーピングすることによって獲得される。その後、光コ
ア層3の3つの面を覆うオーバークラッド層4が設けら
れる。オーバークラッド層4はアンダークラッド層2と
同じ屈折率を有し、アンダークラッド層2に関して上述
された任意の技術を使用して形成される。
100℃以上の温度で焼きなましされることによって強
化される。層3の上には1つ以上の光コア要素が形成さ
れる。層3もまたSiO2 を含むが、層3の屈折率は層
2の屈折率よりも高い。典型的には屈折率の差は5E−
3乃至20E−3のオーダであり、コア層をゲルマニウ
ム、酸化リン、酸化ホウ素又はその組み合わせによって
ドーピングすることによって獲得される。その後、光コ
ア層3の3つの面を覆うオーバークラッド層4が設けら
れる。オーバークラッド層4はアンダークラッド層2と
同じ屈折率を有し、アンダークラッド層2に関して上述
された任意の技術を使用して形成される。
【0010】上述の構造は基本的に従来どおりである
が、本発明は、基板1の熱膨張係数に非常に近い熱膨張
係数を達成するようオーバークラッド層4が適当な物質
によってドーピングされている点に関して従来の構造と
異なる。以下、いかにしてドープ物質が選択され、いか
にしてドーピングの量が決定されるかを説明する。酸化
シリコンを酸化ホウ素及び酸化リンといったドープ剤に
よってドーピングすることはそのようにしてドーピング
された材料の熱膨張係数を増加させることが知られてい
る。また、層の中の応力は、層の厚さをT、基板の厚さ
をD、基板の弾性率をE、基板のポワソン係数をVとす
ると以下の式、 σ=E.D2 /[6(1−v).R.T] によって表わされる関係が成り立つことが知られてい
る。ただし、Rは組み合わせの測定された曲率である。
複屈折Bは、応力光係数Kを使用し、nTEを光コアのT
Eモードの屈折率とし、nTMを光コアのTMモードの屈
折率とすると、 B=K.σ=nTE−nTM によって得られる。応力光係数Kは2酸化シリコン(S
iO2 )では約3.5nm/cm/barであることが
知られている。
が、本発明は、基板1の熱膨張係数に非常に近い熱膨張
係数を達成するようオーバークラッド層4が適当な物質
によってドーピングされている点に関して従来の構造と
異なる。以下、いかにしてドープ物質が選択され、いか
にしてドーピングの量が決定されるかを説明する。酸化
シリコンを酸化ホウ素及び酸化リンといったドープ剤に
よってドーピングすることはそのようにしてドーピング
された材料の熱膨張係数を増加させることが知られてい
る。また、層の中の応力は、層の厚さをT、基板の厚さ
をD、基板の弾性率をE、基板のポワソン係数をVとす
ると以下の式、 σ=E.D2 /[6(1−v).R.T] によって表わされる関係が成り立つことが知られてい
る。ただし、Rは組み合わせの測定された曲率である。
複屈折Bは、応力光係数Kを使用し、nTEを光コアのT
Eモードの屈折率とし、nTMを光コアのTMモードの屈
折率とすると、 B=K.σ=nTE−nTM によって得られる。応力光係数Kは2酸化シリコン(S
iO2 )では約3.5nm/cm/barであることが
知られている。
【0011】この背景情報に基づき、図1の基本構造を
有する試験装置が準備され、図2に示される形状で試験
された。オーバークラッド層の曲率Rはプロフィルメー
タを使用して測定された。厚さ15μmのオーバークラ
ッド層が使用された。ドーピングの量及びドープ物質は
測定された曲率が複屈折が最小まで減少されたことを示
すまで連続する実験において変化された。成功した試験
からの分析により、低複屈折のオーバークラッド層の熱
膨張係数は基板1の熱膨張係数と同じオーダ、換言すれ
ば35E−7のオーダであることが分かっている。望ま
しくは、欠陥による応力割れを避けるため、ドーピング
されたオーバークラッド層は基板と比較して低い圧縮応
力の状態にあるべきである。
有する試験装置が準備され、図2に示される形状で試験
された。オーバークラッド層の曲率Rはプロフィルメー
タを使用して測定された。厚さ15μmのオーバークラ
ッド層が使用された。ドーピングの量及びドープ物質は
測定された曲率が複屈折が最小まで減少されたことを示
すまで連続する実験において変化された。成功した試験
からの分析により、低複屈折のオーバークラッド層の熱
膨張係数は基板1の熱膨張係数と同じオーダ、換言すれ
ば35E−7のオーダであることが分かっている。望ま
しくは、欠陥による応力割れを避けるため、ドーピング
されたオーバークラッド層は基板と比較して低い圧縮応
力の状態にあるべきである。
【0012】試験はまた、約28E−7の熱膨張係数を
有するオーバークラッド層4が0.2乃至0.25nm
のオーダの偏光による波長シフトを与えることを示した
が、これは実際の装置では充分でないとされる。これは
図3に示される。また、アンダークラッド層2をホウ素
又はリン物質によってドーピングすることは22E−7
のオーダの熱膨張係数を生じ、コア層3をホウ素、リン
又はゲルマニウムを含む物質によってドーピングするこ
とは13乃至30E−7の間で変化する熱膨張係数を生
ずることがわかり、オーバークラッド層4を基板の熱膨
張係数に一致するよう正しくドーピングしなければ、
0.1nm以下の偏光感度を達成することが可能でない
ことがわかった。
有するオーバークラッド層4が0.2乃至0.25nm
のオーダの偏光による波長シフトを与えることを示した
が、これは実際の装置では充分でないとされる。これは
図3に示される。また、アンダークラッド層2をホウ素
又はリン物質によってドーピングすることは22E−7
のオーダの熱膨張係数を生じ、コア層3をホウ素、リン
又はゲルマニウムを含む物質によってドーピングするこ
とは13乃至30E−7の間で変化する熱膨張係数を生
ずることがわかり、オーバークラッド層4を基板の熱膨
張係数に一致するよう正しくドーピングしなければ、
0.1nm以下の偏光感度を達成することが可能でない
ことがわかった。
【0013】テストの結果は記録され、実際の装置は、
同じ開始材料を使用するが、シリコン基板の熱膨張係数
と近い35E−7のオーダの熱膨張係数を生成するよう
オーバークラッド層4を適当な量のドープ剤によってド
ーピングして生産された。TE及びTMモードに対する
挿入損を波長の関数として示すグラフに対する影響は図
4に示されている。
同じ開始材料を使用するが、シリコン基板の熱膨張係数
と近い35E−7のオーダの熱膨張係数を生成するよう
オーバークラッド層4を適当な量のドープ剤によってド
ーピングして生産された。TE及びTMモードに対する
挿入損を波長の関数として示すグラフに対する影響は図
4に示されている。
【0014】更なる試験は、33.8E−7の熱膨張係
数が、37.3E−7の熱膨張係数と同様満足のいく結
果を与えることを示した。オーバークラッド層4が圧縮
応力状態にあるよう、オーバークラッド層4の熱膨張係
数を基板1の熱膨張係数以下とすることが適切であると
考えられる。
数が、37.3E−7の熱膨張係数と同様満足のいく結
果を与えることを示した。オーバークラッド層4が圧縮
応力状態にあるよう、オーバークラッド層4の熱膨張係
数を基板1の熱膨張係数以下とすることが適切であると
考えられる。
【0015】
【発明の効果】本発明の利点は、図5に示されるような
挿入損を有する16チャネル波長デマルチプレクサが生
成されうることである。図5の挿入損のグラフはTE及
びTMモードの両方に対して正しい。
挿入損を有する16チャネル波長デマルチプレクサが生
成されうることである。図5の挿入損のグラフはTE及
びTMモードの両方に対して正しい。
【図1】本発明による導波路装置の側方断面図を示す図
である。
である。
【図2】アレー式格子波長デマルチプレクサを図式的に
示す図である。
示す図である。
【図3】TE及びTMモードの両方の波長に対する挿入
損を示す図である。
損を示す図である。
【図4】本発明による装置のTE及びTMモードの両方
の波長に対する挿入損を示す図である。
の波長に対する挿入損を示す図である。
【図5】本発明による16チャネル装置のTEモードの
波長に対する挿入損を示す図である。
波長に対する挿入損を示す図である。
【符号の説明】 1 基板 2 アンダークラッド層 3 オーバークラッド層 4 コア層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シュレスチャンドラ ミシュリラル オジ ハ イギリス国,エセックス シーエム17 オ ービーユー,ハーロウ,ジャセリンズ 43 (72)発明者 テリ ブリチェーノ イギリス国,エセックス シービー10 2 アールジー,グレート・サンフォード,ム ーアランド・ヴュー(番地なし) (72)発明者 クリフォード グレアム キュアトン イギリス国,ハートフォードシャー シー エム23 3エスディー,ビショプス・スト ートフォード,ニュー・タウン・ロード 78 (72)発明者 スティーヴン デイ イギリス国,エセックス シーエム18 6 エービー,ハーロウ,ウエストフィールド 18 (72)発明者 デイヴィッド ジョン ムル イギリス国,エセックス シーエム17 オ ーエイチディー,ハーロウ,オールド・ロ ード 54
Claims (8)
- 【請求項1】 基板(1)上の少なくとも2つのクラッ
ド層(2,4)と、該クラッド層の間に配置される少な
くとも1つのコア層(3)とからなり、該コア層(3)
は該クラッド層の屈折率よりも高い屈折率を有する、プ
レーナ形光導波路であって、 該オーバークラッド層(4)は上記基板(1)の熱膨張
係数に近い又は等しい熱膨張係数を有することを特徴と
するプレーナ形光導波路。 - 【請求項2】 基板(1)の主面上にアンダークラッド
層(2)を形成する段階と、該アンダークラッド層
(2)の上にアンダークラッド層(2)の屈折率よりも
高い屈折率を有する導波路コア(3)を形成する段階
と、オーバークラッド層(4)を形成する段階とからな
る、プレーナ形光導波路を製造する方法であって、 該オーバークラッド層(4)は該基板(1)の熱膨張係
数に近い又は等しい熱膨張係数を生ずるようドーピング
されることを特徴とする方法。 - 【請求項3】 上記基板はシリコンによって形成され、
その上に設けられる層は酸化シリコンを含む、請求項2
記載の方法。 - 【請求項4】 上記オーバークラッド層(4)はゲルマ
ニウム、ホウ素及び/又はリンを含む物質によってドー
ピングされる、請求項3記載の方法。 - 【請求項5】 上記アンダークラッド層はゲルマニウ
ム、ホウ素及び/又はリンを含む物質によってドーピン
グされる、請求項2記載の方法。 - 【請求項6】 上記層の夫々はPECVD,LPCV
D,APCVD又はFHDといった方法によって形成さ
れる、請求項2記載の方法。 - 【請求項7】 上記オーバークラッド層の熱膨張係数は
上記基板の熱膨張係数と略等しいがそれ以上ではない、
請求項2記載の方法。 - 【請求項8】 上記基板はシリコンによって形成され、
上記オーバークラッド層の熱膨張係数は30乃至35E
−7の範囲内にある、請求項7記載の方法。
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